JPH10160539A - 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 - Google Patents
流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構Info
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- JPH10160539A JPH10160539A JP8339034A JP33903496A JPH10160539A JP H10160539 A JPH10160539 A JP H10160539A JP 8339034 A JP8339034 A JP 8339034A JP 33903496 A JP33903496 A JP 33903496A JP H10160539 A JPH10160539 A JP H10160539A
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- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/18—Supports or connecting means for meters
- G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
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- Measuring Volume Flow (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一次側、二次側のどちらにおいても高度の熟
練を要することなく、かつ、信頼性を損なうことなく接
続でき、更に、メンテナンス性に優れた流体を制御また
は測定する機器と他の機器との接続機構を提供するこ
と。 【解決手段】 流体を制御または測定する機器１の一次
側および二次側にそれぞれ設けた上フランジ５，５’お
よび他の機器の側に設けた下フランジ１２，１２’の中
央に、前記上、下フランジ５，５’、１２，１２’にそ
れぞれ設けられた流体の流通孔ｍ，ｎからの流体漏れ止
め用のリング状シール部材２０を介装し、前記上下一対
のフランジ５，１２、５’，１２’の前記中央を一本の
ボルト１５で上方向から締付けることにより、前記流体
を制御または測定する機器１を前記他の機器へそれぞれ
接続する一方、前記一本のボルト１５を上方向へ取り外
すことにより、一次側および二次側においてそれぞれ前
記両機器間の接続を解除することを特徴とする。
練を要することなく、かつ、信頼性を損なうことなく接
続でき、更に、メンテナンス性に優れた流体を制御また
は測定する機器と他の機器との接続機構を提供するこ
と。 【解決手段】 流体を制御または測定する機器１の一次
側および二次側にそれぞれ設けた上フランジ５，５’お
よび他の機器の側に設けた下フランジ１２，１２’の中
央に、前記上、下フランジ５，５’、１２，１２’にそ
れぞれ設けられた流体の流通孔ｍ，ｎからの流体漏れ止
め用のリング状シール部材２０を介装し、前記上下一対
のフランジ５，１２、５’，１２’の前記中央を一本の
ボルト１５で上方向から締付けることにより、前記流体
を制御または測定する機器１を前記他の機器へそれぞれ
接続する一方、前記一本のボルト１５を上方向へ取り外
すことにより、一次側および二次側においてそれぞれ前
記両機器間の接続を解除することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスや液体など
流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構
に関する。
流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構
に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造に用いられる各種の
ガスを半導体製造装置に供給する集積型ガスユニットで
は、これらガスの供給流路を構成する各ガスコンポーネ
ントに、ガス流量を制御するマスフローコントローラ
（以下、ＭＦＣという）がそれぞれ設けられている。
ガスを半導体製造装置に供給する集積型ガスユニットで
は、これらガスの供給流路を構成する各ガスコンポーネ
ントに、ガス流量を制御するマスフローコントローラ
（以下、ＭＦＣという）がそれぞれ設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＭＦＣの一
次側（および二次側）を、継手および配管を介して他の
機器（および更に他の機器）に接続していたから、各ガ
スコンポーネントが横方向に長くなってガスユニットの
占有面積が大きくなる不都合があった。これを解消する
ために、一次側および二次側のそれぞれにおいて、ＭＦ
Ｃと他の機器同士を接続するための上下一対のフランジ
