WO2007007508A1

WO2007007508A1 - 集積パネルと流体デバイスとの接続構造

Info

Publication number: WO2007007508A1
Application number: PCT/JP2006/312013
Authority: WO
Inventors: Masayoshi Katsura
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co., Ltd.
Priority date: 2005-07-12
Filing date: 2006-06-15
Publication date: 2007-01-18
Also published as: US20090126808A1; KR20080026645A; TW200734563A; US7942165B2; EP1909001A1

Abstract

　増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供する。そのため、集積パネルとバルブ２とを環状ガスケットＧを用いて単一の円管状流体通路３，７シール状態で連通接続するに、第１及び第２流体給排口部２Ａに環状突起１１とその内外のテーパ周面１２ａ，１３ａとを形成し、ガスケットＧには、一対の環状溝５１，５１とテーパ周面５２ａ，５３ａとを有するフッ素樹脂製のものに構成し、集積パネル１とバルブ２とを引寄せることにより、環状突起１１と環状溝５１とが嵌合してテーパ周面１２ａ，１３ａ，５２ａ，５３ａどうしが圧接して成るシール部Ｓ１が形成される接合状態が構成される。

Description

明細書

集積パネルと流体デバイスとの接続構造

技術分野

[0001] 本発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療'医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる流体用の集積パネルと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとをガスケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。背景技術

[0002] 上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、特許文献 1や特許文献 2において開示された接続構造が知られている。特許文献 1で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、特許文献 2で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじナットを用いて接続連結させるものである。

[0003] 特許文献 1や 2に開示されている接続構造は、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは配管系全体のコンパクトィ匕ゃモジュールィ匕が可能となる点で有用なものである。特許文献 1：特開 2001— 82609号公報

特許文献 2 :特開平 10— 169859号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 上記特許文献 1や 2に開示された接続構造においては、ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。し力、しながら、ボルトの締付け力が時間と共に低下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。ガスケットを用いてシールする場合は非常に高い締付け力が必要になるので、集積パネルや流体デバイスの流体給排ロ部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。

[0005] 本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することにある

[0006] また、コンパクトィ匕ゃモジュール化をさらに促進させるには、流体デバイス単品の小型化は勿論であるが、その流体デバイス自体のコンパクト化が実現されたその次には、集積パネルと流体デバイスとの接続構造をコンパクト化することに対する要求が生じると予測される。

[0007] そこで、本発明の第二の目的は、上述した利点を有する集積パネルを用いた配管系における集積化を促進すベぐさらにコンパクト化が可能となる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提案し、実現させる点にある。

課題を解決するための手段

[0008] 請求項 1に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造にぉレ、て、管状の流体通路 3, 4が開口する第 1流体給排ロ部 1Aを備えた集積パネル 1の前記第 1流体給排ロ部 1Aと、管状の流体通路 7, 8が開口する第 2流体給排ロ部 2Aを備えた流体デバイス 2の前記第 2流体給排口部 2Aとを、これら第 1流体給排口部 1Aと第 2 流体給排ロ部 2Aとの間に介在されるリング状のガスケット Gによって前記流体通路 3 , 4, 7, 8をシールする状態で連通接続するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部 1A及び前記第 2流体給排ロ部 2Aには、各端面に開口する前記各流体通路 3， 4, 7, 8の外径側部分に環状突起 11 , 21が形成され、前記ガスケット Gは、前記第 1 ,第 2流体給排ロ部 1A， 2Aの相対応する前記流体通路 3, 4, 7， 8どうしを連通すべく形成された流体経路 Wと、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された前記環状突起 11， 21のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路 Wの外径側部分に形成された一対の環状溝 51， 51と、この環状溝 5 1を形成するために前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの軸心 P方向に突出形成された内外の周壁端部 52， 53と、を有する可撓性を備えた材料から構成されており、

前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aの端面における前記環状突起 11 , 21の内径側に、内径側の周壁端部 52に当接可能な環状押え部分 12， 22が形成され、前記環状押え部分 12, 22は、これと前記環状突起 11 , 21とで囲まれた谷部 14， 2 4が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面 12a， 22 aを有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記内径側の周壁端部 52は、前記環状押え部分 12, 22のテーパ周面 12a, 22aに当接するテーパ周面 52aを有して前記谷部 14, 24に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aとが互いに前記ガスケット Gを介して引寄せられることにより、前記第 1流体給排ロ部 1Aの前記環状突起 11と前記ガスケット Gの一端の環状溝 51とが、及び前記第 2流体給排ロ部 2Aの前記環状突起 2 1と前記ガスケット Gの他端の前記環状溝 51とがそれぞれ嵌め合わされ、かつ、前記環状押え部分 12, 22のテーパ周面 12a, 22aと前記内径側の周壁端部 52のテーパ周面 52aとが圧接されてシール部 S 1力 S形成されるように構成されてレ、ることを特徴とするものである。

[0009] 請求項 2に係る発明は、請求項 1に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状押え部分 12, 22のテーパ周面 12a, 22aと前記内径側の周壁端部 52のテーパ周面 52aとの前記環状突起 11， 21から径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって構成されるように、前記環状押え部分 12， 22のテーパ周面 12a， 22aの傾斜角と前記内径側の周壁端部 52のテーパ周面 52aの傾斜角とを異ならせて設定してあることを特徴とするものである。

[0010] 請求項 3に係る発明は、請求項 1又は 2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状突起 11， 21の前記軸心 P方向での突出量が、前記環状押え部分 12, 22の前記軸心 P方向での突出量を上回る状態に設定されていることを特徴とするものである。

[0011] 請求項 4に係る発明は、請求項:!〜 3の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造にぉレ、て、前記第 1流体給排口部 1Aと前記第 2流体給排口部 2 Aとが互いに前記ガスケット Gを介して引寄せられて前記両テーパ周面 12a, 22a, 5 2aどうしが圧接することによる分力により、前記内径側の周壁端部 52が拡張変位して前記環状突起 11 , 21に圧接されてシール部 S2が形成される状態に構成されていることを特 ί敷とするものである。

[0012] 請求項 5に係る発明は、請求項:!〜 4の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造にぉレ、て、前記ガスケット Gの断面形状が略 Η型形状を呈するものに構成されていることを特徴とするものである。

[0013] 請求項 6に係る発明は、請求項:!〜 5の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状溝 51に前記環状突起 11 , 21を入れ易くすベぐ前記環状突起 11， 21がその先端の内周角部及び/又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されていることを特徴とするものである。

[0014] 請求項 7に係る発明は、請求項:!〜 6の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記シール部 S1が形成される接合状態を維持する維持手段 Iが装備されていることを特徴とするものである。

[0015] 請求項 8に係る発明は、請求項 7に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段 Iは、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Αとを引寄せて前記接合状態を得るための弓 I寄せ機能を発揮するものに構成されてレ、ることを特徴とするものである。

[0016] 請求項 9に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、

管状の流体通路 3又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路 4とが同心状に形成されて開口する第 1流体給排ロ部 1Aを備えた集積パネル 1の前記第 1流体給排ロ部 1Aと、管状の流体通路 7又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路 8とが同心状に形成されて開口する第 2流体給排ロ部 2Αを備えた流体デバイス 2の前記第 2流体給排ロ部 2Αとを、それぞれの複数の流体通路 3， 4, 7, 8が相対応され、かつ、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Αの間に介在される複数のリング状のガスケット Gl , G2によって各流体通路 3, 4, 7, 8がシールされる状態で連通接続するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部 1A及び前記第 2流体給排ロ部 2Aには、各端面に開口する前記各流体通路 3， 4, 7, 8の外径側部分に環状突起 21 , 1 1， 41 , 31が形成され前記各ガスケット Gl， G2は、前記第 1，第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの相対応する前記流体通路 3, 4, 7, 8どうしを連通すべく形成された流体経路 Wl， W2と、前記第 1 及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された前記環状突起 21， 1 1 , 41， 31 のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路 Wl , W2の外径側部分に形成された一対の環状溝 51 , 61と、前記環状溝 51， 61を形成するために前記第 1及び第 2流体給排口部 1A, 2Aの軸心方向に突出形成された内外径側の周壁端部 52, 53, 62, 63と、を有する可撓性を備えた材料から構成されており、

前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aの端面における前記環状突起 21 , 1 1， 4 1 , 31の内外径側に、前記内外径側の周壁端部 52, 53, 62, 63の夫々に当接可能な環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33力 S形成され、

前記環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33は、これと前記環状突起 21 , 1 1 , 41 , 31とで囲まれた谷咅 25, 14, 15, 44, 45, 34, 35力 S奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面 22a, 23a, 12a, 13a, 42 a， 43a, 32a, 33aを有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記周壁端部 52, 53, 62, 63は、対応する前記環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33 のテーノ周面 22a, 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33aiこ当接するテーノヽ。周面 5 2a, 53a, 62a, 63aを有して前記谷部 24, 25, 14， 15, 44, 45, 34， 35に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、

前記第 1流体給排口部 1Aと前記第 2流体給排口部 2Aとが互いに前記複数のガスケット Gl , G2を介して引寄せられることにより、前記第 1流体給排ロ部 1Aの前記環状突起 21 , 41と前記各ガスケット Gl , G2の一端の環状溝 51 , 61とが、及び前記第 2流体給排ロ部 2Aの前記環状突起 1 1， 31と前記各ガスケット Gl， G2の他端の前記環状溝 51 , 61とがそれぞれ嵌め合わされ、かつ、前記環状押え部分 22, 23, 12 , 13, 42, 43, 32, 33のテーノヽ°周面 22a, 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33aと前記周壁端咅 52, 53, 62, 63のテーノ周面 52a, 53a, 62a, 63aと力 S圧接されてシール部 S Iが形成されるように構成されるとともに、

前記各ガスケット Gl， G2のうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路 Wl , W2が存在する中間ガスケット G1は、これの外周面 55aが、前記中間ガスケット G1の外径側に存する前記第 1流体給排ロ部 1Aの前記環状の流体通路 8と前記第 2流体給排ロ部 2Aの前記環状の流体通路 4とを連通する環状の流体経路 W2を形成するための壁面となる状態に形成されていることを特徴とするものである。

[0017] 請求項 10に係る発明は、請求項 9に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造にぉレ、て、前記シーノレ咅力前記環状押え咅 B分 22， 23, 12, 13， 42, 43, 32 , 33のテーノ周面 22a, 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33aと前記周壁端き , 53, 62, 63のテーノ周面 52a, 53a, 62a, 63aとの前記環状突起 21 , 11 , 41 , 3 1力径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって構成されるように、前記環状甲え咅分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33のテーノ周面 22a, 23a, 12a, 13a, 4 2a, 43a, 32a, 33aのィ頃斜角と前記周壁端咅 53, 62, 63のテーノヽ°周面 52a, 5 3a, 62a, 63aの傾斜角とを異ならせて設定してあることを特徴とするものである。

[0018] 請求項 11に係る発明は、請求項 9又は 10に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状突起 21 , 11 , 41 , 31の前記軸心方向での突出量が、前記環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33の前記軸心方向での突出量を上回る状態に設定されていることを特徴とするものである。

