TWI338755B - - Google Patents

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九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種用於供應製程氣體到半導體工 序，使製程氣體分歧供應之氣體供應組合單元以及氣體單元 之增設方法。 【先前技術】 在半導體製造工廠中，製程氣體收納於筒槽中，而配置 在無塵室外。而且，為了使相同製程氣體自筒槽供應到無塵 室内之複數處所，而使用使製程氣體分歧供應之氣體供應裝 置。在這種氣體供應裝置中，當產生需要製程氣體之新設處 所時，就有必要實施管線增設作業。 第13圖係表示實施3管路供應之製程氣體供應裝置回 路圖；第1 4圖係表示具體化第1 3圖後之機械設置狀態俯視 圖。製程氣體空氣操作閥1〇7，係透過製程氣體供應口 ι〇8 連接到未圖示之製程氣體筒槽。製程氣體空氣操作閥1 〇7， 係透過製程氣體共通流路105連接到第2手動閥 103A， 103B， 103C 。 第2手動閥103A，103B，103C，係連接到第1手動閥 101A，101B，101C。第 1 手動閥 101A，101B，101C 出口，係與 製程氣體出口 100A，100B, 100C相連通。在第2手動閥 103A，103B,103C 與第 1 手動閥 101A,101B，101C 間之流路 中，連通有壓力計102A，102B，102C。 又，沖洗氣體手動閥11 0，係透過沖洗氣體供應口 111 連接到未圖示之沖洗氣體筒槽《沖洗氣體手動閥11 0，係透 2097-7103-PF 5 1338755 過止回閥1 09及沖洗氣體共通流路i 〇6連接到第3手動閥 104A，104B，104C。第 3 手動閥 1〇4A，1〇4B，1〇4c 係連接到第 1 手動閥 101A，101B, 101C。 製程氣體共通流路1 05端部丨05a係被擋止栓密封。沖 洗氣體共通流路106端部106a係被擋止栓密封。 .接著’說明在第13圖3管路回路中增設1管路之情形。 〖第1 3圖中係使第4管路D記載於右側；第丨5圖係表示增設 後之回路圖；第16圖係表示具體化第15圖後之機械設置狀 _態俯視圖。 接著，說明增設第4管路之工程順序。在該工程中，無 法供應製程氣體，半導體製造工序也必須停止。 在開始時，使製程氣體空氣操作閥i 〇7成關閥狀態，使 第3手動閥l〇4A，104B，104C成開閥狀態，使第i手動閥 1 01A，1 01B，1 0 1C成開閥狀態。該狀態下，打開沖洗氣體手動 閥11 0。藉此，自製程氣體空氣操作閥1 〇 7到第1手動閥 101A，101B，101C内殘留製程氣體會被作為沖洗氣體之氮氣 #置換。經過充分時間來實施氣體置換後，關閉沖洗氣體手動 閥 11 0。 接著，去除密封沖洗氣體共通流路1 06端部1 〇6a之擋 止栓’使第4管路沖洗氣體共通流路106入口端部i〇6b與 配管112連接。又，去除密封製程氣體共通流路1〇5端部i〇5a 之擂止栓，使第4管路製程氣體共通流路105入口端部i〇5b 與配管11 3連接》 第4管路機械之構成係與第1〜3管路之構成相同，因 此說明予以省略。第4管路沖洗氣體共通流路1 06之新端部 2097-7103-PF 6 1338755 1 〇6c，係以擋止栓密封。又，第4管路製程氣體共通流路ι〇5 之新端部1 〇5c，係以擋止栓密封。 接著，使製程氣體出口 l〇〇D與未圖示之必要處所連接。 藉此，第4管路之增設工程就算完成。 【發明内容】 【發明所欲解決的課題】 可是，先前氣體供應組合單元具有以下問題。 _ (1)备實施新氣體官路増設工程時’因為必須停止既 有氣體皆路’戶斤以，只有在停止半導體製造工序時，才能實 施增設工程。 又，即使在增設工程終了後，製程氣體共通流路i 0 5及 冲洗乳體共通流路106之第15圖中斜線所示暴露到大氣之 刀會有大氣中水分附者在流路内壁之問題。亦即，當水 刀混入製程氣體時，製程氣體之功能有時會不完全，因此在 增u又第4管路後，有必要自沖洗氣體共通流路t 〇6使沖洗氣 體長時間流動，而去除暴露空氣流路之水分。實際上，沖洗 需持續數小時〜數十小時。 (2)因為需要第16圖所示多餘的配管112113，氣體 供應組合單元之橫向會變大，與積體化之小型化要求相反。 又，第4管路係藉由螺栓安裝在基板12〇上，但是，其對位 必須調整配管112，113,而有配管無效時間很長之問題。 為解決此問題，本申請人在日本特開2〇〇3-3821 39號公 報中’提案有在使複數氣體單S安裝在軌道之氣體供給組合 單元中，設置與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通 2097-7103-PF 7 流路端部手動閥及與沖洗氣體此 體共通流路端部手動閱 、通流路端部連通之沖洗氣 之氣體單it處，設置與製程氣=增設於氣體供應組合單元 另—製程氣體共通流路端 、通流路端部手動閥連通之 端部連通之沖洗氣體共閥及與製程氣體共通流路 體共通流路端部手動閥連通之沖洗氣 時間增設氣體單元之技術： +導體製造工序就能於短 安裝：壁述面氣體:應組合單元’在組合於氣體供應裝置時，必 著述申請案中，開示有使增設之氣鱧單元沿 ==到既定位置’再以螺栓固定，在此時卻沒有考片 於無塵=元…性。氣體供應組合單元，係連接到設 ’彳之筒槽’使製程氣體供應到無塵室内之複數處 所以’很多都安裝在半導體製造工廠壁面上。使製程氣 體供應到各處所之氣艘單S，係例如以螺'检安裝到軌道。因 此’當增設管路時，使氣體單元對位到既定位置後，必須_ 々手下押氣體單元而防止位置偏移，另一隻手則鎖固螺絲， 氣體單元之處理很困難。 在此’本發明係為解決上述課題而提出之方案，其目的 在提供一種於增設管路時之氣體單元處理性很良好的氣體 供應組合單元以及氣體單元之增設方法。 【用於解決課題的手段】 本發明氣體供應組合單元以及氣體單元之增設方法，係 具有如下構成。 (1) 一種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口 流路之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路 2097-7103-ΡΡ 8 1338755 :連通位置上之第2手動閥及設於使第1手動間與沖洗氣體 /、通巟路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一 •’其特徵在於··（a)具有與製程氣體共通流路 端°卩連通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共 通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥；（b)與 亂體單7L氣體流向垂直交又，設有複數個而安裝有氣體單元 之軌道上形成有導引凹槽，至少形成有2個螺栓孔之安裝構 件係可滑動地安裝在導引凹槽；（C)增設之氣體單元係 鲁具有與製程氣體共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體 共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部手動間連 通之另製程吼體共通流路端部手動閥，藉由使貫穿增設氣 體單元之螺栓鎖固在螺栓孔而安裝到安裝構件。 (2)第1項記載之發明中，安裝構件係具有與氣體單 元節距寬度相同之寬度。

