WO2005083754A1 - ガス供給集積ユニット - Google Patents

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WO2005083754A1
WO2005083754A1 PCT/JP2005/000656 JP2005000656W WO2005083754A1 WO 2005083754 A1 WO2005083754 A1 WO 2005083754A1 JP 2005000656 W JP2005000656 W JP 2005000656W WO 2005083754 A1 WO2005083754 A1 WO 2005083754A1
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manual valve
gas
common flow
process gas
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PCT/JP2005/000656
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Osamu Kawakubo
Akihiro Takeichi
Takashi Inoue
Toshikazu Miwa
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Ckd Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a gas supply integrated unit that branches and supplies a process gas to supply the process gas to a semiconductor process.
  • process gas is stored in a tank and arranged outside a clean room.
  • a gas supply device that branches and supplies the process gas is used.
  • a gas supply device when a part requiring a new process gas is generated, it is necessary to add one line.
  • FIG. 24 shows a circuit diagram of a process gas supply device that supplies three lines
  • FIG. 25 shows a plan view of an installation state of a device in which the circuit is concretely illustrated.
  • the process gas air operation valve 107 is connected to a process gas tank (not shown) via the process gas supply port 108.
  • the process gas air operated valve 107 is connected to the second manual valves 103A, 103B, 103C via the process gas common flow path 105.
  • the second manual valves 103A, 103B, 103C are connected to the first manual valves 101A, 101B, 101C.
  • the outlets of the first manual valves 101A, 101B, 101C are connected to the process gas outlets 100A, 100B, 100C.
  • Pressure gauges 102A, 102B, 102C are connected to flow paths between the second manual valves 103A, 103B, 103C and the first manual valves 101A, 10IB, 101C. Further, it is connected to a purge gas tank (not shown) via a purge gas manual valve 110 and a purge gas supply port 111.
  • the purge gas manual valve 111 is connected to the third manual valves 104A, 104B, 104C via a check valve 109 and a purge gas common flow path 106.
  • the third manual valves 104A, 104B, 104C are connected to the first manual valves 101A, 101B, 101C.
  • the end 105a of the process gas common channel 105 is sealed with a stopper.
  • the end 106a of the purge gas common channel 106 is sealed with a stopper.
  • FIG. 24 shows And the fourth line D is shown on the right.
  • FIG. 26 shows a circuit diagram after the addition, and
  • FIG. 27 shows a plan view of an arrangement state of devices in which the circuit is concretely illustrated.
  • the process gas air operated valve 107 is closed, the third manual valves 104A, 104B, 104C are opened, and the first manual valves 101A, 101B, 101C are opened.
  • the purge gas manual valve 111 is opened.
  • the process gas remaining in the first manual valves 101A, 101B, and 101C from the process gas air operated valve 107 is replaced with a purge gas that is a nitrogen gas.
  • the purge gas manual valve 110 is closed.
  • the first manual valves 101A, 101B, 101C, the second manual valves 103A, 103B, 103C, and the third manual valves 104A, 104B, 104C are closed.
  • the stopper plug sealing the end 106a of the common purge gas flow path 106 is removed, and the purge gas common flow path 106 is connected to the inlet end 106b of the purge gas common flow path by a pipe 112. Further, by removing the stopcock which seals the end 105a of the pro Sesugasu common flow channel 105, an inlet end portion 105b of the pro Sesugasu common flow path of the fourth line are connected by a pipe 113.
  • the configuration of the equipment on the fourth line is the same as the configuration on the first to third lines, and a description thereof is omitted.
  • a new end 106c of the common purge gas flow path 106 of the fourth line is sealed with a stopper. Further, a new end 105c of the process gas common channel 105 is sealed with a stopper.
  • the process gas outlet 100D is connected to a necessary part (not shown).
  • the conventional gas supply integrated unit has the following problems.
  • FIG. 9 is a plan view (FIG. 20) showing the flow of the purge gas in this purge and the remaining portion of the atmosphere that is cut off from the purge gas (FIG. 20), and FIG. ), And a cross-sectional view of the process gas common flow path end manual valves 22, 24 and the lower flow path block (FIG. 22), and a perspective view (FIG.
  • the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has as its object to provide a gas supply integrated unit in which lines can be easily added. Another object of the present invention is to provide a gas supply integrated unit capable of reliably performing purging when purging with additional lines.
  • the gas supply integrated unit has the following configuration. (1) A first manual valve provided in an outlet flow path, a second manual valve provided at a position communicating the first manual valve with a process gas common flow path, and a common purge gas with the first manual valve. A third manual valve provided at a position that communicates with the flow path is connected in series and integrally by a flow path block.
  • a gas supply integrated unit including a plurality of gas units, an end of a process gas common flow path is provided.
  • a process gas common flow path end manual valve that communicates with the section; and a purge gas common flow path end manual valve that communicates with the end of the purge gas common flow path.
  • a plurality of gas plates are installed so as to intersect at right angles to the gas flow of the gas unit, and a fixed plate to which the gas unit is attached;
  • a unit configured to communicate with another process gas common flow path end manual valve, and a common purge gas common flow path end manual valve communicating with an end of the purge gas common flow path;
  • another purge gas common flow path end manual valve that communicates therewith.
  • the additional gas unit is provided with height adjustment means for connecting to the existing gas supply integrated unit.
  • another process gas common flow path end manual valve communicating with the process gas common flow path manual valve and the purge gas common flow
  • An additional gas unit including another purge gas common flow path end manual valve communicating with the road end manual valve and another second manual valve communicating with the process gas common flow path end manual valve;
  • a first communication path for communicating the outlet flow path of the purge gas common flow path end manual valve with the outlet flow path of the another process gas common flow end manual valve, and the another process gas common flow path end manual valve
  • a second communication passage for communicating an inlet flow passage of the valve with an outlet flow passage of the process gas common flow passage end manual valve, and a second communication passage which is different from the outlet flow passage of the process gas common flow passage end manual valve.
  • (2) a third communication passage for communicating with an inlet passage of the manual valve.
  • the first communication path is connected to an outlet flow path of the other purge gas common flow path end manual valve and the another process gas common flow path end.
  • the second communication passage is communicated with both of the two branched outlet passages of the manual valve, and the second communication passage is connected to the inlet passage of the another process gas common passage end and the process gas common passage end.
  • the third communication passage is communicated with one of the two branched outlet flow paths of the manual valve, and the third communication passage is separated from the other of the two branched outlet flow paths of the process gas common flow path end manual valve.
  • the second manual valve is provided so as to communicate with the inlet flow path of the second manual valve.
  • the process gas common flow path end manual valve communicating with the end of the process gas common flow path, and the purge gas common flow path end manual valve communicating with the end of the purge gas common flow path are in a closed state. Even when a new line is added, at least until the purge is completed, the process gas common flow path end manual valve and the purge gas common flow path end manual valve are closed.
  • the fourth gas unit that constitutes the fourth line is attached to a plurality of rails that intersect at right angles to the gas flow, and is moved on the rail to move the process gas common flow of the fourth gas unit.
  • the block forming the inlet end of the process gas common flow path of the fourth gas unit and the block forming the inlet end of the purge gas common flow path are, for example, spacers in the height direction.
  • the blocks are lowered by the thickness of the plate, so that these blocks can be moved without interference to the position just below the outlet of the process gas common channel end manual valve, and similarly to the outlet of the purge gas common channel end manual valve. Can be moved to the position directly below.
  • the inlet end of the process gas common flow path of the fourth unit is connected to the outlet of the process gas common flow path end manual valve, Inlet of common flow path for purge gas
  • the end can be connected to the outlet of a purge gas common flow path end manual valve.
  • the new manual valve at the end of the process gas common flow path and the manual valve at the end of the purge gas common flow path of the fourth gas unit are closed, the second manual valve is closed, and the first manual valve is closed. And the third manual unit is opened, and the manual valve at the end of the purge gas common flow path of the additional gas unit is opened.
  • the purge gas is flowed into the fourth gas unit to remove the moisture in the fourth gas unit.
  • the third manual valve is closed and the second manual valve is opened, whereby the process gas can be supplied to the fourth gas line.
  • the first manual valve provided in the outlet channel and the position where the first manual valve communicates with the process gas common channel.
  • a gas unit in which a second manual valve provided in the gas unit and a third manual valve provided in a position for communicating the first manual valve and the purge gas common flow path are integrally connected in series by a flow path block is used.
  • the process gas common flow path end manual valve communicating with the end of the process gas common flow path and the purge gas common flow path end communicating with the end of the purge gas common flow path in the gas supply integrated units provided Since it has a manual valve, it does not affect the existing gas line. In other words, it is possible to add new gas lines while keeping the semiconductor manufacturing process running.
  • a new gas unit can be installed in the existing process gas common flow path / purge gas common flow path without exposing it to the atmosphere, so the expansion work can be completed in a short time.
  • a plurality of rails which are installed so as to intersect the gas flow of the gas unit in a direction perpendicular to the gas flow and to which the gas cut is attached, and the additional gas unit communicate with the process gas common flow path end manual valve.
  • another purge gas common flow path end manual valve that communicates with the purge gas common flow path end manual valve that communicates with the end of the purge gas common flow path.
  • the process gas common flow path end manual valve communicating with the end of the process gas common flow path, and the purge gas common flow path end manual valve communicating with the end of the purge gas common flow path are in a closed state.
  • the gas unit to be added is mounted on multiple rails that intersect at right angles to the gas flow, moved on the rails, and connected as follows.
  • the outlet flow path of the process gas common flow path end manual valve of the existing line and the inlet flow path of the second manual valve of the additional line are communicated by a communication path in the flow path block, and a third communication path is provided.
  • the outlet flow path of the purge line common flow path end manual valve of the existing line and the inlet flow path of the third manual valve of the extension line are communicated by a communication path in the flow path block.
  • the outlet flow path of the process gas common flow path end manual valve on the existing line and the inlet flow path of the process gas common flow path end manual valve of the extension line will be connected by a pipe to provide a second communication path.
  • the outlet flow path of the manual valve at the end of the process gas common flow path of the expansion line and the outlet flow path of the manual valve at the end of the purge gas common flow path of the expansion line are the first communication path of the pipe. It is connected. After connecting the circuits as described above, tighten the connection bolts and the fixing bolts of the gas unit to be added.
