JP4210643B2 - 流体用ガスケット - Google Patents

Description

本発明は、流体デバイスどうしの接続部に用いられる流体用ガスケットに係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程等で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等における集積パネル、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ等の流体デバイスどうしをシール状態で連通接続させるために介装される流体用ガスケットに関するものである。

上記流体用ガスケットとして、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを連通させるべく、それらの給排流路どうしを連通させる接続部に介装されるものがあり、特許文献１や特許文献２において開示された流体用ガスケットが知られている。特許文献１で開示される流体用ガスケットを用いた接続部は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、特許文献２で開示される流体用ガスケットを用いた接続部は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじナットを用いて接続連結させるものである。

特許文献１や２に開示されている流体用ガスケット、およびそれを用いた接続部は、いずれも多数の流体デバイスを流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化が可能となる点で有用なものである。
特開２００１−８２６０９号公報 特開平１０−１６９８５９号公報

上記特許文献１や２に開示された流体用ガスケットを用いた接続部の構造においては、流体用ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。しかしながら、ボルトの締付け力が時間と共に低下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによるシール部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。このように、流体用ガスケットを用いてシールする構造においては非常に高い締付け力が必要になるので、流体デバイスの流体給排口部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体デバイスどうしの接続部の構造を見直すとともに工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される流体用ガスケットを提供することにある。

請求項１に係る発明は、管状の第１流体通路３，４が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ａと、管状の第２流体通路７，８が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部１Ａに当接する第１端部ｇ１１（ｇ２１）と、前記第２流体給排口部２Ａに当接する第２端部ｇ１２（ｇ２２）と、前記第１及び第２流体通路３，４，７，８どうしを連通するための流体経路Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）とを有して、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるリング状の流体用ガスケットにおいて、
前記第１端部ｇ１１（ｇ２１）が、フッ素樹脂製の前記第１流体給排口部１Ａにおける前記第１流体通路３，４の外径側部分に形成される第１環状突起２１（４１）に嵌合してシール部Ｓ１を形成する第１環状溝５１（６１）を有し、かつ、前記第２端部ｇ１２（ｇ２２）が、フッ素樹脂製の前記第２流体給排口部２Ａにおける前記第２流体通路７，８の外径側部分に形成される第２環状突起１１（３１）に嵌合してシール部Ｓ１を形成する第２環状溝５１（６１）を有して、略Ｈ形の断面形状を呈するとともに、
前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられて、前記第１環状突起２１（４１）と前記第１環状溝５１とが、及び前記第２環状突起１１（３１）と前記第２環状溝５１（６１）とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記第１環状突起２１（４１）と前記第１環状溝５１、及び前記第２環状突起１１（３１）と前記第２環状溝５１がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部１０が形成され、
前記各環状溝５１を形成すべく前記第１及び第２端部ｇ１１（ｇ２１），ｇ１２（ｇ２２）のそれぞれにおける軸心方向に突出形成された内及び外周壁の端部５２，５３（６２，６３）には、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端部における前記環状突起２１（４１），１１（３１）の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部２２，２３，１２，１３（４２，４３，３２，３３）との協働により、前記内及び外周壁の端部５２，５３（６２，６３）が前記環状溝５１（６１）と前記環状突起２１（４１），１１（３１）との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部Ｋが形成され、
前記拡張規制部Ｋは、前記支え部２２，２３，１２，１３（４２，４３，３２，３３）と前記環状突起２１（４１），１１（３１）とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部２４，２５，１４，１５（４４，４５，３４，３５）に入り込む先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部５２，５３（６２，６３）で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部５２，５３（６２，６３）に形成されるテーパ周面５２ａ，５３ａ（６２ａ，６３ａ）が、前記支え部２２，２３，１２，１３（４２，４３，３２，３３）における前記環状突起側のテーパ周面２２ａ，２３ａ，１２ａ，１３ａ（４２ａ，４３ａ，３２ａ，３３ａ）に圧接されてシール部Ｓ２を形成するように構成され、
前記環状突起２１（４１），１１（３１）の幅ｄ１と前記環状溝５１（６１）の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定され、
内外の前記谷部２４，２５，１４，１５（４４，４５，３４，３５）全体の挟角α°と、内外の前記周壁端部５２，５３（６２，６３）全体の尖り角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されているフッ素樹脂製であることを特徴とするものである。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体用ガスケットにおいて、前記略Ｈ形の断面形状が、前記流体経路Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）の軸心Ｐ方向に沿う中心線Ｚ、及び、その中心線Ｚに直交する中心線Ｘの双方に関して線対称となるものに設定されていることを特徴とするものである。

