JP2002206700A - 流体制御装置 - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B1/00—Installations or systems with accumulators; Supply reservoir or sump assemblies
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/30—Dovetail-like connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/40—Clamping arrangements where clamping parts are received in recesses of elements to be connected
- F16B2200/403—Threaded clamping parts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T137/00—Fluid handling
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- Y10T137/87885—Sectional block structure
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- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 組立てが容易で、しかも、ラインの増設・変
更に容易に対応できる流体制御装置を提供する。 【解決手段】 基板1に、各ラインA,B,Cに対応するレー
ル20が並列状に設けられ、継手部材21,22が、対応する
レール20に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材
21,22にまたがって流体制御機器3,4,5,6,7,8,9,10,11,1
2,13,14が取り付けられている 。
更に容易に対応できる流体制御装置を提供する。 【解決手段】 基板1に、各ラインA,B,Cに対応するレー
ル20が並列状に設けられ、継手部材21,22が、対応する
レール20に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材
21,22にまたがって流体制御機器3,4,5,6,7,8,9,10,11,1
2,13,14が取り付けられている 。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、保守
点検時に流体制御機器を上方に取り出すことができるよ
うに組み立てられた集積化流体制御装置に関する。
に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、保守
点検時に流体制御機器を上方に取り出すことができるよ
うに組み立てられた集積化流体制御装置に関する。
【０００２】この明細書において、前後・上下について
は、図１および図４の右を前、左を後といい、同図の上
下を上下というものとし、左右は、後方に向かっていう
ものとする。この前後・上下は便宜的なもので、前後が
逆になったり、上下が左右になったりして使用されるこ
ともある。
は、図１および図４の右を前、左を後といい、同図の上
下を上下というものとし、左右は、後方に向かっていう
ものとする。この前後・上下は便宜的なもので、前後が
逆になったり、上下が左右になったりして使用されるこ
ともある。
【０００３】
【従来の技術】半導体製造装置に使用される流体制御装
置は、種々の流体制御機器が複数列に配置されるととも
に、隣り合う列の流体制御機器の流路同士が所定箇所に
おいて機器接続手段により接続されることにより構成さ
れているが、近年、この種の流体制御装置では、マスフ
ローコントローラや開閉弁などをチューブを介さずに接
続する集積化が進められている。この流体制御装置は、
１枚の基板に、まず、ブロック状継手などの継手部材を
おねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたが
るようにしてマスフローコントローラ、フィルター、開
閉弁などの流体制御機器を取り付けることにより組み立
てられていた。
置は、種々の流体制御機器が複数列に配置されるととも
に、隣り合う列の流体制御機器の流路同士が所定箇所に
おいて機器接続手段により接続されることにより構成さ
れているが、近年、この種の流体制御装置では、マスフ
ローコントローラや開閉弁などをチューブを介さずに接
続する集積化が進められている。この流体制御装置は、
１枚の基板に、まず、ブロック状継手などの継手部材を
おねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたが
るようにしてマスフローコントローラ、フィルター、開
閉弁などの流体制御機器を取り付けることにより組み立
てられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御装
置によると、個々の流体制御機器は、上方に取り出して
点検・修理・交換が可能であるが、組立て作業に時間が
かかり、また、ラインの増設および変更について十分考
慮されていなかったため、システムの改造が発生した場
合には、すべての部材を基板ごと取り外し、必要な部材
を取り付けた基板に交換することが必要となり、長期間
の装置停止や現地工事工数の増加につながるという問題
があった。
置によると、個々の流体制御機器は、上方に取り出して
点検・修理・交換が可能であるが、組立て作業に時間が
かかり、また、ラインの増設および変更について十分考
慮されていなかったため、システムの改造が発生した場
合には、すべての部材を基板ごと取り外し、必要な部材
を取り付けた基板に交換することが必要となり、長期間
の装置停止や現地工事工数の増加につながるという問題
があった。
【０００５】この発明の目的は、組立てが容易で、しか
も、ラインの増設・変更に容易に対応できる流体制御装
置を提供することにある。
も、ラインの増設・変更に容易に対応できる流体制御装
置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配
された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継
手部材とによって形成され、複数のラインが、その入口
および出口を同じ方向に向けてベース部材上に並列状に
配置されている流体制御装置において、各ラインがそれ
ぞれ１つのライン支持部材に取り付けられており、ライ
ン支持部材が、ラインと直交する方向に摺動可能にベー
ス部材に取り付けられていることを特徴とするものであ
る。
発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配
された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継
手部材とによって形成され、複数のラインが、その入口
および出口を同じ方向に向けてベース部材上に並列状に
配置されている流体制御装置において、各ラインがそれ
ぞれ１つのライン支持部材に取り付けられており、ライ
ン支持部材が、ラインと直交する方向に摺動可能にベー
ス部材に取り付けられていることを特徴とするものであ
る。
【０００７】第１の発明の流体制御装置によると、装置
全体を組み立てる際には、継手部材および流体制御器が
取り付けられたライン支持部材ごとベース部材に取り付
ければよく、組立てが容易にできる。そして、ラインの
変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上方に
取り外した後、変更される旧ラインをライン支持部材ご
と外し、変更されないラインのライン支持部材を必要に
応じて摺動させ、置き換えられるラインのライン支持部
材をベース部材上に取り付け、さらに、変更されないラ
インのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、最
後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよ
く、同様に、ラインを増設する際には、必要に応じて通
路接続手段を上方に取り外した後、既設のラインのライ
ン支持部材を必要に応じて摺動させ、増設すべきライン
のライン支持部材をベース部材上に取り付け、さらに、
既設ラインのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻
し、最後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけ
でよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
全体を組み立てる際には、継手部材および流体制御器が
取り付けられたライン支持部材ごとベース部材に取り付
ければよく、組立てが容易にできる。そして、ラインの
変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上方に
取り外した後、変更される旧ラインをライン支持部材ご
と外し、変更されないラインのライン支持部材を必要に
応じて摺動させ、置き換えられるラインのライン支持部
材をベース部材上に取り付け、さらに、変更されないラ
インのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、最
後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよ
く、同様に、ラインを増設する際には、必要に応じて通
路接続手段を上方に取り外した後、既設のラインのライ
ン支持部材を必要に応じて摺動させ、増設すべきライン
のライン支持部材をベース部材上に取り付け、さらに、
既設ラインのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻
し、最後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけ
でよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
【０００８】ライン支持部材としては、例えば、ライン
方向に長い板材を使用することができ、必要に応じて、
その両端部に、ベース部材への取付けを容易にするため
の折曲げ部が形成される。ライン支持部材として、種々
の形状を有するレールを使用してもよく、この場合に
は、ライン支持部材が、ベース部材に着脱可能に取り付
けられたレールとされるとともに、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられていることが好まし
い。このようにすると、継手部材および流体制御機器を
ライン支持部材に取り付ける際には、継手部材をレール
に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継
手部材にまたがって流体制御器器を取り付ければよく、
各ラインの組立てが容易にできる。また、流体制御機器
を長さが異なるものに置き換える場合には、対象となる
既設の流体制御機器を取り外すとともに、継手部材をレ
ールに沿って所要位置まで移動させ、継手部材をレール
に固定した後、新しい流体制御機器を取り付ければよ
い。既設ラインに新たに流体制御機器および継手部材を
追加する場合も同様にできる。こうして、ラインの変更
・追加も容易にできる。
方向に長い板材を使用することができ、必要に応じて、
その両端部に、ベース部材への取付けを容易にするため
の折曲げ部が形成される。ライン支持部材として、種々
の形状を有するレールを使用してもよく、この場合に
は、ライン支持部材が、ベース部材に着脱可能に取り付
けられたレールとされるとともに、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられていることが好まし
い。このようにすると、継手部材および流体制御機器を
ライン支持部材に取り付ける際には、継手部材をレール
に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継
手部材にまたがって流体制御器器を取り付ければよく、
各ラインの組立てが容易にできる。また、流体制御機器
を長さが異なるものに置き換える場合には、対象となる
既設の流体制御機器を取り外すとともに、継手部材をレ
ールに沿って所要位置まで移動させ、継手部材をレール
に固定した後、新しい流体制御機器を取り付ければよ
い。既設ラインに新たに流体制御機器および継手部材を
追加する場合も同様にできる。こうして、ラインの変更
・追加も容易にできる。
【０００９】上記第１の発明において、たとえば、レー
ルは、内向きフランジを有する断面Ｕ字状に形成されて
おり、めねじが設けられた摺動部材と継手部材とがおね
じ部材で結合されていることがある。この一例として、
レール内にめねじ付き摺動部材が挿入され、この摺動部
材に継手部材を貫通するおねじ部材がねじ合わされるこ
とにより、摺動部材上面がレールの内向きフランジ下面
に押圧されて継手部材がレールに取り付けられているこ
とがある。
ルは、内向きフランジを有する断面Ｕ字状に形成されて
おり、めねじが設けられた摺動部材と継手部材とがおね
じ部材で結合されていることがある。この一例として、
レール内にめねじ付き摺動部材が挿入され、この摺動部
材に継手部材を貫通するおねじ部材がねじ合わされるこ
とにより、摺動部材上面がレールの内向きフランジ下面
に押圧されて継手部材がレールに取り付けられているこ
とがある。
【００１０】第２の発明による流体制御装置は、１つの
ラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段
に配された複数の継手部材とによって形成され、複数の
ラインが、その入口および出口を同じ方向に向けてベー
ス部材上に並列状に配置されている流体制御装置におい
て、ベース部材に、各ラインに対応する軌道が並列状に
設けられ、各ラインの継手部材が、対応する軌道に摺動
可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたがって流
体制御機器が取り付けられていることを特徴とするもの
である。
ラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段
に配された複数の継手部材とによって形成され、複数の
ラインが、その入口および出口を同じ方向に向けてベー
ス部材上に並列状に配置されている流体制御装置におい
て、ベース部材に、各ラインに対応する軌道が並列状に
設けられ、各ラインの継手部材が、対応する軌道に摺動
可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたがって流
体制御機器が取り付けられていることを特徴とするもの
である。
【００１１】第２の発明の流体制御装置によると、装置
全体を組み立てる際には、継手部材を軌道に沿って摺動
させて所要位置に配置した後、これらの継手部材にまた
がって流体制御機器を取り付ければよく、組立てが容易
にできる。
全体を組み立てる際には、継手部材を軌道に沿って摺動
させて所要位置に配置した後、これらの継手部材にまた
がって流体制御機器を取り付ければよく、組立てが容易
にできる。
【００１２】また、流体制御機器を長さが異なるものに
置き換える場合には、対象となる既設の流体制御機器を
取り外すとともに、継手部材を軌道に沿って所要位置ま
で移動させ、継手部材を軌道に固定した後、新しい流体
制御機器を取り付ければよい。既設ラインに新たに流体
制御機器および継手部材を追加する場合も同様にでき
る。こうして、ラインの変更・追加も容易にできる。
置き換える場合には、対象となる既設の流体制御機器を
取り外すとともに、継手部材を軌道に沿って所要位置ま
で移動させ、継手部材を軌道に固定した後、新しい流体
制御機器を取り付ければよい。既設ラインに新たに流体
制御機器および継手部材を追加する場合も同様にでき
る。こうして、ラインの変更・追加も容易にできる。
【００１３】各継手部材に対応する摺動部材が軌道に配
され、摺動部材と継手部材とが結合されていることが好
ましい。軌道および摺動部材の形状は、摺動部材が軌道
に沿って摺動可能であり、かつ、軌道から容易に外れな
いという条件を満たす範囲で種々変更可能である。例え
ば、軌道は、ベース部材に着脱可能に取り付けられたレ
ールによって形成されていてもよく、また、ベース部材
上面の溝によって形成されていてもよく、前者がより好
ましい。
され、摺動部材と継手部材とが結合されていることが好
ましい。軌道および摺動部材の形状は、摺動部材が軌道
に沿って摺動可能であり、かつ、軌道から容易に外れな
いという条件を満たす範囲で種々変更可能である。例え
ば、軌道は、ベース部材に着脱可能に取り付けられたレ
ールによって形成されていてもよく、また、ベース部材
上面の溝によって形成されていてもよく、前者がより好
ましい。
【００１４】軌道が着脱可能なレールによって形成され
ていると、装置全体を組み立てる際には、継手部材およ
び流体制御機器が取り付けられたレールごとベース部材
に取り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、
ラインの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段
を上方に取り外した後、変更される旧ラインをレールご
と外し、これに置き換えられるラインのレールをベース
部材上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手
段を取り付けるだけでよく、同様に、ラインを増設する
際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取り外した
後、増設すべきラインのレールをベース部材上に取り付
け、最後に、増設後に必要な通路接続手段を取り付ける
だけでよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
ていると、装置全体を組み立てる際には、継手部材およ
び流体制御機器が取り付けられたレールごとベース部材
に取り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、
ラインの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段
を上方に取り外した後、変更される旧ラインをレールご
と外し、これに置き換えられるラインのレールをベース
部材上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手
段を取り付けるだけでよく、同様に、ラインを増設する
際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取り外した
後、増設すべきラインのレールをベース部材上に取り付
け、最後に、増設後に必要な通路接続手段を取り付ける
だけでよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
【００１５】上記第２の発明において、ライン支持部材
または軌道を形成するレールは、内向きフランジを有す
る断面Ｕ字状に形成されていてもよく、外向きフランジ
を有する断面Ｕ字状に形成されていてもよい。また、断
面Ｕ字状のレールに、これを幅方向に分割するＴ字状の
中間壁が付加されていてもよい。溝は、断面が下広がり
の台形状または断面逆Ｔ字状に形成されていることが好
ましい。
または軌道を形成するレールは、内向きフランジを有す
る断面Ｕ字状に形成されていてもよく、外向きフランジ
を有する断面Ｕ字状に形成されていてもよい。また、断
面Ｕ字状のレールに、これを幅方向に分割するＴ字状の
中間壁が付加されていてもよい。溝は、断面が下広がり
の台形状または断面逆Ｔ字状に形成されていることが好
ましい。
【００１６】摺動部材は、おねじ部材によってレールに
取り付けられてもよく、また、摺動部材には、レールに
係合するレール把持爪が設けられてもよい。
取り付けられてもよく、また、摺動部材には、レールに
係合するレール把持爪が設けられてもよい。
【００１７】たとえば、レールは、内向きフランジを有
する断面Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられた
摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合されているこ
とがある。この一例として、レール内にめねじ付き摺動
部材が挿入され、この摺動部材に継手部材を貫通するお
ねじ部材がねじ合わされることにより、摺動部材上面が
レールの内向きフランジ下面に押圧されて継手部材がレ
ールに取り付けられていることがある。また、レールに
代えて、溝によって軌道を形成する際には、溝の開口縁
部に、摺動部材の上方への抜けを防止する抜け止め部が
形成されていることが好ましい。抜け止め部は、溝の形
状を下広がりの台形または逆Ｔ字状とすることにより、
容易に得られる。軌道がレールおよび溝のいずれの場合
でも、おねじを回転させる工具を差し込むための間隙が
流体制御機器間に設けられていることが好ましい。
する断面Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられた
摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合されているこ
とがある。この一例として、レール内にめねじ付き摺動
部材が挿入され、この摺動部材に継手部材を貫通するお
ねじ部材がねじ合わされることにより、摺動部材上面が
レールの内向きフランジ下面に押圧されて継手部材がレ
ールに取り付けられていることがある。また、レールに
代えて、溝によって軌道を形成する際には、溝の開口縁
部に、摺動部材の上方への抜けを防止する抜け止め部が
形成されていることが好ましい。抜け止め部は、溝の形
状を下広がりの台形または逆Ｔ字状とすることにより、
容易に得られる。軌道がレールおよび溝のいずれの場合
でも、おねじを回転させる工具を差し込むための間隙が
流体制御機器間に設けられていることが好ましい。
【００１８】また、レールは、外向きフランジを有する
断面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外
向きフランジに係合するレール把持爪が設けられている
ことがあり、レールは、内向きフランジを有する断面Ｕ
字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向きフ
ランジに係合するレール把持爪が設けられていることが
ある。レール把持爪が設けられた摺動部材は、例えば、
これにめねじが設けられて、継手部材とおねじ部材で結
合され、さらに、所定位置において、レールに固定され
ることが好ましい。
断面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外
向きフランジに係合するレール把持爪が設けられている
ことがあり、レールは、内向きフランジを有する断面Ｕ
字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向きフ
ランジに係合するレール把持爪が設けられていることが
ある。レール把持爪が設けられた摺動部材は、例えば、
これにめねじが設けられて、継手部材とおねじ部材で結
合され、さらに、所定位置において、レールに固定され
ることが好ましい。
【００１９】隣り合うレール同士は、所要位置で連結さ
れていることが好ましい。このようにすると、レール間
隔の変動や各レールのがたつきが防止され、組立て後の
装置が使用しやすいものとなる。
れていることが好ましい。このようにすると、レール間
隔の変動や各レールのがたつきが防止され、組立て後の
装置が使用しやすいものとなる。
【００２０】なお、第１および第２の発明において、ベ
ース部材は、ライン支持部材または軌道を形成するレー
ルを使用して、入口側レール、出口側レールおよび両レ
ール同士を連結する連結部材によって枠状に形成される
ことがある。この場合に、連結部材にもレールが使用さ
れることがある。
ース部材は、ライン支持部材または軌道を形成するレー
ルを使用して、入口側レール、出口側レールおよび両レ
ール同士を連結する連結部材によって枠状に形成される
ことがある。この場合に、連結部材にもレールが使用さ
れることがある。
【００２１】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００２２】図１から図３までは、この発明による流体
制御装置の第１実施形態を示すもので、流体制御装置
は、第１ライン(A)と、第２ライン(B)と、予備ライン
(C)とが板状のベース部材(1)に並列状に配置されて形成
されている。
制御装置の第１実施形態を示すもので、流体制御装置
は、第１ライン(A)と、第２ライン(B)と、予備ライン
(C)とが板状のベース部材(1)に並列状に配置されて形成
されている。
【００２３】第１ライン(A)および第２ライン(B)は、上
段に配されたマスフローコントローラ、開閉弁、プレッ
シャレギュレータ、通路ブロックなどの複数の流体制御
機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)
と、下段に配されて流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)
(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)同士を連通する複数の継手
部材(21)(22)とによって形成されている。下段の継手部
材(21)(22)は、各ライン(A)(B)ごとにレール(20)に取り
付けられており、これらの継手部材(21)(22)にまたがっ
て上段の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(1
1)(12)(13)(14)が取り付けられている。予備ライン(C)
には、レール(20)だけが配されている。
段に配されたマスフローコントローラ、開閉弁、プレッ
シャレギュレータ、通路ブロックなどの複数の流体制御
機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)
と、下段に配されて流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)
(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)同士を連通する複数の継手
部材(21)(22)とによって形成されている。下段の継手部
材(21)(22)は、各ライン(A)(B)ごとにレール(20)に取り
付けられており、これらの継手部材(21)(22)にまたがっ
て上段の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(1
1)(12)(13)(14)が取り付けられている。予備ライン(C)
には、レール(20)だけが配されている。
【００２４】第１ライン(A)の流体制御機器は、マスフ
ローコントローラ(2)と、マスフローコントローラ(2)の
前方（入口側）に設けられた入口側第１開閉弁(3)、入
口側第２開閉弁(4)、逆止弁(5)、横方向連通路ブロック
(6)、圧力センサ(7)，プレッシャレギュレータ(8)、フ
ィルタ(9)および手動弁(10)と、マスフローコントロー
ラ(2)の後方（出口側）に設けられた出口側第１開閉弁
(11)、出口側第２開閉弁(12)、逆止弁(13)および分岐合
流用スルー通路ブロック(14)とであり、第２ライン(B)
の流体制御機器は、マスフローコントローラ(2)と、マ
スフローコントローラ(2)の前方（入口側）に設けられ
た入口側第１開閉弁(3)、入口側第２開閉弁(4)、逆止弁
(5)および横方向連通路ブロック(6)と、マスフローコン
トローラ(2)の後方（出口側）に設けられた出口側第１
開閉弁(11)、出口側第２開閉弁(12)、逆止弁(13)および
分岐合流用スルー通路ブロック(14)とである。
ローコントローラ(2)と、マスフローコントローラ(2)の
前方（入口側）に設けられた入口側第１開閉弁(3)、入
口側第２開閉弁(4)、逆止弁(5)、横方向連通路ブロック
(6)、圧力センサ(7)，プレッシャレギュレータ(8)、フ
ィルタ(9)および手動弁(10)と、マスフローコントロー
ラ(2)の後方（出口側）に設けられた出口側第１開閉弁
(11)、出口側第２開閉弁(12)、逆止弁(13)および分岐合
流用スルー通路ブロック(14)とであり、第２ライン(B)
