JP2003091322A

JP2003091322A - ガス供給集積弁

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Publication number: JP2003091322A
Application number: JP2001281756A
Authority: JP
Inventors: Akinori Nagaya; 暁典長屋; Kazuhiro Yoshida; 一裕吉田
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2001-09-17
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2003-03-28
Anticipated expiration: 2021-09-17
Also published as: JP4554853B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高価で大きい装置であるマスフローコントロー
ラの使用数を減らし、コストを低下させるとともに床占
有面積を小さくすることを可能にしたガス供給集積弁を
提供すること。【解決手段】ガス供給集積弁１は、複数のガス供給部１
７〜１９を備え、各ガス供給部１７〜１９には、入力ポ
ート１１Ａ〜１１Ｈと、入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ、マ
スフローコントローラ３２〜３４、出口開閉弁６２〜６
４、第１パージ弁２２〜２４が接続されている。この
点、各入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ及び第１パージ弁２２
〜２４を接続した共通入力流路２０，３０，４０と出口
開閉弁６２〜６４との間にマスフローコントローラ３２
〜３４が接続され、さらに、各入口開閉弁１２Ａ〜１４
Ｈは、隣接する他のガス供給部１７〜１９の入口開閉弁
１２Ａ〜１４Ｈにそれぞれ接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で使用され、複数種類のガスを混合して供給するガス供
給集積弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、薄
膜生成装置、乾式エッチング装置などのプロセス機器へ
プロセスガスを供給するガス供給集積弁が使用されてい
る。これらのプロセス機器では、プロセスガスの流量を
精密に制御することが要求されるうえに、工程によって
異なる種類のガスを供給する必要があり、また、工程に
よっては複数種のガスを混合して供給する場合もある。
そのため、流量を正確に計測するためのマスフローコン
トローラが組み込まれて、各１種類のガスを所要量だけ
供給するガス供給弁を、複数のガス源のそれぞれに設け
ている。そして、ガス源の数だけガス供給弁を組み合わ
せて、それらの出力流路をいずれも同じプロセス機器へ
接続することで、所要のガスを所要量ずつ混合して供給
できるようにしている。

【０００３】従来のガス供給集積弁１００は、ガス源が
８種である場合の例を図９に示すように、各ガス源に対
応するガス供給弁１１１を組み合わせたものである。例
えば、ガスＡを供給するガス供給弁１１１Ａは、ガスＡ
のガス源に接続され、その流路を開閉するための入口開
閉弁１０３Ａと、出力流路１１０へ連通する流路を開閉
する出口開閉弁１０６Ａと、それらの間に接続されたマ
スフローコントローラ１０５Ａ等が接続されて構成され
ている。さらに、各ガス供給弁１１１には、マスフロー
コントローラ１０５を機能させるために必要なレギュレ
ータ１０１や圧力センサ１０２と、マスフローコントロ
ーラ１０５をパージするためのパージ弁１０４が接続さ
れている。ガス供給集積弁１００は、各ガス源（ガスＡ
〜ガスＨ）毎にガス供給弁１１１を設けて、それらの出
力が同じ出力流路１１０へと接続されている。この出力
流路１１０をプロセス機器に接続し、各工程に必要なガ
ス源のガス供給弁１１１のみを駆動させることで、必要
なガスを必要な流量だけ、適宜混合してプロセス機器に
供給することが可能である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ガス供給集積弁１００では、一度に混合されるガスの種
類は、供給されるガス源の数に比べて少ないものであ
る。つまり、多数のマスフローコントローラ１０５のう
ち、同時に使用される数は少なく、交代で使用されてい
る状況である。それにも関わらず、従来のガス供給集積
弁１００ではガス源の数だけガス供給弁１１１が必要と
なり、各ガス供給弁１１１にはそれぞれマスフローコン
トローラ１０５等が必要となる。中でも、マスフローコ
ントローラ１０５は高価な装置であり、そのマスフロー
コントローラ１０５がガス源数ずつ必要であるために、
ガス供給集積弁１００が高価なものとなるという問題点
があった。そのため、マスフローコントローラ１０５の
使用数を減らすことが望まれていた。

