CN100408900C - 气体供给集成单元和气体单元的增设方法 - Google Patents

气体供给集成单元和气体单元的增设方法 Download PDF

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Abstract

为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法，在将气体单元(1、2、A～E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上，设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29)，在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上，可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47)，在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42)，通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中，通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。

Description

气体供给集成单元和气体单元的增设方法
技术领域
本发明涉及为了在半导体工序中供给过程气体而使过程气体分流供给的气体供给集成单元以及气体单元的增设方法。
背景技术
在半导体制造工厂中，过程气体收容在罐中并配置于净室外。为了从罐向净室内的多个部位供给相同的过程气体，使用分流供给过程气体的气体供给装置。在这种气体供给装置中，在出现新的需要过程气体的部位时，需要进行增设1线路的作业。
图13表示进行3线路供给的过程气体供给装置的回路图，图14以俯视图表示将回路具体化的设备的设置状态。过程气体气动阀107通过过程气体供给口108与未图示的过程气体罐相连接。过程气体气动阀107通过过程气体共同流路105与第二手动阀103A、103B、103C相连接。
第二手动阀103A、103B、103C与第一手动阀101A、101B、101C相连接。第一手动阀101A、101B、101C的出口与过程气体出口100A、100B、100C连通。在第二手动阀103A、103B、103C和第一手动阀101A、101B、101C之间的流路上连通有压力计102A、102B、102C。
并且，吹扫气体手动阀110通过吹扫气体供给口111与未图示的吹扫气体罐相连接。吹扫气体手动阀110通过止回阀109、吹扫气体共同流路106与第三手动阀104A、104B、104C相连接。第三手动阀104A、104B、104C与第一手动阀101A、101B、101C相连接。
通过止动塞密封过程气体共同流路105的端部105a。通过止动塞密封吹扫气体共同流路106的端部106a。
接着，说明在图13的3线路的回路上增设1线路的情况。在图13中，在右侧记载第四线路D。在图15表示增设后的回路图，在图16中以俯视图表示将该回路具体化的设备的设置状态。
说明增设第四线路的施工顺序。在该施工过程中，不能供给过程气体，并且还需要停止半导体制造工序。
首先，使过程气体操作阀107处于关闭状态，使第三手动阀104A、104B、104C处于打开状态，使第一手动阀101A、101B、101C处于打开状态。在该状态下，使吹扫气体手动阀110打开。由此，从过程气体气动阀107，残留于第一手动阀101A、101B、101C内的过程气体与作为氮气的吹扫气体置换。经过充足的时间进行气体置换后，关闭吹扫气体手动阀110。
接着，拆除用于密封吹扫气体共同流路106的端部106a的止动塞，并通过配管112与第四线路的吹扫气体共同流路的入口端部106b相连接。并且，拆除用于密封过程气体共同流路105的端部105a的止动塞，并通过配管113与第四线路的过程气体共同流路的入口端部105b相连接。
由于第四线路的设备的结构与第一至第三线路的结构相同，因而省略说明。通过止动塞密封第四线路的吹扫气体共同流路106的新的端部106c。并且，通过止动塞密封过程气体共同流路105的新的端部105c。
接着，将过程气体出口100D与未图示的需要部位相连接。
由此结束第四线路的增设。
但是，现有的气体供给集成单元存在以下问题：
(1)在进行新的气体线路的增设施工的情况下，由于必须要停止原有的气体线路，因而只能在半导体制造工序停止时进行增设施工。
并且，即使在增设施工结束后，由于过程气体共同流路105和吹扫气体共同流路106的图15中作为大气暴露部而用斜线表示的部分暴露在大气中，因而存在大气中的水分附着在流路的内壁的问题。即，在过程气体中混入水分时，存在过程气体的功能不完全的情况，增设第四线路后，需要使吹扫气体从吹扫气体共同流路106长时间地流动，除去暴露在空气中的流路的水分。实际上，进行数小时至数十小时的吹扫。
(2)如图16所示，因需要另外的配管112、113，因而气体供给集成单元沿横方向变大，违背集成化要求的小型化。并且，虽然第四线路通过螺栓安装在底板120上，但是需要通过配管112、113调整其位置对准，存在配管施工浪费时间的问题。