の流体制御機器は、マスフローコントローラ(2)と、マ
スフローコントローラ(2)の前方（入口側）に設けられ
た入口側第１開閉弁(3)、入口側第２開閉弁(4)、逆止弁
(5)および横方向連通路ブロック(6)と、マスフローコン
トローラ(2)の後方（出口側）に設けられた出口側第１
開閉弁(11)、出口側第２開閉弁(12)、逆止弁(13)および
分岐合流用スルー通路ブロック(14)とである。
【００２５】マスフローコントローラ(2)は、入口側接
続部(2a)および出口側接続部(2b)をその下端部前後面に
有しており、マスフローコントローラ(2)と入口側第１
開閉弁(3)および出口側第１開閉弁(11)とは、それぞれ
これらの下方に配置されたＶ字状通路付きブロック状継
手(21)により連通されている。同じＶ字状通路付きブロ
ック状継手(21)により、他の隣り合う流体制御機器(4)
(6)(7)(8)(9)(10)(12)(14)同士も連通されている。ま
た、入口側の端部に位置する手動弁(10)および出口側の
端部に位置する分岐合流用スルー通路ブロック(14)に
は、外部との接続用継手(22)が設けられている。
続部(2a)および出口側接続部(2b)をその下端部前後面に
有しており、マスフローコントローラ(2)と入口側第１
開閉弁(3)および出口側第１開閉弁(11)とは、それぞれ
これらの下方に配置されたＶ字状通路付きブロック状継
手(21)により連通されている。同じＶ字状通路付きブロ
ック状継手(21)により、他の隣り合う流体制御機器(4)
(6)(7)(8)(9)(10)(12)(14)同士も連通されている。ま
た、入口側の端部に位置する手動弁(10)および出口側の
端部に位置する分岐合流用スルー通路ブロック(14)に
は、外部との接続用継手(22)が設けられている。
【００２６】レール(20)は、前後端部に貫通孔を有して
おり、この貫通孔に通されたおねじ(23)によりベース部
材(1)に固定されている。ブロック状継手(21)および外
部接続用継手(22)の上面には、垂直めねじ部が設けられ
ており、各流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)
(11)(12)(13)(14)は、これを貫通するおねじ(15)が継手
(21)(22)の垂直めねじ部にねじ込まれることにより、継
手(21)(22)に取り付けられている。
おり、この貫通孔に通されたおねじ(23)によりベース部
材(1)に固定されている。ブロック状継手(21)および外
部接続用継手(22)の上面には、垂直めねじ部が設けられ
ており、各流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)
(11)(12)(13)(14)は、これを貫通するおねじ(15)が継手
(21)(22)の垂直めねじ部にねじ込まれることにより、継
手(21)(22)に取り付けられている。
【００２７】図３に示すように、レール(20)は、断面Ｕ
字状に形成されており、外向きのフランジ(20a)および
内向きのフランジ(20b)を有している。このレール(20)
内には、摺動部材(24)が挿入されている。摺動部材(24)
は、金属製で、上からレール(20)内に挿入可能なように
２分割されている。そして、左右の各半体(24a)(24b)
に、それぞれ垂直めねじ部(25)が貫通状に設けられ、継
手(21)(22)を貫通するおねじ(26)がそのめねじ部(25)に
ねじ合わされている。左右の各半体(24a)(24b)の上面に
は、外側が低くなるように段差が設けられており、垂直
めねじ部(25)は、低い方の面に設けられている。摺動部
材(24)は、めねじ部(25)とおねじ(26)とがゆるくねじ合
わされている状態で、摺動は可能であるが、回転は不可
能とされている。そして、この状態から、おねじ(26)を
締め付けていくことにより、摺動部材(24)は、レール(2
0)内を上方に移動し、摺動部材(24)上面の低い方の面が
レール(20)の内向きフランジ(20b)下面に押圧されて継
手(21)(22)がレール(20)に固定されている。継手(21)(2
2)の下面とレール(20)上面との間には、座金(27)が介在
させられており、摺動部材(24)上面の高い方の面がこの
座金(27)の下面に当接している。なお、継手(21)(22)に
設けられているおねじ挿通孔(28)には、段部(28a)が設
けられており、おねじ(26)の軸部に、フランジ(29a)を
上端部に有する円筒状スペーサ(29)が嵌め入れられ、ス
ペーサ(29)のフランジ(29a)とおねじ挿通孔(28)の段部
(28a)との間に、円筒状弾性部材(30)が介在させられて
いる。また、ブロック状継手(21)をレール(20)に取り付
けるおねじ(26)を上方から回転させることができるよう
に、各流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)
(12)(13)(14)間のブロック状継手(21)中央部上方には、
スパナ挿通用の間隙が確保されている。
字状に形成されており、外向きのフランジ(20a)および
内向きのフランジ(20b)を有している。このレール(20)
内には、摺動部材(24)が挿入されている。摺動部材(24)
は、金属製で、上からレール(20)内に挿入可能なように
２分割されている。そして、左右の各半体(24a)(24b)
に、それぞれ垂直めねじ部(25)が貫通状に設けられ、継
手(21)(22)を貫通するおねじ(26)がそのめねじ部(25)に
ねじ合わされている。左右の各半体(24a)(24b)の上面に
は、外側が低くなるように段差が設けられており、垂直
めねじ部(25)は、低い方の面に設けられている。摺動部
材(24)は、めねじ部(25)とおねじ(26)とがゆるくねじ合
わされている状態で、摺動は可能であるが、回転は不可
能とされている。そして、この状態から、おねじ(26)を
締め付けていくことにより、摺動部材(24)は、レール(2
0)内を上方に移動し、摺動部材(24)上面の低い方の面が
レール(20)の内向きフランジ(20b)下面に押圧されて継
手(21)(22)がレール(20)に固定されている。継手(21)(2
2)の下面とレール(20)上面との間には、座金(27)が介在
させられており、摺動部材(24)上面の高い方の面がこの
座金(27)の下面に当接している。なお、継手(21)(22)に
設けられているおねじ挿通孔(28)には、段部(28a)が設
けられており、おねじ(26)の軸部に、フランジ(29a)を
上端部に有する円筒状スペーサ(29)が嵌め入れられ、ス
ペーサ(29)のフランジ(29a)とおねじ挿通孔(28)の段部
(28a)との間に、円筒状弾性部材(30)が介在させられて
いる。また、ブロック状継手(21)をレール(20)に取り付
けるおねじ(26)を上方から回転させることができるよう
に、各流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)
(12)(13)(14)間のブロック状継手(21)中央部上方には、
スパナ挿通用の間隙が確保されている。
【００２８】なお、上記の実施形態において、摺動部材
(24)は、２つに分割せずに、一体であってもよく、この
場合には、摺動部材(24)は、レール(20)の前後いずれか
一方の端からレール(20)内に挿入される。
(24)は、２つに分割せずに、一体であってもよく、この
場合には、摺動部材(24)は、レール(20)の前後いずれか
一方の端からレール(20)内に挿入される。
【００２９】また、レールの形状は、特に限定されるも
のではなく、種々の変更が可能である。その一例を図４
に示す。同図に示す第２実施形態において、レール(40)
は、開口を上に向けた断面Ｅ字状、すなわち、断面Ｕ字
状で内向きのフランジ(41a)を有するレール本体(41)の
左右の中央に、これを幅方向に分割するＴ字状の中間壁
(42)が付加された形状とされてもよい。この場合には、
摺動部材(43)は、直方体状で、左右一対とされ、上記第
１実施形態と同様に、おねじ部材(26)がねじ込まれるこ
とにより、上方に移動してレール(40)に固定される。
のではなく、種々の変更が可能である。その一例を図４
に示す。同図に示す第２実施形態において、レール(40)
は、開口を上に向けた断面Ｅ字状、すなわち、断面Ｕ字
状で内向きのフランジ(41a)を有するレール本体(41)の
左右の中央に、これを幅方向に分割するＴ字状の中間壁
(42)が付加された形状とされてもよい。この場合には、
摺動部材(43)は、直方体状で、左右一対とされ、上記第
１実施形態と同様に、おねじ部材(26)がねじ込まれるこ
とにより、上方に移動してレール(40)に固定される。
【００３０】レール(20)(40)は、各ライン(A)(B)(C)に
その継手部材を摺動させるための軌道を与えるものであ
り、これらのレール(20)(40)に代えて、図５に示すよう
に、ベース部材(1)の上面に、摺動部材(52)(54)を案内
する溝(51)(53)を設け、これらの溝(51)(53)によって軌
道を形成するようにしてもよい。図５（ａ）（ｂ）に示
す第３実施形態において、（ａ）の溝(51)は、あり溝す
なわち断面が下広がりの台形状であり、（ｂ）に示す溝
(53)は内部拡大溝すなわち断面逆Ｔ字状の溝である。
（ａ）の場合、摺動部材(52)は、断面が下広がりの台形
とされたブロックとされ、（ｂ）の場合、摺動部材(54)
は、内部拡大溝(53)の拡大された部分に収まる直方体状
ブロックとされる。（ａ）（ｂ）いずれの場合でも、摺
動部材(52)(54)は、おねじ部材(26)がねじ込まれること
により上方に移動し、溝(51)(53)の開口縁部に押圧され
る。
その継手部材を摺動させるための軌道を与えるものであ
り、これらのレール(20)(40)に代えて、図５に示すよう
に、ベース部材(1)の上面に、摺動部材(52)(54)を案内
する溝(51)(53)を設け、これらの溝(51)(53)によって軌
道を形成するようにしてもよい。図５（ａ）（ｂ）に示
す第３実施形態において、（ａ）の溝(51)は、あり溝す
なわち断面が下広がりの台形状であり、（ｂ）に示す溝
(53)は内部拡大溝すなわち断面逆Ｔ字状の溝である。
（ａ）の場合、摺動部材(52)は、断面が下広がりの台形
とされたブロックとされ、（ｂ）の場合、摺動部材(54)
は、内部拡大溝(53)の拡大された部分に収まる直方体状
ブロックとされる。（ａ）（ｂ）いずれの場合でも、摺
動部材(52)(54)は、おねじ部材(26)がねじ込まれること
により上方に移動し、溝(51)(53)の開口縁部に押圧され
る。
【００３１】上記の第１から第３までの実施形態の流体
制御装置によると、装置全体を組み立てる際には、継手
部材(21)(22)を軌道（レール(20)(40)または溝(51)(5
3)）に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これら
の継手部材(21)(22)(61)(62)にまたがって流体制御機器
(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)を取り
付ければよく、組立てが容易にできる。
制御装置によると、装置全体を組み立てる際には、継手
部材(21)(22)を軌道（レール(20)(40)または溝(51)(5
3)）に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これら
の継手部材(21)(22)(61)(62)にまたがって流体制御機器
(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)を取り
付ければよく、組立てが容易にできる。
【００３２】そして、例えば、第２ライン(B)を第１ラ
イン(A)と同じ構成とする場合には、追加すべき流体制
御機器(7)(8)(9)(10)を接続するのに必要な継手(21)(2
2)を軌道(20)(40)(51)(53)の前端から装着して、軌道に
沿って所定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体
制御機器を取り付ければよい。この際、第１および第２
実施形態のものでは、軌道上方からの装着も可能であ
る。そして、例えば、マスフローコントローラ(2)を前
後長さが異なるものに変更する場合には、流体制御機器
(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)を取り外
すことなく、継手部材(21)(22)を緩めて、軌道(20)(40)
(51)(53)に沿って所要位置まで摺動させた後、これらを
軌道に固定し、再び、流体制御機器を取り付ければよ
い。この作業中既設ラインの継手部材は、軌道に取り付
けられたままであり、これらが落下したり紛失したりす
ることが防止される。各流体制御機器間に新たな機器を
挿入する場合も、マスフローコントローラ(2)の交換と
同様の手順で行うことができる。こうして、ラインの変
更も容易にできる。
イン(A)と同じ構成とする場合には、追加すべき流体制
御機器(7)(8)(9)(10)を接続するのに必要な継手(21)(2
2)を軌道(20)(40)(51)(53)の前端から装着して、軌道に
沿って所定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体
制御機器を取り付ければよい。この際、第１および第２
実施形態のものでは、軌道上方からの装着も可能であ
る。そして、例えば、マスフローコントローラ(2)を前
後長さが異なるものに変更する場合には、流体制御機器
(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)を取り外
すことなく、継手部材(21)(22)を緩めて、軌道(20)(40)
(51)(53)に沿って所要位置まで摺動させた後、これらを
軌道に固定し、再び、流体制御機器を取り付ければよ
い。この作業中既設ラインの継手部材は、軌道に取り付
けられたままであり、これらが落下したり紛失したりす
ることが防止される。各流体制御機器間に新たな機器を
挿入する場合も、マスフローコントローラ(2)の交換と
同様の手順で行うことができる。こうして、ラインの変
更も容易にできる。
【００３３】図６から図８までは、この発明による流体
制御装置の第４実施形態を示すもので、第１ライン
(A)、第２ライン(B)および予備ライン(C)がベース部材
(1)に並列状に配置されて形成されていることと、第１
