WO2007100106A1

WO2007100106A1 - 流体機器ユニット構造

Info

Publication number: WO2007100106A1
Application number: PCT/JP2007/054095
Authority: WO
Inventors: Hiroki Igarashi
Original assignee: Surpass Industry Co., Ltd.
Priority date: 2006-03-02
Filing date: 2007-03-02
Publication date: 2007-09-07
Also published as: US8783295B2; KR101321793B1; JP5096696B2; KR20080111443A; EP1990567B1; EP1990567A1; EP1990567A4; JP2007263356A; US20100229963A1

Abstract

　複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供する。流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、ベース部材１０が、流体機器類を設置する複数の設置面１１と、該設置面１１間をベース部材内部で連結する傾斜流路１２とを備えている。

Description

明細書

流体機器ユニット構造

技術分野

[0001] 本発明は、バルブや圧力スィッチ等の流体機器類を一体ィ匕した流体機器ユニット構造に関する。

背景技術

[0002] 従来より、薬品等の流体を取り扱う装置においては、構成要素となる各種の流体機器類 (バルブ類、レギユレータ、圧力センサ等の各種センサ類及び圧力スィッチ等の各種スィッチ類など)を配管で接続して一体ィ匕した構成とされる。

また、たとえば半導体製造装置のように複数の薬液用流体機器を使用する場合、配管を用いることなく薬液用流体機器どうしの連結を可能とする構造が提案されており、配管が不要になるため装置全体のコンパクトィ匕が可能になるとされる。（たとえば、特許文献 1参照）

特許文献 1 :特開 2000— 120903号公報（図 1参照）

発明の開示

[0003] ところで、近年においては、部品取付スペースが小さくなつて装置の小型化に有効なフットプリント (平面視の投影面積)の低減、装置の信頼性やメンテナンスの簡略ィ匕に有効なリークポイントの低減、及び流体の有効使用を可能にするデッドボリュームの低減等を目的とし、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造の開発が望まれている。

しかし、上述した特許文献 1の連結構造は、薬液用流体機器の流路を直線的に接続するインラインタイプか、あるいは、マ-ホールドベースを用いて複数のバルブを並列に接続するものであるから、フットプリントの低減には限界があった。すなわち、一方のインラインタイプは、直線的に長くなる構造であるから集積ィ匕に不向きであり、他方のマ-ホールドベースを使用するタイプは、マ-ホールドベースがフットプリントを増す要因となるため好ましくない。

[0004] また、従来の逆止弁はインラインタイプであるため全長が長くなり、フットプリントを低減する集積化には不向きである。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の流体機器類を集積させて一体ィ匕し、フットプリントの低減に有効な流体機器ュ-ット構造を提供することにある。

さらに、流体機器類を集積させて一体化するのに適した逆止弁を開発し、流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することにある。

[0005] 本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。

本発明の請求項 1は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体ィ匕する流体機器ユニット構造であって、前記ベース部材が、前記流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をベース部材内部で連結する傾斜流路とを備えて、ることを特徴とするものである。

[0006] このような流体機器ユニット構造によれば、ベース部材が、流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をベース部材内部で連結する傾斜流路とを備えて、るので、設置面に設置された流体機器類が配管を使用しないベース部材内で連結されるため、シール対象となるリークポイントが減少し、さら〖こ、隣接する流体機器類間の連結が傾斜流路で連結可能となるため、機器間隔を小さくしてフットプリントの低減が可能となる。

また、上記の発明においては、設置面の高さが異なるものが好ましぐこれにより、ドリル等の工具を使用して大きな傾斜角度の傾斜流路を容易に加工することができるので、機器間隔を最小にすることができる。

[0007] 本発明の請求項 3は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体ィ匕する流体機器ユニット構造であって、前記ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたことを特徴とするものである。

[0008] このような流体機器ユニット構造によれば、ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたので、流体入口及び流体出口に所望の角度を付けた逆止弁の設置が可能となる。この場合、前記流路を流れる流体は、前記弁体収納部の下端部を通過して流れることが好ましぐこれにより、流体が弁体収納部内に滞留することを防止できる。

[0009] 上記の流体機器ユニット構造においては、前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側部材に、前記接合方向へ貫通する雌ねじ部を形成するとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部に両側カゝら各々異なるボルトをねじ込んで締め付けることが好ましぐこれにより、締付力の調整が容易になるため、各シール部を均等に締め付けることができる。

