JPH11294698A - ガス供給設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安全性の向上やパージ操作等の効率向上等を
図れるガス供給設備を提供する。 【解決手段】 容器弁９１から減圧弁９６までの高圧経
路を高圧弁ブロック９内に形成し、高圧弁ブロック９に
容器弁９１と減圧弁９６とを直接接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス供給設備に関
し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材
料ガスの供給に適したガス供給設備に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性，可燃性，腐
食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、こ
のようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用に
あたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。

【０００３】上述のような特殊な材料ガスを供給する設
備として、例えば、特許第２５０１９１３号公報に記載
されているようなオートシリンダーボックス（シリンダ
ーキャビネット）が知られている。この設備は、安全性
を考慮したキャビネット内に２本の材料ガス容器と必要
に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前
記２本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続
的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されて
おり、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ
等の操作も自動的に行うようにしている。

【０００４】ところが、従来のシリンダーキャビネット
では、様々な大きさの材料ガス容器に対応するため、キ
ャビネットに固定された各種配管と容器弁との間に蛇管
等の可撓性の配管を設けていた。このため、材料ガス供
給用の配管に設けられている減圧弁と容器弁との距離、
すなわち、高圧状態の材料ガスが流れる高圧経路が長く
なっていた。

【０００５】上述のような高圧経路は、潜在的危険性を
有するものであり、安全面からは、できるだけ短くして
おくことが好ましく、可撓性の配管も低圧部に設けるこ
とが好ましい。また、材料ガス容器の交換の際に行う残
ガスの排出や経路内のパージ，気密試験，ガス置換等の
操作は、高圧経路を含む材料ガスの経路を対象として行
うため、高圧経路を短くすれば、これらの操作も効率よ
く行うことができる。

【０００６】そこで本発明は、材料ガスを充填したガス
容器の容器弁から減圧弁までの高圧経路を短縮して安全
性を向上するとともに、材料ガス容器を交換する際のパ
ージ操作等も効果的に行うことができるガス供給設備を
提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガス供給設備は、第１の構成として、ガス
容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設けられた容器弁か
ら高圧弁，減圧弁，低圧弁を介して使用先に送出するガ
ス供給経路と、前記容器弁と高圧弁との間の高圧経路に
パージガス導入弁を介してパージガスを導入するパージ
ガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路
からパージガス導出弁を介してパージガスを導出するパ
ージガス導出経路とを備えるとともに、前記容器弁への
接続部から前記減圧弁への接続部に至る高圧経路及び前
記パージガス導入経路を一つの弁ブロックに一体的に形
成し、かつ、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経路を可
撓性の配管により形成したことを特徴としている。

【０００８】また、本発明のガス供給設備における第２
の構成は、ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に設け
られた容器弁から減圧弁，低圧弁を介して使用先に送出
するガス供給経路と、前記容器弁と減圧弁との間の高圧
経路にパージガス導入弁を介してパージガスを導入する
パージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間の低
圧経路からパージガス導出弁を介してパージガスを導出
するパージガス導出経路とを備えるとともに、前記容器
弁への接続部から前記減圧弁への接続部に至る高圧経路
及び前記パージガス導入経路を一つの弁ブロックに一体
的に形成し、かつ、前記減圧弁と低圧弁との間の低圧経
路を可撓性の配管により形成したことを特徴としてい
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のガス供給設備を
半導体製造用材料ガスを供給するためのシリンダーキャ
ビネットに適用した一形態例を示す系統図、図２乃至図
５は本発明のガス供給設備で使用する高圧弁ブロックの
一形態例を示すもので、図２は断面正面図、図３は同じ
く平面図、図４は図２のIV−IV線断面図、図５は図２の
Ｖ−Ｖ線断面図である。

【００１０】本形態例に示すガス供給設備は、メインキ
ャビネットＡと、該メインキャビネットＡに順次接続さ
れるサブキャビネットＢ１，Ｂ２とを有するもので、各
キャビネット内には、所定の材料ガスを充填したガス容
器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３が各々１本ずつ収納されている。

