KR100897462B1

KR100897462B1 - 집적패널과 유체장치와의 접속구조

Info

Publication number: KR100897462B1
Application number: KR1020077006437A
Authority: KR
Inventors: 마사요시 가쓰라
Original assignee: 니혼삐라아코오교오카부시키가이샤
Priority date: 2004-09-22
Filing date: 2005-09-16
Publication date: 2009-05-14
Also published as: TWI341910B; EP1803983A4; EP1803983A1; TW200613670A; WO2006033299A1; KR20070043897A; US20080000533A1

Abstract

체결증대를 거의 행하지 않아도 양호한 밀봉성을 유지할 수 있는 동시에, 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공한다.

그 때문에 집적패널(1)과 밸브(2)를 환상개스킷(G)을 사용해서 원관형상의 유체통로(16)(19)를 밀봉상태로 연통접속하는 데에, 제1,및 제2유체급배구 부(1A)(2A)에 환상돌기(11)(21)를 형성하고, 개스킷(G)에는, 환상돌기(11),(21)의 각각에 끼워 맞춤시키기 위해 유체경로(W)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 불소수지제의 것으로 구성하고, 집적패널(1)과 밸브(2)를 끌어당겨서, 제1,제2 유체급배구부(1A)(2A)의 환상돌기(11)(21)와 개스킷(G)의 환상홈(51)이 각각 상호 끼워 맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부가 형성되는 끼워 맞춤상태를 유지하는 유지수단(I)을 장비한다.

Description

집적패널과 유체장치와의 접속구조{STRUCTURE FOR CONNECTION BETWEEN INTEGRATED PANEL AND FLUID DEVICE}

본 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 관한 것이며, 보다 상세하게는 반도체제조나 의료,의약품제조,식품가공, 화학공업 등의 각종 기술분야의 제조공정에서 취급되는 고순도액이나 초순수, 혹은 세정액의 배관계통 등에 있어서, 금후 수요가 예견되는 유체용의 집적패널과 펌프, 밸브, 축압기 등의 액체장치와를 개스킷을 개재시켜서 밀봉상태로 연통접속시키기 위한 접속구조에 관한 것이다.

상기한 접속구조로서 예를 들면 유체장치의 1예인 밸브와 유체통로가 내부에 형성된 집적패널을 한 쌍의 급배유로끼리를 연통시켜서 접속연결 하는 것이며, 특허문헌 1이나 특허문헌 2에 있어서, 개시된 접속구조가 알려져 있다.

특허문헌 1에 개시된 접속구조는 한 쌍의 급배유로를 근접시켜서 배열하고 각각에 독립된 링형상의 개스킷을 개재시켜서 복수의 볼트로 액상으로 밀접하게 접속연결하는 것이며, 특허문헌 2에 개시된 접속구조는 한 쌍의 급배유로를 근접시켜서 배열하고, 그들 한 쌍의 급배유로에 대응하는 한 쌍의 유로구멍을 갖는 단일의 개스킷을 단일의 외부의 나사 너트를 사용해서 접속연결시키는 것이다.

특허문헌 1이나 2에 개시되어있는 접속구조는 어느 것이나 다수의 유체기기 를 유체블록에 집적시켜서 부착시키는 구조, 소위 집적배관구조를 채택하는 것이며, 이것은 배관계통 전체의 콤팩트화나 모듈화가 가능한 점에서 유용한 것이다.

특허문헌 1 : 특개 2001-8260호 공보

특허문헌 2 : 특개평 10-169859호 공보

상기한 특허문헌 1이나 2에 개시된 접속구조에 있어서는 개스킷이 끼워맞춤된 한 쌍의 플랜지부끼리를 소정의 면압력에 달하기까지 볼트를 체결함으로서 유효한 밀봉성능을 내도록 한다.

그러나 볼트의 체결력이 시간과 함께 저하하는 것은 피할 수 없기 때문에 체결력저하, 즉 토크다운에 의한 접속부로부터의 누설을 방지하기 위해서는 정기적 으로 체결증대를 행할 필요가 있었다.

개스킷을 사용해서 밀봉하는 경우에는 대단히 높은 체결력이 필요하기 때문에 집적패널이나 유체장치의 유체급배구부에는 높은 강도가 필요하게 됨과 동시에 그 접속연결을 하기 위한 작업성의 점에서도 불리한 것이었었다.

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로 그 목적으로 하는 바는 유체의 배관계통에 있어서의 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 연구를 거듭하므로서 체결의 증대를 거의 행하지않아도 양호한 밀봉성이 유지될 수 있슴과 동시에 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공하는데 있다.

청구항 1에 관한 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 관형상의 유체통로(3) 또는 환상의 유체통로를 하나 이상의 환상의 유체통로(4)가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 상기한 제1유체급배구부(1A)와 관형상의 유체통로(7)또는 환상의 유체통로와 하나이상의 환상의 유체통로(8)가 동심원상으로 형성되어서 개구되는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 상기한 제2유체급배구부(2A)를 각각의 복수의 유체통로(3)(4)(7)(8)가 상호 대응하고 또한 상기한 제1유체급배구부(1A)와 상기한 제2유체급배구부(2A)와의 사이에 개재되는 복수의 링형상의 개스킷(G)(G)에 의해서 각 유체통로(3)(4)(7)(8)가 밀봉되는 상태로 연통접속하는데 있어서, 상기한 제1유체급배구부(1A) 및 상기한 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(3)(4)(7)(8)의 외경측부분에 환상돌기(21)(11)(41)(31)가 형성되고, 상기한 각 개스킷(G)(G)은 상기한 제1,제2의 유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 상기한 유체통로(3)(4)(7)(8)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W)(W)와 상기한 제1, 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상기한 환상돌기(21)(11)(41)(31)의 각각에 끼워 맞춤하기 위해 상기한 유체경로(W)(W)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(61)을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어 있고, 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 복수의개스킷(G)(G)을 개재해서 당겨져서 상기한 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상돌기(21)(41)와 상기한 각 개스킷(G)(G)의 일단의 환상홈(51)(61)과 및 상기한 제2유체급배구부(2A)의 상기한 환상돌기(11)(31)와 상기한 각 개스킷(G)(G)의 타단의 상기한 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성된 끼워 맞춤상태를 유지하는 유지수단(I)이 장비됨과 동시에, 상기한 복수의 개스킷(G)(G)중 상기한 끼워맞춤 상태에 있어서, 내경측 및 외경측의 쌍방에 상기한 유체통로가 존재하는 중간개스킷(G)은 이것의 외주부(55a)가 상기한 중간개스킷(G)의 외경측에 존재하는 상기한 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상의 유체통로(8) 및 상기한 제2유체급배구부(2A)의 상기한 환상의 유체통로(4)를 연통하는 환상의 유체경로(W)를 형성하기 위한 벽면이 되는 상태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 2에 관한 발명은 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 관형상의 유체통로(16)(19)가 개구되는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 상기한 제1유체급배구부(1A)와 관형상의 유체통로(17)(18)가 개구되는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 상기한 제2유체급배구부(2A)와 이들 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)와의 사이에 개재되는 링형상의 개스킷(G)에 의해 상기한 유체통로(16)(19)(17)(18)를 밀봉상태로 연통접속함에 있어서, 상기한 제1유체급배구부(1A)및 상기한 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(16)(19)(17)(18)의 외경측 부분에 환상돌기(11)(21)가 형성되고, 상기한 개스킷(G)은 상기한 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 상기한 유체통로(16)(19)(17)(18)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W)와 상기한 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상기한 환상돌기(11)(21)의 각각에 끼워맞춤 하기 위해 상기한 유체경로(W)의 외경측부분에 형성된 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 가요성을 구비한 재료로 구성되어 있고, 상기한 제1유체급배구부(1A) 와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 개스킷(G)을 개재해서 당겨져서 상기한 제1유체급배구부(1A)의 상기한 환상돌기(11)와 상기한 개스킷(G)의 일단의 환상홈(51)이 상기한 제2유체급배구부(2A)의 상기한 환상돌기(21)와 상기한 개스킷(G)의 타단의 상기한 환상홈(51)이 각각 끼워 맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성된 끼워 맞춤상태를 유지하는 유지수단(I)이 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 3에 관한 발명은, 청구항 2에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 집적패널(1)에 상기한 제1유체급배구부(1A)가 복수개 형성되고, 상기한 유체장치(2)에 상기한 제2유체급배구부(2A)가 상기한 제1유체급배구부(1A)의 존재수에 대응해서 복수개 형성되어 있음과 동시에 이들 복수의 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A),가 상호 동일한 평면상에 있어서, 각각이 상기한 개스킷(G)을 개재시켜서 연통접속이 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 4에 관한 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 제, 2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 있어서의 상기한 환상돌기(11)(21)의 내경 및 외경측에 상기한 개스킷(G)에 있어서의 상기한 환상홈(51)을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출형성된 내외의 원주벽단말부(52)(53)가 상기한 환상홈(51)과 상기한 환상돌기(11)(21)와의 끼워맞춤에 의해 확대변형 되는 것을 억제 또는 저지하는 환상누름돌기(12)(13)(22),(23)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 5에 관한 발명은 청구항 4에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 원주벽단말부(52)(53)와 상기한 환상누름돌기(12)(13)(22) (23)가 상기한 끼워 맞춤상태에 있어서는 압접되어서 밀봉부(S2)를 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 6에 관한 발명은 청구항 5에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)는 이것과 상기한 환상 돌기(11)(21)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15)(24)(25)가 안쪽 움츠러드는 상태가 되도록 상기한 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면(12a),(13a)(22a)(23a)을 갖는 선단이 옴츠러드는 형상의 환상돌기로 형성되어 있고, 상기한 원주벽단말부(52)(53)는 상기한 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)의 테이퍼원주면(12a)(13a) (22a)(23a)에 맞닿는 테이퍼원주면(52a)(53a)을 갖고, 상기한 골짜기부(14)(15) (24)(25)에 들어가는 것이 자유로운 선단이 움츠러드는 형상의 환상돌기로 형성되어서, 상기한 접합상태에 있어서, 상기한 원주벽단말부(52)(53)가 상기한 골짜기부(14)(15)(24)(25)로 들어가서 상기한 양 테이퍼원주면(12a)(13a)(22a)(23a)(52a) (53a)끼리가 압접되도록 구성되어있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 7에 관한 발명은 청구항1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 개스킷(G)의 단면형상이 상기한 제, 2유체급배구부(1A)(2A)의 축심방향에 따르는 중심선(Z) 및 그 중심선(Z)에 직각으로 교차하는 중심선(X)의 쌍방에 관해서 선대칭이 되는 대략 에이치(H)자 형상을 나타내는 것으로 구성된 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 8에 관한 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서, 상기한 유지수단(I)은 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)를 끌어당겨서 상기한 접합상태를 얻기 위한 끌어 당김기능을 발휘하는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 9에 관한 발명은 청구항 8에 기재된 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서 상기한 유지수단(I)이 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 적어도 어느 것인가 한쪽의 단말부에 형성된 외향플랜지(9B)와 이 외향플랜지(9B)에 형성되는 관통구멍(9a)과 이 관통구멍(9a)을 통해서 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 것인가 다른 쪽에 설치된 너트부(67)에 나사맞춤되는 볼트(66)를 갖고 구성되어있고, 상기한 볼트(66)를 상기한 너트(67)에 나사맞춤해서 체결시킴으로서 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 개스킷(G)을 개재시켜서 끌어당겨 지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 10에 관한 발명은 청구항 8에 기재된 집적패널과 유체장치의 접속구조에 있어서, 상기한 유지수단(I)이 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 것인가 한쪽의 외주부에 형성된 수나사부(1n)에 나사맞춤이 자유로운 암나사부(81n)를 구비한 통상너트(81)와 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 것인가 다른 쪽의 단말부에 형성된 외향플랜지(9B)에 상기한 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에서 간섭하도록 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느것인가 다른 쪽의 단말부에 외측으로 끼워 맞춤된 분할형링(82)으로 이루어지고, 상기한 통상너트의 일단부에는 상기한 외향플랜지(9B)는 허용하고, 또한 상기한 분할형링(82)과는 상기한 축심(P)방향에서 간섭하는 개구부(83a)를 갖는 내향플랜지(83)가 형성되어있고, 상기한 통상너트(81)의 상기한 수나사부(1n)에의 체결조작에 의해 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 상기한 개스킷(G)을 개재시켜서 끌어 당겨지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 11에 관한 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치의 접속구조에 있어서, 상기한 개스킷(G)이 불소수지에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 12에 관한 발명은 청구항 1 또는 2에 기재된 집적패널과 유체장치의 접속구조에 있어서, 상기한 제1, 2유체급배구부(1A)(2A)가 불소수지에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

청구항 1의 발명에 의하면, 제1, 2유체급배구부에 각각 형성된 환상돌기와, 개스킷의 일단면 및 타단면에 각각 형성된 환상홈이, 축선방향으로의 상대이동에 의해서 상호 끼워맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부를 형성하기 때문에, 이들 양자가 다소 축선방향으로 어긋나 움직이는 일이 있어도 환상돌기와 환상홈과의 끼워맞춤상태가 유지되고, 제1, 2유체급배구부 간으로부터의 액누설을 저지하는 우수한 밀봉성을 계속 발휘하는 것이 가능하게 된다.

