JP4504368B2 - ガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体工程にプロセスガスを供給するため、プロセスガスを分岐して供給するガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法に関するものである。

半導体製造工場においては、プロセスガスはタンクに収納されクリーンルームの外に配置されている。そして、タンクから同じプロセスガスをクリーンルーム内の複数箇所に供給するために、プロセスガスを分岐して供給するガス供給装置が使用されている。その様なガス供給装置においては、プロセスガスを新たに必要とする箇所が生じた場合には、１ライン増設する作業を行う必要がある。
図１３に、３ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図１４に、その回路を具体化した機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペレイトバルブ１０７が、プロセスガス供給口１０８を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレイトバルブ１０７は、プロセスガス共通流路１０５を介して、第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃに接続している。

第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃは、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃに接続している。第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃの出口は、プロセスガス出口１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃと連通されている。第２手動弁１０３Ａ，１０３Ｂ，１０３Ｃと、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃとの間の流路には、圧力計１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃが連通されている。
また、パージガス手動弁１１０が、パージガス供給口１１１を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁１１０は、逆止弁１０９、パージガス共通流路１０６を介して、第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃに接続している。第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃは、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃに接続している。
プロセスガス共通流路１０５の端部１０５ａは止め栓により封止されている。パージガス共通流路１０６の端部１０６ａは、止め栓により封止されている。

次に、図１３の３ラインの回路に１ライン増設する場合について説明する。図１３には、第４ラインＤを右側に記載している。図１５に、増設後の回路図を示し、図１６に、その回路を具体化した機器の配置状態を平面図で示す。
第４ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給できず、半導体製造工程も停止している必要がある。
始めに、プロセスガスエアオペレイトバルブ１０７を閉弁状態とし、第３手動弁１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃを開弁状態とし、第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃを開弁状態とする。その状態で、パージガス手動弁１１０を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレイトバルブ１０７から第１手動弁１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ内に残っているプロセスガスを窒素ガスであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガス手動弁１１０を閉弁する。

次に、パージガス共通流路１０６の端部１０６ａを封止している止め栓を外して、第４ラインのパージガス共通流路の入口端部１０６ｂと、配管１１２により接続する。また、プロセスガス共通流路１０５の端部１０５ａを封止している止め栓を外して、第４ラインのプロセスガス共通流路の入口端部１０５ｂと、配管１１３により接続する。
第４ラインの機器の構成は第１から第３ラインの構成と同じなので説明を省略する。第４ラインのパージガス共通流路１０６の新たな端部１０６ｃは、止め栓により封止されている。また、プロセスガス共通流路１０５の新たな端部１０５ｃは止め栓により封止されている。
次に、プロセスガス出口１００Ｄを図示しない必要な箇所と接続する。
これにより、第４ラインの増設が終了する。

しかしながら、従来のガス供給集積ユニットには、以下の問題があった。
（１）新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければならないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができなかった。
また、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路１０５、及びパージガス共通流路１０６の図１５に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露されるため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。すなわち、プロセスガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第４ラインを増設した後、パージガス共通流路１０６よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流路の水分を除去する必要があったからである。実際に、数時間から数十時間のパージが行われていた。

（２）図１６に示すように余分な配管１１２，１１３を必要とするため、ガス供給集積ユニットが横方向に大きくなり、集積化による小型化の要請に反していた。また、第４ラインは、ボルトにより、ベースプレート１２０に取り付けられているが、その位置あわせを配管１１２，１１３により調整する必要があり、配管工事に無駄な時間がかかる問題があった。

この問題を解決するために、本出願人は、特願２００３−３８２１３９号において、複数のガスユニットをレールに取り付けたガス供給集積ユニットに、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路手動弁とを設けるとともに、ガス供給集積ユニットに増設するガスユニットに、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを設け、半導体製造工程を停止させることなくガスユニットを短時間で増設する技術を提案した。

かかるガス供給集積ユニットは、ガス供給装置に組み付ける際に壁面に取り付けられることがある。上記出願では、増設するガスユニットをレールに沿って所定位置までスライドさせ、ボルトで固定することを開示するものの、その際のガスユニットの取扱性について何ら考慮されていなかった。ガス供給集積ユニットは、クリーンルームの外部に設置されるタンクに接続し、クリーンルーム内の複数箇所にプロセスガスを供給するため、半導体製造工場の壁面に取り付けられることが多い。各箇所にプロセスガスを供給するガスユニットは、例えば、ボルトを用いてレールに取り付けられている。そのため、ラインを増設する場合には、ガスユニットを所定位置に位置合わせした後、一方の手でガスユニットを押さえて位置ずれを防ぎつつ、他方の手でボルトを締結しなければならず、ガスユニットを取り扱いにくかった。

そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ラインを増設する際のガスユニットの取扱性がよいガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法を提供することを目的とする。

本発明に係るガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法は、次のような構成を有している。
（１）出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、該第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、（ａ）プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも２個のボルト孔が形成された取付部材がガイド溝に摺動可能に装着されており、（ｃ）増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられていることを特徴とする。

（２）（１）に記載の発明において、取付部材は、ガスユニットのピッチ幅と同一幅を有することを特徴とする。

（３）出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、該第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、（ａ）プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｃ）増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、増設するガスユニットの端部から着脱されるものであることを特徴とする。