[0019] 請求項 12に係る発明は、請求項 9〜： 11の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに前記複数のガスケット Gl , G2を介して引寄せられて前記両テーパ周面 22a， 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33a, 52a, 53a, 62a, 63aどうし力 S圧接することによる分力により、内径側の前記周壁端部 52, 62が拡径変位し、かつ、外径側の前記周壁端部 53， 63が縮径変位して前記環状突起 21 , 41， 11 , 31に圧接されて二次シール部 S2が形成される状態に構成されていることを特徴とするものである。

[0020] 請求項 13に係る発明は、請求項 9〜： 12の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記複数のガスケット Gl， G2の断面形状が略 H型形状を呈するものに構成されていることを特徴とするものである。

[0021] 請求項 14に係る発明は、請求項 9〜： 13の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状溝 51， 61に前記環状突起 21， 11， 41 , 31を入れ易くすべぐ前記環状突起 21， 11 , 41 , 31がその先端の内周角部及び/ 又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されていることを特徴とするものである。

[0022] 請求項 15に係る発明は、請求項 9〜： 14の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記シール部 S1が形成される接合状態を維持する維持手段 Iが装備されていることを特徴とするものである。

[0023] 請求項 16に係る発明は、請求項 15に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段 Iは、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2 Aとを引寄せて前記接合状態を得るための弓 [寄せ機能を発揮するものに構成されていることを特徴とするものである。

発明の効果

[0024] 請求項 1の発明によれば、第 1、第 2流体給排ロ部が互いに引寄せられると、それぞれに形成された環状突起と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状溝とが、軸線方向の相対移動によって互いに嵌り合うことでガイド機能が発揮され、第 1及び第 2流体給排ロ部が位置ずれすることなく良好に相対接近されて、各流体給排口部における環状突起の内径側に形成される環状押え部分とガスケットの内径側の周壁端部とが所期通りに圧接される接合状態が得られる。この接合状態では、環状押え部分と内径側の周壁端部とのテーパ周面どうしが圧接されてシール部力即ち、環状突起と環状溝との嵌合部の内径側に独立したシール部が形成され、このシール部によって第 1及び第 2流体給排ロ部とをこれらの接続部位からの流体の漏れが確実に阻止される状態で接続することができる。しかも、ガイド機能を発揮する環状突起と環状溝との嵌合部がラビリンス (迷路)作用を発揮し、もしもシール部からの漏れがあった場合には、その漏れた流体が外径側に到達し難くする機能も期待可能となる。

[0025] 第 1及び 2流体給排ロ部の夫々のテーパ周面は、それらの環状突起側が軸心方向で退入（凹入）する状態に角度が付けられているので、軸心方向の圧接だけではなく径方向にも圧接されるようになり、第 1及び 2流体給排ロ部どうしの引寄せ力が低下する等によって軸心方向の圧力が低下した場合のシール部の圧接力低下は緩やかなものとなる。従って、少しぐらい圧接力が低下してもシール機能は維持されるようになり、これは、単純に軸心方向に圧接される従来の構造に比べて明らかに有利な効果である。また、このテーパ周面による径方向の分力により、環状溝の幅が狭まる方向の力が生じるようになり、シール部の形成によって環状溝と環状突起との嵌合がきつくなり、各流体給排ロ部とガスケットとの抜け止め作用が強化されるようになる利点もめる。

[0026] その結果、ガイド機能によって良好なシール状態が確実に得られ、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できて信頼性に優れるようになるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるとレ、う効果を奏することが可能である。

[0027] 請求項 2の発明によれば、シール部は環状溝力径方向で遠レ、側の端部（最内径側端）のみが圧接される状態となるから、より強い面圧によって確実なシール作用が得られるようになる。また、それによつてテーパ周面どうしの間に流体が入り込むことが防止されるようになるから、流体自身、或いは流体中の混合物や異物等が入り込んで停滞し、流体の純度を低下させる要因になる不利が生じないという利点のある集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供できる。

[0028] 請求項 3の発明によれば、第 1及び第 2流体給排ロ部どうしが互レ、うに引寄せられるに伴って、まず環状突起が環状溝に入り込み、その後にテーパ周面どうしが当接するように順序が付くことになるから、環状突起と環状溝との嵌合によるガイド機能が確実に発揮されるようになる。その結果、多少乱雑にガスケットを介して集積パネルと流体デバイスとが組付けられても、環状押え部分と内径側の周壁端部との圧接によるシール部が所期通り確実に発揮される構成となる利点がある。

[0029] 請求項 4の発明によれば、テーパ周面どうしの圧接によるシール部が形成されるには、環状押え部分と周壁端部とが互いに強く押圧されることが必要であるが、その押圧力によって各テーパ周面の持つ傾斜に起因した分力が生じ、周壁端部に関しては拡張変位して環状突起の内径側の側周面に押されて圧接することになり、それによつてシール部が形成されるようになる。つまり、テーパ周面どうしが圧接する構造に起因して、環状突起と環状溝との嵌合状態の如何 (圧入、摺動自在な密嵌合、隙間を伴う嵌合等）に拘らず、内径側の周壁端部と環状突起との間においてもシール部が構成されることになるのである。従って、これら二箇所のシール部によってよりシール機能が強化され、よる優れるシール性を有する集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0030] 請求項 5の発明によれば、ガスケットの断面形状が略 H型のものに形成されるので、例えば横倒し T型形状のものに比べてガスケットやこれと嵌合される部分である第 1 、第 2流体給排ロ部の設計、製作が容易化されるとともに、集積パネルや流体デバィスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。

[0031] 請求項 6の発明によれば、環状突起の内周角部及び/又は外周角部を面取りした先細り形状として、環状突起が環状溝に入り易くなるようにしてあるから、第 1 ,第 2流体給排ロ部とガスケットとの相対位置が多少ずれている状態でも、これら両者が引寄せられることによる環状突起と環状溝との嵌合が確実に行われるようになる。その結果、ガスケットを介して第 1，第 2流体給排ロ部を引寄せる組付け操作が多少粗いものであっても、環状突起と環状溝とが嵌合されることによる前述のガイド機能を確実に発揮させることができる好ましい集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供すること力 Sできる。

[0032] 請求項 7の発明によれば、維持手段によって、両流体給排ロ部どうしが互いにガスケットを介して引寄せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘つて維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。その結果、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる、という作用効果をより強化することが可能になる。

[0033] 請求項 8の発明によれば、維持手段は第 1流体給排ロ部と第 2流体給排ロ部との接合状態を維持するだけでなく、第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とを引寄せて接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体としての組付け手間の省略化やコストダウンが可能となる利点力 Sある。

[0034] 請求項 9の発明によれば、二以上の流体通路を同心状に多重配管することにより、複数の流体通路を独立して配列する構造に比べて接続構造部分のコンパクト化を図ろうとする手段である。第 1、第 2流体給排ロ部が互いに引寄せられると、それぞれに形成された環状突起と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状溝とが、軸線方向の相対移動によって互いに嵌り合うことでガイド機能が発揮され、第 1及び第 2流体給排ロ部が位置ずれすることなく良好に相対接近されて、各流体給排ロ部における環状突起の内外径側に形成される環状押え部分とガスケットの内外径側の周壁端部とが所期通りに圧接される接合状態が得られる。

[0035] この接合状態では、環状押え部分と周壁端部とのテーパ周面どうしが圧接されてシール部が、即ち、環状突起と環状溝との嵌合部の内外径側の双方に独立したシール部が形成され、このシール部によって第 1及び第 2流体給排ロ部とをこれらの接続部位からの流体の漏れが確実に阻止される状態で接続することができる。しかも、ガイド機能を発揮する環状突起と環状溝との嵌合部がラビリンス (迷路)作用を発揮し、もしもシール部からの漏れがあった場合には、その漏れた流体が内径側又は外径側に到達し難くする機能も期待可能となる。

[0036] 例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるとレ、う効果を奏することが可能である。

[0037] 第 1及び 2流体給排ロ部の夫々のテーパ周面は、それらの環状突起側が軸心方向で退入（凹入）する状態に角度が付けられているので、軸心方向の圧接だけではなく径方向にも圧接されるようになり、第 1及び 2流体給排ロ部どうしの引寄せ力が低下する等によって軸心方向の圧力が低下した場合のシール部の圧接力低下は緩やかなものとなる。従って、圧接力が若干低下するようなことが生じてもシール機能は維持されるようになり、これは、単純に軸心方向に圧接される従来の構造に比べて明らかに有利な効果である。また、このテーパ周面による径方向の分力により、環状溝の幅が狭まる方向の力が生じるようになり、シール部の形成によって環状溝と環状突起との嵌合がきつくなり、各流体給排ロ部とガスケットとの抜け止め作用が強化されるようになる利点もある。

[0038] カロえて、ガスケットの内外に流体通路が形成されることとなる中間ガスケットにおいては、その内周部だけでなぐ外周部も流体経路の壁面に兼用される構造としたので、内外で隣り合う流体通路の間隔は中間ガスケットの厚みだけとなって、複数の流体通路を極力径方向に近づけて配置することが可能になり、集積パネルと流体デバィスとの接続構造部分の一層のコンパクト化が可能となる利点がある。その結果、複数の流体通路を同心状に配歹 1Jして接続させる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を実現できたことにより、モジュール化やコンパト化に有利な流体デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘つて維持できて信頼性に優れ、し力もさらにコンパクト化が可能となる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0039] 請求項 10の発明によれば、シール部は環状溝カも径方向で遠い側の端部（内径側は最内径側端、外径側は最外径側端)のみが圧接される状態となるから、より強い面圧によって確実なシール作用が得られるようになる。また、それによつてテーパ周面どうしの間に流体が入り込むことが防止されるようになるから、流体自身、或いは流体中の混合物や異物等が入り込んで停滞し、流体の純度を低下させる要因になる不利が生じないという利点のある集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供できる [0040] 請求項 11の発明によれば、第 1及び第 2流体給排ロ部どうしが互いうに引寄せられるに伴って、まず環状突起が環状溝に入り込み、その後にテーパ周面どうしが当接するように順序が付くことになるから、環状突起と環状溝との嵌合によるガイド機能が確実に発揮されるようになる。その結果、多少乱雑にガスケットを介して集積パネルと流体デバイスとが組付けられても、環状押え部分と周壁端部との圧接による内外のシール部が所期通り確実に発揮される構成となる利点がある。

[0041] 請求項 12の発明によれば、テーパ周面どうしの圧接によるシール部が形成されるには、環状押え部分と周壁端部とが互いに強く押圧されることが必要であるが、その押圧力によって各テーパ周面の持つ傾斜に起因した分力が生じ、内径側の周壁端部は拡径変位して、また外径側の周壁端部は縮径変位してそれぞれが環状突起の内外径側の側周面に押されて圧接することになり、それによつて内外の二次シール部が形成されるようになる。つまり、テーパ周面どうしが圧接する構造に起因して、環状突起と環状溝との嵌合状態の如何 (圧入、摺動自在な密嵌合、隙間を伴う嵌合等 )に拘らず、内外径側の周壁端部と環状突起との間においてもシール部が構成されることになるのである。従って、これらシール部及び二次シール部によってシール機能が強化され、より優れたシール性を有する集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0042] 請求項 13の発明によれば、ガスケットの断面形状が略 H型のものに形成されるので、例えば横倒し T型形状のものに比べてガスケットやこれと嵌合される部分である第 1、第 2流体給排ロ部の設計、製作が容易化されるとともに、集積パネルや流体デバイスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。

