JP3482601B2 - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
- Publication number
- JP3482601B2 JP3482601B2 JP2001196210A JP2001196210A JP3482601B2 JP 3482601 B2 JP3482601 B2 JP 3482601B2 JP 2001196210 A JP2001196210 A JP 2001196210A JP 2001196210 A JP2001196210 A JP 2001196210A JP 3482601 B2 JP3482601 B2 JP 3482601B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- fluid control
- sliding member
- control device
- joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B1/00—Installations or systems with accumulators; Supply reservoir or sump assemblies
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/30—Dovetail-like connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/40—Clamping arrangements where clamping parts are received in recesses of elements to be connected
- F16B2200/403—Threaded clamping parts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、保守
点検時に流体制御機器を上方に取り出すことができるよ
うに組み立てられた集積化流体制御装置に関する。
に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、保守
点検時に流体制御機器を上方に取り出すことができるよ
うに組み立てられた集積化流体制御装置に関する。
【０００２】この明細書において、前後・上下について
は、図１および図４の右を前、左を後といい、同図の上
下を上下というものとし、左右は、後方に向かっていう
ものとする。この前後・上下は便宜的なもので、前後が
逆になったり、上下が左右になったりして使用されるこ
ともある。
は、図１および図４の右を前、左を後といい、同図の上
下を上下というものとし、左右は、後方に向かっていう
ものとする。この前後・上下は便宜的なもので、前後が
逆になったり、上下が左右になったりして使用されるこ
ともある。
【０００３】
【従来の技術】半導体製造装置に使用される流体制御装
置は、種々の流体制御機器が複数列に配置されるととも
に、隣り合う列の流体制御機器の流路同士が所定箇所に
おいて機器接続手段により接続されることにより構成さ
れているが、近年、この種の流体制御装置では、マスフ
ローコントローラや開閉弁などをチューブを介さずに接
続する集積化が進められている。この流体制御装置は、
１枚の基板に、まず、ブロック状継手などの継手部材を
おねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたが
るようにしてマスフローコントローラ、フィルター、開
閉弁などの流体制御機器を取り付けることにより組み立
てられていた。
置は、種々の流体制御機器が複数列に配置されるととも
に、隣り合う列の流体制御機器の流路同士が所定箇所に
おいて機器接続手段により接続されることにより構成さ
れているが、近年、この種の流体制御装置では、マスフ
ローコントローラや開閉弁などをチューブを介さずに接
続する集積化が進められている。この流体制御装置は、
１枚の基板に、まず、ブロック状継手などの継手部材を
おねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたが
るようにしてマスフローコントローラ、フィルター、開
閉弁などの流体制御機器を取り付けることにより組み立
てられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御装
置によると、個々の流体制御機器は、上方に取り出して
点検・修理・交換が可能であるが、組立て作業に時間が
かかり、また、ラインの増設および変更について十分考
慮されていなかったため、システムの改造が発生した場
合には、すべての部材を基板ごと取り外し、必要な部材
を取り付けた基板に交換することが必要となり、長期間
の装置停止や現地工事工数の増加につながるという問題
があった。
置によると、個々の流体制御機器は、上方に取り出して
点検・修理・交換が可能であるが、組立て作業に時間が
かかり、また、ラインの増設および変更について十分考
慮されていなかったため、システムの改造が発生した場
合には、すべての部材を基板ごと取り外し、必要な部材
を取り付けた基板に交換することが必要となり、長期間
の装置停止や現地工事工数の増加につながるという問題
があった。
【０００５】この発明の目的は、組立てが容易で、しか
も、ラインの増設・変更に容易に対応できる流体制御装
置を提供することにある。
も、ラインの増設・変更に容易に対応できる流体制御装
置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配さ
れた複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手
部材とによって形成され、複数のラインが、その入口お
よび出口を同じ方向に向けてベース部材上に並列状に配
置されている流体制御装置において、各ラインがそれぞ
れ１つのライン支持部材に取り付けられており、ライン
支持部材が、ラインと直交する方向に摺動可能にベース
部材に取り付けられていることを特徴とするものであ
る。
明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配さ
れた複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手
部材とによって形成され、複数のラインが、その入口お
よび出口を同じ方向に向けてベース部材上に並列状に配
置されている流体制御装置において、各ラインがそれぞ
れ１つのライン支持部材に取り付けられており、ライン
支持部材が、ラインと直交する方向に摺動可能にベース
部材に取り付けられていることを特徴とするものであ
る。
【０００７】この発明の流体制御装置によると、装置全
体を組み立てる際には、継手部材および流体制御器が取
り付けられたライン支持部材ごとベース部材に取り付け
ればよく、組立てが容易にできる。そして、ラインの変
更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取
り外した後、変更される旧ラインをライン支持部材ごと
外し、変更されないラインのライン支持部材を必要に応
じて摺動させ、置き換えられるラインのライン支持部材
をベース部材上に取り付け、さらに、変更されないライ
ンのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、最後
に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよく、
同様に、ラインを増設する際には、必要に応じて通路接
続手段を上方に取り外した後、既設のラインのライン支
持部材を必要に応じて摺動させ、増設すべきラインのラ
イン支持部材をベース部材上に取り付け、さらに、既設
ラインのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、
最後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよ
く、ラインの増設および変更が容易に行える。
体を組み立てる際には、継手部材および流体制御器が取
り付けられたライン支持部材ごとベース部材に取り付け
ればよく、組立てが容易にできる。そして、ラインの変
更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取
り外した後、変更される旧ラインをライン支持部材ごと
外し、変更されないラインのライン支持部材を必要に応
じて摺動させ、置き換えられるラインのライン支持部材
をベース部材上に取り付け、さらに、変更されないライ
ンのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、最後
に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよく、
同様に、ラインを増設する際には、必要に応じて通路接
続手段を上方に取り外した後、既設のラインのライン支
持部材を必要に応じて摺動させ、増設すべきラインのラ
イン支持部材をベース部材上に取り付け、さらに、既設
ラインのライン支持部材を摺動させて適正位置に戻し、
最後に、変更後に必要な通路手段を取り付けるだけでよ
く、ラインの増設および変更が容易に行える。
【０００８】ライン支持部材としては、例えば、ライン
方向に長い板材を使用することができ、必要に応じて、
その両端部に、ベース部材への取付けを容易にするため
の折曲げ部が形成される。ライン支持部材として、種々
の形状を有するレールを使用してもよく、この場合に
は、ライン支持部材が、ベース部材に着脱可能に取り付
けられたレールとされるとともに、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられていることが好まし
い。このようにすると、継手部材および流体制御機器を
ライン支持部材に取り付ける際には、継手部材をレール
に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継
手部材にまたがって流体制御器器を取り付ければよく、
各ラインの組立てが容易にできる。また、流体制御機器
を長さが異なるものに置き換える場合には、対象となる
既設の流体制御機器を取り外すとともに、継手部材をレ
ールに沿って所要位置まで移動させ、継手部材をレール
に固定した後、新しい流体制御機器を取り付ければよ
い。既設ラインに新たに流体制御機器および継手部材を