（４）（３）に記載の発明において、高さ調整手段は、先端部に傾斜が設けられていることを特徴とする。

（５）出口流路に設けられた第１手動弁と、該第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、該第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、ガスユニットを増設するガスユニットの増設方法において、（ａ）ガス供給集積ユニットが、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールにガスユニットが取り付けられ、増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、（ｃ）レールにガイド溝が形成され、少なくともガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、位置決め治具を介して増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、増設するガスユニットを取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、ガス供給集積ユニットと増設するガスユニットとを結合するとともに、増設するガスユニットを取付部材に取り付け、位置決め治具を取り外すことを特徴とする。

（６）（５）に記載の発明において、取付部材は、ボルト孔が少なくとも２個形成され、増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも２個形成され、貫通孔に貫き通したボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられるものであって、位置決め治具を取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、増設するガスユニットの貫通孔に位置決め治具を挿通することにより増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、増設するガスユニットの位置決め治具が挿通されていない貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結してから、位置決め治具を取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結することを特徴とする。

続いて、上記構成を有する発明の作用効果について説明する。
ガス供給集積ユニットのガスユニットは、ガスユニットのガスの流れと直角に交差して複数設置されるレールに取り付けられている。ガス供給集積ユニットは、例えば、ガスユニットのガスの流れが垂直となるように壁面に取り付けられ、ガス供給装置に組み込まれている。
ガス供給集積ユニットは、通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、閉弁状態にある。そして、ガス供給集積ユニットは、新しいラインを増設する場合にも、少なくともパージ終了までは、プロセスガス共通流路端部手動弁及びパージガス共通流路端部手動弁とが閉弁されている。

レールにはガイド溝が形成されており、ラインを増設する場合には、例えば、ガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着する。各取付部材には、複数（ここでは、２個として説明する）のボルト孔が形成されている。そこで、各取付部材の一方のボルト孔に位置決め治具を取り付け、増設するガスユニットのボルトが貫通する貫通孔に位置決め治具を貫き通す。これにより、増設するガスユニットは、位置決め治具により取付部材に対して位置決めされるとともに、位置決め治具と取付部材を介してレールに保持される。そのため、増設するガスユニットから両手を離して、増設作業を行うことが可能である。

それから、増設するガスユニットを取付部材と一体的にレールに沿って移動させ、増設するガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部を既設のプロセスガス共通流路の出口端部と接続する位置に、増設するガスユニットのパージガス共通流路の入口端部を既設のパージガス共通流路の出口端部と接続する位置に移動させる。このとき、例えば、取付部材がガスユニットのピッチ幅と同一幅を有する場合には、増設するガスユニットの取付部材が既設のガスユニットの取付部材に当接するまで増設するガスユニットを移動させれば、ピッチ幅を所定値に容易に設定することができる。

ここで、例えば、既設のガスユニットが高さ調整手段によって高さ調整されている場合、増設するガスユニットを高さ調整手段によって高さ調整しなければ、増設するユニットと既設のガスユニットとは高さが異なる。この場合、増設ガスユニットは、既設のガスユニットと干渉することなく、プロセスガス共通流路端部手動弁の出口まで、また、パージガス共通流路端部手動弁の出口まで移動することができる。
増設するガスユニットを所定位置まで移動させたら、既設のガスユニットに増設するガスユニットをボルトなどで仮止めして結合する。また、増設するガスユニットの空いている貫通孔にボルトを貫き通し、取付部材のボルト孔に仮止めする。その後、位置決め治具をレールから取り外して増設するガスユニットの貫通孔から抜き出し、さらに空いた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に仮止めする。

ガス供給集積ユニットに増設するガスユニットを結合するときに、増設するガスユニットが既設のガスユニットにならって上昇するため、増設するガスユニットの下面とレールの上面との間に隙間ができる。そこで、増設するガスユニットの端部から高さ調整部材を挿入する。このとき、高さ調整部材の先端部に傾斜を設けておけば、高さ調整部材を増設するガスユニットとレールとの間に挿入しやすい。増設するガスユニットは、高さ調整部材によってレールから所定量持ち上げられ、既設のガスユニットの高さに合わせられる。これにより、増設するガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部がプロセスガス供給端部手動弁の出口と接続し、パージガス共通流路の入口端部がパージガス共通流路端部手動弁の出口と接続するので、仮止めしていたボルトを増し締めする。

以上のように増設工事が完了したら、増設したガスユニットのプロセスガス共通流路端部手動弁とパージガス共通流路端部手動弁とを閉弁状態として、第２手動弁を開弁状態とし、第１手動弁及び第３制御弁とを開弁状態として、増設したガスユニットに隣接する既設のガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁を開弁する。
これにより、増設したガスユニット内にパージガスを流してガスユニット内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、増設したガスユニットの第３制御弁を閉じ、第２手動弁を開くことにより、増設したガスユニットにプロセスガスを供給することができる。

従って、本発明のガス供給集積ユニットによれば、（ａ）プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも２個のボルト孔が形成された取付部材がガイド溝に摺動可能に装着されており、（ｃ）増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、当該増設するガスユニットを貫通するボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられているので、取付部材のボルト孔を増設するガスユニットに位置合わせする工数が減少し、ライン増設時のガスユニットの取扱性ががよい。
この場合に、取付部材がガスユニットのピッチ幅と同一幅を有すれば、増設するガスユニットと既設のガスユニットとのピッチ幅を容易に設定することができる。

