WO2006118238A1 - 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 - Google Patents

Abstract

　流体配管の集積化を促進すべく、さらにコンパクト化が可能な集積パネルと流体デバイ スとの接続構造を提供する。そのために、集積パネル１とバルブ２とを、各々の管状流体通路３ａ，７と環状流体通路４ａ，８とを同心状に配置し、内外の環状ガスケットＧ１，Ｇ２を介してシール状態で接続する同心状二重流路型の接続構造において、フッ素樹脂製の流体給排口部１Ａ，２Ａに環状突起１１，２１，３１，４１を、フッ素樹脂製のガスケットＧ１，Ｇ２には環状溝５１，６１を夫々形成し、両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを引寄せて維持する維持手段Ｉにより、これら環状突起と環状溝とが嵌り合って嵌合シール部１０を形成する接合状態が維持され、内側の第１ガスケットＧ１は、その内周面５４ａが管状流路３ａ，７の外壁面を兼ね、かつ、外周面５５ａが環状流体通路４ａ，８の内壁面を兼ねる多機能化された中間ガスケットに構成される。

Description

集積パネルと流体デバイスとの接続構造

技術分野

[0001] 本発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造 や医療'医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱 われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれ る流体用の集積パネルと、ポンプ、ノ レブ、アキュムレータ等の流体デバイスとをガス ケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。 背景技術

[0002] 上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内 部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結するもの があり、特許文献 1や特許文献 2において開示された接続構造が知られている。特許 文献 1で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立 したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、 特許文献 2で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら 一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじ ナットを用いて接続連結させるものである。

[0003] 特許文献 1や 2に開示されて ヽる接続構造は、 Vヽずれも多数の流体機器を流体ブ ロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは 配管系全体のコンパクトィ匕ゃモジュールィ匕が可能となる点で有用なものである。そこ で、コンパクトィ匕ゃモジュールィ匕をさらに促進させるには、流体デバイス単品の小型 化は勿論である力 その流体デバイス自体のコンパクトィ匕が実現されたその次には、 集積パネルと流体デバイスとの接続構造をコンパクトィ匕することに対する要求が生じ ると予測される。

[0004] また、上記特許文献 1や 2に開示された接続構造にお ヽては、ガスケットが挟み込 まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることで有 効なシール性能を出すようになる。し力しながら、ボルトの締付け力が時間と共に低 下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの 漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があつた。ガスケットを用 ヽてシ一 ルする場合は非常に高 、締付け力が必要になるので、集積パネルや流体デバイス の流体給排ロ部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業 '性の点でも不利なものであった。

特許文献 1 :特開 2001— 82609号公報

特許文献 2 :特開平 10— 169859号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] そこで、本発明の第 1目的は、上述した利点を有する集積パネルを用いた配管系 における集積ィ匕を促進すベぐさらにコンパクトィ匕が可能となる集積パネルと流体デ バイスとの接続構造を提案し、実現させる点にある。また、本発明の第 2目的は、流体 の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすこと〖こ より、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け 作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することにある。 課題を解決するための手段

[0006] 請求項 1に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、管状の 流体通路 3a又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路 4aとが同心状に形成 されて開口する第 1流体給排口部 1Aを備えた集積パネル 1の前記第 1流体給排口 部 1Aと、管状の流体通路 7又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路 8とが 同心状に形成されて開口する第 2流体給排口部 2Aを備えた流体デバイス 2の前記 第 2流体給排ロ部 2Aとを、それぞれの複数の流体通路 3a, 4a, 7, 8が相対応され、 かつ、前記第 1流体給排口部 1Aと前記第 2流体給排口部 2Aの間に介在される複数 のリング状のガスケット Gl, G2によって各流体通路 3a, 4a, 7, 8がシールされる状 態で連通接続するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部 1A及び前記第 2流体給排ロ部 2Aには、各端面に開口す る前記各流体通路 3a, 4a, 7, 8の外径側部分に環状突起 21, 11, 41, 31が形成さ れ、 前記各ガスケット Gl, G2は、前記第 1,第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの相対応する前 記流体通路 3a, 4a, 7, 8どうしを連通すべく形成された流体経路 Wl, W2と、前記 第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された前記環状突起 21, 11, 41 , 31のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路 Wl, W2の外径側部分に形成された一 対の環状溝 51, 61とを有する可撓性を備えた材料力 構成されており、

前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aとが互いに前記複数のガスケット Gl, G2を介して引寄せられて、前記第 1流体給排ロ部 1Aの前記環状突起 21, 41 と前記各ガスケット Gl, G2の一端の環状溝 51, 61とが、及び前記第 2流体給排ロ 部 2Aの前記環状突起 11, 31と前記各ガスケット Gl, G2の他端の前記環状溝 51, 61とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部 10が形成された接合状態を維持する 維持手段 Iが装備されるとともに、

前記複数のガスケット Gl, G2のうち、前記接合状態において内径側及び外径側の 双方に前記流体通路が存在する中間ガスケット G1は、これの外周部 55aが前記中 間ガスケット G1の外径側に存する前記第 1流体給排口部 1Aの前記環状の流体通 路 8及び前記第 2流体給排口部 2Aの前記環状の流体通路 4aを連通する環状の流 体経路 W2を形成するための壁面となる状態に形成されていることを特徴とするもの である。

[0007] 請求項 2に係る発明は、請求項 1に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造において、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面における前記環状突起 21, 11, 41, 31の内及び外径側に、前記ガスケット Gl, G2における前記環状溝 51 , 61を形成するために軸心 P方向に突出形成された内外の周壁端部 52, 53, 62, 6 3が、前記環状溝 51, 61と前記環状突起 21, 11, 41, 31との嵌合によって拡がり変 形するのを抑制又は阻止する環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33が形 成されて!/ヽることを特徴とするちのである。

[0008] 請求項 3に係る発明は、請求項 2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造において、前記周壁端咅 53, 62, 63と前記環状押え咅盼 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33とが前記接合状態においては圧接されてシール部 S2を形成するよ うに構成されて 、ることを特徴とするものである。 [0009] 請求項 4に係る発明は、請求項 3に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造にお 、て、前記環状押え咅分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33は、これと前記 環状突起 21 , 11, 41, 31とで囲まれた谷咅 25, 14, 15, 44, 45, 34, 35力 S奥 窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面 22a, 23a, 12 a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33aを有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前 記周壁端部 52, 53, 62, 63は、前記環状押え部分 22, 23, 12, 13, 42, 43, 32, 33のテーノ周面 22a, 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33a【こ当接するテーノ周 面 52a, 53a, 62a, 63aを有して前記谷部 24, 25, 14, 15, 44, 45, 34, 35に入り 込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、前記接合状態においては前記周 壁端咅 53, 62, 63力 S前記谷咅 25, 14, 15, 44, 45, 34, 35に人り込ん で前記両テーノ周面どうし 22a, 23a, 12a, 13a, 42a, 43a, 32a, 33a, 52a, 53a , 62a, 63aが圧接されるように構成されていることを特徴とするものである。

[0010] 請求項 5に係る発明は、請求項 1〜4の何れか一項に記載の集積パネルと流体デ バイスとの接続構造において、前記ガスケット Gl, G2の断面形状が、前記第 1及び 第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの軸心 P方向に沿う中心線 Z、及び、その中心線 Zに直交 する中心線 Xの双方に関して線対称となる略 H型形状を呈するものに構成されて!ヽ ることを特徴とするちのである。

[0011] 請求項 6に係る発明は、請求項 1〜5の何れか一項に記載の集積パネルと流体デ バイスとの接続構造において、前記維持手段 Iは、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2 流体給排口部 2Aとを引寄せて前記接合状態を得るための弓 I寄せ機能を発揮するも のに構成されて 、ることを特徴とするものである。

[0012] 請求項 7に係る発明は、請求項 6に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造において、前記維持手段 Iが、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Aと の少なくともいずれか一方の端部 2A (又は 1A)に形成された外向きフランジ 9と、こ の外向きフランジ 9に形成される貫通孔 9aと、この貫通孔 9aを通して前記第 1流体給 排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aとの 、ずれか他方 1A (又は 2A)に設けられたナツ ト部 67に螺着されるボルト 66とを有して構成されており、

前記ボルト 66を前記ナット部 67に螺着させて締付けることにより前記第 1流体給排 口部 1 Aと第 2流体給排口部 2Aとが互 、に前記複数のガスケット G 1 , G2を介して引 寄せられるように構成されて！、ることを特徴とするものである。

[0013] 請求項 8に係る発明は、請求項 6に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造において、前記維持手段 Iが、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2A のいずれか一方 1A (又は 2A)の外周部に形成された雄ネジ部 Inに螺合自在な雌 ネジ部 81ηを備えた筒状ナット 81と、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Αのいずれか他方 2Α (又は 1A)の端部に形成された外向きフランジ 9に前記第 1, 2流体給排口部 1A, 2Αの軸心 Ρ方向で干渉するよう前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Αの ヽずれか他方 2Α (又は 1A)の端部に外嵌された割型リング 82 とから成り、

前記筒状ナット 81の一端部には、前記外向きフランジ 9の通過は許容し、かつ、前 記割型リング 82とは前記軸心 Ρ方向で干渉する開口部 83aを有する内向きフランジ 8 3が形成されており、

前記筒状ナット 81の前記雄ネジ部 Inへの締付け操作によって、前記第 1流体給排 口部 1 Aと第 2流体給排口部 2Aとが互 、に前記複数のガスケット G 1 , G2を介して引 寄せられるように構成されて！、ることを特徴とするものである。

[0014] 請求項 9に係る発明は、請求項 1〜8の何れか一項に記載の集積パネルと流体デ バイスとの接続構造において、前記ガスケット Gl, G2がフッ素榭脂によって形成され て ヽることを特徴とするものである。

[0015] 請求項 10に係る発明は、請求項 1〜9の何れか一項に記載の集積パネルと流体デ バイスとの接続構造において、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aがフッ素榭 脂によって形成されていることを特徴とするものである。

[0016] 請求項 11に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、管状 の流体通路 3, 4が開口する第 1流体給排ロ部 1Aを備えた集積パネル 1の前記第 1 流体給排ロ部 1Aと、管状の流体通路 7, 8が開口する第 2流体給排ロ部 2Aを備え た流体デバイス 2の前記第 2流体給排口部 2Aとを、これら第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Aとの間に介在されるリング状のガスケット Gによって前記流体通路 3, 4, 7, 8をシールする状態で連通接続するにあたり、 前記第 1流体給排ロ部 1A及び前記第 2流体給排ロ部 2Aには、各端面に開口す る前記各流体通路 3, 4, 7, 8の外径側部分に環状突起 11, 21が形成され、 前記ガスケット Gは、前記第 1,第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの相対応する前記流体 通路 3, 4, 7, 8どうしを連通すべく形成された流体経路 Wと、前記第 1及び第 2流体 給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成された前記環状突起 11, 21のそれぞれに嵌合すべ く前記流体経路 Wの外径側部分に形成された一対の環状溝 51, 51とを有する可撓 性を備えた材料カゝら構成されており、

前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aとが互いに前記ガスケット Gを介 して引寄せられて、前記第 1流体給排口部 1 Aの前記環状突起 11と前記ガスケット G の一端の環状溝 51とが、及び前記第 2流体給排ロ部 2Aの前記環状突起 21と前記 ガスケット Gの他端の前記環状溝 51とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部 10 が形成された接合状態を維持する維持手段 Iが装備されていることを特徴とするもの である。

[0017] 請求項 12に係る発明は、請求項 11に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続 構造において、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面における前記環状突 起 11, 21の内及び外径側に、前記ガスケット Gにおける前記環状溝 51を形成するた めに軸心方向に突出形成された内外の周壁端部 52, 53が、前記環状溝 51と前記 環状突起 11, 21との嵌合によって拡がり変形するのを抑制又は阻止する環状押え 部分 12, 13, 22, 23が形成されていることを特徴とするものである。

[0018] 請求項 13に係る発明は、請求項 12に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続 構造において、前記周壁端部 52, 53と前記環状押え部分 12, 13, 22, 23とが前記 接合状態にぉ ヽては圧接されてシール部 S 2を形成するように構成されて ヽることを 特徴とするものである。