を設け、両フランジ間の中央位置にシール部材を一次側
および二次側のそれぞれにおいて介装し、二本または四
本のボルトを上方向から両フランジの前記中央位置の周
辺に取り付けることにより、ＭＦＣを他の機器（および
更に他の機器）へ接続していたけれども、一次側および
二次側のどちらも複数本のボルトを用いているから、各
々のボルトの取り付けの際の締付けトルクにバラツキが
あり、そのため、一次側および二次側に捩じれや歪みに
起因するガスリークが発生するのを防止するのに、高度
の熟練を必要とする。また、ボルトの取り付け時間が長
くかかる等メンテナンス性が悪く、顧客サイドにおいて
は交換作業が困難であった。
次側（および二次側）を、継手および配管を介して他の
機器（および更に他の機器）に接続していたから、各ガ
スコンポーネントが横方向に長くなってガスユニットの
占有面積が大きくなる不都合があった。これを解消する
ために、一次側および二次側のそれぞれにおいて、ＭＦ
Ｃと他の機器同士を接続するための上下一対のフランジ
を設け、両フランジ間の中央位置にシール部材を一次側
および二次側のそれぞれにおいて介装し、二本または四
本のボルトを上方向から両フランジの前記中央位置の周
辺に取り付けることにより、ＭＦＣを他の機器（および
更に他の機器）へ接続していたけれども、一次側および
二次側のどちらも複数本のボルトを用いているから、各
々のボルトの取り付けの際の締付けトルクにバラツキが
あり、そのため、一次側および二次側に捩じれや歪みに
起因するガスリークが発生するのを防止するのに、高度
の熟練を必要とする。また、ボルトの取り付け時間が長
くかかる等メンテナンス性が悪く、顧客サイドにおいて
は交換作業が困難であった。
【０００４】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、一次側、二次側のどちらにおい
ても高度の熟練を要することなく、かつ、信頼性を損な
うことなく接続でき、更に、メンテナンス性に優れた流
体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構を
提供することである。
たもので、その目的は、一次側、二次側のどちらにおい
ても高度の熟練を要することなく、かつ、信頼性を損な
うことなく接続でき、更に、メンテナンス性に優れた流
体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構を
提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の流体を制御または測定する機器と他の機
器との接続機構は、流体を制御または測定する機器の一
次側および二次側にそれぞれ設けた上フランジおよび他
の機器の側に設けた下フランジの中央に、前記上、下フ
ランジにそれぞれ設けた流体の流通孔からの流体漏れ止
め用のリング状シール部材を介装し、前記上下一対のフ
ランジの前記中央を一本のボルトで上方向から締付ける
ことにより、前記流体を制御または測定する機器を前記
他の機器へそれぞれ接続する一方、前記一本のボルトを
上方向へ取り外すことにより、一次側および二次側にお
いてそれぞれ前記両機器間の接続を解除することを特徴
とする。
め、この発明の流体を制御または測定する機器と他の機
器との接続機構は、流体を制御または測定する機器の一
次側および二次側にそれぞれ設けた上フランジおよび他
の機器の側に設けた下フランジの中央に、前記上、下フ
ランジにそれぞれ設けた流体の流通孔からの流体漏れ止
め用のリング状シール部材を介装し、前記上下一対のフ
ランジの前記中央を一本のボルトで上方向から締付ける
ことにより、前記流体を制御または測定する機器を前記
他の機器へそれぞれ接続する一方、前記一本のボルトを
上方向へ取り外すことにより、一次側および二次側にお
いてそれぞれ前記両機器間の接続を解除することを特徴
とする。
【０００６】また、別の観点から、この発明の流体を制
御または測定する機器と他の機器との接続機構は、流体
を制御または測定する機器の本体の側面に突出状態で固
着された上フランジと、他の機器側に設けられた下フラ
ンジと、両フランジ間に介装される流体漏れ止め用のリ
ング状シール部材と、中央を貫通する１個のボルト孔が
形成されたスペーサと、前記ボルト孔に螺着する一本の
ボルトとを備え、前記下フランジの中央に上向きに開口
した凹入部が形成され、この凹入部内の上位には前記ス
ペーサが嵌め込まれ、更に、前記凹入部内の底面には、
前記下フランジの内部に形成された流路を通過した流体
の流通孔がこの周囲を前記シール部材でシールされた状
態で設けられる一方、前記上フランジの中央に前記凹入
部内の下位に嵌め込み可能な凸部が形成され、更に、こ
の凸部の下面中央には、前記下フランジとの位置決め時
において、前記流通孔に連通する流通孔が設けられ、し
かも、前記凸部の上面を直接的または間接的に押圧する
まで前記一本のボルトを前記ボルト孔に螺着し、このボ
