JP4445918B2 - 流体用ガスケット - Google Patents

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Description

本発明は、主として流体デバイスどうしの接続部に用いられる流体用ガスケットに係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程等で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等における集積パネル、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ等の流体デバイスどうしをシール状態で連通接続させるために介装される流体用ガスケットに関するものである。
従来の流体用ガスケットとして、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結する構造部分に採用されるものがあり、特許文献1や特許文献2において開示された接続構用のガスケットが知られている。特許文献1で開示される流体用ガスケットは、互いに近接させて配列され、複数のボルトで液密に接続連結される一対の給排流路の間に介装されるものであって、互いに独立した複数のガスケットから成るものである。特許文献2で開示される流体用ガスケットは、互いに近接させて配列され、単一の外ねじナットを用いて接続連結される一対の給排流路の間に介装されるものであって、一対の流路孔を有した単一のガスケットとして構成されている。
特許文献1や2に開示されている流体用ガスケットは、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採る接続構造に用いられるものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化を可能とさせる点で有用なものである。そこで、コンパクト化やモジュール化をさらに促進させるには、流体デバイス単品の小型化は勿論であるが、その流体デバイス自体のコンパクト化が実現されたその次には、集積パネルと流体デバイスといった具合に流体デバイスどうしの接続構造のコンパクト化に寄与するガスケットが必要になってくると予測される。
特開2001−82609号公報 特開平10−169859号公報
そこで、本発明の目的は、上述した利点を有する集積パネルを用いた配管系における集積化の促進に寄与できる等、流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とさせる流体用ガスケットを実現して提供する点にある。
請求項1に係る発明は、流体用ガスケットにおいて、
管状の流体通路3又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路4とが同心状に形成されて開口する第1流体給排口部1Aを備えた第1流体デバイス1の前記第1流体給排口部1Aと、管状の流体通路7又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路8とが同心状に形成されて開口する第2流体給排口部2Aを備えた第2流体デバイス2の前記第2流体給排口部2Aとを、それぞれの複数の流体通路3,4,7,8が相対応され、かつ、各流体通路3,4,7,8がシールされる状態で連通接続すべく、前記第1流体給排口部1Aと前記第2流体給排口部2Aの間に介在される複数のリング状ガスケット部G1,G2が備えられ、
前記各リング状ガスケット部G1,G2の夫々は、前記第1流体給排口部1Aに当接してシールする二次シール部S2を形成するための周壁端部52,53,62,63、及び前記第1流体給排口部1Aの前記流体通路3,4の外径側部分に形成される第1環状突起21,41に嵌合して一次シール部S1を形成するための第1環状溝51,61を有する第1シール部g12,g22と、前記第2流体給排口部2Aに当接してシールする二次シール部S2を形成するための周壁端部52,53,62,63、及び前記第2流体給排口部2Aの前記流体通路7,8の外径側部分に形成される第2環状突起11,31に嵌合して一次シール部S1を形成するための第2環状溝51,61を有する第2シール部g11,g21と、を有して略H形の断面形状を呈するとともに、
前記各リング状ガスケット部G1,G2の夫々には、前記第1流体給排口部1Aの流体通路3,4と前記第2流体給排口部2Aの流体通路7,8とを連通するための流体経路w1,w2とが形成され、
前記複数のリング状ガスケット部G1,G2のうちの径方向で隣合うものどうしを連結して一体化すべく、前記流体経路w1,w2を横切る状態で配置されるブリッジ部Bが設けられ、
前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに引寄せられて、前記各第1環状突起21,41と前記各第1環状溝51,61とが、及び前記各第2環状突起11,31と前記各第2環状溝51,61とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記各第1環状突起21,41と前記各第1環状溝51,61、及び前記各第2環状突起11,31と前記各第2環状溝51,61がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部10が形成自在に構成されていることを特徴とするものである。
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Bの断面が、前記流体経路w2の軸心P方向に沿う寸法Hbが前記軸心Pに対する周方向に沿う寸法Sbよりも大となる形状に設定されていることを特徴とするものである。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Bが、前記流体経路w2における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されていることを特徴とするものである。
請求項4に係る発明は、請求項1〜3の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Bが、前記流体経路w2における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく渦巻状に形成されていることを特徴とするものである。
請求項5に係る発明は、請求項1〜4の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記ブリッジ部Bの前記流体経路w2の軸心Pに沿う方向の厚みHbが、前記リング状ガスケット部G1,G2における前記第1環状溝51,61と前記第2環状溝51,61との夫々の溝底で挟まれる連結部分Rの前記流体経路w2の軸心Pに沿う方向の厚みHr以下の値に設定され、かつ、前記ブリッジ部Bは、前記流体経路w2の軸心P方向において前記連結部分Rに相対応する位置に形成されていることを特徴とするものである。