예를 들면, 반도체 제조설비에 있어서의 세정장치의 배관계통에 이와 같은 접속구조를 사용하면, 양호한 밀봉성을 확보할 수 있으면서 장치의 점유면적을 감소시킬 수 있어서 비용상 유리한 동시에, 대유로가 확보되는 것에 의해 순환유량을 많게해서, 약액의 고순도화를 높여서 사용원료에 대한 제품의 수율 향상에 기여할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이 가능하다.

그리고, 유지수단에 의해서, 양 유체급배구부끼리가 상호 개스킷을 개재시켜서 끌어 당겨진 접합상태를 유지할 수 있기 때문에, 집적패널과 유체장치가 액의 누설없이 양호한 밀봉성을 확보할 수 있는 상태를 장기에 걸쳐 유지가능하게 되고, 신뢰성이 우수한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수 가 있다.

그 결과, 체결증대를 거의 행하지 않아도 양호한 밀봉성을 유지할 수 있음과 동시에, 그 조립작업성도 개선되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

그런데, 오목한부에 볼록한부를 삽입해서의 끼워맞춤 구조에 있어서는, 예를 들어 이들 양자가 상호같은 재질의 것이라도, 볼록한측의 부재는 거의 변화(압축변형)하지 않고, 오목한측의 부재가 확대되는 변형을 하는 경향이 있는 것이 일반적으로 알려져 있다.

여기서, 본 청구항 1에 있어서는, 유체장치에 볼록한부인 환상돌기를, 또한, 개스킷에 오목한부인 환상홈을 형성하는 구성으로 하고 있기 때문에, 크리프(creep)나 경시변화에 의해서 변형하는 것은, 유체장치에 비해서 작은 부품인 개스킷측이고 유체장치측은 대부분 변형하지 않기 때문에, 개스킷을 교환하는 것으로 장기에걸쳐 양호한 밀봉성능을 유지할 수 있는 이점을 염가로 실현할 수 있는 효과도 있다.

청구항 2의 발명에 의하면 집적패널과 유체장치와의 접속구조의 복수가 상호 동일평면상에 있어서, 구축되어 있기 때문에 동일평면상에 없는 경우에 비해서 부품가공이 적어도 되든가 조립조작이 행하기 쉬운 등의 점에서 유리한 것이 된다.

또 각 접속구조에 있어서의 구성부품(제1유체급배구부나 개스킷등)의 공통화나 일체화(급배용의 각 제1유체급배구부를 한 쌍의 유체통로를 하나의 블록으로 형성하므로서 일체화하는 등)하는 것이 가능하게 되고, 합리화를 도모할 수 있는 이점이 있다.

청구항 3의 발명에 의하면 2이상의 유체통로를 동심원상에 다중배관한 것에 의해, 복수의 유체통로를 독립해서 배열하는 구조에 비해서 접속구조부분의 콤팩트화를 도모하려고 하는 수단이다.

제1, 2유체급배구부의 각각에 형성된 환상돌기와, 개스킷의 일단면 및 타단면에 각각 형성된 환상홈이 상호 끼워맞춤해서 끼워맞춤밀봉부를 형성하기 때문에, 제1, 2유체급배구부 간으로 부터의 액누설을 저지할 수 있어서 우수한 밀봉성을 얻는 것이 가능하게 된다.

예를 들어, 반도체 제조설비에 있어서의 세정장치의 배관계통에 이와 같은 접속구조를 사용하면, 양호한 밀봉성을 확보할 수 있으면서 장치의 점유면적을 감소시킬 수 있어서 비용상 유리한 동시에, 대유로가 확보되는 것에 의해 순환유량을 많게하고, 약액의 고순도화를 높여서 사용원료에 대한 제품의 수율 향상에 기여할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이 가능하게 된다.

그리고, 유지수단에 의해서, 양 유체급배구부끼리가 상호 개스킷을 개재시켜서 끌어 당겨진 접합상태를 유지할 수 있기 때문에, 집적패널과 유체장치가 액누설없이 양호한 밀봉성을 확보할 수 있는 상태를 장기에 걸쳐서 유지가능하게 되고, 신뢰성이 우수한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

그런데, 오목한부에 볼록한부를 삽입해서의 끼워맞춤구조에 있어서는, 예를들면 이들 양자가 상호같은 재질의 것이라도, 볼록한부측의 부재는 거의 변화(압축 변형)하지않고, 오목한부측의 부재가 확대변형되는 경향이 있는 것이 일반적으로 알려져 있다.

여기서, 본 청구항 3에 있어서는, 유체장치에 볼록한부인 환상돌기를, 또한, 개스킷에 오목한부인 환상홈을 형성하는 구성으로 하고 있기 때문에, 크리프나 경시변화에 의해서 변형하는 것은, 유체장치에 비해서 작은 부품인 개스킷측으로서 유체장치측은 거의 변형하지않기 때문에, 개스킷을 교환하는 것으로서 장기에 걸쳐 양호한 밀봉성능을 유지할 수 있는 이점을 염가로 실현할 수 있는 효과가 있다.

이에 추가해서, 개스킷의 내외에 유체통로가 형성되는 것으로 되는 중간 개스킷에 있어서는, 그 내부원주부 뿐만 아니라, 외부원주부도 유체경로의 벽면으로 겸용되는 구조로 했기 때문에, 내외에서 상호 인접하는 유체통로의 간격은 중간개스킷의 두께만으로 되어, 복수의 유체통로를 극력 직경방향으로 근접시켜서 배치하는 것이 가능하게 되고, 집적패널과 유체장치와의 접속구조부분의 일층의 콤팩트화가 가능하게 되는 이점이 있다.

그 결과, 복수의 유체통로를 동심원상으로 배열해서 접속시키는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 실현할 수 있었던 것에 의해, 모듈화나 콤팩트화에 유리한 유체장치의 집적화를 촉진하는데에 기여할 수 있는 동시에, 양호한 밀봉성능을 장기에 걸쳐 유지할 수 있어서 신뢰성이 우수하고, 더구나 더욱 콤팩트화가 가능하게 되는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 제공할 수가 있다.

청구항 4의 발명에 의하면 다음과 같은 작용효과가 있다.

전술한 바와 같이, 오목한부와 볼록한부의 끼워맞춤에 있어서는 오목한부측이 확장변형되기 쉬운 경향이 있기 때문에, 그것은 즉 본 발명에 있어서는 환상홈을 형성하기 위해서 개스킷에 형성되는 내외의 원주벽단말부가 확장 변형되는 것을 의미하고 있다.

여기서, 그 원주벽단말부의 확장변형을 억제 또는 저지하는 환상누름돌기를 제1,및 제2유체급배구부에 형성하고 있기 때문에, 원주벽단말부의 확장변형이 해소 또는 경감되어서 환상돌기와 환상홈이 강한 압접력을 갖고 끼워맞춤될 수 있고, 이들 양자의 끼워 맞춤에 의한 우수한 밀봉성능을 소기대로 발휘시킬 수가 있다.

더구나, 환상누름돌기가 존재하는 것에 의해 원주벽단말부의 강성부족을 보충할수 있기 때문에, 이들이 존재하지 않는 경우에 비해서 개스킷의 원주벽단말부의 두께를 얇게 하는 것이 가능하기 때문에, 개스킷의 폭의 치수를 작게 해서, 유체통로의 전체직경의 콤팩트화, 결국은 집적패널과 유체장치와의 접속구조로서의 콤팩트화가 도모된다(청구항 2)든가 동심원상으로 배열되는 복수의 유체통로의 전체직경의 콤팩트화 결국은 집적패널과 유체장치와의 접속구조로서의 다시 또한 콤팩트화가 도모된다(청구항1)고 하는 이점도 있다.

청구항 5의 발명에 의하면, 접합상태에 있어서는, 제1, 2유체급배구부의 환상돌기와, 각 개스킷의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 압접에 의한 밀봉부가 형성되기 때문에, 그것에 의해 보다 밀봉성이 풍부한 끼워맞춤밀봉부가 구성되고, 우수한 밀봉성능을 갖는 집적패널과 유체장치와의 접속구조로 할 수가 있다.

청구항 6의 발명에 의하면, 접합상태에 있어서는, 제1, 2유체급배구부의 환상돌기와, 각 개스킷의 일단면 또는 타단면의 환상홈과의 끼워맞춤부분의 내경측 및 외경측에, 제1, 2유체급배구부의 테이퍼원주면과 개스킷의 테이퍼원주면이 압접되는 구성이 존재하고 있고, 그들 테이퍼원주면끼리의 맞닿음에 의해, 접속구조 부분의 콤팩트화(청구항 4)와, 밀봉성능향상(청구항 5)과의 쌍방의 효과를 얻을 수가 있다.

이에 추가해서, 테이퍼원주면 끼리를 맞닿게 하는 구조이기 때문에, 집적패널이나 유체장치와 개스킷을 강하게 밀어붙이는 것에 따라서 압접력이 증가하고, 상기한 콤팩트화 및 밀봉성능향상의 효과를 보다 강화할 수 있다고 하는 이점이 있다.

또 그로 인해 테이퍼 원주면끼리의 사이에 있어서의 액체 고임이 생기지않는 접속구조로 하는 것이 가능하다.

청구항 7의 발명에 의하면, 개스킷이 상하좌우로 선대칭이 되는 단면이 대략 에이치(H) 형상의 것으로 형성되기 때문에, 예를 들면 비대칭형상의 것에 비해서 개스킷이나 이것과 끼워 맞춤 되는 부분인 제1, 제2유체급배구부의 설계, 제작이 용이화됨과 동시에, 집적패널이나 유체장치에 끼워 맞춤 되는 경우의 균형(강도균형, 조립균형)이 우수한 것이 될 수 있다.

청구항 8의 발명에 의하면, 유지수단은 제1유체급배구부와 제2유체급배구 부와의 접합상태를 유지할 뿐만 아니라, 제1유체급배구부와 제2유체급배구부를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어당기는 기능도 발휘할 수 있기 때문에, 다른 끌어당기는 수단을 준비할 필요가 없게 되고, 전체로서의 조립 수고의 생략화나 비용절감이 가능하게 되는 이점이 있다.

청구항 9의 발명에 의하면, 양 유체급배구부의 적어도 한쪽에 구멍부착 외향플랜지를 형성하면, 그 구멍을 통과하는 볼트와, 상대방의 유체급배구부에 설치되는 너트부를 설치하는 것만의 간단한 수단으로 양 유체급배구부끼리의 끌어당김 및 유지를 행할 수 있게 된다.

결국, 구조가 간단하고 염가인 끌어당김 기능부착 유지수단으로 하면서 각종의 이점을 갖는 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 얻을 수가 있다.

청구항 10의 발명에 의하면, 제1, 2유체급배구부의 어느 것인가 한쪽의 단말부에 형성된 외향플랜지에 분할형링을 개재시켜 걸어 맞추어져 있는 통상의 너트를, 또 한쪽의 제1, 2유체급배구부의 수나사에 나사조임 시킬 뿐의 간단한 조작에 의해, 제1, 2유체급배구부의 환상돌기와 개스킷의 환상홈을 끼워 맞춤시켜서 집적패널과 유체장치를 밀봉상태로 연통접속할 수 있음과 동시에, 통상너트의 나사 조임을 중지하는 것만으로, 그 접속상태를 유지할 수 있는 편리하고 취급하기 쉬운 끌어당김 기능부착 유지수단이, 콤팩트하고 장소를 차지하지않는 합리적인 것으로서 얻어진다.

또, 통상너트는 제1유체급배구부 또는 제2유체급배구부의 단말부에 외부 끼워 맞춤 장착 및 이탈이 자유롭고, 외부 끼워 맞춤 장착상태에서는 외향플랜지 및 분할형링의 쌍방에 축 방향에서 간섭하기 때문에, 통상너트에 의한 제1,2유체급배구부끼리의 직접접속을 가능하게 하면서, 분할형링 및 통상너트를 제1, 또는 제2유체급배구부에 차후 부착으로 장착하는 것이 자유롭다.

따라서 통상의 너트와 분할형링정도의 적은 부품 수로 되는 경제적, 합리적인 것으로 하면서 제1또는 제2유체장치의 제조시에 통상너트를 유체급배구부에 외측으로부터 끼워 맞춤 장착해 둔다고 하는 어려운 제조수단을 채용하는 일이 없이 통상의 너트를 사용해서 집적패널과 유체장치와의 접속조작이 간단하고 편리하게 행해진다.

청구항 11이나 12의 발명에 의하면, 개스킷이나 양 유체급배구부가 내약품성 및 내열성으로 우수한 특성을 갖는 불소계 수지로 형성되어 있기 때문에, 유체가 약물이라든가 화학 액체라도, 혹은 고온유체라도 관의 이음매구조부분이 변형해서 누설되기 쉬워지는 일이 없고, 양호한 밀봉성이 유지될 수 있게 된다.

또한, 불소계 수지는, 수소 원자의 1개 이상을 불소로 치환한 에틸렌 및 그 유도체의 중합에 의해서 얻어지는 수지상 물질이며, 고온에서도 안정되고, 발수성에서도 우수하다.

또 마찰계수가 작고, 내약품성도 극히 높고, 전기절연성도 높은 점에서 바람직하다.