ルト孔の直下に前記両流通孔が位置する状態で前記上フ
ランジと下フランジを位置決めすることを特徴とする。
御または測定する機器と他の機器との接続機構は、流体
を制御または測定する機器の本体の側面に突出状態で固
着された上フランジと、他の機器側に設けられた下フラ
ンジと、両フランジ間に介装される流体漏れ止め用のリ
ング状シール部材と、中央を貫通する１個のボルト孔が
形成されたスペーサと、前記ボルト孔に螺着する一本の
ボルトとを備え、前記下フランジの中央に上向きに開口
した凹入部が形成され、この凹入部内の上位には前記ス
ペーサが嵌め込まれ、更に、前記凹入部内の底面には、
前記下フランジの内部に形成された流路を通過した流体
の流通孔がこの周囲を前記シール部材でシールされた状
態で設けられる一方、前記上フランジの中央に前記凹入
部内の下位に嵌め込み可能な凸部が形成され、更に、こ
の凸部の下面中央には、前記下フランジとの位置決め時
において、前記流通孔に連通する流通孔が設けられ、し
かも、前記凸部の上面を直接的または間接的に押圧する
まで前記一本のボルトを前記ボルト孔に螺着し、このボ
ルト孔の直下に前記両流通孔が位置する状態で前記上フ
ランジと下フランジを位置決めすることを特徴とする。
【０００７】
【作用】一次側および二次側それぞれにおいて流体漏れ
止め用のリング状シール部材が介装される上下一対のフ
ランジの中央位置を、一本のボルトで上方向から締付け
るので、高度の熟練を要することなく流体漏れを防止で
き、かつ、一次側および二次側における機器間の接続
が、それぞれ一本のボルトによる短時間の取り付け・取
り外し操作で行える。
止め用のリング状シール部材が介装される上下一対のフ
ランジの中央位置を、一本のボルトで上方向から締付け
るので、高度の熟練を要することなく流体漏れを防止で
き、かつ、一次側および二次側における機器間の接続
が、それぞれ一本のボルトによる短時間の取り付け・取
り外し操作で行える。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１〜図５は、この発明の一つの
実施の形態を示すもので、図１〜図５において、１はマ
スフローコントローラ（以下、ＭＦＣという）で、その
本体２内部にガスＧの流量測定を行うセンサ部３とガス
Ｇの流量制御を行う流量制御部４とを備えている。
照しながら説明する。図１〜図５は、この発明の一つの
実施の形態を示すもので、図１〜図５において、１はマ
スフローコントローラ（以下、ＭＦＣという）で、その
本体２内部にガスＧの流量測定を行うセンサ部３とガス
Ｇの流量制御を行う流量制御部４とを備えている。
【０００９】この実施形態の一次側（ガス入口側）にお
ける接続機構は以下のように構成されている。
ける接続機構は以下のように構成されている。
【００１０】すなわち、５は上フランジで、本体２の一
方側面２ａに突出状態で四本のボルト６で固着されてい
る。そして、上フランジ５は、ボルト孔６ａが形成され
た支持部７とこの支持部７の中央から突出した凸部８を
有する。更に、凸部８の下面８ａは平坦面に形成されて
おり、この下面８ａの中央には流入孔ｍが穿設されてい
る。また、９は、凸部８の上面８ｂに設けたピンで、こ
のピンは流入孔ｍが位置する中心線Ｃ（図５参照）上よ
り他の機器の側に変位した位置に設けられている。ま
た、１０は、凸部８に形成された左右一対の段差部で、
１１は、流入孔ｍから流入したガスＧの流路で、９０°
に折れ曲がっている。
方側面２ａに突出状態で四本のボルト６で固着されてい
る。そして、上フランジ５は、ボルト孔６ａが形成され
た支持部７とこの支持部７の中央から突出した凸部８を
有する。更に、凸部８の下面８ａは平坦面に形成されて
おり、この下面８ａの中央には流入孔ｍが穿設されてい
る。また、９は、凸部８の上面８ｂに設けたピンで、こ
のピンは流入孔ｍが位置する中心線Ｃ（図５参照）上よ
り他の機器の側に変位した位置に設けられている。ま
た、１０は、凸部８に形成された左右一対の段差部で、
１１は、流入孔ｍから流入したガスＧの流路で、９０°
に折れ曲がっている。
【００１１】なお、二次側（ガス出口側）の上フランジ
５’（図１，図２参照）も一次側の前記上フランジ５と
同様の構成になっている。
５’（図１，図２参照）も一次側の前記上フランジ５と
同様の構成になっている。
【００１２】１２は下フランジで、前記他の機器（図示
せず）に、例えば、一次側継手Ａおよび空気圧力弁を介
して接続される。この下フランジ１２と二次側（ガス出
口側）の下フランジ１２’は、所定の距離Ｌを有するよ
う予め固定設置されている。この実施形態では、両フラ
ンジ１２，１２’は分離設置されているが、両フランジ
１２，１２’を所定の長さＬを有する接続体を介して接
続したものを固定設置してもよい。
せず）に、例えば、一次側継手Ａおよび空気圧力弁を介
して接続される。この下フランジ１２と二次側（ガス出
口側）の下フランジ１２’は、所定の距離Ｌを有するよ
う予め固定設置されている。この実施形態では、両フラ