(3) —種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口 流路之第1手動閥、設於使第i手動閥與製程氣體共通流路 相連通位置上之第2手動間及設於使第丨手動閥與沖洗氣體 共通流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一 體之氣體單元’其特徵在於：（a)具有與製程氣趙共通流路 端部連通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共 通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動間.（& )货 設之氣趙單元’係具有與製程氣體共通流路端部手動閥連通 之另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流 路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥； (c)用於使增設氣體單元連接到既設氣體單元之高度調整

2097-7103-PF ⑧ 9 ^38755 機構，係自增設氣體單元端部著脫之物件。 (4 )第3項記載之發明中’高度調整機構在前端部設 有傾斜。

(5) —種氣體單元之增設方法’在具備複數個使設於 出口流路之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通 流路相連通位置上之第2手動閥及設於使第1手動閥與沖洗 氣體共通流路相連通位置上之第3控制閥’藉由流路塊串聯 成—體之氣體單元的氣體供應組合單元處，增設氣體單元， 其特徵在於：（a )氣體供應組合單元，係具有與製程氣體共 通流路端部連通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗 亂體共通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動閥，在 與氣體單7L氣體流向垂直交叉而設有複數個的軌道上安裝 有氣體單元·’（b)增設之氣體單元，係具有與製程氣體共 通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動 閥及與沖洗氣體共通流路端部手動閥連通之另—製程氣體 共通流路端部手動閥；（c)在軌道上形成有導心孔至 夕έ又於亂體單^端部之軌道導引凹槽處，分 裝安裝構件，使定位、、Λ且 I «動地女 且，使增…二： 構件後，透過定位治 '、 之耽體早元與安裝構件一體移動到既定位署，έ， 結合軋體供應組合單元及增設氣體單元，同時… 彳 體單元到安裝構件，取下定位治具。 、，女裝增設氣 個螺栓孔， 少形成2個 到安裝構件

2097-7X03-PP 1338755 检孔後，藉由使定位治具插通増設氣體單元之穿孔，以定位 保持增設氣體單元，之後，使螺栓貫穿增設氣體單元之定位 治具未插通穿孔而鎖固到安裝構件螺栓孔，之後，自安裝構 件螺检孔取下定位治具，然後使螺栓貫穿穿設過定位治具之 穿孔而鎖固到安裝構件螺栓孔。 【發明效果】 接著’說明具有上述構成之發明的作用效果。 氣體供應組合單元之氣體單元，係與氣體單元氣體流向 垂直交又，而安裝在設有複數個的軌道上。氣體供應組合單 兀’係例如安裝在與氣體單元氣體流動垂直的壁面上，組合 入氣趑供應裝置β 、，、八‘’、·且合單兀，通常係與製程氣體共通流路端部連 、"、製程私體共通流路端部手動間及與沖洗氣體共通流路 山ί5連通之冲；先乳體共通流路端部手動閥，為閉閥狀態。而 =體供應組”元，即使在增設新管路時，只少到沖洗

路端邻丰/程就體共通流路端部手動閥及沖洗氣趙共通流 路端部手動閥，為被關閉狀態。 在軌道上形成有導引 構件分別可滑動地…卜：，/增設管路時，例如使安裝 凹槽。在各安、 <於氣體單元兩端部之軌道導引 螺栓孔。在此各^彡成有複數（在此說明2個的情形） ^位治具貫穿增= :栓孔安…治具，使 設氣體單元，係“定位=穿孔。藉二增 透過定位治具及安穿播彼.相對女裝構件被定位，同時， 增設之氣體單元n，破保持在軌道。因此，兩手離開 月貫施增設作業。 2097-7103-pp ⑧ 11 1338755 接著，使增設氣體單元與安裝構件一體α 使增設氣體單元製程氣體共通流路入口端部。道移動， 製程氣體共通流路出口端。移動到與既有 洗氣艘共通流路入口端部移動到與既有沖洗氣體:：：沖 出口端部連接之位置。此L當 ^^共通流路 元節距寬度相同寬度時，•移動p氣J件/、有與氣體單 ^田移動増5又虱體單元，直奎，丨祕 體單元安裝構件抵接既有氣體單元安裝 度容易設定到既定值。 犯使郎距寬 在此，例如當既有裔κ ^ + 礼體早兀藉由同度調整機構調整高户 時，备增設氣體單元不藉由高度調整機構調整 ，二 氣體單元與既有氣體單元之高度會不同。在此情形下二 氣體単凡，係不與既有氣體單元產生干涉地，能移動心： 氣趙共通流路端部手動間出口及沖洗氣趙 動閥出口。 吟端#手 當使增設氣趙單元移動到既定位置時，以螺栓等使增設 氣體單it暫時固定在既有氣艘單元而結合之。又，使螺^ 籲穿增設氣艘單元無設任何物件之穿孔，暫時固定在安敦構件 螺栓孔。之後，使定位治具自執道取下而自增設氣體單元穿 孔拔出，而且，使螺检貫穿無設任何物件之穿孔而暫時固定 在安裝構件螺栓孔。 當使增設氣體單元結合到氣體供應組合單元時，增設氣 體單元對齊既有氣體單元而 θ 匕祖早7L而上升，所以，增設氣體單元下表 面與軌道上表面間產生問陆 .. J度玍間隙。在此，自增設氣體單元端部插 入问度調整構件。此時，當事先在高度調整構件前端設置傾 斜時’能使高度調整構件容易插入增設氣體單元與軌道間。