請求項6に係る発明は、請求項5に記載の流体用ガスケットにおいて、前記各環状溝51,61を形成すべく前記第1及び第2シール部g12,g22,g11、g21のそれぞれにおける前記流体経路w2の軸心P方向に突出形成された内及び外周壁の端部52,53,62,63には、前記第1及び第2流体給排口部1A,2Aの端部における前記環状突起21,41,11,31の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部22,23,12,13,42,43,32,33との協働により、前記内及び外周壁の端部52,53,62,63が前記環状溝51,61と前記環状突起21,41,11,31との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部Kが形成されていることを特徴とするものである。
請求項7に係る発明は、請求項6に記載の流体用ガスケットにおいて、前記拡張規制部Kは、前記接合状態においては前記支え部22,23,12,13,42,43,32,33に圧接されてシール部S2を形成するように構成されていることを特徴とするものである。
請求項8に係る発明は、請求項7に記載の流体用ガスケットにおいて、前記拡張規制部Kは、前記支え部22,23,12,13,42,43,32,33と前記環状突起21,41,11,31とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部24,25,14,15,44,45,34,35に入り込み自在な先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部52,53,62,63で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部52,53,62,63に形成されるテーパ周面52a,53a,62a,63aが、前記支え部22,23,12,13,42,43,32,33における前記環状突起側のテーパ周面22a,23a,12a,13a,42a,43a,32a,33aに圧接される状態に構成されていることを特徴とするものである。
請求項9に係る発明は、請求項5〜8の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記略H形の断面形状が、前記流体経路w2の軸心P方向に沿う中心線Z、及び、その中心線Zに直交する中心線Xの双方に関して線対称となるものに設定されていることを特徴とするものである。
請求項10に係る発明は、請求項1〜9の何れか一項に記載の流体用ガスケットGがフッ素樹脂で形成されていることを特徴とするものである。
請求項1の発明によれば、各リング状ガスケット部の一端部である第1シール部及び他端部である第2シール部と各流体給排口部とが夫々当接してシールされるので、各流体デバイスどうしがシール状態で連通接続されるようになる。このように、二以上の流体通路を同心状に多重配管することにより、複数の流体通路を独立して配列する構造に比べて接続構造部分のコンパクト化を図ろうとするに役立つ流体用ガスケットを得ることができる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。
そして、流体経路を横切る状態で配置されるブリッジ部によって、内外複数のリング状ガスケット部のうちの径方向で相隣るものどうしが連結一体化されて、部品としては単一のガスケットに構成されているから、例えば、各リング状ガスケット部が独立していて複数のガスケットを用いる手段に比べて、組付けに要する手間や時間を削減できるとともに、部品数が少なくなる分、ガスケットを紛失する可能性を低くすることができるようにもなる。また、組付状態ではガスケットは流体給排口部に圧入される等、密着嵌合していることからその取外し作業が難しい傾向にあるが、本発明の流体用ガスケットでは、ブリッジ部を摘んで引張るといった具合に、ブリッジ部の存在を利用して簡単で容易に取外し作業を行うことができる。
その結果、種々の利点を有する集積パネルを用いた配管系における集積化の促進に寄与できる等、流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とさせる流体用ガスケットを、ブリッジ部によって複数のリング状ガスケット部が一体化されて単一の部品となり、組付け、取外し作業の容易化や効率化が図れる好ましい状態のものとして提供することができる。
そして、第1,2流体給排口部にそれぞれに形成された環状突起と、各リング状ガスケット部の第1シール部及び第2シール部にそれぞれ形成された環状溝とが互いに嵌り合って嵌合シール部を形成するので、第1,2流体給給排口部間からの液漏れを阻止できて優れたシール性を得ることが可能になる。そして、維持手段によって、両流体給排口部どうしが互いに引寄せられて各リング状ガスケット部によってシールされた接合状態を維持できるので、流体デバイスどうしが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、流体デバイスどうしの接続構造を信頼性に優れるものにできる流体用ガスケットを提供することができる。
ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化(圧縮変形)せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項1においては、流体デバイスに凸である環状突起を、かつ、流体用ガスケットに凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、流体デバイスに比べて小さな部品である流体用ガスケット側であって流体デバイス側は殆ど変形しないから、流体用ガスケットを交換することで長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が廉価に実現できる効果がある。
加えて、流体用ガスケットの内外に流体通路が形成されることとなる中間のリング状ガスケット部においては、その内周部だけでなく、外周部も流体経路の壁面に兼用される構造となるので、内外で隣り合う流体通路の間隔は中間のリング状ガスケット部の厚みだけとなって、複数の流体通路を極力径方向に近づけて配置することが可能になり、流体デバイスどうしの接続構造部分の一層のコンパクト化が可能となる利点がある。その結果、複数の流体通路を同心状に配列して接続させる流体デバイスどうしの接続構造に好適な流体用ガスケットを実現できたことにより、モジュール化やコンパト化に有利な流体デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘って維持できて信頼性に優れ、しかも流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化を可能とする効果を奏することができる。
請求項2の発明によれば、流体経路を横切るブリッジ部が流体の流れの抵抗(妨げ)となり難い断面形状とすることができ、ブリッジ部が流体の流れに悪影響を与えることが殆どない状態として請求項1の発明による前記作用や効果を得ることができる。
請求項3の発明によれば、スクリュー形状に形成されているブリッジ部を通ることにより、流体の流れ方向を変更したり捩ったりする機能が生じるので、例えば、その先の管路が大きく曲るとか、管路内壁に凹凸があるような場合には、それら曲り部や凹部に流体の掻き回し作用を生じさせてそれらの部分に流体が滞ることを解消させ、良好な流れ状況が得られる効果が期待できる流体用ガスケットを提供することができる。