[0043] 請求項 14の発明によれば、環状突起の内周角部及び/又は外周角部を面取りした先細り形状として、環状突起が環状溝に入り易くなるようにしてあるから、第 1 ,第 2 流体給排ロ部とガスケットとの相対位置が多少ずれている状態でも、これら両者が引寄せられることによる環状突起と環状溝との嵌合が確実に行われるようになる。その結果、複数のガスケットを介して第 1 ,第 2流体給排ロ部を引寄せる組付け操作が多少粗レ、ものであっても、環状突起と環状溝とが嵌合されることによる前述のガイド機能を確実に発揮させることができる好ましい集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供すること力 Sできる。

[0044] 請求項 15の発明によれば、維持手段によって、両流体給排ロ部どうしが互いにガスケットを介して引寄せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバィスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘つて維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。その結果、モジュールィヒゃコンパトイ匕に有利な流体デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘つて維持できて信頼性に優れ、しかもさらにコンパクト化が可能となる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供すること力 Sできる、という作用効果をより強化することが可能になる。

[0045] 請求項 16の発明によれば、維持手段は第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との接合状態を維持するだけでなく、第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とを引寄せて接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体としての組付け手間の省略化やコストダウンが可能となる利点力 ^sある。

図面の簡単な説明

[0046] [図 1]集積パネルとバルブとの接続構造を示す断面図（実施例 1)

[図 2]図 1の接続構造に用いるガスケットと流体給排ロ部の要部の断面図

[図 3]ガスケットと流体デバイスとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図

[図 4]集積パネルとベローズ式バノレブとの接続構造を示す断面図（実施例 2)

[図 5]集積パネルとフィルタとの接続構造を示す断面図（実施例 3)

[図 6]引寄せ機能付き維持手段の第 1別構造を示す要部の断面図（実施例 4)

[図 7]図 6の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図

[図 8]引寄せ機能付き維持手段の第 2別構造を示す要部の断面図（実施例 5)

[図 9]図 8の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図

[図 10]引寄せ機能付き維持手段の第 3別構造を示す要部の断面図（実施例 6)

[図 11]引寄せ機能付き維持手段の第 4別構造を示す要部の断面図（実施例 7)

[図 12]引寄せ機能付き維持手段の第 5別構造を示す要部の断面図（実施例 8) [図 13] (a)、（b)は、共に環状突起の別形状を示す要部の断面図

[図 14]集積パネルとバルブとの同心状多重流路接続構造を示す断面図（実施例 9)

[図 15]図 14の接続構造に用いるガスケットと流体給排ロ部の要部の断面図

[図 16]ガスケットと流体デバイスとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図

[図 17]フランジ配管を介した集積パネルとポンプとの同心状多重流路接続構造を示す断面図（実施例 10)

[図 18]引寄せ機能付き維持手段の第 6別構造を示す要部の断面図（実施例 11) [図 19]図 17の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図

[図 20]引寄せ機能付き維持手段の第 7別構造を示す要部の断面図（実施例 12) [図 21]図 19の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図

[図 22]維持手段の構造を示す要部の断面図（実施例 13)

[図 23] (a)、（b)は、共に環状突起の別形状を示す要部の断面図

符号の説明

1 集積パネル

第 1流体給排ロ部

雄ネジ部

流体デバイス

第 2流体給排ロ部

集積パネルの流体通路

流体デバイスの流体通路

貫通孔

嵌合シール部

21 , 31 , 41 環状突起

13. 22. 23 32, 33, 42, 43 環状押え部分

12a, 13a, 22a, 23a, 32a, 33a, 42a, 43a テーパ周面

14, 15, 24, 25, 34, 35, 44, 45 谷部

51 , 61 環状溝

52, 53, 62, 63 周壁端部 52a, 53a, 62a, 63a

55a 中間ガスケットの外周部

66 ボルト

67 ナット部

81 筒状ナット

81n 雌ネジ部

82 割型リング

83 内向きフランジ

83a 開口部

G, Gl， G2 ガスケット

I 維持手段

P 軸心

S I シール部

W, Wl , W2 流体経路

X, z 中心線

発明を実施するための最良の形態

以下に、本発明による集積パネルと流体デバイスとの接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図 1〜図 3は実施例 1による集積パネルと流体デバィスとの接続構造を示し、図 4， 5はそれぞれ実施例 2， 3による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示し、図 6〜図 12は維持手段の別構造を示し、図 6は第 1別構造、図 7, 8は第 2別構造、図 9, 10は第 3別構造、図 1 1は第 4別構造、図 12は第 5別構造を示し、図 13は環状突起の別構造を示す。そして、図 14, 15は実施例 9による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示す全体図と要部断面図、図 16は第 1ガスケットと第 1流体給排ロ部との詳細な嵌合構造を示す要部の断面図、図 17は実施例 10による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示す全体図、図 18， 19は第 6別構造による維持手段の半欠截断面図と組付説明図、図 20, 21は第 7別構造による維持手段の半欠截断面図と組付説明図、図 22は第 8別構造による維持手段の断面図である。また、図 23は環状突起の別構造である。 [0049] 〔実施例 1〕

実施例 1による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 1，図 2に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、一対の円管状の流体通路 3， 4が内部形成された集積パネル 1と、これの上面 laにリング状のガスケット Gを介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等） 2とに跨って構成された縦向きの軸心 Pを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されてレヽる。

[0050] 集積パネル 1は、図 1，図 2に示すように、 PFAや PTFE等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材） 5の内部に、パネル上面 laに開口する上下向きの縦通路 3a, 4aと横向きの横通路 3b， 4bとから成る一対の円管状の供給側流体通路 3， 4が形成されたものである。この集積パネル 1における給排流体通路 3, 4が開口する部分を第 1流体給排ロ部 1Aと称するものとし、この第 1流体給排ロ部 1Aにおいては、円管状の縦通路 3a, 4aのそれぞれが軸心 Pを有する通路に形成されている。また、第 1 流体給排ロ部 1Aには、その上端面に開口する各流体通路 3， 4の外径側部分のそれぞれには、軸心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起 21 を有する下第 1シール端部 t21及び下第 2シール端部 t22が形成されている。

[0051] バルブ（流体デバイスの一例） 2は、図 1 ,図 2に示すように、 PFAや PTFE等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース 6を有しており、そのバルブケース 6の下端部は、底面 6aから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路 7と、この供給側流体通路 7の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路 8とを有した第 2流体給排ロ部 2Aに形成されている。つまり、この第 2流体給排ロ部 2Aにおいては、円管状の供給側流体通路 7, 8のそれぞれが軸心 Pを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース 6下端には、一対のボルト揷通孔 9aを有する PFAや PTFE又はその他の材料によるフッ素樹脂製の取付フランジ 9の一対が下方突出形成されており、流体通路 7, 8を有する管部 9 Aとフランジ部（外向きフランジ） 9Bとで各取付フランジ 9が形成されている。供給側の取付フランジ 9が、下方突出する環状突起 11を有する上第 1シール端部 ti lに形成され、排出側の取付フランジ 9が、上方突出する環状突起 11を有する上第 2シール端部 tl 2に形成されている。

[0052] 一対のガスケット Gは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケット Gを例に挙げて説明する。さて、ガスケット Gは、供給側の上下の流体給排ロ部 1A, 2A の相対応する流体通路である縦通路 3a及び供給側流体通路 7どうしを連通すべく形成された管状の流体経路 Wと、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された上第 1シール端部 ti lの環状突起 11と上第 2シール端部 tl2の環状突起 21のそれぞれに嵌合すべく流体経路 Wの外径側部分に形成された上下一対の環状溝 5 1 , 51とを有する PFAや PTFE等のフッ素樹脂製のものに構成されてレ、る。

[0053] つまり、ガスケット Gの断面形状は、上下一対の環状溝 51， 51と、これら環状溝 51 , 51を形成するための内周壁 54及び外周壁 55とを有するとともに、上下の環状溝 5 1 , 51は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁 54， 55も左右対称であって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aの軸心 P方向に沿う縦中心 Z、及び、その縦中心線 Zに直交する横中心線 Xの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略 H状の形状に形成されている。内周壁 54の上下端部は、内周面 54 aである流体経路 Wの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面 52a， 52aに形成されるとともに、外周壁 55の上下端部も、その外周面 55aの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面 53a, 53aに形成されている。

[0054] 集積パネル 1の第 1流体給排口部 1 Aの下第 1シール端部 t21の環状突起 21及びバルブ 2の第 2流体給排口部 2Aの上第 1シール端部 tl 1における環状突起 11の内及び外径側に、ガスケット Gにおける環状溝 51を形成するために軸心 P方向に突出形成された内外の周壁端部 52a, 53aが、環状溝 51と環状突起 11 , 21との嵌合によつて拡がり変形するのを阻止する環状押え突起 (環状押え部分の一例） 12, 13, 22 , 23が形成されている。

[0055] 上記環状押え突起に関する構造を、ガスケット Gと上第 1シール端部 ti lとについて説明する。内外の環状押え突起 12, 13は対称のものであり、これらと環状突起 11とで囲まれた谷部 14， 15が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面 12a及びテーパ内周面 13aを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第 1シール端部 ti lは、環状突起 11とその内外の両側に形成される環状押え突起 12, 13及び谷部 14, 15の総称である。

[0056] ガスケット Gの内外の周壁 54, 55の上端部は、環状押え突起 12, 13のテーパ外周面 12aとテーパ内周面 13aのそれぞれに当接するテーパ内周面 52aとテーパ外周面 53aを有して 14， 15に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起（周壁端部の一例） 52, 53を有し、接合状態（図 1参照）においては、内外の周壁 54， 55の上端部である環状シール突起 52, 53が対応する谷部 14, 15に入り込み、上第 1シール端部 ti lのテーパ外周面 12aとガスケット Gのテーパ内周面 52aとが圧接され、かつ、上第 1シール端部 ti lのテーパ内周面 13aとガスケット Gのテーパ外周面 53aとが圧接されるように構成されてレヽる。

[0057] つまり、ガスケット Gの上端部には、環状溝 51とその内外の環状シール突起 52, 53 とで上シール部 gl lが形成され、同様に下端部には下シール部 gl 2が形成されている。上シール部 gl lは上第 1シール端部 ti lと嵌合して嵌合シール部 10を形成し、下シール部 gl 2は下第 2シール端部 t21と嵌合して嵌合シール部 10を形成する。

[0058] 嵌合シール部 10の嵌合構造を、上第 1シール端部 ti lとガスケット Gの上シール部 gl lについて詳細に説明すると、図 2,図 3に示すように、内外の谷部 14, 15どうし、及び内外の環状シール突起 52, 53どうしは互いに対称であって、内外の谷部 14, 1 5全体の挟角 α ° と内外の環状シール突起 52, 53全体の向い角。との間には、 α ° く β。という関係が設定されており、好ましくは α ° + (20〜40° ) = β。という関係に設定すると良い。この構成により、上第 1シール端部 ti lの上環状突起 11と環状溝 51とが嵌り合った接合状態 (後述)では、上内環状押え突起 12と上内環状シール突起 52とは、それらのテーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとが最内径側部分で圧接される状態となり（図 3の仮想線を参照）、流体通路 Wを通る流体がこれら外内のテーパ周面 12a, 52aどうしの間に入り込むことをも阻止する一次シール部（シール部の一例） S 1として機能する利点が得られる。

