JPH10220698A - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
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- JPH10220698A JPH10220698A JP18658097A JP18658097A JPH10220698A JP H10220698 A JPH10220698 A JP H10220698A JP 18658097 A JP18658097 A JP 18658097A JP 18658097 A JP18658097 A JP 18658097A JP H10220698 A JPH10220698 A JP H10220698A
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- mass flow
- flow controller
- control device
- adjuster
- fluid control
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
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- Sliding Valves (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスフローコントローラ等の調整器の取付け
・取外し作業が容易である流体制御装置を提供する。 【解決手段】 マスフローコントローラ5 の張出部9,10
に接続される接続部材4,16に、接続部材4,16を左右両側
から挟むように門型金具21が取り付けられている。門型
金具21に、シール部18の真上からマスフローコントロー
ラ5 の張出部9,10を接続部材4,16に押圧する押圧体22が
設けられている。
・取外し作業が容易である流体制御装置を提供する。 【解決手段】 マスフローコントローラ5 の張出部9,10
に接続される接続部材4,16に、接続部材4,16を左右両側
から挟むように門型金具21が取り付けられている。門型
金具21に、シール部18の真上からマスフローコントロー
ラ5 の張出部9,10を接続部材4,16に押圧する押圧体22が
設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、流量を調整する
マスフローコントローラや圧力を調整するプレッシャー
レギュレータ等の調整器と開閉弁等とが組み合わされて
構成される流体制御装置に関する。
マスフローコントローラや圧力を調整するプレッシャー
レギュレータ等の調整器と開閉弁等とが組み合わされて
構成される流体制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】流量または圧力を調整する調整器と、
と、調整器の下端部前後両面に設けられた調整器張出部
と、調整器張出部の下面に突き合わされた接続部材とを
備えており、調整器張出部に設けられた下面に開口を有
する逆Ｌ状の通路と接続部材に設けられた上面に開口を
有するＬ状の通路とが連通するように、調整器張出部と
接続部材とがシール部を介してに着脱自在に接続されて
いる流体制御装置は、従来より知られている（特開平６
−２４１４００号公報参照）。
と、調整器の下端部前後両面に設けられた調整器張出部
と、調整器張出部の下面に突き合わされた接続部材とを
備えており、調整器張出部に設けられた下面に開口を有
する逆Ｌ状の通路と接続部材に設けられた上面に開口を
有するＬ状の通路とが連通するように、調整器張出部と
接続部材とがシール部を介してに着脱自在に接続されて
いる流体制御装置は、従来より知られている（特開平６
−２４１４００号公報参照）。
【０００３】この種の流体制御装置では、調整器の保守
や点検のために、調整器を一旦取り外して再度取り付け
るという作業を頻繁に行う必要がある。したがって、流
体制御装置をアルミニウムパネル上に設置して、調整器
を単独で上方に取り出せる構成とすることが好ましい。
そこで、上記従来の流体制御装置では、２本のボルトを
調整器の張出部を貫通させて接続部材のねじ孔にねじ込
むことにより、調整器を接続部材に取り付けていた。
や点検のために、調整器を一旦取り外して再度取り付け
るという作業を頻繁に行う必要がある。したがって、流
体制御装置をアルミニウムパネル上に設置して、調整器
を単独で上方に取り出せる構成とすることが好ましい。
そこで、上記従来の流体制御装置では、２本のボルトを
調整器の張出部を貫通させて接続部材のねじ孔にねじ込
むことにより、調整器を接続部材に取り付けていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御装
置では、２本のボルトはシール部を挟む対称位置に配置
されているが、シールを確実なものとするためには、２
本のボルトを交互に少しずつバランスを考慮しながら締
め付けていく必要があり、この作業が面倒でかつ難しい
という問題があった。また、流体制御装置を設置するパ
ネルが垂直の場合、接続部材に設けられたねじ孔にボル
トをねじ合わせにくく、この作業のときにシール部を傷
付けてシール性が悪化するという問題や、調整器を取り
外す時に、ボルトが落下して紛失するという問題もあっ
た。
置では、２本のボルトはシール部を挟む対称位置に配置
されているが、シールを確実なものとするためには、２
本のボルトを交互に少しずつバランスを考慮しながら締
め付けていく必要があり、この作業が面倒でかつ難しい
という問題があった。また、流体制御装置を設置するパ
ネルが垂直の場合、接続部材に設けられたねじ孔にボル
トをねじ合わせにくく、この作業のときにシール部を傷
付けてシール性が悪化するという問題や、調整器を取り
外す時に、ボルトが落下して紛失するという問題もあっ
た。
【０００５】さらに、調整器がマスフローコントローラ
である場合、マスフローコントローラは、これに流入し
てくる流体が層流であることを前提に流量を調整するよ
うになっているものであるにもかかわらず、マスフロー
コントローラに流入する前に逆Ｌ状の通路とＬ状の通路
とを通過することにより、乱流が発生するため、流量調
整の精度が落ちるという問題もあった。
である場合、マスフローコントローラは、これに流入し
てくる流体が層流であることを前提に流量を調整するよ
うになっているものであるにもかかわらず、マスフロー
コントローラに流入する前に逆Ｌ状の通路とＬ状の通路
とを通過することにより、乱流が発生するため、流量調
整の精度が落ちるという問題もあった。
【０００６】この発明の目的は、調整器の取付け・取外
し作業が容易である流体制御装置を提供することにあ
る。
し作業が容易である流体制御装置を提供することにあ
る。
【０００７】この発明の他の目的は、調整器と接続部材
との結合に使用される部材が紛失することがない流体制
御装置を提供することにある。
との結合に使用される部材が紛失することがない流体制
御装置を提供することにある。
【０００８】この発明のさらに他の目的は、シール性が
向上した流体制御装置を提供することにある。
向上した流体制御装置を提供することにある。
【０００９】この発明のさらに他の目的は、調整器がマ
スフローコントローラである場合に、その流量調整の精
度が落ちることがない流体制御装置を提供することにあ
る。
スフローコントローラである場合に、その流量調整の精
度が落ちることがない流体制御装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体制御装置は、流量または圧力を調整する調
整器と、調整器の下端部前後両面に設けられた調整器張
出部と、調整器張出部の下面に突き合わされた接続部材
とを備えており、調整器張出部と接続部材とがシール部
を介して着脱自在に接続されている流体制御装置におい
て、接続部材に、調整器張出部および接続部材を左右両
側から挟む左右側壁を有する門型金具が取り付けられ、
門型金具に、調整器張出部を接続部材にシール部の真上
から押圧する押圧体が設けられていることを特徴とする
ものである。
明による流体制御装置は、流量または圧力を調整する調
整器と、調整器の下端部前後両面に設けられた調整器張
出部と、調整器張出部の下面に突き合わされた接続部材
とを備えており、調整器張出部と接続部材とがシール部
を介して着脱自在に接続されている流体制御装置におい
て、接続部材に、調整器張出部および接続部材を左右両
側から挟む左右側壁を有する門型金具が取り付けられ、
門型金具に、調整器張出部を接続部材にシール部の真上
から押圧する押圧体が設けられていることを特徴とする
ものである。
【００１１】この明細書において、上下は、図１の上下
をいい、また同図の右を前、左を後といい、左右は前方
に向かっていうものとする。この上下は、便宜的なもの
であり、上下が逆になったり、横になったりすることも
ある。また、調整器とは、マスフローコントローラ、プ
レッシャーレギュレータ等の流量または圧力を調整する
機器を意味し、接続部材とは、この調整器に接続され
る、開閉弁、調整弁、逆止弁、フィルター、流路が形成
されたブロック等の単機能部材を意味する。
をいい、また同図の右を前、左を後といい、左右は前方
に向かっていうものとする。この上下は、便宜的なもの
であり、上下が逆になったり、横になったりすることも
ある。また、調整器とは、マスフローコントローラ、プ
レッシャーレギュレータ等の流量または圧力を調整する
機器を意味し、接続部材とは、この調整器に接続され
る、開閉弁、調整弁、逆止弁、フィルター、流路が形成
されたブロック等の単機能部材を意味する。
【００１２】この発明の流体制御装置によると、押圧体
は、調整器張出部をシール部の真上から接続部材に押圧
するので、シール部を挟む対称位置で２本のボルトによ
り締め付けていくときのような締付けのバランスを考慮
しなくてよい。したがって、調整器の取付け作業が容易
となる。
は、調整器張出部をシール部の真上から接続部材に押圧
するので、シール部を挟む対称位置で２本のボルトによ
り締め付けていくときのような締付けのバランスを考慮
しなくてよい。したがって、調整器の取付け作業が容易
となる。
【００１３】押圧体は、例えば、門型金具の頂壁に設け
られた貫通めねじ部にねじ合わされているおねじ部と、
おねじ部の上端に連なるスパナ係合用頭部と、おねじ部
の下端に連なる短円柱状凸部とよりなるものとされる。
このようにすると、押圧体は、シール部の上方に１本配
置するだけであるから、シール部を挟む対称位置にそれ
ぞれボルトを配置する従来のものに比べて、おねじ部を
太くすることができ、その結果、ピッチの粗いねじを使
用できるので、トルク管理でなく、回転数管理として
も、適正な締め付けの管理ができる。
られた貫通めねじ部にねじ合わされているおねじ部と、
おねじ部の上端に連なるスパナ係合用頭部と、おねじ部
の下端に連なる短円柱状凸部とよりなるものとされる。
このようにすると、押圧体は、シール部の上方に１本配
置するだけであるから、シール部を挟む対称位置にそれ