請求項4の発明によれば、水等の流体が管路内を旋回運動しながら流れている場合には、その流れに沿う形状のブリッジ部となって流れに与える抵抗を減じることが可能になる。
請求項5の発明によれば、各リング状ガスケット部における連結部分を基本とする環状突起の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部の厚みが連結部分の厚みよりも厚いと、内径側リング状ガスケット部の外側の環状突起と外径側リング状ガスケット部の内側の環状突起とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。
請求項6の発明によれば次のような作用効果がある。前述したように、凹凸嵌合においては凹側が広がり変形し易い傾向があるから、それは即ち本発明においては環状溝を形成するために流体用ガスケットに形成される内外の周壁端部が拡がり変形することを意味している。そこで、その周壁端部の拡がり変形を抑制又は阻止する拡張規制部が各リング状ガスケット部に設けられているから、周壁端部の拡がり変形が解消又は軽減されて環状突起と環状溝とが強い圧接力でもって嵌合でき、これら両者の嵌合による優れたシール機能を所期どおりに発揮させることができる。しかも、拡張規制部によって周壁端部が剛性不足であるときにはそれを補うことが可能であるから、拡張規制部を有さない場合に比べて流体用ガスケットの周壁端部の厚みを薄くすることも可能となり、流体用ガスケットの幅寸法を小さくして、同心状に配列される複数の流体通路の全体径のコンパクト化、つまりは流体デバイスどうしの接続構造のさらなるコンパクト化も可能である。
請求項7の発明によれば、流体デバイスどうしの接合状態においては、第1及び第2流体給排口部の環状突起と、各リング状ガスケット部の第1シール部又は第2シール部の環状溝との圧接によるシール部が形成されるので、それによってよりシール性に優れる嵌合シール部が構成され、シール性能に優れる流体デバイスどうしの接続構造を実現する流体用ガスケットが可能になる。
請求項8の発明によれば、接合状態においては、第1及び第2流体給排口部の環状突起と、各リング状ガスケット部の第1シール部又は第2シール部の環状溝との嵌合部分の内径側及び外径側に、第1及び第2流体給排口部のテーパ周面と各リング状ガスケット部のテーパ周面とが圧接される構成が存在しており、それらテーパ周面どうしの当接により、接続構造部分のコンパクト化とシール性能向上との双方の効果を得ることができる。加えて、テーパ周面どうしを当接させる構造であるから、各流体デバイスと各リング状ガスケット部とを強く押し付けるに従って圧接力が増し、上記コンパクト化及びシール性能向上の効果をより強化できるという利点があり、それによってテーパ周面どうしの間における液溜りの生じない接続構造とすることが可能となる流体用ガスケットが提供できる。
請求項9の発明によれば、各リング状ガスケット部が上下左右に線対称となって断面が略H型のものに形成されるので、例えば非対称形状のものに比べて流体用ガスケットの製作が容易化されるとともに、各流体デバイスに嵌合される場合のバランス(強度バランス、組付けバランス)に優れたものにできる。
請求項10の発明によれば、流体用ガスケットが耐薬品性及び耐熱性に優れた特性を有するフッ素系樹脂で形成されているので、流体が薬液であるとか化学液体であっても、或いは高温流体であっても接続構造部分が変形して漏れ易くなることがなく、良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系樹脂は、水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得られる樹脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく、耐薬品性もきわめて高く、電気絶縁性も高い点で好ましい。
以下に、本発明による流体用ガスケットの実施の形態を、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に適用された例について図面を参照しながら説明する。図1,2は集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示す全体図と要部断面図、図3は第1リング状ガスケット部と第1流体給排口部との詳細な嵌合構造を示す要部の断面図、図4〜図6(a)は実施例1の流体用ガスケットを示す各図、図6(b),(c)はブリッジ部の別断面形状を示す断面図、図7は集積パネルと流体デバイスとの別接続構造を示す全体図、図8,9は別構造の維持手段の半欠截断面図と組付説明図、図10,11は実施例2による流体用ガスケットの平面図とブリッジ部の断面図である。
〔実施例1〕
図1、図2に、集積パネルとバルブとの接続構造を示している。この集積パネルとバルブとの接続構造は、複数の管状の流体通路3,4が内部形成された集積パネル(第1流体デバイスの一例)1と、これの上面1aに内外の計2箇所のリング状ガスケット部G1,G2を有する流体用ガスケットGを介して搭載されるバルブ(第2流体デバイスの一例)2とに跨って構成された縦向きの軸心Pを共有する同心状二重流路型のものである。バルブ2としては、開閉バルブ、ストップバルブ等、種々のものが可能である。
集積パネル1は、図1、図2に示すように、PFAやPTFE等のフッ素樹脂製のパネル材(又はブロック材)5の内部に、パネル上面1aに開口する上下向きの縦通路3aと横向きの横通路3bとから成る管状の供給側流体通路3と、縦通路3aの外径側に形成されてパネル上面1aに開口する環状の縦リング通路4aとこれの底部に連通される横向きの横通路4bとで成る排出側流体通路4とが形成されたものである。この集積パネル1における給排流体通路3,4が二重配管状に開口する部分を第1流体給排口部1Aと称するものとし、この第1流体給排口部1Aにおいては、管状の縦通路3aと環状の縦リング通路4aとが互いに同一の軸心Pを有する同心状の通路に形成されている。また、第1流体給排口部1Aには、その上端面に開口する各流体通路3,4の外径側部分のそれぞれには、軸心Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起21,41を有する下第1シール端部t21及び下第2シール端部t22が形成されている。
バルブ(流体デバイスの一例)2は、図1、図2に示すように、PFAやPTFE等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース6を有しており、そのバルブケース6の下端部は、底面6aに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路7と、この供給側流体通路7の外径側に形成されて底面6aに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路8とを有した第2流体給排口部2Aに形成されている。つまり、この第2流体給排口部2Aにおいては、管状の供給側流体通路7と環状の排出側流体通路8が互いに同一の軸心Pを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース6下端の外周部には、一対のボルト挿通孔9aを有するPFAやPTFE等のフッ素樹脂又はその他の材料による取付フランジ9が融着によって一体化されている。尚、バルブケース6と取付フランジ9とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第2流体給排口部2Aには、その下端面に開口する各流体通路7,8の外径側部分のそれぞれには、軸心Pを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起11,31を有する上第1シール端部t11及び上第2シール端部t12が形成されている。