도 1은 집적패널과 밸브와의 동심원상 다중유로 접속구조를 나타내는 단면도(실시예 1)

도 2는 도 1의 접속구조에 사용되는 개스킷과 유체급배구부의 주요부의 단면도

도 3은 개스킷과 유체장치와의 끼워맞춤구조의 상세를 나타내는 주요부의 확대단면도

도 4는 플랜지배관을 개재시킨 집적패널과 펌프와의 동심원상 다중유로 접속구조를 나타내는 단면도(실시예2)

도 5는 유지수단의 제1별도구조를 나타내는 주요부의 단면도(실시예 3)

도 6은 도 4의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속순서를 나타내는 설명도

도 7은 유지수단의 제2별도구조를 나타내는 주요부의 단면도(실시예 4)

도 8은 도 6의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속순서를 나타내는 설명도

도 9는 유지수단의 제3별도구조를 나타내는 주요부의 단면도(실시예 5)

도 10a, 도 10b는 다같이 유체장치와 개스킷과의 별도 끼워 맞춤구조를 나타내는 주요부의 단면도

도 11a, 도 11b는, 유체장치와 제2개스킷과의 별도 끼워 맞춤구조를 나타내는 주요부의 단면도

도 12a, 도 12b는, 유체장치와 제1개스킷과의 별도 끼워 맞춤구조를 나타내는 주요부의 단면도

도 13은 집적패널과 밸브와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예 6)

도 14는 도 13의 접속구조에 사용되는 개스킷과 유체급배구부의 주요부의 단면도

도 15는 개스킷과 유체장치와의 끼워 맞춤구조의 상세를 나타내는 주요부의 확대단면도

도 16은 집적패널과 벨로식밸브와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예 7)

도 17은 집적패널과 필터와의 접속구조를 나타내는 단면도(실시예8)

도 18은 제1별도구조의 유지수단을 단일유로형의 접속구조에 적용한경우를 나타 내는 주요부의 단면도(실시예9)

도 19는 도 18의 유지수단을 갖는 접속구조의 접속순서를 나타내는 설명도

도 20은 유지수단의 제4별도구조를 나타내는 주요부의 단면도(실시예10)

도 21은 유지수단의 제5별도구조를 나타내는 주요부의 단면도(실시예11)

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 집적패널 1A 제1유체급배구부

1n 수나사부 2 유체장치

2A 제2유체급배구부 3,7 관형상의 유체통로

4,8 환상의 유체통로 9a 관통구멍

9B 외향플랜지 10 끼워맞춤밀봉부

11,21 환상돌기 12,13,22,23 환상누름돌기

12a,13a,22a,23a 테이퍼주면 14,15,24,25 골짜기부

16,19 집적패널의 유체통로 17,18 유체장치의 유체통로

51 환상홈 52,53 주벽단말부

52a,53a 테이퍼원주면 66 볼트

67 너트부 81 통상너트

81n 암나사부 82 분할형링

83 내향플랜지 83a 개구부

G 개스킷 I 유지수단

P 축심 S2 밀봉부

W 유체경로 X 중심선에 직각으로 교차하는 중심선

Z 축심방향에 따르는 중심선

다음에, 본 발명에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조의 실시의 형태를 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1, 2는 실시예 1에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내는 전체도면과 주요부단면도, 도 3은 제1개스킷과 제1유체급배구부와의 상세한 끼워 맞춤구조를 나타내는 주요부의 단면도, 도 4는 실시예2에 의한 집적패널과 유체 장치와의 접속구조를 나타내는 전체도면, 도 5, 6, 18, 19는 제1별도구조에 의한 유지수단의 반결재단면도와 조립설명도, 도 7, 8은 제2별도구조에 의한 유지수단의 반결재단면도와 조립설명도, 도 9는 제3별도구조에 의한 유지수단의 단면도, 도 10 ~ 도 12는 유체장치와 개스킷과의 각종의 별도 끼워 맞춤구조를 나타내는 주요부의 단면도이다. 도 13~도 15는 실시예3에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구 조를 나타내고도 16, 17은 각각 실시예4, 5에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 나타내고, 도 20 은 유지수단의 제4별도구조, 도 21은 유지수단의 제5별도구조를 나타내는 단면도이다.

[실시예 1]

실시예 1에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 1, 도 2에 나타낸다.

이 집적패널과 유체장치와의 접속구조는, 복수의 관형상의 유체통로(3)(4) 가 내부에 형성된 집적패널(1)과, 이것의 상면(1a)에 내외의 합계 2개의 링형상의 개스킷(G 1)(G 2)을 개재시켜서 탑재되는 밸브(개폐밸브, 스톱밸브등)(2)에 걸쳐 구성된 세로방향의 축심(P)을 공유하는 동심원상 이중유로형의 것이다.

집적패널(1)은, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, PFA나 PTFE등의 불소 수지제의 패널재(또는 블록재)(5)의 내부에, 패널상면(1a)에 개구되는 상하방향의 세로통로(3a)와 가로방향의 가로통로(3b)로 이루어지는 관형상의 공급측유체통로(3)와, 세로통로(3a)의 외경측으로 형성되어서 패널상면(1a)에 개구되는 환상의 세로통로(4a)와 이것의 저면부에 연통 되는 가로방향의 가로통로(4b)로 이루어지는 배출측유체통로(4)가 형성된 것이다.

이 집적패널(1)에 있어서의 급배유체통로(3)(4)가 이중배관형상으로 개구되는 부분을 제1유체급배구부(1A)로 칭하는 것으로 하고, 이 제1유체급배구부(1A)에 있어서는, 관형상의 세로통로(3a)와 환상의 세로통로(4a)가 상호 동일한축심(P)을 갖는 동심원상의 통로에 형성되어 있다.

또, 제1유체급배구부(1A)에는, 그 상단면에 개구되는 각 유체통로(3),(4)의 외경측부분의 각각에는, 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로서, 또한, 위쪽으로 돌출한 내외의 환상돌기(21)(41)를 갖는 하부 제1밀봉단말부(t21) 및 하부 제2밀봉단말부(t22)가 형성되어 있다.

밸브(유체장치의 1예)(2)는, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, PFA나 PTFE등의 불소수지제로 상하방향으로 보아 형상이 원형의 밸브케이스(6)를 갖고 있고, 그 밸브케이스(6)의 하단부는, 저면(6a)에 개구되는 상태로 그 중심에 세로방향으로 배치된 관형상의 공급측유체통로(7)와, 이 공급측유체통로(7)의 외경측으로 형성되어서 저면(6a)에 개구되는 상태로 세로방향으로 배치된 환상의 배출측유체통로(8)를 갖는 제2유체급배구부(2A)에 형성되어 있다.

즉, 이 제2유체급배구부(2A)에 있어서는, 관형상의 공급측유체통로(7)와 환상의 배출측유체통로(8)가 상호 동일한 축심(P)을 갖는 동심원상의 통로에 형성되어있다.

그리고, 밸브케이스(6)의 하단의 외주부에는, 한 쌍의 볼트 삽입관통구멍(9a)을 갖는 PFA나 PTFE등의 불소수지제의 부착플랜지(9)가 융착에 의해서 일체화되어있다.

또한, 밸브케이스(6)와 부착플랜지(9)와는, 절삭가공이나 성형가공에 의해서 일체 형성된 일체형의 것이라도 된다.

또, 제2유체급배구부(2A)에는, 그 하단면에 개구되는 각 유체통로(7)(8)의 외경측부분의 각각에는, 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로서, 또한, 윗쪽으로 돌 출한 내외의 환상돌기(11)(31)를 갖는 상부 제1밀봉단말부(t11) 및 상부 제2밀봉단말부(t12)가 형성되어 있다.

내외의 개스킷(G)(G)은 직경이 다른 것 만으로서 단면형상은 동일한 것으로 형성되어 있다.

그 구조를 내측의 제1개스킷(G1)(개스킷G의 1예)을 예로 들어 설명한다.

또한, 설명을 생략하는 바깥쪽의 제2개스킷(G2)(개스킷G의 1예)에는, 제1개스킷(G1)에 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하는(예: 54a→64a)것으로 한다.

그런데, 제1개스킷(G1)은, 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 유체통로인 세로통로(3a)및 공급측유체통로(7)끼리를 연통시키기 위해 형성된 관형상의 유체경로(W1)(제2개스킷G2에서는 환상의유체경로W2)와, 제1, 및 제 2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상부 제1밀봉단말부(t11)의 환상돌기(11)와 상부 제2밀봉단말부(t12)의 환상돌기(31)의 각각에 끼워맞춤하기 위해 유체경로(W1)의 외경측부분에 형성된 상하 한 쌍의 환상홈(51)(51)을 갖는 PFA나 PTFE등의 불소수지제의 것으로 구성되어있다.

즉, 제 1개스킷(G1)의 단면형상은, 상하 한 쌍의 환상홈(51)(51)과, 이들 환상홈(51)(51)을 형성하기 위한 내주벽(54)및 외주벽(55)을 갖는동시에, 상하의 환상홈(51)(51)은 깊이 및 폭이 동일하게되는 상하대칭이며, 또한, 내주 및 외주벽(54)(55)도 좌우 대칭이고, 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에 따르는 세로중심(Z), 및 그 세로중심선(Z)에 직각으로 교차하는 가로중심선(X)의 쌍 방에 대해서 선대칭(거의 선대칭이라도 된다)이되는 대략 에이치(H)자형상으로 형성되어 있다.

내주벽(54)의 상하단말부는, 내주면(54a)인 유체경로(W1)의 상하단말부가 선단 확대형상으로 외향경사하는 테이퍼내주면(52a)(52a)에 형성되는 동시에, 외주벽(55)의 상하단말부도, 그 외주면(55a)의 상하단말부가 내향경사지는 테이퍼외주면(53a)(53a)에 형성되어 있다.

집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)의 하부 제1,및 하부 제2밀봉단말부(t21)(t22)의 환상돌기(21)(41)및 밸브(2)의 제2유체급배구(2A)의 상부제1, 및 상부 제2밀봉단말부(t11)(t12)에 있어서의 환상돌기(11)(31)의 내경 및 외경측에, 각 개스킷(G1)(G2)에 있어서의 환상홈(51)(61)을 형성하기 위해 축심(P)방향으로 돌출형성된 내외의 주벽단말부(52a)(53a)(62a)(63a)가, 상호 대응하는 환상홈(51)(61)과 상호대응하는 환상돌기(11)(21)(31)(41)의 끼워 맞춤에 의해서 확대변형 하는 것을 저지하는 환상누름돌기(12)(13),(22)(23),(32)(33)(42)(43)가 형성되어 있다.

상기한 환상누름돌기에 관한 구조를, 제1개스킷(G1)과 상부 제1밀봉단말부(t11)에 대해 설명한다.

내외의 환상누름돌기(12)(13)는 대칭의것이며, 이들과 환상돌기(11)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15)가 속옴츠러드는형상(상부 옴츠러드는형상)이 되도록 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼외주면(12a)및 테이퍼내주면(13a)을 갖는 선단이 옴츠러드는형상의 환상돌기에 형성되어 있다.

즉, 상부 제1밀봉단말부(t11)는, 환상돌기(11)와 그 내외의 양측에 형성되는 환상누름돌기(12)(13) 및 골짜기부(14)(15)의 총칭이다.

제1개스킷(G1)의 내외의 원주벽(54)(55)의 상부단말부는, 환상누름돌기(12)(13)의 테이퍼외주면(12a)과 테이퍼내주면(13a)의 각각에 맞닿는 테이퍼내주면(52a)과 테이퍼외주면(53a)을 갖고, 골짜기부(14)(15)에 들어가는 것이 자유로운 선단 움츠러드는 형상의 환상밀봉돌기(원주벽 단말부의 1예)(52)(53)를갖고, 접합상태(도 1참조)에 있어서는, 내외의 원주벽(54)(55)에 있어서의 상측의 원주벽단말부인 환상밀봉돌기(52)(53)가 대응하는 골짜기부(14)(15)에 들어가서, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼외주면(12a)과 제1개스킷(G1)의 테이퍼내주면(52a)이 압접되고, 또한, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼내주면(13a)과 제1개스킷(G1)의 테이퍼외주면(53a)이 압접되도록 구성되어있다.

결국, 제1개스킷(G1)의 상단부에는, 환상홈(51)과 그 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)로 상부밀봉부(g11)가 형성되어 있고, 같은모양으로 하단부에는 하부밀봉부(g12)가 형성되어 있다.

상부밀봉부(g11)는 상부 제1밀봉단말부(t11)와 끼워 맞춤해서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성하고, 하부밀봉부(g12)는 하부 제2밀봉단말부(t21)와 끼워 맞춤해서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

같은 모양으로, 제2개스킷에도 상부밀봉부(g21)와 하부밀봉부(g22)가 형성되어있고, 각각 상부 제2밀봉단말부(t12)와 하부 제2밀봉단말부(t22)와 끼워 맞춤해서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

끼워맞춤밀봉부(10)의 끼워 맞춤구조를, 상부 제1밀봉단말부(t11)와 제1개스킷(G1)의 상부밀봉부(g11)에 대해서 상세하게 설명하면, 도2, 도3에 나타내는 바와같이, 내외의 골짜기부(14)(15)끼리를, 및 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)끼리는 상호 대칭으로서, 내외의 골짜기부(14)(15)전체의 협각 α°와 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)전체의 첨예각 β°와의 사이에는, α°> β°라고하는 관계가 설정되어있고, 바람직하게는 α°+( 5~15°)= β° 라는 관계로 설정하면 된다.