ぞれボルトを配置する従来のものに比べて、おねじ部を
太くすることができ、その結果、ピッチの粗いねじを使
用できるので、トルク管理でなく、回転数管理として
も、適正な締め付けの管理ができる。
【００１４】また、押圧体は、下端面が調整器張出部の
上面に当接される有底筒状のめねじ部材と、めねじ部材
にねじ合わされているおねじ部材とを備えており、おね
じ部材は、門型金具の頂壁に設けられた貫通孔に上下動
自在に挿通されている軸部と、軸部の上端部に設けられ
かつ下面が門型金具の頂壁上面に当接しているスパナ係
合用頭部とを備えているものとされてもよい。このよう
にすると、頭部下面が門型金具の頂壁上面に当接してい
るので、おねじ部材をめねじ部材にねじ込んでいくこと
により、めねじ部材が上方に移動し、おねじ部材をめね
じ部材からねじ戻していくことにより、めねじ部材が下
方に移動する。このときのめねじ部は回転せずに上下方
向へ移動するので、めねじ部材の下端面と調整器の張出
部上面との間の摩擦の影響がなくなり、締付トルク値が
安定する。
上面に当接される有底筒状のめねじ部材と、めねじ部材
にねじ合わされているおねじ部材とを備えており、おね
じ部材は、門型金具の頂壁に設けられた貫通孔に上下動
自在に挿通されている軸部と、軸部の上端部に設けられ
かつ下面が門型金具の頂壁上面に当接しているスパナ係
合用頭部とを備えているものとされてもよい。このよう
にすると、頭部下面が門型金具の頂壁上面に当接してい
るので、おねじ部材をめねじ部材にねじ込んでいくこと
により、めねじ部材が上方に移動し、おねじ部材をめね
じ部材からねじ戻していくことにより、めねじ部材が下
方に移動する。このときのめねじ部は回転せずに上下方
向へ移動するので、めねじ部材の下端面と調整器の張出
部上面との間の摩擦の影響がなくなり、締付トルク値が
安定する。
【００１５】接続部材を左右に貫通する貫通孔が設けら
れ、この貫通孔に回転自在に挿通された軸の左右端部が
門型金具の左右側壁の下端部に固定されており、門型金
具が調整器の着脱の妨げにならない位置まで回動可能と
されていることが好ましい。このようにすると、調整器
を取り外すさいには、門型金具を回動させて、取外しの
邪魔にならないようにすることができ、しかも、取外し
のさい、門型金具が接続部材から抜け落ちることが防止
される。したがって、調整器の取外し作業が容易とな
る。
れ、この貫通孔に回転自在に挿通された軸の左右端部が
門型金具の左右側壁の下端部に固定されており、門型金
具が調整器の着脱の妨げにならない位置まで回動可能と
されていることが好ましい。このようにすると、調整器
を取り外すさいには、門型金具を回動させて、取外しの
邪魔にならないようにすることができ、しかも、取外し
のさい、門型金具が接続部材から抜け落ちることが防止
される。したがって、調整器の取外し作業が容易とな
る。
【００１６】また、接続部材を左右に貫通しかつ前後方
向にのびる案内溝が設けられ、この案内溝に前後移動自
在に嵌め入れられた軸の左右端部が門型金具の左右側壁
の下端部に固定されており、門型金具が調整器の着脱の
妨げにならない位置まで前後移動可能とされているよう
にしてもよい。このようにすると、調整器を取り外すさ
いには、門型金具を前後移動させて、取外しの邪魔にな
らないようにすることができ、しかも、取外しのさい、
門型金具が接続部材から抜け落ちることが防止される。
したがって、調整器の取外し作業が容易となる。
向にのびる案内溝が設けられ、この案内溝に前後移動自
在に嵌め入れられた軸の左右端部が門型金具の左右側壁
の下端部に固定されており、門型金具が調整器の着脱の
妨げにならない位置まで前後移動可能とされているよう
にしてもよい。このようにすると、調整器を取り外すさ
いには、門型金具を前後移動させて、取外しの邪魔にな
らないようにすることができ、しかも、取外しのさい、
門型金具が接続部材から抜け落ちることが防止される。
したがって、調整器の取外し作業が容易となる。
【００１７】調整器に、上下にのびる位置決めピン嵌合
溝が設けられていることが好ましい。そして、調整器が
取り付けられるパネルに位置決めピンを立設しておき、
このピンにピン嵌合溝を嵌め合わせる。これにより、調
整器の前後・左右への動きが抑えられるので、シール部
のずれや片締めが防止される。しかも、調整器を垂直パ
ネルに取り付ける場合には、調整器が自重により落下す
ること防止されるので、取付け作業がより一層容易とな
る。
溝が設けられていることが好ましい。そして、調整器が
取り付けられるパネルに位置決めピンを立設しておき、
このピンにピン嵌合溝を嵌め合わせる。これにより、調
整器の前後・左右への動きが抑えられるので、シール部
のずれや片締めが防止される。しかも、調整器を垂直パ
ネルに取り付ける場合には、調整器が自重により落下す
ること防止されるので、取付け作業がより一層容易とな
る。
【００１８】調整器張出部の下面が調整器から離れるに
したがって上方に傾斜させられ、これに応じて接続部材
の突き合わせ面も傾斜させられていることが好ましい。
このようにすると、調整器張出部の上面から押圧体によ
り力が加えられたとき、調整器張出部の下面は、接続部
材の突き合わせ面に沿って若干スライドしながら接続部
材の突き合わせ面に強く押圧され、これにより、シール
部の面圧が上がり、シール性が向上する。
したがって上方に傾斜させられ、これに応じて接続部材
の突き合わせ面も傾斜させられていることが好ましい。
このようにすると、調整器張出部の上面から押圧体によ
り力が加えられたとき、調整器張出部の下面は、接続部
材の突き合わせ面に沿って若干スライドしながら接続部
材の突き合わせ面に強く押圧され、これにより、シール
部の面圧が上がり、シール性が向上する。
【００１９】また、調整器がマスフローコントローラで
ある場合に、調整器張出部に設けられた通路と接続部材
に設けられた通路との突き合わせ端面における交差角が
鈍角とされていることが好ましい。このようにすると、
マスフローコントローラに流入してくる流体が乱流とな
りにくいため、層流であることを前提に流量を調整する
ようになっているマスフローコントローラの流量調整精
度が落ちることがない。
ある場合に、調整器張出部に設けられた通路と接続部材
に設けられた通路との突き合わせ端面における交差角が
鈍角とされていることが好ましい。このようにすると、
マスフローコントローラに流入してくる流体が乱流とな
りにくいため、層流であることを前提に流量を調整する
ようになっているマスフローコントローラの流量調整精
度が落ちることがない。
【００２０】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００２１】図１は、半導体製造装置に設けられる流体
制御装置の第１実施形態を示しており、後から順に、第
１流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、
通路ブロック(4) 、マスフローコントローラ（調整器）
(5) 、第３開閉弁(6) および流体流出部(7) を備えてい
る。第２開閉弁(3) の下方には、第２流体流入部(8)が
設けられている。前後に隣り合う各部材(1)(2)(3)(4)
(5)(6)(7) 同士および第２開閉弁(3) と第２流体流入部
(8) とは、共通の構成とされたシール部（構成の詳細は
図示せず）(18)を介して接続されている。
制御装置の第１実施形態を示しており、後から順に、第
１流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、
通路ブロック(4) 、マスフローコントローラ（調整器）
(5) 、第３開閉弁(6) および流体流出部(7) を備えてい
る。第２開閉弁(3) の下方には、第２流体流入部(8)が
設けられている。前後に隣り合う各部材(1)(2)(3)(4)
(5)(6)(7) 同士および第２開閉弁(3) と第２流体流入部
(8) とは、共通の構成とされたシール部（構成の詳細は
図示せず）(18)を介して接続されている。
【００２２】第１流体流入部(1) に流入した流体は、第
１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、通路ブロック(4) 内に
設けられている連通路(41)、マスフローコントローラ
(5) 、第３開閉弁(6) および流体流出部(7) を経て排出
される。また、第２流体流入部(8) に流入した流体は、
第２開閉弁(3) 、通路ブロック(4) 内に設けられている
連通路(41)、マスフローコントローラ(5) 、第３開閉弁
(6) および流体流出部(7) を経て排出される。
１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、通路ブロック(4) 内に
設けられている連通路(41)、マスフローコントローラ
(5) 、第３開閉弁(6) および流体流出部(7) を経て排出
される。また、第２流体流入部(8) に流入した流体は、
第２開閉弁(3) 、通路ブロック(4) 内に設けられている
連通路(41)、マスフローコントローラ(5) 、第３開閉弁
(6) および流体流出部(7) を経て排出される。
【００２３】マスフローコントローラ(5) の下端部後面
に、ブロック状の後方張出部(9) が設けられ、マスフロ
ーコントローラ(5) の下端部前面に、ブロック状の前方
張出部(10)が設けられている。マスフローコントローラ
(5) の後方張出部(9) は通路ブロック(4) の前端部に、
また、マスフローコントローラ(5) の前方張出部(10)は
第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部に、それぞれ結合
部材(11)により着脱自在に取り付けられている。
に、ブロック状の後方張出部(9) が設けられ、マスフロ
ーコントローラ(5) の下端部前面に、ブロック状の前方
張出部(10)が設けられている。マスフローコントローラ
(5) の後方張出部(9) は通路ブロック(4) の前端部に、
また、マスフローコントローラ(5) の前方張出部(10)は
第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部に、それぞれ結合
部材(11)により着脱自在に取り付けられている。
【００２４】結合部材(11)は、通路ブロック(4) の前端
部および第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部に設けら
れた左右にのびる貫通孔(19)に回転自在に挿通されてい
る回転軸(20)と、この回転軸(20)に取り付けられた門型
金具(21)と、シール部(18)の真上からマスフローコント
ローラ(5) の張出部(9)(10) を通路ブロック(4) または
第３開閉弁(6) の弁本体(16)に押圧する押圧体(22)とよ
りなるもので、詳細は後述する。
部および第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部に設けら
