JP3809162B2 - ガス供給集積ユニット - Google Patents
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Description
図10に、3ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図11に、その回路を具体化した空圧機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペレート弁107が、プロセスガス供給口108を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁107は、プロセスガス共通流路105を介して、第2手動弁103A,103B,103Cに接続している。
また、パージガス手動弁110が、パージガス供給口111を介して図示しないパージガスタンクと接続している。パージガス手動弁111は、逆止弁109、パージガス共通流路106を介して、第3手動弁104A,104B,104Cに接続している。第3手動弁104A,104B,104Cは、第1手動弁101A,101B,101Cに接続している。
プロセスガス共通流路105の端部105aは止め栓により封止されている。パージガス共通流路106の端部106aは、止め栓により封止されている。
第4ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給できず、半導体製造工程も停止している必要がある。
始めに、プロセスガスエアオペレート弁107を閉弁状態とし、第3手動弁104A,104B,104Cを開弁状態とし、第1手動弁101A,101B,101Cを開弁状態とする。その状態で、パージガス手動弁111を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレート弁107から第1手動弁101A,101B,101C内に残っているプロセスガスを窒素ガスであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガス手動弁110を閉弁する。
第4ラインの機器の構成は第1から第3ラインの構成と同じなので説明を省略する。第4ラインのパージガス共通流路106の新たな端部106cは、止め栓により封止されている。また、プロセスガス共通流路105の新たな端部105cは止め栓により封止されている。
次に、プロセスガス出口100Dを図示しない必要な箇所と接続する。
これにより、第4ラインの増設が終了する。
(1)新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければならないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができなかった。
また、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路105、及びパージガス共通流路106の図12に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露されるため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。すなわち、プロセスガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第4ラインを増設した後、パージガス共通流路よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流路の水分を除去する必要があったからである。実際に、数時間から数十時間のパージが行われていた。
(1)出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、第1手動弁と第2手動弁とを直列一体に連結した列より側方にずれて配置され、プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路に内部流路を介して連通するプロセスガス供給流路側継手孔が上方に開口するプロセスガス共通流路側流路ブロックとを有し、プロセスガス供給流路端部手動弁が、第1手動弁と第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、プロセスガス共通流路側流路ブロックと同一方向にずれて配置されていることを特徴とする。
(6)(5)に記載するガス供給集積ユニットにおいて、第1手動弁と第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、プロセスガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、パージガス共通流路の端部と連通する出口流路が下方に開口するパージガス共通流路端部手動弁を有することを特徴とする。
(10)(3)、(4)、(7)、(8)、(9)の何れか1つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調整手段を備えていることを特徴とする。
通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、閉弁状態にある。そして、新しいラインを増設する場合にも、少なくともパージ終了までは、プロセスガス共通流路端部手動弁及びパージガス共通流路端部手動弁とは閉弁されている。
次に、第4ラインを構成する第4ガスユニットを、ガスの流れと直角方向に交差して複数配置されたレールに取り付け、レール上を移動させて、第4ガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部をプロセスガス共通流路端部手動弁の出口と接続する位置に、パージガス共通流路の入口端部をパージガス共通流路端部手動弁の出口と接続する位置に移動させる。
次に、第4ガスユニットの新たなプロセスガス共通流路端部手動弁とパージガス共通流路端部手動弁とを閉弁状態とし、第2手動弁を閉弁状態とし、第1手動弁及び第3手動部とを開弁状態として、第3ガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁を開弁する。
これにより、第4ガスユニット内にパージガスを流して、第4ガスユニット内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第3手動弁を閉じ、第2手動弁を開くことにより、第4ガスラインにプロセスガスを供給することができる。
また、増設工事終了後においても、既設のプロセスガス共通流路やパージガス共通流路
を、大気暴露することなく新たなガスユニットを取り付けることができるため、増設工事が短時間で済む。
さらに、増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調整手段を備えているので、増設するガスユニットの位置決めが容易であり、増設工事の作業効率が良い。