【００１１】メインキャビネットＡには、材料ガスを使
用先に送出する材料ガス供給経路１と、パージガス導入
用のパージガス導入経路２ａと、このパージガス導入経
路２ａに切換弁ブロック３の部分で接続した高圧気密試
験用の高圧ガスを導入する高圧ガス導入経路２ｂと、パ
ージガス導出用のパージガス導出経路５と、パージガス
導出用の駆動ガスとして使用する駆動ガス導入経路６と
が接続されており、各キャビネット間は、ガス供給用接
続経路１ａ，１ｂ、パージガス導入用接続経路２ｃ，２
ｄ、パージガス導出用接続経路５ａ，５ｂによってそれ
ぞれ接続している。

【００１２】さらに、メインキャビネットＡ内には、前
記切換弁ブロック３の他、材料ガス供給弁ブロック７
と、パージガス吸引弁ブロック８とが設けられ、メイン
・サブ両キャビネット内には、高圧弁ブロック９，９
ａ，９ｂと低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂとが設
けられ、各弁ブロック内には、空気圧により作動する自
動弁等が設けられている。

【００１３】前記切換弁ブロック３は、パージガス弁３
１及び高圧ガス弁３２を有するもので、該切換弁ブロッ
ク３より上流側のパージガス導入経路２ａには、高圧ガ
スが逆流することを防止するための逆止弁３３が設けら
れており、高圧ガス導入経路２ｂは、この切換弁ブロッ
ク３の下流側に設けられた圧力センサー３４の部分でパ
ージガス導入経路２に合流している。さらに、このパー
ジガス導入経路２は、三方弁からなるパージガス分岐弁
３５，３５ａ，３５ｂにより、各キャビネット内の高圧
弁ブロック９，９ａ，９ｂに向かうパージガス導入経路
２ｅ，２ｆ，２ｇと、次段のサブキャビネットＢ１，Ｂ
２に向かう前記パージガス導入用接続経路２ｃ，２ｄと
に分岐している。

【００１４】前記パージガス分岐弁３５，３５ａ，３５
ｂは、開状態で３本の経路がそれぞれ連通した状態とな
り、閉状態では特定の１本の経路のみが閉じられ、他の
２本の経路が連通した状態となるものが用いられてい
る。例えば、メインキャビネットＡのパージガス分岐弁
３５では、パージガス導入用接続経路２ｃが接続した経
路のみが開閉され、サブキャビネットＢ１のパージガス
分岐弁３５ａでは、パージガス導入用接続経路２ｄが接
続した経路のみが開閉されるように形成されている。

【００１５】前記材料ガス供給弁ブロック７は、材料ガ
スの供給を遮断する材料ガス遮断弁７１とフィルター７
２とを有しており、パージガス吸引弁ブロック８は、パ
ージガス吸引弁８１と、パージガス吸引用のエジェクタ
ー８２と、駆動ガス導入弁８３とを有している。また、
パージガス吸引弁ブロック８の上流側の駆動ガス導入経
路６には、材料ガス等が駆動ガス導入経路６に逆流する
ことを防止するための逆止弁８４が設けられている。

【００１６】前記低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂ
は、材料ガスの供給経路を切換えるための低圧弁１１，
１１ａ，１１ｂと、パージガス等を導出するためのパー
ジガス導出弁１２，１２ａ，１２ｂとを有するととも
に、メインキャビネットＡに複数のサブキャビネットＢ
１，Ｂ２を接続したときの各材料ガス経路を１本にまと
めるための自動三方弁からなる合流弁１３，１３ａ，１
３ｂとを有している。