れた左右にのびる貫通孔(19)に回転自在に挿通されてい
る回転軸(20)と、この回転軸(20)に取り付けられた門型
金具(21)と、シール部(18)の真上からマスフローコント
ローラ(5) の張出部(9)(10) を通路ブロック(4) または
第３開閉弁(6) の弁本体(16)に押圧する押圧体(22)とよ
りなるもので、詳細は後述する。
【００２５】後方張出部(9) の下面(9a)は、略４５°前
下がりの傾斜面とされている。そして、後方張出部(9)
には、マスフローコントローラ(5) 内を後から前に流れ
るマスフローコントローラ本体内流路(43)に通じている
流入路(42)が設けられている。流入路(42)は、後方張出
部(9) の下面(9a)に直角な方向よりは傾斜角度がゆるく
なされている。これにより、流入路(42)とマスフローコ
ントローラ本体内流路(43)とのなす角は、１５０°くら
いの鈍角とされている。
下がりの傾斜面とされている。そして、後方張出部(9)
には、マスフローコントローラ(5) 内を後から前に流れ
るマスフローコントローラ本体内流路(43)に通じている
流入路(42)が設けられている。流入路(42)は、後方張出
部(9) の下面(9a)に直角な方向よりは傾斜角度がゆるく
なされている。これにより、流入路(42)とマスフローコ
ントローラ本体内流路(43)とのなす角は、１５０°くら
いの鈍角とされている。
【００２６】前方張出部(10)の下面(10a) は、略４５°
前上がりの傾斜面とされている。そして、前方張出部(1
0)には、マスフローコントローラ本体内流路(43)に通じ
ている流出路(44)が設けられている。流出路(44)は、前
方張出部(10)の下面(10a) にほぼ直角な方向にのびてい
る。これにより、流出路(44)とマスフローコントローラ
本体内流路(43)とのなす角は、１３５°くらいの鈍角と
されている。
前上がりの傾斜面とされている。そして、前方張出部(1
0)には、マスフローコントローラ本体内流路(43)に通じ
ている流出路(44)が設けられている。流出路(44)は、前
方張出部(10)の下面(10a) にほぼ直角な方向にのびてい
る。これにより、流出路(44)とマスフローコントローラ
本体内流路(43)とのなす角は、１３５°くらいの鈍角と
されている。
【００２７】第２開閉弁(3) とマスフローコントローラ
(5) との間に設けられている通路ブロック(4) は、第２
開閉弁(3) の弁本体(3a)に設けられている流出路(40)と
マスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) に設けら
れている流入路(42)とを連通するための連通路(41)が設
けられているものであり、マスフローコントローラ(5)
の後方張出部(9) に突き合わされる通路ブロック(4) の
前端部上面(4a)は、後方張出部(9) の略４５°前下がり
の下面(9a)に応じて、これと同じ前下がり傾斜面とされ
ている。
(5) との間に設けられている通路ブロック(4) は、第２
開閉弁(3) の弁本体(3a)に設けられている流出路(40)と
マスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) に設けら
れている流入路(42)とを連通するための連通路(41)が設
けられているものであり、マスフローコントローラ(5)
の後方張出部(9) に突き合わされる通路ブロック(4) の
前端部上面(4a)は、後方張出部(9) の略４５°前下がり
の下面(9a)に応じて、これと同じ前下がり傾斜面とされ
ている。
【００２８】通路ブロック(4) の連通路(41)は、第２開
閉弁(3) の流出路(40)に通じている上流部(41a) と、マ
スフローコントローラ(5) の流入路(42)に通じている下
流部(41b) とよりなる。上流部(41a) は若干前下がり、
下流部(41b) は若干前上がりとされ、上流部(41a) と下
流部(41b) とのなす角は、１５０°くらいの鈍角とされ
ている。また、下流部(41b) は、通路ブロック(4) の前
端部上面(4a)に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなさ
れている。これにより、連通路下流部(41b) とマスフロ
ーコントローラ(5) の流入路(42)のなす角は、１６５°
くらいの鈍角とされている。
閉弁(3) の流出路(40)に通じている上流部(41a) と、マ
スフローコントローラ(5) の流入路(42)に通じている下
流部(41b) とよりなる。上流部(41a) は若干前下がり、
下流部(41b) は若干前上がりとされ、上流部(41a) と下
流部(41b) とのなす角は、１５０°くらいの鈍角とされ
ている。また、下流部(41b) は、通路ブロック(4) の前
端部上面(4a)に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなさ
れている。これにより、連通路下流部(41b) とマスフロ
ーコントローラ(5) の流入路(42)のなす角は、１６５°
くらいの鈍角とされている。
【００２９】第３開閉弁(6) の弁本体(16)の前後長さ
は、第１および第２開閉弁(2)(3)の弁本体(2a)(3a)の前
後長さの略２倍とされており、アクチュエータ部分(6a)
は、弁本体(16)の前半部に設けられている。マスフロー
コントローラ(5) の前方張出部(10)に突き合わされる第
３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部上面(16a) は、マス
フローコントローラ(5) の前方張出部(10)の略４５°前
上がりの下面(10a) に応じて、これと同じ前上がりの傾
斜面とされている。第３開閉弁(6) の流入路(45)は、マ
スフローコントローラ(5) の前方張出部(10)の流出路(4
4)から前下がりにのびる上流部(45a) と、上流部(45a)
の前端から真上にのびる下流部(45b) とよりなる。上流
部(45a) は、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部上面
(16a) に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなされてい
る。これにより、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の流入路
上流部(45a) とマスフローコントローラ(5) の流出路(4
4)とのなす角は、１５０°くらいの鈍角とされている。
また、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の流入路上流部(45
a) と下流部(45b) とのなす角は、７５°くらいの鋭角
とされている。
は、第１および第２開閉弁(2)(3)の弁本体(2a)(3a)の前
後長さの略２倍とされており、アクチュエータ部分(6a)
は、弁本体(16)の前半部に設けられている。マスフロー
コントローラ(5) の前方張出部(10)に突き合わされる第
３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部上面(16a) は、マス
フローコントローラ(5) の前方張出部(10)の略４５°前
上がりの下面(10a) に応じて、これと同じ前上がりの傾
斜面とされている。第３開閉弁(6) の流入路(45)は、マ
スフローコントローラ(5) の前方張出部(10)の流出路(4
4)から前下がりにのびる上流部(45a) と、上流部(45a)
の前端から真上にのびる下流部(45b) とよりなる。上流
部(45a) は、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の後端部上面
(16a) に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなされてい
る。これにより、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の流入路
上流部(45a) とマスフローコントローラ(5) の流出路(4
4)とのなす角は、１５０°くらいの鈍角とされている。
また、第３開閉弁(6) の弁本体(16)の流入路上流部(45
a) と下流部(45b) とのなす角は、７５°くらいの鋭角
とされている。
【００３０】この流体制御装置によると、第２開閉弁
(3) の流出路(40)を出た流体は、通路ブロック(4) の連
通路上流部(41a) 、これと鈍角をなす連通路下流部(41
b) 、これと鈍角をなすマスフローコントローラ(3) の
後方張出部(9) の流入路(42)を経て、この流入路(42)と
鈍角をなすマスフローコントローラ本体内流路(43)に入
り、さらに、マスフローコントローラ本体内流路(43)と
鈍角をなす前方張出部(10)の流出路(44)を経て、これと
鈍角をなす第３開閉弁(6) の流入路上流部(45a) に至る
こととなる。すなわち、マスフローコントローラ(5) の
前後では、すべての通路(41a)(41b)(42)(43)(44)(45a)
同士のなす角が鈍角とされており、これにより、マスフ
ローコントローラ本体内流路(43)を流れる流体が層流と
なることが確保されている。したがって、従来の流体制
御装置における問題、すなわち、マスフローコントロー
ラに流入する前に逆Ｌ状の通路とＬ状の通路とを通過す
ることにより、乱流が発生し、流量調整の精度が落ちる
という問題が解消されている。
(3) の流出路(40)を出た流体は、通路ブロック(4) の連
通路上流部(41a) 、これと鈍角をなす連通路下流部(41
b) 、これと鈍角をなすマスフローコントローラ(3) の
後方張出部(9) の流入路(42)を経て、この流入路(42)と
鈍角をなすマスフローコントローラ本体内流路(43)に入
り、さらに、マスフローコントローラ本体内流路(43)と
鈍角をなす前方張出部(10)の流出路(44)を経て、これと
鈍角をなす第３開閉弁(6) の流入路上流部(45a) に至る
こととなる。すなわち、マスフローコントローラ(5) の
前後では、すべての通路(41a)(41b)(42)(43)(44)(45a)
同士のなす角が鈍角とされており、これにより、マスフ
ローコントローラ本体内流路(43)を流れる流体が層流と
なることが確保されている。したがって、従来の流体制
御装置における問題、すなわち、マスフローコントロー
ラに流入する前に逆Ｌ状の通路とＬ状の通路とを通過す
ることにより、乱流が発生し、流量調整の精度が落ちる
という問題が解消されている。
【００３１】次いで、図２および図３を参照して、マス
フローコントローラ(3) の後方張出部(9) と通路ブロッ
ク(4) を結合している結合部材(11)について詳述する。
なお、図３は、図１を拡大した図２のIII-III 線に沿う
断面図であり、図３の左右がこの明細書における左右と
一致している。
フローコントローラ(3) の後方張出部(9) と通路ブロッ