[0010] 上述した本発明の流体機器ユニット構造によれば、ベース部材に複数の流体機器類を集積させて一体化し、特に、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供することができる。

また、流体機器類を集積させて一体ィ匕するのに適した逆止弁を得ることができるので、上述した流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することができる。図面の簡単な説明

[0011] [図 1]本発明に係る流体機器ユット構造の一実施形態を示す要部断面図（図 5の A

A断面)である。

[図 2]本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す要部断面図（図 5の B B断面)である。

[図 3]本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す要部断面図（図 5の C C断面)である。

[図 4]本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す外観斜視図である。

[図 5]図 4の平面図である。

[図 6]図 4に示す流体機器ユニットの流路構成例を示す系統図である。

[図 7]ベース部材の構成例を示す平面図である。

[図 8]図 7の D— D断面図である。

[図 9]図 7の E— E断面図である。

[図 10]図 7の F—F断面図である。

[図 11]図 7の G— G断面図である。 [図 12]分割ボルト構造の具体例を示す断面図である。

[図 13]分割ボルト構造の他の具体例を示す断面図である。

[図 14]図 2の弁体収納部に係る第 1変形例を示す要部断面図である。

[図 15]図 2の弁体収納部に係る第 2変形例を示す要部断面図である。

符号の説明

[0012] 1 流体機器ユニット

10 ベース部材

11 設置面

11A 第 1設置面

11B 第 2設置面

11C 第 3設置面

11D 第 4設置面

12, 12A, 12B 傾斜流路

20A, 20B, 20C (第 1〜第 3の）空気圧操作弁

30 圧力センサ

40 逆止弁

42, 42A, 42B 弁体収納部

45, 45A, 45B 流体出口

46, 46A 連結用空間

発明を実施するための最良の形態

[0013] 以下、本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を図面に基づいて説明する。

図 4及び図 5に示す流体機器ユニット 1の構造は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材 10に集積して一体ィ匕したものである。図示の構成例では、流体機器ユニット 1の主要部が耐薬品性のフッ素榭脂製とされ、流体機器類として三つの空気圧操作弁 20A, 20B, 20C、圧力センサ 30及び逆止弁 40を使用し、これらの流体機器類をベース部材 10に集積して一体ィ匕したものである。なお、図中の符号 5はベース固定板、 6はユニット基板である。また、図 6は流体機器ユニット 1の流路（回路)構成を示しており、この流路構成例では、薬液流路 2に第 1の空気圧操作弁 20A及び圧力センサ 30が設けられ、第 1の空気圧操作弁 20Aの上流側から分岐する薬液リターン流路 3には第 2の空気圧操作弁 20Bが設けられ、第 1の空気圧操作弁 20Aの下流側に合流する純水流路 4には第 3 の空気圧操作弁 20C及び逆止弁 40が設けられている。なお、図中の符号 2aは薬液入口、 2bは薬液出口、 3aは薬液リターン出口、 4aは純水入口である。

[0014] ベース部材 10は、たとえば図 7から図 11に示すように、上述した流体機器類を設置するために設けた高さの異なる複数の設置面 11と、これら複数の設置面間をベース部材 10の内部で連結する傾斜流路 12とを備えている。

この場合、ベース部材 10は略直方体形状とされ、その上面には上述した流体機器類を設置するため、各中心位置が矩形を描くように配置された 4つの設置面 11が設けられている。なお、以下の説明では、第 1の空気圧操作弁 20Aを設置する設置面を第 1設置面 11Aとし、第 2の空気圧操作弁 20Bを設置する設置面を第 2設置面 11 B、第 3の空気圧操作弁 20Cを設置する設置面を第 3設置面 11C、さらに、圧力センサ 30を設置する設置面を第 4設置面 11Dとする。