2097-7103-PF 1338755 :乳趙單％，係藉由高度調整構件而被提高既 有= 單元相對合。藉此，增設氣體單元製程氣體共通流路 二丘：：會與製程氣體供應端部手動間出口相連接，沖洗氣 :2路人口端部會與沖洗氣體共通流路端部手動間出 口相運接，所以，可更加鎖緊暫時固定之螺栓。

:以上增設工程結束時’使増設氡體單元製程氣體共通 二路=手動閥及沖洗氣體共通流路端部手動閥成關閉狀 使第2手動閥成開閥狀態’使第】手動閥及第3控制閥 成開閥狀態’使鄰接增設氣體單元之既有氣體單 共通流路端部手動閥成開閥狀態。 Τ无孔遐 藉此，使沖洗氣體流動在增設氣體單元内，以 單元内之水分。當水分充分去除，而半導體製造裝置側^ 準備疋成時，關閉增設氣體單元第3控制閥，打開第2手動 閥，藉此，能使製程氣體供應到增設氣體單元。 因此，當使用本發明氣體供應組合單元時，（a )具有 與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流路端部手 動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體共通流路 端部手動閥；（b)與氣體單元氣體流向垂直交又…有複 數個而安裝有氣體單元之軌道上形成有導引凹槽，至二形成 有2個螺栓孔之安裝構件係可滑動地安裝在導引凹槽；（〇） 增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動閥連 通之另-製程氣體共通流路端部手動閥及與沖&氣體共通 流路端部手動閥連通之另一製程氣艎共通流路端部手動 閥’藉由使貫穿增ά氣體單元之螺栓鎖固在螺栓孔而安裝到 安裝構件，戶斤以’冑安裝才冓件螺检孔對合到增設氣館單元之

2097-7103-PF j^755 工時會減少，增設管路時之氣體單元處理性也會變好。 _在此情形下，當安裝構件係具有與氣體單元節距寬度相 3宽度時谷易設定增設氣體單^及既有氣趙單元之節 距寬度。 又备使用本發明氣體供應組合單元時，（a)具有與 製程氣趙共通流路端部#通之製程氣體共通流路端部手動 ，及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體共通流路端 :手動閥’（b)增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通 流路端部手動閥連通之另—製程氣體共通流路端部手動間 及與沖洗氣體共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共 通流路端部手動閥；（〇詩使增設氣料元連接到既設 氣體單元之高度調整機構，係自增設氣體單^端部著脫之物 件，所以，能容易調整増設氣體單元之高度，增設管路時之 氣體單元處理性也會變好。 在此情形下，當高度調整機構在前端部設有傾斜時 簡單地裝卸高度調整機構。 又，當使用本發明氣體單元之增設方法時，（a)氣體 ，應組合單元’係具有與製程氣體共通流路端部連通之製程 氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通 之^洗氣體共通流路端部手動閥’在與氣體單元氣體流向垂 直交又而設有複數個的軌道上安裝有氣體單元；（匕）増設 之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動閥連：： 另-製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路 端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥； 在軌道上形成有導引凹槽，至少設於氣體單元兩端部之軌道 2097-7103-pp 14 1338755 導弓丨凹槽處，分別可滑動地安裝安裝構件，使定位治具安裝 在各安裝構件後，透過定位治具，使增設之氣體單元與安裝 構件一體移動到既定位置後，結合氣體供應組合單元及增設 氣體單元，同時，安裝增設氣體單元到安裝構件，取下定位 治具，所以，能以兩手實施增設作業，增設管路時之氣體單 元處理性也會變好。 又，在此情形下，安裝構件上至少形成有2個螺栓孔， 增設氣鱧單元，係穿設有螺栓之穿孔在兩端部至少形成2 ♦個，使插通穿孔之螺栓鎖固到螺栓孔，藉此，安裝到安裝構 件，其中使定位治具安裝到安裝構件一螺栓孔後，藉由使定 位治具插通增設氣體單元之穿孔，以定位保持增設氣體單 疋’之後’使螺栓貫穿增設氣體單元之定位治具未插通穿孔 而鎖固到安裝構件螺栓孔，之後，自安裝構件螺栓孔取下定 位治具，然後使螺栓貫穿穿設過定位治具之穿孔而鎖固到安 裝構件螺Lx ’藉由定位治具能對合安裝構件螺检孔與 增S又氣體早穿孔，使用兩手雜台t你 用兩于就使螺栓鎖固到安裝構件螺 籲栓孔’能簡單而快速地實施管路增設作業。 【實施方式】 接著，參照圖面說明本發明氣體供 〇 札莜供應組合单元以及氣體 皁元之增設方法一實施形態。第1圖技主_丄 乐1囫係表不由給製程氣體到

既有5管路之氣體單元A，B，c D E所描β A ’ 所構成之氣體供應組合單 元回路圖及用於增設之第6氣體單元卩回路圖。而且，在第 1圖中’氣體單元A〜D之回路係相同，所以，省略氣體 8，(：，1)而僅圖示第1氣體單元八及第5氣體單元卜 2097-7103-PF 15 1338755 製程氣體手動閥11，係透過製程氣體供應口 12連接到 未圖示之製程氣體筒槽。製程氣體手動閥11，係透過壓力計 13、空氣操作閥14、止回閥15及製程氣體共通回路16’連 • 接到氣體單元A~E第2手動閥17A，17B，17C，17D，17E 一邊的 接口。

第2手動閥17A，17B，17C, 17D，17E其他接口係連接到第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E 。第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E出口接口 ，係與製程氣體出口 _ 19A，19B，19C，19D，19E 連通。連通第 2 手動閥 17A，17B，17C，17D，17E 與第 1 手動閥 18A，18B，18C，18D，18E 之流路中’連通有壓力計20A，20B，20C,20D，20E及調壓器 21A，21B，21C，21D，21E。 又’沖洗氣體手動閥22 ’係透過沖洗氣體供應口 23連 接未圖示之沖洗氣體筒槽。沖洗氣體手動閥22，係透過壓力 計24、空氣操作閥25及沖洗氣體共通流路26連接到第3空