이 구성에 의해, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 상부환상돌기(11)와 환상홈(51)이 끼워 맞춤된 접합상태(후술)에서는, 상부 내측환상누름돌기(12)와 상부 내측환상 밀봉돌기(52)와는, 그들의 테이퍼외주면(12a)과 테이퍼내주면(52a)이 최대내경측 부분에서 압접되는 상태가 되고(도3의 가상선을 참조), 유체통로(W1)를 통과하는 유체가 이들 외측내부의 테이퍼원주면(12a)(52a)끼리의 사이에 들어가는 것을 저지 하는 2차밀봉부(S2)로서 기능하는 이점이 얻어진다.

그리고, 상부환상돌기(11)의 폭(d1)과 상부환상홈(51)의 폭(d2)과의 사이에는, d1 > d2 라고 하는 관계가 설정되어있고, 바림직하게는 d1×(0.75~0.85)= d2 라고하는 관계로 설정하는 것이 좋다.

그리고, 상부환상돌기(11)의 돌출길이(h1)와 상부환상홈(51)의 깊이(h2) 와의 사이에는 h1 < h2 라고 하는 관계가 설정되어 있다.

이들 구성에 의해, 상부환상돌기(11)와 상부환상홈(51)이, 상세하게는, 상부 환상돌기(11)의 내외의 양측원주면과 상호대응하는 환상홈(51)의 내외측원주면이 강하게 압접되어, 유체의 누설을 저지하는 우수한 밀봉성능을 발휘하는 1차밀봉 부(S1)가 형성되는 동시에, 상부 내측환상누름돌기(12)의 테이퍼외주면(12a)과 상부 내측환상밀봉돌기(52)의 테이퍼내주면(52a)이 반드시 맞닿게 되는 것에 의해, 전술한 2차밀봉부(S2)가 양호하게 형성되는 이점이 있다.

또, 환상누름돌기(12)(13)의 선단, 및 환상밀봉돌기(52)(53)의 선단은 핀각이 되지않도록 절단된 형상, 즉, 경사절단면(12b)(13b), 및 절단면(52b),(53b)에 형성되어있다.

이들의 구성에 의해, 상부 내측환상누름돌기(12)의 선단이 유체통로(W1)측으로 약간 확장 변형되었다고 해도, 원래 절단된 형상인 것이기 때문에, 유체통로(W1)의 도중에 크게 개구된 단면이 삼각형상의 오목한부가 생기는 것 뿐으로서 , 그 오목한부에 존재하는 유체가 용이하게 유출되도록 되어 실질적으로 액류의 고임이 생기지 않게 된다.

이에 추가해서, 그 오목한부의 개구각도, 즉, 경사절단면(12b)과 테이퍼내주면(52a)과의 협각은 충분히 크고, 표면장력에 의한 액류의 고임의 우려도 회피된다.

또, 환상돌기(11)선단의 내부각 및 외부각은 모따기가공된 형상(11a)으로 하고있기때문에, 폭이 좁은 환상홈(51)에 대한 압입이동을 갉아냄 등의 불합리함이 없이 원활히 행할 수 있는 것으로 되어있다.

이상 기술한 끼워맞춤밀봉부(10)의 구조는, 제1개스킷(G1)의 하측, 및 제2개스킷(G2)에 있어서도 같은 모양으로 구성되어 있고, 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하는 것으로 한다.

제2개스킷(G2)은, 직경은 다르지만 단면형상에 관해서는 제1개스킷(G1)의 것과 완전히 동일하다.

단, 제1및, 제2유체급배구부(1A)(2A)의 상부 제2밀봉단말부(t12)와 하부 제2밀봉단말부(t22)에 대해서는, 그 바깥둘레측으로 유체통로가 존재하지 않기 때문에, 각각 상부 제1밀봉단말부(t11)와 하부 제2밀봉단말부(t21)와는 약간 형상이 다르다.

즉, 상부 제2밀봉단말부(t12)에 관해서는, 환상누름돌기(33)의 테이퍼내주면(33a)에 이은 상태로, 밸브케이스(6)의 하단부를 형성하기 위한 하단내주부(6b)가 존재하고 있는 점이다.

이 하단내주부(6b)는, 제2개스킷(G2)의 상부밀봉부(g21)를 상부 제2밀봉단말부(t12)에 끼워맞춤 하는 때의 안내부로서 기능하는 동시에, 테이퍼내주면(33a)과 함께 제2개스킷(G2)의 외주벽(65)의 확장변형을 저지하는 기능도 발휘가능하다.

그리고, 하부 제2밀봉단말부(t22)에 관해서는, 외측의 환상누름돌기(43)의 바깥둘레측으로 패널재(5)가 연속해서 존재하고 있는 점이며, 하부밀봉부(g22)와 하부 제2밀봉단말부(t22)와의 끼워맞춤시에, 제2개스킷(G2)의 하부밀봉부(g22)의 외부 환상밀봉돌기(63)의 확장변형이 테이퍼내주면(43a)에 의해서 저지되는 작용효과를 강화되게 된다.

한편, 제1,및 제2개스킷(G1)(G2) 가운데, 접합상태에 있어서 내경측 및 외경측의 쌍방에 유체통로(7)(8)가 존재하는 중간개스킷인 제1개스킷(G1)은, 이것의 외주부인 외주면(55a)이, 제1개스킷(G1)의 외경측에 존재하는 제1유체급배구부(1A)의 환상의 유체통로(4a)와 제2유체급배구부(2A)의 환상의 유체통로(8)와를 연통하는 환상의 유체경로(W2)를 형성하기위한 벽면이 되는 상태로 형성되어있다.

이와 같이 제1개스킷(G1)의 내외주면(54a)(55a)의 쌍방이 유체통로(W1),(W2)를 형성하는 벽면을 겸하는 구성으로하면,「제1개스킷G1의 두께」= 「환상유체통로 3a, 7과 관형상 유체통로 4a,8과의 간격」이되어서, 제1,및 제2 유체급배구부(1A)(2A)의 접속부를 보다 콤팩트화 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 도 1에 가상선으로 나타내는 바와 같이, 제2개스킷(G2)의 외주벽(65)에 가로돌출하는 링형상의 탈착플랜지(1f)를 일체로 형성해두면, 제1,또는 제2유체급배구부(1A)(2A)로부터 제2개스킷(G2)을 뽑아낼 때에, 공구나 손가락으로 플랜지(1f)를 끌어당기는 등 해서 벗겨내기 쉽게 할 수 있다고 하는 이점이 있다.

이 경우, 탈착플랜지(1f)의 두께는, 접합상태에 있어서의 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A)끼리의 간격보다도 작은 값으로 한다.

다음에, 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

유지수단(I)은, 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)와 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)가 상호 제1,및 제2개스킷(G1),(G2)을 개재시켜서 끌어당기는 동시에, 그 끌어당기는 작용에 의해서, 제1유체급배구부(1A)의 상부 제1밀봉단말부(t11)및 상부 제2밀봉단말부(t12)와, 제1,및 제2개스킷(G1)(G2)의 상부밀봉부(g11)(g21)가, 및 제2유체급배구부(2A)의 하부제1,및 하부 제2밀봉단말부(t21)(t22)와, 제1,및 제2개스킷(G1)(G2)의 하부밀봉부(g12)(g22)가 각각 끼워 맞춤해서 각 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되는 접합상태를 유지하는 것으 로 구성되어있다.

즉, 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)(31)와 제1,및 제2개스킷(G1),(G2)의 상측의 환상홈(51)(61)이, 및 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21),(41)과 제1,및 제2개스킷(G1)(G2)의 하측의 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞춤된다.

유지수단(I)의 구체구조는, 제2유체급배구부(2A)의 부착플랜지(9)의 볼트 삽입관통구멍(9a)에 삽입관통되는 한 쌍의 볼트(66)와, 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)(9a)에 대응해서 제1유체급배구부(1A)에(패널재 5에)형성된 너트부(67),(67)로 구성되어 있고, 볼트(66)를 너트부(67)에 나사조임해서의 체결조작에 의해, 밸브(2)를 집적패널(1)에 끌어당기고, 동시에, 그 끌어당김 상태를 유지할 수가 있다.

또, 경시변화나 크리프 등이 발생해서 각 끼워맞춤밀봉부(10)의 압접력이 저하한 경우에는, 볼트(66)를 체결증대시키는 것으로서 대처할 수가 있고, 양호한 밀봉성능을 유지하는 것이 가능하다.

[실시예 2]

실시예 2에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)과, 유체장치의 일예인 펌프(고온 세정장치순환 라인용의 벨로펌프 등)(2)를 플랜지배관(71)을 개재시켜서 연통 접속시키는 것이다.

내외의 제1개스킷(G1)(개스킷G의 1예),제2개스킷(G2)(개스킷G의 1예)을 개재시킨 접속부자체의 구성은 실시예1에 의한 것과 동일하기 때문에, 주요한 부호만을 부여하는 동시에, 그 상세한 설명은 할애한다.

그런데, 집적패널(1)에 대해서는, 배출측의 유체통로(4)의 꺼냄 방향이, 실시예1에 의한 집적패널(1)의 경우와 역으로 되어 있는 것 이외는 기본적으로 같은 구조이다.

단, 실시예1에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는 집적패널의 상면에 구성되어 있는 것에 대해, 이 실시예2에 의한 접속구조는, 집적패널(1)의 가로측면에 구성되어 있다.

펌프(2)의 급배용의 유체통로(7)(8)는 가로측면에 개구되는 구조이고, 집적패널(1)에서는 한 쌍의 유체통로(3)(4)가 이중관 구조인 것에 대해, 세로로 나란히 배치되는 독립형의 것이다.

플랜지배관(71)은, 전술한 부착플랜지(9)를 갖는 플랜지부(72)와, 이것에 이은 대략 두갈래 형태의 관로부(73)로 이루어지고, 관로부(73)는, 관형상의 공급측 유체통로(74)를 갖는 공급측배관(73A)과, 관형상의 배출측 유체통로(75)를 갖는 배출측의 유체통로(73B)로 구성되어있다.

플랜지부(72)에 있어서는, 공급측유체통로(74)가 축심(P)을 중심으로 하는 관형상의 것으로 해서 집적패널(1)의 세로통로(3a)에 정면으로 대향해서 개구되는 동시에, 집적패널(1)의 세로링통로(4a)에 정면 대향해서 개구되는 환상통로부분(75a)이 배출측 유체통로(75)에 연속되는 상태로 형성되어 있다.

각 유체통로(74)(75)는 융착 등의 수단에 의해서 펌프(2)의 입구측포트(76),및 출구측포트(77)에 연통상태로 접속 연결되어 있다.

이와 같이, 이중배관구조의 플랜지부(72)와 독립한 2개의 배관부(73)를 갖는 플랜지배관(71)을 사용하는 것에 의해, 집적패널(1)에 있어서의 이중배관구조의 제1유체급배구부(1A)와 병렬배치된 한 쌍의 입구 및 출구측포트(76)(77)로 이루어지는 제2유체급배구부(2A)를, 즉, 집적패널(1)과 펌프(2)를, 유체통로의 개구구조가 상호 다른 것끼리 들이면서도, 상호 근접시켜서 무리 없이 콤팩트하게 연통 접속시킬 수가 있다.

[실시예 3]

실시예 3에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 5, 6에 나타낸다.

이것은 실시예1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 제1별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

또한, 도 5, 6에 있어서는, 도 1~3에 나타내는 실시예1의 것과 대응되는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제1별도구조에 의한 유지수단(I)은, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 상면에 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)의 외주부에 수나사(1n)를 형성하고, 그 수나사(1n)에 나사조임이 자유로운 암나사(81n)를 구비한 통상너트(81)와, 밸브(2)의 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 외향플랜지(9)에, 환상의 유체통로(7)의 축심(P)방향으로 간섭하는 2개분할, 또는 3개분할 이상의 분할형링(82)으로 구성되어 있다.

제1유체급배구부(1A)의 수나사(1n)에 암나사(81n)를 나사조임 해서의 통상너트(81)의 체결조작에 의해, 양 유체급배구부(1A)(2A)를 상호 제1의 개스킷(G1)(개스킷G의 1예),및 제2의 개스킷(G2)(개스킷G의 1예)을 개재시켜서 접근하는 방향으 로 끌어당김이 가능하게, 또한, 끌어당김 상태를 유지가능한 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

통상너트(81)의 밸브(2)측(상측)으로 형성되는 내향플랜지(83)의 개구부(83a)는, 외향플랜지(9)의 통과를 허용하기에 족한 최소한의 내경치수로 설정되어있다.

분할형링(82)의 외경은, 통상너트(81)가 들어가는 것이 자유롭게 되도록 암나사(81n)의 내경보다도 근소하게 작은 치수로 설정되고, 또한, 내경은, 밸브(2)의 원형의 제2유체급배구부(2A)의 외경부에 외측 끼워 맞춤이 자유롭게 되는 최소한의 치수로 설정되어 있다.

이 경우, 분할형링(82)을 장비하기 위해서는, 제2유체급배구부(2A)에 있어서의 외향플랜지(9)를 제외한 직경이 가는 부분의 축방향길이가, 통상너트(81)의 축방향길이와 분할형링(82)의 두께와의 합을 상회하는 값으로 하는 것이 필요하다.