流体用ガスケットGは、図1〜図5に示すように、内外のリング状ガスケット部G1,G2(以後、第1ガスケット部G1、第2ガスケット部G2と略称する)と、これらを連結一体化する四箇所のブリッジ部Bとから構成されてる。第1,第2ガスケット部G1,G2は、径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第1ガスケット部G1を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する第2ガスケット部G2には、第1ガスケット部G1に対応する箇所には対応した符号を付す(例:54a→64a)ものとする。さて、第1ガスケット部G1は、第1,第2流体給排口部1A,2Aの相対応する流体通路である縦通路3a及び供給側流体通路7どうしを連通すべく形成された管状の流体経路w1と、第1及び第2流体給排口部1A,2Aの端面に形成された上第1シール端部t11の環状突起11と上第2シール端部t12の環状突起31のそれぞれに嵌合すべく流体経路w1の外径側部分に形成された上下一対の環状溝51,51とを有するPFAやPTFE等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
つまり、第1ガスケット部G1の断面形状は、上下一対の環状溝51,51と、これら環状溝51,51を形成するための内周壁54及び外周壁55とを有するとともに、上下の環状溝51,51は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁54,55も左右対称であって、第1及び第2流体給排口部1A,2Aの軸心P方向に沿う縦中心Z、及び、その縦中心線Zに直交する横中心線Xの双方に関して線対称(ほぼ線対称でも良い)となる略H状の形状に形成されている。内周壁54の上下端部は、内周面54aである流体経路w1の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面52a,52aに形成されるとともに、外周壁55の上下端部も、その外周面55aの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面53a,53aに形成されている。
集積パネル1の第1流体給排口部1Aの下第1及び下第2シール端部t21,t22の環状突起21,41及びバルブ2の第2流体給排口部2Aの上第1及び上第2シール端部t11、t12における環状突起11,31の内及び外径側に、各ガスケット部G1,G2における環状溝51,61を形成するために軸心P方向に突出形成された内外の周壁端部52,53,62,63が、相対応する環状溝51,61と相対応する環状突起11,21,31,41との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起(支え部の一例)12,13,22,23,32,33,42,43が形成されている。
上記環状押え突起に関する構造を、第1ガスケット部G1と上第1シール端部t11とについて説明する。内外の環状押え突起12,13は対称のものであり、これらと環状突起11とで囲まれた谷部14,15が奥窄まり状(上窄まり状)となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面12a及びテーパ内周面13aを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第1シール端部t11は、環状時突起11とその内外の両側に形成される環状押え突起12,13及び谷部14,15の総称である。
第1ガスケット部G1の内外の周壁54,55の上端部は、環状押え突起12,13のテーパ外周面12aとテーパ内周面13aのそれぞれに当接するテーパ内周面52aとテーパ外周面53aを有して14,15に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起である周壁端部52,53を有し、接合状態(図1参照)においては、内外の周壁54,55の端部である周壁端部52,53が対応する谷部14,15に入り込み、上第1シール端部t11のテーパ外周面12aと第1ガスケット部G1のテーパ内周面52aとが圧接され、かつ、上第1シール端部t11のテーパ内周面13aと第1ガスケット部G1のテーパ外周面53aとが圧接されるように構成されている。
つまり、第1ガスケット部G1の上端部には、環状溝51とその内外の周壁端部52,53とで上シール部g(第2シール部の一例)11が形成されており、同様に下端部には下シール部(第1シール部の一例)g12が形成されている。上シール部g11は上第1シール端部t11と嵌合して嵌合シール部10を形成し、下シール部g12は下第2シール端部t21と嵌合して嵌合シール部10を形成する。同様に、第2ガスケットにも上シール部(第2シール部の一例)g21と下シール部(第1シール部の一例)g22とが形成されており、それぞれ上第2シール端部t12と下第2シール端部t22と嵌合して嵌合シール部10を形成する。
嵌合シール部10の嵌合構造を、上第1シール端部t11と第1ガスケット部G1の上シール部g11について詳細に説明すると、図2、図3に示すように、内外の谷部14,15どうし、及び内外の周壁端部52,53どうしは互いに対称であって、内外の谷部14,15全体の挟角α°と内外の周壁端部52,53全体の向い角β°との間には、α°<β°という関係が設定されており、好ましくはα°+(20〜40°)=β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第1シール端部t11の上環状突起11と環状溝51とが嵌り合った接合状態(後述)では、上内環状押え突起12と上内周壁端部52とは、それらのテーパ外周面12aとテーパ内周面52aとが最内径側部分で圧接される状態となり(図3の仮想線を参照)、流体通路w1を通る流体がこれら外内のテーパ周面12a,52aどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部S2として機能する利点が得られる。
そして、上環状突起11の幅d1と上環状溝51の幅d2との間には、d1>d2という関係が設定されており、好ましくはd1×(0.75〜0.85)=d2という関係に設定すると良い。そして、上環状突起11の突出長さh1と上環状溝51の深さh2との間にはh1<h2という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起11と上環状溝51とが、詳しくは、上環状突起11の内外の両側周面と相対応する上環状溝51の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部S1が形成されるとともに、上内環状押え突起12のテーパ外周面12aと上内周壁端部52のテーパ内周面52aとが必ず当接することになり、前述した二次シール部S2が良好に形成される利点がある。