氣操作閥（相當「第3控制閥」之物件）27A，27B，27C，27D，27E _ —邊接口。第3空氣操作閥27A，27B，27C，27D，27E其他接口 係連接到第1手動閥l8A，18B，18C，18D，18E。 製程氣體共通流路1 6端部丨6a，係以製程氣體共通流 路端部手動閥28密封。又’沖洗氣體共通流路26端部， 係以沖洗氣體共通流路端部手動閥29密封。 第2圖係表示將第1圖氣體供應組合單元回路具體化之 機械設置狀態俯視圖；第3圖係表示氣體供應組合單元第4 孔體單tcD及第5氣體單元E之放大俯視圖。第4 供應組合單元之側視圖。 、、

2097-7103-PF 16 1338755 如第2圖所示，2支軌道31，32兩端係以軌道固定棒 33，34平行固定。如第2圖及第3圖所示’早元固定板 35, 36, 37A，37B，37C，37D，37E係可在橫向平移地安裝在軌道 '31，32上。單元固定板 35,36,3 7人，3 76,37(：，370,3 7£安褒有 各種流體控制機械，構成製程氣體用氣體單元1、沖洗氣體 用氣體單元2及第1〜5氣體單元A〜Ε» 在軌道31，32上，形成有導引凹槽31a，31b，32a，32b。 T 型螺帽（相當於 「安裝構件」之物件） _ 45,46,47八，476,47(：，471)，47£係可滑動地安裝在軌道31導引 凹槽31a及軌道32導引凹槽3 2a上。氣體單元1，2, A〜E之 單元固定板35, 36, 37A，37B，37C，37D，37E係固定在T型螺帽 45, 46, 47A，47B’ 47C，47D，47E，在連結鄰接氣體單元之狀態 下，被保持在轨道31，32。 如第2圖所示，在製程氣體用單元固定板35固定有製 程氣體手動閥11、壓力計13、空氣操作閥14及止回閥15, 在略微偏右側位置上’固定有製程氣體用流路塊1 61。 ® 沖洗氣體用單元固定板36固定有沖洗氣體手動閥22、 壓力计2 4及空氣操作閥2 5 ’在略微偏右側位置上，固定有 沖洗氣體用流路塊261及製程氣體用流路塊ι61。 第1〜4氣體單元A〜D係相同構造，所以在此參照第3 圖來說明第4氣體單元D’第1〜3氣體單元a〜c則省略說 明。在第4單元固定板3 7D自上而下固定有第i手動閥18£)、 壓力計20D、調壓器21D、第3空氣操作閥27D及第2手動 閥17D，在略微偏右側位置上，固定有沖洗氣體用流路塊261 及製程氣體用流路塊1 61。