[0059] そして、上環状突起 11の幅 dlと上環状溝 51の幅 d2との間には、 dl > d2とレヽぅ関係が設定されており、好ましくは dl X (0. 6〜0. 8) = d2という関係に設定すると良レ、。そして、上環状突起 11の突出長さ hiと上環状溝 51の深さ h2との間には hl < h 2という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起 11と上環状溝 51と力詳しくは、上環状突起 11の内外の両側周面と相対応する上環状溝 51の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する二次シール部 S2が形成されるとともに、上内環状押え突起 12のテーパ外周面 12aと上内環状シール突起 52のテーパ内周面 52aとが必ず当接することになり、前述した一次シール部 S1が良好に形成される利点がある。

[0060] 嵌合シール部 10については、図 3に示すように、環状押え突起 12， 22 (13, 23)の軸心 P方向に沿う高さ h3と環状突起 11 (21)の突出長さ hiとの関係は、図 3に示す h l >h3という関係以外に、 hi =h3という関係の場合や、 hi <h3という関係の場合でも良い。また、内径側の二次シール部 S2を確実に機能させるベぐ環状突起 11 (21 )及び環状溝 51夫々の軸心 Pに対する半径を Rl， R2としたときに、 R1 <R2が成り立つように設定すれば好都合である。さらに、内径側の周壁端部 52と環状突起 11 ( 21)とが圧接されるが二次シール部 S2は形成されないという構造でも良い。

[0061] また、内側の環状押え突起 12の先端、及び環状シール突起 52, 53の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面 12b、並びにカット面 52b, 5 3bに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起 12の先端が流体通路 W側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路 W途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じなレ、ようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面 12bとテーパ内周面 52aとの挟角は十分に大きぐ表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起 11先端の内周角部及び外周角部は面取り加工された面取り形状 11aとしてあるので、幅の狭い環状溝 51への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

[0062] 尚、図 13 (a)に示すように、環状突起 11を、その先端の内周角部及び外周角部の面取り形状部 11aを明確に大きくした断面先細り形状に形成することにより、環状突起 11が環状溝 51に入り易くされた構成としても良い。このように構成すれば、第 1 , 第 2流体給排口部 1A, 2Aとガスケット Gとの組付け時における相対位置が所期する適性状態から多少ずれていることがつても、テーパ面状の内又は外の面取り形状部 1 laが嵌合ガイドとなって環状突起 11が確実に環状溝 51内へ導かれるようになるのである。この場合に嵌合シール部 10 (二次シール部 S2)を設けるには、環状突起 11の根元部と環状溝 51の先端部との嵌合部によって形成される構成となる。

[0063] 図 13 (b)に示すように、面取り形状部 11aをさらに大きくし、環状突起 11の内外の側周面が全て傾斜したテーパ側周面 11aとなるよう、顕著に先細り形状化させても良レ、。この場合には、嵌合ガイドの機能が強化されて、環状突起 11の環状溝 51への入り易さがさらに容易になる。この場合に嵌合シール部 10 (二次シール部 S2)を設けるには、環状突起 11が環状溝 51を押し広げる楔効果が生じて、環状溝 51の先端部と環状突起 11の根元部とが線接触又は極小さい面積でもって周状に圧接されることとなり、より確実にシール機能を発生させることが可能となる。これら図 13 (a)、（b)に示す構造を、他の環状突起 21に適用しても良い。

[0064] 外側の環状押え突起 13は、環状押え突起 13のテーパ内周面 13aに続く状態で、バルブケース 6の下端部を形成するための下端内周部 9bが存在しており、内側の環状押え突起 12とは全体としての形状は異なる。そして、下第 1シール端部 t21に関しても、環状押え突起 23のテーパ内周面 23aに続く状態で、パネル材 5の上端部を形成するための上端内周部 5bが存在しており、やはり、内側の環状押え突起 22とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部 5b, 9bは、ガスケット Gの上及び下シール部 gl l , gl 2を上及び下第 1シール端部 ti l , t21に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面 13a, 23aと共にガスケット Gの外周壁 55の拡力 Sり変形を阻止する機能も発揮可能である。

[0065] なお、図 6に仮想線で示すように、ガスケット Gの外周壁 55に横突出するリング状の脱着フランジ Ifを一体形成しておけば、第 1又は第 2流体給排ロ部 1A, 2Aからガスケット Gを抜出す際に、工具や手指でフランジ Ifを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ Πの厚みは、接合状態における第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aどうしの間隙よりも小さい値とする。

[0066] 嵌合シール部 10についてさらに詳述する。図 2，図 3に示すように、環状押え突起 1 2, 13のテーパ周面 12a, 13aの開き角（谷部 14, 15の開き角） Dは 50〜70度の範囲の値（50° ≤D° ≤70° )に設定されるとともに、環状シール突起（周壁端部） 52 , 53のテーパ周面 52a, 53aの尖り角 Eは 60〜80度の範囲の値（60° ≤D° ≤80 。 )に設定されている。そして、開き角 Dと尖り角 Eとには、開き角 Dに 10〜20度を加えたものが尖り角 Eとなる [D° + (10〜20° ) =E° ]ように設定されている。より好ましい値としては、開き角 Dが 69〜71度（D° = 70± 1° )、尖り角 Eが 79〜81度（E 。 = 80 ± 1。）、及び尖り角 Eは開き角 D + 9〜： 11度（E° _D° = 10± 1° )に設定すると良い。

[0067] また、環状押え突起 12の傾斜カット面 12bのカット角 Dsは 49〜51度（Ds° = 50 。 ± 1° )に設定されており、周壁端部 52， 53の先端カット面 52b, 53bの迎え角 Es は 124〜： 126度（Es° = 125° ± 1° )に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとは環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が一次シール部 S1において発揮されるようになる。また、テーパ内周面 13aとテーパ外周面 53aとの間にも、それらの外径側端部においてシール作用が生じる。尚、図示は省略するが、下端内周部 9bが存在しない場合 (集積パネルゃ流体デバイスにおけるガスケット Gとの嵌合部の断面形状が左右対称である場合）は、外側の環状押え突起 13にも傾斜カット面 12bと同様な傾斜カット面が形成され、前記シールリップ効果が生じる。

[0068] つまり、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起（周壁端部） 52， 53のテ一パ周面 52a, 53a (テーパ内周面 52a、テーパ外周面 53a)の尖り角 Eが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起 12, 13における環状突起 11側のテーパ周面 12a, 13a (テーパ外周面 12a、テーパ内周面 13a)の開き角 Dに 10〜20度、好ましくは 10度又はほぼ 10度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角 Eが 60〜80 度、好ましくは 80度又はほぼ 80度に設定されてレ、る。

[0069] このように尖り角 E及び開き角 Dを 90度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起 12, 13は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなつて相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起 52, 53 の拡がりを規制しながらも、自身 (環状押え突起 12, 13)が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起 52 , 53の谷部 14， 15への刺さり込みによってテーパ周面 52a, 53aが環状押え突起 1 2, 13を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起 12， 13の径方向への拡がり変形を抑制することができる。

[0070] 次に、維持手段 Iについて説明する。維持手段 Iは、図 2,図 3に示すように、集積パネル 1の第 1流体給排口部 1Aとバルブ 2の第 2流体給排口部 2Aとが互いにガスケット Gを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第 1流体給排ロ部 1Aの上第 1シール端部 ti lと、ガスケット Gの上シール部 gl lとが、及び第 2流体給排ロ部 2 Aの下第 1シール端部 t21と、ガスケット Gの下シール部 gl 2とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部 10が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第 2流体給排雄ロ部 2Aの環状突起 11とガスケット Gの上側の環状溝 51とが、及び第 1流体給排雄口部 1 Aの環状突起 21とガスケット Gの下側の環状溝 51とがそれぞれ嵌め合わされる。

[0071] 維持手段 Iの具体構造は、第 2流体給排口部 2Aのフランジ部 9Bのボルト揷通孔 9a に揷通される一対のボルト 66と、一対のボルト挿通孔 9a, 9aに対応して第 1流体給排ロ部 1Aに (パネル材 5に)形成されたナット部 67, 67とで構成されており、ボルト 6 6をナット部 67に螺着させての締め付け操作により、バルブ 2を集積パネル 1に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段 Iに構成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部 10の圧接力が低下した場合には、ボルト 66を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

[0072] 〔実施例 2〕

実施例 2による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 4に示す。これは、流体デバイスの一例であるフィルタ 2と集積パネル 1とを接続連結させる構造であり、接続構造自体は図 1〜3に示す実施例 1によるものと同じである。従って、同じ箇所には同じ符号を付すものとし、その説明は割愛する。

[0073] フィルタ 2は、本体ケース 2Kと下部ケース 2Bと濾過体 2Cと力、ら成り、下部ケース 2B には供給側の流体通路 7と排出側の流体通路 8、及びこれら流体通路 7, 8を有する状態で横に張り出し形成される一対の取付フランジ 9, 9が形成されている。これら取付フランジ 9， 9と集積パネル 1とがガスケット Gを介して接続連結される。 [0074] 〔実施例 3〕

実施例 3による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図 5に示すように、集積パネル 1と流体デバイスの一例であるレギユレータ 2との接続構造である。レギユレ一タ 2は、上部ケース、中間ケース、及び下部ケースから成るケーシング 2Cを有し、上部ケースと中間ケースとの間で外周部が挟持されるべローズ（図示省略）、中間ケースと下部ケースとの間で外周部が挟持される弁体（図示省略)、下部ケースに収容される戻しパネ（図示省略)等から構成されてレ、る。

[0075] ケーシング 2Cには横側方に張り出し形成される一対の取付フランジ 9， 9がー体的に装備されており、これら取付フランジ 9, 9を用いてレギユレータ 2が集積パネル 1の上面 laにガスケット Gを介して接続連結される。このガスケット Gを介しての取付フランジ 9と集積パネル 1の上面 laとの接続構造は、図 1〜図 3に示す実施例 1によるものと同じであり、その詳細説明は割愛する。

[0076] 〔実施例 4〕

実施例 4による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 6， 7に示す。これは実施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 1別構造の維持手段 Iについて説明する。なお、図 6, 7においては、図:!〜 3に示す実施例 1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 1別構造による維持手段 Iは、図 6及び図 7に示すように、集積パネル 1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1 流体給排口部 1Aの外周部に雄ネジ Inを形成し、その雄ネジ Inに螺合自在な雌ネジ 81ηを備えた筒状ナット 81と、バルブ 2のバルブケース 6の下端部に形成された外向きフランジ 9に、環状の流体通路 7の軸心 Ρ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング 82とから構成されている。第 1流体給排ロ部 1Aの雄ネジ Inに雌ネジ 81ηを螺着させての筒状ナット 81の締付け操作により、両流体給排ロ部 1A, 2Αを互いにガスケット Gを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段 Iに構成されている。