구체적으로는, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 밸브케이스(6)의 뿌리부(6t)에 맞닿게 한 상태의 통상너트(81)와 외향플랜지(9)와의 사이의 길이(d3)가, 분할형링(82)의 두께(d4)보다도 큰것(d3 > d4)이 조건이 된다.

또, 통상너트(81)에 있어서의 암나사(81n)의 내면단말부와 내향플랜지(83)의 사이로, 분할형링(82)에 축방향으로 슬라이드이동이 자유롭고, 동시에, 분할형링(82)의 폭의 치수를 커버하는 축심(P)방향 길이를 갖는 내주면부(81m)가 축심(P)과 동심원상으로 평탄한 내주면에 형성되어 있다.

즉, 통상너트(81)의 암나사(81n)와 내향플랜지(83)의 사이에 있어서의 내경 부(81a)가 공급측유체통로(7)와 동심원상으로 평탄한 내주면에 형성되고, 또한, 그 내주면부(81m)의 내경이 단면이 직사각형으로 형성된 분할형링(82)의 외경보다도 극히 근소하게 크게 한 끼워 맞춤공차 상태로 치수설정되는 한편, 제2유체급배구부(2A)의 외경부가 공급측유체통로(7)와 동심원상으로 평탄한 주면에 형성되고, 또한, 그 외경부의 외경과, 분할형링(82)의 내경이 거의 동일한 직경으로 형성된다.

이것에 의해, 통상너트(81)를 나사조임 시키는 때에 분할형링(82)이 경사져서 긁어내는 것 같은 상태가 되거나, 외향플랜지(9)에 통상너트(81)의 나사조임에의한 축심(P)방향의 압압력이 잘 전달되지 않거나 한다고 하는 불편이 생기는 것이 방지되고, 유효하게 외향플랜지(9)를 눌러서, 제1,제2유체급배구부(1A),(2A)를 상호 접근하는 방향으로 양호하게 끌어당길 수 있도록 되어있다.

제1별도구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 조작순서는 다음과 같다.

우선,도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 외향플랜지(9)를 앞서가게 해서 통상 너트(81)를 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 바깥둘레로 끼워맞춤 장착시켜, 그 최내면측까지(뿌리부 6t에 맞닿을 때 까지)이동 시킨다.

이어서, 도 6의 (b)에 나타내는 바와같이, 분할형링(82)을, 외향플랜지(9)와 통상너트(81)의 선단과의 사이를 통과시켜 제2유체급배구부(2A)에 외측 끼워맞춤 장착시킨다.

이때 또는 그 이전에 제1, 2개스킷(G1)(G2)을 어느 것인가의 유체급 배구부(1A)(2A)의 단면에 환상돌기(11)(21)(31)(41)와 환상홈(51)(61)과의 임시 끼워맞 춤을 개재하여 장착시켜 두어도 된다.

이어서, 양개스킷(G1)(G2)을 개재해서 제1유체급배구부(1A)를 제2유체급 배구부(2A)에 적당히 할당해서, 그 상태로 통상너트(81)를 슬라이드 이동시키고 나서 체결조작[도 6의 (c)참조]하는 것에 의해, 도 5에 나타내는 접속상태가 얻어진다.

또한, 도 6에 있어서는, 상하로 적층되는 집적패널(1)과 밸브(2)를, 도면에의 기재사정에 의해 옆으로 넘어진 상태로 그려져 있다.

[실시예 4]

실시예 4에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 7, 8에 나타낸다 .

이것은 실시예1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 제2별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

또한, 도 7, 8에 있어서는, 도 1~3에 나타내는 실시예1의 것과 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제2별도구조의 유지수단(I)은, 제, 2유체급배구부(1A)(2A)를 그 단면측일수록 직경이 커지도록 직경을 확대해서 이루어지는 제1 및 제2원추대상 단말부(1D)(2D)와, 제1원추대상 단말부(1D)의 테이퍼외주면(1d)에 맞닿는 제1테이퍼내주면(84a), 및 , 제2원추대상 단말부(2D)의 테이퍼외주면(2d)에 맞닿는 제2테이퍼내주면(84b)과에 의해 단면이 대략 쿠（く）자 모양을 나타내는 내주면을 갖는 한 쌍의 절반분할원호부재(84)(84)로 이루어지는 분할형누름링(85)과, 절반분할원호부재(84)(84)끼리를 끌어당기는 볼트(86) 및 한쪽의 절반분할원호부재(84)에 형성된 너트(87)를 갖고 구성되어있다.

접합상태에 있어서의 제1원추대상 단말부(1D)와 제2원추대상 단말부(2D) 에 걸쳐서 한 쌍의 절반분할원호부재(84)를 덮어씌운 상태에 있어서, 다른 쪽의 절반분할원호부재(84)의 삽입관통구멍(84h)으로 통과시켜진 볼트(86) 및 너트(87)의 체결에 의해, 일단이 경첩형상으로 지지점(Q)에서 축지지되어 있는 절반분할원호부재(84)(84)끼리가 끌어 당겨지는 것에 의한 테이퍼면끼리의 맞닿음에 의한힘에 의해서, 각 유체급배구부(1A)(2A)끼리가 상호 끌어당겨 진다.

분할형누름링(85)은, 불소수지제로 형성되는 것이 바람직하지만, 알루미늄합금 등의 그것 이외의 재료로 이루어지는 것이라도 된다.

제2별도구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 조작순서는 다음과 같다.

우선, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 우선 제1,제2유체급배구부(1A),(2A)를 제1,및 제2개스킷(G21)(G2)을 개재시켜서 가볍게 접속연결시키는 예비연결 조작을 행한다.

다음으로, 그 예비연결된 제1,및 제2원추대상 단말부(1D)(2D)에 분할형 누름링(85)을 덮어씌워 볼트(86)에 의한 체결조작을 행한다.

이 볼트(86)의 체결에 의해, 양 개스킷(G1)(G2)이 각 유체급배구부(1A),(2A)에 깊게 끼워 넣어져서, 도8의 (c)에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)과 밸브(2)와의 접속연결 상태가 얻어진다.

[실시예 5]

실시예 5에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 9에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 제3별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

또한, 도 9에 있어서는, 도 1~3에 나타내는 실시예1의 것과 대응하는 개소에는 대응하는 부호를 부여하고 있다.

제3별도구조의 유지수단(I)은, 집적패널(1)의 상면에, 외주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와, 제2유체급배구부(2A)에 있어서 외주부에 수나사(9n)를 갖는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와, 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(91n)(92n)를 갖는 제1,및 제2링너트(91)(92)와, 이들 링너트(91)(92)의 외주홈(91m)(92m)에 끼워 맞춤이 가능한 단면형상이 대략 고(コ）자모양의 걸어맞춤링(93)으로 구성되어 있다.

양 링너트(91)(92) 및 걸어맞춤링(93)은 PFA나 PTFE등의 불소수지제이며 , 어느 정도의 가요성을 갖고 있다.

여기서 제3별도구조의 유지수단(I)을 사용해 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속연결하는 순서는, 미리 각 링너트(91)(92)에 걸어맞춤링(93)을 걸어맞추어서 일체화된 제1,및 제2링너트(91)(92)를 형성해두고, 그 일체화된 제1,제2링너트(91)(92)를, 제1개스킷(G1)(개스킷G의 1예),및 제2개스킷(G2)(개스킷 G의 1예)를 개재시켜 상호 끌어 당겨져서 조립상태로 되어있는 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A)에 나사 장착해서, 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 형성한다고 하는 상태가 된다.

물론, 이 경우에는 각 수나사(1n)(9n)가 상호 동일한 나사인 것이 조건이고, 나사 장착 후에 각 링너트(91)(92)를 돌려서 보다 강력하게 체결하거나, 혹은 후에 체결증대 시키는 것이 행해진다.

또, 다음과 같은 조립순서도 가능하다.

즉, 각각의 링너트(91)(92)를 대응하는 수나사(1n)(9n)에 나사 장착한 상태에서, 양 유체급배구부(1A)(2A)를 제1,및 제2개스킷(G1)(G2)을 개재시켜 끌어당겨, 개스킷(G1)(G2)이 압접되어서 밀봉상태로 접속하는 끌어당김 공정을 행한다.

이 끌어당김 공정은, 유지수단(I)과는 별도의 전용의 끌어당김 수단을 사용해서 행한다.

그리고나서, 각 수나사(1n)(9n)의 각각에 상호 인접하는 상태로 나사장착 되어있는 제1,및 제2링너트(91)(92)의 외주홈(91m)(92m)에, 걸어맞춤링(93)을 강제적으로 직경확대 변형하는것으로 집어넣는 것에의해, 집적패널과 유체장치와의 접속구조가 형성된다.

결국, 걸어맞춤링(93)은 무리한 끼워맞춤에 의해 양 링너트(91)(92)에 걸어 맞추어진다.

이 구성에 의한 유지수단(I)은 문자 그대로, 제1,및 제2유체급배구부(1A),(2A)의 개스킷(G1)(G2)을 개재시켜서의 밀봉접속상태를 유지하는 기능만을 갖는 것이다.

그렇지만, 각 링너트(91)(92)와 걸어맞춤링(93)과는 상대회전이 가능하기 때문에, 이들 링너트(91)(92)는 함께 단독으로서의 회전이동이 가능하고, 경시변화나 크리프(creep)등에 의해서 밀봉압접력이 저하한 경우에는, 어느 것인가 혹은 쌍방의 링너트(91)(92)를 강제적으로 회전조작해서, 체결증대 조작을 행하는 것은 가능하다.

[실시예 6]

실시예6에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 13, 도 14에 나타낸다.

이 집적패널과 유체장치와의 접속구조는, 한 쌍의 원관형상의 유체통로(16)(19)가 내부에 형성된 집적패널(1)과, 이것의 상면(1a)에 링형상의 개스 킷(G)을 개재시켜서 탑재되는 밸브(개폐밸브, 스톱밸브 등)(2)에 걸쳐서 구성된 세로방향의 축심(P)을 공유하는 단일유로형의 것이다.

결국, 급배용으로서 한 쌍의 접속구조가 상호동일한 것으로서 구성되고 있다.

집적패널(1)은, 도 13, 도 14에 나타내는 바와 같이, PFA나 PTFE등의 불소수지제의 패널재(또는 블록재)(5)의 내부에, 패널상면(1a)에 개구되는 상하방향의 세로통로(16a)(19a)와 가로방향의 가로통로(16b)(19b)로부터 이루어지는 한 쌍의 원관형상의 공급측유체통로(16)(19)가 형성된 것이다.

이 집적패널(1)에 있어서의 급배유체통로(16)(19)가 개구되는 부분을 제1유체급배구부(1A)로 칭하는 것으로 하고, 이 제1유체급배구부(1A)에 있어서 는, 원관형상의 세로통로(16a)(19a)의 각각이 축심(P)을 갖는 통로에 형성되어 있다.

또, 제1유체급배구부(1A)에는, 그 상단면에 개구되는 각 유체통로(16),(19) 의 외경측부분의 각각에는, 축심(P)을 중심으로 하는 환상으로, 또한 윗쪽으로 돌출한 내외의 환상돌기(21)를 갖는 하부 제1밀봉단말부(t21) 및 하부 제2밀봉단말부(t22)가 형성되어 있다.

밸브(유체장치의 1예)(2)는, 도 13, 도 14에 나타내는 바와 같이, PFA나 PTFE등의 불소수지제로 상하방향으로 보아 형상이 원형의 밸브케이스(6)를 갖고 있고, 그 밸브케이스(6)의 하단부는, 저면(6a)으로부터 하향돌출되는 상태로 세로방향으로 배치된 원관형상의 공급측유체통로(17)와, 이 공급측유체통로(17)의 가로측방향으로 격리되어서 개구되는 상태로 세로방향으로 배치된 원관형상의 배출측유체통로(18)를 갖는 제2유체급배구부(2A)에 형성되고 있다.

결국, 이 제2유체급배구부(2A)에 있어서는, 원관형상의 급배유체통로(1 7)(18)의 각각이 축심(P)을 갖는 통로에 형성되어있다.

결국, 밸브케이스(6)의 하단에는, 한 쌍의 볼트 삽입관통구멍(9a)을 갖는 PFA나 PTFE등의 불소수지제의 부착플랜지(9)의 한 쌍이 하향으로 돌출해서 형성 되어 있고, 유체통로(7)(8)를 갖는 관부(9A)와 플랜지부(외향플랜지)(9B)로서 각 부착플랜지(9)가 형성되어 있다.

공급측의 부착플랜지(9)가, 하향 돌출되는 환상돌기(11)를 갖는 상부제1밀봉단말부(t11)에 형성되고, 배출측의 부착플랜지(9)가, 위쪽으로 돌출되는 환상돌기(11)를 갖는 상부 제2밀봉단말부(t12)에 형성되어 있다.

한 쌍의 개스킷(G)은 상호 동일한 것이고, 그 구조를 공급측의 개스킷(G)을 예로들어 설명한다.

그런데, 개스킷(G)은, 공급측의 상하의 유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 유체통로인 세로통로(3a) 및 공급측유체통로(7)끼리를 연통시키기 위해 형성된 관형상의 유체경로(W1), 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 상부 제1밀봉단말부(t11)의 환상돌기(11)와 상부 제2밀봉단말부(t12)의 환상돌기(21)의 각각에 끼워 맞춤하기 위해 유체경로(W1)의 외경측부분에 형성된 상하 한 쌍의 환상홈(51)(51)을갖는 PFA나 PTFE등의 불소수지제의 것으로 구성되어있다.