[0015] 第 1設置面 11Aは、図 9に示すように、ベース部材 10の上面を掘り下げるようにして形成された低い段の設置面である。また、第 1設置面 11Aの下方には、たとえば図 2 に示すように、空気圧操作弁 20Aの弁体 21を収納する円柱状空間 13が形成され、さらに、円柱状空間 13の下方には、収納部ベース部材 10の内部を水平方向に貫通するトンネル状の薬液流路 2と連通するように、垂直流路部 14が形成されている。また、図中の符号 15はリング状凹部であり、空気圧操作弁 20Aのダイヤフラム Dfに形成された凸部をリング状凹部 15に挿入することで、ベース部材 10と空気圧操作弁 20Aとの連結部シール構造が形成されている。なお、ダイヤフラム Dfの上方には、空気圧により弁を開閉するためのァクチユエータ Acが設置されている。

このように形成されたベース部材 10の第 1設置面 11Aに対し、空気圧操作弁 20A を上方力も差し込むように挿入して取り付け、たとえば図 2に想像線で示すように、貫通ボルト 50とナット 51とにより締め付けることで、リング状凹部 15とダイヤフラム Dfとの嵌合による連結部シール構造が強固に保持されている。なお、ここで採用した貫通ボルト 50及びナット 51につ、ては、後述する分割ボルト構造を採用してもよ!/、。

[0016] 第 3設置面 11Cは、図 9に示すように、ベース部材 10の上面と略一致するように形成された高い段の設置面である。すなわち、第 3設置面 11Cは、上述した第 1設置面 11 Aより高い位置にある。また、第 3設置面 11Cの下方には、たとえば図 2に示すように、逆止弁 40の弁体 41を収納設置するため、流路空間 16の下方に円柱状とした弁体収納部 42の空間が形成されている。なお、図中の符号 15はリング状凹部であり、流体機器取付時には必要に応じて流体機器側の底部に設けたリング状凸部を圧入し、連結部のシール構造を形成するものである。

このように形成されたベース部材 10の第 3設置面 11Cに対し、ばね 43を介在させた弁体 41を上部力も弁体収納部 42に組み込んだ後、空気圧操作弁 20Cを上方から差し込むように挿入して取り付け、後述する分割ボルト構造のボルト 17で固定する。この場合の連結部は、リング状凸部 22とリング状凹部 15との嵌合によりシールされる。

[0017] 図示の逆止弁 40は、上部に設けた流体入口 44から流入した流体力弁体収納部 42の側面に開口する流体出口 45から斜め下方へ向力傾斜流路 12に流出するように構成されている。すなわち、上述したベース部材 10に流体機器類を集積して一体化する流体機器ユニット 1において、ベース部材 10に逆止弁 40の弁体収納部 42を形成し、この弁体収納部 42に連通する流体入口 44及び流体出口 45は、たとえば上部から流入して水平方向へ流出するなど、所望の角度に交差して設けられている。このような逆止弁 40を流体機器ユニット 1に採用すれば、弁体収納部 42に連通する流体入口 44及び流体出口 45を所望の角度に交差させて設けることができるので、ユニット全体の小型化に有効である。すなわち、従来のインラインタイプと異なり、流体入口 44及び流体出口 45が所望の角度を有しているので、特に、平面視の設置面積を小さくすることが可能になる。

[0018] 上述した構成の弁体収納部 42は、流体出口 45の開口部より低い位置にもばね 43 を収納する空間が存在している。このため、弁体収納部 42に流入した流体は、流体出口 45より低い空間においてほとんど置換されることなく滞留する。従って、この空間が流体のデッドボリュームとなり、さらに、長期間にわたる滞留により変質した流体が混入することで純度に悪影響を及ぼすことも懸念される。

そこで、弁体収納部 42を通過して流れる流体の出入口について、流路を流れる流体が弁体収納部 42の下端部を通過して流れるような配置となる変形例を図 14及び図 15に示して説明する。なお、上述した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。

[0019] 図 14に示す第 1変形例において、ベース部材 10に形成された弁体収納部 42Aは、ばね 43より下方に延長した連結用空間 46を備えている。この連結空間 46は、底面が弁体収納部 42Aの最下端部となるので、流体出口 45Aが底面近傍の側面に開口して設けられている。

流体出口 45Aと空気圧操作弁 20Aの弁体 21を収納する円柱状空間 13との間は、ベース部材 10内に形成された傾斜流路 12Aにより連結されている。この場合の傾斜流路 12Aは、連結空間 46から円柱状空間 13へ上向きに傾斜している。

