JPH10169859A - 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 制御機器のボディの流路ブロックの相互のガ
ス流入通路、ガス流出通路に対する芯合わせを容易に且
つ一緒にできて、接続部に介在する作業を簡単化して装
着を容易にし且つ取り外しを容易にしてメンテナンス性
を向上でき、しかもガス流入通路、ガス流出通路の接続
部周縁を同時に安定してシールすることのできる集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットを提供す
る。 【解決手段】 制御機器のボディ８が装着される流路ブ
ロック６の長円形凹部内周面に位置決めされるガイド部
２１を外周に有すると共に、このガイド部２１により芯
出しされ、制御機器のボディ８と流路ブロック６のガス
流入通路４及びガス流出通路５と同心に連通する２つの
ガス通路穴２２、２３を有し、且つこの２つのガス通路
穴２２、２３の周囲両面にフラットな同高の環状シール
面２４、２４′、２５、２５′を同心に突設した集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
高純度ガス系のガス供給制御装置としての集積化ガスパ
ネルの各ガス供給制御ラインに於いて、順次接続された
流路ブロックに制御機器を取付ける際のシールガスケッ
トに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体製造装置の高純度ガス系の
ガス供給制御装置として集積化ガスパネルは、自動ダイ
ヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルター
ユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、
レギュレータ、マスフローコントローラー、マスフロー
メーターなどの個々の独立した制御機器を、継手、配管
を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成し、これを
ベースプレート上に多数並列に設けたものである。

【０００３】このように個々の独立した機器を配管、継
手を用いて連結し、ガス供給制御ラインを構成している
と、スペースが増大し、集積化ガスキャビネットの内容
積が増大する。また、制御機器の脱着が困難でメンテナ
ンス性が悪い。さらに、ガス供給制御ラインは、各々異
なる回路構成となるため、トータル製作リードタイム
（設計→製作→組立）が長くなる。その上、回路変更の
必要が生じた場合、これに対応することができない。

【０００４】このようなことから本出願人は、上記問題
点を解決する集積化ガスパネルとして、図８に示すよう
にベースプレート１上に、多数のガス供給制御ライン２
を並設し、各ガス供給制御ライン２は、図９に示すよう
に上部に円形の上向き筒部３を有し、その下部に長円形
の凹部３ａを有し、その凹部３ａの底面３ｂに開口する
ガス流入通路４を一側に有し、他側に前記凹部３ａの底
面３ｂに連通したガス流出通路５を有する流路ブロック
６を、順次ターンバックル式ナット７により接続して隣
接する流路ブロック６のガス流出通路５とガス流入通路
４を連通し、各流路ブロック６の上向き筒部３に、自動
ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィル
ターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧
弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器を適宜選択の上、それらの
円形のボディ８に外装された外ねじナット９により縦型
に脱着可能に装着した集積化ガスパネル１０を開発し
た。

【０００５】ところで、上記構成の集積化ガスパネル１
０に於いて、流路ブロック６の上向き筒部３に装着した
制御機器のボディ８は、該ボディ８のガス流入通路１
１、ガス流出通路１２が流路ブロック６のガス流入通路
４、ガス流出通路５と接続されるのであるが、この接続
部は長円形凹部３ａの底面３ｂと長円形凸部８ａの下面
８ｂの平坦度に加工上の公差がある為、外ねじナット９
の締め付けによってシールすることができない。この
為、図１０に示すようにガス流入通路１１と４との接続
部周縁及びガス流出通路１２と５との接続部周縁に夫々
弗素樹脂製のシールリング１３を介在することが行われ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、このように
ガス流入通路１１と４、ガス流出通路１２と５の夫々の
接続部周縁に、各々弗素樹脂製のシールリング１３を介
在することは、各々ガス流入通路１１、４、ガス流出通
路１２、５に対する芯合わせが難しく、接続部に介在す
る作業が厄介で、装着が難しく、メンテナンス性も悪
い。また、個々のシールリング１３の締め付けが均等に
はならないので、圧縮、変形がばらつき、安定したシー
ル性が得られない。