【０００５】また、マスフローコントローラ１０５は一
般的な開閉弁等と比較して床占有面積が大きく、マスフ
ローコントローラ１０５の数が多いことはガス供給集積
弁１００の床占有面積を大きいものとしている。このガ
ス供給集積弁１００は、ガスの供給対象である各プロセ
ス機器毎に必要であり、半導体製造工程等で複数のプロ
セス機器をロボットの周囲に配設した場合、付属するガ
ス供給集積弁１００が大きいことは作業等の邪魔となる
ので、より床占有面積の小さいガス供給集積弁が望まれ
ていた。

【０００６】そこで、本発明は上述した問題点を解決す
るためになされたものであって、高価で大きい装置であ
るマスフローコントローラの使用数を減らし、コストを
低下させるとともに床占有面積を小さくすることを可能
にしたガス供給集積弁を提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
になされた請求項１に係る発明は、複数のガス源にそれ
ぞれ連通する複数の入力流路と、各入力流路にそれぞれ
接続された複数の入口開閉弁と、各入口開閉弁の下流側
に接続されたマスフローコントローラと、前記マスフロ
ーコントローラと出力流路とを接続した出口開閉弁と、
前記マスフローコントローラの上流側に接続された第１
パージ弁と、を備えるとともに、前記入力流路と、各入
口開閉弁、前記マスフローコントローラ、前記出口開閉
弁、前記第１パージ弁が接続されたガス供給部を複数備
え、各ガス供給部は、各入口開閉弁及び前記第１パージ
弁を接続した共通入力流路と前記出口開閉弁との間に前
記マスフローコントローラが接続されている一方、各入
口開閉弁の上流側は、隣接する他のガス供給部に備えら
れる各入口開閉弁の上流側にそれぞれ接続されているこ
と、を特徴とする。

【０００８】このような特徴を有する本発明のガス供給
集積弁では、ガス供給部は、複数種のガス源に連通する
入力流路と、各入力流路にそれぞれ接続された入口開閉
弁、マスフローコントローラ、出口開閉弁、第１パージ
弁とが接続されて構成される。このうち、各入口開閉弁
及び第１パージ弁を接続した共通入力流路と出口開閉弁
との間にマスフローコントローラが接続されているの
で、入口開閉弁によってガス源から共通入力流路へ入力
されたガスは、マスフローコントローラによって流量を
制御され、出口開閉弁を介して出力流路へと導かれる。
従って、所要のガスを所要の流量だけ出力流路へ供給で
きる。さらに、このガス供給部が複数備えられることか
ら、それぞれのガス供給部が異種のガスを同時に供給す
ることで、所要のガスを所要の流量ずつ混合して出力流
路へ供給することができる。

【０００９】また、マスフローコントローラの上流側に
は第１パージ弁が接続されているので、マスフローコン
トローラにパージガスを導入してパージすることができ
る。これによって、供給するガスの種類を変更する前に
前回のガスをパージすれば、同じガス供給部を使用し
て、同じマスフローコントローラに異種のガスを交代に
入力することができる。このことから、備えられるガス
供給部の数は、ガス源の数に拘わらず、同時に使用され
る数である混合するガス種数だけあれば良く、各ガス供
給部に１台のマスフローコントローラがあればよい。従
って、従来のガス供給集積弁では、ガス源の数だけマス
フローコントローラが必要であったのに対し、本発明の
ガス供給集積弁では、それよりずっと少ない混合される
ガス種数だけあればよい。

【００１０】すなわち、従来のガス供給集積弁に比較し
て、高価で床占有面積の大きいマスフローコントローラ
の数を減少することができるので、ガス供給集積弁のコ
スト低下をはかることができる。また、従来のガス供給
集積弁に比較して入口開閉弁の数は（ガス種数×混合種
数）まで増えるものの、大きなマスフローコントローラ
の数が減少し、他の開閉弁の数も減るので、全体として
ガス供給集積弁の床占有面積を減少させることもでき
る。

【００１１】さらに、各入口開閉弁が隣接する他のガス
供給部の入口開閉弁と、それらの上流側で接続されてい
るので、ガス源に連通する入力流路に接続された入口開
閉弁から他のガス供給部へも連通される。これにより、
ガス源と接続されるポートの数はガス源の数でよく、１
つのポートからそれぞれ隣接する他のガス供給部へもガ
スが入力される。従って、余計なガス管が必要となった
り、ポート等の突出部の数が増えることがない。

【００１２】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載のガス供給集積弁であって、各ガス供給部は、前記
第１パージ弁が、各入口開閉弁の上流側に配置されてお
り、各入口開閉弁が閉状態でも前記共通入力流路は連通
していることを特徴とする。