[0077] 筒状ナット 81のバルブ 2側（上側）に形成される内向きフランジ 83の開口部 83aは、外向きフランジ 9の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング 82の外径は、筒状ナット 81に入り込み自在となるよう雌ネジ 81ηの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ 2の円形の第 2流体給排ロ部 2 Aの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング 82を装備するには、第 2流体給排ロ部 2Aにおける外向きフランジ 9を除いた径の細い部分の軸方向長さ力 S、筒状ナット 81の軸方向長さと割型リング 82の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図 7 (b)に示すように、バルブケース 6 の付根部 6tに当接させた状態の筒状ナット 81と外向きフランジ 9との間の長さ d3が、割型リング 82の厚さ d4よりも大きいこと（d3 > d4)が条件となる。

[0078] また、筒状ナット 81における雌ネジ 81ηの内奥端部と内向きフランジ 83との間に、割型リング 82に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング 82の幅寸法をカバーする軸心 Ρ方向長さを有する内周面部 81mが軸心 Ρと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット 81の雌ネジ 81ηと内向きフランジ 83との間における内径部 81aが供給側流体通路 7と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部 81mの内径が断面矩形に形成された割型リング 82の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第 2流体給排ロ部 2Aの外径部が供給側流体通路 7と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング 82の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット 81を螺進させた際に割型リング 82が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ 9に筒状ナット 81の螺進による軸心 P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ 9を押して、第 1、第 2流体給排ロ部 1 A, 2Aを互いに接近する方向に良好に引寄せること力 Sできるようにされてレ、る。

[0079] 第 1別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図 7 (a)に示すように、外向きフランジ 9をやり過ごして筒状ナット 81をバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの外周に嵌装し、その最内奥側まで (付根部 6tに当接するまで)移動させる。次いで、図 7 (b)に示すように、割型リング 82を、外向きフランジ 9と筒状ナット 81の先端との間を通して第 2流体給排ロ部 2Aに外嵌装備させる。このとき又はその前にガスケット Gをいずれかの流体給排ロ部 1A， 2Aの端面に環状突起 11 , 21, 31， 41と環状溝 51 , 61との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、ガスケット Gを介して第 1流体給排ロ部 1Aを第 2流体給排ロ部 2Aにあて力 Sい、その状態で筒状ナット 81をスライド移動させてから締付け操作 [図 7 (c)参照]することにより、図 6に示す接続状態が得られる。なお、図 7においては、上下に積層される集積パネル 1とバルブ 2とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。

[0080] 〔実施例 5〕

実施例 5による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 8， 9に示す。これは実施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 2別構造の維持手段 Iについて説明する。なお、図 8, 9においては、図:!〜 3に示す実施例 1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 2別構造の維持手段 Iは、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成る第 1及び第 2 裁頭円錐台状端部 1D， 2Dと、第 1裁頭円錐台状端部 1Dのテーパ外周面 Idに当接する第 1テーパ内周面 84a、及び、第 2裁頭円錐台状端部 2Dのテーパ外周面 2dに当接する第 2テーパ内周面 84bとによって断面が略く字状を呈する内周面を有する一対の半割円弧部材 84， 84で成る割型押えリング 85と、半割円弧部材 84， 84どうしを引寄せるボルト 86及び一方の半割円弧部材 84に形成されたナット 87とを有して構成されている。

[0081] 接合状態における第 1裁頭円錐台状端部 1Dと第 2裁頭円錐台状端部 2Dとに跨らせて一対の半割円弧部材 84を被せた状態にぉレ、て、他方の半割円弧部材 84の挿通孔に 84hに通されたボルト 86及びナット 87の締め付けにより、一端が蝶番状に支点 Qで枢支されている半割円弧部材 84, 84どうしが引寄せられることによるテーパ面どうしの当接による力によって、各流体給排ロ部 1A, 2Aどうしが互いに引寄せられる。割型押えリング 85は、フッ素樹脂材から形成されのが好ましいが、アルミ合金等のそれ以外の材料から成るものでも良い。

[0082] 第 2別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。まず、図 9 (a)に示すように、第 1 ,第 2流体給排ロ部 1A， 2 Aをガスケット Gを介して軽く接続連結させる予備連結操作を行う。次に、図 9 (b)に示すように、その予備連結された第 1及び第 2裁頭円錐台状端部 ID, 2Dに割型押えリング 85を被せてボルト 86による締め付け操作を行う。このボルト 86の締め付けにより、ガスケット Gが各流体給排ロ部 1A， 2Aに深く嵌り込み、図 9 (c)に示すように、集積パネル 1とバルブ 2との接続連結状態が得られる。

[0083] 〔実施例 6〕

実施例 6による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 10に示す。これは実施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 3別構造の維持手段 Iについて説明する。なお、図 10においては、図:!〜 3に示す実施例 1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 3別構造の維持手段 Iは、集積パネル 1の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにおレ、て外周部に雄ネジ 9nを有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In, 9n に螺着自在な雌ネジ 91η， 92ηを有する第 1及び第 2リングナット 91 , 92と、これらリングナット 91 , 92の外周溝 91m、 92mに嵌着可能な断面形状が略コ字状の係合リング 93とから構成されている。

[0084] 両リングナット 91, 92及び係合リング 93は、例えば PFAや PTFE等のフッ素樹脂製であり、ある程度の可撓性を有している。そこで第 3別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する手順は、予め各リングナット 91， 92に係合リング 93を係着して一体化された第 1及び第 2リングナット 91 , 92を形成しておき、その一体化された第 1, 2リングナット 91, 92を、ガスケット Gを介して互いに引寄せられて組付状態とされている第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aに螺装し、集積パネルと流体デバイスとの接続構造を形成する、という具合になる。勿論、この場合は各雄ネジ In, 9nが互いに同一のネジであることが条件であり、螺装後に各リングナット 9 1 , 92を回してより強く締付けたり、或いは後に増し締めすることが行える。

[0085] また、次のような組付け手順も可能である。即ち、それぞれのリングナット 91， 92を対応する雄ネジ ln， 9nに螺装した状態で、両流体給排ロ部 1A， 2Aをガスケット Gを介して引寄せ、ガスケット Gが圧接されてのシール状態で接続する引寄せ工程を行う。この引寄せ工程は、維持手段 Iとは別の専用の引寄せ手段を用いて行う。それから、各雄ネジ In, 9nのそれぞれに互いに隣接する状態で螺装されている第 1及び第 2 リングナット 91， 92の外周溝 91m, 92mに、係合リング 93を強制的に拡径変形することで入れ込むことにより、集積パネルと流体デバイスとの接続構造が形成される。つまり、係合リング 93は無理嵌めによって両リングナット 91 , 92に係着される。

[0086] この構成による維持手段 Iは文字通り、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aのガスケット Gを介してのシール接続状態を維持する機能だけを有するものである。しかしながら、各リングナット 91， 92と係合リング 93とは相対回動可能であるから、これらリングナット 91 , 92は共に単独での回動移動が可能であり、経時変化やクリープ等によつてシール圧接力が低下した場合には、いずれか若しくは双方のリングナット 91 , 92 を強制的に回動操作して、増し締め操作を行うことは可能である。

[0087] 〔実施例 7〕

実施例 7による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 11に示す。これは実施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 4別構造の維持手段 Iについて説明する。第 4別構造の維持手段 Iは、図 11に示すように、集積パネル 1の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにおレ、て外周部に雄ネジ 9nを有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In, 9n に螺着自在な雌ネジ 101ηを有する筒状ナット 101とから構成されている。

[0088] 筒状ナット 101は、先端側の雌ネジ 101ηと基端側の内向きフランジ 102との間に、雄ネジ In, 9nよりも大径の抉り内周部 101aが形成されており、内向きフランジ 102 は、軸心 P方向においてフランジ部 9に干渉する内径寸法に形成されている。図 11 に示す組付け状態では、流体デバイス 2の雄ネジ 9nは抉り内周部 101aに収容されており、集積パネル 1の雄ネジ Inと雌ネジ 101ηとのみが螺合した状態であり、これによって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aどうしが互いに引寄せられた状態を維持している。

[0089] 組付けるには、まず、筒状ナット 101の雌ネジ 101ηを流体デバイス 2のフランジ部 9 の雄ネジ 9nに螺合させて締め込み、雄ネジ 9nをやり過ごして抉り内周部 101aに回転自在に収容する状態にしておき、その状態でガスケット Gを介して集積パネル 1の雄ネジ Inに雌ネジ 101ηを螺合させて締付ける。すると、筒状ナット 101はフランジ部 9の雄ネジ 9nとは相対的に空回りするので、集積パネル 1のみが締め付けによって螺進し、その結果、集積パネル 1と流体デバイス 2とが引寄せられ、ガスケット Gによつて流体通路 3, 7がシール状態で連通接続される引寄せ状態が維持されるのであり、弓 [寄せ機能付の維持手段 Iに構成されてレ、る。

[0090] 〔実施例 8〕

実施例 8による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 12に示す。これは実施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 5別構造の維持手段 Iについて説明する。第 5別構造の維持手段 Iは、図 6に示す第 1別構造の維持手段 Iと、図 11に示す第 4別構造の維持手段 Iとの折衷案的な構成のものであって、図 12に示すように、集積パネル 1の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排ロ部 1Aと、第 2流体給排ロ部 2Aにおいて外周部に雄ネジ 9nを有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In, 9nに螺着自在な雌ネジ 11 Inを有する筒状ナット 111と、割型リング 112とから構成されてレ、る。

[0091] 筒状ナット 111は、先端側の雌ネジ 11 Inと基端側の内向きフランジ 113との間に、雄ネジ In, 9nよりも大径の抉り内周部 111aが形成されており、内向きフランジ 113 は、軸心 P方向においてフランジ部 9に干渉しない程度の内径部 113aを有するものに形成されている。割型リング 112は、円形のリングが三個以上に分断されたような（例： 120度弱の扇型部材の 3個から成る）ものであり、内向きフランジ 113や雌ネジ 11 Inをやり過ごして外部から抉り内周部 11 laに入れ込むこと、並びに抉り内周部 111 aにおいてリング状の形に組むことが自在である。また、割型リング 112を、スナップリングのように径方向にある程度橈むことで抉り内周部 11 laに入れ込める可撓性を有した単一の C字状体から構成することも可能である。

[0092] この第 5別構造による維持手段 Iを用いた組付けは次のようである。即ち、上述した要領によって予め割型リング 112を抉り内周部 11 laに入れ込んだ状態としておき、それ以後の工程は、前述した第 4別構造の維持手段 Iの場合と同じである。従って、これ以上の組付け手順の説明は割愛する。

[0093] 〔実施例 9〕

実施例 9による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 14，図 15に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、複数の管状の流体通路 3， 4が内部形成された集積パネル 1と、これの上面 laに内外の計 2個のリング状のガスケット Gl , G 2を介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等） 2とに跨って構成された縦向きの軸心 Pを共有する同心状二重流路型のものである。