ク(4) を結合している結合部材(11)について詳述する。
なお、図３は、図１を拡大した図２のIII-III 線に沿う
断面図であり、図３の左右がこの明細書における左右と
一致している。
【００３２】図３に示すように、門型金具(21)は、左右
側壁(21a) および頂壁(21b) よりなる。左右側壁(21a)
の下部同士の間隔は、マスフローコントローラ(3) の後
方張出部(9) および通路ブロック(4) の左右の幅に等し
くされており、その上部は側壁(21a) 間隔が狭くなるよ
うに傾斜させられている。頂壁(21b) には、その上面か
ら下方にのびる断面円形の貫通孔(28)と、これの下端に
連なりかつ貫通孔(28)の断面積よりも大きい断面積を有
する下向きに開口した断面方形の凹所(29)とが形成され
ている。後述するように、貫通孔(28)は押圧体おねじ部
材(23)の案内用とされ、凹所(29)は押圧体めねじ部材(2
4)の案内用とされている。
側壁(21a) および頂壁(21b) よりなる。左右側壁(21a)
の下部同士の間隔は、マスフローコントローラ(3) の後
方張出部(9) および通路ブロック(4) の左右の幅に等し
くされており、その上部は側壁(21a) 間隔が狭くなるよ
うに傾斜させられている。頂壁(21b) には、その上面か
ら下方にのびる断面円形の貫通孔(28)と、これの下端に
連なりかつ貫通孔(28)の断面積よりも大きい断面積を有
する下向きに開口した断面方形の凹所(29)とが形成され
ている。後述するように、貫通孔(28)は押圧体おねじ部
材(23)の案内用とされ、凹所(29)は押圧体めねじ部材(2
4)の案内用とされている。
【００３３】左右側壁(21a) の下端部には、貫通孔(30)
がそれぞれ設けられており、各貫通孔(30)に、回転軸(2
0)の左右端部が嵌め入れられて固定されている。これに
より、門型金具(21)は、左右にのびる回転軸(20)の軸線
を中心にして回動し得るようになされ、しかも、結合部
材(11)の落下が阻止されている。なお、門型金具(21)を
回動させ、結合部材(11)の落下を阻止する構成は、これ
に限られるものではなく、回転軸(20)に代えて、左右側
壁(21a) の貫通孔(30)に左右外側からフランジ付きピン
をゆるく挿通するとともに、その先端部を通路ブロック
(4) の貫通孔(19)に強制的に嵌入するようにしてもよ
い。
がそれぞれ設けられており、各貫通孔(30)に、回転軸(2
0)の左右端部が嵌め入れられて固定されている。これに
より、門型金具(21)は、左右にのびる回転軸(20)の軸線
を中心にして回動し得るようになされ、しかも、結合部
材(11)の落下が阻止されている。なお、門型金具(21)を
回動させ、結合部材(11)の落下を阻止する構成は、これ
に限られるものではなく、回転軸(20)に代えて、左右側
壁(21a) の貫通孔(30)に左右外側からフランジ付きピン
をゆるく挿通するとともに、その先端部を通路ブロック
(4) の貫通孔(19)に強制的に嵌入するようにしてもよ
い。
【００３４】押圧体(22)は、有底筒状のめねじ部材(24)
と、めねじ部材(24)にねじ合わされているおねじ部材(2
3)とよりなる。
と、めねじ部材(24)にねじ合わされているおねじ部材(2
3)とよりなる。
【００３５】めねじ部材(24)は、断面略円形の筒体の内
周面にめねじ部を設けたもので、その外周面には、互い
に平行な左右一対の平坦面(24a) が設けられている。こ
れらの平坦面(24a) 同士の間隔は、門型金具(21)の頂壁
(21b) の下方に設けられた押圧体めねじ部材案内用凹所
(29)の左右の幅にほぼ等しくなされている。めねじ部材
(24)は、その上端部が押圧体めねじ部材凹所(29)に摺動
自在でかつ回転不可能に嵌め入れらており、おねじ部材
(23)の回転に伴って下端面がマスフローコントローラ
(5) の張出部(9)(10) の上面に当接または離隔されるよ
うになされている。マスフローコントローラ(5) の張出
部(9)(10) の上面には、めねじ部材(24)の垂直断面円弧
状の先端面を受ける垂直断面円弧状でかつ左右にのびる
マスフローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所
(29)が設けられている。
周面にめねじ部を設けたもので、その外周面には、互い
に平行な左右一対の平坦面(24a) が設けられている。こ
れらの平坦面(24a) 同士の間隔は、門型金具(21)の頂壁
(21b) の下方に設けられた押圧体めねじ部材案内用凹所
(29)の左右の幅にほぼ等しくなされている。めねじ部材
(24)は、その上端部が押圧体めねじ部材凹所(29)に摺動
自在でかつ回転不可能に嵌め入れらており、おねじ部材
(23)の回転に伴って下端面がマスフローコントローラ
(5) の張出部(9)(10) の上面に当接または離隔されるよ
うになされている。マスフローコントローラ(5) の張出
部(9)(10) の上面には、めねじ部材(24)の垂直断面円弧
状の先端面を受ける垂直断面円弧状でかつ左右にのびる
マスフローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所
(29)が設けられている。
【００３６】おねじ部材(23)は、門型金具(21)の頂壁(2
1b) に設けられた押圧体おねじ部材案内用貫通孔(28)に
上下動自在に挿通されている軸部(25)と、軸部(25)の上
端部に設けられかつ下面が門型金具(21)の頂壁(21b) 上
面に当接しているスパナ係合用頭部(26)と、軸部(25)の
下端に連なりかつ軸部(25)よりも若干大径のおねじ部(2
7)とよりなる。頭部(26)は、断面が正六角形とされてお
り、頭部(26)に設けられた下向きの凹所(26a) に、頂壁
(21b) よりも上方に突出した軸部(25)の上端部が嵌め入
れられ、スプリングピン(31)によって頭部(26)と軸部(2
5)とが結合されている。軸部(25)の下端部には、おねじ
部(27)の上端と門型金具(21)の頂壁(21b) 下端との間に
介在されているカラー(32)が嵌め被せられている。な
お、頭部(26)の断面は、四角形でもよく、また円形とし
て、頭部上面にスパナ係合用凹所を設けるようにしても
よい。
1b) に設けられた押圧体おねじ部材案内用貫通孔(28)に
上下動自在に挿通されている軸部(25)と、軸部(25)の上
端部に設けられかつ下面が門型金具(21)の頂壁(21b) 上
面に当接しているスパナ係合用頭部(26)と、軸部(25)の
下端に連なりかつ軸部(25)よりも若干大径のおねじ部(2
7)とよりなる。頭部(26)は、断面が正六角形とされてお
り、頭部(26)に設けられた下向きの凹所(26a) に、頂壁
(21b) よりも上方に突出した軸部(25)の上端部が嵌め入
れられ、スプリングピン(31)によって頭部(26)と軸部(2
5)とが結合されている。軸部(25)の下端部には、おねじ
部(27)の上端と門型金具(21)の頂壁(21b) 下端との間に
介在されているカラー(32)が嵌め被せられている。な
お、頭部(26)の断面は、四角形でもよく、また円形とし
て、頭部上面にスパナ係合用凹所を設けるようにしても
よい。
【００３７】この結合部材(11)によると、おねじ部材(2
3)の頭部(26)下面が門型金具(21)の頂壁(21b) 上面に当
接しているので、おねじ部材(23)をめねじ部材(24)にね
じ込んでいくことにより、めねじ部材(24)が上方に移動
し、おねじ部材(23)をめねじ部材(24)からねじ戻してい
くことにより、めねじ部材(24)が下方に移動する。この
ときのめねじ部材(24)の運動は、回転せずに上下に移動
するだけであるから、めねじ部材(24)の下端面とマスフ
ローコントローラ(5) の張出部(9)(10) 上面との間の摩
擦の影響がなくなり、締付トルク値が安定する。なお、
おねじ部材(23)およびめねじ部材(24)は、右ねじか左ね
じかを問わないが、おねじ部材(23)を右回転させたとき
に、締め付けられるようにするには、両ねじ部材(23)(2
4)を左ねじとすればよい。
3)の頭部(26)下面が門型金具(21)の頂壁(21b) 上面に当
接しているので、おねじ部材(23)をめねじ部材(24)にね
じ込んでいくことにより、めねじ部材(24)が上方に移動
し、おねじ部材(23)をめねじ部材(24)からねじ戻してい
くことにより、めねじ部材(24)が下方に移動する。この
ときのめねじ部材(24)の運動は、回転せずに上下に移動
するだけであるから、めねじ部材(24)の下端面とマスフ
ローコントローラ(5) の張出部(9)(10) 上面との間の摩
擦の影響がなくなり、締付トルク値が安定する。なお、
おねじ部材(23)およびめねじ部材(24)は、右ねじか左ね
じかを問わないが、おねじ部材(23)を右回転させたとき
に、締め付けられるようにするには、両ねじ部材(23)(2
4)を左ねじとすればよい。
【００３８】なお、図１から図３までに示した状態か
ら、めねじ部材(24)を上方に移動させ、マスフローコン
トローラ(5) から離れる方向に倒すと、マスフローコン
トローラ(5) を上方に取り出すことができる。また、マ
スフローコントローラ(3) を取り付けるさいには、マス
フローコントローラ(3) の後方張出部(9) および通路ブ
ロック(4) が左右側壁(21a) の下部によって左右両側か
ら挟まれることにより、左右の位置決めが行われるの
で、流体制御装置を設置するパネルが垂直の場合でも、
位置決めやボルトとねじ孔の噛み合わせなどに手間を掛
けずに済み、作業性が向上し、これに伴って、作業のと
きにシール部を傷付けてシール性が悪化するというよう
な問題も防止される。
ら、めねじ部材(24)を上方に移動させ、マスフローコン
トローラ(5) から離れる方向に倒すと、マスフローコン
トローラ(5) を上方に取り出すことができる。また、マ
スフローコントローラ(3) を取り付けるさいには、マス
フローコントローラ(3) の後方張出部(9) および通路ブ
ロック(4) が左右側壁(21a) の下部によって左右両側か
ら挟まれることにより、左右の位置決めが行われるの
で、流体制御装置を設置するパネルが垂直の場合でも、
位置決めやボルトとねじ孔の噛み合わせなどに手間を掛
けずに済み、作業性が向上し、これに伴って、作業のと
きにシール部を傷付けてシール性が悪化するというよう
な問題も防止される。
【００３９】図４は、半導体製造装置に設けられる流体
制御装置の第２実施形態を示しており、後から順に、第
１流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、
第４開閉弁(12)、マスフローコントローラ(5) 、第３開
閉弁(6) および流体流出部(7) を備えている。第２開閉
弁(3) の下方には、第２流体流入部(8) が設けられてい
る。また、第４開閉弁(12)および第３開閉弁(6) の下方
には、それぞれ通路ブロック(13)(14)が設けられ、これ
らの通路ブロック(13)(14)同士がチューブ(15)で接続さ