また、本発明のガス供給集積ユニットによれば、（ａ）プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｃ）増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、増設するガスユニットの端部から着脱されるものであるので、増設するガスユニットの高さ調整を容易に行うことができ、ライン増設時のガスユニットの取扱性がよい。
この場合に、高さ調整手段の先端部に傾斜が設けられていれば、高さ調整手段を簡単に着脱することができる。

また、本発明のガスユニットの増設方法によれば、（ａ）ガス供給集積ユニットが、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、（ｂ）ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールにガスユニットが取り付けられ、増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、（ｃ）レールにガイド溝が形成され、少なくともガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、位置決め治具を介して増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、増設するガスユニットを取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、ガス供給集積ユニットと増設するガスユニットとを結合するとともに、増設するガスユニットを取付部材に取り付け、位置決め治具を取り外すので、両手で増設作業を行うことができ、ライン増設時のガスユニットの取扱性がよい。

また、この場合に、取付部材はボルト孔を少なくとも２個形成され、増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも２個形成され、貫通孔に貫き通したボルトをボルト孔に締結することにより取付部材に取り付けられるものであって、位置決め治具を取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、増設するガスユニットの貫通孔に位置決め治具を挿通することにより増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、増設するガスユニットの位置決め治具が挿通されていない貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結してから、位置決め治具を取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して取付部材のボルト孔に締結すれば、位置決め治具により取付部材のボルト孔と増設するガスユニットの貫通孔とを位置合わせし、両手を使ってボルトを取付部材のボルト孔に締結することが可能となり、ライン増設作業を簡単且つ短時間に行うことができる。

本発明の実施の形態に係り、ガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。 同じく、ガス供給集積ユニットの構成を示す平面図である。 同じく、ガス供給集積ユニットの一部拡大平面図である。 同じく、ガス供給集積ユニットの側面図である。 同じく、ガス供給集積ユニットの平面図であって、取付部材を取り付ける手順を示す。 同じく、取付部材の取付構造を説明する図である。 同じく、ガス供給集積ユニットの平面図であって、増設するガスユニットを位置決め保持する手順及び増設するガスユニットを移動する手順を示す。 同じく、ガス供給集積ユニットの側面図であって、増設するガスユニットを位置決め保持する手順及び増設するガスユニットを移動する手順を示す。 同じく、ガス供給集積ユニットの側面図であって、仮止め手順を示す。 同じく、ガス供給集積ユニットの側面図であって、高さ調整手順を示す。 同じく、ガス供給集積ユニットの平面図であって、高さ調整手順を示す。 同じく、ガス供給集積ユニットの平面図であって、増し締め手順を示す図である。 従来のガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。 図１３を具体化した構成を示す平面図である。 従来の増設後ガス供給集積ユニットを示す回路図である。 図１５を具体化した構成を示す平面図である。

符号の説明

１ プロセスガス用ガスユニット
２ パージガス用ガスユニット
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ ガスユニット
Ｆ 増設するガスユニット
１６ プロセスガス共通流路
１６ａ 端部
１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１７Ｅ 第２手動弁
１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅ 第１手動弁
２６ パージガス共通流路
２６ａ 端部
２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ，２７Ｄ，２７Ｅ 第３エアオペレイトバルブ
２８ プロセスガス共通流路端部手動弁
２９ パージガス共通流路端部手動弁
４１ プロセスガス共通流路端部手動弁
４２ パージガス共通流路端部手動弁
４７Ｆ Ｔナット
４７１ ボルト孔
３７Ｆ 第６ユニット固定板
３７１ 貫通孔
５２Ｆ スペーサ
５２２ 傾斜
５５ インストーラ

次に、本発明に係るガス供給集積ユニット及びガスユニットの増設方法の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、既設の５ラインへプロセスガスの供給を行っているガスユニットＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅからなるガス供給集積ユニットの回路図、及びそれに増設するための第６ガスユニットＦの回路図とを示す。なお、図１では、ガスユニットＡ〜Ｄの回路が同様であるため、ガスユニットＢ，Ｃ，Ｄを省略し、第１，第５ガスユニットＡ，Ｅのみを図示している。
プロセスガス手動弁１１は、プロセスガス供給口１２を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガス手動弁１１は、圧力計１３、エアオペレイトバルブ１４、逆止弁１５、プロセスガス共通流路１６を介して、ガスユニットＡ〜Ｅの第２手動弁１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１７Ｅの一方のポートに接続している。
第２手動弁１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１７Ｅの他ポートは、第１手動弁１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅに接続している。第１手動弁１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅの出口ポートは、プロセスガス出口１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｄ，１９Ｅと連通されている。第２手動弁１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１７Ｅと、第１手動弁１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅとを連通させている流路には、圧力計２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅとレギュレータ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅが連通されている。

また、パージガス手動弁２２が、パージガス供給口２３を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁２２は、圧力計２４、エアオペレイトバルブ２５、パージガス共通流路２６を介して、第３エアオペレイトバルブ（「第３制御弁」に相当するもの。）２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ，２７Ｄ，２７Ｅの一方のポートに接続している。第３エアオペレイトバルブ２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ，２７Ｄ，２７Ｅの他のポートは、第１手動弁１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅに接続している。
プロセスガス共通流路１６の端部１６ａは、プロセスガス共通流路端部手動弁２８により封止されている。また、パージガス共通流路２６の端部２６ａは、パージガス共通流路端部手動弁２９により封止されている。