  • the process gas common path end manual valve, the purge gas common flow path end manual valve, the first manual valve, the second manual valve, and the second manual valve of the extension line are used.
  • the manual valve open, open the manual valve at the end of the purge gas common flow path on the existing line.
  • the manual purge gas valve on the existing line open the manual purge gas valve on the existing line, and purge gas in the extension line.
  • the other side of the purge gas flows to the purge gas common flow path end manual valve, the process gas common flow path end manual valve, the second manual valve, and the first manual valve force.
  • the circuit in which the purge gas does not flow can be filled with the purge gas.
  • the water in the extension line can be almost completely removed.
  • Process gas Process gas can be supplied to the extension line by opening the common flow path end manual valve.
  • the purge gas is also installed by forming two internal outlet flow paths inside the process gas common flow path end manual valve on the existing line and the process gas common flow end manual valve on the extension line.
  • the flow can also be passed through the manual valve at the end of the process gas common flow path of the line and the manual valve at the end of the process gas common flow path of the additional line, and the staying portion of the purge gas becomes small. Therefore, the water in the extension line can be almost completely removed.
  • the gas supply integrated unit of the present invention includes the first manual valve provided in the outlet flow path, and the second manual valve provided in a position communicating the first manual valve and the process gas common flow path.
  • a gas supply integrated unit including a plurality of gas units in which a manual valve and a third manual valve provided at a position connecting the first manual valve and the purge gas common flow path are integrally connected by a flow path block.
  • a process gas common flow channel end manual valve communicating with an end of the process gas common flow channel; a purge gas common flow channel end manual valve communicating with an end of the purge gas common flow channel; A separate process common gas channel end manual valve communicating with the common gas flow channel manual valve, another purge gas common manual channel end manual valve communicating with the purge gas common flow channel manual valve, and the process; Gas common flow path end An additional gas unit provided with another second manual valve that communicates with the valve, an outlet flow path of the another purge gas common flow path end manual valve, and an outlet of the another process gas common flow path end manual valve.
  • an outlet flow path branched into two is formed inside the process gas common flow path end manual valve, and the another process gas of the additional gas unit is provided.
  • An outlet flow path that is branched into two inside the common flow path manual valve is formed.
  • the first communication path may be provided between the outlet flow path of the another purge gas common flow path end manual valve and the another process gas common flow path end manual valve.
  • the second communication passage is communicated to both of the two branched outlet flow paths, and the second communication path is provided between the inlet flow path of the another process gas common flow path end manual valve and the process gas common flow path end manual valve.
  • the third communication path is connected to one of the two branched outlet flow paths, and the other of the two branched outlet flow paths of the process gas common flow path end manual valve is connected to the other second manual flow path.
  • FIG. 1 is a circuit diagram showing a configuration of a gas supply integrated unit according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 2.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 2.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG. 3 after moving an additional gas unit fixing plate 30C.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of FIG. 4 after moving an additional gas unit fixing plate 30C.
  • FIG. 7 is a drawing corresponding to FIG. 5 of the second embodiment.
  • FIG. 8 is a drawing corresponding to FIG. 6 of the second embodiment.
  • FIG. 9 is a circuit diagram showing an atmospheric exposure part when the gas supply integrated unit of the present invention is used.
  • FIG. 10 is a circuit diagram showing a configuration of a gas supply integrated unit according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a plan view showing the configuration of FIG.
  • FIG. 12 is a plan view showing the configuration of the third embodiment, after the extension gas unit fixing plate 30C in FIG. 11 has been moved.
  • FIG. 13 is a plan view showing the flow path block below the device, with the device shown in FIG. 12 removed.
  • FIG. 14 is a sectional view taken along line AA of FIG. 12.
  • FIG. 15 is a perspective view showing the lower flow path block with the device shown in FIG. 14 removed.
  • FIG. 16 is a plan view showing the configuration of the fourth embodiment.
  • FIG. 17 is a plan view showing the flow path block below the device, with the device shown in FIG. 16 removed.
  • FIG. 18 shows a BB cross-sectional view of FIG.
  • FIG. 19 is a perspective view showing the flow path block at the lower part of the apparatus shown in FIG. 18, with the device removed.
  • FIG. 20 is a plan view showing the configuration of FIG. 9.
  • FIG. 21 is a plan view showing a lower channel block from which the device shown in FIG. 20 has been removed.
  • FIG. 22 shows a CC cross-sectional view of FIG. 20.
  • FIG. 23 is a perspective view showing a lower flow path block from which the device shown in FIG. 22 has been removed.
  • FIG. 24 is a circuit diagram showing a configuration of a conventional gas supply unit.
  • FIG. 25 is a plan view showing a configuration obtained by specifically arranging FIG. 24.
  • FIG. 26 is a circuit diagram showing a conventional gas supply unit after expansion.
  • FIG. 27 is a plan view showing a configuration obtained by specifically drawing FIG. 26.
  • FIG. 1 shows the circuit diagram of the gas supply integrated unit consisting of the first gas unit A and the second gas unit B that supply the process gas to the two existing lines, and the circuit of the additional gas unit C for adding it.
  • FIG. 1 As shown in FIG. 1, a first gas unit A, a second gas unit B, and an additional gas unit C are arranged in the order closer to the process gas supply port 18.
  • the process gas air operated valve 17 is connected to a process gas tank (not shown) via a process gas supply port 18.
  • the process gas air operated valve 17 is connected to one port of the second manual valves 13A and 13B via the process gas common flow path 15.
  • the other ports of the second manual valves 13A, 13B are connected to the first manual valves 11A, 11B.
  • the outlet ports of the first manual valves 11A and 11B are connected to the process gas outlets 10A and 10B.
  • Pressure gauges 12A and 12B are connected to a flow path connecting the second manual valves 13A and 13B and the first manual valves 11A and 11B.
  • a purge gas manual valve 20 is connected to a purge gas tank (not shown) via a purge gas supply port 21.
  • the purge gas manual valve 20 is connected to one port of the third manual valves 14A and 14B via a check valve 19 and a purge gas common flow path 16.
  • the other ports of the third manual valves 14A, 14B are connected to the first manual valves 11A, 11B.
  • the end of the process gas common flow path 15 is closed by a process gas common flow path end manual valve 22.
  • the end of the purge gas common flow path 16 is sealed by a purge gas common flow path end manual valve 23.
  • FIG. 2 is a plan view showing an installation state of a device in which the circuit is concretely illustrated.
  • Two rails 26, 27 Force Both ends are fixed in parallel by Reynole fixing rods 41, 29.
  • unit fixing plates 28, 29 and 30 are mounted so as to be able to translate in the horizontal direction.
  • the process gas air operated valve 17 is fixed to the process gas unit fixing plate 28.
  • a purge gas manual valve 20 and a check valve 19 are fixed to the purge gas unit fixing plate 29.
  • the first gas unit fixing plate 30A in the first gas unit A is connected from above to a first manual valve 11A, a pressure gauge 12A, and a noise 38A, and a third manual valve 14A and a second manual valve 13A. Has been fixed.
  • the second gas unit fixing plate 30B in the second gas unit B is connected to the first manual valve 11B, the pressure gauge 12B, and the pipe 38B from above, and the third manual valve 14B, the second manual valve 13B, and
  • An existing process gas common channel end manual valve 22 is fixed at a position slightly shifted to the right.
  • the existing purge gas common flow path end manual valve 23 is fixed at a position slightly shifted to the right avoiding the pipe 38B.
  • the additional gas unit C to be added is fixed on the additional gas unit fixing plate 30C.
  • the first manual valve 11C, the pressure gauge 12C, and the pipe 38C are connected from the top to the extension gas unit fixing plate 30C, and the third manual valve 14C, the second manual valve 13C, and a position slightly shifted to the right
  • the existing process gas common flow path end manual valve 24 is fixed.
  • a purge gas common flow path end manual valve 25 is fixed at a position slightly shifted to the right avoiding the pipe 38C.
  • a notch 34 is formed at the position of the process gas common flow path end manual valve 24 on the extension gas unit fixing plate 30C, and a cutout 35 is formed at the position of the purge gas common flow path end manual valve 25. Is formed.
  • FIG. 3 shows an AA cross-sectional view of FIG.
  • the pipe-shaped process gas common flow path 15 communicates with the V flow path 321A formed in the V flow path block 32A via the joint block 42.
  • the V channel 321A communicates with the V channel 321B formed in the V channel block 32B by a manual valve communication channel 133A through a manual valve inlet channel 131A and a valve chamber of the manual valve. Therefore, regardless of the opening and closing of the second manual valve 13A, the manual valve inlet passage 131A and the manual valve communication passage 133A are always in communication.
  • the outlet passage 132A of the third manual valve communicates with the process gas outlet passage 331A formed in the passage block 33A.
  • the flow path configuration of the second gas unit B is almost the same as the flow path configuration of the first gas unit A, and thus the details are omitted. Only the differences will be described.
  • FIG. 4 shows a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
  • the manual valve communication passage 133B of the second manual valve 13B communicates with the inlet flow passage 22a of the process gas common flow passage end manual valve 22 via a flow passage 361B formed in the flow passage block 36B.
  • the outlet passage 22b of the process gas common passage end valve 22 communicates with the joint hole 37a shown in FIG. 2 via a passage 371B formed in the passage block 37.
  • a height adjusting plate 31 is sandwiched below the additional gas unit fixing plate 30C to which the additional gas unit C to be added is fixed and above the rail 26.
  • the cutout portion 34 of the additional gas unit fixing plate 3OC is not shown in the figure, so only the cutout portion 34 is shown and the portion that should be seen on the other side is omitted.
  • the structures of the purge gas common flow channel end manual valve 23 and the purge gas common flow channel end manual valve 25 of the additional gas unit C are almost the same as those shown in FIG. The difference is that a flow path block 39 in which a flow path communicating with the outlet flow path of the purge gas common flow path end manual valve 23 is formed extends downward in FIG. A joint hole 39a for communicating with the inlet channel of the third manual valve 14C is formed.
  • FIG. 5 shows a cross-sectional view corresponding to FIG. 3 in that state.
  • the joint hole 37a and the manual valve inlet channel 131C are separated from each other by just the thickness of the height adjustment plate 31.
  • FIG. 6 shows a cross-sectional view corresponding to FIG. The positional relationship shown in FIG. 5 is realized by the passage block 37B entering the space of the notch.