【０００７】そこで本発明は、ガス流入通路、ガス流出
通路に対する芯合わせを容易に且つ一緒にできて、接続
部に介在する作業を簡単化して装着を容易にし且つ取り
外しを容易にしてメンテナンス性を向上でき、しかもガ
ス流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定し
てシールすることのできる集積化ガスパネルの制御機器
取付用シールガスケットを提供しようとするものであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガ
スケットは、集積化ガスパネルの各ガス供給制御ライン
において順次接続された流路ブロックの円形の上向き筒
部の下部の長円形凹部底面に開口したガス流入通路及び
ガス流出通路と、これらと同心に前記流路ブロックの上
向き筒部に装着する制御機器の円形のボディの下部の長
円形凸部下面に開口したガス流入通路及びガス流出通路
との接続部に介在されるシールガスケットであって、該
シールガスケットが、前記流路ブロックの長円形凹部内
周面に位置決めされるガイド部を外周に有すると共に、
このガイド部により芯出しされ、前記ガス流入通路及び
ガス流出通路と同心に連通する２つのガス通路穴を有
し、且つこの２つのガス通路穴の周囲両面にフラットな
同高の環状シール面を同心に突設したものであることを
特徴とするものである。

【０００９】上記の制御機器取付用シールガスケットに
於いて、外周のガイド部を全周に有する場合と周方向に
断続的に有する場合とがある。また、２つのガス通路穴
の周囲両面の環状シール面は、各々独立していることが
好ましい。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の集積化ガスパネルの制御
機器取付用シールガスケットの実施形態を図によって説
明する。前述の図９に示す集積化ガスパネル１０のベー
スプレート１上に多数並設された各ガス供給制御ライン
２において順次ターンバックル式ナット７により接続さ
れた流路ブロック６の円形の上向き筒部３における下部
の長円形凹部３ａの底面３ｂに開口したガス流入通路４
及びガス流出通路５と、これらと同心に前記流路ブロッ
ク６の上向き筒部３に外ねじナット９により装着する自
動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィ
ルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減
圧弁、レギュレータ、マスフローコントローラー、マス
フローメーター等の制御機器の円形のボディ８における
フランジ下側の長円形凸部８ａの下面８ｂに開口したガ
ス流入通路１１及びガス流出通路１２とが長円形凹部３
ａと長円形凸部８ａとの嵌合により連通され、この相互
の連通面である長円形凹部３ａの底面３ｂと長円形凸部
８ａの下面８ｂとの間に、本発明のシールガスケット２
０が介在される。

【００１１】本発明のシールガスケット２０の基本的実
施形態は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように外周に前
記流路ブロック６の上向き筒部３の下部の長円形凹部３
ａの内周面に位置決めされるガイド部２１を有すると共
に、このガイド部２１により芯出しされ、前記ガス流入
通路４、１１及びガス流出通路５、１２と同心に連通す
る２つのガス通路穴２２、２３を有し、且つこのガス通
路穴２２、２３の周囲両面にフラットな同高の環状シー
ル面２４、２４′２５、２５′を同心に突設したもので
ある。

【００１２】本発明のシールガスケット２０の実用的実
施形態の１つは、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように外
周のガイド部２１を、長円形、凹部３ａの内周面に当接
する先端面円弧状の突出部２６をガス通路穴２２、２３
と同心に各々９０度間隔に三方に設けて、周方向に断続
的に備えたものであり、また、前記環状シール面２４と
２４′２５と２５′はラップさせて、そのラップさせた
部分に溝２７を設けて分断独立させたものである。

【００１３】本発明のシールガスケット２０の実用的実
施形態の他の１つは、図２の（ａ）、（ｂ）に示す外周
のガイド部２１の平面形状を図３に示すように変更した
ものである。即ち、長円形、凹部３ａの長径方向両側内
面に接触する球状部２８、２８′をガス通路穴２２、２
３と同心に設け、その球状部２８、２８′の接続部に９
０度のＶ字状切欠２９、２９′を設けて、ガイド部２１
を周方向に断続的に備えたものであり、環状シール面２
４と２４′２５と２５′は図２の（ａ）、（ｂ）に示す
シールガスケット２０と同様にラップさせて、そのラッ
プさせた部分に溝２７を設けて分断独立させてある。

【００１４】本発明のシールガスケット２０のその他の
実施形態を図４〜図７に示す。図４に示すシールガスケ
ット２０は、環状シール面２４と２４′（２５と２
５′）を隣り合わせに独立させ、外周のガイド部２１
を、ガス通路穴２２、２３を中心として９０度間隔に長
径方向、短径方向にＵ字状切欠３０を設けて周方向に断
続的に形成したものである。図５に示すシールガスケッ
ト２０は、図４に示すシールガスケット２０に於ける外
周のガイド部２１の平面形状を変更したもので、長径方
向の両側部３１を三角形となるようにカットしてガイド
部２１を周方向に断続的に形成したものである。図６に
示すシールガスケット２０は図２の（ａ）、（ｂ）に示
すシールガスケット２０の外周のガイド部２１の平面形
状を一部変更し、環状シール面２４と２４′（２５と２
５′）を隣り合わせに独立させたものである。図７に示
すシールガスケット２０は、図１の（ａ）、（ｂ）に示
すシールガスケット２０の外周のガイド部２１の周方向
に小円形の穴３２を穿設して、ガイド部２１を周方向に
断続的に形成したものである。

