JP3068010B2 - 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 - Google Patents
集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置Info
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- JP3068010B2 JP3068010B2 JP8215931A JP21593196A JP3068010B2 JP 3068010 B2 JP3068010 B2 JP 3068010B2 JP 8215931 A JP8215931 A JP 8215931A JP 21593196 A JP21593196 A JP 21593196A JP 3068010 B2 JP3068010 B2 JP 3068010B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用高純度ガ
ス供給系に使用され、バルブが集積化されるガス制御装
置において、バルブを流路ブロックに結合する装置に関
する。
ス供給系に使用され、バルブが集積化されるガス制御装
置において、バルブを流路ブロックに結合する装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体用高純度ガス供給系のガス制御装
置は、配管系がガスジャングル化し、且つ大きなスペー
スを占めているため、近時、バルブをモジュール化して
コンパクト化する傾向にある。
置は、配管系がガスジャングル化し、且つ大きなスペー
スを占めているため、近時、バルブをモジュール化して
コンパクト化する傾向にある。
【０００３】しかし、バルブをモジュール化しても、バ
ルブの交換メンテナンス性が良くないと使用できない。
ルブの交換メンテナンス性が良くないと使用できない。
【０００４】バルブをモジュール化した従来例を図４、
図５、図６に夫々示す。図４に示す従来例においては、
流路ブロックＦをバルブ本体として用い、この流路ブロ
ックＦにバルブ本体を除くダイヤフラムバルブＤの構成
要素を組み込んでダイヤフラムバルブＤを構成してい
る。図５に示す従来例においては、流路ブロックＦ’に
ダイヤフラムバルブＤ’を４本のボルトＢで取付けてい
る。図６に示す従来例においては、集積化のために流路
ブロックＦ″にダイヤフラムバルブＤ″を複数個取付け
て多連バルブとし、別の流路ブロック、基板等に複数本
ボルトＢで取り付ける。
図５、図６に夫々示す。図４に示す従来例においては、
流路ブロックＦをバルブ本体として用い、この流路ブロ
ックＦにバルブ本体を除くダイヤフラムバルブＤの構成
要素を組み込んでダイヤフラムバルブＤを構成してい
る。図５に示す従来例においては、流路ブロックＦ’に
ダイヤフラムバルブＤ’を４本のボルトＢで取付けてい
る。図６に示す従来例においては、集積化のために流路
ブロックＦ″にダイヤフラムバルブＤ″を複数個取付け
て多連バルブとし、別の流路ブロック、基板等に複数本
ボルトＢで取り付ける。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す従来例の構成では、上記のように流路ブロックＦを
バルブ本体として利用しているため、ダイヤフラムバル
ブＤを交換するには、ダイヤフラムｄまで分解する必要
があり、ユーザーではメンテナンスできない。図５に示
す従来例の構成では、ダイヤフラムバルブＤ′を流路ブ
ロックＦ′に４本のボルトＢで締結するために手間取
り、さらに流路ブロックＦ′を狭いスペースの中で配管
系に取り付ける際、下面にメタルＣリング（図示省略）
やガスケット等を介してやはり４本のボルトＢで締結す
るために手間取り、しかも夫々うまくバランスさせない
と、各々下面の結合部でリークし易く、信頼性に欠け
る。図６に示す従来例の構成では、１つのバルブをメン
テナンスするにも全部交換となってしまうので、非経済
であり、さらにボルトＢが何本もあり、シールを確保す
るための締め付け方が難しい。
示す従来例の構成では、上記のように流路ブロックＦを
バルブ本体として利用しているため、ダイヤフラムバル
ブＤを交換するには、ダイヤフラムｄまで分解する必要
があり、ユーザーではメンテナンスできない。図５に示
す従来例の構成では、ダイヤフラムバルブＤ′を流路ブ
ロックＦ′に４本のボルトＢで締結するために手間取
り、さらに流路ブロックＦ′を狭いスペースの中で配管
系に取り付ける際、下面にメタルＣリング（図示省略）
やガスケット等を介してやはり４本のボルトＢで締結す