为了解决该问题，本申请人在特开2003-382139号公报中提出了如下的技术：在将多个气体单元安装在轨道上的气体供给集成单元中，设置与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀，并且在气体供给集成单元上所增设的气体单元上，设置与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、以及与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另吹扫气体共同流路端部手动阀，所述吹扫气体共同流路端部手动阀与吹扫气体共同流路的端部连通，能够不停止半导体制造工序而在短时间内增设气体单元。
上述气体供给集成单元，在组装到气体供给装置时有时会安装在壁面上。在上述申请中，公开了使增设的气体单元沿着轨道滑动至规定位置，并利用螺栓进行固定的情况，但根本没有考虑此时的气体单元的操作性。气体供给集成单元，由于与设在净室外部的罐相连接，并向净室内的多个部位供给过程气体，因而很多情况下安装在半导体制造工厂的壁面上。向各部位供给过程气体的气体单元，例如使用螺栓安装在轨道上。因此，在增设线路的情况下，使气体单元的位置对准于规定位置后，必须要用一只手压住气体单元以防止错位，用另一只手紧固螺栓，从而难以处理气体单元。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元的增设方法。
本发明的气体供给集成单元和气体单元的增设方法具有如下的结构：
(1)一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，所述气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，(a)包括与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)在以直角方向与气体单元的气流交叉而设置、并安装有气体单元的多个轨道上形成导向槽，至少形成有2个螺栓孔的安装部件可滑动地安装在导向槽上；(c)增设的气体单元，包括与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀，通过将贯通该增设的气体单元的螺栓紧固到螺栓孔中而安装到安装部件上。
(2)在(1)所述的发明中，其特征在于，安装部件具有与气体单元的间隔宽度相同的宽度。
(3)一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，所述气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，(a)包括与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)增设的气体单元包括与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫过程气体共同流路端部手动阀；(c)用于将增设的气体单元与已设的气体单元相连接的高度调整装置，可从增设的气体单元的端部装卸。
(4)在(3)所述的发明中，其特征在于，高度调整装置，在前端部上设有倾斜部。
(5)一种气体单元的增设方法，在包括多个已设的气体单元的气体供给集成单元上增设气体单元，所述已设的气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，(a)气体供给集成单元包括与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)在以直角方向与已设的气体单元的气流交叉而设置的多个轨道上安装有已设的气体单元，增设的气体单元包括与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀；(c)在轨道上形成有导向槽，至少在设置于已设的气体单元的两端部上的轨道的导向槽上分别可滑动地安装安装部件，在各安装部件上安装定位夹具后，通过定位夹具将增设的气体单元相对各安装部件定位保持，然后，使增设的气体单元与安装部件一体地移动至规定位置后，结合气体供给集成单元和增设的气体单元，并且将增设的气体单元安装在安装部件上，拆下定位夹具。
(6)在(5)所述的发明中，其特征在于，安装部件至少形成有2个螺栓孔，增设的气体单元，在两端部至少形成有2个贯通螺栓的通孔，通过将贯通通孔的螺栓紧固在螺栓孔中而安装在安装部件上，将定位夹具安装到安装部件的1个螺栓孔中后，通过使定位夹具插入增设的气体单元的通孔而对增设的气体单元进行定位保持，然后，在增设的气体单元的未插入定位夹具的通孔中贯通螺栓并紧固到安装部件的螺栓孔中后，从安装部件的螺栓孔拆下定位夹具，然后，在插入定位夹具的通孔中贯通螺栓并紧固到安装部件的螺栓孔中。
发明效果
接着，说明具有上述结构的发明的作用效果。
气体供给集成单元的气体单元，安装在与气体单元的气流直角交叉而设置多个的轨道上。气体供给集成单元，例如安装在壁面上而使气体单元的气流变得垂直，并组装入气体供给装置。
气体供给集成单元中，通常，与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀以及与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀处于关闭状态。气体供给集成单元，在增设新的线路的情况下，也至少在吹扫结束之前关闭过程气体共同流路端部手动阀和吹扫气体共同流路端部手动阀。