また、環状押え突起12,13の先端、及び周壁端部52,53の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面12b,13b、並びにカット面52b,53bに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起12の先端が流体通路w1側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路w1途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面12bとテーパ内周面52aとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起11先端の内角及び外角は面取り加工された形状11aとしてあるので、幅の狭い環状溝51への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
嵌合シール部10についてさらに詳述する。図2、図3に示すように、環状押え突起12,13における環状突起側のテーパ周面12a,13aの開き角(谷部14,15の開き角)Dは50〜70度の範囲の値(50°≦D°≦70°)に設定されており、周壁端部52,53のテーパ周面52a,53aの尖り角Eは60〜80度の範囲の値(60°≦D°≦80°)に設定されている。そして、開き角Dと尖り角Eとには、開き角Dに10〜20度を加えたものが尖り角Eとなる[D°+(10〜20°)=E°]ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Dが69〜71度(D°=70±1°)、尖り角Eが79〜81度(E°=80±1°)、及び尖り角Eは開き角D+9〜11度(E°−D°=10±1°)に設定すると良い。
また、環状押え突起12,13の傾斜カット面12b,13bのカット角Dsは49〜51度(Ds°=50°±1°)に設定されており、周壁端部52,53の先端カット面52b,53bの迎え角Esは124〜126度(Es°=125°±1°)に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面12aとテーパ内周面52a及びテーパ内周面13aとテーパ外周面53aの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部S2において発揮されるようになる。
つまり、前記第1流体給排口部1Aと前記第2流体給排口部2Aとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記周壁端部52,53のテーパ周面52a,53a(テーパ内周面52a、テーパ外周面53a)の尖り角Eが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起12,13における環状突起11側のテーパ周面12a,13a(テーパ外周面12a、テーパ内周面13a)の開き角Dに10〜20度、好ましくは10度又はほぼ10度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Eが60〜80度、好ましくは80度又はほぼ80度に設定されている。
このように尖り角E及び開き角Dを90度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起12,13は、その径方向幅に比べて引寄せ方向(軸方向)の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部52,53の拡がりを規制しながらも、自身(環状押え突起12,13)が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、周壁端部52,53の谷部14,15への刺さり込みによってテーパ周面52a,53aが環状押え突起12,13を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起12,13の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
以上述べた嵌合シール部10の構造は、第1ガスケット部G1の下側、及び第2ガスケット部G2においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第2ガスケット部G2は、径は異なるが断面形状に関しては第1ガスケット部G1のものと全く同じである。但し、第1及び第2流体給排口部1A,2Aの上第2シール端部t12と下第2シール端部t22については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第1シール端部t11と下第2シール端部t21とやや形状が異なる。
即ち、上第2シール端部t12に関しては、環状押え突起33のテーパ内周面33aに続く状態で、バルブケース6の下端部を形成するための下端内周部6bが存在している点である。この下端内周部6bは、第2ガスケット部G2の上シール部g21を上第2シール端部t12に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面33aと共に第2ガスケット部G2の外周壁65の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そして、下第2シール端部t22に関しては、外側の環状押え突起43の外周側にパネル材5が連続して存在している点であり、下シール部g22と下第2シール端部t22との嵌め合せ時に、第2ガスケット部G2の下シール部g22の外周壁端部63の拡がり変形がテーパ内周面43aによって阻止される作用効果が強化されるようになる。
一方、第1及び第2ガスケット部G1,G2のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路7,8が存在する中間ガスケットである第1ガスケット部G1は、これの外周部である外周面55aが、第1ガスケット部G1の外径側に存する第1流体給排口部1Aの環状の流体通路4aと第2流体給排口部2Aの環状の流体通路8とを連通する環状の流体経路w2を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第1ガスケット部G1の内外周面54a,55aの双方が流体通路w1,w2を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第1ガスケット部G1の厚み」=「環状流体通路3a,7と管状流体通路4a,8との間隔」となり、第1及び第2流体給排口部1A,2Aの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。