るために手間取り、しかも夫々うまくバランスさせない
と、各々下面の結合部でリークし易く、信頼性に欠け
る。図６に示す従来例の構成では、１つのバルブをメン
テナンスするにも全部交換となってしまうので、非経済
であり、さらにボルトＢが何本もあり、シールを確保す
るための締め付け方が難しい。
【０００６】そこで本発明は、バルブの着脱を、バルブ
を分解することなく簡単に行うことができ、したがっ
て、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単に行うことができるようにした集積化ガス制御装置に
おけるバルブ結合装置を提供しようとするものである。
を分解することなく簡単に行うことができ、したがっ
て、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡
単に行うことができるようにした集積化ガス制御装置に
おけるバルブ結合装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置
は、半導体用高純度ガス供給系に使用され、バルブが集
積される集積化ガス制御装置において、第１と第２のガ
ス通路を有する流路ブロックに上記第１と第２のガス通
路の一端を開口させるように形成された凹部と、この凹
部の内周面に形成された雌ねじと、上記第１と第２のガ
ス通路に連通し得る第１と第２のガス通路を有し、これ
ら第１と第２のガス通路を開閉し得るように構成された
バルブにおけるボディの外周に回転可能に嵌合され、上
記ボディを上記流路ブロックの凹部に互いの第１と第２
のガス通路が連通した挿入状態で上記凹部の雌ねじに離
脱可能に螺合されることにより、上記ボディを抜け止め
状態で結合する外ねじナットとを備えたものである。
の本発明の集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置
は、半導体用高純度ガス供給系に使用され、バルブが集
積される集積化ガス制御装置において、第１と第２のガ
ス通路を有する流路ブロックに上記第１と第２のガス通
路の一端を開口させるように形成された凹部と、この凹
部の内周面に形成された雌ねじと、上記第１と第２のガ
ス通路に連通し得る第１と第２のガス通路を有し、これ
ら第１と第２のガス通路を開閉し得るように構成された
バルブにおけるボディの外周に回転可能に嵌合され、上
記ボディを上記流路ブロックの凹部に互いの第１と第２
のガス通路が連通した挿入状態で上記凹部の雌ねじに離
脱可能に螺合されることにより、上記ボディを抜け止め
状態で結合する外ねじナットとを備えたものである。
【０００８】そして、上記構成において、バルブのボデ
ィにおける端部の接合面と流路ブロックの凹部における
底部の接合面との間にシール状態で介在され、上記バル
ブおよび上記流路ブロックの第１と第２のガス通路を連
通させるガス通路穴を有するガスケットを備えるのが好
ましい。また、上記ガスケットは、ガス流入側のガス通
路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型の場合
と、ガス通路穴を有する２個をリテーナで結合保持した
場合とがある。
ィにおける端部の接合面と流路ブロックの凹部における
底部の接合面との間にシール状態で介在され、上記バル
ブおよび上記流路ブロックの第１と第２のガス通路を連
通させるガス通路穴を有するガスケットを備えるのが好
ましい。また、上記ガスケットは、ガス流入側のガス通
路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型の場合
と、ガス通路穴を有する２個をリテーナで結合保持した
場合とがある。
【０００９】上記のように構成された本発明によれば、
ガス通路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディがそ
の外周に装着された外ねじナットにて流路ブロックにね
じ結合されているので、外ねじナット１個を緩めたり、
締めたりするだけで、バルブを分解することなく、バル
ブの流路ブロックに対する着脱を簡単に行うことができ
る。
ガス通路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディがそ
の外周に装着された外ねじナットにて流路ブロックにね
じ結合されているので、外ねじナット１個を緩めたり、
締めたりするだけで、バルブを分解することなく、バル
ブの流路ブロックに対する着脱を簡単に行うことができ
る。
【００１０】また、ボディと流路ブロックとの接合面に