[0019] 請求項 14に係る発明は、請求項 13に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続 構造において、前記環状押え部分 12, 13, 22, 23は、これと前記環状突起 11, 21 とで囲まれた谷部 14, 15, 24, 25が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周 面が傾斜したテーパ周面 12a, 13a, 22a, 23aを有する先窄まり状の環状突起に形 成されており、前記周壁端部 52, 53は、前記環状押え部分 12, 13, 22, 23のテー ノ周面 12a, 13a, 22a, 23aに当接するテーノ周面 52a, 53aを有して前記谷咅 14 , 15, 24, 25に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、前記接合状態 においては前記周壁端部 52, 53が前記谷部 14, 15, 24, 25に入り込んで前記両 テーノ周面 12a, 13a, 22a, 23a, 52a, 53aどうし力 ^圧接されるように構成されて!ヽ ることを特徴とするちのである。

[0020] 請求項 15に係る発明は、請求項 11〜14の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造にぉ 、て、前記集積パネル 1に前記第 1流体給排口部 1A が複数形成され、前記流体デバイス 2に前記第 2流体給排口部 2Aが前記第 1流体 給排ロ部 1Aの存在数に対応して複数形成されるとともに、これら複数の第 1及び第 2流体給排口部 1 A, 2Aが互いに同一の平面上にぉ 、てそれぞれが前記ガスケット Gを介して連通接続自在に構成されて ヽることを特徴とするものである。

[0021] 請求項 16に係る発明は、請求項 11〜15の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造において、前記ガスケット Gの断面形状が、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの軸心 P方向に沿う中心線 Z、及び、その中心線 Zに直交す る中心線 Xの双方に関して線対称となる略 H型形状を呈するものに構成されているこ とを特徴とするものである。

[0022] 請求項 17に係る発明は、請求項 11〜16の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造において、前記維持手段 Iは、前記第 1流体給排ロ部 1Aと 第 2流体給排口部 2Aとを引寄せて前記接合状態を得るための弓 I寄せ機能を発揮す るものに構成されていることを特徴とするものである。

[0023] 請求項 18に係る発明は、請求項 17に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続 構造において、前記維持手段 Iが、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2 Aとの少なくともいずれか一方の端部に形成された外向きフランジ 9Bと、この外向き フランジ 9Bに形成される貫通孔 9aと、この貫通孔 9aを通して前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Aとのいずれか他方に設けられたナット部 67に螺着される ボルト 66とを有して構成されており、

前記ボルト 66を前記ナット部 67に螺着させて締付けることにより前記第 1流体給排 口部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに前記ガスケット Gを介して引寄せられるよう に構成されて 、ることを特徴とするものである。

[0024] 請求項 19に係る発明は、請求項 17に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続 構造において、前記維持手段 Iが、前記第 1流体給排ロ部 1Aと第 2流体給排ロ部 2 Aの 、ずれか一方の外周部に形成された雄ネジ部 Inに螺合自在な雌ネジ部 8 Inを 備えた筒状ナット 81と、前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aの 、ずれ か他方の端部に形成された外向きフランジ 9Bに前記第 1, 2流体給排ロ部 1A, 2A の軸心 P方向で干渉するよう前記第 1流体給排口部 1Aと第 2流体給排口部 2Aの 、 ずれか他方の端部に外嵌された割型リング 82とから成り、

前記筒状ナット 81の一端部には、前記外向きフランジ 9Bの通過は許容し、かつ、 前記割型リング 82とは前記軸心 P方向で干渉する開口部 83aを有する内向きフラン ジ 83が形成されており、

前記筒状ナット 81の前記雄ネジ部 Inへの締付け操作によって、前記第 1流体給排 口部 1Aと第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに前記ガスケット Gを介して引寄せられるよう に構成されて 、ることを特徴とするものである。

[0025] 請求項 20に係る発明は、請求項 11〜19の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造において、前記ガスケット Gがフッ素榭脂によって形成され て ヽることを特徴とするものである。

[0026] 請求項 21に係る発明は、請求項 11〜20の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造において、前記第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aがフッ 素榭脂によって形成されていることを特徴とするものである。

発明の効果

[0027] 請求項 1の発明によれば、二以上の流体通路を同心状に多重配管することにより、 複数の流体通路を独立して配列する構造に比べて接続構造部分のコンパクトィ匕を図 ろうとする手段である。第 1、 2流体給排ロ部にそれぞれに形成された環状突起と、ガ スケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状溝とが互いに嵌り合って嵌 合シール部を形成するので、第 1, 2流体給給排ロ部間からの液漏れを阻止できて 優れたシール性を得ることが可能になる。例えば、半導体製造設備における洗浄装 置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら 装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることに よって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという 効果を奏することが可能である。

そして、維持手段によって、両流体給排ロ部どうしが互いにガスケットを介して引寄 せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好 なシール性を確保し得る状態を長期に亘つて維持可能となり、信頼性に優れる集積 パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0028] ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ 材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化 (圧縮変形)せず、凹側の部材が拡が り変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項 1においては、流 体デバイスに凸である環状突起を、かつ、ガスケットに凹である環状溝を形成する構 成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、流体デバイスに比べ て小さな部品であるガスケット側であって流体デバイス側は殆ど変形しないから、ガス ケットを交換することで長期に亘つて良好なシール性能を維持し得る利点が廉価に 実現できる効果がある。力 tlえて、ガスケットの内外に流体通路が形成されることとなる 中間ガスケットにおいては、その内周部だけでなぐ外周部も流体経路の壁面に兼用 される構造としたので、内外で隣り合う流体通路の間隔は中間ガスケットの厚みだけ となって、複数の流体通路を極力径方向に近づけて配置することが可能になり、集積 パネルと流体デバイスとの接続構造部分の一層のコンパクトィ匕が可能となる利点があ る。その結果、複数の流体通路を同心状に配列して接続させる集積パネルと流体デ バイスとの接続構造を実現できたことにより、モジュールィ匕ゃコンパト化に有利な流体 デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘っ て維持できて信頼性に優れ、し力もさらにコンパクトィ匕が可能となる集積パネルと流 体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0029] 請求項 2の発明によれば次のような作用効果がある。前述したように、凹凸嵌合に お!、ては凹側が広がり変形し易 、傾向があるから、それは即ち本発明にお 、ては環 状溝を形成するためにガスケットに形成される内外の周壁端部が拡がり変形すること を意味している。そこで、その周壁端部の拡がり変形を抑制又は阻止する環状押え 部分を第 1及び第 2流体給排ロ部に形成してあるから、周壁端部の拡がり変形が解 消又は軽減されて環状突起と環状溝とが強 ヽ圧接力でもって嵌合でき、これら両者 の嵌合による優れたシール機能を所期どおりに発揮させることができる。しかも、環状 押え部分が存在することによって周壁端部の剛性不足を補うことができるので、これ らが存在しな 、場合にくらベてガスケットの周壁端部の厚みを薄くすることが可能で あるから、ガスケットの幅寸法を小さくして、同心状に配列される複数の流体通路の全 体径のコンパクト化、つまりは集積パネルと流体デバイスとの接続構造としてのさらな るコンパクトィ匕が図れるという利点も得られる。

[0030] 請求項 3の発明によれば、接合状態においては、第 1及び第 2流体給排ロ部の環 状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との圧接によるシール部が形 成されるので、それによつてよりシール性に優れる嵌合シール部が構成され、シール 性能に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造とすることができる。

[0031] 請求項 4の発明によれば、接合状態においては、第 1及び第 2流体給排ロ部の環 状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との嵌合部分の内径側及び外 径側に、第 1及び第 2流体給排ロ部のテーパ周面とガスケットのテーパ周面とが圧接 される構成が存在しており、それらテーパ周面どうしの当接により、接続構造部分の コンパクトィ匕 (請求項 2)とシール性能向上 (請求項 3)との双方の効果を得ることがで きる。カロえて、テーパ周面どうしを当接させる構造であるから、各流体デバイスとガス ケットとを強く押し付けるに従って圧接力が増し、上記コンパクトィ匕及びシール性能向 上の効果をより強化できるという利点があり、それによつてテーパ周面どうしの間にお ける液溜りの生じない接続構造とすることが可能である。

[0032] 請求項 5の発明によれば、ガスケットが上下左右に線対称となる断面が略 H型のも のに形成されるので、例えば非対称形状のものに比べてガスケットの製作が容易化 されるととも〖こ、各流体デバイスに嵌合される場合のバランス (強度バランス、組付け バランス）に優れたものにできる。また、それによつてガスケットの種類としては 1種類 で済む利点もある。

[0033] 請求項 6の発明によれば、維持手段 Iは多重配管接合構造の接合状態を維持する だけでなぐ第 1流体給排ロ部と第 2流体給排ロ部とを引寄せて接合状態を得るため の引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体と しての組付け手間の省略ィ匕ゃコストダウンが可能となる利点がある。

[0034] 請求項 7の発明によれば、両流体給排ロ部の少なくとも一方に孔付きの外向きフラ ンジを形成すれば、その孔を通すボルトと、相手方の流体給排ロ部に設けられるナツ ト部とを設けるだけの簡単な手段で両流体給排ロ部どうしの引寄せ及び維持が行え るよう〖こなる。つまり、構造簡単で廉価な引寄せ機能付き維持手段としながら種々の 利点を有する流体機器どうしの接続構造を得ることができる。

[0035] 請求項 8の発明によれば、第 1, 2流体給排ロ部のいずれか一方の端部に形成さ れた外向きフランジに割型リングを介して係合されている筒状ナットを、もう一方の第 1, 2流体給排ロ部の雄ネジに螺進させるだけの簡単な操作により、第 1, 2流体給排 口部の環状突起とガスケットの環状溝とを嵌合させて集積パネルと流体デバイスとを シール状態で連通接続することができるとともに、筒状ナットの螺進を止めるだけで、 その接続状態を維持することができる便利で扱い易い引寄せ機能付き維持手段が、 コンパクトで場所を取らない合理的なものとして得られる。

[0036] また、筒状ナットは第 1流体給排口部又は第 2流体給排口部の端部に外嵌装着及 び離脱が自在であり、外嵌装着状態では外向きフランジ及び割型リングの双方に軸 方向で干渉するから、筒状ナットによる第 1, 2流体給排ロ部どうしの直接接続を可能 にしながら、割型リング及び筒状ナットを第 1又は第 2流体給排ロ部に後付け装着す ることが自在である。加えて、少ない部品数で、かつ、部品の種類として 1種類で済む 経済的、合理的なものとしながら筒状ナットの締付け力を確実に外向きフランジに伝 達することができる。従って、第 1又は第 2流体デバイスの製造時に筒状ナットを流体 給排ロ部に外嵌装着させておぐという難しい製造手段を採ることなぐ筒状ナットを 用いて集積パネルと流体デバイスとの接続操作が簡単で便利に行える。

[0037] 請求項 9や 10の発明によれば、ガスケットゃ両流体給排口部が耐薬品性及び耐熱 性に優れた特性を有するフッ素系榭脂で形成されて ヽるので、流体が薬液であると か化学液体であっても、或いは高温流体であっても管継手構造部分が変形して漏れ 易くなることがなぐ良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系榭脂は、水 素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得 られる榭脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく 、耐薬品性もきわめて高ぐ電気絶縁性も高い点で好ましい。

[0038] 請求項 11の発明によれば、第 1、 2流体給排ロ部にそれぞれに形成された環状突 起と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状溝とが、軸線方向 の相対移動によって互いに嵌り合って嵌合シール部を形成するので、これら両者が 多少軸線方向にずれ動くことがあっても環状突起と環状溝との嵌合状態が維持され 、第 1, 2流体給給排ロ部間からの液漏れを阻止する優れたシール性を発揮し続け ることが可能になる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこの ような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減 少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多 くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが 可能である。

[0039] そして、維持手段によって、両流体給排ロ部どうしが互いにガスケットを介して引寄 せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好 なシール性を確保し得る状態を長期に亘つて維持可能となり、信頼性に優れる集積 パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。その結果、増し締めを 殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善さ れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。

[0040] ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ 材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化 (圧縮変形)せず、凹側の部材が拡が り変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項 11においては、 流体デバイスに凸である環状突起を、かつ、ガスケットに凹である環状溝を形成する 構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、流体デバイスに比 ベて小さな部品であるガスケット側であって流体デバイス側は殆ど変形しないから、 ガスケットを交換することで長期に亘つて良好なシール性能を維持し得る利点が廉価 に実現できる効果もある。