および第２ライン(A)の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)
(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)の構成とは、第１実施
形態のものと同じである。以下の説明においては、同じ
構成には同じ符号を付して説明を省略する。
制御装置の第４実施形態を示すもので、第１ライン
(A)、第２ライン(B)および予備ライン(C)がベース部材
(1)に並列状に配置されて形成されていることと、第１
および第２ライン(A)の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)
(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14)の構成とは、第１実施
形態のものと同じである。以下の説明においては、同じ
構成には同じ符号を付して説明を省略する。
【００３４】図６において、下段のブロック状継手(61)
および外部接続用継手(62)は、その形状が第１実施形態
のものから若干変更されるとともに、各継手(61)(62)の
下端には、図８に詳しく示すように、レール把持爪(64)
を有する合成樹脂製摺動部材(63)がねじ(65)により固定
されている。レール(60)は、断面Ｕ字状に形成されてお
り、外向きのフランジ(60a)のみを有し、内向きのフラ
ンジは有していない。摺動部材(63)は、逆Ｕ字状で、そ
の下端部に、レール(60)の外向きフランジ(60a)に係合
する内向きのレール把持爪(64)が設けられている。レー
ル把持爪(64)は、左右に開くことが可能な程度の弾性を
付与されている。こうして、各継手(61)(62)は、レール
(60)に沿って摺動可能とされるとともに、通常時は上方
に外れずかつ強制的に上方へ取外し可能とされている。
なお、組立て後の各継手(61)(62)の前後移動を防止する
ため、入口および出口の外部接続用継手(62)とマスフロ
ーコントローラ(2)の入口側継手(61A)とに設けられた摺
動部材(63)は、レール(60)に固定されている。
および外部接続用継手(62)は、その形状が第１実施形態
のものから若干変更されるとともに、各継手(61)(62)の
下端には、図８に詳しく示すように、レール把持爪(64)
を有する合成樹脂製摺動部材(63)がねじ(65)により固定
されている。レール(60)は、断面Ｕ字状に形成されてお
り、外向きのフランジ(60a)のみを有し、内向きのフラ
ンジは有していない。摺動部材(63)は、逆Ｕ字状で、そ
の下端部に、レール(60)の外向きフランジ(60a)に係合
する内向きのレール把持爪(64)が設けられている。レー
ル把持爪(64)は、左右に開くことが可能な程度の弾性を
付与されている。こうして、各継手(61)(62)は、レール
(60)に沿って摺動可能とされるとともに、通常時は上方
に外れずかつ強制的に上方へ取外し可能とされている。
なお、組立て後の各継手(61)(62)の前後移動を防止する
ため、入口および出口の外部接続用継手(62)とマスフロ
ーコントローラ(2)の入口側継手(61A)とに設けられた摺
動部材(63)は、レール(60)に固定されている。
【００３５】この第４実施形態のものでは、図７に示す
ように、３つのレール(60)同士がその前後端部におい
て、連結部材(66)によって連結されている。これによ
り、レール(60)間隔の変動や各レール(60)のがたつきが
防止されるとともに、レール(60)からの機器の脱落が防
止されている。
ように、３つのレール(60)同士がその前後端部におい
て、連結部材(66)によって連結されている。これによ
り、レール(60)間隔の変動や各レール(60)のがたつきが
防止されるとともに、レール(60)からの機器の脱落が防
止されている。
【００３６】上記第４実施形態において、レール(60)の
形状は、特に限定されるものではなく、種々の変更が可
能である。例えば、レール(60)は、第１実施形態とは異
なる形状とされているが、同じレール(20)を使用するこ
とももちろん可能である。また、レール(70)および摺動
部材(71)の形状を図９に示すようにしてもよい。
形状は、特に限定されるものではなく、種々の変更が可
能である。例えば、レール(60)は、第１実施形態とは異
なる形状とされているが、同じレール(20)を使用するこ
とももちろん可能である。また、レール(70)および摺動
部材(71)の形状を図９に示すようにしてもよい。
【００３７】図９に示す第５実施形態において、レール
(70)は、断面Ｕ字状に形成されており、内向きのフラン
ジ(70a)のみを有し、外向きのフランジは有していな
い。摺動部材(71)には、レール(70)の内向きフランジ(7
0a)に係合する外向きのレール把持爪(72)が設けられて
いる。レール把持爪(72)は、左右方向内向きに変形させ
ることが可能な程度の弾性を付与されている。こうし
て、各継手(61)(62)は、レール(70)に沿って摺動可能と
されるとともに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上
方へ取外し可能とされている。
(70)は、断面Ｕ字状に形成されており、内向きのフラン
ジ(70a)のみを有し、外向きのフランジは有していな
い。摺動部材(71)には、レール(70)の内向きフランジ(7
0a)に係合する外向きのレール把持爪(72)が設けられて
いる。レール把持爪(72)は、左右方向内向きに変形させ
ることが可能な程度の弾性を付与されている。こうし
て、各継手(61)(62)は、レール(70)に沿って摺動可能と
されるとともに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上
方へ取外し可能とされている。
【００３８】第４および第５実施形態では、摺動部材(6
3)(71)は合成樹脂製であったが、左右に開くことが可能
な程度の弾性を付与された金属製のものに代えてももち
ろんよい。
3)(71)は合成樹脂製であったが、左右に開くことが可能
な程度の弾性を付与された金属製のものに代えてももち
ろんよい。
【００３９】また、摺動部材を金属製として、図１０に
示す形態（第６実施形態）としてもよい。同図におい
て、レール(60)および継手(61)(61A)(62)は第４実施形
態と同じものが使用され、摺動部材(81)は、逆Ｕ字状
で、その下端部に、内向きのレール把持爪(82)が設けら
れている。この摺動部材(81)は、レール(60)の前後いず
れかの端から装着されて所要位置まで移動させられて固
定される。固定には、おねじ部材(26)が使用され、摺動
部材(81)を貫通する垂直めねじ部におねじ部材(26)をね
じ合わせて、座金(83)を介してレール(60)の外向きフラ
ンジ(60a)に締め付けることにより、継手(61)(61A)(62)
の移動が阻止される。継手(61)(61A)(62)に設けられる
おねじ挿通孔(28)には、第１実施形態のものと同じく、
段部(28a)が設けられるが、スペーサ(29)および弾性部
材(30)は、使用されない。
示す形態（第６実施形態）としてもよい。同図におい
て、レール(60)および継手(61)(61A)(62)は第４実施形
態と同じものが使用され、摺動部材(81)は、逆Ｕ字状
で、その下端部に、内向きのレール把持爪(82)が設けら
れている。この摺動部材(81)は、レール(60)の前後いず
れかの端から装着されて所要位置まで移動させられて固
定される。固定には、おねじ部材(26)が使用され、摺動
部材(81)を貫通する垂直めねじ部におねじ部材(26)をね
じ合わせて、座金(83)を介してレール(60)の外向きフラ
ンジ(60a)に締め付けることにより、継手(61)(61A)(62)
の移動が阻止される。継手(61)(61A)(62)に設けられる
おねじ挿通孔(28)には、第１実施形態のものと同じく、
段部(28a)が設けられるが、スペーサ(29)および弾性部
材(30)は、使用されない。
【００４０】この第６実施形態の摺動部材(81)は、第４
実施形態の摺動部材(63)と併用することが可能である。
すなわち、入口および出口の外部接続用継手(62)とマス
フローコントローラ(2)の入口側継手(61A)とに設けられ
るものを第６実施形態の摺動部材(81)とし、残りのもの
を第４実施形態の摺動部材(63)とすると、組立て後の各
継手(61)(62)の前後移動が防止され、しかも、第４実施
形態の摺動部材(63)が取り付けられた継手(61)は、レー
ル(60)の端まで移動させなくても、上方に取り出すこと
ができ、ラインの変更・増設時の作業がしやすいものと
なる。
実施形態の摺動部材(63)と併用することが可能である。
すなわち、入口および出口の外部接続用継手(62)とマス
フローコントローラ(2)の入口側継手(61A)とに設けられ
るものを第６実施形態の摺動部材(81)とし、残りのもの
を第４実施形態の摺動部材(63)とすると、組立て後の各
継手(61)(62)の前後移動が防止され、しかも、第４実施
形態の摺動部材(63)が取り付けられた継手(61)は、レー
ル(60)の端まで移動させなくても、上方に取り出すこと
ができ、ラインの変更・増設時の作業がしやすいものと
なる。
【００４１】第４から第６までの実施形態の流体制御装
置によると、装置全体を組み立てる際には、継手部材(6
1)(62)を軌道（レール(60)(70)）に沿って摺動させて所
要位置に配置した後、これらの継手部材(61)(62)にまた
がって流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)
(12)(13)(14)を取り付ければよく、組立てが容易にでき
る。
置によると、装置全体を組み立てる際には、継手部材(6
1)(62)を軌道（レール(60)(70)）に沿って摺動させて所
要位置に配置した後、これらの継手部材(61)(62)にまた
がって流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)
(12)(13)(14)を取り付ければよく、組立てが容易にでき
る。
【００４２】そして、例えば、第２ライン(B)を第１ラ
イン(A)と同じ構成とする場合には、追加すべき流体制
御機器(7)(8)(9)(10)を接続するのに必要な継手(61)(6
2)を軌道(60)(70)の前端から装着して、軌道に沿って所
定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体制御機器
を取り付ければよい。この際、第４および第５実施形態
のものでは、摺動部材(63)(71)を軌道上方から装着する
ことも可能である。そして、各流体制御機器間に新たな
機器を挿入する場合も、同様であり、ラインの変更が容
易にできる。
イン(A)と同じ構成とする場合には、追加すべき流体制
御機器(7)(8)(9)(10)を接続するのに必要な継手(61)(6
2)を軌道(60)(70)の前端から装着して、軌道に沿って所
定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体制御機器
を取り付ければよい。この際、第４および第５実施形態
のものでは、摺動部材(63)(71)を軌道上方から装着する
ことも可能である。そして、各流体制御機器間に新たな
機器を挿入する場合も、同様であり、ラインの変更が容
易にできる。
【００４３】なお、第１、第２、第４、第５および第６
の実施形態では、軌道がベース部材に着脱可能に取り付
けられたレール(20)(40)(60)(70)によって形成されてい
るので、装置全体を組み立てる際には、継手部材(21)(2
2)(61)(62)および流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)
(9)(10)(11)(12)(13)(14)が取り付けられたレールごと
ベース部材(1)に取り付ければよく、組立てが容易にで
きる。そして、ラインの変更を行う際には、必要に応じ
て通路接続手段を上方に取り外した後、変更される旧ラ
インをレールごと外し、これに置き換えられるラインの
レールをベース部材上に取り付け、最後に、変更後に必
要な通路接続手段を取り付けるという手順でも行うこと
ができる。同様に、ラインを増設する際には、必要に応
じて通路接続手段を上方に取り外した後、増設すべきラ
インをレールごとベース部材上に取り付け、最後に、増
設後に必要な通路接続手段を取り付けるだけでよく、ラ
インの増設および変更が容易に行える。
の実施形態では、軌道がベース部材に着脱可能に取り付
けられたレール(20)(40)(60)(70)によって形成されてい
るので、装置全体を組み立てる際には、継手部材(21)(2
2)(61)(62)および流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)
(9)(10)(11)(12)(13)(14)が取り付けられたレールごと
ベース部材(1)に取り付ければよく、組立てが容易にで
きる。そして、ラインの変更を行う際には、必要に応じ
て通路接続手段を上方に取り外した後、変更される旧ラ
インをレールごと外し、これに置き換えられるラインの
レールをベース部材上に取り付け、最後に、変更後に必
要な通路接続手段を取り付けるという手順でも行うこと
ができる。同様に、ラインを増設する際には、必要に応
じて通路接続手段を上方に取り外した後、増設すべきラ
インをレールごとベース部材上に取り付け、最後に、増
設後に必要な通路接続手段を取り付けるだけでよく、ラ
インの増設および変更が容易に行える。
【００４４】なお、上記実施形態では、ベース部材(1)
が板状とされているが、図１１から図１３までに示すよ
うに、ベース部材は、枠状としてもよい。
が板状とされているが、図１１から図１３までに示すよ
うに、ベース部材は、枠状としてもよい。
【００４５】同図に示す第７実施形態において、ベース
部材(91)は、入口側レール(92)と、出口側レール(93)
と、両レール(92)(93)同士を連結する連結部材(94)と、
両レール(92)(93)間の中間に設けられた中間レール(95)
とよりなる。そして、下段の継手部材(21)(22)が各ライ
ン(A)(B)ごとにライン支持用のレール(96)に取り付けら
れており、これらの継手部材(21)(22)にまたがって上段
の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)