在轨道上形成有导向槽，在增设线路的情况下，例如在设置于气体单元的两端部上的轨道的导向槽中分别可滑动地安装安装部件。在各安装部件上形成有多个(在此，以2个进行说明)螺栓孔。在各安装部件一侧的螺栓孔上安装定位夹具，在增设的气体单元的螺栓所贯通的通孔中贯通定位夹具。由此，增设的气体单元，通过定位夹具相对于安装部件进行定位，并通过定位夹具和安装部件保持在轨道上。因此，可以将双手离开增设的气体单元而进行增设作业。
然后，使增设的气体单元与安装部件一体沿着轨道移动，使增设的气体单元的过程气体共同流路的入口端部移动至与已设的过程气体共同流路的出口端部相连接的位置，使增设的气体单元的吹扫气体共同流路的入口端部移动至与已设的吹扫气体共同流路的出口端部相连接的位置。此时，例如在安装部件具有与气体单元的间隔宽度相同的宽度的情况下，使增设的气体单元移动直到增设的气体单元的安装部件与已设的气体单元的安装部件抵接，就能够容易地将间隔宽度设定为规定值。
在此，例如通过高度调整装置对已设的气体单元进行高度调整的情况下，如果不利用高度调整装置对增设的气体单元进行高度调整，增设的单元和已设的气体单元的高度就会不同。在这种情况下，增设的气体单元不会干涉已设的气体单元，能够移动至过程气体共同流路端部手动阀的出口，并能够移动至吹扫气体共同流路端部手动阀的出口。
使增设的气体单元移动至规定位置后，利用螺栓等暂时固定，将增设的气体单元结合于已设的气体单元上。并且，在增设的气体单元的空着的通孔中贯通螺栓，并暂时固定在安装部件的螺栓孔中。然后，从轨道拆下定位夹具并从增设的气体单元的通孔抽出，进而在空着的通孔中贯通螺栓而暂时固定在安装部件的螺栓孔中。
在气体供给集单元上结合增设的气体单元时，由于增设的气体单元随着已设的气体单元上升，因而在增设的气体单元的下表面和轨道的上表面之间形成间隙。因此，从增设的气体单元的端部插入高度调整部件。此时，在高度调整部件的前端部如果预先设置倾斜部，则能够将高度调整部件容易地插入到增设的气体单元和轨道之间。增设的气体单元通过高度调整部件从轨道抬起规定量，与已设的气体单元的高度一致。由此，增设的气体单元的过程气体共同流路的入口端部与过程气体供给端部手动阀的出口相连接，吹扫气体共同流路的入口端部与吹扫气体供给端部手动阀的出口相连接，因而加紧暂时固定的螺栓。
如上所述，增设施工结束时，使增设的气体单元的过程气体共同流路端部手动阀和吹扫气体共同流路端部手动阀处于关闭状态，使第二手动阀处于打开状态，使第一手动阀和第三控制阀处于打开状态，使与增设的气体单元邻接的已设的气体单元的吹扫气体共同流路端部手动阀打开。
由此，向增设的气体单元内流入吹扫气体而除去气体单元内的水分。充分除去水分，并作好半导体制造装置侧的准备后，通过关闭增设的气体单元的第三控制阀，并打开第二手动阀，能够向增设的气体单元供给过程气体。
因此，根据本发明的气体供给集成单元，由于，(a)包括与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)在以直角方向与气体单元的气流交叉而设置多个且安装有气体单元的轨道上形成导向槽，至少形成有2个螺栓孔的安装部件可滑动地安装在导向槽上；(c)增设的气体单元具有与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀，通过将贯通该增设的气体单元的螺栓紧固在螺栓孔中而安装在安装部件上，因而减少使安装部件的螺栓孔相对增设的气体单元对准位置的工时，线路增设时的气体单元的操作性良好。
在这种情况下，如果安装部件具有与气体单元的间隔宽度相同的宽度，就能够容易地设定增设的气体单元和已设的气体单元之间的间隔宽度。
并且，根据本发明的气体供给集成单元，由于，(a)具有与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)增设的气体单元具有与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀；(c)用于将增设的气体单元连接到已设的气体单元上的高度调整装置，可从增设的气体单元的端部装卸，因而能够容易地进行增设的气体单元的高度调整，因而线路增设时的气体单元的操作性良好。
在这种情况下，如果在高度调整装置的前端部设置倾斜部，就能够简单地装卸高度调整装置。
并且，根据本发明的气体单元的增设方法，由于，(a)气体供给集成单元包括与过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；(b)在以直角方向与气体单元的气流交叉而设置多个的轨道上安装有气体单元，增设的气体单元包括与过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀；(c)在轨道上形成有导向槽，至少在设置于气体单元的两端部上的轨道的导向槽上分别可滑动地安装安装部件，在各安装部件上安装定位夹具后，通过定位夹具将增设的气体单元相对各安装部件定位保持，然后，使增设的气体单元与安装部件一体地移动至规定位置后，结合气体供给集成单元和增设的气体单元，并且将增设的气体单元安装在安装部件上，并拆下定位夹具，因而能够利用双手进行增设作业，线路增设时的气体单元的操作性良好。