追加する場合も同様にできる。こうして、ラインの変更
・追加も容易にできる。
方向に長い板材を使用することができ、必要に応じて、
その両端部に、ベース部材への取付けを容易にするため
の折曲げ部が形成される。ライン支持部材として、種々
の形状を有するレールを使用してもよく、この場合に
は、ライン支持部材が、ベース部材に着脱可能に取り付
けられたレールとされるとともに、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられていることが好まし
い。このようにすると、継手部材および流体制御機器を
ライン支持部材に取り付ける際には、継手部材をレール
に沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継
手部材にまたがって流体制御器器を取り付ければよく、
各ラインの組立てが容易にできる。また、流体制御機器
を長さが異なるものに置き換える場合には、対象となる
既設の流体制御機器を取り外すとともに、継手部材をレ
ールに沿って所要位置まで移動させ、継手部材をレール
に固定した後、新しい流体制御機器を取り付ければよ
い。既設ラインに新たに流体制御機器および継手部材を
追加する場合も同様にできる。こうして、ラインの変更
・追加も容易にできる。
【０００９】上記発明において、たとえば、レールは、
内向きフランジを有する断面Ｕ字状に形成されており、
めねじが設けられた摺動部材と継手部材とがおねじ部材
で結合されていることがある。この一例として、レール
内にめねじ付き摺動部材が挿入され、この摺動部材に継
手部材を貫通するおねじ部材がねじ合わされることによ
り、摺動部材上面がレールの内向きフランジ下面に押圧
されて継手部材がレールに取り付けられていることがあ
る。
内向きフランジを有する断面Ｕ字状に形成されており、
めねじが設けられた摺動部材と継手部材とがおねじ部材
で結合されていることがある。この一例として、レール
内にめねじ付き摺動部材が挿入され、この摺動部材に継
手部材を貫通するおねじ部材がねじ合わされることによ
り、摺動部材上面がレールの内向きフランジ下面に押圧
されて継手部材がレールに取り付けられていることがあ
る。
【００１０】各継手部材に対応する摺動部材が軌道に配
され、摺動部材と継手部材とが結合されていることが好
ましい。軌道および摺動部材の形状は、摺動部材が軌道
に沿って摺動可能であり、かつ、軌道から容易に外れな
いという条件を満たす範囲で種々変更可能である。例え
ば、軌道は、ベース部材に着脱可能に取り付けられたレ
ールによって形成されていてもよく、また、ベース部材
上面の溝によって形成されていてもよく、前者がより好
ましい。
され、摺動部材と継手部材とが結合されていることが好
ましい。軌道および摺動部材の形状は、摺動部材が軌道
に沿って摺動可能であり、かつ、軌道から容易に外れな
いという条件を満たす範囲で種々変更可能である。例え
ば、軌道は、ベース部材に着脱可能に取り付けられたレ
ールによって形成されていてもよく、また、ベース部材
上面の溝によって形成されていてもよく、前者がより好
ましい。
【００１１】軌道が着脱可能なレールによって形成され
ていると、装置全体を組み立てる際には、継手部材およ
び流体制御機器が取り付けられたレールごとベース部材
に取り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、
ラインの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段
を上方に取り外した後、変更される旧ラインをレールご
と外し、これに置き換えられるラインのレールをベース
部材上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手
段を取り付けるだけでよく、同様に、ラインを増設する
際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取り外した
後、増設すべきラインのレールをベース部材上に取り付
け、最後に、増設後に必要な通路接続手段を取り付ける
だけでよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
ていると、装置全体を組み立てる際には、継手部材およ
び流体制御機器が取り付けられたレールごとベース部材
に取り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、
ラインの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段
を上方に取り外した後、変更される旧ラインをレールご
と外し、これに置き換えられるラインのレールをベース
部材上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手
段を取り付けるだけでよく、同様に、ラインを増設する
際には、必要に応じて通路接続手段を上方に取り外した
後、増設すべきラインのレールをベース部材上に取り付
け、最後に、増設後に必要な通路接続手段を取り付ける
だけでよく、ラインの増設および変更が容易に行える。
【００１２】上記発明において、ライン支持部材または
軌道を形成するレールは、内向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されていてもよく、外向きフランジを有す
る断面Ｕ字状に形成されていてもよい。また、断面Ｕ字
状のレールに、これを幅方向に分割するＴ字状の中間壁
が付加されていてもよい。溝は、断面が下広がりの台形
状または断面逆Ｔ字状に形成されていることが好まし
い。
軌道を形成するレールは、内向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されていてもよく、外向きフランジを有す
る断面Ｕ字状に形成されていてもよい。また、断面Ｕ字
状のレールに、これを幅方向に分割するＴ字状の中間壁
が付加されていてもよい。溝は、断面が下広がりの台形
状または断面逆Ｔ字状に形成されていることが好まし
い。
【００１３】摺動部材は、おねじ部材によってレールに
取り付けられてもよく、また、摺動部材には、レールに
係合するレール把持爪が設けられてもよい。
取り付けられてもよく、また、摺動部材には、レールに
係合するレール把持爪が設けられてもよい。
【００１４】たとえば、レールは、内向きフランジを有
する断面Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられた
摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合されているこ
とがある。この一例として、レール内にめねじ付き摺動
部材が挿入され、この摺動部材に継手部材を貫通するお
ねじ部材がねじ合わされることにより、摺動部材上面が
レールの内向きフランジ下面に押圧されて継手部材がレ
ールに取り付けられていることがある。また、レールに
代えて、溝によって軌道を形成する際には、溝の開口縁
部に、摺動部材の上方への抜けを防止する抜け止め部が
形成されていることが好ましい。抜け止め部は、溝の形
状を下広がりの台形または逆Ｔ字状とすることにより、
容易に得られる。軌道がレールおよび溝のいずれの場合
でも、おねじを回転させる工具を差し込むための間隙が
流体制御機器間に設けられていることが好ましい。
する断面Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられた
摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合されているこ
とがある。この一例として、レール内にめねじ付き摺動
部材が挿入され、この摺動部材に継手部材を貫通するお
ねじ部材がねじ合わされることにより、摺動部材上面が
レールの内向きフランジ下面に押圧されて継手部材がレ
ールに取り付けられていることがある。また、レールに
代えて、溝によって軌道を形成する際には、溝の開口縁
部に、摺動部材の上方への抜けを防止する抜け止め部が
形成されていることが好ましい。抜け止め部は、溝の形
状を下広がりの台形または逆Ｔ字状とすることにより、
容易に得られる。軌道がレールおよび溝のいずれの場合
でも、おねじを回転させる工具を差し込むための間隙が
流体制御機器間に設けられていることが好ましい。
【００１５】また、レールは、外向きフランジを有する
断面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外
向きフランジに係合するレール把持爪が設けられている
ことがあり、レールは、内向きフランジを有する断面Ｕ
字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向きフ
ランジに係合するレール把持爪が設けられていることが
ある。レール把持爪が設けられた摺動部材は、例えば、
これにめねじが設けられて、継手部材とおねじ部材で結
合され、さらに、所定位置において、レールに固定され
ることが好ましい。
断面Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外
向きフランジに係合するレール把持爪が設けられている
ことがあり、レールは、内向きフランジを有する断面Ｕ
字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向きフ
ランジに係合するレール把持爪が設けられていることが
ある。レール把持爪が設けられた摺動部材は、例えば、
これにめねじが設けられて、継手部材とおねじ部材で結
合され、さらに、所定位置において、レールに固定され
ることが好ましい。
【００１６】隣り合うレール同士は、所要位置で連結さ
れていることが好ましい。このようにすると、レール間
隔の変動や各レールのがたつきが防止され、組立て後の
装置が使用しやすいものとなる。
れていることが好ましい。このようにすると、レール間
隔の変動や各レールのがたつきが防止され、組立て後の
装置が使用しやすいものとなる。
【００１７】なお、上記発明において、ベース部材は、
ライン支持部材または軌道を形成するレールを使用し
て、入口側レール、出口側レールおよび両レール同士を
連結する連結部材によって枠状に形成されることがあ
る。この場合に、連結部材にもレールが使用されること
がある。
ライン支持部材または軌道を形成するレールを使用し
て、入口側レール、出口側レールおよび両レール同士を
連結する連結部材によって枠状に形成されることがあ