(13)(14)が取り付けられている。
部材(91)は、入口側レール(92)と、出口側レール(93)
と、両レール(92)(93)同士を連結する連結部材(94)と、
両レール(92)(93)間の中間に設けられた中間レール(95)
とよりなる。そして、下段の継手部材(21)(22)が各ライ
ン(A)(B)ごとにライン支持用のレール(96)に取り付けら
れており、これらの継手部材(21)(22)にまたがって上段
の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)
(13)(14)が取り付けられている。
【００４６】この実施形態のライン支持用のレール(96)
は、図１３に示すように、１つのライン(A)(B)に対して
それぞれ１つ溝タイプの型材(97)が２つ並列に配置され
ることにより形成されている。各型材(97)は、それぞれ
内向きフランジ(97a)を有しており、その内部に形成さ
れた溝(97b)は、断面が下狭まりの台形状とされてい
る。そして、これに対応して、摺動部材(98)の断面形状
も下狭まりの台形状とされている。摺動部材(98)には、
垂直めねじ部(99)が設けられており、このめねじ部(25)
に継手(21)(22)を貫通するおねじ(26)がねじ合わされて
いる。ここで、摺動部材(98)の軸方向長さは、型材(97)
の内向きフランジ(97a)の先端間距離よりも小さくなさ
れており、図１４に示すように、おねじ(26)にねじ合わ
された摺動部材(98)を図１３の状態から９０°回転させ
た形にして溝(97b)内に嵌め入れ（二点鎖線で示された
状態）、その後、摺動部材(98)を９０°回転させること
により（実線および破線で示された状態）、摺動部材(9
8)の仮止めができるようになっている。
は、図１３に示すように、１つのライン(A)(B)に対して
それぞれ１つ溝タイプの型材(97)が２つ並列に配置され
ることにより形成されている。各型材(97)は、それぞれ
内向きフランジ(97a)を有しており、その内部に形成さ
れた溝(97b)は、断面が下狭まりの台形状とされてい
る。そして、これに対応して、摺動部材(98)の断面形状
も下狭まりの台形状とされている。摺動部材(98)には、
垂直めねじ部(99)が設けられており、このめねじ部(25)
に継手(21)(22)を貫通するおねじ(26)がねじ合わされて
いる。ここで、摺動部材(98)の軸方向長さは、型材(97)
の内向きフランジ(97a)の先端間距離よりも小さくなさ
れており、図１４に示すように、おねじ(26)にねじ合わ
された摺動部材(98)を図１３の状態から９０°回転させ
た形にして溝(97b)内に嵌め入れ（二点鎖線で示された
状態）、その後、摺動部材(98)を９０°回転させること
により（実線および破線で示された状態）、摺動部材(9
8)の仮止めができるようになっている。
【００４７】入口側レール(92)、出口側レール(93)およ
び中間レール(95)は、上述した１つ溝タイプの型材(97)
２つを一体化した形状とされた２つ溝タイプの型材をそ
のまま使用したものである。また、入口側レール(92)と
出口側レール(93)とを連結している連結部材(94)とし
て、ライン支持用のレール(96)を形成しているのと同じ
１つ溝タイプの型材(97)が使用されている。
び中間レール(95)は、上述した１つ溝タイプの型材(97)
２つを一体化した形状とされた２つ溝タイプの型材をそ
のまま使用したものである。また、入口側レール(92)と
出口側レール(93)とを連結している連結部材(94)とし
て、ライン支持用のレール(96)を形成しているのと同じ
１つ溝タイプの型材(97)が使用されている。
【００４８】ライン支持用のレール(96)は、継手部材(2
1)(22)をこれに取り付けるのと同じ構成により、入口側
レール(92)および出口側レール(93)に取り付けられてい
る。すなわち、ライン支持用のレール(96)の前後両端部
には、座ぐりが設けられて、ここから挿通されたおねじ
部材(100)が入口側および出口側レール(92)(93)内に配
された摺動部材(98)にねじ合わされている。これによ
り、各ライン支持用のレール(96)は、ライン（前後方
向）と直交する方向（左右方向）に摺動可能とされてい
る。
1)(22)をこれに取り付けるのと同じ構成により、入口側
レール(92)および出口側レール(93)に取り付けられてい
る。すなわち、ライン支持用のレール(96)の前後両端部
には、座ぐりが設けられて、ここから挿通されたおねじ
部材(100)が入口側および出口側レール(92)(93)内に配
された摺動部材(98)にねじ合わされている。これによ
り、各ライン支持用のレール(96)は、ライン（前後方
向）と直交する方向（左右方向）に摺動可能とされてい
る。
【００４９】連結部材(94)と入口側レール(92)、出口側
レール(93)および中間レール(95)とも同じ構成により、
連結部材(94)が摺動可能なようにレール(92)(93)(95)に
取り付けられている。
レール(93)および中間レール(95)とも同じ構成により、
連結部材(94)が摺動可能なようにレール(92)(93)(95)に
取り付けられている。
【００５０】上記第７実施形態の変形例を図１５および
図１６に示す。同図に示す第８実施形態において、１つ
のライン支持用のレール(101)は、１つ溝タイプの型材
(97)２つを一体化した形状とされた２つ溝タイプの型材
によって形成されている。レール(101)内部には、断面
が下狭まりの台形状である溝(101a)が２つ形成されてい
る。そして、これに対応して、摺動部材(102)の断面形
状も下狭まりの台形状とされている。摺動部材(102)に
は、ばね(104)で下向きに付勢されたプランジャー(103)
が内蔵されており、このプランジャー（103）が溝(101
a)の底面に当たることにより、摺動部材(102)が上向き
に押されるようになされている。したがって、おねじ(2
6)を摺動部材(102)の垂直めねじ部(105)にねじ合わせる
前の段階で、摺動部材(102)の仮止めが行われる。
図１６に示す。同図に示す第８実施形態において、１つ
のライン支持用のレール(101)は、１つ溝タイプの型材
(97)２つを一体化した形状とされた２つ溝タイプの型材
によって形成されている。レール(101)内部には、断面
が下狭まりの台形状である溝(101a)が２つ形成されてい
る。そして、これに対応して、摺動部材(102)の断面形
状も下狭まりの台形状とされている。摺動部材(102)に
は、ばね(104)で下向きに付勢されたプランジャー(103)
が内蔵されており、このプランジャー（103）が溝(101
a)の底面に当たることにより、摺動部材(102)が上向き
に押されるようになされている。したがって、おねじ(2
6)を摺動部材(102)の垂直めねじ部(105)にねじ合わせる
前の段階で、摺動部材(102)の仮止めが行われる。
【００５１】第７および第８実施形態のものでは、ライ
ンの変更や増設を行う際には、既設ライン(A)(B)のライ
ン支持用レール(96)(101)を必要に応じて摺動させ、置
き換えまたは追加されるラインのレールをベース部材(9
1)上に取り付け、この後、既設ライン(A)(B)のライン支
持用レール(96)(101)を摺動させて適正位置に戻すこと
が可能となり、ラインの増設および変更がさらに容易に
行える。
ンの変更や増設を行う際には、既設ライン(A)(B)のライ
ン支持用レール(96)(101)を必要に応じて摺動させ、置
き換えまたは追加されるラインのレールをベース部材(9
1)上に取り付け、この後、既設ライン(A)(B)のライン支
持用レール(96)(101)を摺動させて適正位置に戻すこと
が可能となり、ラインの増設および変更がさらに容易に
行える。
【００５２】図１７は、第９実施形態を示す。同図にお
いて、１つのライン支持用のレール(111)は、２つ溝タ
イプの型材によって形成されている。レール(111)内部
には、上向きに開口しかつ内部の断面形状が下狭まりの
台形状である内部拡大溝(111a)が２つ形成されている。
レール(111)には、さらに、その両外側面に、長さ方向
（前後方向）にのびる溝(111b)が設けられている。そし
て、摺動部材(112)は、金属製でかつ外づかみタイプと
されている。すなわち、摺動部材(112)が、頂壁(112a)
および前後垂直壁(112b)を有する逆Ｕ字状とされ、摺動
部材(112)は、その両垂直壁(112b)がレール(111)の両外
側面を挟むことにより、レール(111)に取り付けられて
いる。摺動部材(112)の両垂直壁(112b)は、前後の中間
部分が切り欠かれることにより、左右方向の弾性が大き
くなるようになされており、また、その高さの中間部分
が内方に屈曲されることにより、内向きの突起(113)が
形成されている。そして、摺動部材(112)の垂直壁(112
b)の突起(113)がレール(111)外側面の溝(111b)に嵌まり
合うことにより、摺動部材(112)が長さ方向にのみ移動
可能なようになされている。レール(111)の上面と摺動
部材(112)の頂壁(112b)との間には、板状のスペーサ(11
4)が介在されており、継手(22)を貫通するおねじ(26)が
さらに摺動部材(112)の頂壁(112b)を貫通し、このおね
じ(26)の先端部がスペーサ(114)に設けられたねじ孔ね
じ込まれることにより、継手(22)と摺動部材(112)とが
一体化されている。
いて、１つのライン支持用のレール(111)は、２つ溝タ
イプの型材によって形成されている。レール(111)内部
には、上向きに開口しかつ内部の断面形状が下狭まりの
台形状である内部拡大溝(111a)が２つ形成されている。
レール(111)には、さらに、その両外側面に、長さ方向
（前後方向）にのびる溝(111b)が設けられている。そし
て、摺動部材(112)は、金属製でかつ外づかみタイプと
されている。すなわち、摺動部材(112)が、頂壁(112a)
および前後垂直壁(112b)を有する逆Ｕ字状とされ、摺動
部材(112)は、その両垂直壁(112b)がレール(111)の両外
側面を挟むことにより、レール(111)に取り付けられて
いる。摺動部材(112)の両垂直壁(112b)は、前後の中間
部分が切り欠かれることにより、左右方向の弾性が大き
くなるようになされており、また、その高さの中間部分
が内方に屈曲されることにより、内向きの突起(113)が
形成されている。そして、摺動部材(112)の垂直壁(112
b)の突起(113)がレール(111)外側面の溝(111b)に嵌まり
合うことにより、摺動部材(112)が長さ方向にのみ移動
可能なようになされている。レール(111)の上面と摺動
部材(112)の頂壁(112b)との間には、板状のスペーサ(11
4)が介在されており、継手(22)を貫通するおねじ(26)が
さらに摺動部材(112)の頂壁(112b)を貫通し、このおね
じ(26)の先端部がスペーサ(114)に設けられたねじ孔ね
じ込まれることにより、継手(22)と摺動部材(112)とが
一体化されている。
【００５３】図１８は、第１０実施形態を示す。同図に
おいて、ライン支持用のレール(111)は、第９実施形態
のものと同一形状であり、摺動部材(122)が金属製で外
づかみタイプである点と、摺動部材(122)が頂壁(122a)
および前後垂直壁(122b)を有する逆Ｕ字状とされてお
り、継手(22)を貫通するおねじ(26)がさらに摺動部材(1
22)の頂壁(122b)を貫通し、このおねじ(26)の先端部が
スペーサ(114)に設けられたねじ孔ねじ込まれることに
より、継手(22)と摺動部材(122)とが一体化されている
点も同じである。そして、この実施形態のものでは、摺
動部材(122)の両垂直壁(122b)には、その高さの中間部
分に内向きに突出する突起(123)が一体に形成されてお
り、この突起が(123)レール(111)外側面の溝(111b)に嵌
まり合うことにより、摺動部材(122)が長さ方向にのみ
移動可能なようになされている。
おいて、ライン支持用のレール(111)は、第９実施形態
のものと同一形状であり、摺動部材(122)が金属製で外
づかみタイプである点と、摺動部材(122)が頂壁(122a)
および前後垂直壁(122b)を有する逆Ｕ字状とされてお
り、継手(22)を貫通するおねじ(26)がさらに摺動部材(1
22)の頂壁(122b)を貫通し、このおねじ(26)の先端部が
スペーサ(114)に設けられたねじ孔ねじ込まれることに
より、継手(22)と摺動部材(122)とが一体化されている
点も同じである。そして、この実施形態のものでは、摺
動部材(122)の両垂直壁(122b)には、その高さの中間部
分に内向きに突出する突起(123)が一体に形成されてお
り、この突起が(123)レール(111)外側面の溝(111b)に嵌
まり合うことにより、摺動部材(122)が長さ方向にのみ
移動可能なようになされている。
【００５４】上記第９および第１０実施形態において、
摺動部材(112)(122)は、金属製でなく、ゴム製や合成樹
脂製であってももちろんよい。ゴム製の場合には、摺動
性を確保するために、非粘着性のゴムとされることが好
ましく、また、金属製の場合であっても、テフロン（登
録商標）加工などの摺動性向上のコーティングを施すこ
とがより好ましい。
摺動部材(112)(122)は、金属製でなく、ゴム製や合成樹
脂製であってももちろんよい。ゴム製の場合には、摺動
性を確保するために、非粘着性のゴムとされることが好
ましく、また、金属製の場合であっても、テフロン（登
録商標）加工などの摺動性向上のコーティングを施すこ
とがより好ましい。
【００５５】図１９は、第１１実施形態を示す。同図に
おいて、ライン支持用のレール(111)は、第９実施形態
のものと同一形状であるが、摺動部材(131)は、レール
(111)の内部拡大溝(111a)に嵌まり合うようになされて
いる。すなわち、摺動部材(131)は、ゴム製であり、継
手(22)の下面に当接する板状部(133)と、板状部(133)下
面に設けられた下方突出部(134)とよりなる。下方突出
部(134)は、内部拡大溝(111a)内に上方に抜けないよう
に嵌め入れられた下端部を有しており、レール(111)の
左右方向に変形しやすいように中空状とされている。レ
ール(111)の上面と摺動部材(131)の板状部(133)との間
に、板状のスペーサ(132)が介在されている。スペーサ
(132)は、摺動部材(112)の下方突出部(134)が上方から