プロセスガスエアオペレート弁17は、プロセスガス供給口18を介して図示しないプロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁17は、プロセスガス共通流路15を介して、第2手動弁13A,13Bの一方のポートに接続している。
第2手動弁13A,13Bの他ポートは、第1手動弁11A,11Bに接続している。第1手動弁11A,11Bの出口ポートは、プロセスガス出口10A,10Bと連通されている。第2手動弁13A,13Bと、第1手動弁11A,11Bとを連通させている流路に、圧力計12A,12Bが連通されている。
プロセスガス共通流路15の端部は、プロセスガス共通流路端部手動弁22により封止されている。また、パージガス共通流路16の端部は、パージガス共通流路端部手動弁23により封止されている。
それらの既設ガスユニットから少し離れて、増設する第3ガスユニットが第3ガスユニット固定板30C上に固定されている。すなわち、第3ガスユニット固定板30Cには、上から第1手動弁11C、圧力計12C、パイプ38Cにつながれて、第3手動弁14C、第2手動弁13C、そして少し右側にずれた位置に既設のプロセスガス共通流路端部手動弁24が固定されている。また、パイプ38Cを避けて少し右側にずれた位置にパージガス共通流路端部手動弁25が固定されている。
また、第3ユニット固定板30Cのプロセスガス共通流路端部手動弁24の位置には、切り欠き部34が形成され、パージガス共通流路端部手動弁25の位置には、切り欠き部35が形成されている。
第3手動弁の出口流路132Aは、流路ブロック33Aに形成されたプロセスガス出口流路331Aと連通している。
第2ガスユニットの流路構成は、第1ガスユニットの流路構成とほぼ同じなので、詳細は省略する。相違する点のみ説明する。
一方、増設する第3ガスユニットが固定された第3ガスユニット固定板30Cの下側、レール26の上側には、高さ調整板31が挟まれている。第3ガスユニット固定板30Cの切り欠き部34は、図が見にくくなるので、切り欠き部34のみ記載して向こう側に見えるはずの部分を省略して記載している。
パージガス共通流路端部手動弁23、第3ガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁25の構造は、図4に示す構造とほぼ同じなので説明を省略する。相違している点は、パージガス共通流路端部手動弁23の出口流路と連通する流路が形成された流路ブロック39が、図2の下側方向に延設され、その上面に第3手動弁14Cの入口流路と連通するための継手孔39aが形成されていることである。
この状態で、高さ調整板31を取り外す。そして、図示しないボルトにより固定する。これにより、継手孔37aと第3ガスユニットの第2手動弁13Cの手動弁入口流路131Cとが連通される。
これにより、第3ガスユニット内にパージガスを流して、第3ガスユニット内の水分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第3手動弁14Cを閉じ、第2手動弁13Cを開くことにより、第3ガスラインにプロセスガスを供給することができる。
また、本発明のガス供給集積ユニットによれば、大気暴露される配管が図9に斜線で示す部分のみとなるので、既設のプロセスガス共通流路15やパージガス共通流路16を、大気暴露することなく新たなガスユニットCを取り付けることができるため、増設工事が短時間で済む。
さらに、増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調整板31を備えているので、増設するガスユニットの位置決めが容易であり、増設工事の作業効率が良い。
図5に対応する図面を図7に示し、図6に対応する図面を図8に示す。
図7及び図8において、ユニット固定板28,29、第1ガスユニット固定板30A、第2ガスユニット固定板30Bの下に高さ調整板40,40A,40Bが各々取り付けられている。第3ガスユニット固定板30Cの下には、始め高さ調整板40Cは取り付けられていない。
また、図7及び図8において、流路ブロック37Bが第2ガスユニット固定板30Bに取り付けられているのではなく、第3ガスユニット固定板30Cに取り付けられている。
図7及び図8の状態に位置決めした後、図示しない高さ調整板40Cを第3ガスユニット固定板30Cの下面に挟むことにより、流路ブロック37Bに形成されたポートを、プロセスガス共通流路端部手動弁22の出力ポートと連通させる。
例えば、プロセスガス共通流路端部手動弁22を一度でも開いたことがわかる機構を取り付けると良い。通常は、プロセスガス共通流路端部手動弁22により封止すると共に安全のため、継手孔16aにも、止め栓をしている。その場合には、誤ってプロセスガス共通流路端部手動弁22を開いたとしても、継手孔16aが封止しているので、プロセスガスは外に漏れない。しかし、増設工事の時、作業するとプロセスガス共通流路端部手動弁22の出力ポートから継手孔16aまでの空間に残存していたプロセスガスが外に漏れる危険性がある。それを防止するために、プロセスガス共通流路端部手動弁22が一度でも開かれて、その後閉じられたとしても、外部から確認できる機構を付けておくと、安全性を高めることができる。
13 第2手動弁
14 第3手動弁
15 プロセスガス共通流路
16 パージガス共通流路
17 プロセスガスエアオペレート弁
20 パージガス手動弁
22,24 プロセスガス共通流路端部手動弁
23,25 パージガス共通流路端部手動弁
Claims (10)
- 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、
前記第1手動弁と前記第2手動弁とを直列一体に連結した列より側方にずれて配置され、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路に内部流路を介して連通するプロセスガス供給流路側継手孔が上方に開口するプロセスガス共通流路側流路ブロックとを有し、
前記プロセスガス供給流路端部手動弁が、前記第1手動弁と前記第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記プロセスガス共通流路側流路ブロックと同一方向にずれて配置されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記第1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられ、前記第1手動弁と前記第2手動弁に流路ブロックにより直列一体に連結される第3手動弁と、
前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と、
前記パージガス共通流路端部手動弁の出口流路に内部流路を介して連通するパージガス共通流路側継手孔が上方に開口するパージガス共通流路側流路ブロックとを有し、
