JP4597440B2 - 半導体製造装置用ガス供給集積ユニット - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置のエッチング装置などで使用されるガス供給集積ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置のエッチング装置で使用されるガス供給機器には、反応ガスや不活性ガスなどの数種類のガスを適切な流量に調節し、混合し、供給する機能がある。この点、個々のガスは、毒性や腐食性を有するものがあり、外部への漏洩を防ぐため、厳重に管理される必要があるが、混合されても、パーティクル汚染の原因となるような反応が起こることはないので、流量が調節された後は、一つの出口配管にて合流され、エッチング装置のプロセスチャンバーに供給される。
【0003】
そのため、これらのガス源からエッチング装置のプロセスチャンバーまでのガスフローは、画一化・共通化されやすく、例えば、図7に示すように、工場内配管101、分岐T、手動弁111、前段フィルタ112、レギュレータ113、圧力計114、自動バルブ115、パージガス導入分岐S(パージバルブ116)、流量調節器117、ストップバルブ118、ガス合流点M、出口配管106、最終フィルタ104、プロセスチャンバー105の順となる。
【0004】
このうち、図6や図7に示すように、手動弁111及び前段フィルタ112が一つの手動弁ボックス102に収装される一方で、レギュレータ113及び、圧力計114、自動バルブ115、パージバルブ116、流量調節器117、ストップバルブ118、出口配管106の一部がガス供給ボックス103に収装されるのが通常である。尚、図8は、分岐T及び、手動弁111、前段フィルタ112を収装した手動弁ボックス122を示す。
【0005】
さらに、ガス供給ボックス103の中は、例えば、図9のガス供給集積ユニット209のように、レギュレータ113と、圧力計114、自動バルブ115、パージバルブ116、流量調節器117、ストップバルブ118などがブロック構造で連結されることが多い。
【0006】
そこで、ここでは、図9のガス供給集積ユニット209について説明する。もっとも、図9のガス供給集積ユニット209では、手動弁111及び前段フィルタ112もブロック構造で連結される。すなわち、図9に示すように、ガス供給集積ユニット209においては、図示しないシステム本体のガス供給口が、入力ブロック221、入力パイプ224、レギュレータ入力ブロック226、レギュレータ入力パイプ230、レギュレータブロック233を介して、レギュレータ113の入力ポートに接続している。さらに、レギュレータ113の出力ポートは、レギュレータブロック233、レギュレータ出力パイプ240、レギュレータ出力ブロック231を介して、流路方向変換ブロック229に接続している。
【0007】
また、流路方向変換ブロック229は、圧力計114と流路ブロック232を介して、手動弁111の入力ポートに接続している。さらに、手動弁111の出力ポートは、流路ブロック232を介して、前段フィルタ112の入力ポートに接続している。さらに、前段フィルタ112の出力ポートは、自動バルブ115の入力ポートに接続している。さらに、自動バルブ115の出力ポートは、流路方向変換ブロック229を介して、流量調節器117の入力ポートに接続している。
【0008】
一方、図示しないシステム本体のパージガス供給口が、パージ入力ブロック236、パージガスパイプ235を介して、パージバルブ116の入力ポートに接続している。さらに、パージバルブ116の出力ポートは、流路方向変換ブロック229を介して、流量調節器117の入力ポートに接続している。
【0009】
また、流量調節器117の出力ポートは、流路方向変換ブロック227、出力ブロック225を介して、ストップバルブ118の入力ポートに接続している。さらに、ストップバルブ118の出力ポートは、出力パイプ223、出力ブロック222を介して、出力共通流路ブロック220に接続している。
【0010】
そして、図9のガス供給集積ユニット209では、レギュレータ113、圧力計114、自動バルブ115、パージバルブ116、流量調節器117、ストップバルブ118などの各部品をブロックでつなぎ、それぞれをボルトとガスケットで連結している。但し、この方法では、シール箇所が多く、それらのすべてのシールに対して厳重な漏洩処置がされていることを現場で確認するための作業に手間がかかり、その結果、漏洩を見落としてしまうおそれがあるが、図9のガス供給集積ユニット209では、メンテナンスの単位を個々の部品から、図9に示す各部品を一つのカセット単位ですることで回避している。