介在したガスケットが、外ねじナット１個の締め付けに
より均等に締め付けられるので、シール性が向上する。
介在したガスケットが、外ねじナット１個の締め付けに
より均等に締め付けられるので、シール性が向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の集積化ガス制御装置にお
けるバルブ結合装置の実施形態を図１によって説明する
と、１はダイヤフラムバルブであり、その構成について
概略説明すると、駆動部２とバルブボディ３とが結合さ
れている。バルブボディ３は有底筒状で、底部中心にガ
ス流入通路４が垂直に設けられ、その外側方にガス流出
通路５が垂直に設けられている。ガス流入通路４の上端
開口縁には弁座シート６がかしめ止めにて固設され、こ
れに弁体であるダイヤフラム７が押えピース８の押圧に
より密着され、バルブが閉鎖されるようになっている。
ダイヤフラム７の周縁部はボンネット９によりボディ３
内の底面周縁の突起１０に押えられ、ボンネット９は駆
動部２の接続部外筒１１により締め付けられている。押
えピース８は駆動部２のピストン１２により押圧され
る。バルブボディ３の外周下端には鍔１３が設けられ、
この鍔１３の上側の外周に外ねじナット１４が回転可能
に装着されている。
けるバルブ結合装置の実施形態を図１によって説明する
と、１はダイヤフラムバルブであり、その構成について
概略説明すると、駆動部２とバルブボディ３とが結合さ
れている。バルブボディ３は有底筒状で、底部中心にガ
ス流入通路４が垂直に設けられ、その外側方にガス流出
通路５が垂直に設けられている。ガス流入通路４の上端
開口縁には弁座シート６がかしめ止めにて固設され、こ
れに弁体であるダイヤフラム７が押えピース８の押圧に
より密着され、バルブが閉鎖されるようになっている。
ダイヤフラム７の周縁部はボンネット９によりボディ３
内の底面周縁の突起１０に押えられ、ボンネット９は駆
動部２の接続部外筒１１により締め付けられている。押
えピース８は駆動部２のピストン１２により押圧され
る。バルブボディ３の外周下端には鍔１３が設けられ、
この鍔１３の上側の外周に外ねじナット１４が回転可能
に装着されている。
【００１２】上記のようにガス通路の開閉機構を内蔵し
ているダイヤフラムバルブ１のバルブボディ３が流路ブ
ロック１５の凹部１６内に挿入されている。バルブボデ
ィ３の端部と凹部１６の底部は長円形に形成されて凹凸
嵌合され、バルブボディ３の端部の接合面１９と凹部１
６の底部の接合面２０との間に図２に示すように中央に
ガス流入側のガス通路穴２１とその両側にガス流出側の
ガス通路穴２２を有するガスケット２３が介在されてい
る。そして、バルブボディ３のガス流入通路４と流路ブ
ロック１５のガス流入通路１７とがガスケット２３のガ
ス通路穴２１を介して連通され、バルブボディ３のガス
流出通路５と流路ブロック１５のガス流出通路１８とが
ガスケット２３のガス通路穴２２を介して連通された状
態で、外ねじナット１４が凹部１６内上部の雌ねじ２７
に離脱可能に螺合され、バルブボディ３の鍔１３が外ね
じナット１４により抜け止めされることにより、ダイヤ
フラムバルブ１のバルブボディ３が流路ブロック１５に
結合され、相互の接合面１９、２０間に介在されたガス
ケット２３が挟み付けられて接合面１９、２０がシール
されている。
ているダイヤフラムバルブ１のバルブボディ３が流路ブ
ロック１５の凹部１６内に挿入されている。バルブボデ
ィ３の端部と凹部１６の底部は長円形に形成されて凹凸
嵌合され、バルブボディ３の端部の接合面１９と凹部１
６の底部の接合面２０との間に図２に示すように中央に
ガス流入側のガス通路穴２１とその両側にガス流出側の
ガス通路穴２２を有するガスケット２３が介在されてい
る。そして、バルブボディ３のガス流入通路４と流路ブ
ロック１５のガス流入通路１７とがガスケット２３のガ
ス通路穴２１を介して連通され、バルブボディ３のガス
流出通路５と流路ブロック１５のガス流出通路１８とが
ガスケット２３のガス通路穴２２を介して連通された状
態で、外ねじナット１４が凹部１６内上部の雌ねじ２７
に離脱可能に螺合され、バルブボディ３の鍔１３が外ね
じナット１４により抜け止めされることにより、ダイヤ
フラムバルブ１のバルブボディ３が流路ブロック１５に
結合され、相互の接合面１９、２０間に介在されたガス
ケット２３が挟み付けられて接合面１９、２０がシール
されている。
【００１３】上記ガスケット２３のガス流出側のガス通
路穴２２は２個の内、１個使用され、他の１個は捨穴と
なるが、装着時その方向を見定める必要がなく、また全