【００１３】また、本発明のガス供給集積弁において、
第１パージ弁が、各入口開閉弁の上流側に配置されて、
各入口開閉弁が閉状態でも共通入力流路は連通していれ
ば、第１パージ弁の開放によって入力されたパージガス
は、その共通入力流路に接続された全ての入口開閉弁及
びマスフローコントローラを経由して出力流路へと供給
される。従って、ガスの滞留が発生せず、マスフローコ
ントローラをパージすると同時に共通入力流路や各入口
開閉弁近傍をパージすることができるので、パージ効率
がよい。

【００１４】また、請求項３に係る発明は、請求項１又
は請求項２に記載のガス供給集積弁であって、前記出力
流路へパージガスを直接供給するための第２パージ弁を
設けたことを特徴とする。

【００１５】また、本発明のガス供給集積弁において、
第２パージ弁を設ければ、各入口開閉弁やマスフローコ
ントローラが接続された共通入力流路を経ることなく、
直接出力流路へパージガスを供給することができる。従
って、本発明のガス供給集積弁が接続されたプロセス機
器を、すばやくパージすることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして詳細に説明する。図１は、本実施の形態の
ガス供給集積弁の平面図であり、図２は、その側面図で
あり、図３は、その構成を示す回路図である。ガス供給
集積弁１は、供給ガスとしてガスＡ〜ガスＨの８種類を
入力し、最大３種まで混合して出力することを可能にし
たものである。

【００１７】このガス供給集積弁１は、図３に示すよう
に、図示しない各ガス源（ガスＡ〜ガスＨ）からの入力
ポート１１Ａ〜１１Ｈに連通された入力流路５５Ａ〜５
５Ｈには、それぞれ３個の入口開閉弁１２Ａ，１３Ａ，
１４Ａ等が接続されている。さらに、図示しないパージ
ガス源に接続されるパージガス入力ポート２１には、３
個の第１パージ弁２２，２３，２４が接続されている。
また、各入力ポート１１Ａ〜１１Ｈに接続された各１つ
の入口開閉弁と１つの第１パージ弁（例えば、入口開閉
弁１２Ａ〜１２Ｈと第１パージ弁２２）が互いに接続さ
れて、それらを連通する３つの共通入力流路２０，３
０，４０が設けられている。

【００１８】また、各共通入力流路２０，３０，４０に
は、入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈの下流側に、レギュレー
タ４２〜４４、圧力センサ５２〜５４、マスフローコン
トローラ３２〜３４がそれぞれ１つずつ直列に接続され
ている。そして、マスフローコントローラ３２〜３４の
下流側は、出口開閉弁６２〜６４及び出力流路６５を経
て出力ポート６１へと連通されている。出力ポート６１
は、図示しないプロセス機器等に接続されて、このガス
供給集積弁１から供給される出力ガスの流路を構成す
る。

【００１９】この図３中の横１列分の部品の組（例え
ば、第１パージ弁２２、入口開閉弁１２Ａ〜１２Ｈ、レ
ギュレータ４２、圧力センサ５２、マスフローコントロ
ーラ３２、出口開閉弁６２の組）は互いに連通され、１
つのガス供給部１７が構成されている。同様に、第１パ
ージ弁２３を含む同じ構成の部品の列でガス供給部１８
が、第１パージ弁２４を含む列でガス供給部１９が構成
されている。さらに、これらのガス供給部１７〜１９を
経由しないでパージガス入力ポート２１に連通する第２
パージ流路２６が形成され、第２パージ流路２６と出力
流路６５との間に第２パージ弁２５が設けられている。

【００２０】次に、図３の回路図を具体化したガス供給
集積弁１は、図１，２に示すように、長方形のプレート
１０上に入口開閉弁１２Ａ，…、マスフローコントロー
ラ３２〜３４等の各部品が整列して配置されている。プ
レート１０の長手方向最前列には、図２中右から順に第
１パージ弁２２、入口開閉弁１２Ｈ〜１２Ａ、レギュレ
ータ４２、圧力センサ５２、マスフローコントローラ３
２、出口開閉弁６２が直線上に配置されて、ガス供給部
１７を形成している。そしてこの１列と同じ構成のガス
供給部１８，１９がガス供給部１７に平行に設けられ、
ガス供給集積弁１の主要部をなしている。