【００１５】上記各実施形態に示すように本発明のシー
ルガスケット２０は、外周に、集積化ガスパネル１０の
各ガス供給制御ライン２において順次接続された流路ブ
ロック６の円形の上向き凹部３の下部の長円形凹部３ａ
の内周面に位置決めされるガイド部２１を有するので、
長円形凹部３ａにシールガスケット２０を装入すると、
このガイド部２１により２つのガス通路穴２２、２３が
容易に且つ一緒に流路ブロック６のガス流入通路４及び
ガス流出通路５と同心に連通される。そして、円形の上
向き筒部３に制御機器の円形のボディ８を装入し、該ボ
ディ８の下部の長円形凸部８ａを円形の上向き筒部３の
下部の長円形凹部３ａに嵌合すると、ボディ８のガス流
入通路１１及びガス流出通路１２が容易に且つ一緒にシ
ールガスケット２０の２つのガス通路穴２２、２３と同
心に連通される。然る後、ボディ８に外装された外ねじ
ナット９を締め付けると、ボディ８の下部の長円形凸部
８ａと流路ブロック６の長円形凹部３ａとが、その間に
介在されたシールガスケット２０の２つのガス通路穴２
２、２３の周囲両面のフラットな同高の環状シール面２
４、２４′、２５、２５′に圧着されて、ガス流入通路
４と１１、ガス流出通路５と１２との接続部が同時に安
定してシールされる。

【００１６】

【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
ガスパネルの制御機器取付用シールガスケットは、流路
ブロックとこれに装着する各種制御機器のボディとの接
続部において、相互のガス流入通路、ガス流出通路に対
する２つのガス通路穴の芯合わせを容易に且つ一緒にで
きて、接続部に介在する作業を簡単化し、且つ取り外し
も容易にできてメンテナンス性を向上でき、しかもガス
流入通路、ガス流出通路の接続部周縁を同時に安定して
シールすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの基本的実施形態を示すもので、（ａ）
は平面図、（ｂ）は縦断面図である。

【図２】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの実用的実施形態の１つを示すのもの
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。

【図３】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの実用的実施形態の他の１つを示す平面
図である。

【図４】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態の示す平面図である。

【図５】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。

【図６】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。

【図７】本発明の集積化ガスパネルの制御機器取付用シ
ールガスケットの他の実施形態を示す平面図である。

【図８】集積化ガスパネルの概略平面図である。

【図９】図８の集積化ガスパネルのガス供給制御ライン
の１つを示す一部縦断側面図である。

【図１０】集積化ガスパネルのガス供給制御ラインにお
ける制御機器取付部に従来のシーリングを介在した状態
を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ ベースプレート ２ ガス供給制御ライン ３ 円形の上向き筒部 ３ａ 長円形凹部 ３ｂ 底面 ４ ガス流入通路 ５ ガス流出通路 ６ 流路ブロック ８ 円形のボディ ８ａ 長円形凸部 ８ｂ 下面 １０ 集積化ガスパネル １１ ガス流入通路 １２ ガス流出通路 ２０ シールガスケット ２１ ガイド部 ２２、２３ ガス通路穴 ２４、２４′、２５、２５′ 環状シール面

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積化ガスパネルの各ガス供給制御ライ
   ンにおいて順次接続された流路ブロックの円形の上向き
   筒部の下部の長円形凹部底面に開口したガス流入通路及
   びガス流出通路と、これらと同心に前記流路ブロックの
   上向き筒部に装着する制御機器の円形のボディの下部の
   長円形凸部下面に開口したガス流入通路及びガス流出通
   路との接続部に介在されるシールガスケットであって、
   該シールガスケットが、前記流路ブロックの長円形凹部
   内周面に位置決めされるガイド部を外周に有すると共
   に、このガイド部により芯出され、前記ガス流入通路及
   びガス流出通路と同心に連通する２つのガス通路穴を有
   し、且つこの２つのガス通路穴の周囲両面にフラットな
   同高の環状シール面を同心に突設したものであることを
   特徴とする集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガ
   スケット。
2. 【請求項２】 シールガスケットが、外周のガイド部を
   全周に有するか、又は断続的に有することを特徴とする
   請求項１記載の集積化ガスパネルの制御機器取付用シー
   ルガスケット。
3. 【請求項３】 ２つのガス通路穴の周囲両面の環状シー
   ル面が、各々独立していることを特徴とする集積化ガス
   パネルの制御機器取付用シールガスケット。