2097-7103-PF 1338755 在第5單元固定板37E自上而下固定有第1手動間 18E、壓力計20E、調壓器21E、第3空氣操作閥27E及第2 手動閥17E，在避開第4氣體單元D製程氣體用流路塊ι61 而略微偏右側位置上，固定有既有製程氣體共通流路端部手 動閥28。又’在避開第4氣體單元D沖洗氣體用流路塊26 1 , 而略微偏右側位置上，固定有既有沖洗氣體共通流路端部手 動閥2 9。 上述氣體單元1，2, A~E之製程氣體用流路塊161們及第 籲4氣體單元D製程氣體用流路塊161及第5氣體單元E製程 氣體用流路端部手動閥28，係透過製程氣體用連接塊6 1 (例 如參照第3圖）而相互連通（參照第2圖），構成製程氣體 共通流路1 6 (參照第1圖）。 又，氣體單元1，2, A〜E之沖洗氣體用流路塊261們及第 4氣體單元D沖洗氣體用流路塊2 61及第5氣體單元E沖洗 氣體用流路端部手動閥29，係透過製程氣體用連接塊62(例 如參照第3圓）而相互連通（參照第2圖），構成沖洗氣鱧 籲共通流路2 6 (參照第1圖）。 而且’如第 4 圖所示，單元固定板 35，36，37A，37B，37C，37D, 37E下表面與軌道31，32上表面之 間，配設有隔板（相當「高度調整機構」之物件） 50,51，52A，52B，52C，52D，52E，調整各管路之高度。 在上述既有氣體單元之外，如第2圖所示，增設第6氣 體單元F係固定於第6單元固定板3 7F。亦即，在第6氣體 單元F自上而下固定有第1手動閥18F、壓力計20F、調壓 器21F、第3空氣操作閥27F及第2手動閥17F，在略微偏 2097-7103-PF 18 1338755 右側位置上，固定有與既有製程氣體共通流路端部手動間Μ 不同之製程氣體共通流路端部手動閥41及與既有沖洗氣體 共通流路端部手動閥29不同之沖洗氣體共通流路端部手動 閥42 X ’鄰接製程氣體共通流路端部手動閥41及沖洗氣 體共通流路端部手動閥42，固定有製程氣體用連接塊Η及 沖洗氣體用流路塊6 2。 接著，參照第5〜12圖說明在上述氣體供應組合單元上 增設第6氣體單元F之順序。而且，在本實施形態中，結合 第5氣體單元E及第6氣體單元？而增設管路所以，在各 俯視圖及側視圖中圖示第5、6氣體單元E，F，其他氣體單元 等則適宜省略之。 首先’如第5圖所示，使τ型螺帽47F 一個個可滑動地 安裝到軌道31，32。將T型螺帽47F安裝到軌道31，32之方 法相同，所以，在此僅說明軌道31。 軌道31導引凹槽3la，31b,如第6圖所示，由剖面略 微三角形之軌道凹槽及寬度略小於軌道凹槽而朝軌道31上 方開口之開口部所構成。τ型螺帽47F，係寬度與氣體單元 節距寬度相同之棒狀物件，對應導引凹槽31a 31bi軌道凹 槽而形成刮面略呈三角形β τ型螺帽47F上在對應形成於 第6單元固定板37F之穿孔371，371 (參照第2圖）位置上， 形成有螺栓孔471,471。螺栓孔471在内周形成有母螺紋。T 型螺帽4 7F ’係在使形成有螺栓孔4 7丨，4 7丨之側面相對於軌 道31開口部傾斜之狀態下，自導引凹槽3丨b開口部上方插 入軌道凹槽，當螺栓孔471，471係由導引凹槽3ib開口部可 見之狀態下’被收納在導引凹槽3丨b軌道凹槽内時，緣部係 2097-7103-PF 19 1338755 被卡止在導引凹槽3 1 b開口部’所以，可滑動地被保持在轨 道31 〇 接著，如第5圖所示，使工件（相當「定位治具」之物 件）55分別安裝在T型螺帽47F螺栓孔471，471 —邊。工件 55前端部設有公螺紋，使其前端部自軌道31導引凹槽 • 插入而螺入T型螺帽47F螺栓孔47丨，藉此，安装到τ型螺 .帽47F。工件55, 55，係使成對角位置地安裝到T型螺帽 47F，47F。 θ 魯 因此，如第7、8圖所示，使第6氣體單元1?透過工件 55定位保持。在單元固定板37F，在4個角落形成有鎖固在 T型螺帽47F之螺栓V會貫穿之穿孔37卜使工件55插入該 ，穿孔371。工件55 ’係貫穿第6單元固定板37F對角位置， 使第6氣體單元F相對於第5氣體單元E平行配置。藉此， 第6氣體單元F係透過第6單元固定板3?f對合到了型螺帽 47F，同時，透過Τ型螺帽47F被保持在轨道31，32。因此， 例如即使氣體供應組合單元被安裝在壁面時， • F被工件55’55牽引而不會自執道31，32脫落，增設作業者 能自氣體供應組合單元及第6氣體單元ρ玫開兩手。 接著’如第7圖所示，使第6氣體單元F移動到既有第 5氣趙單元Ε側（圖中^頭方向）。第6氣體單元fat型 螺帽47F係透過工件55, 55而連結，所以，能使第6氣體單 元F與T型螺帽47F —體地沿著執道31，32簡單地平行移動。 在此，帛6氣體單元F製程氣體用連接塊61係透過第 3空氣操作閥27F，與製程氣體共通流路端部手動閥41相連 通。在製程氣體用連接塊61處，入口端部…係向上方開 2097-7103-PF 20 丄338755 口。另外，在第5氣體單元E製程氣體共通流路端部 :塊Γ端部咖係向下方開…此，當使製程氣趙用 入口端部61a與製程氣體共通流路端部手動 出 口端部 28b 自 μ-ττ + ι··· „ 下方向連結時，能使製程氣體共通流路】fi 長到製程氣體共通流路端部手動閥4丨為止。 *又’第6氣體單元F沖洗氣體用連接塊62係透 工氣操作閥27F，與沖洗氣體共通流路端部 ::在沖洗氣體用連接塊62處，入口端…向上^ 口另外’在第5氣體單元E沖洗氣體共通流路端部手 連接塊M⑷29b係向下方開口。藉此，當使沖洗氣體用 塊62入口端部62a與沖洗氣體共通流路端部手動 2端部州自上下方向連結時，能使沖洗氣體共通流路26 到製程氣體共通流路端部手動閥42為止。 當使第6氣體單^平行移動時，帛5氣體單元£，如 圖所示’在第5單元固定請與轨道31，32間配 二：板他另外’第6氣體單^在第6單元固定板37F /道3U2間並未配設有隔板52ρ。因此，第6氣體單元 '、立於比第5氣體單元E剛好僅低隔板52£厚度η之位置。 ==第6氣體單元F之製程氣體用連接塊61及沖洗氣體 路端=能不干涉到第5氣體單元E之製程氣體共通流 路W手動間28 &沖洗氣體共通流路端部手_29地平行 製程氣體用連接塊61入口端冑6U與製程氣體共通 手動閥28出口…8b之密封塾面、及沖洗氣艎 29出1 端部…與沖洗氣體共通流路端部手動閥 29出口端部29b之密封墊面不會受傷。

2097-7103-PF 21 1338755 螺巾a 47F寬度係與氣體單元節距寬度相同，所 以，當滑動第6 ϋ种s + 礼锻早το F直到τ型螺帽47F抵接到第5氣 體卓元Ε之Τ型螺 〇 ^目47Ε為止時，能很容易地設定第5氣體

單元£及第6氣趙單F 祖早το 即距寬度到既定值。 來使第6氣體單元F移動到既定位置，亦即， 分別使第6氣體單 几F製程氣體共通流路入口端部“a移動 到第5氣體單元ρ制& # Λ 製私氣體共通流路1 6出口端部28b正下 方之位置，又，伯分 之第6氣體單元f沖洗氣體共通流路26入 口端部62a移動$，丨& c产从 J第5氣體單元E沖洗氣體共通流路26出 口端部29b正下大 万之位置，如第9圖所示，工件55, 55維持 原樣，使螺栓V言食π — 行 頁穿早兀固定板37F無設任何物件之穿孔 371，而分別暫 寺固疋在Τ型螺帽47F螺栓孔471。亦即 螺栓V暫時固定第- 人 6孔體早兀F之對角位置（參照圖中χι 部及X2部）。夕& 冑，以螺栓v暫時固定第5氣體單元E製程 氣雜 /、通 ▲ aa n n 連接塊6“灰及第6氣體單元F製程氣體用 =Ε，ί照圖中X3部)，同時，以螺栓V暫時固定第5 元a = =體共通流路端部手動閥29及第6氣趙單 ； 用連接塊62 (參照圖中Χ4部）。 此時’第6單元固定板37F及τ 55來定位對角位置，即使在放開兩首之狀雖：二= 螺栓孔也m ^ U狀態下，穿孔371與 會重合。因此，增設作業之作 处你田兩 手而使螺怜卞菜者’月&使用兩 于而便螺栓V自第6單元固定板

螺栓孔471貫耷 茅孔371彺Τ型螺帽47F 員穿，以螺絲起子等旋轉螺扒ν ^ ， 速地暫時固定蟫扒 ^ ，而能簡易且迅 累检V。而且，形成在第^ 體共通流路端邻车^ 0 第5軋體早元ε製程氣 吩味手動閥28之螺