  • the height adjustment plate 31 is removed. Then, it is fixed with a bolt (not shown). Thereby, the joint hole 37a and the manual valve inlet channel 131C of the second manual valve 13C of the additional gas unit C communicate with each other.
  • the first manual valve 11 provided in the outlet flow path communicates with the first manual valve 11 and the process gas common flow path 15.
  • a third manual valve 14 provided at a position where the first manual valve 11 and the purge gas common flow path 16 communicate with each other.
  • the process gas common flow path end manual valve 22 communicating with the end of the process gas common flow path 15 and the purge gas common flow communicating with the end of the purge gas common flow path 16 are commonly used.
  • the provision of the flow path end manual valve 23 does not affect the existing gas line, that is, the construction of a new gas line can be performed while the semiconductor manufacturing process is in operation.
  • extension gas unit C to be added is provided with the height adjusting plate 31 for connecting to the existing gas supply integrated unit, the positioning of the extension gas unit is easy, and the work efficiency of the extension work is improved. good.
  • FIG. 7 A drawing corresponding to FIG. 5 is shown in FIG. 7, and a drawing corresponding to FIG. 6 is shown in FIG.
  • height adjusting plates 40, 40A, 40B are respectively mounted below unit fixing plates 28, 29, first gas unit fixing plate 30A, and second gas unit fixing plate 30B.
  • No height adjustment plate 40C is installed below the extension gas unit fixing plate 30C.
  • the flow path block 37B is attached to the additional gas unit fixing plate 30C, which is different from the second gas unit fixing plate 30B.
  • the height adjustment plate 40C (not shown) is sandwiched between the lower surfaces of the additional gas cut fixing plate 30C, so that the port formed in the flow path block 37B is connected to the process gas common flow. Connect to the output port of the roadside manual valve 22.
  • a mechanism that allows the user to open the process gas common flow path end manual valve 22 even once Normally, when the process gas common flow path end manual valve 22 is sealed
  • a stopper is also provided at the joint hole 16a. In this case, even if the process gas common flow path end manual valve 22 is opened by mistake, the process gas does not leak outside because the joint hole 16a is sealed. However, there is a risk that the process gas remaining in the space from the output port of the process gas common flow path end manual valve 22 to the joint hole 16a may leak out during the expansion work. To prevent this, if a manual valve 22 at the end of the process gas common flow path is opened even once and then closed, a mechanism that can be checked from the outside can be added to increase safety. .
  • Fig. 10 shows a circuit diagram of a gas supply integrated unit consisting of gas unit A that supplies process gas to the existing line, and a circuit diagram of an additional gas unit C for adding it.
  • the process gas air operated valve 17 is connected to a process gas tank (not shown) via a process gas supply port 18.
  • the process gas air operated valve 17 is connected to one port of the second manual valve 13A via the process gas common flow path 15.
  • the other port of the second manual valve 13A is connected to the first manual valve 11A.
  • the outlet port of the first manual valve 11A communicates with the process gas outlet 10A.
  • a pressure gauge 12A is connected to a flow path connecting the second manual valve 13A and the first manual valve 11A.
  • the purge gas manual valve 20 is connected to one port of the third manual valve 14A via a check valve 19 and a purge gas common flow path 16.
  • the other port of the third manual valve 14A is connected to the first manual valve 11A.
  • the end of the process gas common flow path 15 is sealed by a process gas common flow path end manual valve 22.
  • the end of the purge gas common flow path 16 is sealed by a purge gas common flow path end manual valve 23.
  • FIG. 11 is a plan view showing an installation state of a device in which the circuit is specifically illustrated.
  • Two rails 26, 27 Force Both ends are fixed in parallel by Reynole fixing rods 41, 45.
  • Unit fixing plates 28, 29 and 30A are mounted along the Renoles 26 and 27 so as to be able to translate in the horizontal direction.
  • the process gas air operated valve 17 is fixed to the process gas unit fixing plate 28.
  • a purge gas manual valve 20 and a check valve 19 are fixed to the purge gas unit fixing plate 29.
  • the first gas unit fixing plate 30A is connected to the first manual valve 11A, the pressure gauge 12A, and the pipe 38A from above, and the third manual valve 14A, the second manual valve 13A, and slightly shifted to the right.
  • An existing process gas common flow path end manual valve 22 is fixed at the position.
  • the existing purge gas common flow path end manual valve 23 is fixed at a position slightly shifted to the right avoiding the pipe 38A.
  • the extension gas unit C to be added is fixed on the extension gas unit fixing plate 30C.
  • the additional gas unit fixing plate 30C is connected to the first manual valve 11C, the pressure gauge 12C, and the pipe 38C from above, and the third manual valve 14C, the second manual valve 13C, and a position slightly shifted to the right.
  • the additional manual valve 24 at the end of the additional process gas common flow path is fixed.
  • a purge gas common flow path end manual valve 25 is fixed at a position slightly shifted to the right avoiding the pipe 38C, and a process gas common flow path end manual valve 24 and a purge gas common flow path end manual valve 25 are provided. Are connected by the first communication passage 52 of the pipe.
  • the installation work of the additional gas unit C is performed as described below from the state where the additional gas unit C to be added is disposed slightly away from the existing gas unit.
  • the additional gas unit fixing plate 30C is brought closer to the fixing plate 30A of the first gas unit A, and as shown in FIGS. 14 and 15, the additional gas unit fixing plate 30C is added to the outlet flow passage 22b of the process gas common flow passage end manual valve 22.
  • the inlet block 51 of the second manual valve 13C of the gas unit C (see FIG. 12) is connected to the channel block 37A.
  • the outlet flow path 22b of the process gas common flow path end manual valve 22 is connected to the U-shaped flow path 371A, the flow path 373A to the flow path 372A in the flow path block 37A, and the flow path 372A Communicates with the inlet channel 51 of the second manual valve 13C.
  • a not-shown outlet flow path of the purge gas common flow path end manual valve 23 and a not-shown inlet flow path of the third manual valve 14C of the additional gas unit C are flow path blocks.
  • the channels 58, 55, and 57 of 58 communicate with each other.
  • the flow path 371A communicating with the outlet flow path 22b of the process gas common flow end manual valve 22 and the process gas common flow end manual valve 24 of the additional gas unit C are used.
  • a second communication passage 59 of the pipe connects the inlet passage 24a of the pipe and the flow passage 361C communicating with the inlet passage 24a.
  • the outlet flow path 24b of the gas common flow path end manual valve 24 communicates with the flow path 371C and the horizontal flow path 373C communicating with the outlet flow path 24b in the flow path block 37C, and the flow path 373C also has the same force as the pipe. It is connected to a single passage 52.
  • the outlet flow passage 54 of the purge gas common flow end manual valve 25 shown in FIGS. 12 and 13 is connected to a pipe 52 from a flow passage 53 in a flow passage block 47.
  • the new manual valve 24 at the end of the process gas common flow path, the manual valve at the end of the purge gas common flow path 25, the second manual valve 13C, the first manual valve 11C, and the third manual valve 14C of the additional gas unit C are opened.
  • the purge gas common flow path end manual valve 23 and the purge gas manual valve 20 of the existing gas unit are opened.This allows the purge gas to flow into the additional gas unit C and removes water in the additional gas unit C. I do.
  • the flow of the purge gas and the staying portion of the purge gas are shown in the following drawings. That is, a plan view showing the configuration in FIG. 12, a plan view showing the lower flow path block with the equipment in FIG. 13 removed, and a process gas common flow path end manual valves 22, 24 and a flow path block in FIG. It is a cross-sectional view of 36, 37 and a perspective view showing the lower flow path block with the equipment of FIG. 15 removed.
  • the purge gas manual valve 20 When the purge gas manual valve 20 is opened and the purge gas flows into the additional gas unit C, the power of the purge gas tank (not shown) is also increased via the purge gas supply port 21, the purge gas manual valve 20, the check valve 19, and the purge gas common flow path 16.
  • the purge gas common flow path end manual valve 23 branches and flows to the third manual valve 14C and the purge gas common flow path end manual valve 25.
  • the purge gas flowing to the third manual valve 14C flows from the first manual valve 11C to the process gas outlet 10C.
  • the purge gas flowing to the purge gas common flow path end manual valve 25 flows into the first communication passage 52 of the noive, the process gas common flow path end manual valve 24, the second communication passage 59 of the pipe, and the flow path block 37A. Flows into the third communication path 373A in the horizontal direction of the U-shaped flow path and the flow path 372A in the vertical direction.
  • the purge gas flowing in the flow path 372A flows to the process gas outlet 10C via the inlet flow path 51 of the second manual valve 13C, the second manual valve 13C, and the first manual valve 11C.
  • the first manual valve 11 provided in the outlet channel, the first manual valve 11 and the process gas common channel 15 are integrally formed by a flow path block.
  • a process gas common flow path end manual valve 22 communicating with an end of a process gas common flow path 15 and an end of a purge gas common flow path 16 are provided.
  • the second communication path 59 for communicating the outlet flow path 22b of the valve 22 with the outlet flow path 22b of the process gas common flow path end manual valve 22 and the inlet flow path 51 of another second manual valve 13C are connected. No.
  • FIG. 16 A drawing corresponding to FIG. 12 is shown in FIG. 16, a drawing corresponding to FIG. 13 is shown in FIG. 17, a drawing corresponding to FIG. 14 is shown in FIG. 18 and a drawing corresponding to FIG.
  • FIG. 18 and FIG. 19 the outlet flow path of the process gas common flow path end manual valve 22 ′ is downwardly branched into two, and one of the flow path 222 b and the second (2)
  • the inlet flow path 51 of the manual valve 13C is connected to the U-shaped flow path of the flow path block 37A '.
  • the outlet flow path 222b of the process gas common flow path end manual valve 22 ' is connected to the vertical flow path 371A', the horizontal third communication path 373A ', and the vertical
  • the channel 372A ' is communicated with the channel 372A', and the channel 372A 'is communicated with the inlet channel 51 of the second manual valve 13C.
  • the other flow path 221b of the outlet flow path of the process gas common flow path end manual valve 22 ′ and the inlet flow path 24a of the process gas common flow path end manual valve 24 ′ of the additional gas unit C Is communicated with the second communication passage 361C 'of the V-shaped flow passage of the flow passage block 36C'.