[0041] 請求項 12の発明によれば次のような作用効果がある。前述したように、凹凸嵌合に お!、ては凹側が広がり変形し易 、傾向があるから、それは即ち本発明にお 、ては環 状溝を形成するためにガスケットに形成される内外の周壁端部が拡がり変形すること を意味している。そこで、その周壁端部の拡がり変形を抑制又は阻止する環状押え 部分を第 1及び第 2流体給排ロ部に形成してあるから、周壁端部の拡がり変形が解 消又は軽減されて環状突起と環状溝とが強 ヽ圧接力でもって嵌合でき、これら両者 の嵌合による優れたシール機能を所期どおりに発揮させることができる。しかも、環状 押え部分が存在することによって周壁端部の剛性不足を補うことができるので、これ らが存在しない場合に比べてガスケットの周壁端部の厚みを薄くすることが可能であ るから、ガスケットの幅寸法を小さくして流体通路の全体径のコンパクト化、つまりは集 積パネルと流体デバイスとの接続構造としてのコンパクトィ匕が図れるという利点もある

[0042] 請求項 13の発明によれば、接合状態においては、第 1及び第 2流体給排ロ部の環 状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との圧接によるシール部が形 成されるので、それによつてよりシール性に富む嵌合シール部が構成され、優れたシ ール性能を持つ集積パネルと流体デバイスとの接続構造とすることができる。

[0043] 請求項 14の発明によれば、接合状態においては、第 1及び第 2流体給排ロ部の環 状突起と、各ガスケットの一端面又は他端面の環状溝との嵌合部分の内径側及び外 径側に、第 1及び第 2流体給排ロ部のテーパ周面とガスケットのテーパ周面とが圧接 される構成が存在しており、それらテーパ周面どうしの当接により、接続構造部分の コンパ外化 (請求項 12)とシール性能向上 (請求項 13)との双方の効果を得ることが できる。カロえて、テーパ周面どうしを当接させる構造であるから、集積パネルや流体 デバイスとガスケットとを強く押し付けるに従って圧接力が増し、上記コンパクト化及 びシール性能向上の効果をより強化できるという利点がある。また、それによつてテー パ周面どうしの間における液溜りの生じない接続構造とすることが可能である。

[0044] 請求項 15の発明によれば、集積パネルと流体デバイスとの接続構造の複数が互い に同一平面上において構築されているので、同一平面上にない場合に比べて、部 品加工が少なくて済むとか組付操作が行 、やす 、等の点で有利なものとなる。また、 各接続構造における構成部品 (第 1流体給排口部やガスケット等)の共通化や、一体 化 (給排用の各第 1流体給排口部を、一対の流体通路を一つのブロックに形成する ことで一体化する等)が可能となり、合理ィ匕を図ることができる利点もある。

[0045] 請求項 16の発明によれば、ガスケットが上下左右に線対称となる断面が略 H型の ものに形成されるので、例えば非対称形状のものに比べてガスケットやこれと嵌合さ れる部分である第 1、第 2流体給排ロ部の設計、製作が容易化されるとともに、集積 パネルや流体デバイスに嵌合される場合のノランス (強度バランス、組付けバランス） に優れたものにできる。

[0046] 請求項 17の発明によれば、維持手段は第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との 接合状態を維持するだけでなぐ第 1流体給排ロ部と第 2流体給排ロ部とを引寄せ て接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する 必要が無くなり、全体としての糸且付け手間の省略ィ匕ゃコストダウンが可能となる利点 がある。

[0047] 請求項 18の発明によれば、両流体給排ロ部の少なくとも一方に孔付きの外向きフ ランジを形成すれば、その孔を通すボルトと、相手方の流体給排ロ部に設けられるナ ット部とを設けるだけの簡単な手段で両流体給排ロ部どうしの引寄せ及び維持が行 えるようになる。つまり、構造簡単で廉価な引寄せ機能付き維持手段としながら種々 の利点を有する集積パネルと流体デバイスとの接続構造を得ることができる。

[0048] 請求項 19の発明によれば、第 1, 2流体給排ロ部のいずれか一方の端部に形成さ れた外向きフランジに割型リングを介して係合されている筒状ナットを、もう一方の第 1, 2流体給排ロ部の雄ネジに螺進させるだけの簡単な操作により、第 1, 2流体給排 口部の環状突起とガスケットの環状溝とを嵌合させて集積パネルと流体デバイスとを シール状態で連通接続することができるとともに、筒状ナットの螺進を止めるだけで、 その接続状態を維持することができる便利で扱い易い引寄せ機能付き維持手段が、 コンパクトで場所を取らない合理的なものとして得られる。

[0049] また、筒状ナットは第 1流体給排口部又は第 2流体給排口部の端部に外嵌装着及 び離脱が自在であり、外嵌装着状態では外向きフランジ及び割型リングの双方に軸 方向で干渉するから、筒状ナットによる第 1, 2流体給排ロ部どうしの直接接続を可能 にしながら、割型リング及び筒状ナットを第 1又は第 2流体給排ロ部に後付け装着す ることが自在である。従って、筒状ナットと割型リング程度の少ない部品数で済む経 済的、合理的なものとしながら、第 1又は第 2流体デバイスの製造時に筒状ナットを流 体給排ロ部に外嵌装着させておぐという難しい製造手段を採ることなぐ筒状ナット を用いて集積パネルと流体デバイスとの接続操作が簡単で便利に行える。

[0050] 請求項 20や 21の発明によれば、ガスケットゃ両流体給排口部が耐薬品性及び耐 熱性に優れた特性を有するフッ素系榭脂で形成されて ヽるので、流体が薬液である とかィ匕学液体であっても、或いは高温流体であっても管継手構造部分が変形して漏 れ易くなることがなぐ良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系榭脂は、 水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって 得られる榭脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さ ぐ耐薬品性もきわめて高ぐ電気絶縁性も高い点で好ましい。

図面の簡単な説明

[0051] [図 1]集積パネルとバルブとの同心多重流路型接続構造を示す断面図（実施例 1)で ある。

[図 2]図 1の接続構造に用いるガスケットと流体給排ロ部の要部の断面図である。

[図 3]ガスケットと流体デバイスとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図である

[図 4]フランジ配管を介した集積パネルとポンプとの同心状多重流路接続構造を示す 断面図（実施例 2)である。

[図 5]引寄せ機能付き維持手段の第 1別構造を示す要部の断面図 (実施例 3)である

[図 6]図 4の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図である。

[図 7]引寄せ機能付き維持手段の第 2別構造を示す要部の断面図 (実施例 4)である

[図 8]図 6の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図である。

[図 9]維持手段の構造を示す要部の断面図（実施例 5)である。

[図 10]集積パネルとバルブとの単流路型接続構造を示す断面図（実施例 6)である。

[図 11]図 10の接続構造に用いるガスケットと流体給排ロ部の要部の断面図である。

[図 12]ガスケットと流体デバイスとの嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図である 圆 13]集積パネルとベローズ式バルブとの接続構造を示す断面図（実施例 7)である 圆 14]集積パネルとフィルタとの接続構造を示す断面図（実施例 8)である。

圆 15]図 5の維持手段を単流路型接続構造に適用した場合を示す要部の断面図（ 実施例 9)である。

[図 16]図 15の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図である。

圆 17]図 7の維持手段を単流路型接続構造に適用した場合を示す要部の断面図（ 実施例 10)である。

[図 18]図 17の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図である。

圆 19]図 9の維持手段を単流路型接続構造に適用した場合を示す要部の断面図（ 実施例 11)である。

圆 20]引寄せ機能付き維持手段の第 3別構造を示す要部の断面図 (実施例 12)であ る。

圆 21]引寄せ機能付き維持手段の第 4別構造を示す要部の断面図 (実施例 13)であ る。

符号の説明

1 集積パネル

1A 第 1流体給排ロ部

In 雄ネジ部

2 流体デバイス

2A 第 2流体給排ロ部

3, 4 集積パネルの流体通路

3a, 4a 管状の流体通路

7 管状の流体通路、流体デバイスの流体通路

8 環状の流体通路、流体デバイスの流体通路

9 外向きフランジ

9a 貝通孑し 9B 外向き：

10 嵌合シー

11, 21, 31, 41 環状突起

12, 13, 22, 23, 32, 33, 42, 43 環状押え部分

12a, 13a, 22a, 23a, 32a, 33a, 42a, 43a テーノ周面

14, 15, 24, 25, 34, 35, 44, 45 谷部

51, 61 環状溝

52, 53, 62, 63 周壁端部

52a, 53a, 62a, 63a テーノ周面

55a 中間ガスケットの外周部

66 ボルト

67 ナット部

81 筒状ナット

81η 雌ネジ部

82 割型リング

83 内向きフランジ

83a 開口部

G, Gl, G2 ガスケット

I 維持手段

P 軸心

SI, S2 シーノレ部

W, Wl , W2 流体経路

X 中心線に直交する中心線

z 軸心方向に沿う中心線

発明を実施するための最良の形態

以下に、本発明による集積パネルと流体デバイスとの接続構造の実施の形態を、 図面を参照しながら説明する。図 1〜図 9は同心状多重流路型接続構造を、そして 図 10〜図 21は単流路型接続構造を夫々示す。図 1, 2は実施例 1による集積パネル と流体デバイスとの接続構造を示す全体図と要部断面図、図 3は第 1ガスケットと第 1 流体給排ロ部との詳細な嵌合構造を示す要部の断面図、図 4は実施例 2による集積 パネルと流体デバイスとの接続構造を示す全体図、図 5, 6は第 1別構造による維持 手段の半欠截断面図と組付説明図、図 7, 8は第 2別構造による維持手段の半欠截 断面図と組付説明図、図 9は第 3別構造による維持手段の断面図である。また、図 1 0〜図 12は実施例 6による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示し、図 13, 1 4はそれぞれ実施例 7, 8による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示し、図 1 5〜図 21は維持手段の別構造を示して!/、る。

[0054] 〔実施例 1〕

実施例 1による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 1、図 2に示す。この集 積パネルと流体デバイスとの接続構造は、複数の管状の流体通路 3, 4が内部形成さ れた集積パネル 1と、これの上面 laに内外の計 2個のリング状のガスケット Gl, G2を 介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等） 2とに跨って構成された縦 向きの軸心 Pを共有する同心状二重流路型のものである。

[0055] 集積パネル 1は、図 1、図 2に示すように、 PFAや PTFE等のフッ素榭脂製のパネ ル材（又はブロック材） 5の内部に、パネル上面 laに開口する上下向きの縦通路 3aと 横向きの横通路 3bとから成る管状の供給側流体通路 3と、縦通路 3aの外径側に形 成されてパネル上面 laに開口する環状の縦リング通路 4aとこれの底部に連通される 横向きの横通路 4bとで成る排出側流体通路 4とが形成されたものである。この集積パ ネル 1における給排流体通路 3, 4が二重配管状に開口する部分を第 1流体給排ロ 部 1Aと称するものとし、この第 1流体給排ロ部 1Aにおいては、管状の縦通路 3aと環 状の縦リング通路 4aとが互いに同一の軸心 Pを有する同心状の通路に形成されてい る。また、第 1流体給排ロ部 1Aには、その上端面に開口する各流体通路 3, 4の外径 側部分のそれぞれには、軸心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の 環状突起 21, 41を有する下第 1シール端部 t21及び下第 2シール端部 t22が形成さ れている。

[0056] バルブ（流体デバイスの一例） 2は、図 1、図 2に示すように、 PFAや PTFE等のフッ 素榭脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース 6を有しており、そのバルブケー ス 6の下端部は、底面 6aに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供 給側流体通路 7と、この供給側流体通路 7の外径側に形成されて底面 6aに開口する 状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路 8とを有した第 2流体給排ロ部 2A に形成されている。つまり、この第 2流体給排ロ部 2Aにおいては、管状の供給側流 体通路 7と環状の排出側流体通路 8が互いに同一の軸心 Pを有する同心状の通路に 形成されている。そして、バルブケース 6下端の外周部には、一対のボルト揷通孔 9a を有する PFAや PTFE等のフッ素榭脂又はその他の材料による取付フランジ 9が融 着によって一体ィ匕されている。尚、バルブケース 6と取付フランジ 9とは、切削加工や 成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第 2流体給排ロ部 2 Aには、その下端面に開口する各流体通路 7, 8の外径側部分のそれぞれには、軸 心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起 11, 31を有する上 第 1シール端部 tl 1及び上第 2シール端部 tl 2が形成されて 、る。

[0057] 内外のガスケット Gl, G2は径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されて いる。その構造を内側の第 1ガスケット G1を例に挙げて説明する。尚、説明を省略す る外側の第 2ガスケット G2には、第 1ガスケット G1に対応する箇所には対応した符号 を付す (例： 54a→64a)ものとする。さて、第 1ガスケット G1は、第 1,第 2流体給排ロ 部 1A, 2Aの相対応する流体通路である縦通路 3a及び供給側流体通路 7どうしを連 通すべく形成された管状の流体経路 W1と、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端 面に形成された上第 1シール端部 11の環状突起 11と上第 2シール端部 12の環状 突起 31のそれぞれに嵌合すべく流体経路 W1の外径側部分に形成された上下一対 の環状溝 51, 51とを有する PFAや PTFE等のフッ素榭脂製のものに構成されて!、る