[0094] 集積パネル 1は、図 14，図 15に示すように、 PFAや PTFE等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材） 5の内部に、パネル上面 laに開口する上下向きの縦通路 3a と横向きの横通路 3bとから成る管状の供給側流体通路 3と、縦通路 3aの外径側に形成されてパネル上面 1 aに開口する環状の縦リング通路 4aとこれの底部に連通される横向きの横通路 4bとで成る排出側流体通路 4とが形成されたものである。この集積パネル 1における給排流体通路 3, 4が二重配管状に開口する部分を第 1流体給排ロ部 1Aと称するものとし、この第 1流体給排ロ部 1Aにおいては、管状の縦通路 3aと環状の縦リング通路 4aとが互いに同一の軸心 Pを有する同心状の通路に形成されている。また、第 1流体給排ロ部 1Aには、その上端面に開口する各流体通路 3, 4の外径側部分のそれぞれには、軸心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起 21 , 41を有する下第 1シール端部 t21及び下第 2シール端部 t22が形成されている。

[0095] バルブ（流体デバイスの一例） 2は、図 14,図 15すように、 PFAや PTFE等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース 6を有しており、そのバルブケース 6の下端部は、底面 6aに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路 7と、この供給側流体通路 7の外径側に形成されて底面 6aに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路 8とを有した第 2流体給排ロ部 2A に形成されている。つまり、この第 2流体給排ロ部 2Aにおいては、管状の供給側流体通路 7と環状の排出側流体通路 8が互いに同一の軸心 Pを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース 6下端の外周部には、一対のボルト揷通孔 9a を有する PFAや PTFE等のフッ素樹脂又はその他の材料による取付フランジ 9が融着によって一体化されている。尚、バルブケース 6と取付フランジ 9とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良レ、。また、第 2流体給排ロ部 2 Aには、その下端面に開口する各流体通路 7， 8の外径側部分のそれぞれには、軸心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起 11 , 31を有する上第 1シール端部 ti l及び上第 2シール端部 tl2が形成されている。

[0096] 内外のガスケット Gl , G2は径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第 1ガスケット G1を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する外側の第 2ガスケット G2には、第 1ガスケット G1に対応する箇所には対応した符号を付す (例： 54a→64a)ものとする。さて、第 1ガスケット G1は、第 1，第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの相対応する流体通路である縦通路 3a及び供給側流体通路 7どうしを連通すべく形成された管状の流体経路 W1と、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された上第 1シール端部 ti lの環状突起 11と上第 2シール端部 tl2の環状突起 31のそれぞれに嵌合すべく流体経路 W1の外径側部分に形成された上下一対の環状溝 51， 51とを有する PFAや PTFE等のフッ素樹脂製のものに構成されてレ、る

[0097] つまり、第 1ガスケット G1の断面形状は、上下一対の環状溝 51, 51と、これら環状溝 51 , 51を形成するための内周壁 54及び外周壁 55とを有するとともに、上下の環状溝 51 , 51は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁 54, 5 5も左右対称であって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aの軸心 P方向に沿う縦中心 Z、及び、その縦中心線 Zに直交する横中心線 Xの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略 H状の形状に形成されている。内周壁 54の上下端部は、内周面 54aである流体経路 W1の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面 52a, 52aに形成されるとともに、外周壁 55の上下端部も、その外周面 55aの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面 53a, 53aに形成されている。

[0098] 集積パネル 1の第 1流体給排ロ部 1Aの下第 1及び下第 2シール端部 t21， t22の環状突起 21 , 41及びバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの上第 1及び上第 2シール端部 tl l、tl2における環状突起 11 , 31の内及び外径側に、各ガスケット Gl , G2における環状溝 51， 61を形成するために軸心 P方向に突出形成された内外の周壁端部 52a, 53a, 62a, 63aが、相対応する環状溝 51， 61と相対応する環状突起 11， 21 , 31 , 41との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起 (環状押え部分の一 ί列） 12， 13， 22, 23, 32, 33, 42, 43力 S形成されてレヽる。 [0099] 上記環状押え突起に関する構造を、第 1ガスケット Glと上第 1シール端部 ti lとについて説明する。内外の環状押え突起 12, 13は対称のものであり、これらと環状突起 11とで囲まれた谷部 14, 15が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面 12a及びテーパ内周面 13aを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第 1シール端部 ti lは、環状時突起 11とその内外の両側に形成される環状押え突起 12, 13及び谷部 14， 15の総称である。

[0100] 第 1ガスケット G1の内外の周壁 54， 55の上端部は、環状押え突起 12, 13のテーパ外周面 12aとテーパ内周面 13aのそれぞれに当接するテーパ内周面 52aとテーパ外周面 53aを有して 14， 15に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起（周壁端部の一例） 52， 53を有し、接合状態（図 14照）においては、内外の周壁 54, 55の上端部である環状シール突起 52, 53が対応する谷部 14, 15に入り込み、上第 1シール端部 ti lのテーパ外周面 12aと第 1ガスケット G1のテーパ内周面 52aとが圧接され、かつ、上第 1シール端部 ti lのテーパ内周面 13aと第 1ガスケット G1のテーパ外周面 53aとが圧接されるように構成されてレ、る。

[0101] つまり、第 1ガスケット G1の上端部には、環状溝 51とその内外の環状シール突起 5 2, 53とで上シール部 gl lが形成されており、同様に下端部には下シール部 gl 2が形成されてレ、る。上シール部 g 11は上第 1シール端部 111と嵌合して嵌合シール部 1 0を形成し、下シール部 gl 2は下第 2シール端部 t21と嵌合して嵌合シール部 10を形成する。同様に、第 2ガスケットにも上シール部 g21と下シール部 g22とが形成されており、それぞれ上第 2シール端部 112と下第 2シール端部 122と嵌合して嵌合シール部 10を形成する。

[0102] 嵌合シール部 10の嵌合構造を、上第 1シール端部 ti lと第 1ガスケット G1の上シ一ノレ咅 gl lにつレヽて言羊糸田に説明すると、図 15， 16に示すように、内外の谷咅^ 4， 15 どうし、及び内外の環状シール突起 52， 53どうしは互いに対称であって、内外の谷部 14, 15全体の挟角ひ。と内外の環状シール突起 52， 53全体の向い角/ 3 ° との間には、ひ。く β。という関係が設定されており、好ましくはひ。 + (20〜40° ) = /Τ という関係に設定すると良い。この構成により、上第 1シール端部 ti lの上環状突起 11と環状溝 51とが嵌り合った接合状態 (後述)では、上内環状押え突起 12と上内環状シール突起 52とは、それらのテーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとが最内径側部分で圧接される状態となり（図 16の仮想線を参照）、流体通路 W1を通る流体力 Sこれら内テーパ周面 12a, 52aどうしの間に入り込むことをも阻止する一次シール部 S1として機能する利点が得られる。

[0103] そして、上環状突起 11の幅 dlと上環状溝 51の幅 d2との間には、 dl > d2とレヽぅ関係が設定されており、好ましくは dl X (0. 75〜0. 85) =d2という関係に設定すると良レ、。そして、上環状突起 11の突出長さ hiと上環状溝 51の深さ h2との間には hiく h2という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起 11と上環状溝 51とが、詳しくは、上環状突起 11の内外の両側周面と相対応する上環状溝 51の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する二次シーノレ部 S2力 S形成されるとともに、上内環状押え突起 12のテーパ外周面 12aと上内環状シール突起 52のテーパ内周面 52aとが必ず当接することになり、前述した一次シール部 S1が良好に形成される利点がある。尚、このような関係は、下環状突起 21 と下環状溝 51との間や、第 2ガスケット G2の環状溝 61と上下の環状突起 31, 41との間においても成り立つと良い。

[0104] 嵌合シール部 10については、図 16に示すように、内径側及び外径側の各二次シール部 S2を確実に機能させるベぐ環状突起 11 , 31 (21， 41)と環状溝 51 (61)夫々の軸心 Pに対する内外径の半径を Rl , R3, R2, R4としたときに、 R1 <R2力つ R 3 >R4が成り立つように設定すれば好都合である。また、環状押え突起 12, 22 (13 , 23, 32, 42, 3, 43)の車由心 P方向に沿う高さ h3と環状突起 11 (21,31 , 41)の突出長さ hiとの関ィ系は、図 16に示す hi >h3という関ィ系以外に、 hl =h3とレヽぅ関ィ系の場合や、 hi <h3という関係の場合でも良い。

[0105] また、環状押え突起 12, 13の先端、及び環状シール突起 52, 53の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面 12b, 13b、並びにカット面 52b , 53bに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起 12の先端が流体通路 W1側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路 W1途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じなレ、ようになる。カロえて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面 12bとテーパ内周面 52aとの挟角は十分に大きぐ表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起 11先端の内角及び外角は面取り加工された形状 11aとしてあるので、幅の狭い環状溝 51 への圧入移動を力、じり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

[0106] 尚、図 23 (a)に示すように、環状突起 11を、その先端の内周角部及び外周角部の面取り形状部 11aを明確に大きくした断面先細り形状に形成することにより、環状突起 11が環状溝 51に入り易くされた構成としても良い。このように構成すれば、第 1 , 第 2流体給排ロ部 1A, 2Aと第 1ガスケット G1との組付け時における相対位置が所期する適性状態から多少ずれていることがつても、テーパ面状の内又は外の面取り形状部 11aが嵌合ガイドとなって環状突起 11が確実に環状溝 51内へ導かれるようになるのである。この場合に嵌合シール部 10 (二次シール部 S2)を設けるには、環状突起 11の根元部と環状溝 51の先端部との嵌合部によって形成される構成となる。このような構造は、他の環状突起 31, 21 , 41、並びに第 2ガスケット G2においても同様に構成可能である。

[0107] 図 23 (b)に示すように、面取り形状部 11aをさらに大きくし、環状突起 11の内外の側周面が全て傾斜したテーパ側周面 11aとなるよう、顕著に先細り形状化させても良レ、。この場合には、嵌合ガイドの機能が強化されて、環状突起 11の環状溝 51への入り易さがさらに容易になる。この場合に嵌合シール部 10 (二次シール部 S2)を設けるには、環状突起 11が環状溝 51を押し広げる楔効果が生じて、環状溝 51の先端部と環状突起 11の根元部とが線接触又は極小さい面積でもって周状に圧接されることとなり、より確実にシール機能を発生させることが可能となる。このような構造は、他の環状突起 31 , 21 , 41、並びに第 2ガスケット G2においても同様に構成可能である。

[0108] 嵌合シール部 10についてさらに詳述する。図 15，図 16に示すように、環状押え突起 12, 13における環状突起側のテーパ周面 12a, 13aの開き角（谷部 14, 15の開き角） Dは 50〜70度の範囲の値（50° ≤D° ≤70° )に設定されており、環状シーノレ突起 52, 53のテーパ周面 52a， 53aの尖り角 Eは 60〜80度の範囲の値（60° ≤ D° ≤80° )に設定されている。そして、開き角 Dと尖り角 Eとには、開き角 Dに 10〜 20度を加えたものが尖り角 Eとなる [D° + (10〜20° ) =E° ]ように設定されている。より好ましい値としては、開き角 Dが 69〜71度（D° = 70 ± 1° )、尖り角 Eが 79 〜81度（E° = 80 ± 1。）、及び尖り角 Eは開き角 D + 9〜： 1 1度（E° — D° = 10土 1° )に設定すると良い。

[0109] また、環状押え突起 12, 13の傾斜カット面 12b， 13bのカット角 Dsは 49〜51度（D s° = 50° ± 1° )に設定されており、周壁端部 52, 53の先端カット面 52b， 53bの迎え角 Esは 124〜126度（Es° = 125° ± 1° )に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面 12aとテーパ内周面 52a及びテーパ内周面 13aとテーパ外周面 53aの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部 S2におレ、て発揮されるようになる。