請求項１の発明によれば、流体用ガスケットの端部に形成された環状溝は、これと流体デバイスの流体給排口部に形成された環状突起とが嵌合して径方向に圧接されての嵌合シール部が形成されるように構成されているので、第１，２流体給排口部間からの液漏れを阻止できて優れたシール性を得ることが可能になる。なぜなら、嵌合シール部は、環状溝と環状突起との嵌合によって流体用ガスケットを軸方向ではなく、径方向に締付けることによるものであるから、第１及び第２流体デバイスどうしの圧接力が多少緩んでも有効なシール機能が維持されることとなり、増し締めが不要或いは殆ど行わなくても良いものとなって、長期に亘って優れたシール性能が維持できる。

また、断面形状を略Ｈ形状としてあるので、流体用ガスケットを組付けるには、これを介した状態で第１及び第２流体デバイスどうしを単に互いに引寄せるだけで良く、組付け作業性に優れるとともに、径方向の寸法の肥大化が回避できてコンパクト性も改善することが可能になる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。

ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化（圧縮変形）せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが一般に知られている。そこで、本請求項１においては、流体用ガスケットに、流体デバイスの環状突起（凸）に挿入される凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、比較的小さな部品である流体用ガスケット側であって流体デバイス側は殆ど変形しないから、流体用ガスケットを交換するという廉価な手段により、長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が得られる効果がある。

その結果、流体デバイスの環状突起との嵌合によってシール部となる環状溝を有する略Ｈ形の断面形状とすることにより、流体デバイスどうしのシール接続構造において、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できて信頼性に優れるとともに、その組付け作業性やコンパクト性も改善可能な流体用ガスケットを提供することができる。

請求項１の発明によれば、詳しくは実施例において述べるが、前述したように、流体デバイスの環状突起と流体用ガスケットの環状溝とが挿入されると、流体用ガスケットにおける環状溝を形成するための周壁端部が拡がり変形しようとするが、流体用ガスケットに形成された拡張規制部が流体デバイスの支え部と協働することにより、内外の周壁端部が環状溝と環状突起との嵌合に起因して拡がり変形することが抑制又は阻止されるようになる。従って、環状突起と環状溝との嵌合によるシール部が確実に機能する状態になり、所期通りの優れたシール性能が得られるとともに、その拡がり変形されないことによって周壁の厚みを薄くすることが可能になり、流体用ガスケットのコンパクト化も図れる。

請求項１の発明によれば、環状突起に嵌合する環状溝の深さ寸法を設定する程度の簡単な工夫により、環状溝と環状突起との嵌合に伴う周壁端部の拡がり変形を抑制するための拡張規制部が、接合状態においては流体デバイスの支え部に圧接されてシール部としても機能するようになり、総合的によりシール性能が向上し得るように高機能化された付加価値の高い流体用ガスケットを提供することができる。

請求項１の発明によれば、接合状態における流体デバイスの支え部と流体用ガスケットの周壁端部との当接は、テーパ周面どうしが圧接される状態となるので、そのテーパ周面どうしの当接による分力作用により、流体用ガスケットと流体デバイスとが強く圧接されればされるほど周壁端部が環状突起により強く接触して、環状突起と環状溝との嵌合によるシール作用が強化されるようになる。勿論、拡張規制部と支え部との当接によるシール機能も強化されるので、トータルとしてのシール性能がより向上する流体用ガスケットが提供できる。

請求項１の発明によれば、フッ素樹脂製の第１，第２給排口部に介装される流体流体用ガスケットが耐薬品性及び耐熱性に優れた特性を有するフッ素系樹脂で形成されているので、流体が薬液であるとか化学液体であっても、或いは高温流体であっても流体デバイスとの当接部分が変形して漏れ易くなることがなく、良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系樹脂は、水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得られる樹脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく、耐薬品性もきわめて高く、電気絶縁性も高い点で好ましい。

請求項２の発明によれば、流体用ガスケットが上下左右に線対称となる断面が略Ｈ型のものに形成されるので、例えば非対称形状のものに比べてガスケットの製作が容易化されるとともに、各流体デバイスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。