[0058] つまり、第 1ガスケット G1の断面形状は、上下一対の環状溝 51, 51と、これら環状 溝 51, 51を形成するための内周壁 54及び外周壁 55とを有するとともに、上下の環 状溝 51, 51は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁 54, 5 5も左右対称であって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの軸心 P方向に沿う縦中 心 Z、及び、その縦中心線 Zに直交する横中心線 Xの双方に関して線対称（ほぼ線 対称でも良い）となる略 H状の形状に形成されている。内周壁 54の上下端部は、内 周面 54aである流体経路 Wlの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周 面 52a, 52aに形成されるとともに、外周壁 55の上下端部も、その外周面 55aの上下 端部が内向き傾斜するテーパ外周面 53a, 53aに形成されている。

[0059] 集積パネル 1の第 1流体給排ロ部 1Aの下第 1及び下第 2シール端部 t21, t22の 環状突起 21 , 41及びバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの上第 1及び上第 2シール端 部 tl l、tl2における環状突起 11, 31の内及び外径側に、各ガスケット Gl, G2にお ける環状溝 51, 61を形成するために軸心 P方向に突出形成された内外の周壁端部 52, 53, 62, 63が、相対応する環状溝 51, 61と相対応する環状突起 11, 21, 31, 41との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起 (環状押え部分の一 ί列） 12, 13, 22, 23, 32, 33, 42, 43力 ^形成されて!ヽる。

[0060] 上記環状押え突起に関する構造を、第 1ガスケット G1と上第 1シール端部 ti lとに ついて説明する。内外の環状押え突起 12, 13は対称のものであり、これらと環状突 起 11とで囲まれた谷部 14, 15が奥窄まり状 (上窄まり状）となるように環状突起側の 側周面が傾斜したテーパ外周面 12a及びテーパ内周面 13aを有する先窄まり状の 環状突起に形成されている。つまり、上第 1シール端部 ti lは、環状時突起 11とその 内外の両側に形成される環状押え突起 12, 13及び谷部 14, 15の総称である。

[0061] 第 1ガスケット G1の内外の周壁 54, 55の上端部は、環状押え突起 12, 13のテー パ外周面 12aとテーパ内周面 13aのそれぞれに当接するテーパ内周面 52aとテーパ 外周面 53aを有して 14, 15に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起 (周壁端 部の一例） 52, 53を有し、接合状態（図 1参照）においては、内外の周壁 54, 55の 上端部である環状シール突起 52, 53が対応する谷部 14, 15に入り込み、上第 1シ 一ル端部 ti lのテーパ外周面 12aと第 1ガスケット G1のテーパ内周面 52aとが圧接さ れ、かつ、上第 1シール端部 ti lのテーパ内周面 13aと第 1ガスケット G1のテーパ外 周面 53aとが圧接されるように構成されている。

[0062] つまり、第 1ガスケット G1の上端部には、環状溝 51とその内外の環状シール突起 5 2, 53とで上シール部 gl lが形成されており、同様に下端部には下シール部 gl2が 形成されて!、る。上シール部 gl 1は上第 1シール端部 tl 1と嵌合して嵌合シール部 1 0を形成し、下シール部 g 12は下第 2シール端部 t21と嵌合して嵌合シール部 10を 形成する。同様に、第 2ガスケットにも上シール部 g21と下シール部 g22とが形成され ており、それぞれ上第 2シール端部 tl2と下第 2シール端部 t22と嵌合して嵌合シー ル部 10を形成する。

[0063] 嵌合シール部 10の嵌合構造を、上第 1シール端部 ti lと第 1ガスケット G1の上シ ール部 gl lについて詳細に説明すると、図 2、図 3に示すように、内外の谷部 14, 15 どうし、及び内外の環状シール突起 52, 53どうしは互いに対称であって、内外の谷 部 14, 15全体の挟角 α ° と内外の環状シール突起 52, 53全体の向い角 j8 ° との 間には、 α ° く β。 という関係が設定されており、好ましくは α ° + (20〜40° ) = β ° という関係に設定すると良い。この構成により、上第 1シール端部 ti lの上環状 突起 11と環状溝 51とが嵌り合った接合状態 (後述)では、上内環状押え突起 12と上 内環状シール突起 52とは、それらのテーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとが最内 径側部分で圧接される状態となり（図 3の仮想線を参照）、流体通路 W1を通る流体 力 Sこれら外内のテーパ周面 12a, 52aどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次 シール部 S2として機能する利点が得られる。

[0064] そして、上環状突起 11の幅 dlと上環状溝 51の幅 d2との間には、 dl >d2という関 係が設定されており、好ましくは dl X (0. 75-0. 85) =d2という関係に設定すると 良い。そして、上環状突起 11の突出長さ hiと上環状溝 51の深さ h2との間には hiく h2という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起 11と上環状溝 51と 力 詳しくは、上環状突起 11の内外の両側周面と相対応する上環状溝 51の内外の 側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次 シール部 S1が形成されるとともに、上内環状押え突起 12のテーパ外周面 12aと上内 環状シール突起 52のテーパ内周面 52aとが必ず当接することになり、前述した二次 シール部 S2が良好に形成される利点がある。

[0065] また、環状押え突起 12, 13の先端、及び環状シール突起 52, 53の先端はピン角 とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面 12b, 13b、並びにカット面 52b , 53bに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起 12の先端が流体 通路 W1側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流 体通路 W1途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに 存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じな 、ようになる。 カロえて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面 12bとテーパ内周面 52aとの挟角 は十分に大きぐ表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起 11先 端の内角及び外角は面取り加工された形状 11aとしてあるので、幅の狭い環状溝 51 への圧入移動を力じり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

[0066] 嵌合シール部 10についてさらに詳述する。図 2、図 3に示すように、環状押え突起 1 2, 13における環状突起側のテーパ周面 12a, 13aの開き角（谷部 14, 15の開き角） Dは 50〜70度の範囲の値（50° ≤D° ≤70° )に設定されており、環状シール突 起 52, 53のテーノ周面 52a, 53aの尖り角 Eは 60〜80度の範囲の値（60° ≤D° ≤80° )に設定されている。そして、開き角 Dと尖り角 Eとには、開き角 Dに 10〜20 度をカ卩えたものが尖り角 Eとなる [D° + (10〜20° ) =E° ]ように設定されている。 より好ましい値としては、開き角 Dが 69〜71度（D° = 70± 1° )、尖り角 Eが 79〜8 1度 (E° =80± 1° )、及び尖り角 Eは開き角 D+ 9〜： L 1度 (E° — D° = 10± 1° )に設定すると良い。

[0067] また、環状押え突起 12, 13の傾斜カット面 12b, 13bのカット角 Dsは 49〜51度（D s° = 50° ± 1° )に設定されており、周壁端部 52, 53の先端カット面 52b, 53bの 迎え角 Esは 124〜126度 (Es° = 125° ± 1° )に設定されている。このような角度 設定により、テーパ外周面 12aとテーパ内周面 52a及びテーパ内周面 13aとテーパ 外周面 53aの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が 二次シール部 S2にお 、て発揮されるようになる。

[0068] つまり、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに引寄せら れる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起 (周壁端部） 52, 53のテ 一パ周面 52a, 53a (テーパ内周面 52a、テーパ外周面 53a)の尖り角 Eが、前記引 寄せ方向に対する前記環状押え突起 12, 13における環状突起 11側のテーパ周面 12a, 13a (テーパ外周面 12a、テーパ内周面 13a)の開き角 Dに 10〜20度、好まし くは 10度又はほぼ 10度カ卩えた値に設定されている。そして、前記尖り角 Eが 60〜80 度、好ましくは 80度又はほぼ 80度に設定されている。

[0069] このように尖り角 E及び開き角 Dを 90度に近 、鈍角的な値に設定する構成とすれ ば、環状押え突起 12, 13は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出 量が小さくなつて相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起 52, 53 の拡がりを規制しながらも、自身 (環状押え突起 12, 13)が径方向へ拡がり変形する おそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起 52 , 53の谷部 14, 15への刺さり込みによってテーパ周面 52a, 53aが環状押え突起 1 2, 13を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起 12, 13の 径方向への拡がり変形を抑制することができる。

[0070] 以上述べた嵌合シール部 10の構造は、第 1ガスケット G1の下側、及び第 2ガスケッ ト G2においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すもの とする。第 2ガスケット G2は、径は異なるが断面形状に関しては第 1ガスケット G1のも のと全く同じである。但し、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの上第 2シール端部 t 12と下第 2シール端部 t22については、その外周側に流体通路が存在しないので、 それぞれ上第 1シール端部 ti lと下第 2シール端部 t21とやや形状が異なる。

[0071] 即ち、上第 2シール端部 tl2に関しては、環状押え突起 33のテーパ内周面 33aに 続く状態で、バルブケース 6の下端部を形成するための下端内周部 6bが存在してい る点である。この下端内周部 6bは、第 2ガスケット G2の上シール部 g21を上第 2シー ル端部 tl2に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面 33aと共 に第 2ガスケット G2の外周壁 65の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そ して、下第 2シール端部 t22に関しては、外側の環状押え突起 43の外周側にパネル 材 5が連続して存在している点であり、下シール部 g22と下第 2シール端部 t22との 嵌め合せ時に、第 2ガスケット G2の下シール部 g22の外環状シール突起 63の拡がり 変形がテーパ内周面 43aによって阻止される作用効果が強化されるようになる。

[0072] 一方、第 1及び第 2ガスケット Gl, G2のうち、接合状態において内径側及び外径 側の双方に流体通路 7, 8が存在する中間ガスケットである第 1ガスケット G1は、これ の外周部である外周面 55aが、第 1ガスケット G1の外径側に存する第 1流体給排ロ 部 1 Aの環状の流体通路 4aと第 2流体給排ロ部 2Aの環状の流体通路 8とを連通す る環状の流体経路 W2を形成するための壁面となる状態に形成されている。このよう に第 1ガスケット G1の内外周面 54a, 55aの双方が流体通路 Wl, W2を形成する壁 面を兼ねる構成とすれば、「第 1ガスケット G1の厚み」 =「環状流体通路 3a, 7と管状 流体通路 4a, 8との間隔」となり、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの接続部をより コンパクトィ匕することが可能になる。

[0073] なお、図 1に仮想線で示すように、第 2ガスケット G2の外周壁 65に横突出するリン グ状の脱着フランジ Ifを一体形成しておけば、第 1又は第 2流体給排ロ部 1A, 2A 力 第 2ガスケット G2を抜出す際に、工具や手指でフランジ Ifを引張る等して外し易 くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ Ifの厚みは、接合状態 における第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aどうしの間隙よりも小さい値とする。

[0074] 次に、維持手段 Iについて説明する。維持手段 Iは、図 2、図 3に示すように、集積パ ネル 1の第 1流体給排ロ部 1Aとバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに第 1及び 第 2ガスケット Gl, G2を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第 1流体 給排口部 1Aの上第 1シール端部 tl 1及び上第 2シール端部 tl2と、第 1及び第 2ガ スケット Gl, G2の上シール部 gl l, g21と力 及び第 2流体給排ロ部 2Aの下第 1及 び下第 2シール端部 t21, t22と、第 1及び第 2ガスケット Gl, G2の下シール部 gl2, g22とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部 10が形成される接合状態を維持 するものに構成されている。即ち、第 2流体給排ロ部 2Aの環状突起 11, 31と第 1及 び第 2ガスケット Gl, G2の上側の環状溝 51, 61とが、及び第 1流体給排ロ部 1Aの 環状突起 21, 41と第 1及び第 2ガスケット Gl, G2の下側の環状溝 51, 61とがそれ ぞれ嵌め合わされる。

[0075] 維持手段 Iの具体構造は、第 2流体給排口部 2Aの取付フランジ 9のボルト揷通孔 9 aに揷通される一対のボルト 66と、一対のボルト揷通孔 9a, 9aに対応して第 1流体給 排ロ部 1Aに (パネル材 5に）形成されたナット部 67, 67とで構成されており、ボルト 6 6をナット部 67に螺着させての締め付け操作により、バルブ 2を集積パネル 1に引寄 せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が 生じて各嵌合シール部 10の圧接力が低下した場合には、ボルト 66を増し締めするこ とで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