図２に、その回路を具体化した機器の設置状態を平面図で示す。図３に、ガス供給集積ユニットの第４，第５ガスユニットＤ，Ｅの拡大平面図を示す。図４は、ガス供給集積ユニットの側面図である。
図２に示すように、２本のレール３１，３２が、両端をレール固定棒３３，３４により平行に固定されている。レール３１，３２には、図２及び図３に示すように、ユニット固定板３５，３６，３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ，３７Ｄ，３７Ｅが横方向に平行移動可能に取り付けられている。ユニット固定板３５，３６，３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ，３７Ｄ，３７Ｅに各種流体制御機器が取り付けられて、プロセスガス用ガスユニット１、パージガス用ガスユニット２、第１〜第５ガスユニットＡ〜Ｅが構成されている。

レール３１，３２には、ガイド溝３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂが形成されている。レール３１のガイド溝３１ｂとレール３２のガイド溝３２ａには、Ｔナット（「取付部材」に相当するもの。）４５，４６，４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，４７Ｅが摺動可能に装着されている。ガスユニット１，２，Ａ〜Ｅは、ユニット固定板３５，３６，３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ，３７Ｄ，３７ＥがＴナット４５，４６，４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，４７Ｅに固定され、隣り合うガスユニット同士が連結した状態でレール３１，３２に保持されている。

図２に示すように、プロセスガス用ユニット固定板３５には、プロセスガス手動弁１１、圧力計１３、エアオペレイトバルブ１４、逆止弁１５が固定され、それらから少し右側にずれた位置にプロセスガス用流路ブロック１６１が固定されている。
パージガス用ユニット固定板３６には、パージガス手動弁２２、圧力計２４、エアオペレイトバルブ２５が固定され、それらから少し右側にずれた位置にパージガス用流路ブロック２６１とプロセスガス用流路ブロック１６１が固定されている。

第１〜第４ガスユニットＡ〜Ｄは同一構造をなすので、ここでは、図３を参照して第４ガスユニットＤの説明をし、第１〜第３ガスユニットＡ〜Ｃについては説明を省略する。第４ユニット固定板３７Ｄには、上から第１手動弁１８Ｄ、圧力計２０Ｄ、レギュレータ２１Ｄ、第３エアオペレイトバルブ２７Ｄ、第２手動弁１７Ｄが固定され、それらから少し右にずれた位置にパージガス用流路ブロック２６１とプロセスガス用流路ブロック１６１が固定されている。
第５ユニット固定板３７Ｅには、上から第１手動弁１８Ｅ、圧力計２０Ｅ、レギュレータ２１Ｅ、第３エアオペレイトバルブ２７Ｅ、第２手動弁１７Ｅ、そして、第４ガスユニットＤのプロセスガス用流路ブロック１６１を避けて少し右側にずれた位置に既設プロセスガス共通流路端部手動弁２８が固定されている。また、第４ガスユニットＤのパージガス用流路ブロック２６１を避けて少し右側にずれた位置に既設のパージガス共通流路端部手動弁２９が固定されている。

これらのガスユニット１，２，Ａ〜Ｅは、プロセスガス用流路ブロック１６１同士、及び、第４ガスユニットＤのプロセスガス用流路ブロック１６１と第５ガスユニットＥのプロセスガス用流路端部手動弁２８がプロセスガス用継手ブロック６１（例えば、図３参照）を介して相互に連通し（図２参照）、プロセスガス共通流路１６（図１参照）を構成する。
また、ガスユニット１，２，Ａ〜Ｅは、パージガス用流路ブロック２６１同士、及び、第４ガスユニットＤのパージガス用流路ブロック２６１と第５ガスユニットＥのパージガス共通流路端部手動弁２９がパージガス用継手ブロック６２（例えば、図３参照）を介して相互に連通し（図２参照）、パージガス共通流路２６（図１参照）を構成する。
なお、図４に示すように、ユニット固定板３５，３６，３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ，３７Ｄ，３７Ｅの下面とレール３１，３２の上面との間には、スペーサ（「高さ調整手段」に相当するもの。）５０，５１，５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄ，５２Ｅが配設され、各ラインの高さを調整している。

それらの既設ガスユニットと別に、図２に示すように、増設する第６ガスユニットＦが第６ユニット固定板３７Ｆ上に固定されている。すなわち、第６ユニット固定板３７Ｆには、上から第１手動弁１８Ｆ、圧力計２０Ｆ、レギュレータ２１Ｆ、第３エアオペレイトバルブ２７Ｆ、第２手動弁１７Ｆ、そして少し右側にずれた位置に既設のプロセスガス共通流路端部手動弁２８と別のプロセスガス共通流路端部手動弁４１と、既設のパージガス共通流路端部手動弁２９と別のパージガス共通流路端部手動弁４２が固定されている。また、プロセスガス共通流体端部手動弁４１とパージガス共通流路端部手動弁４２に隣接して、プロセスガス用継手ブロック６１とパージガス用流路ブロック６２が固定されている。

次に、上記ガス供給集積ユニットに第６ガスユニットＦを増設する手順について図５〜図１２を参照して説明する。なお、本実施の形態では、第５ガスユニットＥと第６ガスユニットＦとを結合してラインを増設するため、各平面図及び側面図には、第５，第６ガスユニットＥ，Ｆを図示し、その他のガスユニットなどは適宜省略することにする。