以下に、本発明による流体用ガスケット、及びそれを用いた流体デバイスどうしの接続構造の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１〜図３は実施例１による接続構造関係の図を、図４，５は実施例２による接続構造関係の図を、図６〜図８は実施例３による接続構造関係の図を、図９，１０は実施例４による接続構造関係の図をそれぞれ示す。図１１〜図１３は、流体用ガスケットと流体デバイスとの種々の別嵌合構造を示す要部の断面図である。なお、本発明における「流体デバイス」とは、集積パネル、バルブ、ポンプ、アキュムレータ、流体貯留容器、熱交換器、レギュレータ、圧力計、流量計、ヒーター、フランジ配管等のあらゆる流体関係のものの総称と定義する。

〔実施例１〕
実施例１による流体用ガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造を図１、図２に示す。即ち、この接続構造は、一対の円管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル（流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａにリング状の流体用ガスケットＧを介して搭載される開閉バルブ、ストップバルブ等のバルブ（流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。

集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａ，４ａと横向きの横通路３ｂ，４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路（第１流体通路の一例）３，４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、円管状の縦通路３ａ，４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。

バルブ（流体デバイスの一例）２は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、円管状の供給側流体通路（第２流体通路の一例）７，８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路７，８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起（第２環状突起の一例）１１を有する上第１シール端部ｔ１１に形成され、排出側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起（第２環状突起の一例）１１を有する上第２シール端部ｔ１２に形成されている。

一対の流体用ガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側の流体用ガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、流体用ガスケットＧは、供給側の上下の流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗと、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と下第１シール端部ｔ２１の上方突出する環状突起（第１環状突起の一例）２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された上環状溝（第２環状溝の一例）５１、及び下環状溝（第１環状溝の一例）５１を有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。

つまり、流体用ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向、即ち流体経路Ｗの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面（テーパ周面の一例）５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面（テーパ周面の一例）５３ａ，５３ａに形成されている。

集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１シール端部ｔ２１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１シール端部ｔ１１における環状突起１１の内及び外径側に、流体用ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２ａ，５３ａが、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（支え部の一例）１２，１３，２２，２３が形成されている。

上記環状押え突起に関する構造を、流体用ガスケットＧと上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。

流体用ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して谷部１４，１５に入り込み自在な断面形状が先窄まり状の周壁端部（拡張規制部Ｋの一例）５２，５３に形成されている。これにより、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａと内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａと外周壁端部５３のテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。

つまり、流体用ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の環状シール突起５２，５３とで上シール部（第２端部の一例）ｇ１１が形成されており、同様に下端部には下シール部（第１端部の一例）ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と圧接嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と圧接嵌合して嵌合シール部１０を形成する。

嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１と流体用ガスケットＧの上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図２、図３に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしはそれぞれが互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の尖り角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（５〜１５°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内周壁端部５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路Ｗを通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。

そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが圧接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。

また、内側の環状押え突起１２の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路Ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

外側の環状押え突起１３は、環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状押え突起１２とは全体としての形状は異なる。そして、下第１シール端部ｔ２１に関しても、環状押え突起２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状押え突起２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、流体用ガスケットＧの上及び下シール部ｇ１１，ｇ１２を上及び下第１シール端部ｔ１１，ｔ２１に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面１３ａ，２３ａと共に流体用ガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。

なお、図１に仮想線で示すように、流体用ガスケットＧの外周壁５５に横突出するリング状の脱着フランジ１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａから流体用ガスケットＧを抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしの間隙よりも小さい値とする。

次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図２、図３に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いに流体用ガスケットＧを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１と、流体用ガスケットＧの上シール部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１シール端部ｔ２１と、流体用ガスケットＧの下シール部ｇ１２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排雄口部２Ａの環状突起１１と流体用ガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排雄口部１Ａの環状突起２１と流体用ガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。

維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａのフランジ部９Ｂのボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段Ｉに構成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

〔実施例２〕
実施例２による流体用ガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造を図４，５に示す。これは実施例１によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その別構造の維持手段Ｉについて説明する。なお、図４，５においては、図１〜３に示す実施例１のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。

さて、別構造による維持手段Ｉは、図４及び図５に示すように、集積パネル１の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａの外周部に雄ネジ１ｎを形成し、その雄ネジ１ｎに螺合自在な雌ネジ８１ｎを備えた筒状ナット８１と、バルブ２のバルブケース６の下端部に形成された外向きフランジ９に、環状の流体通路７の軸心Ｐ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング８２とから構成されている。第１流体給排口部１Ａの雄ネジ１ｎに雌ネジ８１ｎを螺着させての筒状ナット８１の締付け操作により、両流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Ｉに構成されている。