【００２１】ここで、各入口開閉弁１２Ａ，…等の開閉
弁と、レギュレータ４２〜４４及び圧力計５２〜５４と
は、ともにその平面形がほぼ同じである略円柱状なの
で、スペースの無駄なく同列に並べることができる。一
方、マスフローコントローラ３２〜３４は略角柱状であ
り、その平面形の短径が各開閉弁等の底面の径とほぼ等
しいので、底面の長手方向がプレート１０の長手方向と
なるように配置すれば、すべての部品を無駄なく整列さ
せることができる。

【００２２】さらに、図１に示すように、出口開閉弁６
４に隣接して第２パージ弁２５が設けられ、内部に第２
パージ流路２６が形成された連通管２７によって第１パ
ージ弁２４と接続されている。また、第１パージ弁２
２、入口開閉弁１２Ａ〜１２Ｈ、出口開閉弁６２から
は、それぞれ、パージガス入力ポート２１、各入力ポー
ト１１Ａ〜１１Ｈ、出力ポート６１がガス供給集積弁１
のいずれも正面側に突出し、図示しないガス源やプロセ
ス機器等の他の装置と接続できるようにされている。

【００２３】各部品は、図２，４に示すように、内部に
流路が形成されたブロック１５上にネジ止めされてプレ
ート１０に固定され、一体化されている。各ブロック１
５は、図４，５の部分断面図に示すように、内部に屈折
した流路が形成され、上面に２つの接続口が設けられて
いる。また、図５に示したように、入口開閉弁１２Ａ，
…は、１つの入力口と２つの出力口を有する開閉弁であ
り、閉弁時にも２つの出力口同士は連通している。開弁
時には、１つの入力口と２つの出力口がすべて連通状態
となる。これに対し、第１パージ弁２２〜２４と出口開
閉弁６２〜６４は、それぞれ入力口と出力口を１つずつ
備え、流路を開閉することができる一般的な開閉弁であ
る。

【００２４】各ブロック１５の２つの接続口は、プレー
ト１０の長手方向に隣接する入口開閉弁１２Ａ，…のそ
れぞれ１つの出力口に接続され、２つの入口開閉弁１２
Ａ，…の出力口同士を互いに連通するように、各ブロッ
ク１５内に流路が形成されている。従って、図４に示す
ように、入口開閉弁１２Ａ〜１２Ｈの開閉に拘わらず、
第１パージ弁２２の出力口は、入口開閉弁１２Ａ〜１２
Ｈのそれぞれ２つの出力口とそれらの間のブロック１５
内の流路を経由して、レギュレータ４２へと常に連通さ
れており、これによって図３に示した共通入力流路２０
が構成されている。同様に、共通入力流路３０，４０
も、入口開閉弁１３Ａ〜１３Ｈあるいは入口開閉弁１４
Ａ〜１４Ｈによって常時連通状態に構成されている。

【００２５】さらに、各ブロック１５の間には小ブロッ
ク１６が配置されている。小ブロック１６は、内部に逆
Ｔ字型の連通路が設けられ、図１の上下方向に隣接して
配置された入口開閉弁（例えば、入口開閉弁１２Ａと１
３Ａとの間）を連通するための流路を形成する。Ｔ字の
足部分に各入口開閉弁１２Ａ，…等の入力口が接続さ
れ、Ｔ字の横棒部分で他の小ブロック１６と接続されて
連通路を形成する。同様に、第１パージ弁２２〜２４の
間や、出口開閉弁６２〜６４の間にも小ブロック１６が
設けられ、第１パージ弁２２〜２４の入力口同士を連通
してパージガス入力ポート２１へ接続し、出口開閉弁６
２〜６４の出力口同士を連通して出力ポート６１へ接続
している。さらに、第２パージ弁２５と出口開閉弁６４
との間にも、小ブロック１６が配置されている。

【００２６】ここで、図４に示したのは、第１パージ弁
２２及び入口開閉弁１２Ａ〜１２Ｈが閉弁されている状
態であり、すべての開閉弁の入力口は閉止されてどのガ
スも入力されていないが、共通入力流路２０は連通して
いる。よって、レギュレータ４２、圧力センサ５２、マ
スフローコントローラ３２の内部を介して、第１パージ
弁２２の出力口から出口開閉弁６２の入力口までが連通
状態となっており、第１パージ弁２２と出口開閉弁６２
を開放すれば、第１パージ弁２２から図示しないプロセ
ス機器までパージガスを導入できる。