几兴形成在第6氣體單元F

2097-7103-PF 22 1338755 製程氣體用連接塊61之螺栓孔、及形成在第5氣體單元e 冲洗氣體/、通"Π·路端部手動閥2 9之螺栓孔與形成在第6氣 體單元F沖洗氣體用連接塊62之螺栓孔也會重合，作業者 '能使用兩手暫時固定螺栓v。 當第6氣體單元F使螺栓V螺人螺栓孔471而暫時固定 時’藉由螺紋的H第6氣體單會對齊第5氣體單元 E而上升，如第1圖側視圖所示，在第6單元固定板37Ft 表面與軌道31，32上表面之間會產生空間s。 • 之後，自T型螺帽47F，47F取下工件55, 55而自單元 固定板37F穿孔371拔出。而且，使螺检ν貫穿未設任何物 件之穿孔371，使其暫時固定在了型螺帽47F，47ρ螺栓孔 471,471。如此一來，第6氣體單元F係順序暫時固定第6 單元固定板37F之對角位置，戶斤以’在暫時固定時，不會傾 斜而與第5氣體單元卩扭曲。在此，如第“、丨丨圖所示， 使隔板52F分別配設在第6氣體單元F兩端部，調整第6氣 體單元F之高度。隔板52F，係設有缺口 521以避開螺栓v， 籲在其前端部形成有傾斜522。隔板52F，係自單元固定板3tf 端部，沿著第6氣體單元F氣體流向，在圖中箭頭N方向上， 分別插入單兀固定板37F下表面與軌道31，32上表面之間。 藉此，第6氣體單7〇卩係自轨道31，32僅被提高隔板521：'，521;' 厚度之高度，形成在第6氣體單元F製程氣體用連接塊61 之入口端部61a係連接到形成在第5氣體單元e製程氣體共 通流路端部手動閥28之出口端部28b，又，形成在第6氣體 單元F沖洗氣體用連接塊62之入口端部62a係連接到形成 在第5氣體單元E沖洗氣體共通流路端部手動閥29之出口 23

2097-7103-PF is) 1133875^ 端部29b。 在此狀態下’如第12圖所示，分別 體單元F之螺栓V更加鎖緊（參照圖中χ5，χ^定第6氣 使第6氣體單元w定在第5 ’广部）， 而且，在此情形下，為了防β c Τ型螺帽47F。 ^ ^ 為 第6氣體單元F傾钭，袅林扶 序更加鎖緊第6單元固定板w之’最好依 程氣體共通流路端部手& η 9β & 鈕此，既有製 部手動…二通時與增設製程氣體共通流路端 手動閥29與增設二J:通^ 通。 &體共通流路端部手㈣42也會相連 藉此’第6氣體單元F之增設工程就算結束。接著，關 閉第6氣體單元f之新g @ _ 4 »又表程乱體共通流路端部手動

及沖洗氣體共通流路端部手動閥42，關閉第2手動閥”F :開第i手動請及第3空氣操作間27F，打開第5氣體 單元E沖洗氣體共通流路端部手動閥2 9。 藉此，使沖洗氣體流動在第6氣體單元F内，以除去氣 體單兀内之水分。當水分充分去除，而半導體製造裝置側已 經準備完成時，關閉增設氣體單元第3控制閥27F，打開第 2手動閥1 7F，藉此，能使製程氣體供應到第6氣鱧單元 因此，當使用本實施形態氣體供應組合單元時，（) 具有與製程氣體共通流路16端部I6a連通之製程氣趙妓通 流路端部手動閥28及與沖洗氣體共通流路26端部26a連通 之沖洗氣體共通流路端部手動閥29 ;( b )與氣體單元氣體 1，2, A~E氣趙流向垂直交又，設有複數個而安裝有氣體單元 1，2，A〜E之轨道 31，32上形成有導引凹槽 2097-7103-PF 24 1338755 31a，31b，32a，32b，至少形成有2個螺栓孔47l 47i之τ型 螺帽47F係可滑動地安裝在導引凹槽31b，32a ; ( c)增設之 第6氣體單元F’係具有與製程氣體共通流路端部手動閥28 .連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥41及與沖洗氣體 共通流路端部手動閥29連通之另一製程氣體共通流路端部 手動間42,藉由使貫穿第6氣體單元ρ之螺栓v鎖固在螺检 孔471而安裝到T型螺帽47F，所以，使τ型螺帽47F螺检 孔471,471對合到第6氣體單元F之工時會減少，增設管路 _時之第6氣體單元F處理性也會變好。 亦即’當在T型螺帽僅形成！個螺栓孔時，雖然必須使 4個T型螺帽分別對合到單元固定板穿孔，但是，如本實施 形態所示，當在T型螺帽47F設置2個螺栓孔471時，當使 一邊螺栓孔471對合到穿孔371時，另一邊螺栓孔4?1 ^自 動對合到另一穿孔371。因此，本實施形態氣體供應組合單 元，係能使第6單元固定板37F穿孔371簡單地對合到7型 螺帽71F螺栓孔47卜而使第6氣體單元μ裝到氣體供應 春組合單元。 而且，本實施形態氣體供應組合單元，τ型螺帽4汀係 具有與氣體單元Α〜Ε節距寬度相同之寬度，所以，能容易 «•定第6氣體單元ρ及第5氣體單元E之節距寬度。 又，當使用本實施形態氣體供應組合單元時，（a )具 有與製程氣體共通流路16端部16a連通之製程氣體共通流 路端部手動目28及與沖洗氣體共通流路26❹…連通2 沖洗氣體共通流路端部手動閥29;⑴增設之第6氣體單 元F’係具有與製程氣體共通流路端部手動閥28連通之另一 2097-7103-PF 25 ,1338755 :==流:端部手動間4】及與沖洗氣雜共通流路端 口 _ 29連通之另—製程氣體共通流路端部手動間仏；

(C)用於使第6氣體單…接到第5氣體單元£之隔板 52F，係自第6氣體單元F _ n ^ 衣即之物件，所以，能容易 調整第6氣體單元F之高度，拎μ总故姓 也會變好。 〜路時之氣體單元處理性 而且，本實施形態氣體供 硿# < 士 /s 筱供應組合早兀，係在隔板52F前 端邛权有傾斜522，所以，能使