筒状ナット８１のバルブ２側（上側）に形成される内向きフランジ８３の開口部８３ａは、外向きフランジ９の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング８２の外径は、筒状ナット８１に入り込み自在となるよう雌ネジ８１ｎの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ２の円形の第２流体給排口部２Ａの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング８２を装備するには、第２流体給排口部２Ａにおける外向きフランジ９を除いた径の細い部分の軸方向長さが、筒状ナット８１の軸方向長さと割型リング８２の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図５（ｂ）に示すように、バルブケース６の付根部６ｔに当接させた状態の筒状ナット８１と外向きフランジ９との間の長さｄ３が、割型リング８２の厚さｄ４よりも大きいこと（ｄ３＞ｄ４）が条件となる。

また、筒状ナット８１における雌ネジ８１ｎの内奥端部と内向きフランジ８３との間に、割型リング８２に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング８２の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部８１ｍが軸心Ｐと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット８１の雌ネジ８１ｎと内向きフランジ８３との間における内径部８１ａが供給側流体通路７と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部８１ｍの内径が断面矩形に形成された割型リング８２の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第２流体給排口部２Ａの外径部が供給側流体通路７と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング８２の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット８１を螺進させた際に割型リング８２が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ９に筒状ナット８１の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ９を押して、第１、第２流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるようにされている。

第１別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図５（ａ）に示すように、外向きフランジ９をやり過ごして筒状ナット８１をバルブ２の第２流体給排口部２Ａの外周に嵌装し、その最内奥側まで（付根部６ｔに当接するまで）移動させる。次いで、図５（ｂ）に示すように、割型リング８２を、外向きフランジ９と筒状ナット８１の先端との間を通して第２流体給排口部２Ａに外嵌装備させる。このとき又はその前に流体用ガスケットＧをいずれかの流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に環状突起１１，２１，３１，４１と環状溝５１，６１との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、流体用ガスケットＧを介して第１流体給排口部１Ａを第２流体給排口部２Ａにあてがい、その状態で筒状ナット８１をスライド移動させてから締付け操作［図５（ｃ）参照］することにより、図４に示す接続状態が得られる。なお、図５においては、上下に積層される集積パネル１とバルブ２とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。

〔実施例３〕
実施例３による流体用ガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造を図６、図７に示す。この接続構造は、複数の管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル（流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに内外の計２個のリング状の流体用ガスケットＧ１，Ｇ２を介して搭載される開閉バルブ、ストップバルブ等のバルブ（流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する同心状二重流路型のものである。

集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａと横向きの横通路３ｂとから成る管状の供給側流体通路３と、縦通路３ａの外径側に形成されてパネル上面１ａに開口する環状の縦リング通路４ａとこれの底部に連通される横向きの横通路４ｂとで成る排出側流体通路４とが形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路（第１流体通路の一例）３，４が二重配管状に開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、管状の縦通路３ａと環状の縦リング通路４ａとが互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起（第１環状突起の一例）２１，４１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。

バルブ（流体デバイスの一例）２は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の外径側に形成されて底面６ａに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、管状の供給側流体通路７と環状の排出側流体通路８が互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース６下端の外周部には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の取付フランジ９が融着によって一体化されている。尚、バルブケース６と取付フランジ９とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第２流体給排口部２Ａには、その下端面に開口する各流体通路（第２流体通路の一例）７，８の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、下方に突出した内外の環状突起（第２環状突起の一例）１１，３１を有する上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２が形成されている。

内外の流体用ガスケットＧ１，Ｇ２は径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第１流体用ガスケットＧ１を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する外側の第２流体用ガスケットＧ２には、第１流体用ガスケットＧ１に対応する箇所には対応した符号を付す（例：５４ａ→６４ａ）ものとする。さて、第１流体用ガスケットＧ１は、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起３１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗ１の外径側部分に形成された上環状溝（第２環状溝の一例）５１、及び下環状溝（第１環状溝の一例）５１を有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。

つまり、第１流体用ガスケットＧ１の断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向、即ち流体経路Ｗ１，Ｗ２の軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い））となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。

集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２の環状突起２１，４１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１及び上第２シール端部ｔ１１、ｔ１２における環状突起１１，３１の内及び外径側に、各流体用ガスケットＧ１，Ｇ２における環状溝５１，６１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部（拡張規制部Ｋの一例）５２，５３，６２，６３が、相対応する環状溝５１，６１と相対応する環状突起１１，２１，３１，４１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（支え部の一例）１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３が形成されている。