并且，在这种情况下，由于安装部件至少形成有2个螺栓孔，增设的气体单元在两端部至少形成有2个贯通螺栓的通孔，通过将贯通通孔的螺栓紧固在螺栓孔中而安装在安装部件上，其中，将定位夹具安装到安装部件的1个螺栓孔中后，通过使定位夹具插入增设的气体单元的通孔而对增设的气体单元进行定位保持，然后，在增设的气体单元的未插入定位夹具的通孔中贯通螺栓并紧固到安装部件的螺栓孔后，从安装部件的螺栓孔拆下定位夹具，然后，在插入定位夹具的通孔中贯通螺栓并紧固到安装部件的螺栓孔，则通过定位夹具对安装部件的螺栓孔和增设的气体单元的通孔进行位置对准，可使用双手将螺栓紧固在安装部件的螺栓孔中，能够简单地在短时间内进行线路增设作业。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式中气体供给集成单元的结构的回路图。
图2是表示本发明的实施方式中气体供给集成单元的结构的俯视图。
图3是表示本发明的实施方式中气体供给集成单元的局部放大俯视图。
图4是表示本发明的实施方式中气体供给集成单元的侧视图。
图5是本发明的实施方式中气体供给集成单元的俯视图，表示安装安装部件的顺序。
图6是用于说明本发明的实施方式中安装部件的安装结构的图。
图7是本发明实施方式中气体供给集成单元的俯视图，表示对增设的气体单元进行定位保持的顺序以及移动增设的气体单元的顺序。
图8是本发明实施方式中气体供给集成单元的侧视图，表示对增设的气体单元进行定位保持的顺序以及移动增设的气体单元的顺序。
图9是本发明实施方式中气体供给集成单元的侧视图，表示暂时固定顺序。
图10是本发明实施方式中气体供给集成单元的侧视图，表示高度调整顺序。
图11是本发明实施方式中气体供给集成单元的俯视图，表示高度调整顺序。
图12是本发明实施方式中气体供给集成单元的俯视图，是表示螺栓加紧顺序的图。
图13是表示现有的气体供给集成单元的结构的回路图。
图14是表示将图13具体化的结构的俯视图。
图15是表示以往的增设后气体供给集成单元的回路图。
图16是表示将图15具体化的结构的俯视图。
标号说明
1 过程气体用气体单元
2 吹扫气体用气体单元
A、B、C、D、E气体单元
F 增设的气体单元
16 过程气体共同流路
16a 端部
17A、17B、17C、17D、17E第二手动阀
18A、18B、18C、18D、18E第一手动阀
26 吹扫气体共同流路
26a 端部
27A、27B、27C、27D、27E第三气动阀
28 过程气体共同流路端部手动阀
29 吹扫气体共同流路端部手动阀
41 过程气体共同流路端部手动阀
42 吹扫气体共同流路端部手动阀
47F T型螺母
471 螺栓孔
37F 第六单元固定板
371 通孔
52F 衬垫
522 倾斜部
55 安装器(installer)
具体实施方式
接着，参照附图说明本发明的气体供给集成单元以及气体单元的增设方法的一个实施方式。图1表示由向已设的5个线路供给过程气体的气体单元A、B、C、D、E所构成的气体供给集成单元的回路图以及用于增设到该气体供给集成单元上的第六气体单元F的回路图。在图1中，因气体单元A～D的回路相同，从而省略气体单元B、C、D，仅图示第一、第五气体单元A、E。
过程气体手动阀11通过过程气体供给口12与未图示的过程气体罐相连接。过程气体手动阀11通过压力计13、气动阀14、止回阀15、过程气体共同流路16与气体单元A～E的第二手动阀17A、17B、17C、17D、17E的一侧端口相连接。
第二手动阀17A、17B、17C、17D、17E的另一侧端口与第一手动阀18A、18B、18C、18D、18E相连接。第一手动阀18A、18B、18C、18D、18E的出口端口与过程气体出口19A、19B、19C、19D、19E连通。在使第二手动阀17A、17B、17C、17D、17E和第一手动阀18A、18B、18C、18D、18E连通的流路上连通有压力计20A、20B、20C、20D、20E和调节器21A、21B、21C、21D、21E。
并且，吹扫气体手动阀22通过吹扫气体供给口23与未图示的吹扫气体罐相连接。吹扫气体手动阀22通过压力计24、气动阀25、吹扫气体共同流路26与第三气动阀(相当于“第三控制阀”)27A、27B、27C、27D、27E的一侧端口相连接。第三气动阀27A、27B、27C、27D、27E的另一侧端口与第一手动阀18A、18B、18C、18D、18E相连接。
通过过程气体共同流路端部手动阀28密封过程气体共同流路16的端部16a。并且，通过吹扫气体共同流路端部手动阀29密封吹扫气体共同流路26的端部26a。
图2以俯视图表示将该回路具体化的设备的设置状态。图3表示气体供给集成单元的第四、第五气体单元D、E的放大俯视图。图4是气体供给集成单元的侧视图。
如图2所示，通过轨道固定杆33、34平行地固定2个轨道31、32的两端。如图2和图3所示，在轨道31、32上可横向平行地移动地安装有单元固定板35、36、37A、37B、37C、37D、37E。在单元固定板35、36、37A、37B、37C、37D、37E上安装有各种流体控制设备，从而构成过程气体用气体单元1、吹扫气体用气体单元2、第一至第五气体单元A～E。
在轨道31、32上形成有导向槽31a、31b、32a、32b。在轨道31的导向槽31b和轨道32的导向槽32a上，可滑动地安装有T型螺母(相当于“安装部件”)45、46、47A、47B、47C、47D、47E。气体单元1、2、A～E中，单元固定板35、36、37A、37B、37C、37D、37E固定在T型螺母45、46、47A、47B、47C、47D、47E上，并且在相邻的气体单元彼此连接的状态下保持在轨道31、32上。
如图2所示，在过程气体用单元固定板35上固定有过程气体手动阀11、压力计13、气动阀14、止回阀15，并在从这些部件稍微向右侧偏离的位置上固定有过程气体用流路块161。