즉, 개스킷(G)의 단면형상은, 상하한 쌍의 환상홈(51)(51)과, 이들 환상 홈(51)(51)을 형성하기 위한 내주벽(54) 및 외주벽(55)을 갖는 동시에, 상하의 환상홈(51)(51)은 깊이 및 폭이 동일하게 되는 상하대칭이고, 또한, 내주벽 및 외주벽(54)(55)도 좌우 대칭이고, 제1,및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에 따르는 세로중심(Z), 및 ,그 세로중심선(Z)에 직각으로 교차하는 가로중심선(X)의 쌍방에 대해서 선대칭(거의 선대칭이라도 된다)이 되는 대략 에이치(H)자 형상으로 형성되어 있다.

내주벽(54)의 상하단말부는, 내주면(54a)인 유체경로(W1)의 상하단말부가 선단확장형상으로 외향경사지는 테이퍼내주면(52a)(52a)에 형성됨과 동시에, 외주벽(55)의 상하단말부도, 그 외주면(55a)의 상하단말부가 내향경사지는 테이퍼외주면(53a)(53a)에 형성되어 있다.

집적패널(1)의 제1유체급배구부(1A)의 하부 제1밀봉단말부(t21)의 환상 돌기(21)및 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 상부 제1밀봉단말부(t11)에서의 환상돌기(11)의 내경 및 외경측에, 개스킷(G)에 있어서의 환상홈(51)을 형성하기 위해서 축심(P)방향으로 돌출형성된 내외의 주벽단말부(52a)(53a)가, 환상홈(51)과 환상돌기(11)(21)와의 끼워맞춤에 의해서 확장변형 하는 것을 저지하는 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)가 형성되어 있다.

상기한 환상누름돌기에 관한 구조를, 개스킷(G)과 상부 제1밀봉단말부(t11)에대해서 설명한다.

내외의 환상누름돌기(12)(13)는 대칭의 것이고, 이들과 환상돌기(11)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15)가 내면 옴츠러드는 모양(상부 옴츠러드는 모양)이 되도록 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼외주면(12a) 및 테이퍼내주면(13a)을 갖는 선단이 옴츠러드는 모양의 환상돌기에 형성되어 있다.

결국, 상부 제1밀봉단말부(t11)는, 환상돌기(11)와 그 내외의 양측에 형성되는 환상누름돌기(12)(13) 및 골짜기부(14)(15)의 총칭이다.

개스킷(G)의 내외의 주벽(54)(55)의 상부단말부는, 환상누름돌기(12),(13)의 테이퍼외주면(12a)과 테이퍼내주면(13a)의 각각에 맞닿는 테이퍼내주면(52a)과 테이퍼외주면(53a)을 갖고 골짜기부(14)(15)에 들어가는 것이 자유로운 선단이 옴츠러드는 모양의 환상밀봉돌기(원주벽 단말부의 1예)(52)(53)를 갖고 ,접합상태(도 13참조)에 있어서는, 내외의 원주벽(54)(55)에 있어서의 상측의 원주벽단말부인 환상밀봉돌기(52)(53)가 대응하는 골짜기부(14)(15)에 들어가서, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼외주면(12a)과 개스킷(G)의 테이퍼내주면(52a)이 압접되고, 동시에, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 테이퍼내주면(13a)과 개스킷(G)의 테이퍼외주면(53a)이 압접되도록 구성되어 있다.

결국, 개스킷(G)의 상부단말부에는, 환상홈(51)과 그 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)로 상부밀봉부(g11)가 형성되어 있고, 같은 모양으로 하부단말부에는 하부밀봉부(g12)가 형성되어 있다.

상부밀봉부(g11)는 상부 제1밀봉단말부(t11)와 끼워 맞춤해서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성하고, 하부밀봉부(g12)는 하부 제2밀봉단말부(t21)와 끼워맞춤해서 끼워맞춤밀봉부(10)를 형성한다.

끼워맞춤밀봉부(10)의 끼워 맞춤구조를, 상부 제1밀봉단말부(t11)와 개스킷(G)의 상부밀봉부(g11)에 대해서 상세하게 설명하면, 도 14, 도 15에 나타내는 바와 같이, 내외의 골짜기부(14)(15)끼리, 및 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)끼리는 상호대칭이고, 내외의 골짜기부(14)(15)전체의 협각 α°와 내외의 환상밀봉돌기(52)(53)전체의 첨예각 β°와의 사이에는, α°< β° 라는 관계가 설정되어 있고, 바람직하게는 α°+( 5 ~ 15°)= β° 라는 관계로 설정하면 좋다.

이 구성에 의해, 상부 제1밀봉단말부(t11)의 상부환상돌기(11)와 환상홈(51)이 끼워 맞춤된 접합상태(후술)에서는, 상부 내측환상누름돌기(12)와 상부 내측환상밀봉돌기(52)와는, 그것들의 테이퍼외주면(12a)과 테이퍼내주면(52a)이 최내경측 부분에서 압접되는 상태가 되어(도 15의 가상선을 참조),유체통로(W1)를 통과하는 유체가 이들 외내의 테이퍼주면(12a)(52a)끼리의 사이에 들어가는 것을 저지하는 2차밀봉부(S2)로서 기능하는 이점이 얻어진다.

그리고, 상부환상돌기(11)의 폭(d1)과 상부환상홈(51)의 폭(d2)과의 사이에 는, d1 > d2 라고 하는 관계가 설정되어 있고, 바람직하게는 d1×(0.6~0.8)=d2 라 고 하는 관계로 설정하면 좋다.

그리고, 상부환상돌기(11)의 돌출길이(h1)와 상부환상홈(51)의 깊이(h2)와의 사이에는 h1 < h2 라고 하는 관계가 설정되어있다.

이들 구성에 의해, 상부환상돌기(11)와 상부환상홈(51)이, 상세하게는, 상부환상돌기(11)의 내외의 양측주면과 상호 대응하는 상부환상홈(51)의 내외의 측면주면이 강하게 압접되어, 유체의 누설을 저지하는 우수한 밀봉성능을 발휘하는 1차밀봉부(S1)가 형성됨과 동시에, 상부 내측환상누름돌기(12)의 테이퍼외주면(12a)과 상부 내측환상밀봉돌기(52)의 테이퍼내주면(52a)이 반드시 맞닿게 되는 것에 의해, 전술한 2차밀봉부(S2)가 양호하게 형성되는 이점이 있다.

또, 내측의 환상누름돌기(12)의 선단, 및 환상밀봉돌기(52)(53)의 선단은 핀각이 되지않도록 절단된형상, 즉, 경사절단면(12b), 및 절단면(52b)(53b)에 형성되어 있다.

이들 구성에 의해, 상부 내측환상누름돌기(12)의 선단이 유체통로(W1)측으로 약간 확장변형 되었다고 해도, 원래 절단된 형상인 것 때문에, 유체통로(W1)의 도중에 크게 열린 단면이 삼각형상의 오목한부가 생기는 것 만으로 되고, 그 오목한부에 존재하는 유체가 용이하게 유출되게 되어 실질적으로 액체의 고임이 생기지 않도록 한다.

이에 추가해서, 그 오목한부의 개구각도, 즉, 경사절단면(12b)과 테이퍼 내주면(52a)과의 협각은 충분히 크고, 표면장력에의한 액체고임의 염려도 회피된다.

또, 환상돌기(11)의 선단의 내각 및 외각은 모따기가공된 형상(11a)으로 하 고있기 때문에, 폭이 좁은 환상홈(51)에의 압입이동을 긁힘등의 불합리함이 없이 원활히 행할수 있는것으로 되어있다.

외측의 환상누름돌기(13)는, 환상누름돌기(13)의 테이퍼내주면(13a)에 이은 상태로, 밸브케이스(6)의 하단부를 형성하기 위한 하단내주부(9b)가 존재하고 있고, 내측의 환상누름돌기(12)와는 전체로서의 형상은 다르다.

그리고, 하부 제1밀봉단말부(t21)에 관해서도, 환상누름돌기(23)의 테이퍼내주면(23a)에 이은 상태로, 패널재(5)의 상단부를 형성하기 위한 상단내주부(5b)가 존재하고 있고, 역시, 내측의 환상누름돌기(22)와는 전체로서의 형상이 다르다.

이들 상단 및 하단내주부(5b)(9b)는, 개스킷(G)의 상부 및 하부 밀봉부(g11)(g12)를 상부 및 하부 제1밀봉단말부(t11)(t21)에 끼워 맞춤하는 때의 안내부로서 기능하는 동시에, 테이퍼내주면(13a)(23a)과 함께 개스킷(G)의 외주벽(55)의 확장변형을 저지하는 기능도 발휘가능하다.

다음으로, 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

유지수단(I)은, 도 14, 도 15에 나타내는 바와같이, 집적패널(1)의 제1유체 급배구부(1A)와 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)가 상호 개스킷(G)을 개재시켜서 끌어당김과 동시에, 그 끌어당김 작용에 의해서, 제1유체급배구부(1A)의 상부 제1밀봉단말부(t11), 개스킷(G)의 상부밀봉부(g11)가, 및 제2유체급배구부(2A)의 하부 제1밀봉단말부(t21)와, 개스킷(G)의 하부밀봉부(g12)가 각각 끼워 맞춤되어서 각 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성되는 접합상태를 유지하는 것으로 구성되어 있다.

즉, 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)와 개스킷(G)의 상측의 환상홈(51) 이, 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21)와 개스킷(G)의 하측의 환상홈(51)이 각각 끼워 맞춤 된다.

유지수단(I)의 구체구조는, 제2유체급배구부(2A)의 플랜지부(9B)의 볼트 삽입관통구멍(9a)에 삽입관통되는 한 쌍의 볼트(66), 한 쌍의 볼트삽입관통구멍(9a)(9a)에 대응해서 제1유체급배구부(1A)에(패널재 5에)형성된 너트부(67)( 67)로서 구성되어 있고, 볼트(66)를 너트부(67)에 나사조임 시켜서의 체결조작에 의해, 밸브(2)를 집적패널(1)에 끌어당기는 동시에, 그 끌어당김 상태를 유지할 수 있는 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어 있다.

또, 경시변화나 크리프 등이 생겨서 각 끼워맞춤밀봉부(10)의 압접력이 저하되었을 경우에는, 볼트(66)를 체결증대시키는 것으로 대처할 수가 있어서, 양호한 밀봉성능을 유지하는 것이 가능하다.

[실시예 7]

실시예7에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 16에 나타낸다.

이것은, 유체장치의 1예인 필터(2)와 집적패널(1)을 접속연결시키는 구조이고, 접속구조 자체는 도 13~15에 나타내는 실시예6에 관한 것과 동일하다.

따라서, 동일한 개소에는 동일한 부호를 부여하는 것으로 해서, 그 설명은 할애한다.

필터(2)는, 본체케이스(2K)와 하부케이스(2B)와 여과체(2C)로 이루어지고, 하부케이스(2B)에는 공급측의 유체통로(17)와 배출측의 유체통로(18), 및 이들 유체통로(17)(18)를 갖는 상태로 가로로 달아내어 형성되는 한 쌍의 부착플랜 지(9)(9)가 형성되어 있다.

이들 부착플랜지(9)(9)와 집적패널(1)이 개스킷(G)을 개재시켜서 접속 연결된다.

[실시예 8]

실시예8에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조는, 도 17에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)과 벨로(bellows)식밸브(2)와의 접속 구조이다.

벨로식밸브(2)는, 상부케이스, 중간케이스, 및 하부케이스로 이루어지는 케이스(2C)를 갖고, 상부케이스와 중간케이스와의 사이로 외주부를 끼워 갖게 되는 벨로(도시생략), 중간케이스와 하단부케이스와의 사이에서 외주부를 끼워 갖게 되는 벨로(도시생략), 중간케이스와 하부케이스와의 사이에서 외주부를 끼워 갖게 되는 밸브체(도시생략) 하부케이스에 수용되는 되돌림용수철(도시생략) 등으로 구성되어있다.

케이스(2C)에는 가로측방향으로 달아내어 형성되는 한 쌍의 부착플랜지(9)(9)가 일체적으로 장비되어 있고, 이들 부착플랜지(9)(9)를 사용해서 벨로식밸브(2)가 집적패널(1)의 상면(1a)에 개스킷(G)을 개재시켜서 접속연결된다.

이 개스킷(G)을 개재시켜서의 부착플랜지(9)와 집적패널(1)의 상면(1a)과의 접속구조는, 도 13~도 15에 나타내는 실시예6에 의한 것과 동일하므로, 그 상세한 설명은 할애한다.

[실시예 9]

실시예9에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 18,19에 나타낸다.

이것은 실시예6에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

또한, 도 18, 도 19에 있어서는, 도 13~ 15에 나타내는 실시예6의 것과 대응되는 개소에는 대응되는 부호를 부여하고 있다.

실시예 9에 있어서의 유지수단(I)은 제1별도구조의 유지수단(도 5, 6참조)과 기본적으로 동일한 것으로서 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이. 집적패널(1)의 상면에 형성된 평면으로 보아서 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)의 외주부에 수나사(1n)를 형성하고, 그 수나사(1n)에 나사조임이 자유로운 암나사(81n)를 구비한 통상너트(81), 밸브(2)의 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 외향플랜지(9)에, 환상의 유체통로(7)의 축심(P)방향으로 간섭하는 2분할, 또는 3분할이상의 분할형링(82)으로 구성되어 있다.