れている。
制御装置の第２実施形態を示しており、後から順に、第
１流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、第２開閉弁(3) 、
第４開閉弁(12)、マスフローコントローラ(5) 、第３開
閉弁(6) および流体流出部(7) を備えている。第２開閉
弁(3) の下方には、第２流体流入部(8) が設けられてい
る。また、第４開閉弁(12)および第３開閉弁(6) の下方
には、それぞれ通路ブロック(13)(14)が設けられ、これ
らの通路ブロック(13)(14)同士がチューブ(15)で接続さ
れている。
【００４０】第１流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、第
２開閉弁(3) 、マスフローコントローラ(5) および流体
流出部(7) は、第１実施形態と同じものが使用されてい
る。第３開閉弁(6) の弁本体(16)には、通路ブロック(1
4)に通じる通路が付加されている。
２開閉弁(3) 、マスフローコントローラ(5) および流体
流出部(7) は、第１実施形態と同じものが使用されてい
る。第３開閉弁(6) の弁本体(16)には、通路ブロック(1
4)に通じる通路が付加されている。
【００４１】第４開閉弁(12)は、ブロック状の弁本体(1
7)を備えている。弁本体(17)の前後長さは、第１および
第２開閉弁(2)(3)の弁本体(2a)(3a)の前後長さの略２倍
とされており、アクチュエータ部分(12a) は、弁本体(1
7)の後半部に設けられている。第４開閉弁(12)の弁本体
(17)の前端部上面(17a) は、マスフローコントローラ
(5) の後方張出部(9) の略４５°前下がりの下面(9a)に
応じて、これと同じ前下がり傾斜面とされ、この面(17
a) がマスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) の
下面(9a)に突き合わされている。
7)を備えている。弁本体(17)の前後長さは、第１および
第２開閉弁(2)(3)の弁本体(2a)(3a)の前後長さの略２倍
とされており、アクチュエータ部分(12a) は、弁本体(1
7)の後半部に設けられている。第４開閉弁(12)の弁本体
(17)の前端部上面(17a) は、マスフローコントローラ
(5) の後方張出部(9) の略４５°前下がりの下面(9a)に
応じて、これと同じ前下がり傾斜面とされ、この面(17
a) がマスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) の
下面(9a)に突き合わされている。
【００４２】第４開閉弁(12)の流出路(48)は、下方にの
びる上流部(48a) と、マスフローコントローラ(5) の流
入路(42)に通じている下流部(48b) とよりなる。下流部
(48b) は若干前上がりとされ、上流部(48a) と下流部(4
8b) とのなす角は、７５°くらいの鋭角とされている。
また、下流部(48b) は、弁本体(17)の前端部上面(17a)
に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなされている。こ
れにより、第４開閉弁(12)の流出路下流部(48b) とマス
フローコントローラ(5) の流入路(42)のなす角は、１６
５°くらいの鈍角とされている。
びる上流部(48a) と、マスフローコントローラ(5) の流
入路(42)に通じている下流部(48b) とよりなる。下流部
(48b) は若干前上がりとされ、上流部(48a) と下流部(4
8b) とのなす角は、７５°くらいの鋭角とされている。
また、下流部(48b) は、弁本体(17)の前端部上面(17a)
に直角な方向よりは傾斜角度がゆるくなされている。こ
れにより、第４開閉弁(12)の流出路下流部(48b) とマス
フローコントローラ(5) の流入路(42)のなす角は、１６
５°くらいの鈍角とされている。
【００４３】この第２実施形態は、第１実施形態におけ
る通路ブロック(4) に代えて第４開閉弁(12)を設置した
ものであり、第１実施形態と同じ構成のものに同じ符号
を付して説明を省略する。
る通路ブロック(4) に代えて第４開閉弁(12)を設置した
ものであり、第１実施形態と同じ構成のものに同じ符号
を付して説明を省略する。
【００４４】なお、上記第１および第２実施形態では、
マスフローコントローラ(5) と通路ブロック(4) または
弁本体(16)(17)とが接続されているが、マスフローコン
トローラ(5) に代えて、プレッシャーレギュレータや各
種弁等の流量または圧力を調整する調整器を用いても良
く、これに接続される部材は、弁本体(16)(17)や通路ブ
ロック(4) のほか、フィルタなどとしても良く、これら
が適宜組み合わされて流体制御装置が構成される。
マスフローコントローラ(5) と通路ブロック(4) または
弁本体(16)(17)とが接続されているが、マスフローコン
トローラ(5) に代えて、プレッシャーレギュレータや各
種弁等の流量または圧力を調整する調整器を用いても良
く、これに接続される部材は、弁本体(16)(17)や通路ブ
ロック(4) のほか、フィルタなどとしても良く、これら
が適宜組み合わされて流体制御装置が構成される。
【００４５】また、押圧体として、門型金具(21)の左右
両側壁(21a) を貫通する回転自在の偏心軸を用いること
とし、偏心軸を回転させることにより、偏心軸の短径部
がマスフローコントローラ(5) の張出部(9)(10) に対向
して、偏心軸とマスフローコントローラ(5) の張出部
(9)(10) との間に隙間が生じている状態と、偏心軸の長
径部がマスフローコントローラ(5) の張出部(9)(10) の
上面に当接して、偏心軸の長径部によってマスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) が押圧される状態とに
切換える構成としてもよい。いずれにしても、シール部
(18)の真上からマスフローコントローラ(5) の張出部
(9)(10) 下面(9a)(10a) を通路ブロック(4)や弁本体(1
6)(17)の突き合わせ面(4a)(16a)(17a)に押圧することに
より、シール部(18)を挟む対称位置で２本のボルトによ
り締め付けていくときのような締付けのバランスを考慮
しなくてよい。
両側壁(21a) を貫通する回転自在の偏心軸を用いること
とし、偏心軸を回転させることにより、偏心軸の短径部
がマスフローコントローラ(5) の張出部(9)(10) に対向
して、偏心軸とマスフローコントローラ(5) の張出部
(9)(10) との間に隙間が生じている状態と、偏心軸の長
径部がマスフローコントローラ(5) の張出部(9)(10) の
上面に当接して、偏心軸の長径部によってマスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) が押圧される状態とに
切換える構成としてもよい。いずれにしても、シール部
(18)の真上からマスフローコントローラ(5) の張出部
(9)(10) 下面(9a)(10a) を通路ブロック(4)や弁本体(1
6)(17)の突き合わせ面(4a)(16a)(17a)に押圧することに
より、シール部(18)を挟む対称位置で２本のボルトによ
り締め付けていくときのような締付けのバランスを考慮
しなくてよい。
【００４６】なお、上記の実施形態では、張出部(9)(1
0) 下面(9a)(10a) および通路ブロック(4) ・弁本体(1
6)(17)の突き合わせ面(4a)(16a)(17a)は傾斜面とされて
いるが、上述した結合部材(11)は、突き合わせ面(9a)(1
0a)(4a)(16a)(17a) が傾斜面でなくても使用できる。ま
た、マスフローコントローラ(5) の前後で通路(41a)(41
b)(42)(43)(44)(45a)(48b)同士のなす角を鈍角とするこ
とについても、突き合わせ面(9a)(10a)(4a)(16a)(17a)
が傾斜面でなくても適用できる。
0) 下面(9a)(10a) および通路ブロック(4) ・弁本体(1
6)(17)の突き合わせ面(4a)(16a)(17a)は傾斜面とされて
いるが、上述した結合部材(11)は、突き合わせ面(9a)(1
0a)(4a)(16a)(17a) が傾斜面でなくても使用できる。ま
た、マスフローコントローラ(5) の前後で通路(41a)(41
b)(42)(43)(44)(45a)(48b)同士のなす角を鈍角とするこ
とについても、突き合わせ面(9a)(10a)(4a)(16a)(17a)
が傾斜面でなくても適用できる。
【００４７】さらにまた、上記の実施形態では、門型金
具(21)は、左右にのびる軸を中心にして回動し得るよう
に接続部材(4)(16)(17) に取り付けられているが、門型
金具は、前後方向に移動し得るように接続部材に取り付
けられるようにしてもよい。この実施形態（第３実施形
態）を図５から図７までに示す。
具(21)は、左右にのびる軸を中心にして回動し得るよう
に接続部材(4)(16)(17) に取り付けられているが、門型
金具は、前後方向に移動し得るように接続部材に取り付
けられるようにしてもよい。この実施形態（第３実施形
態）を図５から図７までに示す。
【００４８】図５に示すように、流体制御装置の第３実
施形態は、マスフローコントローラ(5) と、これの後側
および前側にそれぞれ設けられた第１および第２の開閉
弁(33)(34)とを備えている。
施形態は、マスフローコントローラ(5) と、これの後側
および前側にそれぞれ設けられた第１および第２の開閉
弁(33)(34)とを備えている。
【００４９】マスフローコントローラ(5) は、その左右
側面に下端までのびる垂直状ピン嵌合溝(35)が設けられ
ている点のみが、上記の実施形態のものと異なってい
る。したがって、マスフローコントローラ(5) の構成に
ついては、上記の実施形態のものと同じ符号を付して説
明を省略する。
側面に下端までのびる垂直状ピン嵌合溝(35)が設けられ
ている点のみが、上記の実施形態のものと異なってい
る。したがって、マスフローコントローラ(5) の構成に
ついては、上記の実施形態のものと同じ符号を付して説
明を省略する。
【００５０】第１開閉弁(33)の弁本体前側に、ブロック
状の前方張出部(36)が設けられ、第２開閉弁(34)の弁本
体後側に、ブロック状の後方張出部(37)が設けられてい
る。
状の前方張出部(36)が設けられ、第２開閉弁(34)の弁本
体後側に、ブロック状の後方張出部(37)が設けられてい
る。
【００５１】第１開閉弁(33)の前方張出部(36)は、平坦
な下面(36a) と、これに平行でかつ下面(36a) よりも前
端位置が後方にある上面(36b) と、上面(36b) の前端か
ら下方に傾斜しマスフローコントローラ(5) の後方張出
部(9) の下面(9a)に対応している傾斜面(36c) とを有し
ている。第２開閉弁(34)の後方張出部(37)は、平坦な下