【００１７】この合流弁は、前記パージガス分岐弁３５
と同様に、開状態で３本の経路がそれぞれ連通し、閉状
態では特定の１本の経路のみが閉じられ、他の２本の経
路が連通した状態となるものであって、メインキャビネ
ットＡの合流弁１３では、ガス供給用接続経路１ａが接
続した経路のみが開閉され、サブキャビネットＢ１の合
流弁１３ａでは、ガス供給用接続経路１ｂが接続した経
路のみが開閉される。

【００１８】また、各パージガス導出弁１２，１２ａ，
１２ｂの二次側には、次段のサブキャビネットからのパ
ージガス経路を１本にまとめるためのチーズからなるガ
ス合流部１４，１４ａ，１４ｂが設けられている。

【００１９】なお、本形態例において末端となるサブキ
ャビネットＢ２では、前記合流弁１３ｂ及びパージガス
分岐弁３５ｂは常に閉じ状態であり、該サブキャビネッ
トＢ２に第３のサブキャビネットを増設する際に設けら
れる接続経路１ｃ，２ｈを接続するための口は閉じられ
た状態になっている。また、ガス合流部１４ｂにおける
接続経路５ｃの接続口には、圧力の検出と同時に接続口
を閉塞するための圧力センサー５ｄが装着されている。

【００２０】前記高圧弁ブロック９，９ａ，９ｂは、ガ
ス容器の容器弁９１，９１ａ，９１ｂに接続する容器弁
接続部９２，９２ａ，９２ｂと、高圧材料ガスの供給を
制御するための高圧弁９３，９３ａ，９３ｂと、パージ
ガスの導入を制御するためのパージガス導入弁９４，９
４ａ，９４ｂと、圧力センサー９５，９５ａ，９５ｂと
が設けられており、高圧弁９３，９３ａ，９３ｂの二次
側のブロック出口部には、減圧弁９６，９６ａ，９６ｂ
が接続されている。

【００２１】また、上記減圧弁９６，９６ａ，９６ｂで
減圧された材料ガスが前記低圧弁ブロック１０，１０
ａ，１０ｂに向かって流れる低圧経路９７，９７ａ，９
７ｂは、様々な大きさの材料ガス容器に対応するため、
蛇管等の可撓性を有する配管材料により形成されてお
り、低圧側の圧力センサー１５，１５ａ，１５ｂを介し
て低圧弁ブロック１０，１０ａ，１０ｂに接続されてい
る。

【００２２】図２乃至図５は、前記高圧弁ブロック９の
一例を示すものである。この高圧弁ブロック９は、金属
製のボディ１０１に、材料ガスやパージガスが流れる経
路を穿孔し、各経路の所定位置に、前記容器弁接続部９
２，高圧弁９３，パージガス導入弁９４及び圧力センサ
ー９５と、前記減圧弁９６を接続する減圧弁接続部１０
２と、前記パージガス導入経路２ｅを接続するパージガ
ス導入経路接続部１０３とを設けたものであり、容器弁
接続部９２，減圧弁接続部１０２及びパージガス導入経
路接続部１０３は、入口側経路１０４，出口側経路１０
５及びパージガス入口経路１０６にそれぞれ連通するよ
うに固着された連結管９２ａ，１０２ａ，１０６ａと、
連結固定用の袋ナット９２ｂ，１０２ｂ，１０３ｂとに
より形成されている。

【００２３】また、圧力センサー９５は、ボディ１０１
内の経路１０７，１０８を接続するための溝９５ａを有
する台座９５ｂを介してボディ１０１に取付けられてお
り、圧力センサー９５の先端には、電源及び出力用のケ
ーブルを接続するケーブル接続部９５ｃが設けられてい
る。

【００２４】前記パージガス導入弁９４は、容器弁接続
部９２と高圧弁９３との間の高圧経路を構成する入口側
経路１０４から分岐した経路１０９と、パージガス導入
経路接続部１０３に連通する経路１１０との連通状態を
開閉するものであって、ガイド筒９４ａ内のピストン９
４ｂを空圧作動部９４ｃによって作動させ、ダイヤフラ
ム９４ｄによって両経路１０９，１１０の開口端を開閉
するように形成されている。

