JPWO2018168559A1 - 継手および流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 第1ブロックと、第2ブロックと、前記第1ブロックと前記第2ブロックを接続する単管部とを備え、内部に第1ガス流路および第2ガス流路を有し、前記第1ガス流路は、前記第1ブロックの外面に開口する第1ポート、前記単管部、および前記第2ブロックの外面に開口する第2ポートを連通するように形成され、
前記第2ガス流路は、前記第2ブロックの前記外面に開口する第3ポートおよび第4ポートを連通するように形成され、
前記第2ポートは、前記第3ポートと前記第4ポートとの間に位置する、継手。 - 前記第1ガス流路は、前記第1ブロックに形成された第1流路と前記第2ブロックに形成された第2流路とを有し、前記第2流路は、前記第2ブロックの前記外面に対し直交するように形成された流路により構成され、
前記第2ガス流路は、前記第2流路を避けるように形成されている、請求項1に記載の継手。 - 複数のガスラインを備え、各ガスラインは、複数の流体制御機器と、流体制御機器が設置される継手とを備え、
前記継手は、第1ブロックと、第2ブロックと、前記第1ブロックと前記第2ブロックを接続する単管部とを備え、内部に第1ガス流路および第2ガス流路を有し、
前記第1ガス流路は、前記第1ブロックの外面に開口する第1ポート、前記単管部、および前記第2ブロックの外面に開口する第2ポートを連通するように形成され、
前記第2ガス流路は、前記第2ブロックの前記外面に開口する第3ポートおよび第4ポートを連通するように形成され、
前記第2ポートは、前記第3ポートと前記第4ポートとの間に位置する、流体制御装置。 - 前記複数の流体制御機器は、二方弁である第1バルブと、三方弁である第2バルブと、パージガスを供給するためのパージガス配管とを備え、
前記継手は、前記第2ブロックよりも上流側に前記第1ブロックが位置するように配置され、
前記第1ブロックには、前記第1バルブが設置され、
前記第2ブロックには、前記第2バルブおよび前記パージガス配管が設置されている、請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記複数の流体制御機器は、三方弁であるバルブと、パージガスを供給するためのパージガス配管と、流量制御機器とを備え、
前記継手は、前記第1ブロックよりも上流側に前記第2ブロックが位置するように配置され、
前記第2ブロックには、前記バルブおよび前記パージガス配管が設置され、
前記第1ブロックには、前記流量制御機器が設置されている、請求項3に記載の流体制御装置。 - 前記第1ガス流路は、前記第1ブロックに形成された第1流路と前記第2ブロックに形成された第2流路とを有し、前記第2流路は、前記第2ブロックの前記外面に対し直交するように形成された流路により構成され、
前記第2ガス流路は、前記第2流路を避けるように形成されている、請求項3から請求項5のいずれか一項に記載の流体制御装置。
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