【００２７】従って、本実施の形態のガス供給集積弁１
においては、所要のガス源に接続された入力ポート１１
Ａ〜１１Ｈに対応する入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈの１つ
を開放することで、入力ポート１１Ａ〜１１Ｈから入力
されたガスを共通入力流路２０，３０，４０の１つへ流
通させることができる。そして、マスフローコントロー
ラ３２〜３４で流量が制御され、出口開閉弁６２〜６４
へと流されるので、出口開閉弁６２〜６４を開放すれば
所要のガスを所要の流量だけ出力ポート６１へ出力する
ことができる。さらに、同時に別の入力ポート１１Ａ〜
１１Ｈに対応する入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈのうち、先
と異なる共通入力流路２０，３０，４０に連通するもの
を開放し、同様に別のガスを所要の流量だけ出力すれ
ば、２種あるいは３種の混合ガスが出力ポート６１へ出
力される。

【００２８】また、別の工程で異種のガスを同じ共通入
力流路２０，３０，４０に入力する前には、その共通入
力流路２０，３０，４０をパージする。そのために、そ
の共通入力流路２０，３０，４０に接続されたすべての
入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈを閉止し、第１パージ弁２２
〜２４と出口開閉弁６２〜６４を開放する。これによっ
て、パージガスが第１パージ弁２２〜２４から入力さ
れ、同一の共通入力流路２０，３０，４０を構成するす
べての入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈの両出力口を経て、レ
ギュレータ４２〜４４、圧力センサ５２〜５４、マスフ
ローコントローラ３２〜３４を通って出口開閉弁６２〜
６４から出力ポート６１へと流通される。

【００２９】あるいは、各共通入力流路２０，３０，４
０をパージするのでなく、出力ポート６１に接続された
図示しないプロセス機器を直接パージする場合には、第
２パージ弁２５を開放する。これによって、パージガス
入力ポート２１から入力されたパージガスは、連通管２
７の内部の第２パージ流路２６と第２パージ弁２５を介
して、出力ポート６１へ出力され、図示しないプロセス
機器を素早くパージすることができる。

【００３０】ここで、従来のガス供給集積弁１００と本
実施の形態のガス供給集積弁１との床占有面積を比較す
る。従来のガス供給集積弁１００では、８つのガス源に
ガス供給弁１１１が８台必要であったのに対し、本実施
の形態のガス供給集積弁１では、１つの出口開閉弁６２
〜６４に対応するガス供給部１７〜１９が３台必要とな
る。図９に示した従来のガス供給集積弁１００と図３に
示した本実施の形態のガス供給集積弁１との比較では、
マスフローコントローラが８台から３台へと減少し、一
方、入口開閉弁が９台から２４台へ、出口開閉弁が８台
から３台へ、第１パージ弁が８台から３台へ等と個数が
変化している。また、レギュレータや圧力センサも減少
する。

【００３１】そこで、マスフローコントローラの床占有
面積が一般的な開閉弁の約３倍であるとし、１個の開閉
弁の床占有面積を基準として、ガス供給集積弁１，１０
０に使用されている部品の床占有面積の合計を比較する
と、ガス供給集積弁１では約４６個分、ガス供給集積弁
１００では約６８個分となる。従って、およそ３分の２
程度まで床占有面積が小さくなっている。また、高価な
マスフローコントローラの使用数が８個から３個へと減
るので、ガス供給集積弁１は、従来のガス供給集積弁１
００に比較して低コスト化されている。

【００３２】以上説明したようにこの実施の形態のガス
供給集積弁１によれば、ガス供給部１７〜１９は、複数
種のガス源に連通する入力流路５５Ａ〜５５Ｈと、各入
力流路にそれぞれ接続された入口開閉弁１２Ａ〜１４
Ｈ、マスフローコントローラ３２〜３４、出口開閉弁６
２〜６４、第１パージ弁２２〜２４とが接続されて構成
される。このうち、各入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ及び第
１パージ弁２２〜２４を接続した共通入力流路２０，３
０，４０と出口開閉弁６２〜６４との間にマスフローコ
ントローラ３２〜３４が接続されているので、入口開閉
弁１２Ａ〜１４Ｈによってガス源から共通入力流路２
０，３０，４０へ入力されたガスは、マスフローコント
ローラ３２〜３４によって流量を制御され、出口開閉弁
６２〜６４を介して出力流路６５から出力ポート６１へ
と導かれる。従って、所要のガスを所要の流量だけ出力
ポート６１へ供給できる。さらに、このガス供給部１７
〜１９が複数備えられることから、それぞれのガス供給
部１７〜１９が異種のガスを同時に供給することで、所
要のガスを所要の流量ずつ混合して出力ポート６１へ供
給することができる。