在吹扫气体用单元固定板36上固定有吹扫气体手动阀22、压力计24、气动阀25，并在从这些部件稍微向右侧偏离的位置上固定有吹扫气体用流路块261和过程气体用流路块161。
由于第一至第四气体单元A～D为相同结构，因而在此参照图3说明第四气体单元D，省略第一至第三气体单元A～C的说明。在第四单元固定板37D上，从上起固定有第一手动阀18D、压力计20D、调节器21D、第三气动阀27D、第二手动阀17D，并在从这些部件稍微向右偏离的位置上固定有吹扫气体用流路块261和过程气体用流路块161。
在第五单元固定板37E上，从上起固定有第一手动阀18E、压力计20E、调节器21E、第三气动阀27E、第二手动阀17E，并且在避开第四气体单元D的过程气体用流路块161而稍微向右侧偏离的位置上固定有已设的过程气体共同流路端部手动阀28。并且，在避开第四气体单元D的吹扫气体用流路块261而稍微向右侧偏离的位置上固定有已设的吹扫气体共同流路端部手动阀29。
所述气体单元1、2、A～E中，过程气体用流路块161彼此以及第四气体单元D的过程气体用流路块161和第五气体单元E的过程气体用流路端部手动阀28通过过程气体用接头块61(例如，参照图3)相互连通(参照图2)，从而构成过程气体共同流路16(参照图1)。
并且，气体单元1、2、A～E中，吹扫气体用流路块261彼此以及第四气体单元D的吹扫气体用流路块261和第五气体单元E的吹扫气体共同流路端部手动阀29通过吹扫气体用接头块62(例如，参照图3)相互连通(参照图2)，从而构成吹扫气体共同流路26(参照图1)。
另外，如图4所示，在单元固定板35、36、37A、37B、37C、37D、37E的下表面和轨道31、32的上表面之间配置有衬垫(spacer，相当于“高度调整装置”)50、51、52A、52B、52C、52D、52E，用于调整各线路的高度。
在所述已设的气体单元以外，如图2所示，在第六单元固定板37F上固定有增设的第六气体单元F。即，在第六单元固定板37F上，从上起固定有第一手动阀18F、压力计20F、调节器21F、第三气动阀27F、第二手动阀17F，并在稍微向右侧偏离的位置上固定有不同于已设的过程气体共同流路端部手动阀28的另一过程气体共同流路端部手动阀41、和不同于已设的吹扫气体共同流路端部手动阀29的另一吹扫气体共同流路端部手动阀42。并且，与过程气体共同流体端部手动阀41和吹扫气体共同流路端部手动阀42邻接固定有过程气体用接头块61和吹扫气体用流路块62。
接着，参照图5至图12说明在上述气体供给集成单元上增设第六气体单元F的顺序。在本实施方式中，由于结合第五气体单元E和第六气体单元F而增设线路，因而在各俯视图和侧视图中，图示第五、第六气体单元E、F，适当省略其他的气体单元等。
首先，如图5所示，在轨道31、32上分别可滑动地安装1个T型螺母47F。由于将T型螺母47F安装到轨道31、32上的方法相同，因而在此仅对轨道31进行说明。
如图6所示，轨道31的导向槽31a、31b由截面大致呈三角形状的轨道槽和以比轨道槽小的宽度在轨道31的上表面开口的开口部构成。T型螺母47F为具有与气体单元的间隔宽度相同宽度W的杆状物，与导向槽31a、31b的轨道槽对应地形成截面大致三角形状。在T型螺母47F上，在与形成在第六单元固定板37F上的通孔371、371(参照图2)对应的位置形成有螺栓孔471、471。螺栓孔471在内周形成有内螺纹。T型螺母47F，在形成有螺栓孔471、471的侧面相对于轨道31的开口部倾斜的状态下从导向槽31b的开口部上方插入轨道槽，并收容在导向槽31b的轨道槽内，并能够从导向槽31b的开口部看见螺栓孔471、471，此时由于边缘部与导向槽31b的开口部卡定，因而可滑动地保持在轨道31上。
接着，如图5所示，在T型螺母47F的螺栓孔471、471中的一侧分别安装安装器(相当于“定位夹具”)55。安装器55，在前端部上设有外螺纹551，将其前端部从轨道31的导向槽31b插入并拧入T型螺母47F的螺栓孔471，从而安装在T型螺母47F上。安装器55、55以处于对角位置的方式而安装在T型螺母47F、47F上。
由此，如图7和图8所示，通过安装器55对第六气体单元F进行定位保持。在单元固定板37F上，在四个角形成有用于贯通与T型螺母47F紧固的螺栓V的通孔371，并将安装器55插入该通孔371。安装器55插入第六单元固定板37F的对角位置，并将第六气体单元F相对于第五气体单元E平行配置。由此，第六气体单元F通过单元固定板37F相对于T型螺母47F进行位置对准，并且通过T型螺母47F保持在轨道31、32上。因此，例如在将气体供给集成单元安装在壁面上的情况下，第六气体单元F也被安装器55、55拉挂而不会从轨道31、32脱落，增设作业的工作人员可以将双手离开气体供给集成单元以及第六的体单元F。
接着，如图7所示，使第六气体单元F向已设的第五气体单元E侧(图中箭头M 方向)移动。由于第六气体单元F和T型螺母47F通过安装器55、55相连接，因而可以使第六气体单元F与T型螺母47F一体沿着轨道31、32简单地进行平行移动。
其中，第六气体单元F中，过程气体用接头块61通过第三气动阀27F与过程气体连通流路端部手动阀41连通。在过程气体用接头块61上，入口端部61a向上开口。另一方面，在第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28上，出口端部28b向下开口。由此，从上下方向连接过程气体用接头块61的入口端部61a和过程气体共同流路端部手动阀28的出口端部28b，则可以将过程气体共同流路16延长至过程气体共同流路端部手动阀41。