先ず、図５に示すように、レール３１，３２にＴナット４７Ｆを１個ずつ摺動可能に装着する。Ｔナット４７Ｆをレール３１，３２に装着する方法は同様であるので、ここではレール３１についてのみ説明する。
レール３１のガイド溝３１ａ，３１ｂは、図６に示すように、断面略三角形状のレール溝と、レール溝より小さい幅でレール３１の上面に開口する開口部とからなる。Ｔナット４７Ｆは、ガスユニットのピッチ幅と同一幅Ｗを有する棒状のものであって、ガイド溝３１ａ，３１ｂのレール溝に対応して断面略三角形状に形成されている。Ｔナット４７Ｆには、第６ユニット固定板３７Ｆに形成された貫通孔３７１，３７１（図２参照）に対応する位置にボルト孔４７１，４７１が形成されている。ボルト孔４７１は、内周に雌ネジが形成されている。Ｔナット４７Ｆは、ボルト孔４７１，４７１が形成された側面をレール３１の開口部に対して傾けた状態でガイド溝３１ｂの開口部上方からレール溝へと挿入され、ボルト孔４７１，４７１がガイド溝３１ｂの開口部から見えるようにガイド溝３１ｂのレール溝内に収納されると、縁部がガイド溝３１ｂの開口部に係止されるため、レール３１にスライド可能に保持される。

次に、図５に示すように、Ｔナット４７Ｆのボルト孔４７１，４７１の一方にインストーラ（「位置決め治具」に相当するもの。）５５をそれぞれ取り付ける。インストーラ５５は、先端部に雄ネジ５５１が設けられ、その先端部をレール３１のガイド溝３１ｂから挿入してＴナット４７Ｆのボルト孔４７１にねじ込むことによりＴナット４７Ｆに取り付けられる。インストーラ５５，５５は、対角位置になるようにＴナット４７Ｆ，４７Ｆに取り付けられる。

それから、図７及び図８に示すように、第６ガスユニットＦをインストーラ５５を介して位置決め保持する。ユニット固定板３７Ｆには、Ｔナット４７Ｆに締結されるボルトＶを貫き通すための貫通孔３７１が四隅に形成されており、その貫通孔３７１にインストーラ５５を挿入する。インストーラ５５は、第６ユニット固定板３７Ｆの対角位置に挿通され、第６ガスユニットＦを第５ガスユニットＥに対して平行に配置する。これにより、第６ガスユニットＦは、ユニット固定板３７Ｆを介してＴナット４７Ｆに対して位置合わせされるとともに、Ｔナット４７Ｆを介してレール３１，３２に保持される。そのため、例えば、ガス供給集積ユニットが壁面に取り付けられている場合でも、第６ガスユニットＦがインストーラ５５，５５に引っかけられてレール３１，３２から脱落せず、増設作業の作業者はガス供給集積ユニット及び第６ガスユニットＦから両手を離すことができる。

次に、図７に示すように、第６ガスユニットＦを既設の第５ガスユニットＥ側（図中矢印Ｍ方向）に移動させる。第６ガスユニットＦとＴナット４７Ｆとはインストーラ５５，５５を介して連結しているため、第６ガスユニットＦをＴナット４７Ｆと一体的にレール３１，３２に沿って簡単に平行移動させることができる。

ここで、第６ガスユニットＦは、プロセスガス用継手ブロック６１が第３エアオペレイトバルブ２７Ｆを介してプロセスガス共通流路端部手動弁４１と連通している。プロセスガス用継手ブロック６１には入口端部６１ａが上向きに開口している。一方、第５ガスユニットＦのプロセスガス共通流路端部手動弁２８には出口端部２８ｂが下向きに開口している。よって、プロセスガス用継手ブロック６１の入口端部６１ａとプロセスガス共通流路端部手動弁２８の出口端部２８ｂとを上下方向から接続すれば、プロセスガス共通流路１６をプロセスガス共通流路端部手動弁４１まで延長することができる。
また、第６ガスユニットＦは、パージガス用継手ブロック６２が第２手動弁１７Ｆを介してパージガス共通流路端部手動弁４２と連通している。パージガス用継手ブロック６２には入口端部６２ａが上向きに開口している。一方、第５ガスユニットＦのパージガス共通流路端部手動弁２９には出口端部２９ｂが下向きに開口している。よって、パージガス用継手ブロック６２の入口端部６２ａとパージガス共通流路端部手動弁２９の出口端部２９ｂとを上下方向から接続すれば、パージガス共通流路２６をパージガス共通流路端部手動弁４２まで延長することができる。

第６ガスユニットＦを平行移動させるとき、第５ガスユニットＥは、図７及び図８に示すように、第５ユニット固定板３７Ｅとレール３１，３２との間にスペーサ５２Ｅが配設されている。一方、第６ガスユニットＦは、第６ユニット固定板３７Ｆとレール３１，３２との間にスペーサ５２Ｆが配設されていない。従って、第６ガスユニットＦは、ちょうどスペーサ５２Ｅの厚さ分Ｈだけ第５ガスユニットＥより低い位置にある。そのため、第６ガスユニットＦは、プロセスガス用継手ブロック６１とパージガス用継手ブロック６２が第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路端部手動弁２８とパージガス共通流路端部手動弁２９に干渉することなく平行移動することができ、プロセスガス用継手ブロック６１の入口端部６１ａとプロセスガス共通流路端部手動弁２８の出口端部２８ｂとのシール面、及び、パージガス用継手ブロック６２の入口流路６２ａとパージガス共通流路端部手動弁２９の出口端部２９ｂとのシール面が傷つかない。