  • the outlet flow path of the process gas common flow end manual valve 24 ' is branched downward in the same manner as the process gas common flow end manual valve 22', and one of the flow paths 241b and the other is used.
  • the flow path 242b is connected to the left port 375 and the right port 376 of the V-shaped flow path 371C 'of the flow path block 37C', respectively.
  • the V-shaped flow path 371C 'in the flow path block 37C' is connected to the flow path 373C 'at the lowest point of the V-shape, and the flow path 373C' is connected to the first communication path 52 'of the pipe.
  • Purge gas is flown into the additional gas unit C to remove water from the additional gas unit C.
  • the flow of the purge gas and the staying part of the purge gas are shown in Fig. 16, Fig. 17, Fig. 18 and Fig. 19.
  • the third embodiment is the same as the third embodiment up to the point where the gas flows from the purge gas common flow path end manual valve 25 to the first communication passage 52 ′ of the pipe, and the flow from the first communication passage 52 ′ to the third communication passage 373A ′. However, the flow during this period is described.
  • the purge gas flowing into the first communication passage 52 'of the pipe flows from the flow passage 373C' of the flow passage block 37C 'to the V-shaped flow passage 3'.
  • the flow path 241b and the flow path 242b force Process gas
  • the purge gas flowing into the common flow path end manual valve 24 ' is supplied to the inlet flow path 24a', the V-shaped second communication path 361C 'of the flow path block 36C',
  • the outlet of the process gas common channel end manual valve 22 ' flows from the other channel 221b to one outlet channel 222b.
  • the purge gas that has flowed into one outlet flow path 222b of the process gas common flow end manual valve 22 ' flows into the flow path block 37A, the U-shaped flow path 371A', and the third communication path 373A.
  • the purge gas that has flowed through the flow path 372A ′ flows through the inlet flow path 51 of the second manual valve 13C, and thereafter is the same as in the third embodiment.
  • process gas common flow end manual valve 24 ', the purge gas common flow end manual valve 25, and the third manual valve 14C are closed, and the process gas common flow is closed.
  • process gas can be supplied to the second gas line.
  • the outlet flow path 221b which is branched into two inside the process gas common flow path end manual valve 22 ′,
  • the passage 2 22b is formed, and an outlet flow passage 241b and an outlet flow passage 242b branched into two are formed inside another process gas common flow passage end manual valve 24 'of the additional gas unit C to be added. Therefore, when purging an additional line by adding a line, the purge gas must flow into the process gas common flow path end manual valve 22 'and another process gas common flow path end manual valve 24'. And the water in the additional gas unit can be almost completely Can be completely removed.
  • the first communication path 52 ′ is connected to the outlet flow path 54 of another purge gas common flow path end manual valve 25 and another process gas common flow path end manual valve 24.
  • the second communication passage 361C is connected to both of the outlet passages 241b and 242b, and the second communication passage 361C is connected to the inlet passage 24a 'of another process gas common passage end manual valve 24' and the process gas common flow.
  • the third flow path 373A ' is branched into two of the process gas common flow path end manual valve 22' and the third flow path 373A 'is connected to one of the two outlet flow paths 221b of the road end manual valve 22'.
  • the other side 222b is provided so as to communicate with the inlet channel 51 of another second manual valve! /, So when purging an additional line by adding a line, the process gas common flow path end Purge gas is flowed into each of the manual valves 22 ′ and the manual valve 24 ′ at the end of another process gas common flow path, and in all the flow paths. be able to. Therefore, the water in the additional gas unit C to be added can be almost completely removed without spending much time for purging.

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Abstract

　本発明の課題は、ラインを増設するのが容易なガス供給集積ユニットを提供することである。この課題の解決手段として、出口流路に設けられた第１手動弁１１と、第１手動弁１１とプロセスガス共通流路１５とを連通する位置に設けられた第２手動弁１３と、第１手動弁１１とパージガス共通流路１６とを連通する位置に設けられた第３手動弁１４とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路１５の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁２２と、パージガス共通流路１６の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁２３とを有する。

Description

明 細 書
ガス供給集積ユニット
技術分野
[0001] 本発明は、半導体工程にプロセスガスを供給するため、プロセスガスを分岐して供 給するガス供給集積ユニットに関するものである。
背景技術
[0002] 半導体製造工場においては、プロセスガスはタンクに収納されクリーンルームの外 に配置されている。そして、タンクから同じプロセスガスをクリーンルーム内の複数箇 所に供給するために、プロセスガスを分岐して供給するガス供給装置が使用されて いる。その様なガス供給装置においては、プロセスガスを新たに必要とする箇所が生 じた場合には、 1ライン増設する作業を行う必要がある。
図 24に、 3ラインの供給を行っているプロセスガス供給装置の回路図を示し、図 25 に、その回路を具体ィ匕した機器の設置状態を平面図で示す。プロセスガスエアオペ レート弁 107力 プロセスガス供給口 108を介して図示しないプロセスガスタンクと接 続している。プロセスガスエアオペレート弁 107は、プロセスガス共通流路 105を介し て、第 2手動弁 103A, 103B, 103C【こ接続して!/、る。
[0003] 第 2手動弁 103A, 103B, 103Cは、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cに接続して いる。第 1手動弁 101A, 101B, 101Cの出口は、プロセスガス出口 100A, 100B, 100Cと連通されている。第 2手動弁 103A, 103B, 103Cと、第 1手動弁 101A, 10 IB, 101Cとの間の流路には、圧力計 102A, 102B, 102Cが連通されている。 また、パージガス手動弁 110力 パージガス供給口 111を介して図示しないパージ ガスタンクと接続している。パージガス手動弁 111は、逆止弁 109、パージガス共通 流路 106を介して、第 3手動弁 104A, 104B, 104Cに接続している。第 3手動弁 10 4A, 104B, 104Cは、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cに接続している。
プロセスガス共通流路 105の端部 105aは止め栓により封止されている。パージガ ス共通流路 106の端部 106aは、止め栓により封止されている。
[0004] 次に、図 24の 3ラインの回路に 1ライン増設する場合について説明する。図 24には 、第 4ライン Dを右側に記載している。図 26に、増設後の回路図を示し、図 27に、そ の回路を具体ィ匕した機器の配置状態を平面図で示す。
第 4ラインを増設する工事手順を説明する。この工事中は、プロセスガスは供給でき ず、半導体製造工程も停止している必要がある。
始めに、プロセスガスエアオペレート弁 107を閉弁状態とし、第 3手動弁 104A, 10 4B, 104Cを開弁状態とし、第 1手動弁 101A, 101B, 101Cを開弁状態とする。そ の状態で、パージガス手動弁 111を開弁する。これにより、プロセスガスエアオペレー ト弁 107から第 1手動弁 101A, 101B, 101C内に残っているプロセスガスを窒素ガ スであるパージガスと置換する。十分な時間をかけてガス置換を行った後、パージガ ス手動弁 110を閉弁する。そして、第 1手動弁 101A, 101B, 101C、第 2手動弁 10 3A, 103B, 103C、第 3手動弁 104A, 104B, 104Cを閉弁状態とする。