なお、図1に仮想線で示すように、第2ガスケット部G2の外周壁65に横突出するリング状の脱着フランジ1fを一体形成しておけば、第1又は第2流体給排口部1A,2Aから第2ガスケット部G2を抜出す際に、工具や手指でフランジ1fを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ1fの厚みは、接合状態における第1及び第2流体給排口部1A,2Aどうしの間隙よりも小さい値とする。
さて、ブリッジ部Bは、図1,2及び図4〜図6(a)に示すように、流体経路w1,w2の軸心Pに対する径方向に沿う最短距離でもって第1,第2ガスケット部G1,G2に亘って架設形成されており、軸心Pを中心とする90度の均等角度毎に計四箇所(2,3箇所又はそれ以上でも可)状形成されている。これにより、流体用ガスケットGは、ブリッジ部Bがスポークに相当して、軸心P方向視においてホイール(タイヤが外装される自動車用のホイール)のような形状を呈している。図6(a)に示すように、ブリッジ部Bの断面形状は円形に設定されているとともに、各ガスケット部G1,G2への付け根部分は裾拡がり状に形成されている。尚、ブリッジ部Bの断面形状は、図6(b)に示す上下(軸心P方向)に長い楕円形状や、図6(c)に示す上下(軸心P方向)に長い菱形でも良く、要は、流体経路w1,E2の軸心P方向に沿う寸法Hbが、周方向に沿う寸法Sbよりも大となる形状に設定されることが、流体流れの抵抗となり難いようにする点から望ましい。
そして、各ブリッジ部Bの流体経路w1,w2の軸心Pに沿う方向の厚みHbが、第1,第2ガスケット部G1,G2における第1環状溝51,61と第2環状溝51,61との夫々の溝底で挟まれる連結部分Rの軸心Pに沿う方向の厚みHrと同じ値(「以下の値」の一例)に設定され、かつ、ブリッジ部Bは、図5に示すように、軸心P方向において連結部分Rに相対応する位置に形成されている。
ブリッジ部Bの断面を円形として、排出側流体通路8(第2流体経路w2)を流れる流体の抵抗となり難くしてある。そして、各ガスケット部G1,G2における連結部分Rを基本とする周壁端部52,53,62,63の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部Bの厚みHbが連結部分の厚みHrよりも厚いと、第1ガスケット部G1の外側の周壁端部53と第2ガスケット部G2の内側の周壁端部62とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部B付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。尚、図示は省略するが、ブリッジ部Bの厚みHbを連結部分R厚みHrよりも薄くしても良い。つまり、Hb≦Hrであれば良い。
次に、維持手段Iについて説明する。維持手段Iは、図2、図3に示すように、集積パネル1の第1流体給排口部1Aとバルブ2の第2流体給排口部2Aとが互いに第1及び第2ガスケットG1,G2を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第1流体給排口部1Aの上第1シール端部t11及び上第2シール端部t12と、第1及び第2ガスケットG1,G2の上シール部g11,g21とが、及び第2流体給排口部2Aの下第1及び下第2シール端部t21,t22と、第1及び第2ガスケットG1,G2の下シール部g12,g22とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部10が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第2流体給排口部2Aの環状突起11,31と第1及び第2ガスケットG1,G2の上側の環状溝51,61とが、及び第1流体給排口部1Aの環状突起21,41と第1及び第2ガスケットG1,G2の下側の環状溝51,61とがそれぞれ嵌め合わされる。
維持手段Iの具体構造は、第2流体給排口部2Aの取付フランジ9のボルト挿通孔9aに挿通される一対のボルト66と、一対のボルト挿通孔9a,9aに対応して第1流体給排口部1Aに(パネル材5に)形成されたナット部67,67とで構成されており、ボルト66をナット部67に螺着させての締め付け操作により、バルブ2を集積パネル1に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部10の圧接力が低下した場合には、ボルト66を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。
〔実施例2〕
実施例2による流体用ガスケットGは、実施例1の流体用ガスケットGとブリッジ部Bが異なるのみである。即ち、図10に示すように、実施例2による流体用ガスケットGのブリッジ部Bは、軸心P周りの均等角度毎に五箇所(六箇所等の五箇所以外でも可)形成されており、流体経路w1,w2における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく軸心Pの方向視において渦巻状となるように形成されている。つまり、水等の流体が管路内を旋回運動しながら流れている場合には、その流れに沿う形状のブリッジ部Bとなって流れに与える抵抗を減じることが可能になる。
加えて、各ブリッジ部Bは、流体経路w1,w2における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されている。具体的には、図11に示すように、ブリッジ部Bの断面形状を楕円で、かつ、その、長円側の軸心Qが流体経路w1,w2の軸心Pに対して角度αで傾斜する状態に構成させる手段である。これにより、5枚のブリッジ部Bがスクリュー(プロペラ)を構成するような状況になり、ここを通ることによって流体の流れ方向を変更したり捩ったりする機能が生じるので、例えば、その先の管路が大きく曲るとか、管路内壁に凹凸があるような場合には、それら曲り部や凹部に流体の掻き回し作用を生じさせてそれらの部分に流体が滞ることを解消させ、良好な流れ状況が得られる効果が期待できるものとなる。
次に、実施例1による流体用ガスケットGを適用する流体デバイスどうしの接続構造の幾つかの他の例について、以下に説明する。
〔接続構造の別実施例1〕
別実施例1による流体デバイスどうしの接続構造は、図7に示すように、集積パネル1とポンプ(洗浄装置循環ライン用のベローズポンプ等)2とをフランジ配管71を介して連通接続させるものであり、集積パネル1とフランジ配管71との間に流体用ガスケットGが介装される。内外の第1,及び第2ガスケット部G1,G2を介した接続部自体の構成は実施例1において説明した接続構造と同一であるので、主な符号だけを付すとともに、その詳細な説明は割愛する。
さて、集積パネル1については、排出側の流体通路4の取出し方向が、図1に示される集積パネル1の場合と逆になっている以外は基本的に同じ構造である。ただし、図1の集積パネルと流体デバイスとの接続構造は集積パネルの上面に構成されているに対して、この別実施例による接続構造では、集積パネル1の横側面に構成されている。ポンプ2の給排用の流体通路7,8は横側面に開口する構造であり、集積パネル1では一対の流体通路3,4が二重管構造であるに対して、縦に並んで配備される独立タイプのものである。