面(37a) と、これに平行でかつ下面(37a) よりも後端位
置が前方にある上面(37b) と、上面(37b) の後端から下
方に傾斜しマスフローコントローラ(5) の前方張出部(1
0)の下面(10a) に対応している傾斜面(37c) とを有して
いる。
な下面(36a) と、これに平行でかつ下面(36a) よりも前
端位置が後方にある上面(36b) と、上面(36b) の前端か
ら下方に傾斜しマスフローコントローラ(5) の後方張出
部(9) の下面(9a)に対応している傾斜面(36c) とを有し
ている。第２開閉弁(34)の後方張出部(37)は、平坦な下
面(37a) と、これに平行でかつ下面(37a) よりも後端位
置が前方にある上面(37b) と、上面(37b) の後端から下
方に傾斜しマスフローコントローラ(5) の前方張出部(1
0)の下面(10a) に対応している傾斜面(37c) とを有して
いる。
【００５２】第１開閉弁(33)の前方張出部(36)には、図
６に示すように、水平な上流部(64a) と、傾斜面(37c)
に直交する下流部(64b) とよりなるマスフローコントロ
ーラ(5) への流出路(64)が形成されている。流出路(64)
の上流部(64a) と下流部(64b) とのなす角は、１４５°
くらいの鈍角であり、下流部(64b) とマスフローコント
ローラ(5) の流入路(42)とのなす角は、１８０°であ
る。
６に示すように、水平な上流部(64a) と、傾斜面(37c)
に直交する下流部(64b) とよりなるマスフローコントロ
ーラ(5) への流出路(64)が形成されている。流出路(64)
の上流部(64a) と下流部(64b) とのなす角は、１４５°
くらいの鈍角であり、下流部(64b) とマスフローコント
ローラ(5) の流入路(42)とのなす角は、１８０°であ
る。
【００５３】マスフローコントローラ(5) の後方張出部
(9) が第１開閉弁(33)の前方張出部(36)に、また、マス
フローコントローラ(5) の前方張出部(10)が第２開閉弁
(34)の後方張出部(37)に、それぞれ結合部材(38)により
着脱自在に取り付けられている。
(9) が第１開閉弁(33)の前方張出部(36)に、また、マス
フローコントローラ(5) の前方張出部(10)が第２開閉弁
(34)の後方張出部(37)に、それぞれ結合部材(38)により
着脱自在に取り付けられている。
【００５４】結合部材(38)は、各開閉弁(33)(34)の張出
部(36)(37)の左右の幅に等しい間隔で対向させられた左
右側壁(51a) および貫通めねじ部(54)が設けられた頂壁
(51b) よりなる門型金具(51)と、門型金具(51)の下端部
間に渡し止められた水平軸(52)と、門型金具(51)の貫通
めねじ部(54)にねじ合わされかつマスフローコントロー
ラ(5) の張出部(9)(10) を開閉弁(33)(34)の張出部(36)
(37)に押圧する押圧体(53)とよりなる。
部(36)(37)の左右の幅に等しい間隔で対向させられた左
右側壁(51a) および貫通めねじ部(54)が設けられた頂壁
(51b) よりなる門型金具(51)と、門型金具(51)の下端部
間に渡し止められた水平軸(52)と、門型金具(51)の貫通
めねじ部(54)にねじ合わされかつマスフローコントロー
ラ(5) の張出部(9)(10) を開閉弁(33)(34)の張出部(36)
(37)に押圧する押圧体(53)とよりなる。
【００５５】押圧体(53)は、図６に拡大して示すよう
に、門型金具(51)の貫通めねじ部(54)にねじ合わされて
いるおねじ部(55)と、おねじ部(55)の上端に連なるスパ
ナ係合用頭部(56)と、おねじ部(55)の下端に連なりかつ
先端面が垂直断面円弧状とされた短円柱状凸部(57)とよ
りなる。
に、門型金具(51)の貫通めねじ部(54)にねじ合わされて
いるおねじ部(55)と、おねじ部(55)の上端に連なるスパ
ナ係合用頭部(56)と、おねじ部(55)の下端に連なりかつ
先端面が垂直断面円弧状とされた短円柱状凸部(57)とよ
りなる。
【００５６】前述のように、マスフローコントローラ
(5) の後方および前方張出部(9)(10)の上面には、押圧
体(53)の凸部(57)の先端面を受ける垂直断面円弧状でか
つ左右にのびるマスフローコントローラ取付け時押圧体
位置決め用凹所(39)が設けられているが、各開閉弁(33)
(34)の張出部(36)(37)の上面(36b)(37b)にも、これらと
同形状のマスフローコントローラ取外し時押圧体位置決
め用凹所(49)が設けられている。
(5) の後方および前方張出部(9)(10)の上面には、押圧
体(53)の凸部(57)の先端面を受ける垂直断面円弧状でか
つ左右にのびるマスフローコントローラ取付け時押圧体
位置決め用凹所(39)が設けられているが、各開閉弁(33)
(34)の張出部(36)(37)の上面(36b)(37b)にも、これらと
同形状のマスフローコントローラ取外し時押圧体位置決
め用凹所(49)が設けられている。
【００５７】開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)の下面(3
6a)(37a)には、結合部材(38)の水平軸(52)を前後方向に
案内する案内溝(58)が設けられている。案内溝(58)は、
下方に開口しており、その底面の前後端部には、垂直断
面円弧状でかつ左右にのびており水平軸(52)に係合する
マスフローコントローラ取付け時および取外し時水平軸
位置決め用凹所(59)(60)がそれぞれ設けられている。図
６に示すように、マスフローコントローラ取付け時水平
軸位置決め用凹所(59)は、マスフローコントローラ取付
け時押圧体位置決め用凹所(39)の下方に位置させられて
おり、マスフローコントローラ取外し時水平軸位置決め
用凹所(60)は、開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)のマス
フローコントローラ取外し時押圧体位置決め用凹所(49)
の下方に位置させられている。また、マスフローコント
ローラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)の中心とマス
フローコントローラ取付け時水平軸位置決め用凹所(59)
の中心とは、シール部(18)の中心を介して上下一直線上
に並ぶように位置決めされている。
6a)(37a)には、結合部材(38)の水平軸(52)を前後方向に
案内する案内溝(58)が設けられている。案内溝(58)は、
下方に開口しており、その底面の前後端部には、垂直断
面円弧状でかつ左右にのびており水平軸(52)に係合する
マスフローコントローラ取付け時および取外し時水平軸
位置決め用凹所(59)(60)がそれぞれ設けられている。図
６に示すように、マスフローコントローラ取付け時水平
軸位置決め用凹所(59)は、マスフローコントローラ取付
け時押圧体位置決め用凹所(39)の下方に位置させられて
おり、マスフローコントローラ取外し時水平軸位置決め
用凹所(60)は、開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)のマス
フローコントローラ取外し時押圧体位置決め用凹所(49)
の下方に位置させられている。また、マスフローコント
ローラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)の中心とマス
フローコントローラ取付け時水平軸位置決め用凹所(59)
の中心とは、シール部(18)の中心を介して上下一直線上
に並ぶように位置決めされている。
【００５８】マスフローコントローラ(5) および開閉弁
(33)(34)が取り付けられるパネル(61)には、マスフロー
コントローラ(5) のピン嵌合溝(35)に嵌め合わされる左
右一対の垂直状案内ピン(62)が設けられている。
(33)(34)が取り付けられるパネル(61)には、マスフロー
コントローラ(5) のピン嵌合溝(35)に嵌め合わされる左
右一対の垂直状案内ピン(62)が設けられている。
【００５９】次いで、図６および図７を参照して、マス
フローコントローラ(5) と開閉弁(33)(34)（図示は第１
開閉弁(33)のみ）とをパネル(61)に取り付けていく手順
について説明する。
フローコントローラ(5) と開閉弁(33)(34)（図示は第１
開閉弁(33)のみ）とをパネル(61)に取り付けていく手順
について説明する。
【００６０】まず、第１および第２開閉弁(33)(34)をパ
ネル(61)に上方からのねじ(63)で固定する。次いで、お
ねじ部(55)がねじ戻されている結合部材(38)の水平軸(5
2)を開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)の案内溝(58)に嵌
め入れ、押圧体(53)の凸部(57)をマスフローコントロー
ラ取外し時押圧体位置決め用凹所(49)の上方に位置させ
るとともに、水平軸(52)をマスフローコントローラ取外
し時水平軸位置決め用凹所(60)に嵌め合わせる。この状
態で押圧体(53)のおねじ部(55)を締め付けていくことに
より、図６に鎖線で示すように、結合部材(38)がマスフ
ローコントローラ(5) の取付けの妨げにならない位置で
仮止めされる。次いで、マスフローコントローラ(5) の
ピン嵌合溝(35)を案内ピン(62)に嵌め合わせる。これに
より、マスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) の
下面(9a)が、第１開閉弁(33)の前方張出部(36)の傾斜面
(36c) に、また、マスフローコントローラ(5) の前方張
出部(10)の下面(10a) が、第２開閉弁(34)の後方張出部
(37)の傾斜面(37c) にそれぞれ突き合わされる。次い
で、押圧体(53)のおねじ部(55)を緩めて、水平軸(52)を
案内溝(58)に沿ってマスフローコントローラ(5) 側へ移
動させ、押圧体(53)の凸部(57)をマスフローコントロー
ラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)の上方に位置させ
るとともに、水平軸(52)をマスフローコントローラ取付
け時水平軸位置決め用凹所(59)に嵌め合わせる。そし
て、押圧体(53)のおねじ部(55)をねじ込んでいくと、図
６に実線で示すように、押圧体(53)の凸部(57)がマスフ
ローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)に
嵌まり合い、マスフローコントローラ(5) と第１開閉弁
(33)および第２開閉弁(34)とが連結される。マスフロー
コントローラ取付け時水平軸位置決め用凹所(59)および
マスフローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所
(39)によって結合部材(38)の位置が決定され、これによ