[0005] 次に、パージガス共通流路 106の端部 106aを封止している止め栓を外して、第 4ラ インのパージガス共通流路の入口端部 106bと、配管 112により接続する。また、プロ セスガス共通流路105の端部 105aを封止している止め栓を外して、第 4ラインのプロ セスガス共通流路の入口端部 105bと、配管 113により接続する。
第 4ラインの機器の構成は第 1から第 3ラインの構成と同じなので説明を省略する。 第 4ラインのパージガス共通流路 106の新たな端部 106cは、止め栓により封止され ている。また、プロセスガス共通流路 105の新たな端部 105cは止め栓により封止さ れている。
次に、プロセスガス出口 100Dを図示しない必要な箇所と接続する。
これにより、第 4ラインの増設が終了する。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] し力しながら、従来のガス供給集積ユニットには、以下の問題があった。
(1)新たなガスラインの増設工事を行う場合、既存のガスラインを停止しなければなら ないため、半導体製造工程が停止するときにしか増設工事を行うことができな力つた また、増設工事を終了した後においても、プロセスガス共通流路 105、及びパージ ガス共通流路 106の図 26に大気暴露部として斜線で示す部分が、大気に暴露され るため、大気中の水分が流路の内壁に付着する問題があった。すなわち、プロセス ガスに水分が混入すると、プロセスガスの機能が不完全となる場合があり、第 4ライン を増設した後、パージガス共通流路よりパージガスを長時間流して、空気暴露した流 路の水分を除去する必要があった力 である。実際に、数時間から数十時間のパー ジが行われていた。
[0007] (2)余分な配管 112, 113を必要とするため、ガス供給集積ユニットが横方向に大き くなり、集積ィ匕による小型化の要請に反していた。また、第 4ラインは、ボルトにより、 ベースプレート 120に取り付けられている力 その位置あわせを配管 112, 113により 調整する必要があり、配管工事に無駄な時間が力かる問題があった。
[0008] (3)増設工事を終了した後のガスラインにおいて、大気暴露された部分は回路 43、 回路 44であり、図 9に斜線で示す。この大気暴露された部分の水分を除去するため 、パージガス共通流路 16より、増設ガスユニット内にパージガスを流し、増設ガスュ ニット内の水分の除去を行う。このパージにおけるパージガスの流れとパージガスか ら遮断された大気残留部を図 9の構成を示す平面図（図 20)、図 20の機器を取り除 いた下部の流路ブロックを示す平面図（図 21)、及びプロセスガス共通流路端部手 動弁 22、 24と下部の流路ブロックの断面図（図 22)、及び図 22の機器を取り除いた 下部の流路ブロックを示す斜視図（図 23)で示す。これらの図からわ力るように、回路 44の一部にはパージガスが流れる力 滞留部が大きいためにパージガスが流れな い部分がある。また、回路 43はパージガス力も遮断され、大気が残留するという問題 があった。そのため、パージが不完全となり、プロセスガスに水分が混入し、プロセス ガスの機能が不完全となる場合があった。
[0009] そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ラインを増設す るのが容易なガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。また、本発明は、ラ インを増設してパージを行う際、パージが確実にできるガス供給集積ユニットを提供 することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0010] 本発明に係るガス供給集積ユニットは、次のような構成を有している。 (1)出口流路に設けられた第 1手動弁と、前記第 1手動弁とプロセスガス共通流路と を連通する位置に設けられた第 2手動弁と、前記第 1手動弁とパージガス共通流路と を連通する位置に設けられた第 3手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結され て 、るガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにお 、て、プロセスガス共通流 路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端 部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有する。
[0011] (2) (1)に記載するガス供給集積ユニットにおいて、前記ガスユニットのガスの流れと 直角方向に交差して複数設置され、前記ガスユニットが取り付けられる固定板と、増 設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセ スガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガ ス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有する ことを特徴とする。
(3) (2)に記載するガス供給集積ユニットにおいて、前記増設するガスユニットが、既 設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調整手段を備えていることを特徴と する。
[0012] (4) (1)に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、前記プロセスガス共通流路端部 手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と前記パージガス共通流 路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁と前記プロセスガス 共通流路端部手動弁と連通する別の第 2手動弁を備える増設するガスユニットと、前 記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流 路端部手動弁の出口流路とを連通させる第 1連通路と、前記別のプロセスガス共通 流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と を連通させる第 2連通路と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前 記別の第 2手動弁の入口流路とを連通させる第 3連通路とを有することを特徴とする
[0013] (5) (1)に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、前記プロセスガス共通流路端部 手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成され、前記増設するガスユニットの 前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形 成されて!/ヽることを特徴とする。
[0014] (6) (5)に記載するガス供給集積ユニットにおいて、前記第 1連通路を前記別のパー ジガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動 弁の前記二つに分岐した出口流路の両方に連通させ、前記第 2連通路を前記別の プロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手 動弁の前記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ、前記第 3連通路を前記プ ロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の他方と前記別の 第 2手動弁の入口流路に連通させるように設けられて 、ることを特徴とする。
発明の効果
[0015] 続いて、上記（1)から（3)に記載した構成を有する発明の作用効果について説明 する。
通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、 及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、 閉弁状態にある。そして、新しいラインを増設する場合にも、少なくともパージ終了ま では、プロセスガス共通流路端部手動弁及びパージガス共通流路端部手動弁とは 閉弁されている。
次に、第 4ラインを構成する第 4ガスユニットを、ガスの流れと直角方向に交差して 複数は位置されたレールに取り付け、レール上を移動させて、第 4ガスユニットのプロ セスガス共通流路の入口端部をプロセスガス共通流路端部手動弁の出口と接続す る位置に、パージガス共通流路の入口端部をパージガス共通流路端部手動弁の出 口と接続する位置に移動させる。
[0016] このとき、第 4ガスユニットのプロセスガス共通流路の入口端部を構成するブロック、 及びパージガス共通流路の入口端部を構成するブロックとは、例えば、高さ方向でス ぺーサ板の厚み分だけ低くなつているため、それらのブロックは、干渉することなくプ ロセスガス共通流路端部手動弁の出口の真下位置まで、同様に、パージガス共通流 路端部手動弁の出口の真下位置まで移動できる。次に、第 4ガスユニット全体の下面 にスぺーサ板を挿入することにより、第 4ユニットのプロセスガス共通流路の入口端部 をプロセスガス共通流路端部手動弁の出口と接続させ、パージガス共通流路の入口 端部をパージガス共通流路端部手動弁の出口と接続させることができる。次に、接続 ボルト、第 4ガスユニット固定ボルトを締める。
次に、第 4ガスユニットの新たなプロセスガス共通流路端部手動弁とパージガス共 通流路端部手動弁とを閉弁状態とし、第 2手動弁を閉弁状態とし、第 1手動弁及び第 3手動部とを開弁状態として、増設ガスユニットのパージガス共通流路端部手動弁を 開弁する。
これにより、第 4ガスユニット内にパージガスを流して、第 4ガスユニット内の水分の 除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第 3手動 弁を閉じ、第 2手動弁を開くことにより、第 4ガスラインにプロセスガスを供給することが できる。
[0017] 以上説明したように、本発明のガス供給集積ユニットによれば、出口流路に設けら れた第 1手動弁と、前記第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設け られた第 2手動弁と、前記第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設け られた第 3手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガスユニットを複 数備えるガス供給集積ユニットにお ヽて、プロセスガス共通流路の端部と連通するプ ロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端部と連通するパージガ ス共通流路端部手動弁とを有するので、既存のガスラインに影響を与えることなぐ すなわち、半導体製造工程を稼働したままで、新たなガスラインの増設工事を行うこ とがでさる。
また、増設工事終了後においても、既設のプロセスガス共通流路ゃパージガス共 通流路を、大気暴露することなく新たなガスユニットを取り付けることができるため、増 設工事が短時間で済む。
[0018] さらに、ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置され、ガスュ-ッ トが取り付けられるレールと、増設するガスユニットが、プロセスガス共通流路端部手 動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁と、パージガス共通流路の端 部と連通するパージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路 端部手動弁とを有するので、例えば、第 5ライン用の第 5ガスユニットを増設する必要 が発生した場合にも、同様の工事を行うことができる。 さらに、増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高 さ調整手段を備えているので、増設するガスユニットの位置決めが容易であり、増設 工事の作業効率が良い。
[0019] 続いて、上記 (4)から (6)に記載した構成を有する発明の作用効果について説明 する。
通常、プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁、 及びパージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とは、 閉弁状態にある。新しいラインを増設する場合、増設するガスユニットを、ガスの流れ と直角方向に交差して複数配置されたレールに取付け、レール上を移動させて、次 のように回路を接続する。
まず、既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインの第 2手動弁の入口流路とを流路ブロック内の連通路により連通させ、第 3連通路を設け る。既設ラインのパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインの第 3手 動弁の入口流路とを流路ブロック内の連通路により連通させる。既設ラインのプロセ スガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインのプロセスガス共通流路端部手 動弁の入口流路とをパイプにより接続し、第 2連通路を設ける。尚、増設工事の前に 増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と増設ラインのパージガ ス共通流路端部手動弁の出口流路とは、パイプの第 1連通路で接続されている。以 上のように回路を接続した後、接続ボルト、増設するガスユニットの固定ボルトを締め る。