る。この場合に、連結部材にもレールが使用されること
がある。
【００１８】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１９】図１から図３までは、この発明による流体
制御装置の第１実施形態を示すもので、流体制御装置
は、第１ライン（Ａ）と、第２ライン（Ｂ）と、予備ラ
イン（Ｃ）とが板状のベース部材（１）に並列状に配置
されて形成されている。
制御装置の第１実施形態を示すもので、流体制御装置
は、第１ライン（Ａ）と、第２ライン（Ｂ）と、予備ラ
イン（Ｃ）とが板状のベース部材（１）に並列状に配置
されて形成されている。
【００２０】第１ライン（Ａ）および第２ライン（Ｂ）
は、上段に配されたマスフローコントローラ、開閉弁、
プレッシャレギュレータ、通路ブロックなどの複数の流
体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）と、下段に配されて流体制御機器（２）（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）同士を連通する複数の継
手部材（２１）（２２）とによって形成されている。下
段の継手部材（２１）（２２）は、各ライン（Ａ）
（Ｂ）ごとにレール（２０）に取り付けられており、こ
れらの継手部材（２１）（２２）にまたがって上段の流
体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）が取り付けられている。予備ライン（Ｃ）には、レ
ール（２０）だけが配されている。
は、上段に配されたマスフローコントローラ、開閉弁、
プレッシャレギュレータ、通路ブロックなどの複数の流
体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）と、下段に配されて流体制御機器（２）（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）同士を連通する複数の継
手部材（２１）（２２）とによって形成されている。下
段の継手部材（２１）（２２）は、各ライン（Ａ）
（Ｂ）ごとにレール（２０）に取り付けられており、こ
れらの継手部材（２１）（２２）にまたがって上段の流
体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）が取り付けられている。予備ライン（Ｃ）には、レ
ール（２０）だけが配されている。
【００２１】第１ライン（Ａ）の流体制御機器は、マス
フローコントローラ（２）と、マスフローコントローラ
（２）の前方（入口側）に設けられた入口側第１開閉弁
（３）、入口側第２開閉弁（４）、逆止弁（５）、横方
向連通路ブロック（６）、圧力センサ（７），プレッシ
ャレギュレータ（８）、フィルタ（９）および手動弁
（１０）と、マスフローコントローラ（２）の後方（出
口側）に設けられた出口側第１開閉弁（１１）、出口側
第２開閉弁（１２）、逆止弁（１３）および分岐合流用
スルー通路ブロック（１４）とであり、第２ライン
（Ｂ）の流体制御機器は、マスフローコントローラ
（２）と、マスフローコントローラ（２）の前方（入口
側）に設けられた入口側第１開閉弁（３）、入口側第２
開閉弁（４）、逆止弁（５）および横方向連通路ブロッ
ク（６）と、マスフローコントローラ（２）の後方（出
口側）に設けられた出口側第１開閉弁（１１）、出口側
第２開閉弁（１２）、逆止弁（１３）および分岐合流用
スルー通路ブロック（１４）とである。
フローコントローラ（２）と、マスフローコントローラ
（２）の前方（入口側）に設けられた入口側第１開閉弁
（３）、入口側第２開閉弁（４）、逆止弁（５）、横方
向連通路ブロック（６）、圧力センサ（７），プレッシ
ャレギュレータ（８）、フィルタ（９）および手動弁
（１０）と、マスフローコントローラ（２）の後方（出
口側）に設けられた出口側第１開閉弁（１１）、出口側
第２開閉弁（１２）、逆止弁（１３）および分岐合流用
スルー通路ブロック（１４）とであり、第２ライン
（Ｂ）の流体制御機器は、マスフローコントローラ
（２）と、マスフローコントローラ（２）の前方（入口
側）に設けられた入口側第１開閉弁（３）、入口側第２
開閉弁（４）、逆止弁（５）および横方向連通路ブロッ
ク（６）と、マスフローコントローラ（２）の後方（出
口側）に設けられた出口側第１開閉弁（１１）、出口側
第２開閉弁（１２）、逆止弁（１３）および分岐合流用
スルー通路ブロック（１４）とである。
【００２２】マスフローコントローラ（２）は、入口側
接続部（２ａ）および出口側接続部（２ｂ）をその下端
部前後面に有しており、マスフローコントローラ（２）
と入口側第１開閉弁（３）および出口側第１開閉弁（１
１）とは、それぞれこれらの下方に配置されたＶ字状通
路付きブロック状継手（２１）により連通されている。
同じＶ字状通路付きブロック状継手（２１）により、他
の隣り合う流体制御機器（４）（６）（７）（８）
（９）（１０）（１２）（１４）同士も連通されてい
る。また、入口側の端部に位置する手動弁（１０）およ
び出口側の端部に位置する分岐合流用スルー通路ブロッ
ク（１４）には、外部との接続用継手（２２）が設けら
れている。
接続部（２ａ）および出口側接続部（２ｂ）をその下端
部前後面に有しており、マスフローコントローラ（２）
と入口側第１開閉弁（３）および出口側第１開閉弁（１
１）とは、それぞれこれらの下方に配置されたＶ字状通
路付きブロック状継手（２１）により連通されている。
同じＶ字状通路付きブロック状継手（２１）により、他
の隣り合う流体制御機器（４）（６）（７）（８）
（９）（１０）（１２）（１４）同士も連通されてい
る。また、入口側の端部に位置する手動弁（１０）およ
び出口側の端部に位置する分岐合流用スルー通路ブロッ
ク（１４）には、外部との接続用継手（２２）が設けら
れている。
【００２３】レール（２０）は、前後端部に貫通孔を有
しており、この貫通孔に通されたおねじ（２３）により
ベース部材（１）に固定されている。ブロック状継手
（２１）および外部接続用継手（２２）の上面には、垂
直めねじ部が設けられており、各流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）は、これを貫通する
おねじ（１５）が継手（２１）（２２）の垂直めねじ部
にねじ込まれることにより、継手（２１）（２２）に取
り付けられている。
しており、この貫通孔に通されたおねじ（２３）により
ベース部材（１）に固定されている。ブロック状継手
（２１）および外部接続用継手（２２）の上面には、垂
直めねじ部が設けられており、各流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）は、これを貫通する
おねじ（１５）が継手（２１）（２２）の垂直めねじ部
にねじ込まれることにより、継手（２１）（２２）に取
り付けられている。
【００２４】図３に示すように、レール（２０）は、断
面Ｕ字状に形成されており、外向きのフランジ（２０
ａ）および内向きのフランジ（２０ｂ）を有している。
このレール（２０）内には、摺動部材（２４）が挿入さ
れている。摺動部材（２４）は、金属製で、上からレー
ル（２０）内に挿入可能なように２分割されている。そ
して、左右の各半体（２４ａ）（２４ｂ）に、それぞれ
垂直めねじ部（２５）が貫通状に設けられ、継手（２
１）（２２）を貫通するおねじ（２６）がそのめねじ部
（２５）にねじ合わされている。左右の各半体（２４
ａ）（２４ｂ）の上面には、外側が低くなるように段差
が設けられており、垂直めねじ部（２５）は、低い方の
面に設けられている。摺動部材（２４）は、めねじ部
（２５）とおねじ（２６）とがゆるくねじ合わされてい
る状態で、摺動は可能であるが、回転は不可能とされて
いる。そして、この状態から、おねじ（２６）を締め付
けていくことにより、摺動部材（２４）は、レール（２
０）内を上方に移動し、摺動部材（２４）上面の低い方
の面がレール（２０）の内向きフランジ（２０ｂ）下面
に押圧されて継手（２１）（２２）がレール（２０）に
固定されている。継手（２１）（２２）の下面とレール
（２０）上面との間には、座金（２７）が介在させられ
ており、摺動部材（２４）上面の高い方の面がこの座金
（２７）の下面に当接している。なお、継手（２１）
（２２）に設けられているおねじ挿通孔（２８）には、
段部（２８ａ）が設けられており、おねじ（２６）の軸
部に、フランジ（２９ａ）を上端部に有する円筒状スペ
ーサ（２９）が嵌め入れられ、スペーサ（２９）のフラ
ンジ（２９ａ）とおねじ挿通孔（２８）の段部（２８
ａ）との間に、円筒状弾性部材（３０）が介在させられ
ている。また、ブロック状継手（２１）をレール（２
０）に取り付けるおねじ（２６）を上方から回転させる
ことができるように、各流体制御機器（２）（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）間のブロック状継手（２
１）中央部上方には、スパナ挿通用の間隙が確保されて
いる。
面Ｕ字状に形成されており、外向きのフランジ（２０
ａ）および内向きのフランジ（２０ｂ）を有している。
このレール（２０）内には、摺動部材（２４）が挿入さ
れている。摺動部材（２４）は、金属製で、上からレー
ル（２０）内に挿入可能なように２分割されている。そ
して、左右の各半体（２４ａ）（２４ｂ）に、それぞれ
垂直めねじ部（２５）が貫通状に設けられ、継手（２
１）（２２）を貫通するおねじ（２６）がそのめねじ部
（２５）にねじ合わされている。左右の各半体（２４
ａ）（２４ｂ）の上面には、外側が低くなるように段差
が設けられており、垂直めねじ部（２５）は、低い方の
面に設けられている。摺動部材（２４）は、めねじ部
（２５）とおねじ（２６）とがゆるくねじ合わされてい
る状態で、摺動は可能であるが、回転は不可能とされて
いる。そして、この状態から、おねじ（２６）を締め付
けていくことにより、摺動部材（２４）は、レール（２
０）内を上方に移動し、摺動部材（２４）上面の低い方
の面がレール（２０）の内向きフランジ（２０ｂ）下面
に押圧されて継手（２１）（２２）がレール（２０）に
固定されている。継手（２１）（２２）の下面とレール
（２０）上面との間には、座金（２７）が介在させられ
ており、摺動部材（２４）上面の高い方の面がこの座金
（２７）の下面に当接している。なお、継手（２１）
（２２）に設けられているおねじ挿通孔（２８）には、
段部（２８ａ）が設けられており、おねじ（２６）の軸
部に、フランジ（２９ａ）を上端部に有する円筒状スペ
ーサ（２９）が嵌め入れられ、スペーサ（２９）のフラ