り、押圧体(53)がシール部(18)の真上からマスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) を開閉弁(33)(34)の張
出部(36)(37)に押圧する。
ネル(61)に上方からのねじ(63)で固定する。次いで、お
ねじ部(55)がねじ戻されている結合部材(38)の水平軸(5
2)を開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)の案内溝(58)に嵌
め入れ、押圧体(53)の凸部(57)をマスフローコントロー
ラ取外し時押圧体位置決め用凹所(49)の上方に位置させ
るとともに、水平軸(52)をマスフローコントローラ取外
し時水平軸位置決め用凹所(60)に嵌め合わせる。この状
態で押圧体(53)のおねじ部(55)を締め付けていくことに
より、図６に鎖線で示すように、結合部材(38)がマスフ
ローコントローラ(5) の取付けの妨げにならない位置で
仮止めされる。次いで、マスフローコントローラ(5) の
ピン嵌合溝(35)を案内ピン(62)に嵌め合わせる。これに
より、マスフローコントローラ(5) の後方張出部(9) の
下面(9a)が、第１開閉弁(33)の前方張出部(36)の傾斜面
(36c) に、また、マスフローコントローラ(5) の前方張
出部(10)の下面(10a) が、第２開閉弁(34)の後方張出部
(37)の傾斜面(37c) にそれぞれ突き合わされる。次い
で、押圧体(53)のおねじ部(55)を緩めて、水平軸(52)を
案内溝(58)に沿ってマスフローコントローラ(5) 側へ移
動させ、押圧体(53)の凸部(57)をマスフローコントロー
ラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)の上方に位置させ
るとともに、水平軸(52)をマスフローコントローラ取付
け時水平軸位置決め用凹所(59)に嵌め合わせる。そし
て、押圧体(53)のおねじ部(55)をねじ込んでいくと、図
６に実線で示すように、押圧体(53)の凸部(57)がマスフ
ローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所(39)に
嵌まり合い、マスフローコントローラ(5) と第１開閉弁
(33)および第２開閉弁(34)とが連結される。マスフロー
コントローラ取付け時水平軸位置決め用凹所(59)および
マスフローコントローラ取付け時押圧体位置決め用凹所
(39)によって結合部材(38)の位置が決定され、これによ
り、押圧体(53)がシール部(18)の真上からマスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) を開閉弁(33)(34)の張
出部(36)(37)に押圧する。
【００６１】マスフローコントローラ(5) を取り外すさ
いには、押圧体(53)のおねじ部(55)を緩めて、水平軸(5
2)を案内溝(58)に沿って移動させて，再び、押圧体(53)
の凸部(57)をマスフローコントローラ取外し時押圧体位
置決め用凹所(49)の上方に位置させるとともに、マスフ
ローコントローラ取外し時水平軸位置決め用凹所(60)に
水平軸(52)を嵌め合わせ、結合部材(38)を仮止めしてか
ら、マスフローコントローラ(5) を上方に取り出せばよ
い。
いには、押圧体(53)のおねじ部(55)を緩めて、水平軸(5
2)を案内溝(58)に沿って移動させて，再び、押圧体(53)
の凸部(57)をマスフローコントローラ取外し時押圧体位
置決め用凹所(49)の上方に位置させるとともに、マスフ
ローコントローラ取外し時水平軸位置決め用凹所(60)に
水平軸(52)を嵌め合わせ、結合部材(38)を仮止めしてか
ら、マスフローコントローラ(5) を上方に取り出せばよ
い。
【００６２】マスフローコントローラ(5) を取り付ける
さいの位置決めは、マスフローコントローラ(5) のピン
嵌合溝(35)を案内ピン(62)に嵌め合わせることにより行
われ、また、マスフローコントローラ(5) の張出部(9)
(10) および開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)が門型金
具(51)の左右側壁(51a) によって左右両側から挟まれる
ことによっても行われる。したがって、マスフローコン
トローラ(5) の前後・左右への動きが抑えられるので、
流体制御装置を設置するパネルが垂直の場合でも、位置
決めやボルトとねじ孔の噛み合わせなどに手間を掛けず
に済み、作業性が向上し、これに伴って、作業のときに
シール部を傷付けてシール性が悪化するというような問
題やシール部のずれや片締めが防止される。
さいの位置決めは、マスフローコントローラ(5) のピン
嵌合溝(35)を案内ピン(62)に嵌め合わせることにより行
われ、また、マスフローコントローラ(5) の張出部(9)
(10) および開閉弁(33)(34)の張出部(36)(37)が門型金
具(51)の左右側壁(51a) によって左右両側から挟まれる
ことによっても行われる。したがって、マスフローコン
トローラ(5) の前後・左右への動きが抑えられるので、
流体制御装置を設置するパネルが垂直の場合でも、位置
決めやボルトとねじ孔の噛み合わせなどに手間を掛けず
に済み、作業性が向上し、これに伴って、作業のときに
シール部を傷付けてシール性が悪化するというような問
題やシール部のずれや片締めが防止される。
【００６３】この第３実施形態のものでは、マスフロー
コントローラ(5) を垂直パネル(61)に取り付ける場合、
マスフローコントローラ(5) が自重により落下すること
防止されるので、取付け作業がより一層容易となる。ま
た、結合部材(38)が仮止めできるので、パネル(61)が垂
直になっている場合であっても、結合部材(38)が自重に
よって下方に回動しマスフローコントローラ(5) の取付
け等スペースを塞ぐことがない。したがって、垂直パネ
ル(61)にマスフローコントローラ(5) 等を取り付けるさ
いに特に有利な構成である。
コントローラ(5) を垂直パネル(61)に取り付ける場合、
マスフローコントローラ(5) が自重により落下すること
防止されるので、取付け作業がより一層容易となる。ま
た、結合部材(38)が仮止めできるので、パネル(61)が垂
直になっている場合であっても、結合部材(38)が自重に
よって下方に回動しマスフローコントローラ(5) の取付
け等スペースを塞ぐことがない。したがって、垂直パネ
ル(61)にマスフローコントローラ(5) 等を取り付けるさ
いに特に有利な構成である。
【００６４】なお、第１および第２実施形態の結合部材
(11)と第３実施形態の結合部材(38)とは、互いに交換可
能であり、第１および第２実施形態の結合部材(11)を第
３実施形態で使用してもよいし、第３実施形態の結合部
材(38)を第１および第２実施形態で使用してもよい。
(11)と第３実施形態の結合部材(38)とは、互いに交換可
能であり、第１および第２実施形態の結合部材(11)を第
３実施形態で使用してもよいし、第３実施形態の結合部
材(38)を第１および第２実施形態で使用してもよい。
【００６５】上記第１から第３実施形態の結合部材(11)
(38)によると、おねじ部材(23)またはおねじ部(55)付き
の押圧体(53)は、シール部(18)の上方に１本配置するだ
けであるから、シール部(18)を挟む対称位置にそれぞれ
ボルトを配置する従来のものに比べて、おねじ部(27)(5
5)を太くすることができ、その結果、ピッチの粗いおね
じ部(27)(55)を使用できるので、トルク管理でなく、回
転数管理としても、適正な締付けの管理ができる。
(38)によると、おねじ部材(23)またはおねじ部(55)付き
の押圧体(53)は、シール部(18)の上方に１本配置するだ
けであるから、シール部(18)を挟む対称位置にそれぞれ
ボルトを配置する従来のものに比べて、おねじ部(27)(5
5)を太くすることができ、その結果、ピッチの粗いおね
じ部(27)(55)を使用できるので、トルク管理でなく、回
転数管理としても、適正な締付けの管理ができる。
【００６６】また、第１から第３実施形態において、図
２および図６からわかるように、マスフローコントロー
ラ(5) の後方張出部(9)(10) の上面から押圧体(22)(53)
により下向きの力が加えられたとき、マスフローコント
ローラ(5) の張出部(9)(10)の下面(9a)(10a) は、これ
らに突き合わされている通路ブロック(4) および開閉弁
(6)(33)(34) の突き合わせ面(4a)(16a)(36c)(37c) に沿
って若干スライドしながら突き合わせ面(4a)(16a)(36c)
(37c) に強く押圧されていく。すなわち、マスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) がくさびと同様の動き
をすることにより、シール部(18)の面圧が上がり、シー
ル性が向上する。
２および図６からわかるように、マスフローコントロー
ラ(5) の後方張出部(9)(10) の上面から押圧体(22)(53)
により下向きの力が加えられたとき、マスフローコント
ローラ(5) の張出部(9)(10)の下面(9a)(10a) は、これ
らに突き合わされている通路ブロック(4) および開閉弁
(6)(33)(34) の突き合わせ面(4a)(16a)(36c)(37c) に沿
って若干スライドしながら突き合わせ面(4a)(16a)(36c)
(37c) に強く押圧されていく。すなわち、マスフローコ
ントローラ(5) の張出部(9)(10) がくさびと同様の動き
をすることにより、シール部(18)の面圧が上がり、シー
ル性が向上する。
【００６７】また、マスフローコントローラ(5) を取り
付けるさいには、前方の結合部材(11)(38)と後方の結合
部材(11)(38)とを交互にバランスよく締め付けていく必
要があるが、従来の流体制御装置では、前方に左右２
本、後方に左右２本あるボルトを前後でもバランスを取
り、しかも左右でもバランスを取りながら締め付けてい
く必要があったのに対して、大幅に作業性が向上してい
る。
付けるさいには、前方の結合部材(11)(38)と後方の結合
部材(11)(38)とを交互にバランスよく締め付けていく必
要があるが、従来の流体制御装置では、前方に左右２
本、後方に左右２本あるボルトを前後でもバランスを取
り、しかも左右でもバランスを取りながら締め付けてい
く必要があったのに対して、大幅に作業性が向上してい
る。
【図１】この発明による流体制御装置の第１実施形態を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図２のIII-III 線に沿う断面図である。
【図４】この発明による流体制御装置の第２実施形態を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図５】この発明による流体制御装置の第３実施形態を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図６】図５の要部拡大図である。