上記環状押え突起に関する構造を、第１流体用ガスケットＧ１と上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状時突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。

第１流体用ガスケットＧ１の内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａと第１流体用ガスケットＧ１のテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａと第１流体用ガスケットＧ１のテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。

つまり、第１流体用ガスケットＧ１の上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上シール部（第２端部の一例）ｇ１１が形成されており、同様に下端部には下シール部（第１端部の一例）ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。同様に、第２流体用ガスケットにも上シール部（第２端部の一例）ｇ２１と下シール部（第１端部の一例）ｇ２２とが形成されており、それぞれ上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。

嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１と第１流体用ガスケットＧ１の上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図７、図８に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の尖り角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（５〜１５°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内周壁端部５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図８の仮想線を参照）、流体通路Ｗ１（Ｗ）を通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。

そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。

また、環状押え突起１２，１３の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ，１３ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路Ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。

以上述べた嵌合シール部１０の構造は、第１流体用ガスケットＧ１の下側、及び第２流体用ガスケットＧ２においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第２流体用ガスケットＧ２は、径は異なるが断面形状に関しては第１流体用ガスケットＧ１のものと全く同じである。但し、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第１シール端部ｔ１１と下第２シール端部ｔ２１とやや形状が異なる（図３参照）。

即ち、図７に示すように、上第２シール端部ｔ１２に関しては、環状押え突起３３のテーパ内周面３３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部６ｂが存在している点である。この下端内周部６ｂは、第２流体用ガスケットＧ２の上シール部ｇ２１を上第２シール端部ｔ１２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面３３ａと共に第２流体用ガスケットＧ２の外周壁６５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である（図３参照）。そして、下第２シール端部ｔ２２に関しては、外側の環状押え突起４３の外周側にパネル材５、及びその上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在している点である。上端内周部５ｂは、第２流体用ガスケットＧ２の下シール部ｇ２２を下第２シール端部ｔ２２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、下シール部ｇ２２と下第２シール端部ｔ２２との嵌め合せ時に、第２流体用ガスケットＧ２の下シール部ｇ２２の外周壁端部６３の拡がり変形がテーパ内周面４３ａによって阻止される作用効果が強化されるのである。

一方、第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路７，８が存在する中間流体用ガスケットである第１流体用ガスケットＧ１は、これの外周部である外周面５５ａが、第１流体用ガスケットＧ１の外径側に存する第１流体給排口部１Ａの環状の流体通路４ａと第２流体給排口部２Ａの環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路Ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第１流体用ガスケットＧ１の内外周面５４ａ，５５ａの双方が流体通路Ｗ１，Ｗ２を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第１流体用ガスケットＧ１の厚み」＝「環状流体通路３ａ，７と管状流体通路４ａ，８との間隔」となり、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。なお、図６に仮想線で示すように、第２流体用ガスケットＧ２の外周壁６５に横突出するリング状の脱着フランジ１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａから第２流体用ガスケットＧ２を抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしの間隙よりも小さい値とする。

次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図６、図７に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いに第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２と、第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２の上シール部ｇ１１，ｇ２１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２と、第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２の下シール部ｇ１２，ｇ２２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排雄口部２Ａの環状突起１１，３１と第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２の上側の環状溝５１，６１とが、及び第１流体給排雄口部１Ａの環状突起２１，４１と第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２の下側の環状溝５１，６１とがそれぞれ嵌め合わされる。

維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａの取付フランジ９のボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。

〔実施例４〕
実施例４による流体用ガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造を図９に示す。これは実施例３によるものと維持手段Ｉが異なるのみであり、その別構造の維持手段Ｉについて説明する。なお、図９においては、図６，７に示す実施例３のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。

さて、別構造による維持手段Ｉは、図９、図１０に示すように、集積パネル１の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第１流体給排口部１Ａの外周部に雄ネジ１ｎを形成し、その雄ネジ１ｎに螺合自在な雌ネジ８１ｎを備えた筒状ナット８１と、バルブ２のバルブケース６の下端部に形成された外向きフランジ９に、環状の流体通路７の軸心Ｐ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング８２とから構成されている。第１流体給排口部１Ａの雄ネジ１ｎに雌ネジ８１ｎを螺着させての筒状ナット８１の締付け操作により、両流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに２個の流体用ガスケットＧ１，Ｇ２を介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Ｉに構成されている。