제1유체급배구부(1A)의 수나사(1n)에 암나사(81n)를 나사조임해서의 통상너트(81)의 체결조작에 의해, 양 유체급배구부(1A)(2A)를 상호 개스킷(G)을 개재시켜서 접근하는 방향으로 끌어당김이 가능하도록, 또한, 끌어당김 상태를 유지가능한 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)으로 구성되어있다.

통상너트(81)의 밸브(2)측(상측)에 형성되는 내향플랜지(83)의 개구부(83a)는, 외향플랜지(9)의 통과를 허용하는데 족한 최소한의 내경치수로 설정되어 있다.

분할형링(82)의 외경은, 통상너트(81)에 들어가는 것이 자유롭게 되도록 암나사(81n)의 내경보다도 근소하게 작은 치수로 설정되고, 동시에, 내경은, 밸브(2)의 원형의 제2유체급배구부(2A)의 외경부에 외측끼워 맞춤이 자유롭게 되는 최소한 의 치수로 설정되어있다.

구체적으로는, 도19(b)에 나타내는 바와같이, 밸브케이스(6)의 뿌리부(6t)에 맞닿는 상태의 통상너트(81)와 외향플랜지(9)와의 사이의 길이(d3)가, 분할형링(82)의두께(d4)보다도 클것(d3 > d4)이 조건이된다.

또, 통상너트(81)에 있어서의 암나사(81n)의 내면단말부와 내향플랜지(83)와의 사이에, 분할형링(82)에 축방향으로 슬라이드이동이 자유롭고, 또한, 분할형링(82)의 폭치수를 커버하는 축심(P)방향 길이를갖는 내주면부(81m)가 축심(P)과 동심원상으로 평탄한 내주면에 형성되어 있다.

즉, 통상너트(81)의 암나사(81n)와 내향플랜지(83)의 사이에 있어서의 내경부(81a)가 공급측유체통로(7)와 동심원상으로 평탄한 내주면에 형성되고, 또한, 그 내주면부(81m)의 내경이 단면이 직사각형으로 형성된 분할형링(82)의 외경보다도 극히 근소하게 크게한 끼워맞춤공차 상태로 치수가 설정되는 한편, 제2유체급배구부(2A)의 외경부가 공급측유체통로(7)와 동심원상으로 평탄한 외주면에 형성되고, 또한, 그 외경부의 외경과, 분할형링(82)의 내경이 거의 동일한 직경으로 형성된다.

이것에 의해, 통상너트(81)를 나사조임 시키는때에 분할형링(82)이 경사 져서 긁어내는 것과같은 상태가 되거나, 외향플랜지(9)에 통상너트(81)의 나사조임에 의한 축심(P)방향의 압압력이 잘 전달되지 않거나 한다는 불합리함이 생기는 것이 방지되고, 유효하게 외향플랜지(9)를 눌러서, 제1, 제2유체급배구부(1A)(2A)를 상호 접근하는 방향으로 양호하게 끌어당길 수 있도록 되어있다.

단일유로형의 접속구조에 제1별도구조의 유지수단(I)을 사용해서 양 유체급배구부(1A)(2A)끼리를 접속 연결하는 조작순서는 다음과 같다.

우선, 도 19의 (a)에 나타내는 바와 같이, 외향플랜지(9)를 앞서가게 해서 통상 너트(81)를 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)의 바깥둘레에 끼워 맞춤 장착해서, 그 최내면측까지(뿌리부 6t에 맞닿을 때까지) 이동시킨다.

이어서, 도 19의 (b)에 나타내는 바와 같이, 분할형링(82)을, 외향플랜지(9)와 통상너트(81)의 선단과의 사이를 통과시켜 제2유체급배구부(2A)에 외측끼워맞춤 장비시킨다.

이때 또는 그 전에 개스킷(G)을 어느 것인가의 유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 환상돌기(11)(21)(31)(41)와 환상홈(51)(61)과의 임시 끼워 맞춤을 개재시켜서 장착시켜 두어도 된다.

이어서, 개스킷(G)을 개재시켜서 제1유체급배구부(1A)를 제2유체급배구부(2A)에 딱 맞게 붙여서, 그 상태로 통상너트(81)를 슬라이드 이동시키고나서 체결조작[도 19의 (c) 참조]하는 것에 의해, 도 18에 나타내는 접속상태가 얻어진다.

또한, 도 7에 있어서는, 상하로 적층되는 집적패널(1)과 밸브(2)를, 도면에 기재하는 사정에 의해 옆으로 넘어진 상태로 그려져 있다.

[실시예 10]

실시예 10에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 20에 나타낸다.

이것은 실시예 1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 제4별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

제4별도구조의 유지수단(I)은, 도 20에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 상면에, 외주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와, 제2유체급배구부(2A)에 있어서 외주부에 수나사(9n)를 갖는상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와, 이들 양수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(101n)를갖는 통상너트(101)로 구성되어있다.

통상너트(101)는, 선단측의 암나사(101n)와 기초단말측의 내향플랜지(102)와의 사이에, 수나사(1n)(9n)보다도 큰 직경의 긁어내는 내주부(101a)가 형성되어있고, 내향플랜지(102)는, 축심(P)방향에 있어서 플랜지부(9)에 간섭하는 내경치수로 형성되어 있다.

도 20에 나타내는 조립상태에서는, 유체장치(2)의 수나사(9n)는 긁어내는 내주부(101a)에 수용되어 있고, 집적패널(1)의 수나사(1n)와 암나사(101n)만이 나사조임된 상태이고, 이것에 의해, 제1,및 제 2유체급배구부(1A)(2A)끼리가 상호 끌어 당겨진 상태를 유지하고 있다.

조립하기에는, 우선, 통상너트(101)의 암나사(101n)를 유체장치(2)의 플랜지부(9)의 수나사(9n)에 나사조임해서 체결하고, 수나사(9n)를 앞서가게 해서 긁어내는내주부(101a)에 회전이 자유롭게 수용하는 상태로 해두고, 그 상태에서 개스 킷(G)을 개재시켜서 집적패널(1)의 수나사(1n)에 암나사(101n)를 나사조임해서 체결한다.

그러면, 통상너트(101)는 플랜지부(9)의 수나사(9n)와는 상대적으로 공회전 하기 때문에, 집적패널(1)만이 체결에 의해 나사조임되고, 그 결과, 집적패널(1)과 유체장치(2)가 끌어 당겨지고, 개스킷(G)에 의해서 유체통로(16)(17)가 밀봉상태로 연통접속되는 끌어 당기는 상태가 유지되는 것이고, 끌어당김 기능부착의 유지수단(I)이 구성되어있다.

[실시예 11]

실시예 11에 의한 집적패널과 유체장치와의 접속구조를 도 21에 나타낸다.

이것은 실시예1에 의한 것과 유지수단(I)이 다른 것뿐이고, 그 제5별도구조의 유지수단(I)에 대해서 설명한다.

제5별도구조의 유지수단(I)은, 도 6에 나타내는 제1별도구조의 유지수단(I)과, 도 20에 나타내는 제4별도구조의 유지수단(I)이라는 절충안적인 구성의 것이고, 도 21에 나타내는 바와 같이, 집적패널(1)의 상면에, 외주부에 수나사(1n)를 갖는 상태로 형성된 평면으로 보아 원형을 나타내는 돌기상의 제1유체급배구부(1A)와, 제2유체급배구부(2A)에 있어서 외주부에 수나사(9n)를 갖는 상태로 밸브케이스(6)의 하단부에 형성된 플랜지부(9)와, 이들 양 수나사(1n)(9n)에 나사조임이 자유로운 암나사(111n)를 갖는 통상너트(111), 분할형링(112)으로 구성되어있다.

통상너트(111)는, 선단측의 암나사(111n)와 기초단말측의 내향플랜지(113) 와의사이에, 수나사(1n)(9n)보다도 큰 직경의 긁어내는 내주부(111a)가 형성되어 있고, 내향플랜지(113)는, 축심(P)방향에 있어서 플랜지부(9)에 간섭하지 않는 정도의 내경부(113a)를 갖는 것으로 형성되어있다.

분할형링(112)은, 원형의 링이 3개 이상으로 분할된 것과 같은(예: 120도 정도의 부채꼴부재의 3개로 이루어진다)것이고, 내향플랜지(113)나 암나사(111n)를 앞질러서 외부로부터 긁어내는 내주부(111a)에 들어가는 것, 및 긁어내는 내주부(111a)에 있어서 링형상의 모양으로 조립하는 것이 자유롭게 되어있다.

또, 분할형링(112)을, 스냅링과 같이 직경방향으로 어느 정도 휘는 것으로서 긁어내는 내주부(111a)에 들어갈 수 있는 가요성을 갖는 단일의 씨(C)자 모양체로 구성하는 것도 가능하다.

이 제5별도구조에 의한 유지수단(I)을 사용한 조립은 다음과 같다.

즉, 상술한 요령에 의해서 미리 분할형링(112)을 긁어내는 내주부(111a)에 들어간상태로 해놓고, 그것 이후의 공정은, 전술한 단일 유로형의 접속구조에 적용된 제1별도구조의 유지수단(I)(도 19 참조)의 경우와 동일하다.

따라서, 이것 이상의 조립순서의 설명은 할애한다.

[기타의 실시예]

(1) 유체장치와 개스킷과의 각종의 끼워맞춤구조예를 다음에 기재한다.

도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 유체장치인 밸브(2)와 제1개스킷(G1)과의 끼워 맞춤구조에 있어서, 환상돌기(11)로서, 그 내외의 측주면에 압접용의 주돌기(11t)가 하나 또는 복수개 형성된 형상으로 해도 된다.

접합상태에서는 제1개스킷(G1)의 환상홈(51)과는 주돌기(11t)가 강하게 맞닿 아서 1차밀봉부(S1)가 형성된다.

이 구조에서는, 환상돌기(11)와 환상홈(51)은 복수개소에서 선접촉하는 접촉상태가 되기 때문에, 환상돌기(11)를 환상홈(51)에 삽입하는 때의 마찰저항이 면접촉하는 경우보다도 경감되는 이점이 있다.

또한, 이 구성은 집적패널(1)과 제1개스킷(G1)과의 끼워 맞춤구조에 적용해도 된다.

(2) 도 10(b)의 좌측부분에 나타내는 바와 같이, 유체장치인 밸브(2)와 제1개스킷(G1)과의 끼워 맞춤구조에 있어서, 테이퍼주면(12a)(52a)끼리가 제2유체급배구부(2A)의 환상누름돌기(12)의 테이퍼외주면(12a)에 하나 또는 복수의 원주돌기(12t)를 형성하고, 이 원주돌기(12t)와 제1개스킷(G1)의 원주벽단말부(52)의 테이퍼내주면(52a)이 압접되어서 2차밀봉부(S2)를 구성하는 구조도 가능하다.

또, 도 10(b)의 우측부분에 나타내는 바와 같이, 상기와는 역으로, 제1개스킷(G1)의 테이퍼내주면(53a)에 하나 또는 복수의 주돌기(53t)를 형성하여, 이 주돌기(53t)와 환상누름돌기(13)의 테이퍼내주면(13a)이 압접되어서 2차밀봉부(S2)를 구성하는 구조라도 된다.

또한, 이 구성은 집적패널(1)과 제1개스킷(G1)과의 끼워맞춤구조에 적용해도 좋음과 동시에, 도 10(a)와 도 10(b)의 쌍방을 구비하는 구조도 가능하다.

(3) 도 11(a)에 나타내는 바와같이, 유체장치인 밸브(2)와 제2개스킷(G1)과의 끼워 맞춤구조에 있어서, 제2개스킷(G2)의 외측의 원주벽단말부(63)를, 외주벽(65)보다도 가로측 방향으로 돌출시킨 환상측방돌기에 형성하고, 또한 외경측의 골짜기부(15)를 원주상에 형성해서, 환상측방돌기(63)와 제2유체급배구부(2A)의 환상누름돌기(33)의 하단내주부(6b)를 압접시키는 구조라도 된다.

이 구조에서는, 제2개스킷(G2)의 외주벽단말부(63)와 환상돌기(31)의 사이에 강한 압접력이 작용함과 동시에, 외주벽단말부(63)이외의 외주벽(65)은 하단내주부(6b)와 접촉하지 않기 때문에, 외주벽단말부(63)를 골짜기부(35)에 삽입할 때의 마찰저항을 작게 할 수 있고, 결과로서 환상돌기(31)를 환상홈(61)에 삽입하기 위한 하중이 경감되고, 조립이 용이하다고 하는 이점이 있다.

내주벽단말부(62)와 내주측의 환상누름돌기(32)와의 끼워맞춤구조는, 도 1~3에 나타내는 실시예 1의 것과 동등하다.

(4) 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 유체 장치인 밸브(2)와 제2개스킷(G2)과의 끼워맞춤구조에 있어서, 제2개스킷(G2)은, 그 내외주벽부(64)(65)상단의 각각 테이퍼주면(62a)(63a)이 형성된 좌우대칭의것(실시예 1에 의한 제2개스킷 G2와 같음)으로하고, 원주상의 골짜기부(35)를 형성하는 환상누름돌기(33)의 하단내주부(6b)와 외주벽(65)의 외주면(65a)이 면접촉하는 구조라도 된다.