前記パージガス供給流路端部手動弁と前記パージガス共通流路側流路ブロックが、前記第1手動弁と前記第2手動弁と前記第3手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記プロセスガス共通流路側流路ブロックと同一方向にずれて配置されていることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項1又は請求項2に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
増設するガスユニットは、
別の出口流路に設けられた別の第1手動弁と、
前記別の第1手動弁と前記プロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられ、前記プロセスガス共通流路側継手孔に連通する入口流路が下方に開口する別の第2手動弁とを有し、
前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されたものであって、
前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁を有しており、
増設するガスユニットを既設のガスユニットに対して下方向へ移動させることにより、前記別の第2手動弁の入口流路を前記既設のガスユニットの前記プロセスガス共通流路側継手孔に連通させることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項3に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
増設するガスユニットは、
前記別の第1手動弁と前記パージガス共通流路とを連通する位置に設けられ、前記パージガス共通流路側継手孔に連通する入口流路が下方に開口する別の第3手動弁と、
前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁と前記別の第3手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記パージガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、
増設するガスユニットを既設のガスユニットに対して下方向へ移動させることにより、前記別の第3手動弁の入口流路を前記既設のガスユニットの前記パージガス共通流路側継手孔に連通させることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 出口流路に設けられた第1手動弁と、該第1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた第2手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、
前記第1手動弁と前記第2手動弁とを直列一体に連結した列より側方にずれて配置され、前記プロセスガス共通流路の端部と連通する出口流路が下方に開口するプロセスガス共通流路端部手動弁を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項5に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記第1手動弁と前記第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、前記パージガス共通流路の端部と連通する出口流路が下方に開口するパージガス共通流路端部手動弁を有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項5又は請求項6に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
増設するガスユニットは、
別の出口流路に設けられた別の第1手動弁と、前記別の第1手動弁と前記プロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた別の第2手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されたものであって、
前記別の第2手動弁の入口流路に内部流路を介して連通するプロセスガス共通流路側継手孔が上方に開口するプロセスガス共通流路側流路ブロックと、
前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、前記別の第2手動弁の出口流路に連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁とを有しており、
増設するガスユニットを既設のガスユニットに対して上方向へ移動させることにより、前記プロセスガス共通流路側流路ブロックの前記プロセスガス共通流路側継手孔を前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記出口流路に連通させることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項7に記載するガス供給集積ユニットにおいて、
増設するガスユニットは、
前記別の第1手動弁と前記パージガス共通流路とを連通する位置に設けられ、前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁に流路ブロックによって直列一体に連結される前記別の第3手動弁と、
前記別の第3手動弁の入口流路に内部流路を介して連通するパージガス共通流路側継手孔が上方に開口するパージガス共通流路側流路ブロックと、
前記別の第1手動弁と前記別の第2手動弁と前記別の第3手動弁とを直列一体に連結した列に対して、前記パージガス共通流路端部手動弁と同一方向にずれて配置され、前記別の第3手動弁の出口流路に連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有しており、
増設するガスユニットを既設のガスユニットに対して上方向へ移動させることにより、前記パージガス共通流路側流路ブロックの前記パージガス共通流路側継手孔を前記パージガス共通流路端部手動弁の前記出口流路に連通させることを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項1乃至請求項8の何れか1つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置され、前記ガスユニットが取り付けられるレールと、
前記レールに沿って、前記ガスユニットのガスの流れ方向に平行移動可能に取り付けられ、前記ガスユニットを固定されるガスユニット固定板とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。 - 請求項3、請求項4、請求項7、請求項8、請求項9の何れか1つに記載するガス供給集積ユニットにおいて、
前記増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調整手段を備えていることを特徴とするガス供給集積ユニット。
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