[0076] 〔実施例 2〕

実施例 2による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図 4に示すように、集積 パネル 1と、流体デバイスの一例であるポンプ (洗浄装置循環ライン用のベローズポ ンプ等） 2とをフランジ配管 71を介して連通接続させるものである。内外のガスケット G 1, G2を介した接続部自体の構成は実施例 1によるもの同一であるので、主な符号 だけを付すとともに、その詳細な説明は割愛する。

[0077] さて、集積パネル 1については、排出側の流体通路 4の取出し方向力 実施例 1に よる集積パネル 1の場合と逆になつている以外は基本的に同じ構造である。ただし、 実施例 1による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は集積パネルの上面に構成 されているに対して、この実施例 2による接続構造は、集積パネル 1の横側面に構成 されている。ポンプ 2の給排用の流体通路 7, 8は横側面に開口する構造であり、集 積パネル 1では一対の流体通路 3, 4が二重管構造であるに対して、縦に並んで配備 される独立タイプのものである。

[0078] フランジ配管 71は、前述の取付フランジ 9を有するフランジ部 72と、これに続く略二 股状の管路部 73とから成り、管路部 73は、管状の供給側流体通路 74を持つ供給側 配管 73Aと、管状の排出側流体通路 75を持つ排出側の流体通路 73Bとから構成さ れている。フランジ部 72においては、供給側流体通路 74が軸心 Pを中心とする管状 のものとして集積パネル 1の縦通路 3aに正対して開口されるとともに、集積パネル 1 の縦リング通路 4aに正対して開口される環状通路部分 75aが排出側流体通路 75に 連続する状態で形成されている。各流体通路 74, 75は融着等の手段によってボン プ 2のイン側ポート 76、及びアウト側ポート 77に連通状態で接続連結されて 、る。

[0079] このように、二重配管構造のフランジ部 72と独立した 2本の配管部 73とを有するフ ランジ配管 71を用いることにより、集積パネル 1における二重配管構造の第 1流体給 排口部 1 Aと並列配置された一対のイン及びアウト側ポート 76, 77で成る第 2流体給 排ロ部 2Aとを、即ち、集積パネル 1とポンプ 2とを、流体通路の開口構造が互いに異 なるものどうしでありながらも、互いに近接させて無理なくコンパクトに連通接続させる ことができている。

[0080] 〔実施例 3〕

実施例 3による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 5, 6に示す。これは実 施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 1別構造の維持手段 Iにつ いて説明する。なお、図 5, 6においては、図 1〜3に示す実施例 1のものと対応する 箇所には対応する符号を付してある。第 1別構造による維持手段 Iは、図 5及び図 6に 示すように、集積パネル 1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1 流体給排口部 1 Aの外周部に雄ネジ Inを形成し、その雄ネジ Inに螺合自在な雌ネ ジ 8 Inを備えた筒状ナット 81と、ノ レブ 2のバルブケース 6の下端部に形成された外 向きフランジ 9に、環状の流体通路 7の軸心 P方向で干渉する二つ割り、または三つ 割り以上の割型リング 82とから構成されている。第 1流体給排ロ部 1Aの雄ネジ Inに 雌ネジ 8 Inを螺着させての筒状ナット 81の締付け操作により、両流体給排口部 1 A, 2Aを互いに 2個のガスケット Gl, G2を介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、 弓 I寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段 Iに構成されて ヽる。

[0081] 筒状ナット 81のバルブ 2側（上側）に形成される内向きフランジ 83の開口部 83aは、 外向きフランジ 9の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割 型リング 82の外径は、筒状ナット 81に入り込み自在となるよう雌ネジ 81ηの内径よりも 僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ 2の円形の第 2流体給排ロ部 2 Αの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング 82を装備するには、第 2流体給排ロ部 2Aにおける外向きフランジ 9を除いた径の細 い部分の軸方向長さ力 筒状ナット 81の軸方向長さと割型リング 82の厚さとの和を 上回る値とすることが必要である。具体的には、図 6 (b)に示すように、バルブケース 6 の付根部 6tに当接させた状態の筒状ナット 81と外向きフランジ 9との間の長さ d3が、 割型リング 82の厚さ d4よりも大き 、こと（d3 >d4)が条件となる。

[0082] また、筒状ナット 81における雌ネジ 81ηの内奥端部と内向きフランジ 83との間に、 割型リング 82に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング 82の幅寸法をカバーする軸 心 Ρ方向長さを有する内周面部 81mが軸心 Ρと同心にフラットな内周面に形成されて いる。すなわち、筒状ナット 81の雌ネジ 81ηと内向きフランジ 83との間における内径 部 81aが供給側流体通路 7と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面 部 81mの内径が断面矩形に形成された割型リング 82の外径よりも極僅かに大きくし た嵌め合！ヽ公差状態に寸法設定される一方、第 2流体給排口部 2Aの外径部が供給 側流体通路 7と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割 型リング 82の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット 81を螺進さ せた際に割型リング 82が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ 9に筒状 ナット 81の螺進による軸心 P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都 合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ 9を押して、第 1、第 2流体給排ロ 部 1 A, 2Aを互 、に接近する方向に良好に弓 I寄せることができるようにされて！ヽる。

[0083] 第 1別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排口部 1A, 2Aどうしを接続連結する操 作手順は次のようである。先ず、図 6 (a)に示すように、外向きフランジ 9をやり過ごし て筒状ナット 81をバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの外周に嵌装し、その最内奥側ま で (付根部 6tに当接するまで)移動させる。次いで、図 6 (b)に示すように、割型リング 82を、外向きフランジ 9と筒状ナット 81の先端との間を通して第 2流体給排ロ部 2Aに 外嵌装備させる。このとき又はその前に第 1及び第 2ガスケット Gl, G2をいずれかの 流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に環状突起 11, 21, 31, 41と環状溝 51, 61との仮嵌 合を介して装着させておいてもよい。次いで、両ガスケット Gl, G2を介して第 1流体 給排口部 1Aを第 2流体給排口部 2Aにあてが 、、その状態で筒状ナット 81をスライド 移動させて力 締付け操作 [図 6 (c)参照]することにより、図 5に示す接続状態が得 られる。なお、図 6においては、上下に積層される集積パネル 1とバルブ 2とを、図面 記載都合により横倒し状態で描 、てある。

[0084] 〔実施例 4〕

実施例 4による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 7, 8に示す。これは実 施例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 2別構造の維持手段 Iにつ いて説明する。なお、図 7, 8においては、図 1〜3に示す実施例 1のものと対応する 箇所には対応する符号を付してある。第 2別構造の維持手段 Iは、第 1及び第 2流体 給排ロ部 1A, 2Aをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成る第 1及び第 2 円錐台状端部 ID, 2Dと、第 1円錐台状端部 1Dのテーパ外周面 Idに当接する第 1 テーパ内周面 84a、及び、第 2円錐台状端部 2Dのテーパ外周面 2dに当接する第 2 テーパ内周面 84bとによって断面が略く字状を呈する内周面を有する一対の半割円 弧部材 84, 84で成る割型押えリング 85と、半割円弧部材 84, 84どうしを引寄せるボ ルト 86及び一方の半割円弧部材 84に形成されたナット 87とを有して構成されている [0085] 接合状態における第 1円錐台状端部 IDと第 2円錐台状端部 2Dとに跨らせて一対 の半割円弧部材 84を被せた状態において、他方の半割円弧部材 84の揷通孔に 84 hに通されたボルト 86及びナット 87の締め付けにより、一端が蝶番状に支点 Qで枢 支されている半割円弧部材 84, 84どうしが引寄せられることによるテーパ面どうしの 当接による力によって、各流体給排ロ部 1A, 2Aどうしが互いに引寄せられる。割型 押えリング 85は、フッ素榭脂材力も形成されのが好ましいが、アルミ合金等のそれ以 外の材料力 成るものでも良い。

[0086] 第 2別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排口部 1A, 2Aどうしを接続連結する操 作手順は次のようである。先ず、図 8 (a)に示すように、先ず第 1,第 2流体給排ロ部 1 A, 2Aを第 1及び第 2ガスケット G21, G2を介して軽く接続連結させる予備連結操作 を行う。次に、その予備連結された第 1及び第 2円錐台状端部 ID, 2Dに割型押えリ ング 85を被せてボルト 86による締め付け操作を行う。このボルト 86の締め付けにより 、両ガスケット Gl, G2が各流体給排ロ部 1A, 2Aに深く嵌り込み、図 8 (c)に示すよ うに、集積パネル 1とバルブ 2との接続連結状態が得られる。

[0087] 〔実施例 5〕

実施例 5による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 9に示す。これは実施 例 1によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 3別構造の維持手段 Iについ て説明する。なお、図 9においては、図 1〜3に示す実施例 1のものと対応する箇所に は対応する符号を付してある。第 3別構造の維持手段 Iは、集積パネル 1の上面に、 外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第 1 流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにお ヽて外周部に雄ネジ 9nを有する状 態でノ レブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In, 9nに 螺着自在な雌ネジ 91η, 92ηを有する第 1及び第 2リングナット 91, 92と、これらリン グナット 91, 92の外周溝 91m、 92mに嵌着可能な断面形状が略コ字状の係合リン グ 93とから構成されている。

[0088] 両リングナット 91, 92及び係合リング 93の材質は、例えば PFAや PTFE等のフッ 素榭脂製であり、ある程度の可撓性を有している。そこで第 3別構造の維持手段 Iを 用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する手順は、予め各リングナット 91 , 92に係合リング 93を係着して一体ィ匕された第 1及び第 2リングナット 91, 92を形成 しておき、その一体ィ匕された第 1, 2リングナット 91, 92を、ガスケット Gl, G2を介して 互いに引寄せられて組付状態とされて ヽる第 1及び第 2流体給排口部 1A, 2Aに螺 装し、集積パネルと流体デバイスとの接続構造を形成する、という具合になる。勿論、 この場合は各雄ネジ In, 9nが互いに同一のネジであることが条件であり、螺装後に 各リングナット 91, 92を回してより強く締付けたり、或いは後に増し締めすることが行 える。

[0089] また、次のような組付け手順も可能である。即ち、それぞれのリングナット 91, 92を 対応する雄ネジ In, 9nに螺装した状態で、両流体給排ロ部 1A, 2Aを第 1及び第 2 ガスケット Gl, G2を介して引寄せ、ガスケット Gl, G2が圧接されてのシール状態で 接続する引寄せ工程を行う。この引寄せ工程は、維持手段 Iとは別の専用の引寄せ 手段を用いて行う。それから、各雄ネジ In, 9nのそれぞれに互いに隣接する状態で 螺装されている第 1及び第 2リングナット 91, 92の外周溝 91m, 92mに、係合リング 9 3を強制的に拡径変形することで入れ込むことにより、集積パネルと流体デバイスとの 接続構造が形成される。つまり、係合リング 93は無理嵌めによって両リングナット 91, 92に係着される。

[0090] この構成による維持手段 Iは文字通り、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aのガスケ ット Gl, G2を介してのシール接続状態を維持する機能だけを有するものである。し 力しながら、各リングナット 91, 92と係合リング 93とは相対回動可能であるから、これ らリングナット 91, 92は共に単独での回動移動が可能であり、経時変化やクリープ等 によってシール圧接力が低下した場合には、いずれか若しくは双方のリングナット 91 , 92を強制的に回動操作して、増し締め操作を行うことは可能である。

[0091] 〔実施例 6〕

実施例 6による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 10,図 11に示す。この 集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、一対の円管状の流体通路 3, 4が内部 形成された集積パネル 1と、これの上面 laにリング状のガスケット Gを介して搭載され るバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等） 2とに跨って構成された縦向きの軸心 Pを 共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同 一のものとして構成されて 、る。

[0092] 集積パネル 1は、図 10,図 11に示すように、 PFAや PTFE等のフッ素榭脂製のパ ネル材（又はブロック材） 5の内部に、パネル上面 laに開口する上下向きの縦通路 3a , 4aと横向きの横通路 3b, 4bとから成る一対の円管状の供給側流体通路 3, 4が形 成されたものである。この集積パネル 1における給排流体通路 3, 4が開口する部分 を第 1流体給排ロ部 1Aと称するものとし、この第 1流体給排ロ部 1Aにおいては、円 管状の縦通路 3a, 4aのそれぞれが軸心 Pを有する通路に形成されている。また、第 1流体給排ロ部 1Aには、その上端面に開口する各流体通路 3, 4の外径側部分の それぞれには、軸心 Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起 2 1を有する下第 1シール端部 t21及び下第 2シール端部 t22が形成されている。