[0110] つまり、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起（周壁端部） 52， 53のテ一パ周面 52a， 53a (テーパ内周面 52a、テーパ外周面 53a)の尖り角 Eが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起 12, 13における環状突起 1 1側のテーパ周面 12a, 13a (テーパ外周面 12a、テーパ内周面 13a)の開き角 Dに 10〜20度、好ましくは 10度又はほぼ 10度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角 Eが 60〜80 度、好ましくは 80度又はほぼ 80度に設定されてレ、る。

[0111] このように尖り角 E及び開き角 Dを 90度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起 12, 13は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなつて相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起 52, 53 の拡がりを規制しながらも、自身 (環状押え突起 12, 13)が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起 52 , 53の谷部 14， 15への刺さり込みによってテーパ周面 52a, 53aが環状押え突起 1 2, 13を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起 12， 13の径方向への拡がり変形を抑制することができる。

[0112] 以上述べた嵌合シール部 10の構造は、第 1ガスケット G1の下側、及び第 2ガスケット G2においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第 2ガスケット G2は、径は異なるが断面形状に関しては第 1ガスケット G1のものと全く同じである。但し、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの上第 2シール端部 t 12と下第 2シール端部 t22については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第 1シール端部 ti lと下第 2シール端部 t21とやや形状が異なる。

[0113] 即ち、上第 2シール端部 tl2に関しては、環状押え突起 33のテーパ内周面 33aに続く状態で、バルブケース 6の下端部を形成するための下端内周部 6bが存在している点である。この下端内周部 6bは、第 2ガスケット G2の上シール部 g21を上第 2シール端部 tl 2に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面 33aと共に第 2ガスケット G2の外周壁 65の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そして、下第 2シール端部 t22に関しては、外側の環状押え突起 43の外周側にパネル材 5が連続して存在している点であり、下シール部 g22と下第 2シール端部 t22との嵌め合せ時に、第 2ガスケット G2の下シール部 g22の外環状シール突起 63の拡がり変形がテーパ内周面 43aによって阻止される作用効果が強化されるようになる。

[0114] 一方、第 1及び第 2ガスケット Gl , G2のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路 7, 8が存在する中間ガスケットである第 1ガスケット G1は、これの外周部である外周面 55aが、第 1ガスケット G1の外径側に存する第 1流体給排ロ部 1Aの環状の流体通路 4aと第 2流体給排ロ部 2Aの環状の流体通路 8とを連通する環状の流体経路 W2を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第 1ガスケット G1の内外周面 54a, 55aの双方が流体通路 Wl, W2を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第 1ガスケット G1の厚み」 =「環状流体通路 3a， 7と管状流体通路 4a， 8との間隔」となり、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの接続部をよりコンパクトィ匕することが可能になる。

[0115] なお、図 14に仮想線で示すように、第 2ガスケット G2の外周壁 65に横突出するリング状の脱着フランジ Ifを一体形成しておけば、第 1又は第 2流体給排ロ部 1A， 2A 力、ら第 2ガスケット G2を抜出す際に、工具や手指でフランジ Ifを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ Ifの厚みは、接合状態における第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aどうしの間隙よりも小さい値とする。

[0116] 次に、維持手段 Iについて説明する。維持手段 Iは、図 15，図 16に示すように、集積パネル 1の第 1流体給排口部 1Aとバルブ 2の第 2流体給排口部 2Aとが互いに第 1 及び第 2ガスケット Gl， G2を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第 1 流体給排ロ部 1Aの上第 1シール端部 ti l及び上第 2シール端部 tl 2と、第 1及び第 2ガスケット Gl, G2の上シール部 gl l , g21とが、及び第 2流体給排ロ部 2Aの下第 1及び下第 2シール端部 t21 , t22と、第 1及び第 2ガスケット Gl, G2の下シール部 g 12, g22とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部 10が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第 2流体給排ロ部 2Aの環状突起 11， 31と第 1及び第 2ガスケット Gl， G2の上側の環状溝 51， 61とが、及び第 1流体給排ロ部 1 Aの環状突起 21， 41と第 1及び第 2ガスケット Gl， G2の下側の環状溝 51 , 61とがそれぞれ嵌め合わされる。

[0117] 維持手段 Iの具体構造は、第 2流体給排ロ部 2Aの取付フランジ 9のボルト揷通孔 9 aに揷通される一対のボルト 66と、一対のボルト揷通孔 9a, 9aに対応して第 1流体給排ロ部 1Aに（パネル材 5に）形成されたナット部 67, 67とで構成されており、ボルト 6 6をナット部 67に螺着させての締め付け操作により、バルブ 2を集積パネル 1に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部 10の圧接力が低下した場合には、ボルト 66を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

[0118] 〔実施例 10〕

実施例 10による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図 17に示すように、集積パネル 1と、流体デバイスの一例であるポンプ (洗浄装置循環ライン用のベローズポンプ等） 2とをフランジ配管 71を介して連通接続させるものである。内外のガスケット Gl , G2を介した接続部自体の構成は実施例 9によるもの同一であるので、主な符号だけを付すとともに、その詳細な説明は割愛する。

[0119] さて、集積パネル 1については、排出側の流体通路 4の取出し方向力実施例 9による集積パネル 1の場合と逆になつている以外は基本的に同じ構造である。ただし、実施例 9による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は集積パネルの上面に構成されているに対して、この実施例 2による接続構造は、集積パネル 1の横側面に構成されている。ポンプ 2の給排用の流体通路 7， 8は横側面に開口する構造であり、集積パネル 1では一対の流体通路 3， 4が二重管構造であるに対して、縦に並んで配備される独立タイプのものである。 [0120] フランジ配管 71は、前述の取付フランジ 9を有するフランジ部 72と、これに続く略二股状の管路部 73とから成り、管路部 73は、管状の供給側流体通路 74を持つ供給側配管 73Aと、管状の排出側流体通路 75を持つ排出側の流体通路 73Bとから構成されている。フランジ部 72においては、供給側流体通路 74が軸心 Pを中心とする管状のものとして集積パネル 1の縦通路 3aに正対して開口されるとともに、集積パネル 1 の縦リング通路 4aに正対して開口される環状通路部分 75aが排出側流体通路 75に連続する状態で形成されている。各流体通路 74, 75は融着等の手段によってボンプ 2のイン側ポート 76、及びアウト側ポート 77に連通状態で接続連結されている。

[0121] このように、二重配管構造のフランジ部 72と独立した 2本の配管部 73とを有するフランジ配管 71を用いることにより、集積パネル 1における二重配管構造の第 1流体給排ロ部 1Aと並列配置された一対のイン及びアウト側ポート 76， 77で成る第 2流体給排ロ部 2Aとを、即ち、集積パネル 1とポンプ 2とを、流体通路の開口構造が互いに異なるものどうしでありながらも、互いに近接させて無理なくコンパクトに連通接続させることができている。

[0122] 〔実施例 11〕

実施例 11による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 18， 19に示す。これは実施例 9によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 6別構造の維持手段 I について説明する。なお、図 18, 19においては、図 14〜： 16に示す実施例 9のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 6別構造による維持手段 Iは、図 18 及び図 19に示すように、集積パネル 1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排ロ部 1Aの外周部に雄ネジ Inを形成し、その雄ネジ Inに螺合自在な雌ネジ 81ηを備えた筒状ナット 81と、バルブ 2のバルブケース 6の下端部に形成された外向きフランジ 9に、環状の流体通路 7の軸心 Ρ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング 82とから構成されている。第 1流体給排ロ部 1Aの雄ネジ Inに雌ネジ 8 Inを螺着させての筒状ナット 81の締付け操作により、両流体給排ロ部 1A, 2Aを互いに 2個のガスケット Gl， G2を介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段 Iに構成されている。 [0123] 筒状ナット 81のバルブ 2側（上側）に形成される内向きフランジ 83の開口部 83aは、外向きフランジ 9の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング 82の外径は、筒状ナット 81に入り込み自在となるよう雌ネジ 81ηの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ 2の円形の第 2流体給排ロ部 2 Αの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング 82を装備するには、第 2流体給排ロ部 2Aにおける外向きフランジ 9を除いた径の細い部分の軸方向長さ力 S、筒状ナット 81の軸方向長さと割型リング 82の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図 19 (b)に示すように、ノ · レブケース 6の付根部 6tに当接させた状態の筒状ナット 81と外向きフランジ 9との間の長さ d3が、割型リング 82の厚さ d4よりも大きいこと（d3 > d4)が条件となる。

[0124] また、筒状ナット 81における雌ネジ 81ηの内奥端部と内向きフランジ 83との間に、割型リング 82に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング 82の幅寸法をカバーする軸心 Ρ方向長さを有する内周面部 81mが軸心 Ρと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット 81の雌ネジ 81ηと内向きフランジ 83との間における内径部 81aが供給側流体通路 7と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部 81mの内径が断面矩形に形成された割型リング 82の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第 2流体給排ロ部 2Aの外径部が供給側流体通路 7と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング 82の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット 81を螺進させた際に割型リング 82が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ 9に筒状ナット 81の螺進による軸心 P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ 9を押して、第 1、第 2流体給排ロ部 1 A, 2Aを互いに接近する方向に良好に引寄せること力 Sできるようにされてレ、る。

[0125] 第 6別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図 19 (a)に示すように、外向きフランジ 9をやり過ごして筒状ナット 81をバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの外周に嵌装し、その最内奥側まで (付根部 6tに当接するまで)移動させる。次いで、図 19 (b)に示すように、割型リング 82を、外向きフランジ 9と筒状ナット 81の先端との間を通して第 2流体給排ロ部 2A に外嵌装備させる。このとき又はその前に第 1及び第 2ガスケット Gl， G2をいずれかの流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に環状突起 11 , 21 , 31, 41と環状溝 51 , 61との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、両ガスケット Gl, G2を介して第 1流体給排ロ部 1Aを第 2流体給排ロ部 2Aにあて力 Sい、その状態で筒状ナット 81をスライド移動させてから締付け操作 [図 19 (c)参照]することにより、図 18に示す接続状態が得られる。なお、図 19においては、上下に積層される集積パネル 1とバルブ 2とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。

[0126] 〔実施例 12〕

実施例 12による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 20， 21に示す。これは実施例 9によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 7別構造の維持手段 I について説明する。なお、図 20， 21においては、図 14〜： 16に示す実施例 9のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 7別構造の維持手段 Iは、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成る第 1 及び第 2円錐台状端部 1D， 2Dと、第 1円錐台状端部 1Dのテーパ外周面 Idに当接する第 1テーパ内周面 84a、及び、第 2円錐台状端部 2Dのテーパ外周面 2dに当接する第 2テーパ内周面 84bとによって断面が略く字状を呈する内周面を有する一対の半割円弧部材 84， 84で成る割型押えリング 85と、半割円弧部材 84， 84どうしを引寄せるボルト 86及び一方の半割円弧部材 84に形成されたナット 87とを有して構成されている。