【００２５】また、前記高圧弁９３も同様の構造のもの
であって、空圧作動部９３ｃの作動により、ガイド筒９
３ａ内のピストン９３ｂを介してダイヤフラム９３ｄが
作動し、経路１０８に連通する経路１１１及び前記経路
１０５の開口端を開閉する。

【００２６】次に、このように形成したガス供給設備に
よる材料ガスの供給動作を説明する。まず、メインキャ
ビネットＡのガス容器Ｃ１から材料ガスを使用先に供給
している場合、ガス容器Ｃ１の容器弁９１，高圧弁９
３，低圧弁１１，合流弁１３及び材料ガス遮断弁７１が
開状態であり、パージガス導入弁９４及びパージガス導
出弁１２が閉状態である。

【００２７】したがって、ガス容器Ｃ１内の材料ガス
は、容器弁９１から容器弁接続部９２を経て高圧弁ブロ
ック９内に流入し、各経路及び高圧弁９３を通り、減圧
弁９６で所定圧力に減圧された後、低圧経路９７，圧力
センサー１５を経て低圧弁ブロック１０に流入し、低圧
弁１１及び合流弁１３を通って材料ガス供給弁ブロック
７に入り、材料ガス遮断弁７１とフィルター７２とを通
過して材料ガス供給経路１から使用先に供給される。

【００２８】このとき、サブキャビネットＢ１でガス容
器Ｃ２の交換を行う場合、安全性を確保するため、最初
に、サブキャビネットＢ１の経路内に残留する材料ガス
の除去が行われる。この材料ガスの除去操作は、上述の
材料ガス供給状態から、容器弁９１ａ及び低圧弁１１ａ
を閉じてパージガス導出弁１２ａを開き、パージガス吸
引弁ブロック８のパージガス吸引弁８１及び駆動ガス導
入弁８３を開状態として行われる。

【００２９】これにより、駆動ガス導入経路６からパー
ジガス吸引弁８１を介して導入される駆動ガスによりエ
ジェクター８２に吸引力が発生し、この吸引力により、
容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの間の経路に存在す
るガスが、パージガス導出弁１２ａ，ガス合流部１４ａ
及びパージガス導出用接続経路５ａを経てメインキャビ
ネットＡ内のガス合流部１４及びパージガス吸引弁８１
を介してエジェクター８２に吸引され、パージガス導出
経路５から導出される。

【００３０】この残留ガスの排気状態は、圧力センサー
５ｄ，１５ａ，９５ａにより確認することができ、所定
の真空度に達した後、高圧弁９３ａあるいはパージガス
導出弁１２ａを閉じて所定時間放置することにより、容
器弁９１ａからのリークの有無、すなわち、容器弁９１
ａが確実に閉じられていることを確認できる。

【００３１】次に、容器弁９１ａ及び高圧弁９３ａを閉
じた状態でパージガス弁３１及びパージガス導入弁９４
ａを開き、パージガス導入経路２ａからのパージガス、
通常は高純度窒素ガスを容器弁９１ａと高圧弁９３ａと
の間の高圧経路に導入する操作と、パージガス導入弁９
４ａを閉じて高圧弁９３ａを開き、高圧経路内のガスを
前記同様にしてパージガス導出経路５から導出する操作
とを適当回数繰り返し、容器弁９１ａ部分の材料ガスを
確実に排除してガス容器Ｃ２を安全に取外せる状態にす
る。

【００３２】次に、ガス容器交換時に、容器弁接続部９
２ａから高圧弁ブロック９ａ内の経路に大気成分が入り
込むことを防止するため、パージガス弁３１及びパージ
ガス導入弁９４ａを開いたままとし、パージガスを容器
弁接続部９２ａから外部に吹出す状態にしてガス容器Ｃ
２を交換する。