[0020] このように、増設ラインを既設ラインに接続した後、増設ラインのプロセスガス共通流 路端部手動弁、パージガス共通流路端部手動弁、第 1手動弁、第 2手動弁及び第 3 手動弁を開弁状態として、既設ラインのパージガス共通流路端部手動弁を開弁する 次に既設ラインのパージガス手動弁を開弁して、増設ライン内にパージガスが一方 は第 3手動弁、第 1手動弁からプロセスガス出口へと流される。また、パージガスの他 方はパージガス共通流路端部手動弁、プロセスガス共通流路端部手動弁、第 2手動 弁、第 1手動弁力 プロセスガス出口へと流される。こうして、上記（1)から（3)に記載 した構成を有する発明で、パージガスが流れない回路にもパージガスを満たすことが できる。パージガスが滞留する部分が一部発生する力 必要な時間パージをすれば 、増設ライン内の水分の除去をほぼ完全に行うことができる。水分が除去でき、半導 体製造装置側の準備が整ったら、増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、 パージガス共通流路端部手動弁、及び第 3手動弁を閉じ、既設ラインのプロセスガス 共通流路端部手動弁を開くことにより、増設ラインにプロセスガスを供給することがで きる。
また、既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、及び増設ラインのプロセス ガス共通流路端部手動弁にそれぞれ内部で二つに分岐した出口流路を形成するこ とにより、パージガスを既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁、及び増設ラ インのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれぞれ内部にも流すことができ、パー ジガスの滞留部が僅かになる。従って、増設ライン内の水分の除去をほぼ完全に行う ことができる。
以上説明したように、本発明のガス供給集積ユニットは、出口流路に設けられた第 1手動弁と、前記第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを連通する位置に設けられた 第 2手動弁と、前記第 1手動弁とパージガス共通流路とを連通する位置に設けられた 第 3手動弁とが流路ブロックにより一体に連結されているガスユニットを複数備えるガ ス供給集積ユニットにお 、て、前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセス ガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス 共通流路端部手動弁と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロ セスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する 別のパージガス共通流路端部手動弁と、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連 通する別の第 2手動弁を備える増設するガスユニットと、前記別のパージガス共通流 路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路 とを連通させる第 1連通路と、前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流 路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第 2連通路と 、前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別の第 2手動弁の入口 流路とを連通させる第 3連通路とを有するので、ラインを増設して増設ラインのパージ を行う際、すべての回路にパージガスを満たすことができ、必要な時間パージを行つ て、増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
[0022] さらに、本発明のガス供給集積ユニットは、前記プロセスガス共通流路端部手動弁 の内部で二つに分岐した出口流路が形成され、前記増設するガスユニットの前記別 のプロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成され ているので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、既存ラインのプロセスガ ス共通流路端部手動弁及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれ ぞれ内部までパージガスを流すことができ、時間をかけることなぐ増設するガスュ- ット内の水分をほぼ完全に除去できる。
[0023] さらに、本発明のガス供給集積ユニットは、前記第 1連通路を前記別のパージガス 共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の前 記二つに分岐した出口流路の両方に連通させ、前記第 2連通路を前記別のプロセス ガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前 記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ、前記第 3連通路を前記プロセスガス 共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の他方と前記別の第 2手動弁 の入口流路に連通させるように設けられて 、るので、既存ラインのプロセスガス共通 流路端部手動弁及び増設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁のそれぞれの 内部まで、且つすベての流路にパージガスを流すことができる。従って、パージに時 間をかけることなぐ増設するガスユニット内の水分をほぼ完全に除去できる。
図面の簡単な説明
[0024] [図 1]本発明の第 1実施例であるガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。
[図 2]第 1実施例の構成を示す平面図である。
[図 3]図 2の AA断面図である。
[図 4]図 2の BB断面図である。
[図 5]図 3において、増設ガスユニット固定板 30Cを移動させた後の断面図である。
[図 6]図 4において、増設ガスユニット固定板 30Cを移動させた後の断面図である。
[図 7]第 2実施例の図 5に対応する図面である。
[図 8]第 2実施例の図 6に対応する図面である。 圆 9]本発明のガス供給集積ユニットを使用したときの大気暴露部を示す回路図であ る。
圆 10]本発明の第 3実施例であるガス供給集積ユニットの構成を示す回路図である。
[図 11]図 10の構成を示す平面図である。
[図 12]第 3実施例の構成を示す平面図で、図 11における増設ガスユニット固定板 30 Cを移動させた後を示す。
[図 13]図 12の機器を取り除 、た下部の流路ブロックを示す平面図である。
[図 14]図 12の A— A断面図を示す。
[図 15]図 14の機器を取り除 、た下部の流路ブロックを示す斜視図である。
圆 16]第 4実施例の構成を示す平面図である。
[図 17]図 16の機器を取り除 、た下部の流路ブロックを示す平面図である。
[図 18]図 16の B— B断面図を示す。
[図 19]図 18の機器を取り除 、た下部の流路ブロックを示す斜視図である。
[図 20]図 9の構成を示す平面図である。
[図 21]図 20の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す平面図である。
[図 22]図 20の C C断面図を示す。
[図 23]図 22の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図である。
圆 24]従来のガス供給ユニットの構成を示す回路図である。
[図 25]図 24を具体ィ匕した構成を示す平面図である。
圆 26]従来の増設後ガス供給ユニットを示す回路図である。
[図 27]図 26を具体ィ匕した構成を示す平面図である。
符号の説明
11 第 1手動弁
13 第 2手動弁
14 第 3手動弁
15 プロセスガス共通流路
16 パージガス共通流路
17 プロセスガスエアオペレート弁 20 パージガス手動弁
22, 24 プロセスガス共通流路端部手動弁
23, 25 パージガス共通流路端部手動弁
22b 出口流路
24a 入口流路
24b 出口流路
51 入口流路
52 第 1連通路
54 出口流路
59 第 2連通路
373A 第 3連通路
221b, 222b 出口流路
241b, 242b 出口流路
361C' 第 2連通路
発明を実施するための最良の形態
[0026] 次に、本発明に係るガス供給集積ユニットの実施例について説明する。
実施例 1
[0027] 次に、本発明に係るガス供給集積ユニットの実施例 1について図面を参照して説明 する。図 1に、既設の 2ラインへプロセスガスの供給を行っている第 1ガスユニット A、 第 2ガスユニット Bからなるガス供給集積ユニットの回路図、及びそれに増設するため の増設ガスユニット Cの回路図とを示す。図 1に示すようにプロセスガス供給口 18に 近い方力 順に第 1ガスユニット A、第 2ガスユニット B、増設ガスユニット Cが配置され ている。
プロセスガスエアオペレート弁 17は、プロセスガス供給口 18を介して図示しないプ ロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁 17は、プロセスガス 共通流路 15を介して、第 2手動弁 13A, 13Bの一方のポートに接続している。
第 2手動弁 13A, 13Bの他ポートは、第 1手動弁 11A, 11Bに接続している。第 1 手動弁 11A, 11Bの出口ポートは、プロセスガス出口 10A, 10Bと連通されている。 第 2手動弁 13A, 13Bと、第 1手動弁 11A, 11Bとを連通させている流路に、圧力計 12A, 12Bが連通されている。
[0028] また、パージガス手動弁 20力 パージガス供給口 21を介して図示しな!、パージガ スタンクと接続している。パージガス手動弁 20は、逆止弁 19、パージガス共通流路 1 6を介して、第 3手動弁 14A, 14Bの一方のポートに接続している。第 3手動弁 14A, 14Bの他のポートは、第 1手動弁 11A, 11Bに接続している。
プロセスガス共通流路 15の端部は、プロセスガス共通流路端部手動弁 22により封 止されている。また、パージガス共通流路 16の端部は、パージガス共通流路端部手 動弁 23により封止されている。
[0029] 図 2に、その回路を具体ィ匕した機器の設置状態を平面図で示す。 2本のレール 26 , 27力 両端をレーノレ固定棒 41, 29により平行に固定されている。レーノレ 26, 27に 沿って、ユニット固定板 28, 29, 30が横方向に平行移動可能に取り付けられている 。プロセスガス用ユニット固定板 28には、プロセスガスエアオペレート弁 17が固定さ れている。パージガス用ユニット固定板 29には、パージガス手動弁 20と逆止弁 19が 固定されている。
[0030] 第 1ガスユニット Aにおける第 1ガスユニット固定板 30Aには、上から第 1手動弁 11 A、圧力計 12A、そしてノイブ 38Aにつながれて、第 3手動弁 14A、第 2手動弁 13A が固定されている。同じぐ第 2ガスユニット Bにおける第 2ガスユニット固定板 30Bに は、上から第 1手動弁 11B、圧力計 12B、そしてパイプ 38Bにつながれて、第 3手動 弁 14B、第 2手動弁 13B、そして少し右側にずれた位置に既設プロセスガス共通流 路端部手動弁 22が固定されている。また、パイプ 38Bを避けて少し右側にずれた位 置に既設のパージガス共通流路端部手動弁 23が固定されている。
それらの既設ガスユニットから少し離れて、増設する増設ガスユニット Cが増設ガス ユニット固定板 30C上に固定されている。すなわち、増設ガスユニット固定板 30Cに は、上から第 1手動弁 11C、圧力計 12C、パイプ 38Cにつながれて、第 3手動弁 14 C、第 2手動弁 13C、そして少し右側にずれた位置に既設のプロセスガス共通流路 端部手動弁 24が固定されている。また、パイプ 38Cを避けて少し右側にずれた位置 にパージガス共通流路端部手動弁 25が固定されて 、る。 また、増設ガスユニット固定板 30Cのプロセスガス共通流路端部手動弁 24の位置 には、切り欠き部 34が形成され、パージガス共通流路端部手動弁 25の位置には、 切り欠き部 35が形成されて ヽる。
[0031] 図 2の AA断面図を図 3に示す。パイプ形状のプロセスガス共通流路 15が継手ブロ ック 42を介して、 V流路ブロック 32Aに形成された V流路 321Aと連通している。 V流 路 321Aは、手動弁入口流路 131Aを通って、手動弁の弁室を介して手動弁連通路 133Aにより V流路ブロック 32Bに形成された V流路 321Bと連通している。従って、 第 2手動弁 13Aの開閉にかかわらず、手動弁入口流路 131Aと手動弁連通路 133A とは、常時連通している。
第 3手動弁の出口流路 132Aは、流路ブロック 33Aに形成されたプロセスガス出口 流路 331 Aと連通している。