また、Ｔナット４７Ｆが、ガスユニットのピッチ幅と同一幅Ｗであるため、Ｔナット４７Ｆが第５ガスユニットＥのＴナット４７Ｅに当接するまで第６ガスユニットＦをスライドさせれば、第５ガスユニットＥと第６ガスユニットＦのピッチ幅を所定値に容易に設定することができる。

このようにして第６ガスユニットＦを所定位置、すなわち、第６ガスユニットＦのプロセスガス共通流路の入口端部６１ａを第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路１６の出口端部２８ｂに対して真下の位置に、また、第６ガスユニットＦのパージガス共通流路の入口端部６２ａを第５ガスユニットＥのパージガス共通流路２６の出口端部２９ｂに対して真下の位置にそれぞれ移動させたら、図９に示すように、インストーラ５５，５５はそのままにして、ユニット固定板３７Ｆの空いている貫通孔３７１にボルトＶを貫き通してＴナット４７Ｆのボルト孔４７１にそれぞれ仮止めする。つまり、第６ガスユニットＦの対角位置をボルトＶで仮止めする（図中Ｘ１部、Ｘ２部参照）。その後、第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路端部手動弁２８と第６ガスユニットＦのプロセスガス用継手ブロック６１とをボルトＶで仮止めするとともに（図中Ｘ３部参照）、第５ガスユニットＥのパージガス共通流路端部手動弁２９と第６ガスユニットＦのパージガス用継手ブロック６２とをボルトＶで仮止めする（図中Ｘ４部参照）。

このとき、第６ユニット固定板３７ＦとＴナット４７Ｆは、インストーラ５５により対角位置を位置決めされており、両手を離した状態でも貫通孔３７１とボルト孔４７１が重なり合っている。そのため、増設作業の作業者は、両手を使ってボルトＶを第６ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１からＴナット４７Ｆのボルト孔４７１へと貫き通し、ボルトＶをドライバなどで回転させることが可能となり、簡易かつ短時間にボルトＶを仮止めすることができる。なお、第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路端部手動弁２８に形成されたボルト孔と第６ガスユニットＦのプロセスガス用継手ブロック６１に形成されたボルト孔、及び、第５ガスユニットＥのパージガス共通流路端部手動弁２９に形成されたボルト孔と第６ガスユニットＦのパージガス用継手ブロック６２に形成されたボルト孔も重なり合っており、作業者は両手を使ってボルトＶを仮止めすることができる。
第６ガスユニットＦは、ボルトＶをボルト孔４７１にねじ込んで仮止めする際、ネジ送りによって第５ガスユニットＥに倣って上昇し、図１０の側面図に示すように、第６ユニット固定板３７Ｆの下面とレール３１，３２の上面との間にスペースＳができる。

それから、インストーラ５５，５５をＴナット４７Ｆ，４７Ｆから取り外して、ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１から抜き出す。そして、空いた貫通孔３７１にボルトＶを貫き通し、Ｔナット４７Ｆ，４７Ｆのボルト孔４７１，４７１に仮止めする。このように、第６ガスユニットＦは、第６ユニット固定板３７Ｆの対角位置を順次仮止めされるので、仮止め時に傾いて第５ガスユニットＥと拗れることがない。

そこで、図１０及び図１１に示すように、スペーサ５２Ｆを第６ガスユニットＦの両端部にそれぞれ配設し、第６ガスユニットＦの高さを調整する。スペーサ５２Ｆは、ボルトＶを避けるように切り欠き５２１が設けられ、その先端部に傾斜５２２が形成されている。スペーサ５２Ｆは、ユニット固定板３７Ｆの端部から第６ガスユニットＦのガスの流れに沿って図中矢印Ｎ方向にユニット固定板３７Ｆの下面とレール３１，３２の上面との間にそれぞれ挿入される。これにより、第６ガスユニットＦは、スペーサ５２Ｆ，５２Ｆの厚さ分だけレール３１，３２から持ち上げられ、第６ガスユニットＦのプロセスガス用継手ブロック６１に形成された入口端部６１ａが第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路端部手動弁２８に形成された出口端部２８ｂに、また、第６ガスユニットＦのパージガス用継手ブロック６２に形成された入口端部６２ａが第５ガスユニットＥのパージガス共通流路端部手動弁２９に形成された出口端部２９ｂに接続する。

この状態で図１２に示すように、第６ガスユニットＦを仮止めしていたボルトＶをそれぞれ増し締めし（図中Ｘ５，Ｘ６，Ｘ７，Ｘ８部参照）、第６ガスユニットＦを第５ガスユニットＥとＴナット４７Ｆに固定する。なお、この場合にも、第６ガスユニットＦは、傾きを防止するために、第６ユニット固定板３７Ｆの対角位置を順次増し締めすることが望ましい。これにより、既設のプロセスガス共通流路端部手動弁２８と増設したプロセスガス共通流路端部手動弁４１とが連通するとともに、既設のパージガス共通流路端部手動弁２９と増設したパージガス共通流路端部手動弁４２とが連通する。