此便隔板52F在第6氣體單元F 下表面與軌it 31，32±表面之間簡單地裝卸。 又’當使用本實施形態氣體單元之增設方法時，⑺ 氣體供應組合單元，係具有與製 另兴各程軋體共通流路1 6端部1 6a 連通之製程氣體共通流路踹Λ ,„ oe 硌鸲。卩手動閥28及與沖洗氣體共通 流路26端部26a連通之沖洗高 r '无軋體共通流路端部手動閥2 9 ;

(b)在與氣體單元12 A

Ec體流向垂直交又而設有複數 個的轨道31，32上安裝有氣栌留__ 1 〇 _ 有礼體早儿1，2, A〜E，增設之第6氣 體早兀F，係具有诳劁法s盔^ 、 礼體，、通流路端部手動閥28連通之 另 製私氣體共通流路端邮主* Ββ ^ 。卩手動閥41及與沖洗氣體共通流 路端部手動閥29連通之s 在丨 产 μ ,、 逑、之另—製程氣體共通流路端部手動閥 42 ’（ c )在軌道μ 32卜 # , ’ / 成有導引凹槽 31a, 31b，32a，32b，

δ又於氟體單元i2A〜F A ，， 兩端部之軌道31，32導引凹槽 冑力別可滑動地安裝有τ型螺帽47F ’使工件55 IS二型螺帽4?F後’透過工件55,使第6氣體單元F 相對於τ型螺帽47F定位仅& 保持後，使第6氣趙單元f與Τ型 螺帽47卜體移動到 Κ體早U興 ^ B 位置，之後，結合第5氣體單元Η： 與第6軋體單元F，闾拉，6 f 女裝第6氣體單元p·到τ塑螺帽

2097-7103-PF 26 1338755 47F，取下工件55，所w，缺，、，2 n X 此M兩手實施增設作業，增設管 路時之氣體單元處理性士合# 生也會釔好。此時，特別是當使氣體供 應組合單元安裝在壁面時，非常有效。 而且’在此情形下，T型螺帽47F上形成有2個螺栓孔 47!，47丨第6氣體單元F第6單元固定板，係在兩端部 分別形成2個穿設有螺耠v之空τ丨。^ , 糸锃V之穿孔371，371，使插通穿孔371 之螺栓V鎖固到τ型蟫俨4 7 F i罗^

系巾目47F螺栓孔471，藉此，安裝到T 型螺帽4 7 F ’其中使工件5 5虫累入rp fl|| ^ 干bb螺入T型螺帽47F螺栓孔471，471 一邊而安裝後，藉由佼工杜Η杯 史件插通第6單元固定板37F穿 孔3 71 ’以定位保持第6翁體嚴亓ρ . 丁乐b孔遛早兀F，之後，使螺栓ν貫穿 第6氣體單元F工件55失插iS空ti <卞DD禾描通穿孔371而鎖固到τ型螺帽 4 7 F螺检孔4 71 ’之後，自τ型螺❿7 f 田 仪目1 i螺Ί1目47F螺栓孔471取下工 件5 5 ’然後使螺栓V貫穿穿設過工杜ς e ,. 貝牙牙又幻工件55之穿孔371而鎖固 到T型螺帽47F螺栓孔471，所以，茲山 yiL rr L 4/1所M 藉由工件55能對合T型 螺帽4 7 F螺栓孔4 71盥第6箪元m中4c。^ + | h、乐〇早tl固疋板37F穿孔371，使用 兩手就能使螺栓v鎖固到τ型螺帽47F螺栓孔471，能簡單 而快速地實施管路增設作業。 而且，雖然針對上述實施形態說明過，但是，本發明並 不侷限於上述實施形態，可有種種應用。 例如，在上述貫施形態中，在T型螺帽4 7 ρ上設置2個 螺栓孔4Π，47卜同時，在單元固定板37兩端部分別設置2 個穿孔371。相對於此，也可以在Τ型螺帽47F及單元固定 板37上，設置3個以上之螺栓孔471或穿孔371。在此情形 下，當使τ型螺帽47F及氣體單元以工件55對合時，螺栓 孔471與穿孔371會被對合’所以，對合作業會很快完成。 2097-7103-PF 27 例如，在上述實施形態中，使增設第6氣體單元ρ移動 到既S* v入 又位置而定位後，配設隔板52F而調整高度《相對於此， 、使氡體供應組合單元之氣體單元1，2，A~E不以隔板 5 〇，51 g 〇 第:調整岗度，使隔板52F安裝在第6氣體單元卩，使 * 6氣體單元F定位在既定位置後拔出隔板52F，而

OO ' 早疋1?相對於第5氣體單元E對合。 】如’在上述實施形態中’定位治具係使用工件5 5。 相對於！i卜，a + _ 、 备疋位治具，係只要是使ΐ型螺帽47F與氣體單 疋連結而能沿著軌道31，32 —體滑動之物件即可，並不侷限 於工件55。 】 在上述實施形態中，使第6氣體單元F暫時固定 在 Τ型螺帽4 7 Ρ & _ 灸，雖然使第6氣體單元F製程氣體用連接 视6 1及、;中·法洛μ ^ αο ；用連接塊62，以螺栓V暫時固定在第5氣 渡早元Ε製程Jj脚 軋體共通流路手動閥28及沖洗氣體共通流路 手動閥29上，徊β 疋’也可以將暫時固定之順序顛倒。 例如，在上+ 作閥27Α，27Β...。^施形態中，第3控制閥使用帛3空氣操 目對於此，第3控制閥也可以使用手動閥。 【圖式簡單說明】 第1圖係表 成之回路圖。 示本發明實施形態之氣體供應組合單元構 第2圖係表示楚，π ^ Q ^ 第1圖氣體供應組合單元構成之俯視圖。 第圖係表示 弟丨圖氣體供應組合單元之局部放大俯視 第4圖係表， ’、不第1圖氣體供應組合單元之側視圖。