ンジ１２，１２’は分離設置されているが、両フランジ
１２，１２’を所定の長さＬを有する接続体を介して接
続したものを固定設置してもよい。
【００１３】１３は、中央を貫通する１個のボルト孔１
４が形成されたスペーサで、１５は、そのボルト孔１４
に螺着するボルトである。
４が形成されたスペーサで、１５は、そのボルト孔１４
に螺着するボルトである。
【００１４】また、１６はリテーナで、下面部分１６ａ
が凸部８の上面部分１７に嵌合するよう正面視門型の形
状を有する。そして、このリテーナ１６の上面１６ｂに
おける中央位置には浅い凹所１８が形成されている。更
に、下面部分１６ａには、凸部８のピン９が嵌入可能な
ように、対応位置にピン溝１９が形成されている。
が凸部８の上面部分１７に嵌合するよう正面視門型の形
状を有する。そして、このリテーナ１６の上面１６ｂに
おける中央位置には浅い凹所１８が形成されている。更
に、下面部分１６ａには、凸部８のピン９が嵌入可能な
ように、対応位置にピン溝１９が形成されている。
【００１５】なお、二次側（ガス出口側）のスペーサ１
３’およびリテーナ１６’（図２参照）もスペーサ１３
およびリテーナ１６と同様の構成になっている。
３’およびリテーナ１６’（図２参照）もスペーサ１３
およびリテーナ１６と同様の構成になっている。
【００１６】２０は、両フランジ５，１２間に介装され
る流体漏れ止め用のリング状シール部材である。
る流体漏れ止め用のリング状シール部材である。
【００１７】次に、下フランジ１２について詳細に説明
する。下フランジ１２の中央には、上向きに開口した凹
入部２１が形成されている。この凹入部２１内の上位に
左右一対のコ字型形状部分２２が形成され、このコ字型
形状部分２２にスペーサ１３が、ボルト孔１４の軸線を
流入孔ｍが位置する中心線Ｃ上に一致させた状態で、嵌
め込まれる。
する。下フランジ１２の中央には、上向きに開口した凹
入部２１が形成されている。この凹入部２１内の上位に
左右一対のコ字型形状部分２２が形成され、このコ字型
形状部分２２にスペーサ１３が、ボルト孔１４の軸線を
流入孔ｍが位置する中心線Ｃ上に一致させた状態で、嵌
め込まれる。
【００１８】また、凹入部２１内の底面２２には、下フ
ランジ１２の内部に形成された流路２３を通過したガス
Ｇの流出孔ｎが流出孔ｎの周囲をシール部材２０でシー
ルされた状態で穿設されている。この流出孔ｎは中心線
Ｃ上に位置する。すなわち、２４は、凹入部２１内の底
面２２に形成された円周溝で、この円周溝２４の中央に
前記流出孔ｎが穿設されている。更に、この円周溝２４
内に前記シール部材２０が嵌入載置される。そして、前
記他の機器から流入したガスＧは、９０°に折れ曲がっ
た流路２３を通過して流出孔ｎに至る。
ランジ１２の内部に形成された流路２３を通過したガス
Ｇの流出孔ｎが流出孔ｎの周囲をシール部材２０でシー
ルされた状態で穿設されている。この流出孔ｎは中心線
Ｃ上に位置する。すなわち、２４は、凹入部２１内の底
面２２に形成された円周溝で、この円周溝２４の中央に
前記流出孔ｎが穿設されている。更に、この円周溝２４
内に前記シール部材２０が嵌入載置される。そして、前
記他の機器から流入したガスＧは、９０°に折れ曲がっ
た流路２３を通過して流出孔ｎに至る。
【００１９】一方、凹入部２１内の下位は、凸部８の下
面８ａ中央に穿設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２
２に穿設した流出孔ｎが円周溝２４内に位置するシール
部材２０を介在させた状態で、上フランジ５の凸部８が
嵌め込み可能なように、凹形状に形成されている。
面８ａ中央に穿設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２
２に穿設した流出孔ｎが円周溝２４内に位置するシール
部材２０を介在させた状態で、上フランジ５の凸部８が
嵌め込み可能なように、凹形状に形成されている。
【００２０】なお、二次側（ガス出口側）の下フランジ
１２’（図１，図２参照）も下フランジ１２と同様の構
成になっている。
１２’（図１，図２参照）も下フランジ１２と同様の構
成になっている。
【００２１】而して、上フランジ５の中央に形成された
凸部８を、下フランジ１２の中央に形成した凹入部２１
内の下位に嵌め込むことで、凸部８の下面８ａ中央に穿
設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２２に穿設した流
出孔ｎとが、シール部材２０を介在させた状態で、連通
する。
凸部８を、下フランジ１２の中央に形成した凹入部２１
内の下位に嵌め込むことで、凸部８の下面８ａ中央に穿
設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２２に穿設した流
出孔ｎとが、シール部材２０を介在させた状態で、連通
する。
【００２２】続いて、リテーナ１６を凸部８の上面部分
１７に嵌合する。この際、ピン９がピン溝１９に嵌入す
るので、リテーナ１６を確実に位置決めできる。