【００３３】ガス容器Ｃ２を交換して容器弁９１ａに高
圧弁ブロック９を接続したら、容器弁９１ａから低圧弁
１１ａまでの間の経路のガスをエジェクター８２を介し
てパージガス導出経路５から抜き出して真空状態とした
後、パージガス導出弁１２ａ及び高圧弁９３ａを閉じて
放置することにより、容器弁９１ａとの接続部等からの
リークの有無を確認する低圧気密試験と、容器弁９１ａ
と高圧弁９３ａとの間の高圧経路を、高圧ガス導入経路
２ｂから高圧ガス弁３２，パージガス導入経路２等を経
て導入される高圧ガス（高純度窒素ガス）で所定圧力に
加圧して放置することによりリークの有無を確認する高
圧気密試験とを行い、容器弁９１ａとの接続状態を確認
する。

【００３４】さらに、容器弁９１ａの接続確認を終えた
ら、ガス容器交換時に経路内に入り込んだ可能性のある
大気成分を確実に除去するためのパージ操作を行う。こ
のパージ操作は、容器弁９１ａから低圧弁１１ａまでの
間の経路へのパージガスの導入と、導入したパージガス
の真空排気とを繰返すことにより行われる。

【００３５】また、適宜に前記同様の低圧気密試験と高
圧気密試験とを行い、容器弁９１ａ，高圧弁９３ａ，パ
ージガス導入弁９４ａ，減圧弁９６ａ，低圧弁１１ａ，
パージガス導出弁１２ａや圧力センサー１５ａ，９５ａ
の取付部，配管接続部等の気密試験を行う。

【００３６】各部にリークの無いことが確認されたら、
パージガス導入弁９４ａを閉じ、容器弁９１ａとパージ
ガス導出弁１２ａとを交互に開閉して容器弁９１ａから
低圧弁１１ａまでの間の経路に材料ガスを導入し、最終
的にこの経路内を材料ガスに置換した状態とする。

【００３７】これにより、サブキャビネットＢ１から材
料ガスを供給する準備が終了したことになる。材料ガス
の供給をメインキャビネットＡからサブキャビネットＢ
１に切換えるには、サブキャビネットＢ１の低圧弁１１
ａを開くとともに、メインキャビネットＡの低圧弁１１
を閉じることにより行われる。

【００３８】すなわち、サブキャビネットＢ１のガス容
器Ｃ２内の材料ガスは、容器弁９１ａから容器弁接続部
９２ａを経て高圧弁ブロック９ａ内に流入し、各経路及
び高圧弁９３ａを通り、減圧弁９６ａで所定圧力に減圧
された後、低圧経路９７ａ，圧力センサー１５ａを経て
低圧弁ブロック１０ａに流入し、低圧弁１１ａ，合流弁
１３ａからガス供給用接続経路１ａを通り、メインキャ
ビネットＡの合流弁１３，材料ガス遮断弁７１，フィル
ター７２を通過して材料ガス供給経路１から使用先に供
給される。

【００３９】各キャビネットにおけるガス容器の交換の
際には、上述のような手順が繰返されて各キャビネット
のガス容器から順次材料ガスが供給される。したがっ
て、ガス容器交換の際のパージ操作等で大量のパージガ
スを使用することになるが、前述のように、容器弁９１
から減圧弁９６までの高圧経路を高圧弁ブロック９内に
形成し、該高圧弁ブロック９に、容器弁９１と減圧弁９
６とを直接接続することにより、高圧状態の材料ガスが
流れる経路を、従来に比べて大幅に短縮することができ
る。

【００４０】すなわち、材料ガス供給時に高圧状態の材
料ガスが流れる経路を短縮でき、安全性が向上するだけ
でなく、材料ガス供給停止時に高圧経路内に残る材料ガ
スの量が減少し、材料ガスの放出量が減少するととも
に、高圧経路からの材料ガスの排出が減圧弁９６を介し
て低圧状態で行われるため、低圧経路に高圧ガスが流れ
込む危険性も無くなる。