[0020] このような構成とすれば、流体が逆止弁 40を通過して流れる際には、弁体収納部 4 2Aで最も低い位置になる連結空間 46を必ず通過する。このため、逆止弁 40が閉じて連結空間 46内に滞留した流体は、逆止弁 40が開いて流れが生じるたびに連通空間 46から押し出されるように流出して置換される。従って、流体が置換されることなく弁体収納部 42A内に長期間滞留することを防止できるようになり、連結空間 46が流体のデッドボリュームとなることもない。このような第 1変形例の構成は、逆止弁 40を設置する部分の高さを増すことなく滞留防止が可能となる。

[0021] 図 15に示す第 2変形例において、ベース部材 10に形成された弁体収納部 42Bは、ばね 43の下方をわずかに収納可能な浅いものとされる。この弁体収納部 42Bは、ばね 43の下端部付近に形成され、円柱状空間 13側に拡大された連結空間 46Aを備えている。この連結空間 46Aは、底面が弁体収納部 42Bの最下端部となり、底面近傍の側面には流体出口 45Bが開口して設けられている。

流体出口 45Bと空気圧操作弁 20Aの弁体 21を収納する円柱状空間 13との間は、ベース部材 10内に形成された傾斜流路 12Bにより連結されている。この場合の傾斜流路 12Bは、連結空間 46Aから円柱状空間 13へ下向きに傾斜している。

[0022] このような構成とすれば、流体が逆止弁 40を通過して流れる際には、弁体収納部 4 2Bで最も低い位置になる連結空間 46Aを必ず通過する。このため、逆止弁 40が閉じて連結空間 46A内に滞留した流体は、逆止弁 40が開いて流れが生じるたびに連通空間 46Aから押し出されるように流出して置換される。従って、流体が置換されることなく弁体収納部 42B内に長期間滞留することを防止できるので、連結空間 46Aが流体のデッドボリュームとなることもない。このような構成は、逆止弁 40を設置した部分の高さが増加するものの、高いところ力低いところへ流れる流体の自然の法則に従って流れるため、流体が淀むことなく流れる。

また、傾斜流路 12Aで流れ方向が上向きになっているため、流体が傾斜流路 12A 及び連結用空間 46に留まり、デッドボリュームとなることがまだある。高さに余裕があれば、傾斜流路 12Bのようにすることで、デッドボリュームが全くない流路の流れを形成することができる。

[0023] ところで、上述した第 1設置面 11Aの円柱状空間 13と第 3設置面 11Cの流路空間 16との間は、純水流路 4の一部となる傾斜流路 12により連結されている。この傾斜流路 12は、高い位置にある第 3設置面 11C力も流路空間 16にドリル等の工具を挿入して形成するものであり、円柱状空間 13との段差が大きいほど大きな傾斜の傾斜流路 12の加工が可能となる。

すなわち、隣接する設置面 11の段差を大きくすることにより、加工用の穴を設けなくても傾斜角度の大きい傾斜流路 12を容易に形成することができるようになり、従って、この傾斜流路 12により連結可能となる設置面 11間の間隔を狭めることができる。換言すれば、ベース部材 10の隣接する設置面 11間に段差を設けて傾斜流路 12で連結することにより、設置面 11に取り付ける流体機器間の設置間隔を狭めて小さくすることができ、この場合、段差が大きいほど傾斜流路 12の傾斜角度も大きくなるので、設置間隔を狭めることができる。

[0024] また、たとえば図 11に示すように、隣接する流体機器間を薬液流路 2のような水平流路により連結して流体機器間の設置間隔を狭めることも可能ではあるが、このような水平流路の加工は、ベース部材 10の側面からドリル等の工具を用いて行う必要がある。このため、ベース部材 10の外部と連結する場合は加工用の穴を利用可能となる力ベース部材 10の内部で流体機器間を連結する場合には、ベース部材 10の側面に形成されたカ卩ェ用の穴を塞いでシールする必要が生じることとなる。

[0025] 同様に、第 2設置面 11Bと第 4設置面 11Dとの間についても、図 8に示すように、ベ一ス部材 10の上面と略一致するように形成された高!、段の第 2設置面 11B側から、ベース部材 10の上面を掘り下げるようにして形成された低い段の第 4設置面 11D側に向けて、薬液リターン流路 3となる傾斜流路 12が形成されている。なお、図中の符号 16は、第 4設置面 11Dの下方に形成された流路空間である。