１７に嵌合する。この際、ピン９がピン溝１９に嵌入す
るので、リテーナ１６を確実に位置決めできる。
【００２３】そして、ボルト孔１４が形成されたスペー
サ１３を、凹入部２１内の上位に嵌め込むことで、ボル
ト孔１４が流入孔ｍおよび流出孔ｎの直上に位置する。
すなわち、ボルト孔１４の軸線、流入孔ｍおよび流出孔
ｎが中心線Ｃ上に位置する。
サ１３を、凹入部２１内の上位に嵌め込むことで、ボル
ト孔１４が流入孔ｍおよび流出孔ｎの直上に位置する。
すなわち、ボルト孔１４の軸線、流入孔ｍおよび流出孔
ｎが中心線Ｃ上に位置する。
【００２４】その後、上方向から一本のボルト１５をボ
ルト孔１４に螺着し、更に、リテーナ１６の上面１６ｂ
の凹所１８を押圧する位置まで一本のボルト１５を締付
けることで、ボルト１５の先端がリテーナ１６の凹所１
８に当接し、リテーナ１６を介してボルト１５による押
圧力が凸部８に確実に伝達され、これにより、流出孔ｎ
および流入孔ｍ間からのガス漏れを、流出孔ｎの周囲に
位置するシール部材２０で防止できるとともに、ボルト
１５の先端が凸部８の上面８ｂに当たらないので、凸部
８にボルト１５による傷が付くのを防止できる。
ルト孔１４に螺着し、更に、リテーナ１６の上面１６ｂ
の凹所１８を押圧する位置まで一本のボルト１５を締付
けることで、ボルト１５の先端がリテーナ１６の凹所１
８に当接し、リテーナ１６を介してボルト１５による押
圧力が凸部８に確実に伝達され、これにより、流出孔ｎ
および流入孔ｍ間からのガス漏れを、流出孔ｎの周囲に
位置するシール部材２０で防止できるとともに、ボルト
１５の先端が凸部８の上面８ｂに当たらないので、凸部
８にボルト１５による傷が付くのを防止できる。
【００２５】このように、両フランジ５，１２の中央を
一本のボルト１５で上方向から締付けるので、締付け手
順、締付け方法による差が無くなるため、短時間で両フ
ランジ５，１２を位置決めでき、信頼性も向上できる。
また、顧客サイドでのメンテナンスも容易に行える。二
次側においても同様にできる。
一本のボルト１５で上方向から締付けるので、締付け手
順、締付け方法による差が無くなるため、短時間で両フ
ランジ５，１２を位置決めでき、信頼性も向上できる。
また、顧客サイドでのメンテナンスも容易に行える。二
次側においても同様にできる。
【００２６】図６は、前記一本のボルト１５で凸部５の
上面８ｃを押圧するように構成したこの発明の他の実施
形態を示す。上記実施形態と異なる点は、リテーナ１６
を不要にした点である。なお、図６において、図１〜図
５で用いた符号と同一のものは、同一または相当物を示
す。
上面８ｃを押圧するように構成したこの発明の他の実施
形態を示す。上記実施形態と異なる点は、リテーナ１６
を不要にした点である。なお、図６において、図１〜図
５で用いた符号と同一のものは、同一または相当物を示
す。
【００２７】図６において、凸部５の上面８ｃにおける
中央位置には、上方向から締付け時にボルト１５の先端
が当接する浅い凹所３０が形成されている。
中央位置には、上方向から締付け時にボルト１５の先端
が当接する浅い凹所３０が形成されている。
【００２８】而して、上フランジ５の中央に形成された
凸部８を、下フランジ１２の中央に形成した凹入部２１
内の下位に嵌め込むことで、凸部８の下面８ａ中央に穿
設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２２に穿設した流
出孔ｎとが、シール部材２０を介在させた状態で、連通
する。
凸部８を、下フランジ１２の中央に形成した凹入部２１
内の下位に嵌め込むことで、凸部８の下面８ａ中央に穿
設した流入孔ｍと凹入部２１内の底面２２に穿設した流
出孔ｎとが、シール部材２０を介在させた状態で、連通
する。
【００２９】続いて、ボルト孔１４が形成されたスペー
サ１３を、凹入部２１内の上位に嵌め込むことで、ボル
ト孔１４が流入孔ｍおよび流出孔ｎの直上に位置する。
サ１３を、凹入部２１内の上位に嵌め込むことで、ボル
ト孔１４が流入孔ｍおよび流出孔ｎの直上に位置する。
【００３０】その後、上方向から一本のボルト１５をボ
ルト孔１４に螺着し、更に、上フランジ５の上面８ｃを
直接的に押圧する位置まで一本のボルト１５を締付ける
ことで、高度の熟練を要することなくガス漏れを確実に
防止できる。
ルト孔１４に螺着し、更に、上フランジ５の上面８ｃを
直接的に押圧する位置まで一本のボルト１５を締付ける
ことで、高度の熟練を要することなくガス漏れを確実に
防止できる。
【００３１】また、一本のボルト１５の取り付け・取り
外しにより簡単に上方向よりメンテナンスを行える。
外しにより簡単に上方向よりメンテナンスを行える。
【００３２】なお、上記各実施形態では、ガスを制御ま
たは測定する装置としてマスフローコントローラを採用
したものを示したが、流体の流量を測定するマスフロー
メータ、あるいは、流体の流量を制御しその圧力を調整
する圧力コントローラなどを採用してもよい。
たは測定する装置としてマスフローコントローラを採用