ンジ（２９ａ）とおねじ挿通孔（２８）の段部（２８
ａ）との間に、円筒状弾性部材（３０）が介在させられ
ている。また、ブロック状継手（２１）をレール（２
０）に取り付けるおねじ（２６）を上方から回転させる
ことができるように、各流体制御機器（２）（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）間のブロック状継手（２
１）中央部上方には、スパナ挿通用の間隙が確保されて
いる。
【００２５】なお、上記の実施形態において、摺動部材
（２４）は、２つに分割せずに、一体であってもよく、
この場合には、摺動部材（２４）は、レール（２０）の
前後いずれか一方の端からレール（２０）内に挿入され
る。
（２４）は、２つに分割せずに、一体であってもよく、
この場合には、摺動部材（２４）は、レール（２０）の
前後いずれか一方の端からレール（２０）内に挿入され
る。
【００２６】また、レールの形状は、特に限定されるも
のではなく、種々の変更が可能である。その一例を図４
に示す。同図に示す第２実施形態において、レール（４
０）は、開口を上に向けた断面Ｅ字状、すなわち、断面
Ｕ字状で内向きのフランジ（４１ａ）を有するレール本
体（４１）の左右の中央に、これを幅方向に分割するＴ
字状の中間壁（４２）が付加された形状とされてもよ
い。この場合には、摺動部材（４３）は、直方体状で、
左右一対とされ、上記第１実施形態と同様に、おねじ部
材（２６）がねじ込まれることにより、上方に移動して
レール（４０）に固定される。
のではなく、種々の変更が可能である。その一例を図４
に示す。同図に示す第２実施形態において、レール（４
０）は、開口を上に向けた断面Ｅ字状、すなわち、断面
Ｕ字状で内向きのフランジ（４１ａ）を有するレール本
体（４１）の左右の中央に、これを幅方向に分割するＴ
字状の中間壁（４２）が付加された形状とされてもよ
い。この場合には、摺動部材（４３）は、直方体状で、
左右一対とされ、上記第１実施形態と同様に、おねじ部
材（２６）がねじ込まれることにより、上方に移動して
レール（４０）に固定される。
【００２７】レール（２０）（４０）は、各ライン
（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）にその継手部材を摺動させるための
軌道を与えるものであり、これらのレール（２０）（４
０）に代えて、図５に示すように、ベース部材（１）の
上面に、摺動部材（５２）（５４）を案内する溝（５
１）（５３）を設け、これらの溝（５１）（５３）によ
って軌道を形成するようにしてもよい。図５（ａ）
（ｂ）に示す第３実施形態において、（ａ）の溝（５
１）は、あり溝すなわち断面が下広がりの台形状であ
り、（ｂ）に示す溝（５３）は内部拡大溝すなわち断面
逆Ｔ字状の溝である。（ａ）の場合、摺動部材（５２）
は、断面が下広がりの台形とされたブロックとされ、
（ｂ）の場合、摺動部材（５４）は、内部拡大溝（５
３）の拡大された部分に収まる直方体状ブロックとされ
る。（ａ）（ｂ）いずれの場合でも、摺動部材（５２）
（５４）は、おねじ部材（２６）がねじ込まれることに
より上方に移動し、溝（５１）（５３）の開口縁部に押
圧される。
（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）にその継手部材を摺動させるための
軌道を与えるものであり、これらのレール（２０）（４
０）に代えて、図５に示すように、ベース部材（１）の
上面に、摺動部材（５２）（５４）を案内する溝（５
１）（５３）を設け、これらの溝（５１）（５３）によ
って軌道を形成するようにしてもよい。図５（ａ）
（ｂ）に示す第３実施形態において、（ａ）の溝（５
１）は、あり溝すなわち断面が下広がりの台形状であ
り、（ｂ）に示す溝（５３）は内部拡大溝すなわち断面
逆Ｔ字状の溝である。（ａ）の場合、摺動部材（５２）
は、断面が下広がりの台形とされたブロックとされ、
（ｂ）の場合、摺動部材（５４）は、内部拡大溝（５
３）の拡大された部分に収まる直方体状ブロックとされ
る。（ａ）（ｂ）いずれの場合でも、摺動部材（５２）
（５４）は、おねじ部材（２６）がねじ込まれることに
より上方に移動し、溝（５１）（５３）の開口縁部に押
圧される。
【００２８】上記の第１から第３までの実施形態の流体
制御装置によると、装置全体を組み立てる際には、継手
部材（２１）（２２）を軌道（レール（２０）（４０）
または溝（５１）（５３））に沿って摺動させて所要位
置に配置した後、これらの継手部材（２１）（２２）
（６１）（６２）にまたがって流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）を取り付ければよ
く、組立てが容易にできる。
制御装置によると、装置全体を組み立てる際には、継手
部材（２１）（２２）を軌道（レール（２０）（４０）
または溝（５１）（５３））に沿って摺動させて所要位
置に配置した後、これらの継手部材（２１）（２２）
（６１）（６２）にまたがって流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）を取り付ければよ
く、組立てが容易にできる。
【００２９】そして、例えば、第２ライン（Ｂ）を第１
ライン（Ａ）と同じ構成とする場合には、追加すべき流
体制御機器（７）（８）（９）（１０）を接続するのに
必要な継手（２１）（２２）を軌道（２０）（４０）
（５１）（５３）の前端から装着して、軌道に沿って所
定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体制御機器
を取り付ければよい。この際、第１および第２実施形態
のものでは、軌道上方からの装着も可能である。そし
て、例えば、マスフローコントローラ（２）を前後長さ
が異なるものに変更する場合には、流体制御機器（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）を取り外すことなく、継
手部材（２１）（２２）を緩めて、軌道（２０）（４
０）（５１）（５３）に沿って所要位置まで摺動させた
後、これらを軌道に固定し、再び、流体制御機器を取り
付ければよい。この作業中既設ラインの継手部材は、軌
道に取り付けられたままであり、これらが落下したり紛
失したりすることが防止される。各流体制御機器間に新
たな機器を挿入する場合も、マスフローコントローラ
（２）の交換と同様の手順で行うことができる。こうし
て、ラインの変更も容易にできる。
ライン（Ａ）と同じ構成とする場合には、追加すべき流
体制御機器（７）（８）（９）（１０）を接続するのに
必要な継手（２１）（２２）を軌道（２０）（４０）
（５１）（５３）の前端から装着して、軌道に沿って所
定位置まで摺動させた後、これらの継手に流体制御機器
を取り付ければよい。この際、第１および第２実施形態
のものでは、軌道上方からの装着も可能である。そし
て、例えば、マスフローコントローラ（２）を前後長さ
が異なるものに変更する場合には、流体制御機器（３）
（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（１
１）（１２）（１３）（１４）を取り外すことなく、継
手部材（２１）（２２）を緩めて、軌道（２０）（４
０）（５１）（５３）に沿って所要位置まで摺動させた
後、これらを軌道に固定し、再び、流体制御機器を取り
付ければよい。この作業中既設ラインの継手部材は、軌
道に取り付けられたままであり、これらが落下したり紛
失したりすることが防止される。各流体制御機器間に新
たな機器を挿入する場合も、マスフローコントローラ
（２）の交換と同様の手順で行うことができる。こうし
て、ラインの変更も容易にできる。
【００３０】図６から図８までは、この発明による流体
制御装置の第４実施形態を示すもので、第１ライン
（Ａ）、第２ライン（Ｂ）および予備ライン（Ｃ）がベ
ース部材（１）に並列状に配置されて形成されているこ
とと、第１および第２ライン（Ａ）の流体制御機器
（２）（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）
（１０）（１１）（１２）（１３）（１４）の構成と
は、第１実施形態のものと同じである。以下の説明にお
いては、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略す
る。
制御装置の第４実施形態を示すもので、第１ライン
（Ａ）、第２ライン（Ｂ）および予備ライン（Ｃ）がベ
ース部材（１）に並列状に配置されて形成されているこ
とと、第１および第２ライン（Ａ）の流体制御機器
（２）（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）
（１０）（１１）（１２）（１３）（１４）の構成と
は、第１実施形態のものと同じである。以下の説明にお
いては、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略す
る。
【００３１】図６において、下段のブロック状継手（６
１）および外部接続用継手（６２）は、その形状が第１
実施形態のものから若干変更されるとともに、各継手
（６１）（６２）の下端には、図８に詳しく示すよう
に、レール把持爪（６４）を有する合成樹脂製摺動部材
（６３）がねじ（６５）により固定されている。レール
（６０）は、断面Ｕ字状に形成されており、外向きのフ
ランジ（６０ａ）のみを有し、内向きのフランジは有し
ていない。摺動部材（６３）は、逆Ｕ字状で、その下端
部に、レール（６０）の外向きフランジ（６０ａ）に係
合する内向きのレール把持爪（６４）が設けられてい
る。レール把持爪（６４）は、左右に開くことが可能な
程度の弾性を付与されている。こうして、各継手（６
１）（６２）は、レール（６０）に沿って摺動可能とさ
れるとともに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上方
へ取外し可能とされている。なお、組立て後の各継手
（６１）（６２）の前後移動を防止するため、入口およ
び出口の外部接続用継手（６２）とマスフローコントロ
ーラ（２）の入口側継手（６１Ａ）とに設けられた摺動
部材（６３）は、レール（６０）に固定されている。
１）および外部接続用継手（６２）は、その形状が第１
実施形態のものから若干変更されるとともに、各継手
（６１）（６２）の下端には、図８に詳しく示すよう
に、レール把持爪（６４）を有する合成樹脂製摺動部材
（６３）がねじ（６５）により固定されている。レール