第 2設置面 11Bには、たとえば図 1に示すように、空気操作弁 20Bが上方力も挿入して取り付けられ、第 4設置面 11Dには、圧力センサ 30が上方力挿入して取り付けられる。なお、空気操作弁 20Bの連結部は、リング状凸部 22とリング状凹部 15との嵌合によりシールされ、圧力センサ 30の連結部は、 Oリング 31を挟持した状態で押圧すること〖こよりシーノレされる。

[0026] ところで、上述した分割ボルト構造のボルト 17による締め付けは、たとえば図 3に示すように、流体機器類のケーシング部材 23をベース部材 10との接合方向へ複数に分割し、ベース部材 10と密着する位置に配置されるケーシング部材 23のベース側部材 23cに、接合方向へ貫通する雌ねじ部 18を形成するとともに、ベース側部材 10 を挟持して雌ねじ部 18に両側カゝら各々異なるボルト 17, 17をねじ込んで締め付ける。このようなボルト 17の締め付けは、たとえば矩形断面の四隅に分配するなど複数箇所に分散させて均等配置することが好ましい。なお、上述した雌ねじ部 18は、たとえば両端部から中央部へ逆向きの雌ねじが形成された埋込ナット等により形成すればよい。

この結果、各ボルト 17毎に締付力の調整が容易になり、ケーシング部材 23をべ一ス部材 10に密着させる力の調整が可能となるので、複数あるシール部を均等に締め付けて良好なシール性を得ることができる。

[0027] 以下、上述した分割ボルト構造について、具体例を示した図 12に基づいて詳細に説明する。

上述したボルト 17と雌ねじ部 18による分割ボルト構造では、空気圧操作弁 20Bのケーシング部 23をベース部材 10に設置する際、ベース部材 10と密着する位置に配置されるベース側部材 (弁座ボディー） 23cのベース面に、接合方向へ貫通する雌ねじ部 18を形成するとともに、ベース部材 10を挟持して雌ねじ部 18に両側カゝら各々異なるボルト 17、 17をねじ込んで締め付けられている。本来であれば、図 2に示す 1本の貫通ボルト 50を用い、空気圧操作弁 20Bをベース部材 10に固定する構成を採用すればよいが、空気圧操作弁 20Bはァクチユエータが空気圧式の開閉弁であるため、空気圧操作弁 20Bを単体で見るとシール部が多数存在しており、従って、全てのシ一ル部を 1本の貫通ボルト 50で組み立てると、組立工程の複雑ィ匕ゃ検査工程の複雑ィ匕を招くこととなり好ましくない。

[0028] つまり、空気圧操作弁 20Bは、空気圧動作を保障するための Oリングシール部 60、 61、 62にカロえて、空気圧操作弁 20Bの内部を流れる液体のシールを保障するシール部 63、弁体が開閉する際のシールを保障するシール部 64より構成されている。これらのシール箇所について、そのシール機能をベース部材 10に設置して力確認することは非常に困難で複雑な工程となる。し力も、まんがいちどこかに漏れがあった際には、全てを分解して対応しなくてはならず、組立工程が複雑ィ匕して好ましくない。また、上述した流体機器ユニット 1では、複数の流体機器が集積されているため、空気圧操作弁 20Bのように単体として多数のシール部分を有する複数の流体機器がベース部材 10に設置されることとなる。従って、流体機器の集積ィ匕が終了した後の完成品には、シール機能を確認しなくてはならないシール部が多数存在しており、各シール部毎の漏れ検査を実施する作業は非常に複雑ィ匕した工程となる。

また、まんがいち漏れがあった場合には、全てを分解してから組立をやり直す必要が生じるだけでなぐ漏れの箇所を特定することも非常に難しいものとなる。従って、組立工程内で再組み立てのリスク、検査の簡略ィ匕なども同様に要求される。

[0029] このため、図 2に示す貫通ボルト 51により組み立てることをしないで、雌ねじ部 18とボルト 17とによる分割ボルト構造を採用すると、空気圧操作弁 20Bは単体として管理することができる。すなわち、雌ねじ部 18とボルト 17とを使用することにより、空気圧操作弁 20Bを単体として取り扱う製造工程を組むことができるようになり、また、単体としてそれぞれのシール性を確認してから、ベース部材 10に設置することができるようになる。