したものを示したが、流体の流量を測定するマスフロー
メータ、あるいは、流体の流量を制御しその圧力を調整
する圧力コントローラなどを採用してもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、一次側および二次側それぞれにおいて流体漏れ止め
用のリング状シール部材が介装される上下一対のフラン
ジの中央位置を、一本のボルトで上方向から締付けるよ
うに構成したので、高度の熟練を要することなく、か
つ、信頼性を損なうことなく流体を制御または測定する
機器と他の機器とを接続でき、更に、一次側および二次
側における前記接続が、それぞれ一本のボルトによる短
時間の取り付け・取り外し操作で行えるので、メンテナ
ンス性に優れた接続機構を提供できる。
ば、一次側および二次側それぞれにおいて流体漏れ止め
用のリング状シール部材が介装される上下一対のフラン
ジの中央位置を、一本のボルトで上方向から締付けるよ
うに構成したので、高度の熟練を要することなく、か
つ、信頼性を損なうことなく流体を制御または測定する
機器と他の機器とを接続でき、更に、一次側および二次
側における前記接続が、それぞれ一本のボルトによる短
時間の取り付け・取り外し操作で行えるので、メンテナ
ンス性に優れた接続機構を提供できる。
【図１】この発明の一つの実施の形態を示す全体分解斜
視図である。
視図である。
【図２】上記実施形態における一次側および二次側を示
す構成説明図である。
す構成説明図である。
【図３】上記実施形態における一次側から見た構成説明
図である。
図である。
【図４】上記実施形態における一次側を示す要部透過斜
視図である。
視図である。
【図５】上記実施形態における動作説明図である。
【図６】この発明の他の実施の形態を示す全体分解斜視
図である。
図である。
１…マスフローコントローラ、２…本体、５，５’…上
フランジ、８…凸部、１１，２３…流路、１２，１２’
…下フランジ、１３…スペーサ、１４…ボルト孔、１５
…ボルト、２０…リング状シール部材、２１…凹入部、
ｍ…流入孔、ｎ…流出孔、Ｇ…ガス。
フランジ、８…凸部、１１，２３…流路、１２，１２’
…下フランジ、１３…スペーサ、１４…ボルト孔、１５
…ボルト、２０…リング状シール部材、２１…凹入部、
ｍ…流入孔、ｎ…流出孔、Ｇ…ガス。
Claims (2)
- 【請求項１】 流体を制御または測定する機器の一次側
および二次側にそれぞれ設けた上フランジおよび他の機
器の側に設けた下フランジの中央に、前記上、下フラン
ジにそれぞれ設けた流体の流通孔からの流体漏れ止め用
のリング状シール部材を介装し、前記上下一対のフラン
ジの前記中央を一本のボルトで上方向から締付けること
により、前記流体を制御または測定する機器を前記他の
機器へそれぞれ接続する一方、前記一本のボルトを上方
向へ取り外すことにより、一次側および二次側において
それぞれ前記両機器間の接続を解除することを特徴とす
る流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機
構。 - 【請求項２】 流体を制御または測定する機器の本体の
側面に突出状態で固着された上フランジと、他の機器側
に設けられた下フランジと、両フランジ間に介装される
流体漏れ止め用のリング状シール部材と、中央を貫通す
る１個のボルト孔が形成されたスペーサと、前記ボルト
孔に螺着する一本のボルトとを備え、前記下フランジの
中央に上向きに開口した凹入部が形成され、この凹入部
内の上位には前記スペーサが嵌め込まれ、更に、前記凹
入部内の底面には、前記下フランジの内部に形成された
流路を通過した流体の流通孔がこの周囲を前記シール部
材でシールされた状態で設けられる一方、前記上フラン
ジの中央に前記凹入部内の下位に嵌め込み可能な凸部が
形成され、更に、この凸部の下面中央には、前記下フラ
ンジとの位置決め時において、前記流通孔に連通する流
通孔が設けられ、しかも、前記凸部の上面を直接的また
は間接的に押圧するまで前記一本のボルトを前記ボルト
孔に螺着し、このボルト孔の直下に前記両流通孔が位置
する状態で前記上フランジと下フランジを位置決めする
ことを特徴とする流体を制御または測定する機器と他の
機器との接続機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33903496A JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
| TW091214358U TW526916U (en) | 1996-12-03 | 1997-11-27 | Connector for a mass-flow controlling or detecting device and other devices |
| KR1019970065174A KR100258429B1 (ko) | 1996-12-03 | 1997-12-02 | 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구 |
