JP2006234110A - ガス供給ユニット及びガス供給システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 作用ガス搬送管路上に配設されるものであり、複数の流体制御機器2〜6,9が流路ブロック12〜17を介して連通して作用ガスを制御するガス供給ユニット11Aにおいて、複数の流体制御機器に含まれる入口開閉弁4を一側面に取り付けられる第1流路ブロック14と、複数の流体制御機器に含まれるパージ弁9を一側面に取り付けられる第2流路ブロック17とを有し、第1流路ブロック14と第2流路ブロック17を作用ガスの搬送方向に対して垂直方向に積層し、入口開閉弁4とパージ弁9を、作用ガス搬送管路上に配設されたマスフローコントローラ5とユニット11Aを取り付ける取付面との間に配設する。
【選択図】 図1
Description
ガス供給ユニットは、図中左端から図中右端に向かって作用ガスとパージガスが流れる。作用ガス供給源1には、レギュレータ2、圧力センサ3、入口開閉弁(特許請求の範囲の「第1流体制御機器」に相当。)4、マスフローコントローラ5、出口開閉弁6が順次接続し、出口開閉弁6の出力ポートに真空チャンバ7が接続している。一方、パージガス供給源8には、パージ弁(特許請求の範囲の「第2流体制御機器」に相当。)9が接続している。パージ弁9の出力ポートは、入口開閉弁4とマスフローコントローラ5との間に接続している。
従来のガス供給ユニット100は、レギュレータ2が入力ブロック101と流路ブロック102の上面に上方からボルトで固定され、入力ポートが入力ブロック101を介して作用ガス供給源1に連通する。圧力センサ3は、流路ブロック102,103の上面に上方からボルトで固定され、入力ポートがレギュレータの出力ポートに連通する。入口開閉弁4は、流路ブロック103,104の上面に上方からボルトで固定され、入力ポートが圧力センサ3の出力ポートに連通する。パージ弁9は、流路ブロック104,105及びパージブロック108の上面に上方からボルトで固定され、作用ガス入力ポートが入口開閉弁4の出力ポートに連通し、パージガス入力ポートがパージブロック108を介してパージガス供給源8に連通する。マスフローコントローラ5は、流路ブロック105,106の上面に上方からボルトで固定され、入力ポートがパージ弁9の共通出力ポートに連通する。出口開閉弁6は、流路ブロック106と出力ブロック107の上面に上方からボルトで固定され、出力ポートが出力ブロック107を介して真空チャンバ7に連通する。ガス供給ユニット100は、各機器2〜9をブロック101〜107の上面に上方からボルトで固定するため、全ての機器2〜9を配管で接続する場合と比べて、全長が短くなり、小型化できる(例えば、特許文献1参照)。
(1)作用ガス搬送管路上に配設されるものであり、複数の流体制御機器が流路ブロックを介して連通して作用ガスを制御するガス供給ユニットにおいて、複数の流体制御機器に含まれる第1流体制御機器を一側面に取り付けられる第1流路ブロックと、複数の流体制御機器に含まれる第2流体制御機器を一側面に取り付けられる第2流路ブロックとを有し、第1流路ブロックと第2流路ブロックを作用ガスの搬送方向に対して垂直方向に積層し、第1流体制御機器と第2流体制御機器を、作用ガス搬送管路上に配設された流体制御機器とユニットを取り付ける取付面との間に配設したものであることを特徴とする。
第1流路ブロック又は第2流路ブロックを、作用ガス搬送管路上に配設された流路ブロックに接続するバイパス配管が、流体制御機器と取付面との間に配設されていることを特徴とする。
(5)請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載するガス供給ユニットの両端に取り付けられて当該ガス供給ユニットを水平に保持する一対のブラケットを有し、一対のブラケットを取付部材に固定することにより、ガス供給ユニットを集積したものであることを特徴とする。
本発明のガス供給ユニットは、例えば作用ガスを左右方向に供給する場合には、第1流路ブロックと第2流路ブロックを作用ガスの搬送方向に対して垂直方向、すなわち上下方向に積層することにより、第1流路ブロックの一側面に取り付けられた第1流体制御機器と、第2流路ブロックの一側面に取り付けられた第2流体制御機器が、作用ガス供給管路上に配設された流体制御機器とユニットを取り付ける取付面との間の隙間に横向きに配設される。そのため、ガス供給ユニットに搭載される複数の流体制御機器のうち、作用ガス搬送管路上に並べられる流体制御機器は、第1流体制御機器と第2流体制御機器を省いたものとなる。しかも、第1流路ブロックと第2流路ブロックは、上下方向に積層され、ユニットの全長方向に無駄な空間を作らないので、1個の流体制御機器を2個の流路ブロックに固定する場合と比べて流路ブロック間の無駄な空間が少なくなる。ここで、第1,第2流体制御機器は、第1,第2流路ブロックにそれぞれ直接取り付けられている。そのため、ガス供給ユニットは、1個の機器を2個の流路ブロックに固定する場合と比べてブロックの数やシール箇所が減少する。
よって、本発明のガス供給ユニットによれば、作用ガス搬送管路上に配設される流体制御機器の数を減らすとともに、流路ブロック間の無駄な空間を少なくするので、ユニットの全長を短くして小型化を図ることができる。また、本発明のガス供給ユニットによれば、ブロック数やシール箇所が減るため、材料費や加工費を削減し、低廉化を図ることができる。
よって、本発明のガス供給ユニットによれば、第1,第2流路ブロックを積層するだけで、第1,第2流体制御機器で流体制御可能な流路を上下方向に簡単に形成することができる。
本発明のガス供給ユニットの第1実施形態について説明する。図1は、ガス供給ユニット11Aの側面図である。
ガス供給ユニット11Aは、図16に示す従来のガス供給ユニット100との差異を明確にするために、図15に示す回路を具体化するように構成されている。図16と同一の構成部品には、同一符号を付している。ガス供給ユニット11Aは、流体制御機器としてレギュレータ2、圧力センサ3、入口開閉弁4、マスフローコントローラ5、出口開閉弁6、パージ弁9を備え、機器2〜9をブロック12,13,14,15,16,17に取り付けてスティック状に連結している。機器2〜9及びブロック12〜17は、耐熱性や剛性を鑑みて、ステンレス等の剛性を有する金属を材質としている。ガス供給ユニット11Aは、流路ブロック(特許請求の範囲の「第1流路ブロック」に相当。)14と流路ブロック(「特許請求の範囲の「第2流路ブロック」に相当。)17をガス搬送方向に対して垂直に、すなわち縦方向に積み上げている点に特徴を有する。
図2(a)に示すように、流路ブロック14は、略立方体形状をなす。流路ブロック14の右側面には、入口開閉弁4を螺設するための取付孔21が円筒形状に穿設されている。流路ブロック14は、図中左側面から取付孔21と同軸上に第1ポート22が開設され、ストレート状の流路を介して取付孔21の中央に連通している。また、流路ブロック14は、図中上側面に第2ポート23が開設される一方、図中下側面に第3ポート24が開設されている。第2,第3ポート23,24は、L字型の流路を介して取付孔21に連通している。取付孔21の底面には、第1ポート22に連通する開口部の周りに弁座25が設けられ、弁座25を挟んで上下対称位置に第2,第3ポート23,24に連通する流路が開口している。流路ブロック14の取付孔21は、ダイアフラム弁体26で気密に区画され、第1〜第3ポート22,23,24に連通する弁室27を形成している。
図3(a)に示すように、流路ブロック17は、略立方体形状をなす。流路ブロック17の右側面には、パージ弁9を螺設するための取付孔31が円筒形状に穿設されている。流路ブロック17は、図中左側面から取付孔31と同軸上に第1ポート32が開設され、ストレート状の流路を介して取付孔31の中央に連通している。また、流路ブロック17は、図中上側面に第2ポート33が開設され、L字型の流路を介して取付孔31に連通している。取付孔31の底面には、第1ポート32に連通する開口部の周りに弁座35が設けられ、弁座35の外側に第2ポート33に連通する流路が開口している。流路ブロック17の取付孔31は、ダイアフラム弁体36で気密に区画され、第1,第2ポート32,33に連通する弁室37を形成している。
このようなガス供給ユニット11Aは、作用ガスとパージガスの何れも供給しないときには、入口開閉弁4、出口開閉弁6、パージ弁9を閉弁している。
ガス供給ユニット11Aは、入力ブロック12と流路ブロック13との間だけに全長方向の隙間Sがあるのに対して、従来のガス供給ユニット100は、入力ブロック101と流路ブロック102との間、流路ブロック102と流路ブロック103の間、流路ブロック103と流路ブロック104との間の3カ所に隙間Sがあり、ガス供給ユニット11Aは、従来のガス供給ユニット100と比べて全長方向の隙間量が少ない。また、ガス供給ユニット11Aは、従来のガス供給ユニット100と比べて入口開閉弁4とパージ弁9をラインに沿って設置されておらず、入口開閉弁4とパージ弁9の設置スペースを省くことができる。これにより、従来のガス供給ユニット100の全長が269mmであるのに対して、ガス供給ユニット11Aの全長が178mmになり、ガス供給ユニット11Aは従来のガス供給ユニット100と比べて全長を3分の2程度に削減することができた。
よって、本実施形態のガス供給ユニット11Aによれば、流路ブロック14,17を積層するだけで、入口開閉弁4、パージ弁9で流体制御可能な流路を上下方向に簡単に形成することができる。
続いて、ガス供給ユニットの第2実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態のガス供給ユニットは、第1実施形態と異なる回路を備える。図6は、ガス供給ユニットの回路図である。なお、第1実施形態と同一構成部品については、図面に同一符号を付し、説明を適宜省略する。
本実施形態のガス供給ユニットは、パージラインから分岐してマスフローコントローラ5の下流側に接続するバイパスラインを備える点で第1実施形態と相違する。バイパスラインには、流速を増加させるノズル54と、第2パージ弁9が配設されている。また、入口開閉弁4の上流側には、流量調整弁51が設けられ、作用ガス供給源1から入力した作用ガスを微小流量で入口開閉弁4に供給している。また、第1パージ弁(特許請求の範囲の「第1流体制御機器」に相当。)53の上流側には、逆止弁52が設けられ、作用ガスの逆流を防止している。
本実施形態のガス供給ユニット11Bは、図6に示す回路を具体化したものである。ガス供給ユニット11Bは、マスフローコントローラ5と取付面との間に流路ブロック14,55,17を縦方向に積層し、それも伴って形成されるマスフローコントローラ5と取付面との間の隙間を利用してバイパス配管56を設けている。ここで、本実施形態のガス供給ユニット11Bは、第1実施形態のガス供給ユニット11Aと同一構成を含んでいる。よって、本実施形態では、第1実施形態と相違する構成を中心に説明し、共通する構成については第1実施形態と同一符号を図面に付し、説明を適宜省略することにする。
このようにガス供給ユニット11Bは、バイパス配管56がマスフローコントローラ5と取付面との間に配設され、作用ガス供給ラインから幅方向にはみ出して設けられない。
ガス供給ユニット200は、1個の機器を2個の流路ブロックに取り付ける構造を備える。ガス供給ユニット200は、入力ブロック201、流量調整弁51、流路ブロック202、パージブロック203、切替ブロック204、流路ブロック205、分岐ブロック206、流路ブロック207、マスフローコントローラ5、流路ブロック208、第2パージ弁9、流路ブロック209、出口開閉弁6、出力ブロック210により、作用ガス供給ラインを構成する。また、ガス供給ユニット200は、逆止弁52、パージブロック203、第1パージ弁53、切替ブロック204、入口開閉弁4、流路ブロック205、分岐ブロック206、流路ブロック207により、パージガスラインを構成する。従って、従来のガス供給ユニット200は、入口開閉弁4、逆止弁52、第1パージ弁53、第2パージ弁9を作用ガス搬送管路上に配設している分だけ、本実施形態のガス供給ユニット11Bより全長が長くなっている。また、従来のガス供給ユニット200は、パージブロック203及び切替ブロック204の下方及びマスフローコントローラ5の下方にある隙間Sを無駄にしている。
ガス供給ユニット200は、分岐ブロック206、上流側バイパスブロック211、バイパス配管212、下流側バイパスブロック213によってバイパスラインを構成する。このとき、バイパス配管212は、ガス供給ユニット200の幅方向に突きだす。つまり、ガス供給ユニット200は、作用ガス供給ラインとバイパスラインがユニットの幅方向に並列な2ラインに設けられる。そのため、従来のガス供給ユニット200は、本実施形態のガス供給ユニット11Bより幅方向の設置スペースが大きい。
また、流路ブロック14,55,17を上下に積み重ねると、マスフローコントローラ5の下方だけでなく、流量調整弁51の下方にも空間ができる。ガス供給ユニット11Bは、流路ブロック55,17の両側にできる空間を利用して、流路ブロック55,17を挟んで反対向きに流体制御機器52,53,9やバイパス配管9を設けているので、ユニットの下方にできる隙間を有効活用して装置サイズを効率的に小さくすることができる。
続いて、本発明のガス供給ユニットの第3実施形態について図面を参照して説明する。図11は、ガス供給ユニットの回路図である。
本実施形態では、第1実施形態と異なる回路を備える。すなわち、入力側と出力側にフィルタ61,63を設けたり、手動弁62をフィルタ61とレギュレータ62との間に配設したり、パージ弁9の上流側に逆止弁52を設けている点で第1実施形態と相違している。
ガス供給ユニット11Cは、入力ブロック12と流路ブロック64の上面に手動弁62が上方からボルトで固定されている。入力ブロック12には、入力ポートにフィルタ61が取り付けられ、フィルタで不純物を除去された作用ガスが手動弁62に入力するようにされている。レギュレータ2は、流路ブロック64と流路ブロック13の上面に上方からボルトで固定され、入力ポートが手動弁62の出力ポートに連通し、出力ポートが流路ブロック13、流路ブロック14を介して入口開閉弁4に連通している。また、出力ブロック16には、フィルタ63が内蔵され、フィルタ63で不純物を除去したガスを真空チャンバ7に出力するようにされている。なお、流路ブロック17は、第1ポート32に連通するように逆止弁52が図中左側面にボルトで固定され、逆止弁52、パージ配管18を介してパージブロック19に連通している。
続いて、本発明の第4実施形態について図面を参照して説明する。図13は、ガス供給ユニット11Dの側面図である。
本実施形態のガス供給ユニット11Dは、流路ブロック14に替えて流路ブロック(特許請求の範囲の「第1流路ブロック」に相当。)73を使用する点、レギュレータ2に替えて手動弁62を使用する点、さらに、圧力センサ3を直接流路ブロック73に固定する点が第1実施形態と相違している。よって、ここでは、第1実施形態と相違する点について説明し、共通する点については図面に同一符号を付し、説明を適宜省略する。
流路ブロック73は、基本的に図2に示す流路ブロック14と同一の流路構造を有するが、上側面に第1ポート74と第2ポート23が設けられている点で第1実施形態の流路ブロック14と相違する。流路ブロック73の上端面には、図4(b)に示すように、第1ポート74の両側にボルト孔75,75が形成され、圧力センサ3の下端面との間でガスケット(図示せず)を押し潰したときに均一にシールされるようになっている。
一方、入口開閉弁4が閉弁し、パージ弁9が開弁していれば、作用ガスは流路ブロック73の弁座25から弁室27に流出せず、パージガスがパージ弁9から入口開閉弁4の第3ポート24、弁室27、第2ポート23を通ってマスフローコントローラ5に供給され、さらに出口開閉弁6を通って真空チャンバ7に排出される。
4 入口開閉弁
9 パージ弁
11A〜11D ガス供給ユニット
14 第1流路ブロック
17 第2流路ブロック
22 第1ポート
23 第2ポート
24 第3ポート
32 第1ポート
33 第2ポート
51〜53 流体制御機器
53 第1パージ弁
56 バイパス配管
61〜63 流体制御機器
74 第1ポート
Claims (5)
- 作用ガス搬送管路上に配設されるものであり、複数の流体制御機器が流路ブロックを介して連通して作用ガスを制御するガス供給ユニットにおいて、
前記複数の流体制御機器に含まれる第1流体制御機器を一側面に取り付けられる第1流路ブロックと、
前記複数の流体制御機器に含まれる第2流体制御機器を一側面に取り付けられる第2流路ブロックとを有し、
前記第1流路ブロックと前記第2流路ブロックを前記作用ガスの搬送方向に対して垂直方向に積層し、前記第1流体制御機器と前記第2流体制御機器を、前記作用ガス搬送管路上に配設された流体制御機器とユニットを取り付ける取付面との間に配設したものであることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記第1流路ブロックは、上側面と下側面に少なくとも1個ずつポートが開設されており、それらのポートが前記第1流体制御機器を介して互いに連通しており、
前記第2流路ブロックは、上側面と、前記第2流体制御機器を取り付けられる側面と対向する対向側面とに少なくとも1個ずつポートが開設されており、それらのポートが前記第2流体制御機器を介して互いに連通していることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項2に記載するガス供給ユニットにおいて、
前記第1流路ブロックは、前記第1流体制御機器を取り付けられる側面と対向する対向側面に少なくとも1個のポートが開設され、前記上側面と前記下側面に開設されたポートに前記第1流体制御機器を介して互いに連通していることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載するガス供給ユニットにおいて、
前記第1流路ブロック又は前記第2流路ブロックを、前記作用ガス搬送管路上に配設された流路ブロックに接続するバイパス配管が、前記流体制御機器と前記取付面との間に配設されていることを特徴とするガス供給ユニット。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載するガス供給ユニットの両端に取り付けられて当該ガス供給ユニットを水平に保持する一対のブラケットを有し、前記一対のブラケットを取付部材に固定することにより、前記ガス供給ユニットを集積したものであることを特徴とするガス供給システム。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101020476B1 (ko) * | 2007-09-25 | 2011-03-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 공급 장치, 반도체 제조 장치 및 가스 공급 장치용 부품 |
WO2014068886A1 (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-08 | 株式会社フジキン | 集積型ガス供給装置 |
KR20200107817A (ko) * | 2019-03-06 | 2020-09-16 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 가스 공급 유닛 및 가스 공급 방법 |
JP2021055758A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社フジキン | 継手ブロックアセンブリおよび流体制御装置 |
WO2023281871A1 (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | イハラサイエンス株式会社 | 流体制御システム及びバルブモジュール |
WO2023281870A1 (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | イハラサイエンス株式会社 | バルブモジュール |
WO2023076171A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Applied Materials, Inc. | Modular multi-directional gas mixing block |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203100A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-08-10 | Toshiba Corp | ガス供給装置 |
WO1996029529A1 (en) * | 1995-03-17 | 1996-09-26 | Insync Systems, Inc. | An integrated gas panel |
JPH0916267A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Tadahiro Omi | 流体制御装置 |
JPH10220698A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-08-21 | Nippon Aera Kk | 流体制御装置 |
JP2002517697A (ja) * | 1998-06-12 | 2002-06-18 | ジェイ. グレゴリー ホーリングスヘッド, | 一体化モジュラー化学送達ブロック |
-
2005
- 2005-02-25 JP JP2005051544A patent/JP2006234110A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203100A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-08-10 | Toshiba Corp | ガス供給装置 |
WO1996029529A1 (en) * | 1995-03-17 | 1996-09-26 | Insync Systems, Inc. | An integrated gas panel |
JPH0916267A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Tadahiro Omi | 流体制御装置 |
JPH10220698A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-08-21 | Nippon Aera Kk | 流体制御装置 |
JP2002517697A (ja) * | 1998-06-12 | 2002-06-18 | ジェイ. グレゴリー ホーリングスヘッド, | 一体化モジュラー化学送達ブロック |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101020476B1 (ko) * | 2007-09-25 | 2011-03-08 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 공급 장치, 반도체 제조 장치 및 가스 공급 장치용 부품 |
WO2014068886A1 (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-08 | 株式会社フジキン | 集積型ガス供給装置 |
JP2014092929A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Fujikin Inc | 集積型ガス供給装置 |
US9471065B2 (en) | 2012-11-02 | 2016-10-18 | Fujikin Incorporated | Integrated type gas supplying apparatus |
TWI564502B (zh) * | 2012-11-02 | 2017-01-01 | 富士金股份有限公司 | Integrated gas supply device |
KR20200107817A (ko) * | 2019-03-06 | 2020-09-16 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 가스 공급 유닛 및 가스 공급 방법 |
KR102247554B1 (ko) | 2019-03-06 | 2021-05-04 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 가스 공급 유닛 및 가스 공급 방법 |
JP2021055758A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社フジキン | 継手ブロックアセンブリおよび流体制御装置 |
JP7372664B2 (ja) | 2019-09-30 | 2023-11-01 | 株式会社フジキン | 継手ブロックアセンブリおよび流体制御装置 |
WO2023281871A1 (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | イハラサイエンス株式会社 | 流体制御システム及びバルブモジュール |
WO2023281870A1 (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | イハラサイエンス株式会社 | バルブモジュール |
WO2023076171A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Applied Materials, Inc. | Modular multi-directional gas mixing block |
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