フランジ配管71は、前述の取付フランジ9を有するフランジ部72と、これに続く略二股状の管路部73とから成り、管路部73は、管状の供給側流体通路74を持つ供給側配管73Aと、管状の排出側流体通路75を持つ排出側の流体通路73Bとから構成されている。フランジ部72においては、供給側流体通路74が軸心Pを中心とする管状のものとして集積パネル1の縦通路3aに正対して開口されるとともに、集積パネル1の縦リング通路4aに正対して開口される環状通路部分75aが排出側流体通路75に連続する状態で形成されている。各流体通路74,75は融着等の手段によってポンプ2のイン側ポート76、及びアウト側ポート77に連通状態で接続連結されている。
このように、二重配管構造のフランジ部72と独立した2本の配管部73とを有するフランジ配管71を用いることにより、集積パネル1における二重配管構造の第1流体給排口部1Aと並列配置された一対のイン及びアウト側ポート76,77で成る第2流体給排口部2Aとを、即ち、集積パネル1とポンプ2とを、流体通路の開口構造が互いに異なるものどうしでありながらも、互いに近接させて無理なくコンパクトに連通接続させることができている。尚、流体用ガスケットGの関係構造は図1に示すものと変わりない。
〔接続構造の別実施例2〕
別実施例2による流体デバイスどうしの接続構造を図8,9に示す。これは図1に示す接続構造と維持手段Iが異なるのみであり、その第1別構造の維持手段Iについて説明する。尚、図8,9においては、図1〜3に示す接続構造と対応する箇所には対応する符号を付してある。第1別構造による維持手段Iは、図8及び図9に示すように、集積パネル1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第1流体給排口部1Aの外周部に雄ネジ1nを形成し、その雄ネジ1nに螺合自在な雌ネジ81nを備えた筒状ナット81と、バルブ2のバルブケース6の下端部に形成された外向きフランジ9に、環状の流体通路7の軸心P方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング82とから構成されている。第1流体給排口部1Aの雄ネジ1nに雌ネジ81nを螺着させての筒状ナット81の締付け操作により、両流体給排口部1A,2Aを互いに流体用ガスケットGを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Iに構成されている。
筒状ナット81のバルブ2側(上側)に形成される内向きフランジ83の開口部83aは、外向きフランジ9の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング82の外径は、筒状ナット81に入り込み自在となるよう雌ネジ81nの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ2の円形の第2流体給排口部2Aの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング82を装備するには、第2流体給排口部2Aにおける外向きフランジ9を除いた径の細い部分の軸方向長さが、筒状ナット81の軸方向長さと割型リング82の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図9(b)に示すように、バルブケース6の付根部6tに当接させた状態の筒状ナット81と外向きフランジ9との間の長さd3が、割型リング82の厚さd4よりも大きいこと(d3>d4)が条件となる。
また、筒状ナット81における雌ネジ81nの内奥端部と内向きフランジ83との間に、割型リング82に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング82の幅寸法をカバーする軸心P方向長さを有する内周面部81mが軸心Pと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット81の雌ネジ81nと内向きフランジ83との間における内径部81aが供給側流体通路7と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部81mの内径が断面矩形に形成された割型リング82の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第2流体給排口部2Aの外径部が供給側流体通路7と同心にフラットな外周面に形成され、かつ,その外径部の外径と、割型リング82の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット81を螺進させた際に割型リング82が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ9に筒状ナット81の螺進による軸心P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ9を押して、第1、第2流体給排口部1A,2Aを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるようにされている。
第1別構造の維持手段Iを用いて両流体給排口部1A,2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図9(a)に示すように、外向きフランジ9をやり過ごして筒状ナット81をバルブ2の第2流体給排口部2Aの外周に嵌装し、その最内奥側まで(付根部6tに当接するまで)移動させる。次いで、図9(b)に示すように、割型リング82を、外向きフランジ9と筒状ナット81の先端との間を通して第2流体給排口部2Aに外嵌装備させる。このとき又はその前に流体用ガスケットGをいずれかの流体給排口部1A,2Aの端面に環状突起11,21,31,41と環状溝51,61との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、流体用ガスケットGを介して第1流体給排口部1Aを第2流体給排口部2Aにあてがい、その状態で筒状ナット81をスライド移動させてから締付け操作[図9(c)参照]することにより、図8に示す接続状態が得られる。なお、図9においては、上下に積層される集積パネル1とバルブ2とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。
〔その他の実施例〕
流体用ガスケットGとして、外径側の第2ガスケット部G2が、図示は省略するが、外周壁65の上下端が内周壁64よりも短く、かつ、単に水平状に切断された構造のものでも良い。二重配管接続構造では、最外径側の第2ガスケット部G2の外周壁65にはシール機能が無くても良い。実施例における第1,第2ガスケット部G1,G2は上下及び左右に対称形状のものであるが、例えば、内外の周壁の長さや厚みの異なるものや、上下非対称のものなどでも良く、図示の形状に限定されない。また、外側の環状流体通路8のさらに外側に一又は複数の環状の流体通路を有する三重以上の流体デバイスどうしの接続構造も可能であり、最外側に位置するガスケット部以外のガスケット部は、その内外周面の双方が流体経路を兼ねる構成が採れる。