[0093] バルブ（流体デバイスの一例） 2は、図 10,図 11に示すように、 PFAや PTFE等の フッ素榭脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース 6を有しており、そのバルブ ケース 6の下端部は、底面 6aから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供 給側流体通路 7と、この供給側流体通路 7の横側方に離れて開口する状態で縦向き に配された円管状の排出側流体通路 8とを有した第 2流体給排ロ部 2Aに形成され ている。つまり、この第 2流体給排ロ部 2Aにおいては、円管状の供給側流体通路 7, 8のそれぞれが軸心 Pを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース 6下端 には、一対のボルト揷通孔 9aを有する PFAや PTFE又はその他の材料によるフッ素 榭脂製の取付フランジ 9の一対が下方突出形成されており、流体通路 7, 8を有する 管部 9Aとフランジ部（外向きフランジ） 9Bとで各取付フランジ 9が形成されている。供 給側の取付フランジ 9が、下方突出する環状突起 11を有する上第 1シール端部 ti l に形成され、排出側の取付フランジ 9が、上方突出する環状突起 11を有する上第 2 シール端部 tl2に形成されている。

[0094] 一対のガスケット Gは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケット Gを 例に挙げて説明する。さて、ガスケット Gは、供給側の上下の流体給排ロ部 1A, 2A の相対応する流体通路である縦通路 3a及び供給側流体通路 7どうしを連通すべく形 成された管状の流体経路 W1と、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの端面に形成 された上第 1シール端部 ti lの環状突起 11と上第 2シール端部 tl2の環状突起 21 のそれぞれに嵌合すべく流体経路 W1の外径側部分に形成された上下一対の環状 溝 51 , 51とを有する PFAや PTFE等のフッ素榭脂製のものに構成されて 、る。

[0095] つまり、ガスケット Gの断面形状は、上下一対の環状溝 51, 51と、これら環状溝 51 , 51を形成するための内周壁 54及び外周壁 55とを有するとともに、上下の環状溝 5 1, 51は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁 54, 55も左 右対称であって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aの軸心 P方向に沿う縦中心 Z、 及び、その縦中心線 Zに直交する横中心線 Xの双方に関して線対称（ほぼ線対称で も良い）となる略 H状の形状に形成されている。内周壁 54の上下端部は、内周面 54 aである流体経路 W1の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面 52a , 52aに形成されるとともに、外周壁 55の上下端部も、その外周面 55aの上下端部が 内向き傾斜するテーパ外周面 53a, 53aに形成されている。

[0096] 集積パネル 1の第 1流体給排口部 1 Aの下第 1シール端部 t21の環状突起 21及び バルブ 2の第 2流体給排口部 2Aの上第 1シール端部 tl 1における環状突起 11の内 及び外径側に、ガスケット Gにおける環状溝 51を形成するために軸心 P方向に突出 形成された内外の周壁端部 52, 53が、環状溝 51と環状突起 11, 21との嵌合によつ て拡がり変形するのを阻止する環状押え突起 (環状押え部分の一例） 12, 13, 22, 23が形成されている。

[0097] 上記環状押え突起に関する構造を、ガスケット Gと上第 1シール端部 ti lとについて 説明する。内外の環状押え突起 12, 13は対称のものであり、これらと環状突起 11と で囲まれた谷部 14, 15が奥窄まり状 (上窄まり状)となるように環状突起側の側周面 が傾斜したテーパ外周面 12a及びテーパ内周面 13aを有する先窄まり状の環状突 起に形成されている。つまり、上第 1シール端部 ti lは、環状突起 11とその内外の両 側に形成される環状押え突起 12, 13及び谷部 14, 15の総称である。

[0098] ガスケット Gの内外の周壁 54, 55の上端部は、環状押え突起 12, 13のテーパ外周 面 12aとテーパ内周面 13aのそれぞれに当接するテーパ内周面 52aとテーパ外周面 53aを有して 14, 15に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起 (周壁端部の一 例） 52, 53を有し、接合状態（図 10参照）においては、内外の周壁 54, 55の上端部 である環状シール突起 52, 53が対応する谷部 14, 15に入り込み、上第 1シール端 部 ti lのテーパ外周面 12aとガスケット Gのテーパ内周面 52aとが圧接され、かつ、 上第 1シール端部 ti lのテーパ内周面 13aとガスケット Gのテーパ外周面 53aとが圧 接されるように構成されて 、る。

[0099] つまり、ガスケット Gの上端部には、環状溝 51とその内外の環状シール突起 52, 53 とで上シール部 gl lが形成され、同様に下端部には下シール部 gl2が形成されてい る。上シール部 gl lは上第 1シール端部 ti lと嵌合して嵌合シール部 10を形成し、 下シール部 g 12は下第 2シール端部 t21と嵌合して嵌合シール部 10を形成する。

[0100] 嵌合シール部 10の嵌合構造を、上第 1シール端部 ti lとガスケット Gの上シール部 gl lについて詳細に説明すると、図 11,図 12に示すように、内外の谷部 14, 15どう し、及び内外の環状シール突起 52, 53どうしは互いに対称であって、内外の谷部 1 4, 15全体の挟角 α ° と内外の環状シール突起 52, 53全体の向い角 j8 ° との間に は、 α ° く β。 という関係が設定されており、好ましくは α ° + (20〜40° ) = |8 ° という関係に設定すると良い。この構成により、上第 1シール端部 ti lの上環状突起 1 1と環状溝 51とが嵌り合った接合状態 (後述)では、上内環状押え突起 12と上内環 状シール突起 52とは、それらのテーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとが最内径側 部分で圧接される状態となり（図 12の仮想線を参照）、流体通路 W1を通る流体がこ れら外内のテーパ周面 12a, 52aどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次シー ル部 S2として機能する利点が得られる。

[0101] そして、上環状突起 11の幅 dlと上環状溝 51の幅 d2との間には、 dl >d2という関 係が設定されており、好ましくは dl X (0. 6〜0. 8) =d2という関係に設定すると良 い。そして、上環状突起 11の突出長さ hiと上環状溝 51の深さ h2との間には hl < h 2という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起 11と上環状溝 51と 力 詳しくは、上環状突起 11の内外の両側周面と相対応する上環状溝 51の内外の 側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次 シール部 S1が形成されるとともに、上内環状押え突起 12のテーパ外周面 12aと上内 環状シール突起 52のテーパ内周面 52aとが必ず当接することになり、前述した二次 シール部 S2が良好に形成される利点がある。 [0102] また、内側の環状押え突起 12の先端、及び環状シール突起 52, 53の先端はピン 角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面 12b、並びにカット面 52b, 5 3bに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起 12の先端が流体通路 W1側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通 路 W1途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在 する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じな 、ようになる。加え て、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面 12bとテーパ内周面 52aとの挟角は十 分に大きぐ表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起 11先端の 内角及び外角は面取り加工された形状 11aとしてあるので、幅の狭い環状溝 51への 圧入移動を力じり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

[0103] 外側の環状押え突起 13は、環状押え突起 13のテーパ内周面 13aに続く状態で、 バルブケース 6の下端部を形成するための下端内周部 9bが存在しており、内側の環 状押え突起 12とは全体としての形状は異なる。そして、下第 1シール端部 t21に関し ても、環状押え突起 23のテーパ内周面 23aに続く状態で、パネル材 5の上端部を形 成するための上端内周部 5bが存在しており、やはり、内側の環状押え突起 22とは全 体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部 5b, 9bは、ガスケット Gの上及び 下シール部 gl l, gl2を上及び下第 1シール端部 ti l, t21に嵌め合わす際のガイド として機能するとともに、テーパ内周面 13a, 23aと共にガスケット Gの外周壁 55の拡 力 ^変形を阻止する機能も発揮可能である。

[0104] なお、図 15に仮想線で示すように、ガスケット Gの外周壁 55に横突出するリング状 の脱着フランジ Ifを一体形成しておけば、第 1又は第 2流体給排ロ部 1A, 2Aからガ スケット Gを抜出す際に、工具や手指でフランジ Ifを引張る等して外し易くすることが できるという利点がある。この場合、脱着フランジ Ifの厚みは、接合状態における第 1 及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aどうしの間隙よりも小さい値とする。

[0105] 嵌合シール部 10についてさらに詳述する。図 11,図 12に示すように、環状押え突 起 12, 13のテーパ周面 12a, 13aの開き角（谷部 14, 15の開き角） Dは 50〜70度 の範囲の値 (50° ≤D° ≤70° )に設定されるとともに、環状シール突起 (周壁端部 ) 52, 53のテーパ周面 52a, 53aの尖り角 Eは 60〜80度の範囲の値（60° ≤D° ≤ 80° )に設定されている。そして、開き角 Dと尖り角 Eとには、開き角 Dに 10〜20度を 加えたものが尖り角 Eとなる [D° + (10〜20° ) =E° ]ように設定されている。より 好ましい値としては、開き角 Dが 69〜71度（D° = 70± 1° )、尖り角 Eが 79〜81度 (E° =80± 1° )、及び尖り角 Eは開き角 D+ 9〜： L 1度 (E° — D° = 10± 1° )に 設定すると良い。

[0106] また、環状押え突起 12の傾斜カット面 12bのカット角 Dsは 49〜51度（Ds° = 50 ° ± 1° )に設定されており、周壁端部 52, 53の先端カット面 52b, 53bの迎え角 Es は 124〜126度 (Es° = 125° ± 1° )に設定されている。このような角度設定により 、テーパ外周面 12aとテーパ内周面 52aとは環状の線接触状態で当接されるように なり、シールリップ効果が二次シール部 S2において発揮されるようになる。また、テー パ内周面 13aとテーパ外周面 53aとの間にも、それらの外径側端部にお 、てシール 作用が生じる。尚、図示は省略するが、下端内周部 9bが存在しない場合 (集積パネ ルゃ流体デバイスにおけるガスケット Gとの嵌合部の断面形状が左右対称である場 合）は、外側の環状押え突起 13にも傾斜カット面 12bと同様な傾斜カット面が形成さ れ、前記シールリップ効果が生じる。

[0107] つまり、前記第 1流体給排ロ部 1Aと前記第 2流体給排ロ部 2Aとが互いに引寄せら れる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起 (周壁端部） 52, 53のテ 一パ周面 52a, 53a (テーパ内周面 52a、テーパ外周面 53a)の尖り角 Eが、前記引 寄せ方向に対する前記環状押え突起 12, 13における環状突起 11側のテーパ周面 12a, 13a (テーパ外周面 12a、テーパ内周面 13a)の開き角 Dに 10〜20度、好まし くは 10度又はほぼ 10度カ卩えた値に設定されている。そして、前記尖り角 Eが 60〜80 度、好ましくは 80度又はほぼ 80度に設定されている。

[0108] このように尖り角 E及び開き角 Dを 90度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれ ば、環状押え突起 12, 13は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出 量が小さくなつて相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起 52, 53 の拡がりを規制しながらも、自身 (環状押え突起 12, 13)が径方向へ拡がり変形する おそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起 52 , 53の谷部 14, 15への刺さり込みによってテーパ周面 52a, 53aが環状押え突起 1 2, 13を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起 12, 13の 径方向への拡がり変形を抑制することができる。

[0109] 次に、維持手段 Iについて説明する。維持手段 Iは、図 11,図 12に示すように、集 積パネル 1の第 1流体給排口部 1 Aとバルブ 2の第 2流体給排口部 2Aとが互いにガ スケット Gを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第 1流体給排ロ部 1 Aの上第 1シール端部 ti lと、ガスケット Gの上シール部 gl lとが、及び第 2流体給排 口部 2 Aの下第 1シール端部 121と、ガスケット Gの下シール部 g 12とがそれぞれ嵌め 合わされて各嵌合シール部 10が形成される接合状態を維持するものに構成されて いる。即ち、第 2流体給排雄ロ部 2Aの環状突起 11とガスケット Gの上側の環状溝 51 とが、及び第 1流体給排雄口部 1 Aの環状突起 21とガスケット Gの下側の環状溝 51と がそれぞれ嵌め合わされる。

[0110] 維持手段 Iの具体構造は、第 2流体給排ロ部 2Aのフランジ部 9Bのボルト揷通孔 9a に揷通される一対のボルト 66と、一対のボルト揷通孔 9a, 9aに対応して第 1流体給 排ロ部 1Aに (パネル材 5に）形成されたナット部 67, 67とで構成されており、ボルト 6 6をナット部 67に螺着させての締め付け操作により、バルブ 2を集積パネル 1に引寄 せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段 Iに構 成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部 10の圧接力が 低下した場合には、ボルト 66を増し締めすることで対処することができ、良好なシー ル性能を維持することが可能である。