（６０）は、断面Ｕ字状に形成されており、外向きのフ
ランジ（６０ａ）のみを有し、内向きのフランジは有し
ていない。摺動部材（６３）は、逆Ｕ字状で、その下端
部に、レール（６０）の外向きフランジ（６０ａ）に係
合する内向きのレール把持爪（６４）が設けられてい
る。レール把持爪（６４）は、左右に開くことが可能な
程度の弾性を付与されている。こうして、各継手（６
１）（６２）は、レール（６０）に沿って摺動可能とさ
れるとともに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上方
へ取外し可能とされている。なお、組立て後の各継手
（６１）（６２）の前後移動を防止するため、入口およ
び出口の外部接続用継手（６２）とマスフローコントロ
ーラ（２）の入口側継手（６１Ａ）とに設けられた摺動
部材（６３）は、レール（６０）に固定されている。
【００３２】この第４実施形態のものでは、図７に示す
ように、３つのレール（６０）同士がその前後端部にお
いて、連結部材（６６）によって連結されている。これ
により、レール（６０）間隔の変動や各レール（６０）
のがたつきが防止されるとともに、レール（６０）から
の機器の脱落が防止されている。
ように、３つのレール（６０）同士がその前後端部にお
いて、連結部材（６６）によって連結されている。これ
により、レール（６０）間隔の変動や各レール（６０）
のがたつきが防止されるとともに、レール（６０）から
の機器の脱落が防止されている。
【００３３】上記第４実施形態において、レール（６
０）の形状は、特に限定されるものではなく、種々の変
更が可能である。例えば、レール（６０）は、第１実施
形態とは異なる形状とされているが、同じレール（２
０）を使用することももちろん可能である。また、レー
ル（７０）および摺動部材（７１）の形状を図９に示す
ようにしてもよい。
０）の形状は、特に限定されるものではなく、種々の変
更が可能である。例えば、レール（６０）は、第１実施
形態とは異なる形状とされているが、同じレール（２
０）を使用することももちろん可能である。また、レー
ル（７０）および摺動部材（７１）の形状を図９に示す
ようにしてもよい。
【００３４】図９に示す第５実施形態において、レール
（７０）は、断面Ｕ字状に形成されており、内向きのフ
ランジ（７０ａ）のみを有し、外向きのフランジは有し
ていない。摺動部材（７１）には、レール（７０）の内
向きフランジ（７０ａ）に係合する外向きのレール把持
爪（７２）が設けられている。レール把持爪（７２）
は、左右方向内向きに変形させることが可能な程度の弾
性を付与されている。こうして、各継手（６１）（６
２）は、レール（７０）に沿って摺動可能とされるとと
もに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上方へ取外し
可能とされている。
（７０）は、断面Ｕ字状に形成されており、内向きのフ
ランジ（７０ａ）のみを有し、外向きのフランジは有し
ていない。摺動部材（７１）には、レール（７０）の内
向きフランジ（７０ａ）に係合する外向きのレール把持
爪（７２）が設けられている。レール把持爪（７２）
は、左右方向内向きに変形させることが可能な程度の弾
性を付与されている。こうして、各継手（６１）（６
２）は、レール（７０）に沿って摺動可能とされるとと
もに、通常時は上方に外れずかつ強制的に上方へ取外し
可能とされている。
【００３５】第４および第５実施形態では、摺動部材
（６３）（７１）は合成樹脂製であったが、左右に開く
ことが可能な程度の弾性を付与された金属製のものに代
えてももちろんよい。
（６３）（７１）は合成樹脂製であったが、左右に開く
ことが可能な程度の弾性を付与された金属製のものに代
えてももちろんよい。
【００３６】また、摺動部材を金属製として、図１０に
示す形態（第６実施形態）としてもよい。同図におい
て、レール（６０）および継手（６１）（６１Ａ）（６
２）は第４実施形態と同じものが使用され、摺動部材
（８１）は、逆Ｕ字状で、その下端部に、内向きのレー
ル把持爪（８２）が設けられている。この摺動部材（８
１）は、レール（６０）の前後いずれかの端から装着さ
れて所要位置まで移動させられて固定される。固定に
は、おねじ部材（２６）が使用され、摺動部材（８１）
を貫通する垂直めねじ部におねじ部材（２６）をねじ合
わせて、座金（８３）を介してレール（６０）の外向き
フランジ（６０ａ）に締め付けることにより、継手（６
１）（６１Ａ）（６２）の移動が阻止される。継手（６
１）（６１Ａ）（６２）に設けられるおねじ挿通孔（２
８）には、第１実施形態のものと同じく、段部（２８
ａ）が設けられるが、スペーサ（２９）および弾性部材
（３０）は、使用されない。
示す形態（第６実施形態）としてもよい。同図におい
て、レール（６０）および継手（６１）（６１Ａ）（６
２）は第４実施形態と同じものが使用され、摺動部材
（８１）は、逆Ｕ字状で、その下端部に、内向きのレー
ル把持爪（８２）が設けられている。この摺動部材（８
１）は、レール（６０）の前後いずれかの端から装着さ
れて所要位置まで移動させられて固定される。固定に
は、おねじ部材（２６）が使用され、摺動部材（８１）
を貫通する垂直めねじ部におねじ部材（２６）をねじ合
わせて、座金（８３）を介してレール（６０）の外向き
フランジ（６０ａ）に締め付けることにより、継手（６
１）（６１Ａ）（６２）の移動が阻止される。継手（６
１）（６１Ａ）（６２）に設けられるおねじ挿通孔（２
８）には、第１実施形態のものと同じく、段部（２８
ａ）が設けられるが、スペーサ（２９）および弾性部材
（３０）は、使用されない。
【００３７】この第６実施形態の摺動部材（８１）は、
第４実施形態の摺動部材（６３）と併用することが可能
である。すなわち、入口および出口の外部接続用継手
（６２）とマスフローコントローラ（２）の入口側継手
（６１Ａ）とに設けられるものを第６実施形態の摺動部
材（８１）とし、残りのものを第４実施形態の摺動部材
（６３）とすると、組立て後の各継手（６１）（６２）
の前後移動が防止され、しかも、第４実施形態の摺動部
材（６３）が取り付けられた継手（６１）は、レール
（６０）の端まで移動させなくても、上方に取り出すこ
とができ、ラインの変更・増設時の作業がしやすいもの
となる。
第４実施形態の摺動部材（６３）と併用することが可能
である。すなわち、入口および出口の外部接続用継手
（６２）とマスフローコントローラ（２）の入口側継手
（６１Ａ）とに設けられるものを第６実施形態の摺動部
材（８１）とし、残りのものを第４実施形態の摺動部材
（６３）とすると、組立て後の各継手（６１）（６２）
の前後移動が防止され、しかも、第４実施形態の摺動部
材（６３）が取り付けられた継手（６１）は、レール
（６０）の端まで移動させなくても、上方に取り出すこ
とができ、ラインの変更・増設時の作業がしやすいもの
となる。
【００３８】第４から第６までの実施形態の流体制御装
置によると、装置全体を組み立てる際には、継手部材
（６１）（６２）を軌道（レール（６０）（７０））に
沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継手
部材（６１）（６２）にまたがって流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）を取り付ければよ
く、組立てが容易にできる。
置によると、装置全体を組み立てる際には、継手部材
（６１）（６２）を軌道（レール（６０）（７０））に
沿って摺動させて所要位置に配置した後、これらの継手
部材（６１）（６２）にまたがって流体制御機器（２）
（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）（１０）
（１１）（１２）（１３）（１４）を取り付ければよ
く、組立てが容易にできる。
【００３９】そして、例えば、第２ライン（Ｂ）を第１
ライン（Ａ）と同じ構成とする場合には、追加すべき流
体制御機器（７）（８）（９）（１０）を接続するのに
必要な継手（６１）（６２）を軌道（６０）（７０）の
前端から装着して、軌道に沿って所定位置まで摺動させ
た後、これらの継手に流体制御機器を取り付ければよ
い。この際、第４および第５実施形態のものでは、摺動
部材（６３）（７１）を軌道上方から装着することも可
能である。そして、各流体制御機器間に新たな機器を挿
入する場合も、同様であり、ラインの変更が容易にでき
る。
ライン（Ａ）と同じ構成とする場合には、追加すべき流
体制御機器（７）（８）（９）（１０）を接続するのに
必要な継手（６１）（６２）を軌道（６０）（７０）の
前端から装着して、軌道に沿って所定位置まで摺動させ
た後、これらの継手に流体制御機器を取り付ければよ
い。この際、第４および第５実施形態のものでは、摺動
部材（６３）（７１）を軌道上方から装着することも可
能である。そして、各流体制御機器間に新たな機器を挿
入する場合も、同様であり、ラインの変更が容易にでき
る。
【００４０】なお、第１、第２、第４、第５および第６
の実施形態では、軌道がベース部材に着脱可能に取り付
けられたレール（２０）（４０）（６０）（７０）によ
って形成されているので、装置全体を組み立てる際に
は、継手部材（２１）（２２）（６１）（６２）および
流体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）が取り付けられたレールごとベース部材（１）に取
り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、ライ
ンの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上
方に取り外した後、変更される旧ラインをレールごと外
し、これに置き換えられるラインのレールをベース部材
上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手段を
取り付けるという手順でも行うことができる。同様に、
ラインを増設する際には、必要に応じて通路接続手段を
上方に取り外した後、増設すべきラインをレールごとベ
ース部材上に取り付け、最後に、増設後に必要な通路接
続手段を取り付けるだけでよく、ラインの増設および変
更が容易に行える。
の実施形態では、軌道がベース部材に着脱可能に取り付
けられたレール（２０）（４０）（６０）（７０）によ
って形成されているので、装置全体を組み立てる際に
は、継手部材（２１）（２２）（６１）（６２）および
流体制御機器（２）（３）（４）（５）（６）（７）
（８）（９）（１０）（１１）（１２）（１３）（１