[0127] 接合状態における第 1円錐台状端部 1Dと第 2円錐台状端部 2Dとに跨らせて一対の半割円弧部材 84を被せた状態において、他方の半割円弧部材 84の挿通孔に 84 hに通されたボルト 86及びナット 87の締め付けにより、一端が蝶番状に支点 Qで枢支されている半割円弧部材 84, 84どうしが引寄せられることによるテーパ面どうしの当接による力によって、各流体給排ロ部 1A, 2Aどうしが互いに引寄せられる。割型押えリング 85は、フッ素樹脂材から形成されのが好ましいが、アルミ合金等のそれ以外の材料から成るものでも良い。

[0128] 第 7別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図 21 (a)に示すように、先ず第 1 ,第 2流体給排ロ部 1A, 2Aを第 1及び第 2ガスケット G21 , G2を介して軽く接続連結させる予備連結操作を行う。次に、図 21 (b)に示すように、その予備連結された第 1及び第 2円錐台状端部 ID, 2Dに割型押えリング 85を被せてボルト 86による締め付け操作を行う。このボノレト 86の締め付けにより、両ガスケット Gl， G2が各流体給排ロ部 1A， 2Aに深く嵌り込み、図 21 (c)に示すように、集積パネル 1とバルブ 2との接続連結状態が得られる。

[0129] 〔実施例 13〕

実施例 13による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 22に示す。これは実施例 9によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 8別構造の維持手段 Iについて説明する。なお、図 22においては、図 14〜： 16に示す実施例 9のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 8別構造の維持手段 Iは、集積パネル 1の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにおレ、て外周部に雄ネジ 9nを有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In , 9nに螺着自在な雌ネジ 9 In, 92ηを有する第 1及び第 2リングナット 91 , 92と、これらリングナット 91, 92の外周溝 91m、 92mに嵌着可能な断面形状が略コ字状の係合リング 93と力ら構成されてレ、る。

[0130] 両リングナット 91, 92及び係合リング 93の材質は、例えば PFAや PTFE等のフッ素樹脂製であり、ある程度の可撓性を有している。そこで第 3別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する手順は、予め各リングナット 91 , 92に係合リング 93を係着して一体化された第 1及び第 2リングナット 91 , 92を形成しておき、その一体化された第 1， 2リングナット 91 , 92を、ガスケット Gl , G2を介して互いに引寄せられて組付状態とされている第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aに螺装し、集積パネルと流体デバイスとの接続構造を形成する、という具合になる。勿論、この場合は各雄ネジ In, 9nが互いに同一のネジであることが条件であり、螺装後に各リングナット 91， 92を回してより強く締付けたり、或いは後に増し締めすることが行る。

[0131] また、次のような組付け手順も可能である。即ち、それぞれのリングナット 91， 92を対応する雄ネジ ln， 9nに螺装した状態で、両流体給排ロ部 1A， 2Aを第 1及び第 2 ガスケット Gl, G2を介して引寄せ、ガスケット Gl , G2が圧接されてのシール状態で接続する引寄せ工程を行う。この引寄せ工程は、維持手段 Iとは別の専用の引寄せ手段を用いて行う。それから、各雄ネジ In, 9nのそれぞれに互いに隣接する状態で螺装されている第 1及び第 2リングナット 91， 92の外周溝 91m， 92mに、係合リング 9 3を強制的に拡径変形することで入れ込むことにより、集積パネルと流体デバイスとの接続構造が形成される。つまり、係合リング 93は無理嵌めによって両リングナット 91 , 92に係着される。

[0132] この構成による維持手段 Iは文字通り、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A， 2Aのガスケット Gl , G2を介してのシール接続状態を維持する機能だけを有するものである。し力ながら、各リングナット 91， 92と係合リング 93とは相対回動可能であるから、これらリングナット 91， 92は共に単独での回動移動が可能であり、経時変化やクリープ等によってシール圧接力が低下した場合には、いずれ力若しくは双方のリングナット 91 , 92を強制的に回動操作して、増し締め操作を行うことは可能である。

[0133] 〔その他の実施例〕

図 14〜： 16に示す集積パネルと流体デバイスとの接続構造においては、外径側の第 2ガスケット G2は、図示は省略するが、外周壁 63の上下端が内周壁 53よりも短ぐかつ、単に水平状に切断された構造のものでも良い。二重配管接続構造では、最外径側の第 2ガスケット G2の外周壁 63にはシール機能が無くても良レ、。実施例 9〜： 13 におけるガスケット Gl , G2は上下及び左右に対称形状のものであるが、例えば、内外の周壁の長さや厚みの異なるものや、上下非対称のものなどでも良ぐ図示の形状に限定されない。また、外側の環状流体通路 8のさらに外側に一又は複数の環状の流体通路を有する三重以上の集積パネルと流体デバイスとの接続構造も可能であり、最外側に位置するガスケット以外のガスケットは、その内外周面の双方が流体経路を兼ねる構成が採れる。

[0134] なお、本発明における「流体デバイス」とは、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体貯留容器、熱交換器、レギユレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管等の、要は集積パネル以外の流体関係のものの総称と定義する。さらに、引寄せ機能付維持手段としては、ターンバックル式 (例：図 10や図 22に示す構造において、いずれかの雄ネジ In, 9nを逆ネジとして、これら両雄ネジ In, 9nに跨るターンバックルナットを螺装する構造）のものも可能である。また、環状押え突起 33， 43については、環状押え壁部 33, 43に読み代えるものとし、これら環状押え突起 12， 13, 22, 23, 32, 42と環状押え壁部 33, 43とを総称して「環状押え部分」と定義するものとする。

Claims

請求の範囲

管状の流体通路が開口する第 1流体給排ロ部を備えた集積パネルの前記第 1流体給排ロ部と、管状の流体通路が開口する第 2流体給排ロ部を備えた流体デバイスの前記第 2流体給排口部とを、これら第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との間に介在されるリング状のガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部及び前記第 2流体給排ロ部には、各端面に開口する前記各流体通路の外径側部分に環状突起が形成され、

前記ガスケットは、前記第 1 ,第 2流体給排ロ部の相対応する前記流体通路どうしを連通すべく形成された流体経路と、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面に形成された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成された一対の環状溝と、この環状溝を形成するために前記第 1及び第 2流体給排ロ部の軸心方向に突出形成された内外の周壁端部と、を有する可撓性を備えた材料力構成されており、

前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面における前記環状突起の内径側に、内径側の周壁端部に当接可能な環状押え部分が形成され、

前記環状押え部分は、これと前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面を有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記内径側の周壁端部は、前記環状押え部分のテーパ周面に当接するテーパ周面を有して前記谷部に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、

前記第 1流体給排ロ部と前記第 2流体給排ロ部とが互いに前記ガスケットを介して引寄せられることにより、前記第 1流体給排ロ部の前記環状突起と前記ガスケットの一端の環状溝とが、及び前記第 2流体給排ロ部の前記環状突起と前記ガスケットの他端の前記環状溝とがそれぞれ嵌め合わされ、かつ、前記環状押え部分のテーパ周面と前記内径側の周壁端部のテーパ周面とが圧接されてシール部が形成されるように構成されてレ、る集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

前記シール部が、前記環状押え部分のテーパ周面と前記内径側の周壁端部のテーパ周面との前記環状突起から径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって構成されるように、前記環状押え部分のテーパ周面の傾斜角と前記内径側の周壁端部のテーパ周面の傾斜角とを異ならせて設定してある請求項 1に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[3] 前記環状突起の前記軸心方向での突出量が、前記環状押え部分の前記軸心方向での突出量を上回る状態に設定されている請求項 1又は 2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[4] 前記第 1流体給排口部と前記第 2流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引寄せられて前記両テーパ周面どうしが圧接することによる分力により、前記内径側の周壁端部が拡張変位して前記環状突起に圧接されてシール部が形成される状態に構成されている請求項 1〜3の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[5] 前記ガスケットの断面形状が略 H型形状を呈するものに構成されている請求項 1〜 4の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[6] 前記環状溝に前記環状突起を入れ易くすべぐ前記環状突起がその先端の内周角部及び/又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されている請求項 1 〜5の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[7] 前記シール部が形成される接合状態を維持する維持手段が装備されている請求項 1〜6の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[8] 前記維持手段は、前記第 1流体給排ロ部と第 2流体給排ロ部とを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項 7に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[9] 管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第 1流体給排口部を備えた集積パネルの前記第 1流体給排口部と、管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第 2流体給排口部を備えた流体デバイスの前記第 2流体給排口部とを、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、前記第 1流体給排ロ部と前記第 2流体給排ロ部の間に介在される複数のリング状のガスケットによって各流体通路がシールされる状態で連通接続するにあたり、

前記各ガスケットは、前記第 1 ,第 2流体給排ロ部の相対応する前記流体通路どうしを連通すべく形成された流体経路と、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面に形成された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成された一対の環状溝と、前記環状溝を形成するために前記第 1及び第 2流体給排口部の軸心方向に突出形成された内外径側の周壁端部と、を有する可撓性を備えた材料から構成されており、

前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面における前記環状突起の内外径側に、前記内外径側の周壁端部の夫々に当接可能な環状押え部分が形成され、

前記環状押え部分は、これと前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面を有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記周壁端部は、対応する前記環状押え部分のテーパ周面に当接するテーパ周面を有して前記谷部に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、

前記第 1流体給排ロ部と前記第 2流体給排ロ部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられることにより、前記第 1流体給排ロ部の前記環状突起と前記各ガスケットの一端の環状溝とが、及び前記第 2流体給排ロ部の前記環状突起と前記各ガスケットの他端の前記環状溝とがそれぞれ嵌め合わされ、かつ、前記環状押え部分のテーパ周面と前記周壁端部のテーパ周面とが圧接されてシール部が形成されるように構成されるとともに、

前記各ガスケットのうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路が存在する中間ガスケットは、これの外周面が、前記中間ガスケットの外径側に存する前記第 1流体給排ロ部の前記環状の流体通路と前記第 2流体給排ロ部の前記環状の流体通路とを連通する環状の流体経路を形成するための壁面となる状態に形成されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

前記シール部が、前記環状押え部分のテーパ周面と前記周壁端部のテーパ周面との前記環状突起から径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって構成されるように、前記環状押え部分のテーパ周面の傾斜角と前記周壁端部のテーパ周面の傾斜角とを異ならせて設定してある請求項 9に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[11] 前記環状突起の前記軸心方向での突出量が、前記環状押え部分の前記軸心方向での突出量を上回る状態に設定されている請求項 9又は 10に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[12] 前記第 1流体給排ロ部と前記第 2流体給排ロ部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられて前記両テーパ周面どうしが圧接することによる分力により、内径側の前記周壁端部が拡径変位し、かつ、外径側の前記周壁端部が縮径変位して前記環状突起に圧接されて二次シール部が形成される状態に構成されている請求項 9 〜 11の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[13] 前記複数のガスケットの断面形状が略 H型形状を呈するものに構成されている請求項 9〜： 12の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[14] 前記環状溝に前記環状突起を入れ易くすべぐ前記環状突起がその先端の内周角部及び/又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されている請求項 9 〜 13の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[15] 前記シール部が形成される接合状態を維持する維持手段が装備されている請求項 9〜： 14の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[16] 前記維持手段は、前記第 1流体給排ロ部と第 2流体給排ロ部とを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項 15に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。