이 경우, 상기한 면접촉에 의해, 환상돌기(31)를 환상홈(61)에 삽입하는 조작력은 약간 커지지만, 환상돌기(31)와 제2개스킷(G2)의 외주벽단말부(63)의 사이에는 충분한 압접력[도 11(a)의 구성의 경우와 거의 동등]이 작용한다.

또한, 도 11(a)와 도 11(b)에 나타내는 구성을, 집적패널(1)과 제2개스킷(G2)과의 끼워맞춤구조에 적용해도 된다.

(5) 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 유체장치인 밸브(2)와 제1개스킷(G1)과 의 끼워맞춤구조에 있어서, 제1개스킷(G1)의 상부밀봉부(g11)에 있어서의 내외의 주벽단말부(52)(53)가, 축심(P)방향으로 돌출하는 소환상돌기(52b)(53b)와, 그것들의 뿌리에 있어서 내외로 연달은 테이퍼정상면(52c)(53c)으로 이루어지는 구성으로하고, 제2유체급배구부(2A)의 상부 제1밀봉단말부(t11)에 있어서의 환상누름돌기(12)(13)가, 소환상돌기(52b)(53b)에 끼워맞춤하는 환상오목한홈(12b)(13b)과, 테이퍼정상면(52c)(53c)에 맞닿는 테이퍼저면(12c)(13c)으로 이루어지는 구성으로한 것이라도 된다.

테이퍼정상면(52c)(53c)과 테이퍼저면(12c)(13c)이 맞닿는 상태에서는, 소환상돌기(52b)(53b)와 환상오목한홈(12b)(13b)과의 사이에는 축심(P)방향으로 간격이 있도록 설정한다.

이 구성에서는, 소환상돌기(52b)(53b)와 환상오목한홈(12b)(13b)과의 끼워맞춤에 의해서 내외의 주벽단말부(52)(53)가 개구변형 하는 것을 저지하기 때문에, 환상돌기(11)와 환상홈(51)의 강한 맞닿음에 의한 유효한 1차밀봉부(S1)와, 테이퍼정상면(52c)(53c)과 테이퍼저면(12c)(13c)과의 맞닿음에 의한 유효한 2차밀봉부(S2)가 형성되어, 액류의 고임이 없이 양호하게 밀봉할 수 있는 접속구조가 실현되고 있다.

(6) 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 밸브(2)의 제2유체급배구부(2A)에서의 환상돌기(11)의 양측이 환상평탄견부(12)(13)에 형성되고, 제1개스킷(G1)에 있어서의 환상홈(51)의 양측의 내외주벽단말부(52)(53)를 평탄단면을 갖는 것으로서, 이들내외의 환상평탄견부(12)(13)와 내외의 주벽단말부(52)(53)가 기본적으로는 면이 맞닿는 구성으로 하고, 내외의 주벽단말부(52)(53)의 내외단말에 환상돌기인 립(lib)(12r)(13r)을 형성한 구조로 해도된다.

이 경우에는, 내측립(12r)과 내주벽단말부(52)로, 및 외측립(13r)과 외주벽단말부(53)로 각각 2차밀봉부(S2)가 형성된다.

(7) 도 1~3에 나타내는 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서의, 외경측의 제2개스킷(G2)이나, 도 13~도 15에 나타내는 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서의 개스킷(G)은 도시는 생략했지만, 외주벽(65)(55)의 상하단말이 내주벽(65)(54)보다도 짧고, 또한, 단지 수평형상으로 절단된 구조의 것이라도 된다.

다중유로형의 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서의 최대 외경측의 제2개스킷(G2)의 외주벽(65)이나 단일유로형의 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서의 개스킷(G)과의 외주벽(55)에는 밀봉기능이 없어도 된다.

각 실시예에 있어서의 제1개스킷(G1),제2개스킷(G2), 및 개스킷(G)은 상하 및 좌우로 대칭형상의 것이지만, 예를들면, 내외의 주벽의 길이나 두께가 다른 것이나, 상하 비대칭의 것 등이라도 되고, 도시한 형상에 한정되지 않는다[도 11(a) 참조].

또, 외측의 환상유체통로(8)의 다시또 외측에 하나 또는 복수의 환상의 유체통로를 갖는 3중 이상의 복유로형(다중유로형)의 집적패널과 유체장치와의 접속구조도 가능하고, 최외측에 위치하는 개스킷이외의 개스킷은, 그 내외주면의 쌍방이 유체경로를 겸하는 구성이 채택된다.

또한, 본 발명에 있어서의 유체장치란, 밸브, 펌프, 축압기, 유체저장용기, 열교환기, 조정기, 압력계, 유량계, 히터, 플랜지배관 등의, 요는 집적패널 이외의 유체관계의것의 총칭으로 정의한다.

다시 또, 끌어당김 기능부착 유지수단으로서는, 턴버클식(예: 도 9에 나타내는 구조에 있어서, 어느 것인가의 수나사(1n)(9n)를 역나사로 해서, 이들 양수나사(1n)(9n)에 걸쳐지는 턴버클너트를 나사조임 하는 구조의 것도 가능하다.

Claims

하나 이상의 관 형상의 유체통로(3) 또는 환상의 유체통로(4)가 동심원상으로 형성되어서 개구하는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 상기한 제1유체급배구부(1A)와, 하나 이상의 관 형상의 유체통로(7) 또는 환상의 유체통로(8)가 동심원상으로 형성되어서 개구하는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 상기한 제2유체급배구부(2A)를 각각의 복수의 유체통로(3)(4)(7)(8)가 상호 대응하고, 또한 상기한 제1유체급배구부(1A)와 상기한 제2유체급배구부(2A)와의 사이에 개재되는 복수의 링 형상의 개스킷(G)(G)에 의해서 각 유체통로(3)(4)(7)(8)가 밀봉되는 상태로 연통접속하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서,

상기한 제1유체급배구부(1A) 및 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(3)(4)(7)(8)의 외경측부분에 환상돌기(21)(11)(41)(31)가 형성되고, 상기한 각 개스킷(G)(G)은 제1, 제2의 유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 상기한 유체통로(3)(4)(7)(8)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W)(W)와, 상기한 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 환상돌기(21)(11)(41)(31)의 각각에 끼워 맞춤하기 위해 유체경로(W)(W)의 외경측 부분에 형성되며 가요성 재질로 이루어지는 한 쌍의 환상홈(51)(61)이 구성되어 있고, 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 복수의 개스킷(G)(G)을 개재하여 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(21)(41)와 각 개스킷(G)(G)의 일단의 환상홈(51)(61) 및 상기한 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(11)(31)와 각 개스킷(G)(G)의 타단의 환상홈(51)(61)이 각각 끼워 맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성된 끼워 맞춤상태를 유지하는 유지수단(I)이 설치됨과 동시에, 상기한 복수의 개스킷(G)(G)중 끼워 맞춤 상태에서, 내경측 및 외경측의 쌍방에 상기한 유체통로가 존재하는 중간개스킷(G)은 이것의 외주부(55a)가 중간개스킷(G)의 외경측에 존재하는 제1유체급배구부(1A)의 환상의 유체통로(8) 및 제2유체급배구부(2A)의 환상의 유체통로(4)를 연통하는 환상의 유체경로(W)를 형성하기 위한 벽면이 되는 상태로 구성된 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
관 형상의 유체통로(16)(19)가 개구되는 제1유체급배구부(1A)를 구비한 집적패널(1)의 상기한 제1유체급배구부(1A)와 관 형상의 유체통로(17)(18)가 개구되는 제2유체급배구부(2A)를 구비한 유체장치(2)의 제2유체급배구부(2A)와 이들 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)와의 사이에 개재되는 링 형상의 개스킷(G)에 의해 유체통로(16)(19)(17)(18)를 밀봉상태로 연통접속한 집적패널과 유체장치와의 접속구조에 있어서,

상기한 제1유체급배구부(1A) 및 제2유체급배구부(2A)에는 각 단면에 개구되는 상기한 각 유체통로(16)(19)(17)(18)의 외경측 부분에 환상돌기(11)(21)가 형성되고, 상기한 개스킷(G)은 제1, 제2유체급배구부(1A)(2A)의 상호 대응하는 유체통로(16)(19)(17)(18)끼리를 연통시키기 위해 형성된 유체경로(W)와, 상기한 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에 형성된 환상돌기(11)(21)의 각각에 끼워 맞춤하기 위해 유체경로(W)의 외경측 부분에 형성되며 가요성 재질로 된 한 쌍의 환상홈(51)(51)으로 구성되어 있고, 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 개스킷(G)을 개재하여 제1유체급배구부(1A)의 환상돌기(11)와 개스킷(G)의 일단의 환상홈(51)과 제2유체급배구부(2A)의 환상돌기(21)와 개스킷(G)의 타단의 환상홈(51)이 각각 끼워 맞춤되어서 끼워맞춤밀봉부(10)가 형성된 끼워 맞춤상태를 유지하는 유지수단(I)이 구성되는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 2에 있어서,

상기한 집적패널(1)에 제1유체급배구부(1A)가 복수개 형성되고, 상기한 유체장치(2)에 제2유체급배구부(2A)가 제1유체급배구부(1A)의 존재수에 대응해서 복수개 형성되어 있음과 동시에 이들 복수의 제1 및 제2유체급배구부(1A)(2A)가 상호 동일한 평면상에서 각각이 상기한 개스킷(G)을 개재시켜서 연통접속이 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기한 제1, 2유체급배구부(1A)(2A)의 단면에는 상기한 환상돌기(11)(21)의 내경 및 외경측에 상기한 개스킷(G)으로 환상홈(51)을 형성하기 위해 축심방향으로 돌출 형성된 내외의 원주벽단말부(52)(53)가 환상홈(51)과 환상돌기(11)(21)와의 끼워맞춤에 의해 확대변형되는 것을 억제 또는 저지하는 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 4에 있어서,

상기한 원주벽단말부(52)(53)와 상기한 환상누름돌기(12)(13)(22) (23)가 상기한 끼워 맞춤상태로 압접되어서 밀봉부(S2)를 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 5에 있어서

상기한 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)는 이것과 환상 돌기(11)(21)로 둘러싸인 골짜기부(14)(15)(24)(25)가 안쪽 움츠러드는 상태가 되도록 환상돌기측의 측면원주면이 경사진 테이퍼원주면(12a)(13a)(22a)(23a)을 갖는 선단이 옴츠러드는 형상의 환상돌기로 형성되어 있고, 상기한 원주벽단말부(52)(53)는 환상누름돌기(12)(13)(22)(23)의 테이퍼원주면(12a)(13a)(22a)(23a)에 맞닿는 테이퍼원주면(52a)(53a)을 갖고, 골짜기부(14)(15) (24)(25)에 들어가는 것이 자유로운 선단이 움츠러드는 형상의 환상돌기로 형성되어서, 접합상태로 원주벽단말부(52)(53)가 상기한 골짜기부(14)(15)(24)(25)로 들어가서 양 테이퍼원주면(12a)(13a)(22a)(23a)(52a)(53a)끼리가 압접되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기한 개스킷(G)의 단면형상이 상기한 제, 2유체급배구부(1A)(2A)의 축심방향에 따르는 중심선(Z) 및 그 중심선(Z)에 직각으로 교차하는 중심선(X)의 쌍방에 관해서 선대칭이 되는 에이치(H)자 형상을 나타내도록 구성된 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기한 유지수단(I)은 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)를 끌어당겨서 접합상태를 얻기 위한 끌어당김 기능을 발휘하는 것으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 8에 있어서,

상기한 유지수단(I)이 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 적어도 어느 하나가 한쪽의 단말부에 형성된 외향플랜지(9B)와, 이 외향플랜지(9B)에 형성되는 관통구멍(9a)과 이 관통구멍(9a)을 통해서 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 하나의 다른 쪽에 설치된 너트부(67)에 나사 맞춤되는 볼트(66)를 갖고 구성되고, 볼트(66)를 너트부(67)에 나사맞춤해서 체결시킴으로서 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 개스킷(G)을 개재시켜서 끌어당겨 지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 8에 있어서,

상기한 유지수단(I)이 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 하나가 한쪽의 외주부에 형성된 수나사부(1n)에 나사 조임이 자유로운 암나사부(81n)를 구비한 통상너트(81)와, 상기한 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)의 어느 하나가 다른 쪽의 단말부에 형성된 외향플랜지(9B)에 제1,제2유체급배구부(1A)(2A)의 축심(P)방향에서 간섭하도록 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)중 어느 하나가 다른 쪽의 단말부에 외측으로 끼워 맞춤된 분할형링(82)으로 이루어지고, 상기한 통상너트의 일단부에는 상기한 외향플랜지(9B)는 허용하고, 또한 상기한 분할형링(82)과는 축심(P)방향에서 간섭하는 개구부(83a)를 갖는 내향플랜지(83)가 형성되고, 상기한 통상 너트(81)의 수나사부(1n)에의 체결조작에 의해 제1유체급배구부(1A)와 제2유체급배구부(2A)가 상호 개스킷(G)을 개재시켜서 끌어 당겨지도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기한 개스킷(G)은 불소수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.
청구항 1 또는 2에 있어서,

상기한 제1, 2유체급배구부(1A)(2A)는 불소수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 집적패널과 유체장치와의 접속구조.