４）が取り付けられたレールごとベース部材（１）に取
り付ければよく、組立てが容易にできる。そして、ライ
ンの変更を行う際には、必要に応じて通路接続手段を上
方に取り外した後、変更される旧ラインをレールごと外
し、これに置き換えられるラインのレールをベース部材
上に取り付け、最後に、変更後に必要な通路接続手段を
取り付けるという手順でも行うことができる。同様に、
ラインを増設する際には、必要に応じて通路接続手段を
上方に取り外した後、増設すべきラインをレールごとベ
ース部材上に取り付け、最後に、増設後に必要な通路接
続手段を取り付けるだけでよく、ラインの増設および変
更が容易に行える。
【００４１】なお、上記実施形態では、ベース部材
（１）が板状とされているが、図１１から図１３までに
示すように、ベース部材は、枠状としてもよい。
（１）が板状とされているが、図１１から図１３までに
示すように、ベース部材は、枠状としてもよい。
【００４２】同図に示す第７実施形態において、ベース
部材（９１）は、入口側レール（９２）と、出口側レー
ル（９３）と、両レール（９２）（９３）同士を連結す
る連結部材（９４）と、両レール（９２）（９３）間の
中間に設けられた中間レール（９５）とよりなる。そし
て、下段の継手部材（２１）（２２）が各ライン（Ａ）
（Ｂ）ごとにライン支持用のレール（９６）に取り付け
られており、これらの継手部材（２１）（２２）にまた
がって上段の流体制御機器（２）（３）（４）（５）
（６）（７）（８）（９）（１０）（１１）（１２）
（１３）（１４）が取り付けられている。
部材（９１）は、入口側レール（９２）と、出口側レー
ル（９３）と、両レール（９２）（９３）同士を連結す
る連結部材（９４）と、両レール（９２）（９３）間の
中間に設けられた中間レール（９５）とよりなる。そし
て、下段の継手部材（２１）（２２）が各ライン（Ａ）
（Ｂ）ごとにライン支持用のレール（９６）に取り付け
られており、これらの継手部材（２１）（２２）にまた
がって上段の流体制御機器（２）（３）（４）（５）
（６）（７）（８）（９）（１０）（１１）（１２）
（１３）（１４）が取り付けられている。
【００４３】この実施形態のライン支持用のレール（９
６）は、図１３に示すように、１つのライン（Ａ）
（Ｂ）に対してそれぞれ１つ溝タイプの型材（９７）が
２つ並列に配置されることにより形成されている。各型
材（９７）は、それぞれ内向きフランジ（９７ａ）を有
しており、その内部に形成された溝（９７ｂ）は、断面
が下狭まりの台形状とされている。そして、これに対応
して、摺動部材（９８）の断面形状も下狭まりの台形状
とされている。摺動部材（９８）には、垂直めねじ部
（９９）が設けられており、このめねじ部（２５）に継
手（２１）（２２）を貫通するおねじ（２６）がねじ合
わされている。ここで、摺動部材（９８）の軸方向長さ
は、型材（９７）の内向きフランジ（９７ａ）の先端間
距離よりも小さくなされており、図１４に示すように、
おねじ（２６）にねじ合わされた摺動部材（９８）を図
１３の状態から９０°回転させた形にして溝（９７ｂ）
内に嵌め入れ（二点鎖線で示された状態）、その後、摺
動部材（９８）を９０°回転させることにより（実線お
よび破線で示された状態）、摺動部材（９８）の仮止め
ができるようになっている。
６）は、図１３に示すように、１つのライン（Ａ）
（Ｂ）に対してそれぞれ１つ溝タイプの型材（９７）が
２つ並列に配置されることにより形成されている。各型
材（９７）は、それぞれ内向きフランジ（９７ａ）を有
しており、その内部に形成された溝（９７ｂ）は、断面
が下狭まりの台形状とされている。そして、これに対応
して、摺動部材（９８）の断面形状も下狭まりの台形状
とされている。摺動部材（９８）には、垂直めねじ部
（９９）が設けられており、このめねじ部（２５）に継
手（２１）（２２）を貫通するおねじ（２６）がねじ合
わされている。ここで、摺動部材（９８）の軸方向長さ
は、型材（９７）の内向きフランジ（９７ａ）の先端間
距離よりも小さくなされており、図１４に示すように、
おねじ（２６）にねじ合わされた摺動部材（９８）を図
１３の状態から９０°回転させた形にして溝（９７ｂ）
内に嵌め入れ（二点鎖線で示された状態）、その後、摺
動部材（９８）を９０°回転させることにより（実線お
よび破線で示された状態）、摺動部材（９８）の仮止め
ができるようになっている。
【００４４】入口側レール（９２）、出口側レール（９
３）および中間レール（９５）は、上述した１つ溝タイ
プの型材（９７）２つを一体化した形状とされた２つ溝
タイプの型材をそのまま使用したものである。また、入
口側レール（９２）と出口側レール（９３）とを連結し
ている連結部材（９４）として、ライン支持用のレール
（９６）を形成しているのと同じ１つ溝タイプの型材
（９７）が使用されている。
３）および中間レール（９５）は、上述した１つ溝タイ
プの型材（９７）２つを一体化した形状とされた２つ溝
タイプの型材をそのまま使用したものである。また、入
口側レール（９２）と出口側レール（９３）とを連結し
ている連結部材（９４）として、ライン支持用のレール
（９６）を形成しているのと同じ１つ溝タイプの型材
（９７）が使用されている。
【００４５】ライン支持用のレール（９６）は、継手部
材（２１）（２２）をこれに取り付けるのと同じ構成に
より、入口側レール（９２）および出口側レール（９
３）に取り付けられている。すなわち、ライン支持用の
レール（９６）の前後両端部には、座ぐりが設けられ
て、ここから挿通されたおねじ部材（１００）が入口側
および出口側レール（９２）（９３）内に配された摺動
部材（９８）にねじ合わされている。これにより、各ラ
イン支持用のレール（９６）は、ライン（前後方向）と
直交する方向（左右方向）に摺動可能とされている。
材（２１）（２２）をこれに取り付けるのと同じ構成に
より、入口側レール（９２）および出口側レール（９
３）に取り付けられている。すなわち、ライン支持用の
レール（９６）の前後両端部には、座ぐりが設けられ
て、ここから挿通されたおねじ部材（１００）が入口側
および出口側レール（９２）（９３）内に配された摺動
部材（９８）にねじ合わされている。これにより、各ラ
イン支持用のレール（９６）は、ライン（前後方向）と
直交する方向（左右方向）に摺動可能とされている。
【００４６】連結部材（９４）と入口側レール（９
２）、出口側レール（９３）および中間レール（９５）
とも同じ構成により、連結部材（９４）が摺動可能なよ
うにレール（９２）（９３）（９５）に取り付けられて
いる。
２）、出口側レール（９３）および中間レール（９５）
とも同じ構成により、連結部材（９４）が摺動可能なよ
うにレール（９２）（９３）（９５）に取り付けられて
いる。
【００４７】上記第７実施形態の変形例を図１５および
図１６に示す。同図に示す第８実施形態において、１つ
のライン支持用のレール（１０１）は、１つ溝タイプの
型材（９７）２つを一体化した形状とされた２つ溝タイ
プの型材によって形成されている。レール（１０１）内
部には、断面が下狭まりの台形状である溝（１０１ａ）
が２つ形成されている。そして、これに対応して、摺動
部材（１０２）の断面形状も下狭まりの台形状とされて
いる。摺動部材（１０２）には、ばね（１０４）で下向
きに付勢されたプランジャー（１０３）が内蔵されてお
り、このプランジャー（１０３）が溝（１０１ａ）の底
面に当たることにより、摺動部材（１０２）が上向きに
押されるようになされている。したがって、おねじ（２
６）を摺動部材（１０２）の垂直めねじ部（１０５）に
ねじ合わせる前の段階で、摺動部材（１０２）の仮止め
が行われる。
図１６に示す。同図に示す第８実施形態において、１つ
のライン支持用のレール（１０１）は、１つ溝タイプの
型材（９７）２つを一体化した形状とされた２つ溝タイ
プの型材によって形成されている。レール（１０１）内
部には、断面が下狭まりの台形状である溝（１０１ａ）
が２つ形成されている。そして、これに対応して、摺動
部材（１０２）の断面形状も下狭まりの台形状とされて
いる。摺動部材（１０２）には、ばね（１０４）で下向
きに付勢されたプランジャー（１０３）が内蔵されてお
り、このプランジャー（１０３）が溝（１０１ａ）の底
面に当たることにより、摺動部材（１０２）が上向きに
押されるようになされている。したがって、おねじ（２
６）を摺動部材（１０２）の垂直めねじ部（１０５）に
ねじ合わせる前の段階で、摺動部材（１０２）の仮止め
が行われる。
【００４８】第７および第８実施形態のものでは、ライ
ンの変更や増設を行う際には、既設ライン（Ａ）（Ｂ）
のライン支持用レール（９６）（１０１）を必要に応じ
て摺動させ、置き換えまたは追加されるラインのレール
をベース部材（９１）上に取り付け、この後、既設ライ
ン（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９６）（１０
１）を摺動させて適正位置に戻すことが可能となり、ラ
インの増設および変更がさらに容易に行える。
ンの変更や増設を行う際には、既設ライン（Ａ）（Ｂ）
のライン支持用レール（９６）（１０１）を必要に応じ
て摺動させ、置き換えまたは追加されるラインのレール
をベース部材（９１）上に取り付け、この後、既設ライ
ン（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９６）（１０
１）を摺動させて適正位置に戻すことが可能となり、ラ
インの増設および変更がさらに容易に行える。
【００４９】図１７は、第９実施形態を示す。同図にお
いて、１つのライン支持用のレール（１１１）は、２つ
溝タイプの型材によって形成されている。レール（１１
１）内部には、上向きに開口しかつ内部の断面形状が下
狭まりの台形状である内部拡大溝（１１１ａ）が２つ形
成されている。レール（１１１）には、さらに、その両
外側面に、長さ方向（前後方向）にのびる溝（１１１
ｂ）が設けられている。そして、摺動部材（１１２）
は、金属製でかつ外づかみタイプとされている。すなわ
ち、摺動部材（１１２）が、頂壁（１１２ａ）および前
後垂直壁（１１２ｂ）を有する逆Ｕ字状とされ、摺動部
材（１１２）は、その両垂直壁（１１２ｂ）がレール
（１１１）の両外側面を挟むことにより、レール（１１
１）に取り付けられている。摺動部材（１１２）の両垂
直壁（１１２ｂ）は、前後の中間部分が切り欠かれるこ
とにより、左右方向の弾性が大きくなるようになされて
おり、また、その高さの中間部分が内方に屈曲されるこ
とにより、内向きの突起（１１３）が形成されている。