[0030] 最終的には、ベース部材 10の第 1設置面 11Aに空気圧操作弁 20Bを設置し、ボルト 17をベースの下より挿入して、雌ねじ部 18にねじ込むことにより、流体機器の集積回路として完成させることができる。なお、流体機器ユニット 1のシール検査は、ベ一ス部材 10のシール部分であるリング状凸部 22とリング状凹部 15との嵌合部のみを検査すればよいことになり、従って、ユニット組立ラインの検査が簡略ィ匕されるとともに、漏れ検査の際にも原因の特定が容易となる。

[0031] また、上述した流体機器ユニット 1を納期の面力も考えた際にも、空気圧操作弁 20 Bのような流体機器について、仕様や機能等が異なる類似品を多種類製造して適量を在庫しておけば、顧客の要求に応じて適宜選択したものをベース部材 10に組み込んだ後、リング状凸部 22とリング状凹部 15との嵌合部についてのみ漏れ検査を実施して出荷することが可能となる。

上述した流体機器の類似品は、たとえばノーマルオープン及びノーマルクローズのように開閉モードが異なるもの、流量調整機能の有無が異なるものなど多種多様であり、ここに例示した機器類に限定されることはなぐ流体機器単体としてシール部分が多数存在しているものを包含する。なお、図 13は調整機能付きの空気圧操作弁 20B ' を示しており、上部に調整ノブ 70が設けられている。

[0032] 上述したように、本発明の流体機器ユニット構造によれば、ベース部材 10に段差を設けて流体機器の設置面 11を複数形成し、ベース部材内部の傾斜流路 12で連結する構成としたので、隣接する流体機器間の間隔を狭めて流体機器類を集積させた一体ィ匕が可能となり、特に、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造となる。また、薬品等を取り扱う装置類においては、一般にフットプリントを小さくして設置スペースを低減することが強く求められる反面、上部空間には比較的余裕がある。従つて、流体機器ユニット 1が上下方向に設置面の段差程度大きくなつても比較的容易に対応可能であるから、この結果得られるフットプリントの低減効果は大きなものとなる。

[0033] また、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器間の連結に必要となる配管や継手類が少なくなるので、リークポイントが少なくなつて信頼性が向上するとともに、メンテナンスが容易になると、う利点を有して、る。

また、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器間が密着した配置となるので、流体が溜まり込むデッドスペースの容積が減少し、特に、高価な薬液等を取り扱う場合には無駄の少ない使用が可能となる。

さらに、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器類を集積させて一体化するのに適した逆止弁が得られるので、流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することができる。特に、逆止弁を設けた流体機器ユニット構造においては、逆止弁を通過して流れる流体が弁体収納部の下端部を通過することにより、流体が弁体収納部内に滞留する t 、う問題が解消される。

ところで、上述した実施形態においては、 4つの設置面 11を設けたベース部材 10としたが、設置面 11の数や配置等については特に限定されることはなぐユニットィ匕する流体機器の数に応じて適宜変更可能である。また、設置面 11と流体機器との連結構造を雌ねじ部 18を使用する分割ボルト構造としておけば、流体機器の類似品を在庫しておくことにより、ベース部材 10を共用して種々の組合せとした流体機器類の設置も可能になる。また、流体機器を在庫しておくことにより、ゼロから全て組み立てを開始する場合と比較して、迅速な納期対応が可能となる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなぐ本発明の要旨を逸脱しな、範囲内にお、て適宜変更することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体ィ匕する流体機器ユニット構造であって、

前記ベース部材が、前記流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をべ一ス部材内部で連結する傾斜流路とを備えていることを特徴とする流体機器ユニット構造。

[2] 前記設置面の高さが異なることを特徴とする請求項 1に記載の流体機器ユニット構造。

[3] 流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体ィ匕する流体機器ユニット構造であって、

前記ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたことを特徴とする流体機器ュニット構造。

[4] 前記流路を流れる流体が前記弁体収納部の下端部を通過することを特徴とする請求項 3に記載の流体機器ユニット構造。

[5] 前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側部材に、前記接合方向へ貫通する雌ねじ部を形成するとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部に両側力各々異なるボルトをねじ込んで締め付けることを特徴とする請求項 1から 4のいずれかに記載の流体機器ユニット構造。