并且，第六气体单元F中，吹扫气体用接头块62通过第二手动阀17F与吹扫气体连通流路端部手动阀42连通。在吹扫气体用接头块62上，入口端部62a向上开口。另一方面，在第五气体单元E的吹扫气体共同流路端部手动阀29上，出口端部29b向下开口。由此，从上下方向连接吹扫气体用接头块62的入口端部62a和吹扫气体共同流路端部手动阀29的出口端部29b，则可以将吹扫气体共同流路26延长至吹扫气体共同流路端部手动阀42。
使第六气体单元F平行移动时，第五气体单元E中，如图7和图8所示，在第五单元固定板37E和轨道31、32之间配置有衬垫52E。另一方面，第六气体单元F中，在第六单元固定板37F和轨道31、32之间没有配置衬垫52F。因此，第六气体单元F位于比第五气体单元E正好低衬垫52E的厚度的量H的位置。因此，第六气体单元F，可以使过程气体用接头块61和吹扫气体用接头块62与第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28和吹扫气体共同流路端部手动阀29不干涉地平行移动，不会损坏过程气体用接头块61的入口端部61a和过程气体共同流路端部手动阀28的出口端部28b之间的密封面、以及吹扫气体用接头块62的入口端部62a和吹扫气体共同流路端部手动阀29的出口端部29b之间的密封面。
并且，T型螺母47F由于具有与气体单元的间隔宽度相同的宽度W，因而使第六气体单元F滑动，直到T型螺母47F与第五气体单元E的T型螺母47F抵接，则可以将第五气体单元E和第六气体单元F的间隔宽度容易地设定为规定值。
如上所述，使第六气体单元F移动至规定位置后，即，使第六气体单元F的过程气体共同流路的入口端部61a相对于第五气体单元E的过程气体共同流路16的出口端部28b移动至其正下方的位置，并且使第六气体单元F的吹扫气体共同流路的入口端部62a相对于第五气体单元E的吹扫气体共同流路26的出口端部29b移动到其正下方的位置后，如图9所示，使安装器55、55保持原来状态，将螺栓V贯通在单元固定板37F的空着的通孔371中，分别暂时固定在T型螺母47F的螺栓孔471上。即，利用螺栓V暂时固定第六气体单元F的对角位置(参照图中X1、X2部分)。然后，用螺栓V暂时固定第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28和第六气体单元F的过程气体用接头块61(参照图中X3部分)，并且用螺栓V暂时固定第五气体单元E的吹扫气体共同流路端部手动阀29和第六气体单元F的吹扫气体用接头块62(参照图中X4部分)。
此时，第六单元固定板37F和T型螺母47F，通过安装器55在对角位置进行定位，即使在离开两手的状态下通孔371和螺栓孔471也会重合。因此，增设作业的工作人员可使用双手从第六单元固定板37F的通孔371将螺栓V贯通T型螺母47F的螺栓孔471，并可利用螺丝刀等旋转螺栓V，能够简单地在短时间内暂时固定螺栓V。另外，形成于第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28上的螺栓孔和形成于第六气体单元F的过程气体用接头块61上的螺栓孔也重合，并且形成于第五气体单元E的吹扫共同流路端部手动阀29上的螺栓孔和形成于第六气体单元F的吹扫气体用接头块62上的螺栓孔也重叠，从而工作人员能够使用双手暂时固定螺栓V。
第六气体单元F，在将螺栓V拧入螺栓孔471而进行暂时固定时，通过螺纹进给随着第五气体单元E上升，如图10的侧视图所示，第六单元固定板37F的下表面和轨道31、32的上表面之间产生空间S。
然后，从T型螺母47F、47F拆下安装器55、55，并从单元固定板37F的通孔371抽出。在空着的通孔371中贯通螺栓V，并暂时固定到T型螺母47F、47F的螺栓孔471、471内。这样，第六气体单元F在第六单元固定板37F的对角位置依次暂时固定，从而在暂时固定时不会倾斜而与第五气体单元E扭曲。
如图10和图11所示，在第六气体单元F的两端部分别配置衬垫52F，从而调整第六气体单元F的高度。衬垫52F中设有切口521，以避开螺栓V，并在其前端部上形成倾斜部522。衬垫52F分别从单元固定板37F的端部沿着第六气体单元F的气流，朝向图中箭头N方向插入单元固定板37F的下表面和轨道31、32的上表面之间。由此，第六气体单元F从轨道31、32仅抬起衬垫52F、52F的厚度的量，形成于第六气体单元F的过程气体用接头块61上的入口端部61a与形成于第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28上的出口端部28b相连接，形成于第六气体单元F的吹扫气体用接头块62上的入口端部62a与形成于第五气体单元E的吹扫气体共同流路端部手动阀29上的出口端部29b相连接。
在该状态下，如图12所示，分别加紧暂时固定第六气体单元F的螺栓V(参照图中X5、X6、X7、X8部)，将第六气体单元F固定在第五气体单元E和T型螺母47F上。另外，在该情况下，为了防止倾斜，优选依次在第六单元固定板37F的对角位置加紧。由此，已设的过程气体共同流路端部手动阀28和增设的过程气体共同流路手动阀41连通，并且已设的吹扫气体共同流路端部手动阀29和增设的吹扫气体共同流路手动阀42连通。