[0111] 〔実施例 7〕

実施例 7による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 13に示す。これは、流 体デバイスの一例であるフィルタ 2と集積パネル 1とを接続連結させる構造であり、接 続構造自体は図 10〜図 12に示す実施例 6によるものと同じである。従って、同じ箇 所には同じ符号を付すものとし、その説明は割愛する。

[0112] フィルタ 2は、本体ケース 2Kと下部ケース 2Bと濾過体 2Cとから成り、下部ケース 2B には供給側の流体通路 7と排出側の流体通路 8、及びこれら流体通路 7, 8を有する 状態で横に張り出し形成される一対の取付フランジ 9, 9が形成されている。これら取 付フランジ 9, 9と集積パネル 1とがガスケット Gを介して接続連結される。 [0113] 〔実施例 8〕

実施例 8による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図 14に示すように、集 積パネル 1と流体デバイスの一例であるレギユレータ 2との接続構造である。レギユレ ータ 2は、上部ケース、中間ケース、及び下部ケース力も成るケーシング 2Cを有し、 上部ケースと中間ケースとの間で外周部が挟持されるべローズ（図示省略）、中間ケ ースと下部ケースとの間で外周部が挟持される弁体 (図示省略)、下部ケースに収容 される戻しパネ（図示省略)等から構成されて 、る。

[0114] ケーシング 2Cには横側方に張り出し形成される一対の取付フランジ 9, 9がー体的 に装備されており、これら取付フランジ 9, 9を用いてレギユレータ 2が集積パネル 1の 上面 laにガスケット Gを介して接続連結される。このガスケット Gを介しての取付フラ ンジ 9と集積パネル 1の上面 laとの接続構造は、図 10〜図 12に示す実施例 6による ものと同じであり、その詳細説明は割愛する。

[0115] 〔実施例 9〕

実施例 9による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 15,図 16に示す。こ れは実施例 6によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 1別構造の維持手 段 Iについて説明する。なお、図 15, 16いては、図 10〜図 12に示す実施例 6のもの と対応する箇所には対応する符号を付してある。別構造による維持手段 Iは、図 15及 び図 16に示すように、集積パネル 1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起 状の第 1流体給排ロ部 1Aの外周部に雄ネジ Inを形成し、その雄ネジ Inに螺合自 在な雌ネジ 8 Inを備えた筒状ナット 81と、バルブ 2のバルブケース 6の下端部に形成 された外向きフランジ 9に、環状の流体通路 7の軸心 P方向で干渉する二つ割り、ま たは三つ割り以上の割型リング 82とから構成されている。第 1流体給排ロ部 1Aの雄 ネジ Inに雌ネジ 81ηを螺着させての筒状ナット 81の締付け操作により、両流体給排 口部 1A, 2Αを互いにガスケット Gを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引 寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段 Iに構成されている。

[0116] 筒状ナット 81のバルブ 2側（上側）に形成される内向きフランジ 83の開口部 83aは、 外向きフランジ 9の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割 型リング 82の外径は、筒状ナット 81に入り込み自在となるよう雌ネジ 81ηの内径よりも 僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ 2の円形の第 2流体給排ロ部 2 Aの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング 82を装備するには、第 2流体給排ロ部 2Aにおける外向きフランジ 9を除いた径の細 い部分の軸方向長さ力 筒状ナット 81の軸方向長さと割型リング 82の厚さとの和を 上回る値とすることが必要である。具体的には、図 16 (b)に示すように、バルブケース 6の付根部 6tに当接させた状態の筒状ナット 81と外向きフランジ 9との間の長さ d3が 、割型リング 82の厚さ d4よりも大き 、こと (d3 >d4)が条件となる。

[0117] また、筒状ナット 81における雌ネジ 81ηの内奥端部と内向きフランジ 83との間に、 割型リング 82に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング 82の幅寸法をカバーする軸 心 Ρ方向長さを有する内周面部 81mが軸心 Ρと同心にフラットな内周面に形成されて いる。すなわち、筒状ナット 81の雌ネジ 81ηと内向きフランジ 83との間における内径 部 81aが供給側流体通路 7と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面 部 81mの内径が断面矩形に形成された割型リング 82の外径よりも極僅かに大きくし た嵌め合！ヽ公差状態に寸法設定される一方、第 2流体給排口部 2Aの外径部が供給 側流体通路 7と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割 型リング 82の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット 81を螺進さ せた際に割型リング 82が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ 9に筒状 ナット 81の螺進による軸心 P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都 合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ 9を押して、第 1、第 2流体給排ロ 部 1 A, 2Aを互 、に接近する方向に良好に弓 I寄せることができるようにされて！ヽる。

[0118] 第 1別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操 作手順は次のようである。先ず、図 16 (a)に示すように、外向きフランジ 9をやり過ごし て筒状ナット 81をバルブ 2の第 2流体給排ロ部 2Aの外周に嵌装し、その最内奥側ま で (付根部 6tに当接するまで)移動させる。次いで、図 16 (b)に示すように、割型リン グ 82を、外向きフランジ 9と筒状ナット 81の先端との間を通して第 2流体給排ロ部 2A に外嵌装備させる。このとき又はその前にガスケット Gをいずれかの流体給排ロ部 1 A, 2Aの端面に環状突起 11, 21, 31, 41と環状溝 51, 61との仮嵌合を介して装着 させておいてもよい。次いで、ガスケット Gを介して第 1流体給排ロ部 1Aを第 2流体 給排ロ部 2Aにあて力 Sい、その状態で筒状ナット 81をスライド移動させてカゝら締付け 操作 [図 16 (c)参照]することにより、図 15に示す接続状態が得られる。なお、図 16 においては、上下に積層される集積パネル 1とバルブ 2とを、図面記載都合により横 倒し状態で描いてある。

[0119] 〔実施例 10〕

実施例 10による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 17,図 18に示す。こ れは実施例 6によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 2別構造の維持手 段 Iについて説明する。なお、図 17, 18においては、図 10〜図 12に示す実施例 6の ものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第 2別構造の維持手段 Iは、第 1及び第 2流体給排口部 1 A, 2Aをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成 る第 1及び第 2裁頭円錐台状端部 ID, 2Dと、第 1裁頭円錐台状端部 1Dのテーパ外 周面 Idに当接する第 1テーパ内周面 84a、及び、第 2裁頭円錐台状端部 2Dのテー パ外周面 2dに当接する第 2テーパ内周面 84bとによって断面が略く字状を呈する内 周面を有する一対の半割円弧部材 84, 84で成る割型押えリング 85と、半割円弧部 材 84, 84どうしを引寄せるボルト 86及び一方の半割円弧部材 84に形成されたナット 87とを有して構成されて 、る。

[0120] 接合状態における第 1裁頭円錐台状端部 1Dと第 2裁頭円錐台状端部 2Dとに跨ら せて一対の半割円弧部材 84を被せた状態において、他方の半割円弧部材 84の挿 通孔に 84hに通されたボルト 86及びナット 87の締め付けにより、一端が蝶番状に支 点 Qで枢支されている半割円弧部材 84, 84どうしが引寄せられることによるテーパ面 どうしの当接による力によって、各流体給排ロ部 1A, 2Aどうしが互いに引寄せられ る。割型押えリング 85は、フッ素榭脂材力も形成されのが好ましいが、アルミ合金等 のそれ以外の材料力も成るものでも良い。

[0121] 第 2別構造の維持手段 Iを用いて両流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する操 作手順は次のようである。まず、図 18 (a)に示すように、第 1,第 2流体給排ロ部 1A, 2Aをガスケット Gを介して軽く接続連結させる予備連結操作を行う。次に、図 18 (b) に示すように、その予備連結された第 1及び第 2裁頭円錐台状端部 ID, 2Dに割型 押えリング 85を被せてボルト 86による締め付け操作を行う。このボルト 86の締め付け により、ガスケット Gが各流体給排ロ部 1A, 2Aに深く嵌り込み、図 18 (c)に示すよう に、集積パネル 1とバルブ 2との接続連結状態が得られる。

[0122] 〔実施例 11〕

実施例 11による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 19に示す。これは実 施例 6によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 3別構造の維持手段 Iにつ いて説明する。なお、図 19においては、図 10〜図 12に示す実施例 6のものと対応 する箇所には対応する符号を付してある。第 3別構造の維持手段 Iは、集積パネル 1 の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突 起状の第 1流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにお 、て外周部に雄ネジ 9n を有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネ ジ In, 9nに螺着自在な雌ネジ 9 In, 92ηを有する第 1及び第 2リングナット 91, 92と 、これらリングナット 91, 92の外周溝 91m、 92mに嵌着可能な断面形状が略コ字状 の係合リング 93とから構成されて 、る。

[0123] 両リングナット 91, 92及び係合リング 93は、例えば PFAや PTFE等のフッ素榭脂 製であり、ある程度の可撓性を有している。そこで第 3別構造の維持手段 Iを用いて両 流体給排ロ部 1A, 2Aどうしを接続連結する手順は、予め各リングナット 91, 92に係 合リング 93を係着して一体ィ匕された第 1及び第 2リングナット 91, 92を形成しておき、 その一体ィ匕された第 1, 2リングナット 91, 92を、ガスケット Gを介して互いに引寄せら れて組付状態とされている第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aに螺装し、集積パネ ルと流体デバイスとの接続構造を形成する、という具合になる。勿論、この場合は各 雄ネジ In, 9nが互いに同一のネジであることが条件であり、螺装後に各リングナット 9 1, 92を回してより強く締付けたり、或いは後に増し締めすることが行える。

[0124] また、次のような組付け手順も可能である。即ち、それぞれのリングナット 91, 92を 対応する雄ネジ In, 9nに螺装した状態で、両流体給排ロ部 1A, 2Aをガスケット Gを 介して引寄せ、ガスケット Gが圧接されてのシール状態で接続する弓 I寄せ工程を行う 。この引寄せ工程は、維持手段 Iとは別の専用の引寄せ手段を用いて行う。それから 、各雄ネジ In, 9nのそれぞれに互いに隣接する状態で螺装されている第 1及び第 2 リングナット 91, 92の外周溝 91m, 92mに、係合リング 93を強制的に拡径変形する ことで入れ込むことにより、集積パネルと流体デバイスとの接続構造が形成される。つ まり、係合リング 93は無理嵌めによって両リングナット 91, 92に係着される。

[0125] この構成による維持手段 Iは文字通り、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aのガスケ ット Gを介してのシール接続状態を維持する機能だけを有するものである。しかしな がら、各リングナット 91, 92と係合リング 93とは相対回動可能であるから、これらリン グナット 91, 92は共に単独での回動移動が可能であり、経時変化やクリープ等によ つてシール圧接力が低下した場合には、いずれか若しくは双方のリングナット 91, 92 を強制的に回動操作して、増し締め操作を行うことは可能である。

[0126] 〔実施例 12〕

実施例 12による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 20に示す。これは実 施例 6によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 4別構造の維持手段 Iにつ いて説明する。第 4別構造の維持手段 Iは、図 20に示すように、集積パネル 1の上面 に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の 第 1流体給排口部 1Aと、第 2流体給排口部 2Aにお ヽて外周部に雄ネジ 9nを有する 状態でノ レブケース 6の下端部に形成されたフランジ部 9と、これら両雄ネジ In, 9n に螺着自在な雌ネジ 101ηを有する筒状ナット 101とから構成されている。

[0127] 筒状ナット 101は、先端側の雌ネジ 101ηと基端側の内向きフランジ 102との間に、 雄ネジ In, 9nよりも大径の抉り内周部 101aが形成されており、内向きフランジ 102 は、軸心 P方向においてフランジ部 9に干渉する内径寸法に形成されている。図 20 に示す組付け状態では、流体デバイス 2の雄ネジ 9nは抉り内周部 101aに収容され ており、集積パネル 1の雄ネジ Inと雌ネジ 101ηとのみが螺合した状態であり、これに よって、第 1及び第 2流体給排ロ部 1A, 2Aどうしが互いに引寄せられた状態を維持 している。

[0128] 組付けるには、まず、筒状ナット 101の雌ネジ 101ηを流体デバイス 2のフランジ部 9 の雄ネジ 9nに螺合させて締め込み、雄ネジ 9nをやり過ごして抉り内周部 101aに回 転自在に収容する状態にしておき、その状態でガスケット Gを介して集積パネル 1の 雄ネジ Inに雌ネジ 101ηを螺合させて締付ける。すると、筒状ナット 101はフランジ部 9の雄ネジ 9nとは相対的に空回りするので、集積パネル 1のみが締め付けによって 螺進し、その結果、集積パネル 1と流体デバイス 2とが引寄せられ、ガスケット Gによつ て流体通路 3, 7がシール状態で連通接続される引寄せ状態が維持されるのであり、 弓 I寄せ機能付の維持手段 Iに構成されて 、る。