| US08/984,302 US5901984A (en) | 1996-12-03 | 1997-12-03 | Coupling mechanism for connecting a fluid line to a mass flow controller or other device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33903496A JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160539A true JPH10160539A (ja) | 1998-06-19 |
| JP3762504B2 JP3762504B2 (ja) | 2006-04-05 |
Family
ID=18323652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33903496A Expired - Fee Related JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5901984A (ja) |
| JP (1) | JP3762504B2 (ja) |
| KR (1) | KR100258429B1 (ja) |
| TW (1) | TW526916U (ja) |
Families Citing this family (4)
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|---|---|---|---|---|
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| US8950433B2 (en) | 2011-05-02 | 2015-02-10 | Advantage Group International Inc. | Manifold system for gas and fluid delivery |
| US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
| US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4625999A (en) * | 1981-11-19 | 1986-12-02 | Stanley Aviation Corporation | Remotely-operable ball joint connector |
| US4471799A (en) * | 1982-01-11 | 1984-09-18 | Grove Valve And Regulator Company | Line removable ball valve |
| JPS596695U (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | エスエムシ−株式会社 | 空気圧回路用３点セツト |
| US5069362A (en) * | 1990-05-02 | 1991-12-03 | Air Way Automation, Inc. | Escapement manifold for fastener feeding machines and the like |
-
1996
- 1996-12-03 JP JP33903496A patent/JP3762504B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-27 TW TW091214358U patent/TW526916U/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-12-02 KR KR1019970065174A patent/KR100258429B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-12-03 US US08/984,302 patent/US5901984A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW526916U (en) | 2003-04-01 |
| JP3762504B2 (ja) | 2006-04-05 |
| KR19980063682A (ko) | 1998-10-07 |
| KR100258429B1 (ko) | 2000-06-01 |
| US5901984A (en) | 1999-05-11 |
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050711 |
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