【００３３】また、マスフローコントローラ３２〜３４
の上流側には第１パージ弁２２〜２４が接続されている
ので、マスフローコントローラ３２〜３４にパージガス
を導入してパージすることができる。これによって、供
給するガスの種類を変更する前に前回のガスをパージす
れば、同じガス供給部１７〜１９を使用して、同じマス
フローコントローラ３２〜３４に異種のガスを交代に入
力することができる。このことから、備えられるガス供
給部１７〜１９の数は、ガス源の数に拘わらず、同時に
使用される数である混合するガス種数だけあれば良く、
各ガス供給部１７〜１９に１台のマスフローコントロー
ラ３２〜３４があればよい。従って、従来のガス供給集
積弁１００では、ガス源の数だけマスフローコントロー
ラ１０５が必要であったのに対し、本実施の形態のガス
供給集積弁１では、それよりずっと少ない混合されるガ
ス種数だけあればよい。

【００３４】すなわち、本実施の形態のガス供給集積弁
１では、従来のガス供給集積弁１００に比較して、高価
で床占有面積の大きいマスフローコントローラ３２〜３
４の数を減少することができるので、ガス供給集積弁１
のコスト低下をはかることができる。また、従来のガス
供給集積弁１００に比較して入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ
の数は（ガス種数×混合種数）まで増えるものの、大き
なマスフローコントローラ３２〜３４の数が減少し、他
の開閉弁の数も減るので、全体としてガス供給集積弁１
の床占有面積が減少する。

【００３５】さらに、各入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈが他
のガス供給部１７〜１９の入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ
と、それらの上流側で接続されているので、ガス源に連
通する入力流路５５Ａ〜５５Ｈに接続された入口開閉弁
１２Ａ〜１４Ｈから他のガス供給部１７〜１９へも連通
される。これにより、ガス源と接続される入力ポート１
１Ａ〜１１Ｈの数はガス源の数でよく、１つの入力ポー
ト１１Ａ〜１１Ｈからそれぞれ隣接する他のガス供給部
１７へもガスが入力される。従って、余計なガス管が必
要となったり、ポート等の突出部の数が増えることがな
い。

【００３６】また、本実施の形態のガス供給集積弁１で
は、第１パージ弁２２〜２４が、各入口開閉弁１２Ａ〜
１４Ｈの上流側に配置されて、各入口開閉弁１２Ａ〜１
４Ｈが閉状態でも共通入力流路２０，３０，４０は連通
しているので、第１パージ弁２２〜２４の開放によって
入力されたパージガスは、その共通入力流路２０，３
０，４０に接続された全ての入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ
及びマスフローコントローラ３２〜３４を経由して出力
流路６５から出力ポート６１へと供給される。従って、
ガスの滞留が発生せず、マスフローコントローラ３２〜
３４をパージすると同時に共通入力流路２０，３０，４
０や各入口開閉弁１２Ａ〜１４Ｈ近傍をパージすること
ができるので、パージ効率がよい。

【００３７】また、本実施の形態のガス供給集積弁１で
は、第２パージ弁２５を設けたので、各入口開閉弁１２
Ａ〜１４Ｈやマスフローコントローラ３２〜３４が接続
された共通入力流路２０，３０，４０を経ることなく、
直接出力流路６５から出力ポート６１へパージガスを供
給することができる。従って、本実施の形態のガス供給
集積弁１が接続された図示しないプロセス機器を、すば
やくパージすることができる。

【００３８】さらに、本実施の形態のガス供給集積弁１
では、パージガス入力ポート２１、入力ポート１１Ａ〜
１１Ｈ、出力ポート６１の各ガスポートが全て同一方向
に突出しているので、設置場所の制約が少ない。