そして、摺動部材（１１２）の垂直壁（１１２ｂ）の突
起（１１３）がレール（１１１）外側面の溝（１１１
ｂ）に嵌まり合うことにより、摺動部材（１１２）が長
さ方向にのみ移動可能なようになされている。レール
（１１１）の上面と摺動部材（１１２）の頂壁（１１２
ｂ）との間には、板状のスペーサ（１１４）が介在され
ており、継手（２２）を貫通するおねじ（２６）がさら
に摺動部材（１１２）の頂壁（１１２ｂ）を貫通し、こ
のおねじ（２６）の先端部がスペーサ（１１４）に設け
られたねじ孔ねじ込まれることにより、継手（２２）と
摺動部材（１１２）とが一体化されている。
いて、１つのライン支持用のレール（１１１）は、２つ
溝タイプの型材によって形成されている。レール（１１
１）内部には、上向きに開口しかつ内部の断面形状が下
狭まりの台形状である内部拡大溝（１１１ａ）が２つ形
成されている。レール（１１１）には、さらに、その両
外側面に、長さ方向（前後方向）にのびる溝（１１１
ｂ）が設けられている。そして、摺動部材（１１２）
は、金属製でかつ外づかみタイプとされている。すなわ
ち、摺動部材（１１２）が、頂壁（１１２ａ）および前
後垂直壁（１１２ｂ）を有する逆Ｕ字状とされ、摺動部
材（１１２）は、その両垂直壁（１１２ｂ）がレール
（１１１）の両外側面を挟むことにより、レール（１１
１）に取り付けられている。摺動部材（１１２）の両垂
直壁（１１２ｂ）は、前後の中間部分が切り欠かれるこ
とにより、左右方向の弾性が大きくなるようになされて
おり、また、その高さの中間部分が内方に屈曲されるこ
とにより、内向きの突起（１１３）が形成されている。
そして、摺動部材（１１２）の垂直壁（１１２ｂ）の突
起（１１３）がレール（１１１）外側面の溝（１１１
ｂ）に嵌まり合うことにより、摺動部材（１１２）が長
さ方向にのみ移動可能なようになされている。レール
（１１１）の上面と摺動部材（１１２）の頂壁（１１２
ｂ）との間には、板状のスペーサ（１１４）が介在され
ており、継手（２２）を貫通するおねじ（２６）がさら
に摺動部材（１１２）の頂壁（１１２ｂ）を貫通し、こ
のおねじ（２６）の先端部がスペーサ（１１４）に設け
られたねじ孔ねじ込まれることにより、継手（２２）と
摺動部材（１１２）とが一体化されている。
【００５０】図１８は、第１０実施形態を示す。同図に
おいて、ライン支持用のレール（１１１）は、第９実施
形態のものと同一形状であり、摺動部材（１２２）が金
属製で外づかみタイプである点と、摺動部材（１２２）
が頂壁（１２２ａ）および前後垂直壁（１２２ｂ）を有
する逆Ｕ字状とされており、継手（２２）を貫通するお
ねじ（２６）がさらに摺動部材（１２２）の頂壁（１２
２ｂ）を貫通し、このおねじ（２６）の先端部がスペー
サ（１１４）に設けられたねじ孔ねじ込まれることによ
り、継手（２２）と摺動部材（１２２）とが一体化され
ている点も同じである。そして、この実施形態のもので
は、摺動部材（１２２）の両垂直壁（１２２ｂ）には、
その高さの中間部分に内向きに突出する突起（１２３）
が一体に形成されており、この突起が（１２３）レール
（１１１）外側面の溝（１１１ｂ）に嵌まり合うことに
より、摺動部材（１２２）が長さ方向にのみ移動可能な
ようになされている。
おいて、ライン支持用のレール（１１１）は、第９実施
形態のものと同一形状であり、摺動部材（１２２）が金
属製で外づかみタイプである点と、摺動部材（１２２）
が頂壁（１２２ａ）および前後垂直壁（１２２ｂ）を有
する逆Ｕ字状とされており、継手（２２）を貫通するお
ねじ（２６）がさらに摺動部材（１２２）の頂壁（１２
２ｂ）を貫通し、このおねじ（２６）の先端部がスペー
サ（１１４）に設けられたねじ孔ねじ込まれることによ
り、継手（２２）と摺動部材（１２２）とが一体化され
ている点も同じである。そして、この実施形態のもので
は、摺動部材（１２２）の両垂直壁（１２２ｂ）には、
その高さの中間部分に内向きに突出する突起（１２３）
が一体に形成されており、この突起が（１２３）レール
（１１１）外側面の溝（１１１ｂ）に嵌まり合うことに
より、摺動部材（１２２）が長さ方向にのみ移動可能な
ようになされている。
【００５１】上記第９および第１０実施形態において、
摺動部材（１１２）（１２２）は、金属製でなく、ゴム
製や合成樹脂製であってももちろんよい。ゴム製の場合
には、摺動性を確保するために、非粘着性のゴムとされ
ることが好ましく、また、金属製の場合であっても、テ
フロン加工などの摺動性向上のコーティングを施すこと
がより好ましい。
摺動部材（１１２）（１２２）は、金属製でなく、ゴム
製や合成樹脂製であってももちろんよい。ゴム製の場合
には、摺動性を確保するために、非粘着性のゴムとされ
ることが好ましく、また、金属製の場合であっても、テ
フロン加工などの摺動性向上のコーティングを施すこと
がより好ましい。
【００５２】図１９は、第１１実施形態を示す。同図に
おいて、ライン支持用のレール（１１１）は、第９実施
形態のものと同一形状であるが、摺動部材（１３１）
は、レール（１１１）の内部拡大溝（１１１ａ）に嵌ま
り合うようになされている。すなわち、摺動部材（１３
１）は、ゴム製であり、継手（２２）の下面に当接する
板状部（１３３）と、板状部（１３３）下面に設けられ
た下方突出部（１３４）とよりなる。下方突出部（１３
４）は、内部拡大溝（１１１ａ）内に上方に抜けないよ
うに嵌め入れられた下端部を有しており、レール（１１
１）の左右方向に変形しやすいように中空状とされてい
る。レール（１１１）の上面と摺動部材（１３１）の板
状部（１３３）との間に、板状のスペーサ（１３２）が
介在されている。スペーサ（１３２）は、摺動部材（１
１２）の下方突出部（１３４）が上方から挿通される方
形貫通孔（１３５）と、おねじ（１３７）を下方から挿
通させる２つの円形貫通孔（１３６）と、レール（１１
１）内に摺動自在に嵌め入れられる下方突出部（１３
８）とが設けられている。摺動部材１３１）は、おねじ
（１３７）によりスペーサ（１３２）を継手（２２）に
固定することにより、継手（２２）と一体化されてい
る。なお、摺動部材（１３１）は、ゴム製でなく、金属
製や合成樹脂製であってももちろんよい。
おいて、ライン支持用のレール（１１１）は、第９実施
形態のものと同一形状であるが、摺動部材（１３１）
は、レール（１１１）の内部拡大溝（１１１ａ）に嵌ま
り合うようになされている。すなわち、摺動部材（１３
１）は、ゴム製であり、継手（２２）の下面に当接する
板状部（１３３）と、板状部（１３３）下面に設けられ
た下方突出部（１３４）とよりなる。下方突出部（１３
４）は、内部拡大溝（１１１ａ）内に上方に抜けないよ
うに嵌め入れられた下端部を有しており、レール（１１
１）の左右方向に変形しやすいように中空状とされてい
る。レール（１１１）の上面と摺動部材（１３１）の板
状部（１３３）との間に、板状のスペーサ（１３２）が
介在されている。スペーサ（１３２）は、摺動部材（１
１２）の下方突出部（１３４）が上方から挿通される方
形貫通孔（１３５）と、おねじ（１３７）を下方から挿
通させる２つの円形貫通孔（１３６）と、レール（１１
１）内に摺動自在に嵌め入れられる下方突出部（１３
８）とが設けられている。摺動部材１３１）は、おねじ
（１３７）によりスペーサ（１３２）を継手（２２）に
固定することにより、継手（２２）と一体化されてい
る。なお、摺動部材（１３１）は、ゴム製でなく、金属
製や合成樹脂製であってももちろんよい。
【００５３】図８に示す第４実施形態、図９に示す第５
実施形態、図１７に示す第９実施形態、図１８に示す第
１０実施形態および図１９に示す第１１実施形態におい
て、摺動部材（６３）（７１）（１１２）（１２２）
（１３１）は、ねじによって固定されていないため可動
であり、ねじによってレールに固定されている固定摺動
部材（例えば図１５の（１０２））と併用されることが
好ましい。この場合に、可動摺動部材（６３）（７１）
（１１２）（１２２）（１３１）を有する継手（６１）
（６１Ａ）（２２）は、固定摺動部材（１０２）を有す
る継手（２２）と可動摺動部材（６３）（７１）（１１
２）（１２２）（１３１）を有する継手（６１）（６１
Ａ）（２２）とが流体制御機器を介して接続されること
により、その移動が阻止される。
実施形態、図１７に示す第９実施形態、図１８に示す第
１０実施形態および図１９に示す第１１実施形態におい
て、摺動部材（６３）（７１）（１１２）（１２２）
（１３１）は、ねじによって固定されていないため可動
であり、ねじによってレールに固定されている固定摺動
部材（例えば図１５の（１０２））と併用されることが
好ましい。この場合に、可動摺動部材（６３）（７１）
（１１２）（１２２）（１３１）を有する継手（６１）
（６１Ａ）（２２）は、固定摺動部材（１０２）を有す
る継手（２２）と可動摺動部材（６３）（７１）（１１
２）（１２２）（１３１）を有する継手（６１）（６１
Ａ）（２２）とが流体制御機器を介して接続されること
により、その移動が阻止される。
【００５４】第７から第１１までの実施形態のもので
は、ラインの変更や増設を行う際には、既設ライン
（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９６）（１０１）
を必要に応じて摺動させ、置き換えまたは追加されるラ
インのレールをベース部材（９１）上に取り付け、この
後、既設ライン（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９
６）（１０１）を摺動させて適正位置に戻すことが可能
となり、ラインの増設および変更がさらに容易に行え
る。
は、ラインの変更や増設を行う際には、既設ライン
（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９６）（１０１）
を必要に応じて摺動させ、置き換えまたは追加されるラ
インのレールをベース部材（９１）上に取り付け、この
後、既設ライン（Ａ）（Ｂ）のライン支持用レール（９
６）（１０１）を摺動させて適正位置に戻すことが可能
となり、ラインの増設および変更がさらに容易に行え
る。
【００５５】なお、第７から第１１までの実施形態にお
いて、ライン支持用のレール（９６）（１０１）に代え
て軌道を有していない板材を使用した場合でも、ライン
の変更や増設を行う際に、既設ラインのライン支持用板
材を必要に応じて摺動させ、置き換えまたは追加される
ラインの板材をベース部材上に取り付け、この後、既設
ラインの板材を摺動させて適正位置に戻すことが可能と
なり、ラインの増設および変更が容易に行えるという効
果を奏しうる。