筒状ナット８１のバルブ２側（上側）に形成される内向きフランジ８３の開口部８３ａは、外向きフランジ９の通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。割型リング８２の外径は、筒状ナット８１に入り込み自在となるよう雌ネジ８１ｎの内径よりも僅かに小さい寸法に設定され、かつ、内径は、バルブ２の円形の第２流体給排口部２Ａの外径部に外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。この場合、割型リング８２を装備するには、第２流体給排口部２Ａにおける外向きフランジ９を除いた径の細い部分の軸方向長さが、筒状ナット８１の軸方向長さと割型リング８２の厚さとの和を上回る値とすることが必要である。具体的には、図１０（ｂ）に示すように、バルブケース６の付根部６ｔに当接させた状態の筒状ナット８１と外向きフランジ９との間の長さｄ３が、割型リング８２の厚さｄ４よりも大きいこと（ｄ３＞ｄ４）が条件となる。

また、筒状ナット８１における雌ネジ８１ｎの内奥端部と内向きフランジ８３との間に、割型リング８２に軸方向に摺動自在で、かつ、割型リング８２の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部８１ｍが軸心Ｐと同心にフラットな内周面に形成されている。すなわち、筒状ナット８１の雌ネジ８１ｎと内向きフランジ８３との間における内径部８１ａが供給側流体通路７と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部８１ｍの内径が断面矩形に形成された割型リング８２の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第２流体給排口部２Ａの外径部が供給側流体通路７と同心にフラットな外周面に形成され、かつ，その外径部の外径と、割型リング８２の内径とがほぼ同一径に形成される。これにより、筒状ナット８１を螺進させた際に割型リング８２が傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジ９に筒状ナット８１の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に外向きフランジ９を押して、第１、第２流体給排口部１Ａ，２Ａを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるようにされている。

第１別構造の維持手段Ｉを用いて両流体給排口部１Ａ，２Ａどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図１０（ａ）に示すように、外向きフランジ９をやり過ごして筒状ナット８１をバルブ２の第２流体給排口部２Ａの外周に嵌装し、その最内奥側まで（付根部６ｔに当接するまで）移動させる。次いで、図１０（ｂ）に示すように、割型リング８２を、外向きフランジ９と筒状ナット８１の先端との間を通して第２流体給排口部２Ａに外嵌装備させる。このとき又はその前に第１及び第２流体用ガスケットＧ１，Ｇ２をいずれかの流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に環状突起１１，２１，３１，４１と環状溝５１，６１との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、両流体用ガスケットＧ１，Ｇ２を介して第１流体給排口部１Ａを第２流体給排口部２Ａにあてがい、その状態で筒状ナット８１をスライド移動させてから締付け操作［図１０（ｃ）参照］することにより、図９に示す接続状態が得られる。なお、図１０においては、上下に積層される集積パネル１とバルブ２とを、図面記載都合により横倒し状態で描いてある。

〔その他の実施例〕
以下に、流体用ガスケットの端部と流体デバイスの流体給排口部との嵌合構造の変形例の幾つかを、図面を参照しながら順に記載する。

（１） 図１１（ａ）に示すように、流体デバイスであるバルブ２と流体用ガスケットＧとの嵌合構造において、環状突起１１として、その内外の側周面に圧接用の周突起１１ｔが一又は複数形成された形状としても良い。接合状態では流体用ガスケットＧの環状溝５１とは周突起１１ｔが強く当接して一次シール部Ｓ１が形成される。この構造では、環状突起１１と環状溝５１とは複数箇所で線接する触状態になるので、環状突起１１を環状溝５１に挿入する際の摩擦抵抗が面接触する場合よりも軽減される利点がある。なお、この構成は集積パネル１と流体用ガスケットＧとの嵌合構造に適用しても良い。

（２） 図１１（ｂ）の左側部分に示すように、流体デバイスであるバルブ２と流体用ガスケットＧとの嵌合構造において、テーパ周面１２ａ，５２ａどうしが第２流体給排口部２Ａの環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａに一又は複数の周突起１２ｔを形成し、この周突起１２ｔと流体用ガスケットＧの周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが圧接されて二次シール部Ｓ２を構成する構造も可能である。また、図１１（ｂ）の右側部分に示すように、前記とは逆に、流体用ガスケットＧのテーパ内周面５３ａに一又は複数の周突起５３ｔを形成し、この周突起５３ｔと環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａとが圧接されて二次シール部Ｓ２を構成する構造でも良い。なお、この構成は集積パネル１と流体用ガスケットＧとの嵌合構造に適用しても良いとともに、図１１（ａ）と（ｂ）との双方を備える構造も可能である。