【図７】図６のVII-VII 線に沿う断面図である。
(4) 通路ブロック (4a) 前端部上面（突き合わせ面） (5) マスフローコントローラ (9) 後方張出部 (9a) 下面 (10) 前方張出部 (10a) 下面 (11) 結合部材 (16) 弁本体 (16a) 後端部上面（突き合わせ面） (17) 弁本体 (17a) 前端部上面（突き合わせ面） (18) シール部 (19) 貫通孔 (20) 回転軸 (21) 門型金具 (21a) 側壁 (22) 押圧体 (35) 位置決めピン嵌合溝 (36) 弁本体張出部 (36a) 傾斜面（突き合わせ面） (37) 弁本体張出部 (37a) 傾斜面（突き合わせ面） (41) 連通路 (42) 流入路 (44) 流出路 (45) 流入路 (48) 流入路 (51) 門型金具 (51a) 側壁 (52) 水平軸 (53) 押圧体 (58) 案内溝 (64) 流出路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山路 道雄 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 田中 久士 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内
Claims (6)
- 【請求項１】 流量または圧力を調整する調整器(5)
と、調整器(5) の下端部前後両面に設けられた調整器張
出部(9)(10) と、調整器張出部(9)(10) の下面(9a)(10
a) に突き合わされた接続部材(4)(16)(17)(36)(37) と
を備えており、調整器張出部(9)(10) と接続部材(4)(1
6)(17)(36)(37) とがシール部(18)を介して着脱自在に
接続されている流体制御装置において、 接続部材(4)(16)(17)(36)(37) に、調整器張出部(9)(1
0) および接続部材(4)(16)(17)(36)(37) を左右両側か
ら挟む左右側壁(21a)(51a)を有する門型金具(21)(51)が
取り付けられ、門型金具(21)(51)に、調整器張出部(9)
(10) を接続部材(4)(16)(17)(36)(37) にシール部(18)
の真上から押圧する押圧体(22)(53)が設けられているこ
とを特徴とする流体制御装置。 - 【請求項２】 接続部材(4)(16)(17) を左右に貫通する
貫通孔(19)が設けられ、この貫通孔(19)に回転自在に挿
通された軸(20)の左右端部が門型金具(21)の左右側壁(2
1a) の下端部に固定されており、門型金具(21)が調整器
(5) の着脱の妨げにならない位置まで回動可能とされて
いる請求項１の流体制御装置。 - 【請求項３】 接続部材(36)(37)を左右に貫通しかつ前
後方向にのびる案内溝(58)が設けられ、この案内溝(58)
に前後移動自在に嵌め入れられた軸(52)の左右端部が門
型金具(51)の左右側壁(51a) の下端部に固定されてお
り、門型金具(51)が調整器(5) の着脱の妨げにならない
位置まで前後移動可能とされている請求項１の流体制御
装置。 - 【請求項４】 調整器(5) に、上下にのびる位置決めピ
ン嵌合溝(35)が設けられている請求項２または３の流体
制御装置。 - 【請求項５】 調整器張出部(9)(10) の下面(9a)(10a)
が調整器(5) から離れるにしたがって上方に傾斜させら
れ、これに応じて接続部材(4)(16)(17)(36)(37) の突き
合わせ面(4a)(16a)(17a)(36a)(37a)も傾斜させられてい
る請求項１の流体制御装置。 - 【請求項６】 調整器(5) がマスフローコントローラで
あり、調整器張出部(9)(10) に設けられた通路(42)(44)
と接続部材(4)(16)(17) に設けられた通路(41)(45)(48)
(64)との突き合わせ端面における交差角が鈍角とされて
いる請求項５の流体制御装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18658097A JPH10220698A (ja) | 1996-12-03 | 1997-07-11 | 流体制御装置 |
| KR1019970064988A KR19980063650A (ko) | 1996-12-03 | 1997-12-01 | 유체 제어 장치 |
| TW086118034A TW338091B (en) | 1996-12-03 | 1997-12-01 | A flow control device |
| DE1997618428 DE69718428T2 (de) | 1996-12-03 | 1997-12-02 | Flüssigkeitssteurungsgerät |
| US08/982,583 US5967489A (en) | 1996-12-03 | 1997-12-02 | Fluid control apparatus |
| EP19970121144 EP0846995B1 (en) | 1996-12-03 | 1997-12-02 | Fluid control apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32266496 | 1996-12-03 | ||
| JP8-322664 | 1996-12-03 | ||
| JP18658097A JPH10220698A (ja) | 1996-12-03 | 1997-07-11 | 流体制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10220698A true JPH10220698A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=26503854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18658097A Withdrawn JPH10220698A (ja) | 1996-12-03 | 1997-07-11 | 流体制御装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5967489A (ja) |
| EP (1) | EP0846995B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10220698A (ja) |
| KR (1) | KR19980063650A (ja) |
| DE (1) | DE69718428T2 (ja) |
| TW (1) | TW338091B (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2005121210A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-05-12 | Fujita Giken Kogyo Kk | 弁装置の取付構造、取付方法及び弁装置 |
| JP2006234110A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Ckd Corp | ガス供給ユニット及びガス供給システム |
| JP2007046697A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Fujikin Inc | 継手付き流体制御器 |
| WO2008149702A1 (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Limited | 流体制御装置 |
| US8104516B2 (en) | 2006-06-02 | 2012-01-31 | Ckd Corporation | Gas supply unit and gas supply system |
| WO2021095407A1 (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-20 | 株式会社不二工機 | 流路切換弁 |
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| JP4200245B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2008-12-24 | 株式会社フジキン | 流体継手 |
| JP2004526919A (ja) * | 2001-04-26 | 2004-09-02 | スウエイジロク・カンパニー | スナップコネクタを備えた弁 |
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| US9074686B2 (en) | 2010-12-06 | 2015-07-07 | Microflex Technologies Llc | Ring seal retainer assembly and methods |
| US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
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| JP1539278S (ja) * | 2015-03-31 | 2015-11-30 | ||
| US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
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- 1997-12-01 KR KR1019970064988A patent/KR19980063650A/ko not_active Application Discontinuation
- 1997-12-02 DE DE1997618428 patent/DE69718428T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-12-02 US US08/982,583 patent/US5967489A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-02 EP EP19970121144 patent/EP0846995B1/en not_active Expired - Lifetime
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| KR19980063650A (ko) | 1998-10-07 |
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| TW338091B (en) | 1998-08-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |