JP2016173170A - 継手および流体制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】継手20には、第1流路24と、第2流路25と、第3流路26とが形成されている。第1流路24、第2流路25、および第3流路26の順に流体が流れるように流体制御装置1に装着される。継手20は、下面22と、下面22の反対側に位置する下流側上面21Bと、下流側上面21Bに隣接する上流側上面21Aとを有する。第1流路24の第1入口部24Aと、第3流路26の第3出口部26Bとが下面22に開口する。第1流路24の第1出口部24Bと、第2流路25の第2入口部25Aとが上流側上面21Aに開口する。第2流路25の第2出口部25Bと、第3流路26の第3入口部26Aとが下流側上面21Bに開口する。
【選択図】図2
Description
3:配管
4〜8、20、120、220、320、420:継手
9〜11、13:開閉弁
12:マスフローコントローラ
21:上面
21A:上流側上面
21B:下流側上面
22:下面
23:側面
24、124、224、424:第1流路
25、125、225、425:第2流路
26:第3流路
24A、124A、224A、424A:第1入口部
24B、124B、224B、424B:第1出口部
25A、125A、225A、425A:第2入口部
25B、125B、225B、425B:第2出口部
26A:第3入口部
26B:第3出口部
28:第4流路
28A:第4入口部
28B:第4出口部
Claims (16)
- 第1流路と、第2流路と、第3流路とが形成された継手であって、
第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第2面に隣接する第3面とを有し、
前記第1流路の入口部と、前記第3流路の出口部とが前記第1面に開口し、
前記第1流路の出口部と、前記第2流路の入口部とが前記第3面に開口し、
前記第2流路の出口部と、前記第3流路の入口部とが前記第2面に開口する、継手。 - 複数の第2流路が形成されており、
前記複数の第2流路のうちの一つの第2流路の入口部が前記第3面に開口し、前記一つの第2流路の出口部が前記第2面に開口する、請求項1に記載の継手。 - 前記第1流路、前記第2流路、および前記第3流路の順に流体が流れるように流体制御装置に装着される、請求項1に記載の継手。
- 前記第2面と前記第3面とは面一に構成されている、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の継手。
- 前記第3面は、前記第2面に対し直交している、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の継手。
- 前記第3面は、前記第2面に対し傾斜している、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の継手。
- 前記第2面および前記第3面は、段差を形成している請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の継手。
- 複数のガスラインを備え、各ガスラインは、流体を供給する流体供給部と、複数の流体制御機器と、複数の継手とを有し、前記複数の継手の上面に前記複数の流体制御機器を装着することにより、前記複数の流体制御機器同士が接続され、前記流体供給部から前記複数の流体制御機器へ流体が供給される流体制御装置であって、
前記複数の継手のうち最上流側に設けられた継手には、第1流路と、第2流路と、第3流路とが形成され、
前記最上流側に設けられる継手は、第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第2面に隣接する第3面とを有し、
前記第2面には、前記複数の流体制御機器のうちの少なくとも一つの流体制御機器が設置され、前記第3面には、前記複数の流体制御機器のうちの少なくとも一つの流体制御機器が設置され、
前記第1流路の入口部と、前記第3流路の出口部とが前記第1面に開口し、
前記第1流路の出口部と、前記第2流路の入口部とが前記第3面に開口し、
前記第2流路の出口部と、前記第3流路の入口部とが前記第2面に開口し、
前記第1の流路の入口部には、前記流体供給部が接続され、
前記第1流路の出口部と前記第2流路の入口部とは、前記第3面に設置された前記少なくとも一つの流体制御機器の流路に接続され、
前記第2流路の出口部と前記第3流路の入口部とは、前記第2面に設置された前記少なくとも一つの流体制御機器の流路に接続され、
前記第3流路の出口部には、前記複数の継手のうちの一つの継手の流路が接続され、
前記第1流路、前記第2流路、および前記第3流路の順に流体が流れる、流体制御装置。 - 前記継手には、複数の第2流路が形成されており、
前記複数の第2流路のうちの一つの第2流路の入口部が前記第3面に開口し、前記一つの第2流路の出口部が前記第2面に開口する、請求項8に記載の流体制御装置。 - 前記第2面と前記第3面とは面一に構成されている、請求項8または請求項9に記載の流体制御装置。
- 前記第3面は、前記第2面に対し直交している、請求項8または請求項9に記載の流体制御装置。
- 前記第3面は、前記第2面に対し傾斜している、請求項8または請求項9に記載の流体制御装置。
- 前記第2面および前記第3面は、段差を形成している請求項8または請求項9に記載の継手。
- 既存の流体制御装置に設置している流体制御機器の一部に別の流体制御機器を追加するための継手であって、
既存の流体制御機器と連通していた流体入口および流体出口に接続される入口流路及び出口流路と、
前記既存の流体制御機器および追加する流体制御機器が配置される面と、を有し
前記入口流路は、前記既存の流体制御機器および前記追加する流体制御機器の一方の流入路に連通し、前記出口流路は、前記既存の流体制御機器および前記追加する流体制御機器の他方の流出路に連通する継手。 - 前記入口流路が前記既存の流体制御機器の前記流入路に連通し、前記出口流路が前記追加する流体制御機器の前記流出路に連通する場合、前記既存の流体制御機器の前記流出路は前記追加する流体制御機器の前記流入路に連通し、
前記入口流路が前記追加する流体制御機器の前記流入路に連通し、前記出口流路が前記既存の流体制御機器の前記流出路に連通する場合、前記追加する流体制御機器の前記流出路は前記既存の流体制御機器の前記流入路に連通する請求項14に記載の継手。 - 前記既存の流体制御機器の代わりに、別の流体制御機器を設置することを可能とする請求項14または請求項15に記載の継手。
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JPH1026300A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-01-27 | Ckd Corp | ガス供給ユニット |
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2015
- 2015-03-18 JP JP2015054287A patent/JP6632804B2/ja active Active
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