（３） 図１２（ａ）に示すように、流体デバイスであるバルブ２と流体用ガスケットＧとの嵌合構造において、流体用ガスケットＧの外側の周壁端部５３を、外周壁５５よりも横側方に突出させた環状側方突起に形成し、かつ、外径側の谷間１５を円柱状に形成して、環状側方突起５３と第２流体給排口部２Ａの環状押え突起１３の下端内周部９ｂとを圧接させる構造でも良い。この構造では、流体用ガスケットＧの外周壁端部５３と環状突起１１との間に強い圧接力が作用するとともに、外周壁端部５３以外の外周壁５５は下端内周部９ｂと接触しないので、外周壁端部５３を谷間１５に挿入する際の摩擦抵抗を小さくできて、結果として環状突起１１を環状溝５１に挿入するための荷重が軽減され、組付け易いという利点がある。内周壁端部５２と内周側の環状押え突起１２との嵌合構造は、図１〜３に示す実施例１のものと同等である。

（４） 図１２（ｂ）に示すように、流体デバイスであるバルブ２と流体用ガスケットＧとの嵌合構造において、流体用ガスケットＧは、その内外周壁部５４，５５上端のそれぞれテーパ周面５２ａ，５３ａが形成された左右対称のもの（実施例１による流体用ガスケットＧと同じ）とし、円柱状の谷間１５を形成する環状押え突起１１の下端内周部９ｂと外周壁５５の外周面５５ａとが面接触する構造でも良い。この場合、前記面接触により、環状突起１１を環状溝５１に挿入する操作力はやや大きくなるが、環状突起１１と流体用ガスケットＧの外周壁部５３との間には十分な圧接力［図１２（ａ）の構成の場合とほぼ同等］が作用する。なお、図１２（ａ），（ｂ）に示される構成を、集積パネル１と流体用ガスケットＧとの嵌合構造に適用しても良い。

（５） 図１３（ａ）に示すように、流体デバイスであるバルブ２と第１流体用ガスケットＧ１との嵌合構造において、第１流体用ガスケットＧ１の上シール部ｇ１１における内外の周壁端部５２，５３が、軸心Ｐ方向に突出する小環状突起（拡張規制部Ｋの一例）５２ｂ、５３ｂと、それらの付根において内外に連なるテーパ頂面５２ｃ，５３ｃとから成る構成とし、第２流体給排口部２Ａの上第１シール端部ｔ１１における環状押え突起１２，１３が、小環状突起５２ｂ、５３ｂに嵌合する環状凹溝１２ｂ，１３ｂと、テーパ頂面５２ｃ，５３ｃに当接するテーパ底面１２ｃ，１３ｃを先端に備えた環状端壁（支え部の一例）１２ｄ，１３ｄとから成る構成とされたものでも良い。

テーパ頂面５２ｃ，５３ｃとテーパ底面１２ｃ，１３ｃとが当接した状態では、小環状突起５２ｂ、５３ｂと環状凹溝１２ｂ，１３ｂとの間には軸心Ｐ方向に間隙があるように設定する。この構成では、小環状突起５２ｂ、５３ｂと環状凹溝１２ｂ，１３ｂとの嵌合によって内外の周壁端部５２，５３が開き変形することを阻止するので、環状突起１１と環状溝５１との強い当接による有効な一次シール部Ｓ１と、テーパ頂面５２ｃ，５３ｃとテーパ底面１２ｃ，１３ｃとの当接による有効な二次シール部Ｓ２とが形成され、液溜りなく良好にシールできる接続構造が実現できている。

（６） 図１３（ｂ）に示すように、バルブ２の第２流体給排口部２Ａにおける環状突起１１の両サイドが環状平坦肩部１２，１３に形成され、第１流体用ガスケットＧ１における環状溝５１の両サイドの内外周壁端部５２，５３を平坦端面を有するものとして、これら内外の環状平坦肩部１２，１３と内外の周壁端部５２，５３とが基本的には面当りする構成とし、内外の周壁端部５２，５３の内外端に環状突起であるリップ１２ｒ、１３ｒを形成した構造としても良い。この場合は、内側リップ１２ｒと内周壁端部５２とで、及び外側リップ１３ｒと外周壁端部５３とでそれぞれ二次シール部Ｓ２が形成される。