【００４１】また、高圧気密試験の際に高圧経路内に充
填される高圧ガスの量も減少するので、その消費量が減
少するだけでなく、導入や排出に要する時間の短縮も図
れ、容積の減少によって高圧試験の精度も向上する。同
様に、ガス容器交換後の経路内の材料ガスへの置換も効
率よく行うことができ、材料ガスやパージガスの放出量
も低減できる。さらに、従来に比べて高圧経路を形成す
る部品点数を削減できるので、製造コストを低減できる
だけでなく、信頼性の向上も図れる。

【００４２】加えて、材料ガスの合流弁１３やパージガ
スのガス合流部１４及びパージガス分岐弁３５を設け、
ガス経路の接続によってサブキャビネットを増減できる
ように形成しているので、メインキャビネットに対して
任意の数のサブキャビネットを接続することが可能とな
り、使用先における材料ガスの使用量に応じて任意の本
数のガス容器を設置することができる。

【００４３】次に、サブキャビネットを追加接続する際
の操作について説明する。例えば、サブキャビネットＢ
１の次段にサブキャビネットＢ２を追加する場合、サブ
キャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とにおける合
流弁１３ａと合流弁１３ｂとをガス供給用接続経路１ｂ
で接続し、ガス合流部１４ａに取付けられている圧力セ
ンサー（５ｄ）を取外した後、ガス合流部１４ａとガス
合流部１４ｂとをパージガス導出用接続経路５ｂで接続
するとともに、取外した圧力センサー（５ｄ）をガス合
流部１４ｂに取付け、さらに、パージガス分岐弁３５ａ
とパージガス分岐弁３５ｂとをパージガス導入用接続経
路２ｄで接続する。

【００４４】この接続直後の状態は、各経路内に大気が
存在している状態であるから、最初に、各経路内の真空
排気とパージガスの導入とを繰返して大気成分を排出す
る操作を行う。このとき、サブキャビネットＢ２内の経
路から前段のガス供給用接続経路１ａに大気成分が入り
込まないように、サブキャビネットＢ２の合流弁１３ａ
は閉じた状態のままとし、パージガス分岐弁３５ａを開
いてサブキャビネットＢ２内の経路にパージガスを導入
できる状態とする。

【００４５】大気成分排出操作は、低圧弁１１ｂ及び高
圧弁９３ｂを開いた状態としたまま、パージガス導入弁
９４ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉し、容
器弁９１ｂからサブキャビネットＢ１の合流弁１３ａに
至る材料ガス通過経路全体についてパージガスの導入と
真空排気とを繰返すことにより行われる。さらに、前記
同様の低圧気密試験や高圧気密試験を行った後、容器弁
９１ｂとパージガス導出弁１２ｂとを交互に開閉するこ
とにより、材料ガス通過経路内を材料ガスで置換する。

【００４６】最後に合流弁１３ａを開くことにより、サ
ブキャビネットＢ１とサブキャビネットＢ２とが接続さ
れた状態となり、３本のガス容器Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３によ
る材料ガスの供給が行える状態となる。このようにサブ
キャビネットＢ２を追加することにより、材料ガス消費
量の増大等に容易に対処することができる。

【００４７】逆に、サブキャビネットＢ２を取外す場合
は、サブキャビネットＢ１の合流弁１３ａを閉じた後、
容器弁９１ｂから合流弁１３ａの間の材料ガス通過経路
に対しての真空引きとパージガスの導入とを繰返し、該
材料ガス通過経路内に残留する材料ガスを排出すること
により、各接続経路の取外しを安全に行うことができ
る。