挿通される方形貫通孔(135)と、おねじ(137)を下方から
挿通させる２つの円形貫通孔(136)と、レール(111)内に
摺動自在に嵌め入れられる下方突出部(138)とが設けら
れている。摺動部材131)は、おねじ(137)によりスペー
サ(132)を継手(22)に固定することにより、継手(22)と
一体化されている。なお、摺動部材(131)は、ゴム製で
なく、金属製や合成樹脂製であってももちろんよい。
おいて、ライン支持用のレール(111)は、第９実施形態
のものと同一形状であるが、摺動部材(131)は、レール
(111)の内部拡大溝(111a)に嵌まり合うようになされて
いる。すなわち、摺動部材(131)は、ゴム製であり、継
手(22)の下面に当接する板状部(133)と、板状部(133)下
面に設けられた下方突出部(134)とよりなる。下方突出
部(134)は、内部拡大溝(111a)内に上方に抜けないよう
に嵌め入れられた下端部を有しており、レール(111)の
左右方向に変形しやすいように中空状とされている。レ
ール(111)の上面と摺動部材(131)の板状部(133)との間
に、板状のスペーサ(132)が介在されている。スペーサ
(132)は、摺動部材(112)の下方突出部(134)が上方から
挿通される方形貫通孔(135)と、おねじ(137)を下方から
挿通させる２つの円形貫通孔(136)と、レール(111)内に
摺動自在に嵌め入れられる下方突出部(138)とが設けら
れている。摺動部材131)は、おねじ(137)によりスペー
サ(132)を継手(22)に固定することにより、継手(22)と
一体化されている。なお、摺動部材(131)は、ゴム製で
なく、金属製や合成樹脂製であってももちろんよい。
【００５６】図８に示す第４実施形態、図９に示す第５
実施形態、図１７に示す第９実施形態、図１８に示す第
１０実施形態および図１９に示す第１１実施形態におい
て、摺動部材(63)(71)(112)(122)(131)は、ねじによっ
て固定されていないため可動であり、ねじによってレー
ルに固定されている固定摺動部材（例えば図１５の(10
2)）と併用されることが好ましい。この場合に、可動摺
動部材(63)(71)(112)(122)(131)を有する継手(61)(61A)
(22)は、固定摺動部材(102)を有する継手(22)と可動摺
動部材(63)(71)(112)(122)(131)を有する継手(61)(61A)
(22)とが流体制御機器を介して接続されることにより、
その移動が阻止される。
実施形態、図１７に示す第９実施形態、図１８に示す第
１０実施形態および図１９に示す第１１実施形態におい
て、摺動部材(63)(71)(112)(122)(131)は、ねじによっ
て固定されていないため可動であり、ねじによってレー
ルに固定されている固定摺動部材（例えば図１５の(10
2)）と併用されることが好ましい。この場合に、可動摺
動部材(63)(71)(112)(122)(131)を有する継手(61)(61A)
(22)は、固定摺動部材(102)を有する継手(22)と可動摺
動部材(63)(71)(112)(122)(131)を有する継手(61)(61A)
(22)とが流体制御機器を介して接続されることにより、
その移動が阻止される。
【００５７】第７から第１１までの実施形態のもので
は、ラインの変更や増設を行う際には、既設ライン(A)
(B)のライン支持用レール(96)(101)を必要に応じて摺動
させ、置き換えまたは追加されるラインのレールをベー
ス部材(91)上に取り付け、この後、既設ライン(A)(B)の
ライン支持用レール(96)(101)を摺動させて適正位置に
戻すことが可能となり、ラインの増設および変更がさら
に容易に行える。
は、ラインの変更や増設を行う際には、既設ライン(A)
(B)のライン支持用レール(96)(101)を必要に応じて摺動
させ、置き換えまたは追加されるラインのレールをベー
ス部材(91)上に取り付け、この後、既設ライン(A)(B)の
ライン支持用レール(96)(101)を摺動させて適正位置に
戻すことが可能となり、ラインの増設および変更がさら
に容易に行える。
【００５８】なお、第７から第１１までの実施形態にお
いて、ライン支持用のレール(96)(101)に代えて軌道を
有していない板材を使用した場合でも、ラインの変更や
増設を行う際に、既設ラインのライン支持用板材を必要
に応じて摺動させ、置き換えまたは追加されるラインの
板材をベース部材上に取り付け、この後、既設ラインの
板材を摺動させて適正位置に戻すことが可能となり、ラ
インの増設および変更が容易に行えるという効果を奏し
うる。
いて、ライン支持用のレール(96)(101)に代えて軌道を
有していない板材を使用した場合でも、ラインの変更や
増設を行う際に、既設ラインのライン支持用板材を必要
に応じて摺動させ、置き換えまたは追加されるラインの
板材をベース部材上に取り付け、この後、既設ラインの
板材を摺動させて適正位置に戻すことが可能となり、ラ
インの増設および変更が容易に行えるという効果を奏し
うる。
【図１】この発明による流体制御装置の第１実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】図１のIII-III線に沿う断面図である。
【図４】この発明による流体制御装置の第２実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図５】この発明による流体制御装置の第３実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図６】この発明による流体制御装置の第４実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図７】同平面図である。
【図８】図６のVIII-VIII線に沿う断面図である。
【図９】この発明による流体制御装置の第５実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図１０】この発明による流体制御装置の第６実施形態
の要部を示す断面図である。
の要部を示す断面図である。
【図１１】この発明による流体制御装置の第７実施形態
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図１２】同平面図である。
【図１３】図１１のXIII-XIII線に沿う断面図である。
【図１４】図１３のレールの上面に沿う拡大水平断面図
である。
である。
【図１５】この発明による流体制御装置の第８実施形態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図１６】図１５のレールの上面に沿う拡大断面図であ
る。
る。
【図１７】この発明による流体制御装置の第９実施形態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図１８】この発明による流体制御装置の第１０実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図１９】この発明による流体制御装置の第１１実施形
態を示す分解斜視図および断面図である。
態を示す分解斜視図および断面図である。
【符号の説明】 (A)(B) ライン (1) 板状ベース部材 (2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14) 流体
制御機器 (20) レール (20a) 外向きフランジ (20b) 内向きフランジ (21)(22) 継手部材 (24) 摺動部材 (26) おねじ部材 (40) レール (41a) 内向きフランジ (43) 摺動部材 (51)(53) 溝 (52)(54) 摺動部材 (60) レール (60a) 外向きフランジ (61)(62) 継手部材 (63) 摺動部材 (64) レール把持爪 (65) ねじ（おねじ部材） (70) レール (70a) 内向きフランジ (71) 摺動部材 (72) レール把持爪 (81) 摺動部材 (82) レール把持爪 (91) 枠状ベース部材 (92) 入口側レール (93) 出口側レール (95) 連結部材 (96) ライン支持用レール（ライン支持部材） (98) 摺動部材 (101) ライン支持用レール（ライン支持部材） (102) 摺動部材
制御機器 (20) レール (20a) 外向きフランジ (20b) 内向きフランジ (21)(22) 継手部材 (24) 摺動部材 (26) おねじ部材 (40) レール (41a) 内向きフランジ (43) 摺動部材 (51)(53) 溝 (52)(54) 摺動部材 (60) レール (60a) 外向きフランジ (61)(62) 継手部材 (63) 摺動部材 (64) レール把持爪 (65) ねじ（おねじ部材） (70) レール (70a) 内向きフランジ (71) 摺動部材 (72) レール把持爪 (81) 摺動部材 (82) レール把持爪 (91) 枠状ベース部材 (92) 入口側レール (93) 出口側レール (95) 連結部材 (96) ライン支持用レール（ライン支持部材） (98) 摺動部材 (101) ライン支持用レール（ライン支持部材） (102) 摺動部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星 丈治 東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エレ クトロン株式会社内 (72)発明者 岡部 庸之 東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エレ クトロン株式会社内 (72)発明者 五島 憲一 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 小林 英雄 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 長屋 暁典 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 山路 道雄 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 吉川 和博 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 川野 祐司 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 Ｆターム(参考） 3H089 BB27 DB01 DC03 GG01 HH12 HH15 JJ20 3J071 BB14 CC01 CC11 DD36 FF11
Claims (21)
- 【請求項１】 １つのラインが、上段に配された複数の
流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによ
って形成され、複数のラインが、その入口および出口を
同じ方向に向けてベース部材上に並列状に配置されてい
る流体制御装置において、 各ラインがそれぞれ１つのライン支持部材に取り付けら
れており、ライン支持部材が、ラインと直交する方向に
摺動可能にベース部材に取り付けられていることを特徴
とする流体制御装置。 - 【請求項２】 ライン支持部材が、ベース部材に着脱可
能に取り付けられたレールとされ、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられている請求項１の流体
制御装置。 - 【請求項３】 １つのラインが、上段に配された複数の
流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによ
って形成され、複数のラインが、その入口および出口を
同じ方向に向けてベース部材上に並列状に配置されてい
る流体制御装置において、 ベース部材に、各ラインに対応する軌道が並列状に設け
られ、各継手部材が、対応する軌道に摺動可能に取り付
けられ、これらの継手部材にまたがって流体制御機器が
取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。 - 【請求項４】 各継手部材に対応する摺動部材が軌道に
配され、摺動部材と継手部材とが結合されている請求項
３の流体制御装置。 - 【請求項５】 ベース部材が板状とされるとともに、軌
道が、ベース部材上面の溝によって形成されている請求
項３の流体制御装置。 - 【請求項６】 めねじが設けられかつ溝内に配された摺
動部材と継手部材とがおねじ部材で結合され、溝の開口
縁部に、摺動部材の上方への抜けを防止する抜け止め部
が形成されている請求項５の流体制御装置。 - 【請求項７】 軌道が、ベース部材に着脱可能に取り付
けられたレールによって形成されている請求項４の流体
制御装置。 - 【請求項８】 レールは、内向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられかつレール
内に配された摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合
されている請求項２または７の流体制御装置。 - 【請求項９】 おねじ部材を回転させる工具を差し込む
ための間隙が流体制御機器間に設けられている請求項６
または８の流体制御装置。 - 【請求項１０】 レールに、これを幅方向に２分割する
Ｔ字状の中間壁が設けられ、摺動部材が幅方向に２分割
されている請求項８の流体制御装置。 - 【請求項１１】 レールは、外向きフランジを有する断
面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外向
きフランジに係合するレール把持爪が設けられている請
求項７の流体制御装置。 - 【請求項１２】 レールは、内向きフランジを有する断
面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向
きフランジに係合するレール把持爪が設けられている請
求項７の流体制御装置。 - 【請求項１３】 摺動部材にめねじが設けられて、摺動
部材と継手部材とがおねじ部材で結合されている請求項
１１または１２の流体制御装置。 - 【請求項１４】 所定位置において、摺動部材がレール
に固定されている請求項１１または１２の流体制御装
置。 - 【請求項１５】 レール同士が、連結部材によって連結
されている請求項７の流体制御装置。 - 【請求項１６】 ベース部材が、入口側レール、出口側