以上により、第６ガスユニットＦの増設工事は終了する。次に、第６ガスユニットＦの新たなプロセスガス共通流路端部手動弁４１とパージガス共通流路端部手動弁４２とを閉弁状態とし、第２手動弁１７Ｆを閉弁状態とし、第１手動弁１８Ｆ及び第３エアオペレイトバルブ２７Ｆとを開弁状態として、第５ガスユニットＥのパージガス共通流路端部手動弁２９を開弁する。
これにより、第６ガスユニットＦ内にパージガスを流して、第６ガスユニットＦ内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第３エアオペレイトバルブ２７Ｆを閉じ、第２手動弁１７Ｆを開くことにより、第６ガスラインＦにプロセスガスを供給することができる。

従って、本実施の形態のガス供給集積ユニットによれば、（ａ）プロセスガス共通流路１６の端部１６ａと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁２８と、パージガス共通流路２６の端部２６ａと連通するパージガス共通流路端部手動弁２９とを有し、（ｂ）ガスユニット１，２，Ａ〜Ｅのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されてガスユニット１，２，Ａ〜Ｅが取り付けられるレール３１，３２にガイド溝３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂが形成され、２個のボルト孔４７１，４７１が形成されたＴナット４７Ｆがガイド溝３１ｂ，３２ａに摺動可能に装着されており、（ｃ）増設する第６ガスユニットＦが、プロセスガス共通流路端部手動弁２８と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁４１と、パージガス共通流路端部手動弁２９と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁４２とを有し、当該第６ガスユニットＦを貫通するボルトＶをボルト孔４７１に締結することによりＴナット４７Ｆに取り付けられているので、Ｔナット４７Ｆのボルト孔４７１，４７１を第６ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１，３７１に位置合わせする工数が減少し、ライン増設時のガスユニットＦの取扱性ががよい。

すなわち、Ｔナットにボルト孔を１個だけ形成する場合には、４個のＴナットをユニット固定板の貫通孔にそれぞれ位置合わせしなければならないが、本実施の形態のようにＴナット４７Ｆにボルト孔４７１を２個設ければ、一方のボルト孔４７１を貫通孔３７１に位置合わせすると、他方のボルト孔４７１が自動的に他の貫通孔３７１に位置合わせされる。そのため、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、第６ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１をＴナット７１Ｆのボルト孔４７１に簡単に位置合わせし、第６ガスユニットＦをガス供給集積ユニットに取り付けることができる。
しかも、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、Ｔナット４７ＦがガスユニットＡ〜Ｅのピッチ幅と同一幅を有するので、第６ガスユニットＦと第５ガスユニットＥとのピッチ幅を容易に設定することができる。

また、本実施の形態のガス供給集積ユニットによれば、（ａ）プロセスガス共通流路１６の端部１６ａと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁２８と、パージガス共通流路２６の端部２６ａと連通するパージガス共通流路端部手動弁２９とを有し、（ｂ）増設する第６ガスユニットＦが、プロセスガス共通流路端部手動弁２８と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁４１と、パージガス共通流路端部手動弁２９と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁４２とを有し、（ｃ）第６ガスユニットＦを第５ガスユニットＥと接続するためのスペーサ５２Ｆが、第６ガスユニットＦの端部から着脱されるものであるので、第６ガスユニットＦの高さ調整を容易に行うことができ、ライン増設時のガスユニットＦの取扱性がよい。
しかも、本実施の形態のガス供給集積ユニットは、スペーサ５２Ｆの先端部に傾斜５２２が設けられているので、スペーサ５２Ｆを簡単に第６ガスユニットＦの下面とレール３１，３２の上面との間に着脱することができる。

さらに、本実施の形態のガスユニットの増設方法によれば、（ａ）ガス供給集積ユニットが、プロセスガス共通流路１６の端部１６ａと連通するプロセスガス共通流路端部手動弁２８と、パージガス共通流路２６の端部２６ａと連通するパージガス共通流路端部手動弁２９とを有し、（ｂ）ガスユニット１，２，Ａ〜Ｅのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレール３１，３２にガスユニット１，２，Ａ〜Ｅが取り付けられ、増設する第６ガスユニットＦが、プロセスガス共通流路端部手動弁２８と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁４１と、パージガス共通流路端部手動弁２９と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁４２とを有しており、（ｃ）レール３１，３２にガイド溝３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂが形成され、ガスユニット１，２，Ａ〜Ｅの両端部に設置されるレール３１，３２のガイド溝３１ｂ，３２ａにＴナット４７Ｆをそれぞれ摺動可能に装着し、各Ｔナット４７Ｆにインストーラ５５を取り付けた後、インストーラ５５を介して第６ガスユニットＦを各Ｔナット４７Ｆに対して位置決め保持し、その後、第６ガスユニットＦをＴナット４７Ｆと一体的に所定位置まで移動させてから、第５ガスユニットＥと第６ガスユニットＦとを結合するとともに、第６ガスユニットＦをＴナット４７Ｆに取り付け、インストーラ５５を取り外すので、両手で増設作業を行うことができ、ライン増設時のガスユニットＦの取扱性がよい。このことは、特に、ガス供給集積ユニットを壁面に取り付ける場合に有効である。