【００４８】図６及び図７は、容器弁に取付ける弁ブロ
ックの他の形態例を示すもので、図６は断面正面図、図
３は平面図である。この弁ブロック９０は、前記高圧弁
ブロック９と同様のボディ１０１に、高圧弁９３に代え
て減圧弁９８を設けたものであり、容器弁（図示せず）
から容器弁接続部９２を通ってボディ１０１内の高圧経
路１０４に流入した高圧材料ガスは、経路１１２を通っ
て減圧弁９８に入り、該減圧弁９８で所定圧力に減圧さ
れた後、経路１１３を経て出口側連結管１１４に導出さ
れる。なお、圧力センサー９５は、高圧経路１０４と経
路１１２との接続部から分岐する経路１１５に連通する
ように取付けられている。また、パージガス導入弁９４
やパージガス導入経路接続部１０３は、前記高圧弁ブロ
ック９と同様に形成されているので、詳細な説明は省略
する。

【００４９】このように、減圧弁９８を一体形成した弁
ブロック９０を容器弁に直接取付けることにより、前記
同様に高圧経路の大幅な短縮を図ることができ、安全性
の向上、パージ及びガス置換等に要する時間の短縮、放
出ガス量の低減、信頼性の向上等が図れる。

【００５０】また、図８は、弁ブロックのさらに他の形
態例を示すものである。この弁ブロック２００は、ガス
容器の容器弁２０１に接続する容器弁接続部２０２と、
高圧弁２０３と、パージガス導入弁２０４と、圧力セン
サー２０５と、減圧弁２０６とを一つのブロックとして
一体形成したものであり、減圧弁２０６の二次側の低圧
経路接続部２０７に前記同様の可撓性を有する低圧経路
２０８が接続され、パージガス導入弁２０４の一次側に
パージガス導入経路２０９が接続される。

【００５１】さらに、図９は、高圧弁部分に単体の弁を
使用した例を示すものである。すなわち、ガス容器の容
器弁２１１に接続される接続部２１２に、前記同様の三
方弁からなるパージガス導入弁２１３と、圧力センサー
２１４と、高圧弁２１５と、減圧弁２１６とを直列に、
配管を介さずに直接接続したものであって、減圧弁２１
６の二次側に前記同様の可撓性を有する低圧経路２１７
が接続され、パージガス導入弁２１３の開閉可能な接続
口２１３ａにパージガス導入経路２１８が接続される。
このように、単体の弁を使用した場合でも、各弁や圧力
センサーを直接接続することにより、高圧経路を短縮す
ることができる。

【００５２】なお、各形態例において、減圧弁には、二
次圧力固定型（プリセット減圧弁）、二次圧力可変型の
いずれでも使用することができ、合流弁やパージガス分
岐弁は、三方弁に限るものではなく、任意の構造の弁を
必要に応じて組合わせた形態としてもよく、ガス合流部
に適宜な弁を用いてもよい。また、エジェクターに代え
て真空ポンプを用いることもできる。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス供給
設備によれば、毒性や可燃性等を有するガスが高圧状態
で流れる経路を大幅に短縮することができるので、安全
性の向上やパージ操作等の効率向上が図れるとともに、
製造コストや運転コストの低減も図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のガス供給設備の一形態例を示す系統
図である。