面略均等な締付力にて挟み付けることができると共に長
円形に形成されているため、回り止めの効果もある。
路穴２２は２個の内、１個使用され、他の１個は捨穴と
なるが、装着時その方向を見定める必要がなく、また全
面略均等な締付力にて挟み付けることができると共に長
円形に形成されているため、回り止めの効果もある。
【００１４】尚、上記ガスケット２３は、ガス流入用穴
２１とガス流出用穴２２を有する一体型のものである
が、図３に示すようにガス通路穴２４を有するガスケッ
ト２５をＳ字型のリテーナ２６に２個結合保持したもの
であってもよい。その場合、接合面１９、２０の形状は
２個のガスケット２５に相応する長円形になされる。
２１とガス流出用穴２２を有する一体型のものである
が、図３に示すようにガス通路穴２４を有するガスケッ
ト２５をＳ字型のリテーナ２６に２個結合保持したもの
であってもよい。その場合、接合面１９、２０の形状は
２個のガスケット２５に相応する長円形になされる。
【００１５】上記のように構成された本実施形態の集積
化ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス
通路の開閉機能を内蔵しているダイヤフラムバルブ１の
バルブボディ３がその外周に装着された外ねじナット１
４にて流路ブロック１５にねじ結合されているので、外
ねじナット１４を緩めたり、締めたりするだけで、ダイ
ヤフラムバルブ１を分解することなく、ダイヤフラムバ
ルブ１の流路ブロック１５に対する着脱を簡単に行うこ
とができる。また、バルブボディ３の接合面１９と流路
ブロック１５の接合面２０との間に介在したガスケット
２３が外ねじナット１４のみの締め付けにより均等に締
め付けられるのでシール性が向上する。
化ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス
通路の開閉機能を内蔵しているダイヤフラムバルブ１の
バルブボディ３がその外周に装着された外ねじナット１
４にて流路ブロック１５にねじ結合されているので、外
ねじナット１４を緩めたり、締めたりするだけで、ダイ
ヤフラムバルブ１を分解することなく、ダイヤフラムバ
ルブ１の流路ブロック１５に対する着脱を簡単に行うこ
とができる。また、バルブボディ３の接合面１９と流路
ブロック１５の接合面２０との間に介在したガスケット
２３が外ねじナット１４のみの締め付けにより均等に締
め付けられるのでシール性が向上する。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス通
路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディに備えた外
ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけの簡単な
作業でバルブを分解することなく流路ブロックに着脱す
ることができ、したがって、ユーザーでも定期補修、交
換等のメンテナンスを簡単に行うことができる。
ガス制御装置におけるバルブ結合装置によれば、ガス通
路の開閉機構を内蔵しているバルブのボディに備えた外
ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけの簡単な
作業でバルブを分解することなく流路ブロックに着脱す
ることができ、したがって、ユーザーでも定期補修、交
換等のメンテナンスを簡単に行うことができる。
【００１７】また、バルブのボディと流路ブロックの凹
部との接合面に介在させたガスケットを外ねじと凹部と
の螺合により均等に締め付けることができるので、シー
ル性を向上させることができる。
部との接合面に介在させたガスケットを外ねじと凹部と
の螺合により均等に締め付けることができるので、シー
ル性を向上させることができる。
【図１】本発明の集積化ガス制御装置におけるバルブ結
合装置の一実施形態を示す要部縦断面図である。
合装置の一実施形態を示す要部縦断面図である。
【図２】同バルブ結合装置に用いるガスケットの一例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図３】同バルブ結合装置に用いるガスケットの他の例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図４】従来の集積化ガス制御装置の一例を示す一部の
縦断面図である。
縦断面図である。
【図５】従来の集積化ガス制御装置の他の例を示す一部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図６】従来の集積化ガス制御装置の更に他の例を示す