ブリッジ部Bは、幅の広い単一のものや、軸心Pに関する周方向に二箇所以上形成される構造等、種々の構成が可能であるとともに、その断面形状も、図6以外のもの(例:三角断面、矩形断面、クラークY型断面、層流翼断面)に変更が可能である。尚、本発明における「流体デバイス」とは、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体貯留容器、熱交換器、レギュレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管、集積パネル等の、要は流体関係のものの総称と定義する。
集積パネルとバルブとの同心状多重流路接続構造を示す断面図 図1の接続構造に用いる流体用ガスケットと流体給排口部の要部の断面図 リング状ガスケット部に関する接続構造の詳細を示す要部の拡大断面図 流体用ガスケット単品の平面図(実施例1) 図4のイ−イ線断面図 (a)は図4のブリッジ部(ニ−ニ線)の断面図、(b),(c)は、夫々ブリッジ部断面の別形状を示す要部の断面図 流体デバイスどうしの同心状多重流路の別接続構造を示す断面図 引寄せ機能付き維持手段の第1別構造を示す要部の断面図 図8の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図 渦巻き形の流体用ガスケットを示す平面図(実施例2) 図10の流体用ガスケットのブリッジ部(ロ−ロ線)を示す断面図
1 第1流体デバイス
1A 第1流体給排口部
2 第2流体デバイス
2A 第2流体給排口部
3,4 第1流体通路
7,8 第2流体通路
10 嵌合シール部
21,41 第1環状突起
22,23,12,13,42,43,32,33 支え部
22a,23a,12a,13a,42a,43a,32a,33a テーパ周面
24,25,14,15,44,45,34,35 谷部
11,31 第2環状突起
51,61 第1環状溝、第2環状溝
52,53,62,63 周壁端部
52a,53a,62a,63a テーパ周面
B ブリッジ部
G 流体用ガスケット
G1,G2 リング状ガスケット部
K 拡張規制部
P 流体経路の軸心
S1,S2 シール部
w1,w2 流体経路
X 中心線
Z 流体経路の軸心方向に沿う中心線
g12,g22 第1シール部
g11,g21 第2シール部

Claims (10)

  1. 管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第1流体給排口部を備えた第1流体デバイスの前記第1流体給排口部と、管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第2流体給排口部を備えた第2流体デバイスの前記第2流体給排口部とを、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、各流体通路がシールされる状態で連通接続すべく、前記第1流体給排口部と前記第2流体給排口部の間に介在される複数のリング状ガスケット部が備えられ、
    前記各リング状ガスケット部の夫々は、前記第1流体給排口部に当接してシールする二次シール部を形成するための周壁端部、及び前記第1流体給排口部の前記流体通路の外径側部分に形成される第1環状突起に嵌合して一次シール部を形成するための第1環状溝を有する第1シール部と、前記第2流体給排口部に当接してシールする二次シール部を形成するための周壁端部、及び前記第2流体給排口部の前記流体通路の外径側部分に形成される第2環状突起に嵌合して一次シール部を形成するための第2環状溝を有する第2シール部と、を有して略H形の断面形状を呈するとともに、
    前記各リング状ガスケット部の夫々には、前記第1流体給排口部の流体通路と前記第2流体給排口部の流体通路とを連通するための流体経路とが形成され、
    前記複数のリング状ガスケット部のうちの径方向で隣合うものどうしを連結して一体化すべく、前記流体経路を横切る状態で配置されるブリッジ部が設けられ、
    前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに引寄せられて、前記各第1環状突起と前記各第1環状溝とが、及び前記各第2環状突起と前記各第2環状溝とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記各第1環状突起と前記各第1環状溝、及び前記各第2環状突起と前記各第2環状溝がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部が形成自在に構成されている流体用ガスケット。
  2. 前記ブリッジ部の断面が、前記流体経路の軸心方向に沿う寸法が前記軸心に対する周方向に沿う寸法よりも大となる形状に設定されている請求項1に記載の流体用ガスケット。
  3. 前記ブリッジ部が、前記流体経路における流体の流れ方向を変更可能なスクリュー形状に形成されている請求項1又は2に記載の流体用ガスケット。
  4. 前記ブリッジ部が、前記流体経路における流体の流れに旋回運動を付与可能とすべく渦巻状に形成されている請求項1〜3の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
  5. 前記ブリッジ部の前記流体経路の軸心に沿う方向の厚みが、前記リング状ガスケット部における前記第1環状溝と前記第2環状溝との夫々の溝底で挟まれる連結部分の前記流体経路の軸心に沿う方向の厚み以下の値に設定され、かつ、前記ブリッジ部は、前記流体経路の軸心方向において前記連結部分に相対応する位置に形成されている請求項1〜4の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
  6. 前記各環状溝を形成すべく前記第1及び第2シール部のそれぞれにおける前記流体経路の軸心方向に突出形成された内及び外周壁の端部には、前記第1及び第2流体給排口部の端部における前記環状突起の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部との協働により、前記内及び外周壁の端部が前記環状溝と前記環状突起との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部が形成されている請求項5に記載の流体用ガスケット。
  7. 前記拡張規制部は、前記接合状態においては前記支え部に圧接されてシール部を形成するように構成されている請求項6に記載の流体用ガスケット。
  8. 前記拡張規制部は、前記支え部と前記環状突起とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部に入り込み自在な先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部に形成されるテーパ周面が、前記支え部における前記環状突起側のテーパ周面に圧接される状態に構成されている請求項7に記載の流体用ガスケット。
  9. 前記略H形の断面形状が、前記流体経路の軸心方向に沿う中心線、及び、その中心線に
    直交する中心線の双方に関して線対称となるものに設定されている請求項5〜8の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
  10. フッ素樹脂で形成されている請求項1〜9の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
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