レールおよび両レール同士を連結する連結部材によって
枠状に形成されている請求項１または３の流体制御装
置。 - 【請求項１７】 摺動部材が逆Ｕ字状とされ、摺動部材
は、その両垂直壁がレールの両外側面を挟むことによ
り、レールに取り付けられている請求項７の流体制御装
置。 - 【請求項１８】 レールの両外側面に、長さ方向にのび
る溝が設けられ、摺動部材の両垂直壁に、この溝に嵌ま
り合う突起が設けられている請求項１７の流体制御装
置。 - 【請求項１９】 レールに、上向きに開口しかつ長さ方
向にのびる内部拡大溝が設けられ、摺動部材は、継手部
材の下面に当接する板状部と、板状部下面に設けられて
下端部がレールの内部拡大溝内に嵌め入れられた下方突
出部とよりなる請求項７の流体制御装置。 - 【請求項２０】 レールに、上向きに開口しかつ長さ方
向にのびる内部拡大溝が設けられるとともに、レールの
両外側面に、長さ方向にのびる溝が設けられている請求
項７の流体制御装置。 - 【請求項２１】 摺動部材には、ねじによりレールに固
定された固定摺動部材と、固定されない可動摺動部材と
の２種類があり、固定摺動部材を有する継手部材と可動
摺動部材を有する継手部材とが流体制御機器を介して接
続されることにより、可動摺動部材を有する継手部材の
移動が阻止されている請求項７の流体制御装置。
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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| JP2000343709 | 2000-11-10 | ||
| JP2000-200012 | 2000-11-10 | ||
| JP2000-343709 | 2000-11-10 | ||
| JP2001196210A JP3482601B2 (ja) | 2000-06-30 | 2001-06-28 | 流体制御装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002206700A true JP2002206700A (ja) | 2002-07-26 |
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ID=26595204
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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| KR (1) | KR100750224B1 (ja) |
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| TW (1) | TW544751B (ja) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004183771A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| WO2006115084A1 (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Fujikin Incorporated | 流体制御装置 |
| JP2007152211A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | フラッシング装置 |
| JP2009204090A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| KR101074266B1 (ko) | 2004-05-20 | 2011-10-19 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 가스 공급 집적 유닛 및 가스 유닛의 증설 방법 |
| KR20110123258A (ko) | 2009-03-03 | 2011-11-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 유체 제어 장치 |
| JP2012159102A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| WO2012132788A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 株式会社フジキン | 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置 |
| WO2012160988A1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-11-29 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| KR101212912B1 (ko) | 2004-09-16 | 2012-12-14 | 가부시키가이샤 후지킨 | 센서 부착 조인트 부재 |
| JP2013509721A (ja) * | 2009-10-29 | 2013-03-14 | パーカー・ハニフィン・コーポレーション | 摺動固定ガス配送システム |
| US8973615B2 (en) | 2000-06-30 | 2015-03-10 | Tokyo Electron Limited | Fluid control device |
| JP2015175502A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 株式会社フジキン | 流体制御装置および流体制御装置用継手部材 |
| JP2016048110A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | 株式会社フジキン | マニホールドバルブおよび流体制御装置 |
| JP2016173170A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-29 | 株式会社フジキン | 継手および流体制御装置 |
| JP2017026013A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | Ckd株式会社 | レール取付部品の位置決め装置 |
| WO2017221891A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| WO2017221893A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| KR20200031091A (ko) | 2017-09-29 | 2020-03-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 수동 밸브장치 및 유체 제어장치 |
| WO2020137572A1 (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、継手ブロック及び流体制御装置の製造方法 |
| KR20210052294A (ko) | 2019-10-31 | 2021-05-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치 및 유체 제어 장치 |
| KR20210052297A (ko) | 2019-10-31 | 2021-05-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치 |
| KR20210060658A (ko) * | 2018-10-31 | 2021-05-26 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치의 제조 방법 |
| KR102588596B1 (ko) * | 2022-10-11 | 2023-10-12 | 마노 주식회사 | 범용 급수 밸브 세트 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6776192B2 (en) * | 2002-04-12 | 2004-08-17 | Mead Fluid Dynamics, Inc. | Pneumatic valve and manifold mounting system |
| WO2004088772A2 (en) * | 2003-03-26 | 2004-10-14 | Swagelok Company | Modular fluid components and assembly |
| DE102005020185B4 (de) * | 2005-04-28 | 2008-01-24 | Bosch Rexroth Teknik Ab | Ventilanordnung |
| US9829121B2 (en) | 2010-03-24 | 2017-11-28 | Haldex Brake Products Corporation | Manifold system |
| JP5803552B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
| JP5753831B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2015-07-22 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| US20180087684A1 (en) * | 2016-09-27 | 2018-03-29 | Fujikin Incorporated | Fluid control system and joint block used therefor |
| US9785154B2 (en) * | 2017-02-13 | 2017-10-10 | Robert M. McMillan | Reconfigurable modular fluid flow control system for liquids or gases |
| US10914556B2 (en) * | 2017-09-30 | 2021-02-09 | Robert E. Stewart | Mounting and fastening system clamp and clamp assembly |
| TW202117217A (zh) * | 2019-09-19 | 2021-05-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 清潔減少滯留區的隔離閥 |
| EP4154305A4 (en) * | 2020-05-19 | 2024-06-05 | Ichor Systems, Inc. | SEAL INSERTION TOOL FOR A FLUID DISTRIBUTION MODULE AND METHOD FOR INSTALLING A SEAL IN A FLUID DISTRIBUTION MODULE |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3513606A (en) * | 1968-02-21 | 1970-05-26 | Vernon H Jones | Structural framework and connector joint therefor |
| FR2394703A1 (fr) * | 1977-06-17 | 1979-01-12 | Climax France | Systeme modulaire pour la realisation de circuits logiques pneumatiques |
| DE3533955A1 (de) * | 1985-09-24 | 1987-03-26 | Festo Kg | Kolben-zylinder-anordnung |
| FR2600751B1 (fr) | 1986-06-27 | 1988-09-23 | Asm Sud Europe | Systeme modulaire de montage de lignes pour la distribution, le controle et la mesure de debits de fluides humides ou gazeux, notamment de gaz de haute purete et elements constitutifs dudit systeme |
| DE3827749A1 (de) * | 1988-08-16 | 1990-02-22 | Festo Kg | Aufspannvorrichtung |
| US6394138B1 (en) * | 1996-10-30 | 2002-05-28 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system of removable components for distribution of fluids |
| US6152175A (en) * | 1997-06-06 | 2000-11-28 | Ckd Corporation | Process gas supply unit |
| JP3387777B2 (ja) * | 1997-06-11 | 2003-03-17 | 株式会社フジキン | 混合ガス供給装置 |
| US6231260B1 (en) | 1997-07-11 | 2001-05-15 | Insync Systems, Inc. | Mounting plane for integrated gas panel |
| JP4378553B2 (ja) * | 1997-10-13 | 2009-12-09 | 忠弘 大見 | 流体制御装置 |
| US6076543A (en) * | 1997-11-06 | 2000-06-20 | United States Filter Corporation | Gas handling device |
| JP3941025B2 (ja) | 1998-01-06 | 2007-07-04 | Ｓｍｃ株式会社 | レール取付形流体圧機器 |