【００３９】尚、この発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で以下の
ように変更して実施することもできる。（１）前記実施の形態では、８種のガス源に対応して８
つの入力ポート１１Ａ〜１１Ｈを有し、また、共通入力
流路２０，３０，４０が３つ設けられたガス供給集積弁
１としたが、各製造工程で使用されるガスの種類や、混
合されるガス種の数に応じてこれらの数は変更できる。（２）また、前記実施の形態では、マスフローコントロ
ーラ３２〜３４として同種のものを使用したが、３台の
マスフローコントローラ３２〜３４のうちに制御範囲の
異なるものを使用すれば、その組み合わせによって、ガ
スの流量をワイドレンジで制御することができる。従っ
て、ガスの流量制御の精度を向上できる。（３）また、前記実施の形態では、マスフローコントロ
ーラ３２〜３４として、レギュレータ４２〜４４と圧力
センサ５２〜５４の必要な一般的なものを使用したが、
図８に示すように、マスフローコントローラ３２〜３４
を超音速流量コントローラ７２〜７４に交換すれば、レ
ギュレータ４２〜４４と圧力センサ５２〜５４が不要と
なり、図６，７に示すように、さらに小型化することが
できる。

【００４０】

【発明の効果】請求項１に係る発明のガス供給集積弁
は、使用される高価で床占有面積の大きいマスフローコ
ントローラの数を減らすことができるので、コストを低
下させることができるとともに、床占有面積を減少させ
ることもできる。

【００４１】請求項２に係るガス供給集積弁では、ガス
の滞留が発生せず、マスフローコントローラをパージす
ると同時に共通入力流路や各入口開閉弁近傍をパージす
ることができるので、パージ効率がよい。

【００４２】請求項３に係るガス供給集積弁では、接続
されたプロセス機器をすばやくパージすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガス供給集積弁を示す平面図である。

【図２】本発明のガス供給集積弁を示す側面図である。

【図３】本発明のガス供給集積弁を示す回路図である。

【図４】本発明のガス供給集積弁を示す部分断面図であ
る。

【図５】図４の部分拡大図である。

【図６】超音速流量コントローラを使用したガス供給集
積弁を示す平面図である。

【図７】超音速流量コントローラを使用したガス供給集
積弁を示す側面図である。

【図８】超音速流量コントローラを使用したガス供給集
積弁を示す回路図である。

【図９】従来のガス供給集積弁を示す回路図である。

【符号の説明】

１ガス供給集積弁１１Ａ〜１１Ｈ入力ポート１２Ａ〜１４Ｈ入口開閉弁１７〜１９ガス供給部２０共通入力流路２２〜２４第１パージ弁２５第２パージ弁３０共通入力流路３２〜３４マスフローコントローラ４０共通入力流路５５Ａ〜５５Ｈ入力流路６１出力ポート６２〜６４出口開閉弁６５出力流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3H051 BB03 CC01 CC14 CC15 FF01 FF15 3J071 AA02 BB11 CC12 DD26 DD36 EE02 EE24 FF11 5F045 BB08 EE04 5H307 AA20 BB01 CC11 DD11 DD12 EE02 ES02 ES06 FF06 FF08 GG08 GG15 HH04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のガス源にそれぞれ連通する複数の
入力流路と、各入力流路にそれぞれ接続された複数の入口開閉弁と、各入口開閉弁の下流側に接続されたマスフローコントロ
ーラと、前記マスフローコントローラと出力流路とを接続した出
口開閉弁と、前記マスフローコントローラの上流側に接続された第１
パージ弁と、を備えるとともに、前記入力流路と、各入口開閉弁、前記マスフローコント
ローラ、前記出口開閉弁、前記第１パージ弁が接続され
たガス供給部を複数備え、各ガス供給部は、各入口開閉弁及び前記第１パージ弁を接続した共通入力
流路と前記出口開閉弁との間に前記マスフローコントロ
ーラが接続されている一方、各入口開閉弁の上流側は、
隣接する他のガス供給部に備えられる各入口開閉弁の上
流側にそれぞれ接続されていること、を特徴とするガス供給集積弁。
【請求項２】請求項１に記載のガス供給集積弁であっ
て、各ガス供給部は、前記第１パージ弁が、各入口開閉弁の上流側に配置され
ており、各入口開閉弁が閉状態でも前記共通入力流路は
連通していることを特徴とするガス供給集積弁。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載のガス供給
集積弁であって、前記出力流路へパージガスを直接供給するための第２パ
ージ弁を設けたことを特徴とするガス供給集積弁。