【0011】
尚、ガス供給集積ユニット209の上述した技術は、特開平8−312900号にも詳しく記載されている。また、図9では、一つのガスラインに限り示されているが、実際は、8ラインから12ライン程度である。
また、ガス供給ボックス103は、エッチング装置内に設けられるの通常であるが、エッチング装置の設置面積を減らすため、図6に示すように、エッチング装置(のプロセスチャンバー105)と切り離して、グレーチング床100に単独で設置することもある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9のガス供給集積ユニット209では、汚染の原因となる溶接箇所が多く、例えば、図10に示すように、出力パイプ223のエルボの前後には溶接箇所Wが2つあり、この点は、入力パイプ224のエルボでも同様であり(図9参照)、さらに、図11に示すように、レギュレータ入力パイプ230及びレギュレータ出力パイプ240にも溶接箇所Wが1つずつあり、性能的に課題となっていた。
【0013】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃したガス供給集積ユニットを提供することを課題とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために成された請求項1に係る発明は、一次側ストップバルブを介して流入させた制御流体を、又は、パージバルブを介して流入させたパージガスを、圧力制御機能及び流量制御機能を用いて、二次側ストップバルブを介して流出させるガス供給集積ユニットであって、前記一次側ストップバルブ及び前記パージバルブを着脱自在に配設させた一次側バルブ機能ブロックと、前記一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に連結されるとともに、前記圧力制御機能及び前記流量制御機能を有した流体制御機能ブロックと、前記流体制御機能ブロックに着脱自在に連結されるとともに、前記二次側ストップバルブを着脱自在に配設させた二次側バルブ機能ブロックと、前記圧力制御機能又は前記流量制御機能をコントロールするための電子回路基板と、前記一次側バルブ機能ブロック及び、前記流体制御機能ブロック、前記二次側バルブ機能ブロック、前記電子回路基板を内蔵したカセットボックスと、を備えたこと、を特徴としている。
【0015】
また、請求項2にかかる発明は、請求項1に記載するガス供給集積ユニットであって、前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記パージバルブに連通するパージポートを形成するとともに、前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分を一次側マニホールドに着脱自在に連結することにより、前記一次側マニホールドに形成されたパージ流路と前記パージポートとを接続させる一方、前記カセットボックスから突き出た前記二次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記二次側ストップバルブに連通する出力ポートを形成するとともに、前記カセットボックスから突き出た前記二次側バルブ機能ブロックの突出部分を二次側マニホールドに着脱自在に連結することにより、前記二次側マニホールドに形成された出力流路と前記出力ポートとを接続させること、を特徴としている。
【0016】
また、請求項3に係る発明は、請求項1又は請求項2に記載するガス供給集積ユニットであって、前記流量制御機能を、一次側圧力制御バルブとオリフィスで構成すること、を特徴としている。
【0017】
また、請求項4に係る発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載するガス供給集積ユニットであって、圧力計を装備した入力管が突設された入力機能ブロックを備え、前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記一次側ストップバルブに連通する入力ポートを形成するとともに、前記入力機能ブロックが前記一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に連結されることにより、前記入力管と前記入力ポートとを接続させること、を特徴としている。
【0018】
また、請求項5に係る発明は、請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載するガス供給集積ユニットであって、半導体製造装置で使用されること、を特徴としている。
【0019】
すなわち、本発明のガス供給集積ユニットでは、一次側バルブ機能ブロック及び、流体制御機能ブロック、二次側バルブ機能ブロック、電子回路基板を内蔵したカセットボックスの中において、一次側ストップバルブ及びパージバルブが一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に配設されるとともに、二次側ストップバルブが二次側バルブ機能ブロックに着脱自在に配設され、さらに、一次側バルブ機能ブロック及び二次側バルブ機能ブロックが流体制御機能ブロックに着脱自在に連結されることにより、ガスフロー(一次側ストップバルブ又はパージバルブ、圧力制御機能及び流量制御機能、二次側ストップバルブ)を形成しているので、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃することができる。
【0020】
また、本発明のガス供給集積ユニットにおいて、パージバルブを介して流入させたパージガスを、圧力制御機能及び流量制御機能を用いて、二次側ストップバルブを介して流出させるために、カセットボックスから突き出た一次側バルブ機能ブロックの突出部を一次側マニホールドに着脱自在に連結させるとともに、カセットボックスから突き出た二次側バルブ機能ブロックの突出部分を二次側マニホールドに着脱自在に連結させれば、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃しつつも、ガスフロー(一次側ストップバルブ又はパージバルブ、圧力制御機能及び流量制御機能、二次側ストップバルブ)を形成しているカセットボックスを増減・交換させることができるので、便宜である。
【0021】
特に、半導体製造装置では、毒性や腐食性を有する反応ガスを扱うことから、本発明のガス供給集積ユニットを半導体製造装置で使用すれば、上述した効果は大きく発揮される。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。先ず、本実施の形態のガス供給集積ユニットが使用されている半導体製造装置のガスフローについて説明する。本実施の形態のガス供給集積ユニットが使用されている半導体製造装置のガスフローは、例えば、図4や図5に示すように、工場内配管101、分岐T、手動弁11、インラインフィルタ41、圧力計12、一次側ストップバルブ13、パージガス導入分岐S(パージバルブ14)、圧力調整バルブ15(「一次側圧力制御バルブ」に相当するもの)、圧力トランスデューサ16、オリフィス17、二次側ストップバルブ18、ガス合流点M、出口配管106、最終フィルタ104、半導体製造装置のエッチング装置のプロセスチャンバー105の順となる。
【0023】
このうち、図4や図5に示すように、、手動弁11及びインラインフィルタ41は、一つの手動弁ボックス9に収装される一方で、圧力計12及び、一次側ストップバルブ13、パージバルブ14、圧力調整バルブ15、圧力トランスデューサ16、オリフィス17、二次側ストップバルブ18、ガス合流点M、出口配管106の一部は、一つのガス供給ボックス10に収装される。
【0024】
そして、ガス供給ボックス10の中は、図1に示すように、本実施の形態のガス供給集積ユニット1として、一次側ストップバルブ13及び、パージバルブ14、圧力調整バルブ15、圧力トランスデューサ16、オリフィス17、二次側ストップバルブ18などが、ブロック構造で連結されており、さらに、カセットボックス19の内部に収蔵されている。
【0025】
すなわち、本実施の形態のガス供給集積ユニット1は、入力機能ブロック42と、一次側バルブ機能ブロック21、流体制御機能ブロック28、二次側バルブ機能ブロック22などを有している。この点、入力機能ブロック42には、圧力計12を装備した入口管20が設けられている。また、一次側バルブ機能ブロック21には、一次側ストップバルブ13がボルトB4で固定されるとともに、パージバルブ14がボルトB5で固定されている。また、流体制御機能ブロック28には、圧力調整バルブ15がボルトB6で固定されるとともに、圧力トランスデューサ16が設けられている。また、二次側バルブ機能ブロック22には、二次側ストップバルブ18がボルトB3で固定されている。
【0026】
そして、入力機能ブロック42は、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分に対して、ボルトB2で固定されている。また、一次側バルブ機能ブロック21は、流体制御機能ブロック28に対して、ボルトB8で固定されている。また、二次側バルブ機能ブロック22は、流体制御機能ブロック28に対して、ボルトB9で固定されている。
【0027】
さらに、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分は、ガス供給ボックス10の内部に設けられた一次側マニホールド24に対して、ボルトB1で固定されている。また、カセットボックス19から突き出た二次側バルブ機能ブロック22の突出部分は、ガス供給ボックス10の内部に設けられた二次側マニホールド32に対して、ボルトB3で固定されている。
【0028】
この点、図3に示すように、一次側マニホールド24の上面には、一対の取付穴25が多数設けられており、一対のボルト穴35にそれぞれ挿通させた一対のボルトB1をねじ込むことにより、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分が一次側マニホールド24に固定される。また、二次側マニホールド32の上面には、一対の取付穴33が多数設けられており、一対のボルト穴43にそれぞれ挿通させた一対のボルトB3をねじ込むことにより、カセットボックス19から突き出た二次側バルブ機能ブロック22の突出部分が二次側マニホールド32に固定される。
【0029】
尚、図3に示すように、一次側マニホールド24の一対のボルト穴35の間には、一次側マニホールド24の内部に設けられたパージ流路45(図2参照)と連通するポート26が設けられている。また、二次側マニホールド32の一対のボルト穴33の間には、二次側マニホールド32の内部に設けられた出口流路46(図2参照)と連通するポート34が設けられている。さらに、入力機能ブロック42の入力管20に対しては、工場内配管101の一つの配管27(インラインフィルタ41が内装されたもの)が螺合される。
尚、二次側マニホールド32の内部に設けられた出口流路46(図2参照)は、一つの出口配管106(図4、図5参照)に接続されている。
【0030】
そして、入力機能ブロック42と、一次側バルブ機能ブロック21、流体制御機能ブロック28、二次側バルブ機能ブロック22、一次側マニホールド24、二次側マニホールド32、さらに、一次側ストップバルブ13と、パージバルブ14、圧力調整バルブ15、二次側ストップバルブ18が、ボルトB1,B2,B3,B4,B5,B6,B7,B8,B9でそれぞれ固定されると、図2に示すように、入力機能ブロック42の入力管20又は一次側マニホールド24のパージ流路45から二次側マニホールド32の出口流路46までの流路が形成される。
【0031】
この点、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分の下面には、パージバルブ14に連通するパージポートP1が形成されており、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分の下面を一次側マニホールド24の上面にボルトB1(図1参照)で固定することにより、一次側マニホールド24に形成されたパージ流路45とパージポートP1とが接続される。また、カセットボックス19から突き出た二次側バルブ機能ブロック22の突出部分の下面には、二次側ストップバルブ18に連通する出力ポートP2が形成されており、カセットボックス19から突き出た二次側バルブ機能ブロック22の突出部分の下面を二次側マニホールド32の上面にボルトB3(図1参照)で固定することにより、二次側マニホールド32に形成された出力流路46と出力ポートP2とが接続される。さらに、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部分の側面には、一次側ストップバルブ13に連通する入力ポートP3が形成されており、入力機能ブロック42の側面が一次側バルブ機能ブロック21の側面にボルトB2(図1参照)で固定されることにより、入力管20と入力ポートP3とを接続させる。
【0032】
また、図2に示すように、入力機能ブロック42と一次側バルブ機能ブロック21の連結部分及び、一次側バルブ機能ブロック21と一次側マニホールド24の連結部分、一次側バルブ機能ブロック21と一次側ストップバルブ13の連結部分、一次側バルブ機能ブロック21とパージバルブ14の連結部分、一次側バルブ機能ブロック21と流体制御機能ブロック28の連結部分、流体制御機能ブロック28と圧力調整バルブ15の連結部分、二次側バルブ機能ブロック22と二次側ストップバルブ18の連結部分、二次側バルブ機能ブロック22と二次側マニホールド32の連結部分には、ガスケットがそれぞれ装着されている。
【0033】
さらに、流体制御機能ブロック28と二次側バルブ機能ブロック22の連結部分にはオリフィス17が装着されている。従って、一次側ストップバルブ13及び二次側ストップバルブ18を開け且つパージバルブ14を閉じた状態において、圧力調整バルブ15及び圧力トランスデューサ16により、流体制御機能ブロック28の流路の圧力を調節すれば、入力機能ブロック42の入力管20から流入するものであってオリフィス17を通過する反応ガスの流量を制御することができる。
【0034】
このとき、オリフィス17を通過した反応ガスは、二次側マニホールド32の出口流路46を介して、出口配管106に流入するので、オリフィス17を通過する反応ガスの流量を制御することにより、プロセスチャンバー105(図4、図5参照)に供給する反応ガスの流量を制御することができる。さらに、このとき、一次側マニホールド24と二次側マニホールド32の間に、複数のカセットボックス9が固設されていれば、各々のカセットボックス9で流量が制御された反応ガスが、二次側マニホールド32の出口流路46を介して、出口配管106に合流するので、プロセスチャンバー105(図4、図5参照)に供給する反応ガスの流量を混合させながら制御することもできる。
【0035】
一方、一次側ストップバルブ13及び二次側ストップバルブ18を閉じ且つパージバルブ14を開けた状態において、圧力調整バルブ15及び圧力トランスデューサ16により、流体制御機能ブロック28の流路の圧力を調節すれば、一次側マニホールド24のパージ流路45から流入するものであってオリフィス17を通過するパージガスの流量を制御することができる。このとき、オリフィス17を通過したパージガスは、二次側マニホールド32の出口流路46を介して、出口配管106に流入するので、オリフィス17を通過するパージガスの流量を制御することにより、プロセスチャンバー105(図4、図5参照)に供給するパージガスの流量を制御することができる。
【0036】
尚、一次側ストップバルブ13及び、二次側ストップバルブ18、パージバルブ14は、外部からの空気圧入力によりON・OFFさせられる。さらに、流体制御機能ブロック28の流路の圧力を調節して、オリフィス17を通過する反応ガスの流量を制御するため、すなわち、圧力トランスデューサ16を介して圧力調整バルブ15の開度を制御するため、接続端子23を設けた電子回路基板30がカセットボックス19に内設されている。そして、圧力調整バルブ15の開度を空気圧でPWM制御するための比例弁31がカセットボックス19に内設されている。従って、流体制御機能ブロック28には、圧力調整バルブ15とオリフィス17などで構成される流量制御機能、及び、圧力調整バルブ15と圧力トランスデューサ16などで構成される圧力制御機能が備わっている。
【0037】
以上詳細に説明したように、本実施の形態のガス供給集積ユニット1では、図1に示すように、一次側バルブ機能ブロック21及び、流体制御機能ブロック28、二次側バルブ機能ブロック22、電子回路基板30を内蔵したカセットボックス19の中において、一次側ストップバルブ13及びパージバルブ14が一次側バルブ機能ブロック21にボルトB4,B5でそれぞれ着脱自在に配設されるとともに、二次側ストップバルブ18が二次側バルブ機能ブロック22にボルトB7で着脱自在に配設され、さらに、一次側バルブ機能ブロック21及び二次側バルブ機能ブロック22が流体制御機能ブロック28にボルトB8,B9でそれぞれ着脱自在に連結されることにより、ガスフロー(一次側ストップバルブ13又はパージバルブ14、圧力調整バルブ15、圧力トランスデューサ16、オリフィス17、二次側ストップバルブ18)を形成しているので、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃することができる。
【0038】
また、本実施の形態のガス供給集積ユニット1において、パージバルブ14を介して流入させたパージガスを、流体制御機能ブロック28の圧力制御機能及び流量制御機能を用いて、二次側ストップバルブ18を介して流出させるために、カセットボックス19から突き出た一次側バルブ機能ブロック21の突出部を一次側マニホールド24にボルトB1で着脱自在に連結させるとともに、カセットボックス19から突き出た二次側バルブ機能ブロック22の突出部分を二次側マニホールド32にボルトB3で着脱自在に連結させており、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃しつつも、ガスフロー(一次側ストップバルブ13又はパージバルブ14、圧力調整バルブ15、圧力トランスデューサ16、オリフィス17、二次側ストップバルブ18)を形成しているカセットボックス19を増減・交換させることができるので、便宜である。
【0039】
特に、半導体製造装置のエッチング装置(のプロセスチャンバー105)では、毒性や腐食性を有する反応ガスを扱うことから、図4や図5に示すようにして、本実施の形態のガス供給集積ユニット1が収装されたガス供給ボックス10を半導体製造装置のエッチング装置(のプロセスチャンバー105)に使用することは、上述した効果を大きく発揮させることになる。
【0040】
また、本実施の形態のガス供給集積ユニット1が収装されたガス供給ボックス10は、エッチング装置の設置面積をより減らすため、今後、作業性の悪い場所に設置される可能性が高くなっている。そこで、本実施の形態では、図5に示すように、ガス供給ボックス10を手動弁ボックス9と合体させて、クリーンルームのグレーチング床100の下に設置している。これにより、ガス供給ボックス10のアクセスは、クリーンルーム階下の天井付近となるが、本実施の形態のガス供給集積ユニット1では、カセットボックス19の単位の交換でメンテナンスが行えるため、ガス供給ボックス10へのアクセスの不便さを補うことが可能であり。
【0041】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態のガス供給集積ユニット1では、圧力調整バルブ15とオリフィス17などで、流体制御機能ブロック28の流量制御機能を構成していたが、この点、MFCなどの熱式流量計で、流体制御機能ブロック28の流量制御機能を構成してもよい。
【0042】
【発明の効果】
本発明のガス供給集積ユニットでは、一次側バルブ機能ブロック及び、流体制御機能ブロック、二次側バルブ機能ブロック、電子回路基板を内蔵したカセットボックスの中において、一次側ストップバルブ及びパージバルブが一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に配設されるとともに、二次側ストップバルブが二次側バルブ機能ブロックに着脱自在に配設され、さらに、一次側バルブ機能ブロック及び二次側バルブ機能ブロックが流体制御機能ブロックに着脱自在に連結されることにより、ガスフロー(一次側ストップバルブ又はパージバルブ、圧力制御機能及び流量制御機能、二次側ストップバルブ)を形成しているので、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃することができる。
【0043】
また、本発明のガス供給集積ユニットにおいて、パージバルブを介して流入させたパージガスを、圧力制御機能及び流量制御機能を用いて、二次側ストップバルブを介して流出させるために、カセットボックスから突き出た一次側バルブ機能ブロックの突出部を一次側マニホールドに着脱自在に連結させるとともに、カセットボックスから突き出た二次側バルブ機能ブロックの突出部分を二次側マニホールドに着脱自在に連結させれば、ガスの汚染のおそれがある溶接箇所を廃しつつも、ガスフロー(一次側ストップバルブ又はパージバルブ、圧力制御機能及び流量制御機能、二次側ストップバルブ)を形成しているカセットボックスを増減・交換させることができるので、便宜である。
【0044】
特に、半導体製造装置では、毒性や腐食性を有する反応ガスを扱うことから、本発明のガス供給集積ユニットを半導体製造装置で使用すれば、上述した効果は大きく発揮される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス供給集積ユニットが収装されているガス供給ボックスの断面図であって、本発明のガス供給集積ユニットの連結構造を示した図である。
【図2】本発明のガス供給集積ユニットが収装されているガス供給ボックスの断面図であって、本発明のガス供給集積ユニットの流路を示した図である。
【図3】本発明のガス供給集積ユニットの斜視図である。
【図4】本発明のガス供給集積ユニットが使用されている半導体製造装置のガスフローを示した図ある。
【図5】本発明のガス供給集積ユニットが使用されている半導体製造装置のガスラインを示した斜視図ある。
【図6】半導体製造装置のエッチング装置のプロセスチャンバーまでのガスラインを示した従来技術の斜視図ある。
【図7】半導体製造装置のエッチング装置のプロセスチャンバーまでのガスフローを示した従来技術の図ある。
【図8】従来技術の手動弁ボックスの一例を示した斜視図である。
【図9】従来技術のガス供給集積ユニットの側面図である。
【図10】従来技術のガス供給集積ユニットの溶接箇所を示した図である。
【図11】従来技術のガス供給集積ユニットの溶接箇所を示した図である。
【符号の説明】
1 ガス供給集積ユニット
12 圧力計
13 一次側ストップバルブ
14 パージバルブ
15 圧力調整バルブ
17 オリフィス
18 二次側ストップバルブ
19 カセットボックス
20 入力管
21 一次側バルブ機能ブロック
22 二次側バルブ機能ブロック
24 一次側マニホールド
28 流体制御機能ブロック
30 電子回路基板
32 二次側マニホールド
42 入力機能ブロック
45 パージ流路
46 出力流路
105 エッチング装置
P1 パージポート
P2 出力ポート
P3 入力ポート

Claims (4)

  1. 一次側ストップバルブを介して流入させた制御流体を、又は、パージバルブを介して流入させたパージガスを、圧力制御手段及び流量制御手段を用いて、二次側ストップバルブを介して流出させる半導体製造装置用ガス供給集積ユニットであって、
    前記一次側ストップバルブ及び前記パージバルブを着脱自在に配設させた一次側バルブ機能ブロックと、
    前記一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に連結されるとともに、前記圧力制御手段及び前記流量制御手段を有した流体制御機能ブロックと、
    前記流体制御機能ブロックに着脱自在に連結されるとともに、前記二次側ストップバルブを着脱自在に配設させた二次側バルブ機能ブロックと、
    前記圧力制御手段又は前記流量制御手段をコントロールするための電子回路基板と、
    前記一次側バルブ機能ブロック及び、前記流体制御機能ブロック、前記二次側バルブ機能ブロック、前記電子回路基板を内蔵したカセットボックスと、を備えたこと、を特徴とする半導体製造装置用ガス供給集積ユニット。
  2. 請求項1に記載する半導体製造装置用ガス供給集積ユニットであって、
    前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記パージバルブに連通するパージポートを形成するとともに、前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分を一次側マニホールドに着脱自在に連結することにより、前記一次側マニホールドに形成されたパージ流路と前記パージポートとを接続させる一方、前記カセットボックスから突き出た前記二次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記二次側ストップバルブに連通する出力ポートを形成するとともに、前記カセットボックスから突き出た前記二次側バルブ機能ブロックの突出部分を二次側マニホールドに着脱自在に連結することにより、前記二次側マニホールドに形成された出力流路と前記出力ポートとを接続させること、を特徴とする半導体製造装置用ガス供給集積ユニット。
  3. 請求項1又は請求項2に記載する半導体製造装置用ガス供給集積ユニットであって、
    前記流量制御手段を、一次側圧力制御バルブとオリフィスで構成すること、を特徴とする半導体製造装置用ガス供給集積ユニット。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載する半導体製造装置用ガス供給集積ユニットであって、
    圧力計を装備した入力管が突設された入力機能ブロックを備え、
    前記カセットボックスから突き出た前記一次側バルブ機能ブロックの突出部分に、前記一次側ストップバルブに連通する入力ポートを形成するとともに、前記入力機能ブロックが前記一次側バルブ機能ブロックに着脱自在に連結されることにより、前記入力管と前記入力ポートとを接続させること、を特徴とする半導体製造装置用ガス供給集積ユニット。
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