集積パネルとバルブとの接続構造を示す断面図（実施例１） 図１の接続構造に用いる流体用ガスケットと流体給排口部の要部の断面図 図２の環状突起と環状溝との嵌合構造を示す要部の拡大断面図 図１の維持手段の別構造を示す要部の断面図（実施例２） 図４の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図 集積パネルとバルブとの同心状多重流路接続構造を示す断面図（実施例３） 図６の接続構造に用いる流体用ガスケットと流体給排口部の要部の断面図 図７の環状突起と環状溝との嵌合構造を示す要部の拡大断面図 図６の維持手段の別構造を示す要部の断面図（実施例４） 図９の維持手段を有する接続構造の接続手順を示す説明図 （ａ），（ｂ）は、環状突起と環状溝との別嵌合構造を示す要部の断面図 （ａ），（ｂ）は、環状突起と環状溝との別嵌合構造を示す要部の断面図 （ａ），（ｂ）は、環状突起と環状溝との別嵌合構造を示す要部の断面図

符号の説明

１ 第１流体デバイス
１Ａ 第１流体給排口部
２ 第２流体デバイス
２Ａ 第２流体給排口部
３，４ 第１流体通路
７、８ 第２流体通路
１０ 嵌合シール部
２１，４１ 第１環状突起
２２，２３，１２，１３，４２，４３，３２，３３ 支え部
２２ａ，２３ａ，１２ａ，１３ａ，４２ａ，４３ａ，３２ａ，３３ａ テーパ周面
２４，２５，１４，１５，４４，４５，３４，３５ 谷部
１１，３１ 第２環状突起
５１，６１ 第１環状溝、第２環状溝
５２，５３，６２，６３ 周壁端部
５２ａ，５３ａ６２ａ，６３ａ テーパ周面
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２ 流体用ガスケット
Ｋ 拡張規制部
Ｐ 流体経路の軸心
Ｓ１，Ｓ２ シール部
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２ 流体経路
Ｘ 中心線
Ｚ 流体経路の軸心方向に沿う中心線
ｇ１１，ｇ２１ 第１端部
ｇ１２，ｇ２２ 第２端部

Claims (2)

1. 管状の第１流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の第２流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部に当接する第１端部と、前記第２流体給排口部に当接する第２端部と、前記第１及び第２流体通路どうしを連通するための流体経路とを有して、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
   前記第１端部が、フッ素樹脂製の前記第１流体給排口部における前記第１流体通路の外径側部分に形成される第１環状突起に嵌合してシール部を形成する第１環状溝を有し、かつ、前記第２端部が、フッ素樹脂製の前記第２流体給排口部における前記第２流体通路の外径側部分に形成される第２環状突起に嵌合してシール部を形成する第２環状溝を有して、略Ｈ形の断面形状を呈するとともに、
   前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とが互いに引寄せられて、前記第１環状突起と前記第１環状溝とが、及び前記第２環状突起と前記第２環状溝とがそれぞれ嵌め合わされた接合状態においては、前記第１環状突起と前記第１環状溝、及び前記第２環状突起と前記第２環状溝がそれぞれ径方向に圧接されての嵌合シール部が形成され、
   前記各環状溝を形成すべく前記第１及び第２端部のそれぞれにおける軸心方向に突出形成された内及び外周壁の端部には、前記第１及び第２流体給排口部の端部における前記環状突起の内及び外径側のそれぞれに形成される支え部との協働により、前記内及び外周壁の端部が前記環状溝と前記環状突起との嵌合に起因して拡がり変形することを抑制又は阻止するための拡張規制部が形成され、
   前記拡張規制部は、前記支え部と前記環状突起とで囲まれて断面形状が奥窄まり状となる谷部に入り込む先窄まり状の断面形状を有する前記内及び外周壁の端部である周壁端部で構成されるとともに、前記接合状態においては前記周壁端部に形成されるテーパ周面が、前記支え部における前記環状突起側のテーパ周面に圧接されてシール部を形成するように構成され、
   前記環状突起の幅ｄ１と前記環状溝の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定され、
   内外の前記谷部全体の挟角α°と、内外の前記周壁端部全体の尖り角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されているフッ素樹脂製の流体用ガスケット。
2. 前記略Ｈ形の断面形状が、前記流体経路の軸心方向に沿う中心線、及び、その中心線に直交する中心線の双方に関して線対称となるものに設定されている請求項１に記載の流体用ガスケット。

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