第 2ガスユニット Bの流路構成は、第 1ガスユニット Aの流路構成とほぼ同じなので、 詳細は省略する。相違する点のみ説明する。
[0032] 図 4に図 2の BB断面図を示す。第 2手動弁 13Bの手動弁連通路 133Bは、流路ブ ロック 36Bに形成された流路 361Bを介して、プロセスガス共通流路端部手動弁 22 の入口流路 22aと連通している。そして、プロセスガス共通流路端部手動弁 22の出 ロ流路 22bは、流路ブロック 37に形成された流路 371Bを介して、図 2に示す継手孔 37aと連通している。
一方、増設する増設ガスユニット Cが固定された増設ガスユニット固定板 30Cの下 側、レール 26の上側には、高さ調整板 31が挟まれている。増設ガスユニット固定板 3 OCの切り欠き部 34は、図が見にくくなるので、切り欠き部 34のみ記載して向こう側に 見えるはずの部分を省略して記載して 、る。
パージガス共通流路端部手動弁 23、増設ガスユニット Cのパージガス共通流路端 部手動弁 25の構造は、図 4に示す構造とほぼ同じなので説明を省略する。相違して いる点は、パージガス共通流路端部手動弁 23の出口流路と連通する流路が形成さ れた流路ブロック 39が、図 2の下側方向に延設され、その上面に第 3手動弁 14Cの 入口流路と連通するための継手孔 39aが形成されて 、ることである。
[0033] 次に、増設ガスユニット固定板 30Cを第 2ガスユニット固定板 30Bに近づけて継手 孔 37aと増設ガスユニット Cの第 2手動弁 13Cの手動弁入口流路 131Cとの孔位置を 図 2の平面方向で合わせる。その状態における図 3に対応する断面図を図 5に示す。 継手孔 37aと手動弁入口流路 131Cとは高さ方向では、ちょうど高さ調整板 31の厚 みだけ離れている。また、図 4に対応する断面図を図 6に示す。流路ブロック 37Bが、 切り欠き部 34の空間に入り込むことで、図 5の位置関係が実現されている。
この状態で、高さ調整板 31を取り外す。そして、図示しないボルトにより固定する。 これにより、継手孔 37aと増設ガスユニット Cの第 2手動弁 13Cの手動弁入口流路 13 1Cとが連通される。
[0034] 以上により、増設ガスユニット Cの取付工事は終了する。次に、増設ガスユニット C の新たなプロセスガス共通流路端部手動弁 24とパージガス共通流路端部手動弁 25 とを閉弁状態とし、第 2手動弁 13Cを閉弁状態とし、第 1手動弁 11C及び第 3手動部 14Cとを開弁状態として、第 2ガスユニット Bのパージガス共通流路端部手動弁 23を 開弁する。
これにより、増設ガスユニット C内にパージガスを流して、増設ガスユニット C内の水 分の除去を行う。水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、第 3 手動弁 14Cを閉じ、第 2手動弁 13Cを開くことにより、第 3ガスラインにプロセスガスを 供給することができる。
[0035] 以上説明したように、本発明のガス供給集積ユニットによれば、出口流路に設けら れた第 1手動弁 11と、第 1手動弁 11とプロセスガス共通流路 15とを連通する位置に 設けられた第 2手動弁 13と、第 1手動弁 11とパージガス共通流路 16とを連通する位 置に設けられた第 3手動弁 14とが流路ブロックにより直列一体に連結されているガス ユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにおいて、プロセスガス共通流路 15の端 部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁 22と、パージガス共通流路 16の端 部と連通するパージガス共通流路端部手動弁 23とを有するので、既存のガスライン に影響を与えることなぐすなわち、半導体製造工程を稼働したままで、新たなガスラ インの増設工事を行うことができる。
また、本発明のガス供給集積ユニットによれば、大気暴露される配管が図 9に斜線 で示す部分のみとなるので、既設のプロセスガス共通流路 15やパージガス共通流路 16を、大気暴露することなく新たな増設ガスユニット Cを取り付けることができるため、 増設工事が短時間で済む。
[0036] さらに、ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置され、ガスュ-ッ トが取り付けられるレール 26, 27と、増設する増設ガスユニット C力 プロセスガス共 通流路端部手動弁 22と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24と、パー ジガス共通流路端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁 23と連通する別の パージガス共通流路端部手動弁 25とを有するので、例えば、第 4ライン用の第 4ガス ユニットを増設する必要が発生した場合にも、同様の工事を行うことができる。
さらに、増設する増設ガスユニット Cが、既設のガス供給集積ユニットと接続するた めの高さ調整板 31を備えているので、増設するガスユニットの位置決めが容易であり 、増設工事の作業効率が良い。
実施例 2
[0037] 次に、本発明の実施例 2を説明する。実施例 2のガス供給集積ユニットの構成及び 作用効果は、実施例 1とほぼ同じなので、相違する点のみ説明して、他を割愛する。 図 5に対応する図面を図 7に示し、図 6に対応する図面を図 8に示す。
図 7及び図 8において、ユニット固定板 28, 29、第 1ガスユニット固定板 30A、第 2 ガスユニット固定板 30Bの下に高さ調整板 40, 40A, 40Bが各々取り付けられてい る。増設ガスユニット固定板 30Cの下には、始め高さ調整板 40Cは取り付けられてい ない。
また、図 7及び図 8において、流路ブロック 37Bが第 2ガスユニット固定板 30Bに取 り付けられているのではなぐ増設ガスユニット固定板 30Cに取り付けられている。 図 7及び図 8の状態に位置決めした後、図示しない高さ調整板 40Cを増設ガスュ- ット固定板 30Cの下面に挟むことにより、流路ブロック 37Bに形成されたポートを、プ ロセスガス共通流路端部手動弁 22の出力ポートと連通させる。
[0038] なお、本発明の実施の形態について説明した力 本発明は、上記実施の形態に限 定されることなぐ色々な応用が可能である。
例えば、プロセスガス共通流路端部手動弁 22を一度でも開いたことがわ力る機構 を取り付けると良い。通常は、プロセスガス共通流路端部手動弁 22により封止すると 共に安全のため、継手孔 16aにも、止め栓をしている。その場合には、誤ってプロセ スガス共通流路端部手動弁 22を開いたとしても、継手孔 16aが封止しているので、 プロセスガスは外に漏れない。しかし、増設工事の時、作業するとプロセスガス共通 流路端部手動弁 22の出力ポートから継手孔 16aまでの空間に残存していたプロセス ガスが外に漏れる危険性がある。それを防止するために、プロセスガス共通流路端部 手動弁 22がー度でも開かれて、その後閉じられたとしても、外部から確認できる機構 を付けておくと、安全性を高めることができる。
実施例 3
[0039] 次に、本発明に係るガス供給集積ユニットの実施例 3について、図面を参照して説 明する。図 10に、既設のラインへプロセスガスの供給を行っているガスユニット Aから なるガス供給集積ユニットの回路図、及びそれに増設するための増設ガスユニット C の回路図を示す。
プロセスガスエアオペレート弁 17は、プロセスガス供給口 18を介して図示しないプ ロセスガスタンクと接続している。プロセスガスエアオペレート弁 17は、プロセスガス 共通流路 15を介して、第 2手動弁 13Aの一方のポートに接続している。 第 2手動弁 13Aの他ポートは、第 1手動弁 11Aに接続している。第 1手動弁 11Aの出口ポートは 、プロセスガス出口 10Aと連通している。第 2手動弁 13Aと、第 1手動弁 11Aとを連 通させている流路に、圧力計 12Aが連通されている。
また、パージガス手動弁 20力 パージガス供給口 21を介して図示しないパージガ スタンクと接続している。パージガス手動弁 20は、逆止弁 19、パージガス共通流路 1 6を介して、第 3手動弁 14Aの一方のポートに接続している。第 3手動弁 14Aの他の ポートは、第 1手動弁 11Aに接続している。プロセスガス共通流路 15の端部は、プロ セスガス共通流路端部手動弁 22により封止されている。また、パージガス共通流路 1 6の端部は、パージガス共通流路端部手動弁 23により封止されている。
[0040] 図 11に、その回路を具体ィ匕した機器の設置状態を平面図で示す。 2本のレール 26 , 27力 両端をレーノレ固定棒 41, 45により平行に固定されている。レーノレ 26, 27に 沿って、ユニット固定板 28, 29, 30Aが横方向に平行移動可能に取り付けられてい る。プロセスガス用ユニット固定板 28には、プロセスガスエアオペレート弁 17が固定 されている。パージガス用ユニット固定板 29には、パージガス手動弁 20と逆止弁 19 が固定されている。
[0041] 第 1ガスユニット固定板 30Aには、上から第 1手動弁 11A、圧力計 12A、そしてパイ プ 38Aにつながれて、第 3手動弁 14A、第 2手動弁 13A、そして少し右側にずれた 位置に既設プロセスガス共通流路端部手動弁 22が固定されている。また、パイプ 38 Aを避けて少し右側にずれた位置に既設のパージガス共通流路端部手動弁 23が固 定されている。
既設ガスユニットから少し離れて、増設する増設ガスユニット Cが増設ガスユニット固 定板 30C上に固定されている。即ち、増設ガスユニット固定板 30Cには、上から第 1 手動弁 11C、圧力計 12C、パイプ 38Cにつながれて、第 3手動弁 14C、第 2手動弁 1 3C、そして少し右側にずれた位置に増設のプロセスガス共通流路端部手動弁 24が 固定されている。また、パイプ 38Cを避けて少し右側にずれた位置にパージガス共 通流路端部手動弁 25が固定され、プロセスガス共通流路端部手動弁 24とパージガ ス共通流路端部手動弁 25とがパイプの第 1連通路 52でつながれる。
[0042] 以上のように、既設ガスユニットから少し離れて、増設する増設ガスユニット Cが配 置されている状態から、次のように増設ガスユニット Cの取付け工事を行う。まず、増 設ガスユニット固定板 30Cを第 1ガスユニット Aの固定板 30Aに近づけて、図 14及び 図 15で示すように、プロセスガス共通流路端部手動弁 22の出口流路 22bと増設ガス ユニット Cの第 2手動弁 13Cの入口流路 51 (図 12参照）とを流路ブロック 37Aで連通 させる。即ち、プロセスガス共通流路端部手動弁 22の出口流路 22bは、流路ブロック 37A内で、 U字流路の流路 371A、流路 373Aから流路 372Aに連通させ、流路 37 2Aは第 2手動弁 13Cの入口流路 51と連通させる。同様に、図 12及び図 13で示すよ うに、パージガス共通流路端部手動弁 23の図示しない出口流路と増設ガスユニット Cの第 3手動弁 14Cの図示しない入口流路とを流路ブロック 58の流路 56、流路 55 及び流路 57で連通させる。次に、図 14及び図 15で示すように、プロセスガス共通流 路端部手動弁 22の出口流路 22bと連通する流路 371Aと増設ガスユニット Cのプロ セスガス共通流路端部手動弁 24の入口流路 24aと連通する流路 361Cとがパイプの 第 2連通路 59でつながれる。なお、増設ガスユニット Cの取付け工事の前に、プロセ スガス共通流路端部手動弁 24の出口流路 24bは、流路ブロック 37C内で出口流路 24bと連通する流路 371C、水平方向の流路 373Cと連通し、流路 373C力もパイプ の第 1連通路 52につながれている。同様に、図 12及び図 13で示すパージガス共通 流路端部手動弁 25の出口流路 54は、流路ブロック 47内の流路 53からパイプ 52に つながれている。
[0043] 以上により増設ガスユニット Cの取付け工事は終了する。次に、増設ガスユニット C の新たなプロセスガス共通流路端部手動弁 24、パージガス共通流路端部手動弁 25 、第 2手動弁 13C、第 1手動弁 11C及び第 3手動弁 14Cを開弁状態として、既設ガス ユニットのパージガス共通流路端部手動弁 23及びパージガス手動弁 20を開弁する これにより、増設ガスユニット C内にパージガスを流して、増設ガスユニット C内の水 分の除去を行う。パージガスの流れとパージガスの滞留部を次の図面で示す。即ち、 図 12の構成を示す平面図、図 13の機器を取り除 、た下部の流路ブロックを示す平 面図、図 14のプロセスガス共通流路端部手動弁 22、 24と流路ブロック 36, 37の断 面図及び図 15の機器を取り除いた下部の流路ブロックを示す斜視図で示す。
[0044] 以下にパージガスの流れを説明する。パージガス手動弁 20を開弁して、増設ガス ユニット C内にパージガスを流すと、図示しないパージガスタンク力もパージガス供給 口 21、パージガス手動弁 20、逆止弁 19、パージガス共通流路 16を介して、パージ ガス共通流路端部手動弁 23から、第 3手動弁 14Cとパージガス共通流路端部手動 弁 25とに分岐して流れる。第 3手動弁 14Cに流れたパージガスは、第 1手動弁 11C から、プロセスガス出口 10Cに流れる。
また、パージガス共通流路端部手動弁 25に流れたパージガスは、ノイブの第 1連 通路 52、プロセスガス共通流路端部手動弁 24、パイプの第 2連通路 59、流路ブロッ ク 37A内の U字流路の水平方向の第 3連通路 373A、及び垂直方向の流路 372A に流れる。流路 372Aに流れたパージガスは、第 2手動弁 13Cの入口流路 51、第 2 手動弁 13C、第 1手動弁 11Cを介して、プロセスガス出口 10Cに流れる。