2097-7103-PF 28 1338755 第5圖係第1圖氣體供應組合單元之俯視圖’其表示將 安裝構件加以安裝之順序。 第6圖係說明第1圖氣體供應組合單元安裝構件之安裝 構造說明圖。 第7圖係第1圖氣體供應組合單元之俯視圖’其表示定 位保持增設氣體單元之順序及移動增設氣體單元之順序。 第8圖係第1圖氣體供應組合單元之側視圖，其表示定 位保持增設氣體單元之順序及移動增設氣體單元之順序。 第9圖係第1圖氣體供應組合單元之側視圖，其表示暫 時固定之順序。 第1 0圖係第1圖氣體供應組合單元之側視圖，其表示 調整高度之順序。 第11圖係第1圖氣體供應組合單元之俯視圖，其表示 調整高度之順序。 第12圖係第1圖氣體供應組合單元之俯視圖，其表示 增加鎖緊度之順序。 第1 3圖係表示先前氣體供應組合單元構成之回路圖。 第1 4圖係表示具體化第1 3圖後之構成的俯視圖。 第15圖係表示先前增設後氣體供應組合單元之回路 圖。 第1 6圖係表示具體化第1 5圖後之構成的俯視圖。 【主要元件符號說明】 1 製程氣體用氣體單元 2 沖洗氣體用氣體單元 2097-7103-PF 29

[1338755 I

A, B, C, D, E 氣 體 單 元 F 增 設 氣 體 單 元 16 製 程 氣 體 共 通 流 路 16a 端 部 17A， 17B， 17C,17D,17E 第 2 手 動 閥 18A，18B，18C，18D，18E 第 1 手 動 閥 26 沖 洗 氣 體 共 通 流 路 26a 端 部 27A，27B，27C，27D，27E 第 3 空 氣操 作 閥 28 製 程 氣 體 共 通 流 路 端 部 手 動 閥 29 沖 洗 氣 體 共 通 流 路 端 部 手 動 閥 41 製 程 氣 體 共 通 流 路 端 部 手 動 閥 42 沖 洗 氣 體 共 通 流 路 端 部 手 動 閥 47F T 型! 曝- 帽 471 螺 栓 孔 37F 第 6 單 元 固 定 板 371 穿 孔 52F 隔 板 522 傾 斜 55 工 件 2097-7103-PF 30

Claims (1)

1338755 十、申請專利範圍·· 1 ·—種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口流路 之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路相連 通位置上之第2手動閥及設於使第1手動閥與沖洗氣體共通 流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊争聯成一體之 氣體單元， 其特徵在於： 具有與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流 #路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體 共通流路端部手動閥； 與氣體單元氣體流向垂直交又，設有複數個而安裝有氣 體單元之軌道上形成有導引凹槽，至少形成有2個螺栓孔之 安裝構件係可滑動地安裝在導引凹槽； 增設之氣體單元’係具有與製程氣體共通流路端部手動 閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體 共通流路端部手動閥連通之另一製程氣體共通流路端部手 鲁動閥，藉由使貫穿增設氣體單元之螺栓鎖固在螺拴孔而安裝 到安裝構件。 ~ 2_如申請專利範圍第1項所述之氣體供應組合單元，其 中’安裝構件係具有與氣體單元節距寬度相同之寬度。 3. 一種氣體供應組合單元，具有複數個使設於出口流路 之第1手動閥、設於使第1手動閥與製程氣體共通流路相連 通位置上之第2手動閥及設於使第i手動閥與沖洗氣體共通 流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成—^之 2097-7103-PP 31 1338755 其特徵在於： 具有與製程氣體共通流路端部連通之製程氣體共通流 路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路端部連通之沖洗氣體 • 共通流路端部手動閥； 增設之氣體單元，係具有與製程氣體共通流路端部手動 .間連通之另-製程氣體共通流路端部手動間及與沖洗氣體 .共通流路端部手動Μ連it之另—t程氣體#通流路端部手 動閥； • 用於使增設氣體單元連接到既設氣體單元之高度調整 機構’係自增設氣體單元端部著脫之物件。 4. 如申請專利範圍第3項所述之氣體供應組合單元，其 . 中’向度調整機構在前端部設有傾斜。 ' 5. 一種氣體單元之增設方法，在具備複數個使設於出口 流路之第1手動閥 '設於使第1手動閥與製程氣體共通流路 相連通位置上之第2手動閥及設於使第丨手動閥與沖洗氣體 共通流路相連通位置上之第3控制閥，藉由流路塊串聯成一 籲體之氣體單元的氣體供應組合單元處，增設氣體單元， 其特徵在於： 氣體供應組合單元，係具有與製程氣體共通流路端部連 通之製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體共通流路 端部連通之沖洗氣體共通流路端部手動闊，在與氣趙單元氣 體流向垂直交叉而設有複數個的執道上安裝有氣體單_ . 增設之氣體單元’係具有與製程氣體共通流路端部手動 閥連通之另一製程氣體共通流路端部手動閥及與沖洗氣體 共通流路端部手動闕連通之另一製程氣體共通流路端部手 2097-7103-PF 32 動閥； 軌道道3广上形成有導引凹槽’至少設於氣體單元兩端部之 凹槽處，分別可滑動地安裝安裝構件，使定位治具 安裂以裝構件後’透過定位治具，使增設之氣體單元與 文」冓件一體移動到既定位置後，結合氣體供應組合單元及 :-又風體單兀’同時，安裝増設氣體單元到安裝構件，取下

5項所述之氣體單元之增設方 形成有2個螺栓孔； 6.如申請專利範圍第 法，其中，安裝構件上至少 螺栓之穿孔在兩端部至少形成2 到螺栓孔，藉此，安裝到安裝構 增設氣體單元係穿設有 個，使插通穿孔之螺栓鎖固 件， 其特徵在於： 使定位治具安裝到安袭 具插通料氣體單元之穿孔，：〜螺拾孔後’藉由使定位治 後，使螺栓貫穿增設氣體單元之：立保持增設氣體單元’之 到安裝構件螺栓孔，之後，自:位冶具未插通穿孔而鎖固 具，然後使螺栓貫穿穿設過定二裝構件螺栓孔取下定位治 件螺栓孔。 /、之穿孔而鎖固到安裝構 2097-7103-PF 33