| US6502601B2 (en) * | 1998-03-05 | 2003-01-07 | Swagelok Company | Modular surface mount manifold assemblies |
| US6283155B1 (en) * | 1999-12-06 | 2001-09-04 | Insync Systems, Inc. | System of modular substrates for enabling the distribution of process fluids through removable components |
| JP3482601B2 (ja) | 2000-06-30 | 2003-12-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 流体制御装置 |
-
2001
- 2001-06-28 JP JP2001196210A patent/JP3482601B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-29 US US09/893,522 patent/US8973615B2/en active Active
- 2001-06-29 TW TW90115926A patent/TW544751B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-06-30 KR KR1020010038748A patent/KR100750224B1/ko active IP Right Grant
- 2001-07-02 DE DE2001610685 patent/DE60110685T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-02 EP EP20010116067 patent/EP1167846B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (51)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8973615B2 (en) | 2000-06-30 | 2015-03-10 | Tokyo Electron Limited | Fluid control device |
| JP2004183771A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| KR101074266B1 (ko) | 2004-05-20 | 2011-10-19 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 가스 공급 집적 유닛 및 가스 유닛의 증설 방법 |
| KR101212912B1 (ko) | 2004-09-16 | 2012-12-14 | 가부시키가이샤 후지킨 | 센서 부착 조인트 부재 |
| WO2006115084A1 (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Fujikin Incorporated | 流体制御装置 |
| JP4832428B2 (ja) * | 2005-04-21 | 2011-12-07 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| JP2007152211A (ja) * | 2005-12-02 | 2007-06-21 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | フラッシング装置 |
| JP2009204090A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| KR20110123258A (ko) | 2009-03-03 | 2011-11-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 유체 제어 장치 |
| US9169558B2 (en) | 2009-03-03 | 2015-10-27 | Tokyo Electron Limited | Fluid control apparatus |
| JP2013509721A (ja) * | 2009-10-29 | 2013-03-14 | パーカー・ハニフィン・コーポレーション | 摺動固定ガス配送システム |
| JP2012159102A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| WO2012132788A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 株式会社フジキン | 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置 |
| US10054250B2 (en) | 2011-03-28 | 2018-08-21 | Fujikin Incorporated | Fixing device for lower stage members and fluid control device equipped with fixing device |
| US9423060B2 (en) | 2011-03-28 | 2016-08-23 | Fujikin Incorporated | Fixing device for lower stage members and fluid control device equipped with fixing device |
| WO2012160988A1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-11-29 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| KR101570280B1 (ko) * | 2011-05-20 | 2015-11-18 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 |
| CN103748393B (zh) * | 2011-05-20 | 2016-03-16 | 株式会社富士金 | 流体控制装置 |
| CN103748393A (zh) * | 2011-05-20 | 2014-04-23 | 株式会社富士金 | 流体控制装置 |
| US9423056B2 (en) | 2011-05-20 | 2016-08-23 | Fujikin Incorporated | Fluid control device |
| JP2012241823A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
| JP2015175502A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 株式会社フジキン | 流体制御装置および流体制御装置用継手部材 |
| JP2016048110A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | 株式会社フジキン | マニホールドバルブおよび流体制御装置 |
| JP2016173170A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-09-29 | 株式会社フジキン | 継手および流体制御装置 |
| JP2017026013A (ja) * | 2015-07-21 | 2017-02-02 | Ckd株式会社 | レール取付部品の位置決め装置 |
| WO2017221891A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| WO2017221893A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| KR20190005227A (ko) | 2016-06-21 | 2019-01-15 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체제어장치 |
| KR20190006004A (ko) | 2016-06-21 | 2019-01-16 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체제어장치 |
| CN109312874A (zh) * | 2016-06-21 | 2019-02-05 | 株式会社富士金 | 流体控制装置 |
| JPWO2017221891A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2019-04-11 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| JPWO2017221893A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2019-04-11 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| TWI688722B (zh) * | 2016-06-21 | 2020-03-21 | 日商富士金股份有限公司 | 流體控制裝置、接頭塊體、半導體製造方法、平面顯示器的製造方法及太陽能面板的製造方法 |
| US10830367B2 (en) | 2016-06-21 | 2020-11-10 | Fujikin Incorporated | Fluid control system |
| US11156305B2 (en) | 2016-06-21 | 2021-10-26 | Fujikin Incorporated | Fluid control system |
| KR20200031091A (ko) | 2017-09-29 | 2020-03-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 수동 밸브장치 및 유체 제어장치 |
| US11346461B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-05-31 | Fujikin Incorporated | Manual valve device and fluid control device |
| KR20210060658A (ko) * | 2018-10-31 | 2021-05-26 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치의 제조 방법 |
| US11774000B2 (en) | 2018-10-31 | 2023-10-03 | Fujikin Incorporated | Fluid control device and manufacturing method for the fluid control device |
| KR102543591B1 (ko) * | 2018-10-31 | 2023-06-13 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치의 제조 방법 |
| KR20210089754A (ko) * | 2018-12-27 | 2021-07-16 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어장치, 조인트 블록 및 유체 제어장치의 제조방법 |
| CN113227623A (zh) * | 2018-12-27 | 2021-08-06 | 株式会社富士金 | 流体控制装置、接头块和流体控制装置的制造方法 |
| JP7449571B2 (ja) | 2018-12-27 | 2024-03-14 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、継手ブロック及び流体制御装置の製造方法 |
| US11906062B2 (en) | 2018-12-27 | 2024-02-20 | Fujikin Incorporated | Fluid control device, joint block and manufacturing method for fluid control device |
| WO2020137572A1 (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、継手ブロック及び流体制御装置の製造方法 |
| KR102584075B1 (ko) * | 2018-12-27 | 2023-10-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어장치, 조인트 블록 및 유체 제어장치의 제조방법 |
| KR20210052294A (ko) | 2019-10-31 | 2021-05-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치 및 유체 제어 장치 |
| US11397443B2 (en) | 2019-10-31 | 2022-07-26 | Fujikin Incorporated | Fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus |
| US11255458B2 (en) | 2019-10-31 | 2022-02-22 | Fujikin Incorporated | Valve device and fluid control device |
| KR20210052297A (ko) | 2019-10-31 | 2021-05-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 반도체 제조 장치 |
| KR102588596B1 (ko) * | 2022-10-11 | 2023-10-12 | 마노 주식회사 | 범용 급수 밸브 세트 |
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