【図２】 高圧弁ブロックの一形態例を示す断面正面図
である。

【図３】 同じく平面図である。

【図４】 図２のIV−IV線断面図である。

【図５】 図２のＶ−Ｖ線断面図である。

【図６】 弁ブロックの他の形態例を示す断面正面図で
ある。

【図７】 同じく平面図である。

【図８】 弁ブロックのさらに他の形態例を示すブロッ
ク図である。

【図９】 高圧弁部分に単体の弁を使用したときの一形
態例を示すブロック図である。

【符号の説明】 １…材料ガス供給経路、１ａ，１ｂ…ガス供給用接続経
路、２ａ…低圧パージガス導入経路、２ｂ…高圧パージ
ガス導入経路、２ｃ，２ｄ…パージガス導入用接続経
路、３…切換弁ブロック、５…パージガス導出経路、５
ａ，５ｂ…パージガス導出用接続経路、５ｄ…圧力セン
サー、６…駆動ガス導入経路、７…材料ガス供給弁ブロ
ック、８…パージガス吸引弁ブロック、９，９ａ，９ｂ
…高圧弁ブロック、１０，１０ａ，１０ｂ…低圧弁ブロ
ック、１１，１１ａ，１１ｂ…低圧弁、１２，１２ａ，
１２ｂ…パージガス導出弁、１３，１３ａ，１３ｂ…合
流弁、１４，１４ａ，１４ｂ…ガス合流部、３５，３５
ａ，３５ｂ…パージガス分岐弁、８２…エジェクター、
９０…弁ブロック、９１，９１ａ，９１ｂ…容器弁、９
２，９２ａ，９２ｂ…容器弁接続部、９３，９３ａ，９
３ｂ…高圧弁、９４，９４ａ，９４ｂ…パージガス導入
弁、９５，９５ａ，９５ｂ…圧力センサー、９６，９６
ａ，９６ｂ…減圧弁、９７，９７ａ，９７ｂ…低圧経
路、９８…減圧弁、Ａ…メインキャビネット、Ｂ１，Ｂ
２…サブキャビネット、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…ガス容器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に
   設けられた容器弁から高圧弁，減圧弁，低圧弁を介して
   使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁
   との間の高圧経路にパージガス導入弁を介してパージガ
   スを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧
   弁との間の低圧経路からパージガス導出弁を介してパー
   ジガスを導出するパージガス導出経路とを備えたガス供
   給設備であって、前記容器弁に、三方弁からなるパージ
   ガス導入弁と、圧力センサーと、高圧弁と、減圧弁とを
   直列に直接接続するとともに、前記低圧経路を可撓性の
   配管により形成したことを特徴とするガス供給設備。
2. 【請求項２】 ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に
   設けられた容器弁から高圧弁，減圧弁，低圧弁を介して
   使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁
   との間の高圧経路にパージガス導入弁を介してパージガ
   スを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧
   弁との間の低圧経路からパージガス導出弁を介してパー
   ジガスを導出するパージガス導出経路とを備えたガス供
   給設備であって、前記容器弁への接続部から前記減圧弁
   への接続部に至る高圧経路及び前記パージガス導入経路
   を一つの弁ブロックに一体的に形成するとともに、前記
   低圧経路を可撓性の配管により形成したことを特徴とす
   るガス供給設備。
3. 【請求項３】 ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に
   設けられた容器弁から減圧弁，低圧弁を介して使用先に
   送出するガス供給経路と、前記容器弁と減圧弁との間の
   高圧経路にパージガス導入弁を介してパージガスを導入
   するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧弁との間
   の低圧経路からパージガス導出弁を介してパージガスを
   導出するパージガス導出経路とを備えたガス供給設備で
   あって、前記容器弁への接続部から前記低圧経路の接続
   部に至る経路及び前記パージガス導入経路を一つの弁ブ
   ロックに一体的に形成するとともに、前記低圧経路を可
   撓性の配管により形成したことを特徴とするガス供給設
   備。
4. 【請求項４】 ガス容器内の高圧ガスを、該ガス容器に
   設けられた容器弁から高圧弁，減圧弁，低圧弁を介して
   使用先に送出するガス供給経路と、前記容器弁と高圧弁
   との間の高圧経路にパージガス導入弁を介してパージガ
   スを導入するパージガス導入経路と、前記減圧弁と低圧
   弁との間の低圧経路からパージガス導出弁を介してパー
   ジガスを導出するパージガス導出経路とを備えたガス供
   給設備であって、前記容器弁への接続部から前記低圧経
   路の接続部に至る経路及び前記パージガス導入経路を一
   つの弁ブロックに一体的に形成するとともに、前記低圧
   経路を可撓性の配管により形成したことを特徴とするガ
   ス供給設備。