[0129] 〔実施例 13〕

実施例 13による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図 21に示す。これは実 施例 6によるものと維持手段 Iが異なるのみであり、その第 5別構造の維持手段 Iにつ いて説明する。第 5別構造の維持手段 Iは、図 15に示す第 1別構造の維持手段 Iと、 図 20に示す第 4別構造の維持手段 Iとの折衷案的な構成のものであって、図 21に示 すように、集積パネル 1の上面に、外周部に雄ネジ Inを有する状態で形成された平 面視で円形を呈する突起状の第 1流体給排口部 1 Aと、第 2流体給排口部 2Aにお 、 て外周部に雄ネジ 9nを有する状態でバルブケース 6の下端部に形成されたフランジ 部 9と、これら両雄ネジ In, 9nに螺着自在な雌ネジ 11 Inを有する筒状ナット 111と、 割型リング 112とから構成されて 、る。

[0130] 筒状ナット 111は、先端側の雌ネジ l l lnと基端側の内向きフランジ 113との間に、 雄ネジ In, 9nよりも大径の抉り内周部 11 laが形成されており、内向きフランジ 113 は、軸心 P方向にぉ 、てフランジ部 9に干渉しな 、程度の内径部 113aを有するもの に形成されている。割型リング 112は、円形のリングが三個以上に分断されたような（ 例： 120度弱の扇型部材の 3個力も成る）ものであり、内向きフランジ 113や雌ネジ 11 Inをやり過ごして外部から抉り内周部 11 laに入れ込むこと、並びに抉り内周部 111 aにおいてリング状の形に組むことが自在である。また、割型リング 112を、スナップリ ングのように径方向にある程度橈むことで抉り内周部 11 laに入れ込める可撓性を有 した単一の C字状体力も構成することも可能である。

[0131] この第 5別構造による維持手段 Iを用いた組付けは次のようである。即ち、上述した 要領によって予め割型リング 112を抉り内周部 11 laに入れ込んだ状態としておき、 それ以後の工程は、前述した第 4別構造の維持手段 Iの場合と同じである。従って、 これ以上の組付け手順の説明は割愛する。

[0132] 〔その他の実施例〕

図 1〜図 3に示す集積パネルと流体デバイスとの同心多重流路型接続構造におい ては、外径側の第 2ガスケット G2は、図示は省略するが、外周壁 63の上下端が内周 壁 53よりも短ぐかつ、単に水平状に切断された構造のものでも良い。二重配管接続 構造では、最外径側の第 2ガスケット G2の外周壁 63にはシール機能が無くても良い 。実施例 1〜5におけるガスケット Gl, G2は上下及び左右に対称形状のものである 力 例えば、内外の周壁の長さや厚みの異なるものや、上下非対称のものなどでも良 ぐ図示の形状に限定されない。また、外側の環状流体通路 8のさらに外側に一又は 複数の環状の流体通路を有する三重以上の集積パネルと流体デバイスとの接続構 造も可能であり、最外側に位置するガスケット以外のガスケットは、その内外周面の双 方が流体経路を兼ねる構成が採れる。

なお、本発明における「流体デバイス」とは、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体 貯留容器、熱交換器、レギユレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管等の、 要は集積パネル以外の流体関係のものの総称と定義する。さらに、引寄せ機能付維 持手段としては、ターンバックル式 (例：図 9や図 19に示す構造において、いずれか の雄ネジ In, 9nを逆ネジとして、これら両雄ネジ In, 9nに跨るターンバックルナット を螺装する構造)のものも可能である。また、環状押え突起 33, 43については、環状 押え壁部 33, 43に読み代えるものとし、これら環状押え突起 12, 13, 22, 23, 32, 42と環状押え壁部 33, 43とを総称して「環状押え部分」と定義するものとする。

Claims

請求の範囲

[1] 管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形 成されて開口する第 1流体給排口部を備えた集積パネルの前記第 1流体給排口部と

、管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形 成されて開口する第 2流体給排口部を備えた流体デバイスの前記第 2流体給排口部 とを、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、前記第 1流体給排ロ部と前 記第 2流体給排ロ部の間に介在される複数のリング状のガスケットによって各流体通 路がシールされる状態で連通接続するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部及び前記第 2流体給排ロ部には、各端面に開口する前記 各流体通路の外径側部分に環状突起が形成され、

前記各ガスケットは、前記第 1,第 2流体給排ロ部の相対応する前記流体通路どう しを連通すべく形成された流体経路と、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面に形 成された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成 された一対の環状溝とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、

前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とが互いに前記複数のガスケットを介し て引寄せられて、前記第 1流体給排ロ部の前記環状突起と前記各ガスケットの一端 の環状溝とが、及び前記第 2流体給排口部の前記環状突起と前記各ガスケットの他 端の前記環状溝とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部が形成された接合状態 を維持する維持手段が装備されるとともに、

前記複数のガスケットのうち、前記接合状態にぉ ヽて内径側及び外径側の双方に 前記流体通路が存在する中間ガスケットは、これの外周面が、前記中間ガスケットの 外径側に存する前記第 1流体給排ロ部の前記環状の流体通路と前記第 2流体給排 口部の前記環状の流体通路とを連通する環状の流体経路を形成するための壁面と なる状態に形成されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[2] 前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面における前記環状突起の内及び外径側に 、前記ガスケットにおける前記環状溝を形成するために軸心方向に突出形成された 内外の周壁端部が、前記環状溝と前記環状突起との嵌合によって拡がり変形するの を抑制又は阻止する環状押え部分が形成されて 、る請求項 1に記載の集積パネルと 流体デバイスとの接続構造。

[3] 前記周壁端部と前記環状押え部分とが前記接合状態においては圧接されてシー ル部を形成するように構成されて ヽる請求項 2に記載の集積パネルと流体デバイスと の接続構造。

[4] 前記環状押え部分は、これと前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるよ うに前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面を有する先窄まり状の環状突 起に形成されており、前記周壁端部は、前記環状押え部分のテーパ周面に当接す るテーパ周面を有して前記谷部に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成され て、前記接合状態においては前記周壁端部が前記谷部に入り込んで前記両テーパ 周面どうしが圧接されるように構成されている請求項 3に記載の集積パネルと流体デ バイスとの接続構造。

[5] 前記ガスケットの断面形状が、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の軸心方向に沿う中 心線、及び、その中心線に直交する中心線の双方に関して線対称となる略 H型形状 を呈するものに構成されている請求項 1〜4の何れか一項に記載の集積パネルと流 体デバイスとの接続構造。

[6] 前記維持手段は、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とを弓 I寄せて前記接 合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項 1〜5の何 れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[7] 前記維持手段が、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との少なくとも 、ずれ か一方の端部に形成された外向きフランジと、この外向きフランジに形成される貫通 孔と、この貫通孔を通して前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との 、ずれか 他方に設けられたナット部に螺着されるボルトとを有して構成されており、

前記ボルトを前記ナット部に螺着させて締付けることにより前記第 1流体給排口部と 第 2流体給排ロ部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられるように構成 されて ヽる請求項 6に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[8] 前記維持手段が、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部の 、ずれか一方の 外周部に形成された雄ネジ部に螺合自在な雌ネジ部を備えた筒状ナットと、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部の ヽずれか他方の端部に形成された外向きフラ ンジに前記第 1, 2流体給排ロ部の軸心方向で干渉するよう前記第 1流体給排ロ部 と第 2流体給排ロ部のいずれか他方の端部に外嵌された割型リングとから成り、 前記筒状ナットの一端部には、前記外向きフランジの通過は許容し、かつ、前記割 型リングとは前記軸心方向で干渉する開口部を有する内向きフランジが形成されて おり、

前記筒状ナットの前記雄ネジ部への締付け操作によって、前記第 1流体給排口部 と第 2流体給排口部とが互 、に前記複数のガスケットを介して引寄せられるように構 成されて!/ヽる請求項 6に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[9] 前記ガスケットがフッ素榭脂によって形成されている請求項 1〜8の何れか一項に 記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[10] 前記第 1及び第 2流体給排ロ部がフッ素榭脂によって形成されている請求項 1〜9 の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[11] 管状の流体通路が開口する第 1流体給排ロ部を備えた集積パネルの前記第 1流 体給排ロ部と、管状の流体通路が開口する第 2流体給排ロ部を備えた流体デバイス の前記第 2流体給排口部とを、これら第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との間に 介在されるリング状のガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続 するにあたり、

前記第 1流体給排ロ部及び前記第 2流体給排ロ部には、各端面に開口する前記 各流体通路の外径側部分に環状突起が形成され、

前記ガスケットは、前記第 1,第 2流体給排ロ部の相対応する前記流体通路どうし を連通すべく形成された流体経路と、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面に形成 された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成さ れた一対の環状溝とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、

前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引寄 せられて、前記第 1流体給排口部の前記環状突起と前記ガスケットの一端の環状溝 とが、及び前記第 2流体給排口部の前記環状突起と前記ガスケットの他端の前記環 状溝とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部が形成された接合状態を維持する 維持手段が装備されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[12] 前記第 1及び第 2流体給排ロ部の端面における前記環状突起の内及び外径側に 、前記ガスケットにおける前記環状溝を形成するために軸心方向に突出形成された 内外の周壁端部が、前記環状溝と前記環状突起との嵌合によって拡がり変形するの を抑制又は阻止する環状押え部分が形成されて 、る請求項 11に記載の集積パネル と流体デバイスとの接続構造。

[13] 前記周壁端部と前記環状押え部分とが前記接合状態においては圧接されてシー ル部を形成するように構成されて ヽる請求項 12に記載の集積パネルと流体デバイス との接続構造。

[14] 前記環状押え部分は、これと前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるよ うに前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面を有する先窄まり状の環状突 起に形成されており、前記周壁端部は、前記環状押え部分のテーパ周面に当接す るテーパ周面を有して前記谷部に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成され て、前記接合状態においては前記周壁端部が前記谷部に入り込んで前記両テーパ 周面どうしが圧接されるように構成されている請求項 13に記載の集積パネルと流体 デバイスとの接続構造。

[15] 前記集積パネルに前記第 1流体給排口部が複数形成され、前記流体デバイスに 前記第 2流体給排口部が前記第 1流体給排口部の存在数に対応して複数形成され るとともに、これら複数の第 1及び第 2流体給排口部が互いに同一の平面上にぉ 、て それぞれが前記ガスケットを介して連通接続自在に構成されて ヽる請求項 11〜14 の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[16] 前記ガスケットの断面形状が、前記第 1及び第 2流体給排ロ部の軸心方向に沿う中 心線、及び、その中心線に直交する中心線の双方に関して線対称となる略 H型形状 を呈するものに構成されている請求項 11〜15の何れか一項に記載の集積パネルと 流体デバイスとの接続構造。

[17] 前記維持手段は、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部とを引寄せて前記接 合状態を得るための弓 I寄せ機能を発揮するものに構成されて ヽる請求項 11〜 16の 何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[18] 前記維持手段が、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との少なくとも 、ずれ か一方の端部に形成された外向きフランジと、この外向きフランジに形成される貫通 孔と、この貫通孔を通して前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部との 、ずれか 他方に設けられたナット部に螺着されるボルトとを有して構成されており、

前記ボルトを前記ナット部に螺着させて締付けることにより前記第 1流体給排口部と 第 2流体給排口部とが互 、に前記ガスケットを介して引寄せられるように構成されて いる請求項 17に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[19] 前記維持手段が、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部の 、ずれか一方の 外周部に形成された雄ネジ部に螺合自在な雌ネジ部を備えた筒状ナットと、前記第 1流体給排口部と第 2流体給排口部の ヽずれか他方の端部に形成された外向きフラ ンジに前記第 1, 2流体給排ロ部の軸心方向で干渉するよう前記第 1流体給排ロ部 と第 2流体給排ロ部のいずれか他方の端部に外嵌された割型リングとから成り、 前記筒状ナットの一端部には、前記外向きフランジの通過は許容し、かつ、前記割 型リングとは前記軸心方向で干渉する開口部を有する内向きフランジが形成されて おり、

前記筒状ナットの前記雄ネジ部への締付け操作によって、前記第 1流体給排口部 と第 2流体給排口部とが互 、に前記ガスケットを介して引寄せられるように構成されて いる請求項 17に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[20] 前記ガスケットがフッ素榭脂によって形成されている請求項 11〜19の何れか一項 に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。

[21] 前記第 1及び第 2流体給排ロ部がフッ素榭脂によって形成されている請求項 11〜

20の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。