しかも、この場合に、Ｔナット４７Ｆは２個のボルト孔４７１，４７１を形成され、第６ガスユニットＦの第６ユニット固定板３７Ｆは、ボルトＶが貫通する貫通孔３７１，３７１が両端部に２個ずつ形成され、貫通孔３７１に貫き通したボルトＶをＴナット４７Ｆのボルト孔４７１に締結することによりＴナット４７Ｆに取り付けられるものであって、インストーラ５５をＴナット４７Ｆのボルト孔４７１，４７１の一方にねじ込んで取り付けた後、第６ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１にインストーラ５５を挿通することにより第６ガスユニットＦを位置決め保持し、その後、第６ガスユニットＦのインストーラ５５が挿通されていない貫通孔３７１にボルトＶを貫き通してＴナット４７Ｆのボルト孔４７１に締結してから、インストーラ５５をＴナット４７Ｆのボルト孔４７１から取り外し、さらにその後、インストーラ５５が挿通していた貫通孔３７１にボルトＶを貫き通してＴナット４７Ｆのボルト孔４７１に締結するので、インストーラ５５によりＴナット４７Ｆのボルト孔４７１と第６ユニット固定板３７Ｆの貫通孔３７１とを位置合わせし、両手を使ってボルトＶをＴナット４７Ｆのボルト孔４７１に締結することが可能となり、ライン増設作業を簡単且つ短時間に行うことができる。

尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

例えば、上記実施の形態では、Ｔナット４７に２個のボルト孔４７１，４７１を設けるとともに、ユニット固定板３７の両端部に貫通孔３７１を２個ずつ設けた。これに対して、Ｔナット４７とユニット固定板３７に３個以上のボルト孔４７１若しくは貫通孔３７１を設けてもよい。この場合、Ｔナット４７とガスユニットとをインストーラ５５で位置合わせすれば、ボルト孔４７１と貫通孔３７１とが位置合わせされるので、位置合わせする工数が少なくて済む。

例えば、上記実施の形態では、増設する第６ガスユニットＦを所定位置に移動させて位置決めした後、スペーサ５２Ｆを配設して高さ調整するようにした。これに対して、ガス供給集積ユニットのガスユニット１，２，Ａ〜Ｅをスペーサ５０，５１，５２で高さ調整せず、増設するガスユニットＦにスペーサ５２Ｆを取り付けて、第６ガスユニットＦを所定位置に位置決め後にスペーサ５２Ｆを抜いて第６ガスユニットＦを第５ガスユニットＥに対して位置合わせするようにしてもよい。

例えば、上記実施の形態では、位置決め治具としてインストーラ５５を使用した。これに対して、位置決め治具は、Ｔナット４７とガスユニットとを連結してレール３１，３２に沿って一体的に摺動させることができるものであれば、インストーラ５５に限定されるものではない。

例えば、上記実施の形態では、第６ユニットＦをＴナット４７に仮止めした後、第５ガスユニットＥのプロセスガス共通流路端部手動弁２８とパージガス共通流路端部手動弁２９に第６ガスユニットＦのプロセスガス用継手ブロック６１とパージガス用継手ブロック６２をボルトＶで仮止めしたが、この仮止めの手順を逆にしてもよい。

例えば、上記実施の形態では、第３制御弁として第３エアオペレイトバルブ２７Ａ，２７Ｂ…を使用した。これに対して、第３制御弁として手動弁を用いてもよい。

Claims (6)

1. 出口流路に設けられた第１手動弁と、前記第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
   前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
   前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されて前記ガスユニットが取り付けられるレールにガイド溝が形成され、少なくとも２個のボルト孔が形成された取付部材が前記ガイド溝に摺動可能に装着されており、
   増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、前記増設するガスユニットを貫通するボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
2. 請求項１に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
   前記取付部材は、前記ガスユニットのピッチ幅と同一幅を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
3. 出口流路に設けられた第１手動弁と、前記第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
   前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
   増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有し、
   前記増設するガスユニットを既設のガスユニットと接続するための高さ調整手段が、前記増設するガスユニットの端部から着脱されるものであることを特徴とするガス供給集積ユニット。
4. 請求項３に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
   前記高さ調整手段は、先端部に傾斜が設けられていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
5. 出口流路に設けられた第１手動弁と、前記第１手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第２手動弁と、前記第１手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた第３制御弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットに、ガスユニットを増設するガスユニットの増設方法において、
   前記ガス供給集積ユニットが、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有し、前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置されるレールに前記ガスユニットが取り付けられ、
   前記増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、
   前記レールにガイド溝が形成され、少なくとも前記ガスユニットの両端部に設置されるレールのガイド溝に取付部材をそれぞれ摺動可能に装着し、各取付部材に位置決め治具を取り付けた後、前記位置決め治具を介して前記増設するガスユニットを各取付部材に対して位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットを前記取付部材と一体的に所定位置まで移動させてから、前記ガス供給集積ユニットと前記増設するガスユニットとを結合するとともに、前記増設するガスユニットを前記取付部材に取り付け、前記位置決め治具を取り外すことを特徴とするガスユニットの増設方法。
6. 請求項５に記載するガスユニットの増設方法において、
   前記取付部材は、ボルト孔が少なくとも２個形成され、
   前記増設するガスユニットは、ボルトが貫通する貫通孔が両端部に少なくとも２個形成され、前記貫通孔に貫き通したボルトを前記ボルト孔に締結することにより前記取付部材に取り付けられるものであって、
   前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔の一つに取り付けた後、前記増設するガスユニットの前記貫通孔に前記位置決め治具を挿通することにより前記増設するガスユニットを位置決め保持し、その後、前記増設するガスユニットの前記位置決め治具が挿通されていない貫通孔に前記ボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結してから、前記位置決め治具を前記取付部材のボルト孔から取り外し、さらにその後、前記位置決め治具が挿通していた貫通孔にボルトを貫き通して前記取付部材のボルト孔に締結することを特徴とするガスユニットの増設方法。

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