いて、ライン支持用のレール（９６）（１０１）に代え
て軌道を有していない板材を使用した場合でも、ライン
の変更や増設を行う際に、既設ラインのライン支持用板
材を必要に応じて摺動させ、置き換えまたは追加される
ラインの板材をベース部材上に取り付け、この後、既設
ラインの板材を摺動させて適正位置に戻すことが可能と
なり、ラインの増設および変更が容易に行えるという効
果を奏しうる。
【図１】この発明による流体制御装置の第１実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】図１のＩＩＩ―ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】この発明による流体制御装置の第２実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図５】この発明による流体制御装置の第３実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図６】この発明による流体制御装置の第４実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図７】同平面図である。
【図８】図６のＶＩＩＩ―ＶＩＩＩ線に沿う断面図であ
る。
る。
【図９】この発明による流体制御装置の第５実施形態の
要部を示す断面図である。
要部を示す断面図である。
【図１０】この発明による流体制御装置の第６実施形態
の要部を示す断面図である。
の要部を示す断面図である。
【図１１】この発明による流体制御装置の第７実施形態
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図１２】同平面図である。
【図１３】図１１のＸＩＩＩ―ＸＩＩＩ線に沿う断面図
である。
である。
【図１４】図１３のレールの上面に沿う拡大水平断面図
である。
である。
【図１５】この発明による流体制御装置の第８実施形態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図１６】図１５のレールの上面に沿う拡大断面図であ
る。
る。
【図１７】この発明による流体制御装置の第９実施形態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図１８】この発明による流体制御装置の第１０実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図１９】この発明による流体制御装置の第１１実施形
態を示す分解斜視図および断面図である。
態を示す分解斜視図および断面図である。
（Ａ）（Ｂ） ライン
（１） 板状ベース部材
（２）（３）（４）（５）（６）（７）（８）（９）
（１０）（１１）（１２）（１３）（１４） 流体制御
機器 （２０） レール （２０ａ） 外向きフランジ （２０ｂ） 内向きフランジ （２１）（２２） 継手部材 （２４） 摺動部材 （２６） おねじ部材 （４０） レール （４１ａ） 内向きフランジ （４３） 摺動部材 （５１）（５３） 溝 （５２）（５４） 摺動部材 （６０） レール （６０ａ） 外向きフランジ （６１）（６２） 継手部材 （６３） 摺動部材 （６４） レール把持爪 （６５） ねじ（おねじ部材） （７０） レール （７０ａ） 内向きフランジ （７１） 摺動部材 （７２） レール把持爪 （８１） 摺動部材 （８２） レール把持爪 （９１） 枠状ベース部材 （９２） 入口側レール （９３） 出口側レール （９５） 連結部材 （９６） ライン支持用レール（ライン支持部材） （９８） 摺動部材 （１０１） ライン支持用レール（ライン支持部材） （１０２） 摺動部材
（１０）（１１）（１２）（１３）（１４） 流体制御
機器 （２０） レール （２０ａ） 外向きフランジ （２０ｂ） 内向きフランジ （２１）（２２） 継手部材 （２４） 摺動部材 （２６） おねじ部材 （４０） レール （４１ａ） 内向きフランジ （４３） 摺動部材 （５１）（５３） 溝 （５２）（５４） 摺動部材 （６０） レール （６０ａ） 外向きフランジ （６１）（６２） 継手部材 （６３） 摺動部材 （６４） レール把持爪 （６５） ねじ（おねじ部材） （７０） レール （７０ａ） 内向きフランジ （７１） 摺動部材 （７２） レール把持爪 （８１） 摺動部材 （８２） レール把持爪 （９１） 枠状ベース部材 （９２） 入口側レール （９３） 出口側レール （９５） 連結部材 （９６） ライン支持用レール（ライン支持部材） （９８） 摺動部材 （１０１） ライン支持用レール（ライン支持部材） （１０２） 摺動部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 岡部 庸之
東京都港区赤坂５丁目３番６号 東京エ
レクトロン株式会社内
(72)発明者 五島 憲一
愛知県小牧市応時二丁目250番地 シー
ケーディ株式会社内
(72)発明者 小林 英雄
愛知県小牧市応時二丁目250番地 シー
ケーディ株式会社内
(72)発明者 長屋 暁典
愛知県小牧市応時二丁目250番地 シー
ケーディ株式会社内
(72)発明者 山路 道雄
大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式
会社フジキン内
(72)発明者 吉川 和博
大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式
会社フジキン内
(72)発明者 川野 祐司
大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式
会社フジキン内
(56)参考文献 特開 平11−50257（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−118053（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−229226（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−245489（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−190056（ＪＰ，Ａ)
実開 平１−135276（ＪＰ，Ｕ)
実公 昭50−27134（ＪＰ，Ｙ１)
実公 昭49−24066（ＪＰ，Ｙ１)
米国特許6076543（ＵＳ，Ａ)
国際公開99／02867（ＷＯ，Ａ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F15B 11/00
F17D 1/00 - 5/08
F16K 27/00
H01L 21/302
F16B 5/10
F16B 19/00
Claims (16)
- 【請求項１】 １つのラインが、上段に配された複数の
流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによ
って形成され、複数のラインが、その入口および出口を
同じ方向に向けてベース部材上に並列状に配置されてい
る流体制御装置において、 各ラインがそれぞれ１つのライン支持部材に取り付けら
れており、ライン支持部材が、ラインと直交する方向に
摺動可能にベース部材に取り付けられていることを特徴
とする流体制御装置。 - 【請求項２】 ライン支持部材が、ベース部材に着脱可
能に取り付けられたレールとされ、各継手部材がレール
に摺動可能に取り付けられ、これらの継手部材にまたが
って流体制御機器が取り付けられている請求項１の流体
制御装置。 - 【請求項３】 各継手部材に対応する摺動部材がレール
に配され、摺動部材と継手部材とが結合されている請求
項２の流体制御装置。 - 【請求項４】 レールは、内向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されており、めねじが設けられかつレール
内に配された摺動部材と継手部材とがおねじ部材で結合
されている請求項２の流体制御装置。 - 【請求項５】 レールに、これを幅方向に２分割するＴ
字状の中間壁が設けられ、摺動部材が幅方向に２分割さ
れている請求項４の流体制御装置。 - 【請求項６】 レールは、外向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの外向き
フランジに係合するレール把持爪が設けられている請求
項２の流体制御装置。 - 【請求項７】 レールは、内向きフランジを有する断面
Ｕ字状に形成されており、摺動部材に、レールの内向き
フランジに係合するレール把持爪が設けられている請求
項２の流体制御装置。 - 【請求項８】 摺動部材にめねじが設けられて、摺動部
材と継手部材とがおねじ部材で結合されている請求項６
または７の流体制御装置。 - 【請求項９】 所定位置において、摺動部材がレールに
固定されている請求項６または７の流体制御装置。 - 【請求項１０】 レール同士が、連結部材によって連結
されている請求項２の流体制御装置。 - 【請求項１１】 ベース部材が、入口側レール、出口側
レールおよび両レール同士を連結する連結部材によって
枠状に形成されている請求項１の流体制御装置。 - 【請求項１２】 摺動部材が逆Ｕ字状とされ、摺動部材
は、その両垂直壁がレールの両外側面を挟むことによ
り、レールに取り付けられている請求項２の流体制御装
置。 - 【請求項１３】 レールの両外側面に、長さ方向にのび
る溝が設けられ、摺動部材の両垂直壁に、この溝に嵌ま
り合う突起が設けられている請求項１２の流体制御装
置。 - 【請求項１４】 レールに、上向きに開口しかつ長さ方
向にのびる内部拡大溝が設けられ、摺動部材は、継手部
材の下面に当接する板状部と、板状部下面に設けられて
下端部がレールの内部拡大溝内に嵌め入れられた下方突
出部とよりなる請求項２の流体制御装置。 - 【請求項１５】 レールに、上向きに開口しかつ長さ方
向にのびる内部拡大溝が設けられるとともに、レールの
両外側面に、長さ方向にのびる溝が設けられている請求
項２の流体制御装置。 - 【請求項１６】 摺動部材には、ねじによりレールに固
定された固定摺動部材と、固定されない可動摺動部材と
の２種類があり、固定摺動部材を有する継手部材と可動
摺動部材を有する継手部材とが流体制御機器を介して接
続されることにより、可動摺動部材を有する継手部材の
移動が阻止されている請求項２の流体制御装置。
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