由上述工序，结束第六气体单元F的增设施工。接着，使第六气体单元F的新的过程气体共同流路端部手动阀41和吹扫气体共同流路端部手动阀42处于关闭状态，使第二手动阀17F处于关闭状态，使第一手动阀18F和第三气动阀27F处于打开状态，打开第五气体单元E的吹扫气体共同流路端部手动阀29。
由此，向第六气体单元F内流入吹扫气体，从而除去第六气体单元F内的水分。充分除去水分，并作好半导体制造装置侧的准备后，通过关闭第三气动阀27F，打开第二手动阀17F，可以向第六气体线路F供给过程气体。
因此，根据本实施方式的气体供给集成单元，由于，(a)具有与过程气体共同流路16的端部16a连通的过程气体共同流路端部手动阀28、和与吹扫气体共同流路26的端部26a连通的吹扫气体共同流路端部手动阀29；(b)在以直角方向与气体单元1、2、A～E的气流交叉而设置多个且安装有气体单元1、2、A～E的轨道31、32上形成导向槽31a、31b、32a、32b，形成有2个螺栓孔471、471的T型螺母47F可滑动地安装在导向槽31b、32a上；(c)增设的第六气体单元F具有与过程气体共同流路端部手动阀28连通的另一过程气体共同流路端部手动阀41和与吹扫气体共同流路端部手动阀29连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀42，通过将贯通该第六气体单元F的螺栓V紧固在螺栓孔471中，而安装在T型螺母47F上，因而减少了将T型螺母47F的螺栓孔471、471相对第六单元固定板37F的通孔371、371对准位置的工时，从而线路增设时的气体单元F的操作性良好。
即，在T型螺母上仅形成1个螺栓孔的情况下，必须将4个T型螺母分别与单元固定板的通孔对准位置，但是如本实施方式这样，在T型螺母47F上设置2个螺栓孔471，并将一侧的螺栓孔471与通孔371上对准位置，则另一侧的螺栓孔471自动地与另一个通孔371对准位置。因此，本实施方式的气体供给集成单元，可使第六单元固定板37F的通孔371简单地与T型螺母71F的螺栓孔471对准应置，可将第六气体单元F安装在气体供给集成单元上。
并且，本实施方式的气体供给集成单元，由于T型螺母47F具有与气体单元A～E的间隔宽度相同的宽度，因而可以容易地设定第六气体单元F和第五气体单元E的间隔宽度。
并且，根据本实施方式的气体供给集成单元，由于，(a)具有与过程气体共同流路16的端部16a连通的过程气体共同流路端部手动阀28、和与吹扫气体共同流路26的端部26a连通的吹扫气体共同流路端部手动阀29；(b)增设的第六气体单元F具有与过程气体共同流路端部手动阀28连通的另一过程气体共同流路端部手动阀41、和与吹扫气体共同流路端部手动阀29连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀42；(c)用于连接第六气体单元F和第五气体单元E的衬垫52F可以从第六气体单元F的端部装卸，因而可以容易地进行第六气体单元F的高度调整，从而线路增设时的气体单元F的操作性良好。
并且，本实施方式的气体供给集成单元，由于在衬垫52F的前端部设有倾斜部522，因而可以在第六气体单元F的下表面和轨道31、32的上表面之间简单地装卸衬垫52F。
并且，根据本实施方式的气体单元的增设方法，由于，(a)气体供给集成单元具有与过程气体共同流路16的端部16a连通的过程气体共同流路端部手动阀28、和与吹扫气体共同流路26的端部26a连通的吹扫气体共同流路端部手动阀29；(b)在以直角方向与气体单元1、2、A～E的气流交叉而设置多个的轨道31、32上安装气体单元1、2、A～E，增设的第六气体单元F具有与过程气体共同流路端部手动阀28连通的另一过程气体共同流路端部手动阀41、和与吹扫气体共同流路端部手动阀29连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀42；(c)在轨道31、32上形成有导向槽31a、31b、32a、32b，在设置于气体单元1、2A～E的两端部上的轨道31、32的导向槽31b、32a上分别可滑动地安装T型螺母47F，在各T型螺母47F上安装安装器55后，通过安装器55将第六气体单元F相对于各T型螺母47F进行定位保持，然后使第六气体单元F与T型螺母47F一体地移动至规定位置后，结合第五气体单元E和第六气体单元F，并且将第六气体单元F安装在T型螺母47F上，并拆除安装器55，因而可以用双手进行增设作业，从而线路增设时的气体单元F的操作性良好。其对于将气体供给集成单元安装到壁面上的情况特别有效。
并且，在这种情况下，由于T型螺母47F形成有2个螺栓孔471、471，第六气体单元F的第六单元固定板37F，在两端部上分别形成2个贯通螺栓V的通孔371、371，通过将贯通通孔371的螺栓V紧固在T型螺母47F的螺栓孔471而安装在T型螺母47F上，将安装器55拧入T型螺母47F的螺栓孔471、471中的一个而安装后，在第六单元固定板37F的通孔371中插入安装器55，从而对第六单元F进行定位保持，然后，在第六气体单元F的未插入安装器55的通孔371中贯通螺栓V而紧固在T型螺母47F的螺栓孔471中后，从T型螺母47F的螺栓孔471拆下安装器55，然后在插入安装器55的通孔371中贯通螺栓V并紧固在T型螺母47F的螺栓孔471中，因而可通过安装器55对T型螺母47F的螺栓孔471和第六单元固定板37F的通孔371进行位置对准，可以用双手将螺栓V紧固在T型螺母47F的螺栓孔471中，可以简单地在短时间内进行线路增设作业。