一部斜視図である。
一部斜視図である。
１ ダイヤフラムバルブ ３ バルブボディ １４ 外ねじナット １５ 流路ブロック ２１、２２ ガス通路穴 ２３ 一体型のガスケット ２４ ガス通路穴 ２５ ガスケット ２６ リテーナ
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体用高純度ガス供給系に使用され、
バルブが集積される集積化ガス制御装置において、第１
と第２のガス通路を有する流路ブロックに上記第１と第
２のガス通路の一端を開口させるように形成された凹部
と、この凹部の内周面に形成された雌ねじと、上記第１
と第２のガス通路に連通し得る第１と第２のガス通路を
有し、これら第１と第２のガス通路を開閉し得るように
構成されたバルブにおけるボディの外周に回転可能に嵌
合され、上記ボディを上記流路ブロックの凹部に互いの
第１と第２のガス通路が連通した挿入状態で上記凹部の
雌ねじに離脱可能に螺合されることにより、上記ボディ
を抜け止め状態で結合する外ねじナットとを備えた集積
化ガス制御装置におけるバルブ結合装置。 - 【請求項２】 バルブのボディにおける端部の接合面と
流路ブロックの凹部における底部の接合面との間にシー
ル状態で介在され、上記バルブおよび上記流路ブロック
の第１と第２のガス通路を連通させるガス通路穴を有す
るガスケットを備えた請求項１記載の集積化ガス制御装
置におけるバルブ結合装置。 - 【請求項３】 ガスケットが、ガス流入側のガス通路穴
とガス流出側のガス通路穴を有する一体型、又はガス通
路穴を有する２個をリテーナで結合保持したものである
請求項２記載の集積化ガス制御装置におけるバルブ結合
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215931A JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1047514A JPH1047514A (ja) | 1998-02-20 |
| JP3068010B2 true JP3068010B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=16680638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8215931A Expired - Fee Related JP3068010B2 (ja) | 1996-07-30 | 1996-07-30 | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3068010B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4597440B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2010-12-15 | シーケーディ株式会社 | 半導体製造装置用ガス供給集積ユニット |
| JP5917112B2 (ja) * | 2011-11-30 | 2016-05-11 | 株式会社キッツエスシーティー | ダイヤフラムバルブ |
| JP7065531B2 (ja) * | 2017-05-31 | 2022-05-12 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置 |
| US11320056B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-05-03 | Fujikin Incorporated | Valve device |
| US11231026B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-01-25 | Fujikin Incorporated | Valve device |
| CN109780278A (zh) * | 2017-11-13 | 2019-05-21 | 新乡航空工业(集团)有限公司 | 安全阀及使用该安全阀的气压制动系统 |
-
1996
- 1996-07-30 JP JP8215931A patent/JP3068010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1047514A (ja) | 1998-02-20 |
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