[0045] このように増設ガスユニット C内にパージガスを流すと、図 14及び図 15で示すよう に、一部の流路にパージガスの滞留部が発生する。しかし、パージガスが滞留しても 、パージガスの流れと連通しているので、必要な時間パージガスを流せば、増設ガス ユニット c内の水分の除去を行うことが出来る。水分が十分除去でき、半導体製造装 置側の準備が整ったら、プロセスガス共通流路端部手動弁 24、パージガス共通流路 端部手動弁 25及び第 3手動弁 14Cを閉じ、プロセスガス共通流路端部手動弁 22を 開くことにより、第 2ガスラインにプロセスガスを供給することができる。
[0046] 以上、詳細に説明したように実施例 3のガス供給集積ユニットによれば、出口流路 に設けられた第 1手動弁 11と、第 1手動弁 11とプロセスガス共通流路 15とを連通す る位置に設けられた第 2手動弁 13と、第 1手動弁 11とパージガス共通流路 16とを連 通する位置に設けられた第 3手動弁 14とが流路ブロックにより一体に連結されている ガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにお 、て、プロセスガス共通流路 15 の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁 22と、パージガス共通流路 16 の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁 23と、プロセスガス共通流路端部 手動弁 22と連通する別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24とパージガス共通流 路端部手動弁 23と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁 25とプロセスガス 共通流路端部手動弁 22と連通する別の第 2手動弁 13Cを備える増設する増設ガス ユニット Cと、別のパージガス共通流路端部手動弁 25の出口流路 54と別のプロセス ガス共通流路端部手動弁 24の出口流路 24bとを連通させる第 1連通路 52と、別の プロセスガス共通流路端部手動弁 24の入口流路 24aとプロセスガス共通流路端部 手動弁 22の出口流路 22bとを連通させる第 2連通路 59と、プロセスガス共通流路端 部手動弁 22の出口流路 22bと別の第 2手動弁 13Cの入口流路 51とを連通させる第
3連通路 373Aとを有するので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、増設 するガスユニット内のすべての流路にパージガスを満たすことができる。パージガス の流れのな 、滞留部が一部発生するが、滞留部はパージガスの流れと連通して 、る ので、必要な時間パージガスを流せば、増設ガスユニット C内の水分をほぼ完全に除 去することができる。
実施例 4
[0047] 次に、本発明の実施例 4を説明する。実施例 4のガス供給集積ユニットの構成及び 作用効果は、実施例 3とほぼ同じなので、相違する点のみ説明して、他を割愛する。 相違点は既設ラインのプロセスガス共通流路端部手動弁から、増設ラインの第 2連通 路、プロセスガス共通流路端部手動弁、及び第 1連通路につなぐ間の流路構造であ る。
増設ガスユニット Cを既設ガスユニットに取付ける工事は、第 1実施例と同様に実施 される。増設ガスユニット Cが取付けられたガス供給集積ユニットを次の図面で示す。 図 12に対応する図面を図 16、図 13に対応する図面を図 17、図 14に対応する図面 を図 18及び図 15に対応する図面を図 19にそれぞれ示す。図 18及び図 19で示すよ うに、プロセスガス共通流路端部手動弁 22'の出口流路を下方に向力つて二つに分 岐させ、一方の流路 222bと増設ガスユニット Cの第 2手動弁 13Cの入口流路 51とを 流路ブロック 37A'の U字形の流路で連通させる。即ち、プロセスガス共通流路端部 手動弁 22'の出口流路 222bを、流路ブロック 37A'内で、垂直方向の流路 371A'、 水平方向の第 3連通路 373A'、及び垂直方向の流路 372A'と連通させ、流路 372 A'を第 2手動弁 13Cの入口流路 51と連通させる。
[0048] 次に、プロセスガス共通流路端部手動弁 22'の出口流路の他方の流路 221bと増 設ガスユニット Cのプロセスガス共通流路端部手動弁 24 'の入口流路 24a'を流路ブ ロック 36C'の V字流路の第 2連通路 361C'により連通させる。プロセスガス共通流 路端部手動弁 24'の出口流路をプロセスガス共通流路端部手動弁 22'と同様に、下 方に向かって二つに分岐させ、一方の流路 241b及び他方の流路 242bを流路ブロ ック 37C'の V字流路 371C'の左のポート 375及び右のポート 376とそれぞれ連通さ せる。流路ブロック 37C'内の V字流路 371C'を V字の最下点で流路 373C'と連通 させ、流路 373C'をパイプの第 1連通路 52'と連通させる。
このように設けられた実施例 4の作動及びその作用効果について説明する。増設ガ スユニット C内にパージガスを流して、増設ガスユニット C内の水分の除去を行う。パ ージガスの流れとパージガスの滞留部を図 16、図 17、図 18及び図 19で示す。
[0049] 以下にパージガスの流れを説明する。実施例 3とは、パージガス共通流路端部手 動弁 25からパイプの第 1連通路 52'に流れるところまでは同様で、第 1連通路 52'か ら第 3連通路 373A'までの流れが異なり、この間の流れを説明する。パイプの第 1連 通路 52'に流れたパージガスは、流路ブロック 37C'の流路 373C'から、 V字流路 3 71C'の V字の最下点に流れ、 V字の一方の流路から左のポート 375を介して、プロ セスガス共通流路端部手動弁 24'の出口流路の一方の流路 24 lbに、また V字の他 方の流路カも右のポート 376を介して、プロセスガス共通流路端部手動弁 24'の出 口流路の他方の流路 242bに流れる。流路 241bおよび流路 242b力 プロセスガス 共通流路端部手動弁 24'に流れたパージガスは、入口流路 24a'、流路ブロック 36 C'の V字流路の第 2連通路 361C'、プロセスガス共通流路端部手動弁 22'の出口 流路の他方の流路 221bから一方の出口流路 222bに流れる。プロセスガス共通流 路端部手動弁 22'の一方の出口流路 222bに流れたパージガスは、流路ブロック 37 A，内の U字流路の流路 371A'、第 3連通路の流路 373A'から流路 372A'に流れ る。流路 372A'に流れたパージガスは、第 2手動弁 13Cの入口流路 51に流れ、そ れ以降は実施例 3と同様である。
[0050] このように増設ガスユニット C内にパージガスを流すと、図 18及び図 19で示すよう に、プロセスガス共通流路端部手動弁 22'の出口流路の一部にパージガスの流れの ない滞留部が発生する。しかし、滞留部はパージガスの流れが鋭角に変化する変曲 点近傍にあるので、見かけ上のみであり、実際は流れに巻き込まれてほとんど滞留せ ず、且つ体積も極めて少ないので、時間をかけることなぐ増設ガスユニット C内の水 分の除去をほぼ完全に行うことが出来る。
水分が十分除去でき、半導体製造装置側の準備が整ったら、プロセスガス共通流 路端部手動弁 24'、パージガス共通流路端部手動弁 25及び第 3手動弁 14Cを閉じ 、プロセスガス共通流路端部手動弁 22'を開くことにより、第 2ガスラインにプロセスガ スを供給することができる。
[0051] 以上、詳細に説明したように第 2実施例のガス供給集積ユニットによれば、プロセス ガス共通流路端部手動弁 22'の内部で二つに分岐した出口流路 221b、出口流路 2 22bが形成され、増設する増設ガスユニット Cの別のプロセスガス共通流路端部手動 弁 24 'の内部で二つに分岐した出口流路 241b、出口流路 242bが形成されて 、る ので、ラインを増設して増設ラインのパージを行う際、プロセスガス共通流路端部手 動弁 22'、別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24'のそれぞれ内部までパージガ スを流すことができ、時間をかけることなぐ増設するガスユニット内の水分をほぼ完 全に除去できる。
また、実施例 4のガス供給集積ユニットによれば、第 1連通路 52'を別のパージガス 共通流路端部手動弁 25の出口流路 54と別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24 'の二つに分岐した出口流路 241b及び 242bの両方に連通させ、第 2連通路 361C ，を別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24'の入口流路 24a'とプロセスガス共通 流路端部手動弁 22'の二つに分岐した出口流路の一方 221bに連通させ、第 3連通 路 373A'をプロセスガス共通流路端部手動弁 22'の二つに分岐した出口流路の他 方 222bと別の第 2手動弁の入口流路 51に連通させるように設けられて!/、るので、ラ インを増設して増設ラインのパージを行う際、プロセスガス共通流路端部手動弁 22' 、別のプロセスガス共通流路端部手動弁 24'のそれぞれ内部まで、且つすベての流 路にパージガスを流すことができる。従って、パージに時間をかけることなぐ増設す る増設ガスユニット C内の水分をほぼ完全に除去できる。
なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限 定されることなぐ色々な応用が可能である。

Claims

請求の範囲
[1] 出口流路に設けられた第 1手動弁と、前記第 1手動弁とプロセスガス共通流路とを 連通する位置に設けられた第 2手動弁と、前記第 1手動弁とパージガス共通流路とを 連通する位置に設けられた第 3手動弁とが流路ブロックにより直列一体に連結されて V、るガスユニットを複数備えるガス供給集積ユニットにお！/、て、
前記プロセスガス共通流路の端部と連通するプロセスガス共通流路端部手動弁と、 前記パージガス共通流路の端部と連通するパージガス共通流路端部手動弁とを有 することを特徴とするガス供給集積ユニット。
[2] 請求項 1に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、
前記ガスユニットのガスの流れと直角方向に交差して複数設置され、前記ガスュニ ットが取り付けられる固定板と、
増設するガスユニットが、前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプ ロセスガス共通流路端部手動弁と、前記パージガス共通流路の端部と連通するパー ジガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路端部手動弁とを有 することを特徴とするガス供給集積ユニット。
[3] 請求項 2に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、
前記増設するガスユニットが、既設のガス供給集積ユニットと接続するための高さ調 整手段を備えて ヽることを特徴とするガス供給集積ユニット。
[4] 請求項 1に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別のプロセスガス共通流路端部 手動弁と前記パージガス共通流路端部手動弁と連通する別のパージガス共通流路 端部手動弁と前記プロセスガス共通流路端部手動弁と連通する別の第 2手動弁を備 える増設するガスユニットと、
前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別のプロセスガス共 通流路端部手動弁の出口流路とを連通させる第 1連通路と、
前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プロセスガス共通流 路端部手動弁の出口流路とを連通させる第 2連通路と、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別の第 2手動弁の入口 流路とを連通させる第 3連通路とを有することを特徴とするガス供給集積ユニット。
[5] 請求項 1に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、
前記プロセスガス共通流路端部手動弁の内部で二つに分岐した出口流路が形成 され、前記増設するガスユニットの前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の内 部で二つに分岐した出口流路が形成されていることを特徴とするガス供給集積ュ- ッ卜。
[6] 請求項 5に記載するガス供給集積ユニットにお 、て、
前記第 1連通路を前記別のパージガス共通流路端部手動弁の出口流路と前記別 のプロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の両方に連通 させ、
前記第 2連通路を前記別のプロセスガス共通流路端部手動弁の入口流路と前記プ ロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出口流路の一方に連通させ 前記第 3連通路を前記プロセスガス共通流路端部手動弁の前記二つに分岐した出 口流路の他方と前記別の第 2手動弁の入口流路に連通させるように設けられて!/、る ことを特徴とするガス供給集積ユニット。
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