另外，虽然说明了本发明的实施方式，但本发明不限定于上述实施方式，可以实现各种应用。
例如，在上述实施方式中，在T型螺母47上设置2个螺栓孔471、471，并且在单元固定板37的两端部分别设置2个通孔371。与此相对，也可以在T型螺母47和单元固定板37上设置3个以上的螺栓孔471或通孔371。在这种情况下，用安装器55对T型螺母47和气体单元进行位置对准时，则可使螺栓孔471和通孔371对准位置，因而可以减少位置对准的工时。
例如，在上述实施方式中，使增设的第六气体单元F移动至规定位置并进行定位后，设置衬垫52F而进行了高度调整。与此相对，也可以不用衬垫50、51、52对气体供给集成单元的气体单元1、2、A～E进行高度调整，而在增设的气体单元F上安装衬垫52F，将第六气体单元F定位在规定位置后抽出衬垫52F而使第六气体单元F相对于第五气体单元E进行位置对准。
例如，在上述实施方式中，作为定位夹具而使用了安装器55。与此相对，定位夹具只要能够连接T型螺母47和气体单元并沿着轨道31、32一体地滑动，就不限定于安装器55。
例如，在上述实施方式中，将第六单元F暂时固定在T型螺母47后，用螺栓V在第五气体单元E的过程气体共同流路端部手动阀28和吹扫气体共同流路端部手动阀29上暂时固定第六气体单元F的过程气体用接头块61和吹扫气体用接头块62，该暂时固定的顺序也可以是相反的。
例如，在上述实施方式中，作为第三控制阀而使用了第三气动阀27A、27B…。与此相对，作为第三控制阀也可以使用手动阀。

Claims (6)

1. 一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，所述气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，
包括与所述过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；
在以直角方向与所述气体单元的气流交叉而设置、并安装有所述气体单元的多个轨道上形成导向槽，至少形成有2个螺栓孔的安装部件可滑动地安装在所述导向槽上；
增设的气体单元，包括与所述过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀，通过将贯通该增设的气体单元的螺栓紧固到所述螺栓孔中而安装到所述安装部件上。
2. 根据权利要求1所述的气体供给集成单元，其特征在于，所述安装部件具有与所述气体单元的间隔宽度相同的宽度。
3. 一种气体供给集成单元，包括多个气体单元，所述气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，
包括与所述过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀；
增设的气体单元，包括与所述过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀；
用于将所述增设的气体单元与已设的气体单元相连接的高度调整装置，能够从所述增设的气体单元的端部装卸。
4. 根据权利要求3所述的气体供给集成单元，其特征在于，所述高度调整装置，其在前端部上设有倾斜部。
5. 一种气体单元的增设方法，在包括多个已设的气体单元的气体供给集成单元上增设气体单元，所述已设的气体单元由第一手动阀、第二手动阀以及第三控制阀通过流路块串联连成一体而构成，所述第一手动阀设在出口流路上；所述第二手动阀设在用于连通该第一手动阀和过程气体共同流路的位置上；所述第三控制阀设在用于连通该第一手动阀和吹扫气体共同流路的位置上，其特征在于，
所述气体供给集成单元包括与所述过程气体共同流路的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路的端部连通的吹扫气体共同流路端部手动阀，在以直角方向与所述已设的气体单元的气流交叉而设置的多个轨道上安装有所述已设的气体单元；
所述增设的气体单元包括与所述过程气体共同流路端部手动阀连通的另一过程气体共同流路端部手动阀、和与所述吹扫气体共同流路端部手动阀连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀；
在所述轨道上形成有导向槽，至少在设置于所述已设的气体单元的两端部上的轨道的导向槽上分别可滑动地安装安装部件，在各安装部件上安装定位夹具后，通过所述定位夹具将所述增设的气体单元相对各安装部件定位保持，然后，使所述增设的气体单元与所述安装部件一体地移动至规定位置后，结合所述气体供给集成单元和所述增设的气体单元，并且将所述增设的气体单元安装在所述安装部件上，拆下所述定位夹具。
6. 根据权利要求5所述的气体单元的增设方法，其特征在于，
所述安装部件至少形成有2个螺栓孔；
所述增设的气体单元，在两端部至少形成有2个贯通螺栓的通孔，通过将贯通所述通孔的螺栓紧固在所述螺栓孔中而安装在安装所述部件上；
将所述定位夹具安装到所述安装部件的1个螺栓孔中后，通过使所述定位夹具插入所述增设的气体单元的通孔而对所述增设的气体单元进行定位保持，然后，在所述增设的气体单元的未插入定位夹具的通孔中贯通所述螺栓并紧固到所述安装部件的螺栓孔中后，从所述安装部件的螺栓孔拆下所述定位夹具，然后，在插入所述定位夹具的通孔中贯通螺栓并紧固到所述安装部件的螺栓孔中。
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