JP2000120903A - 薬液用流体機器の連結構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化
を図った薬液用流体機器の連結構造を提供すること。 【解決手段】 バルブ１１とレギュレータ１２を連結す
るために、バルブ１１の第１接合面とレギュレータ１２
の第２接合面とを密着して固定させる。これにより、バ
ルブ１１の第１流路の開口部とレギュレータ１２の第２
流路の開口部を連接させる。このとき、レギュレータ１
２の第２接合面の凸部は、バルブ１１の第１接合面の第
１凹部に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面の
第１凹部と第２接合面の凸部は、ともに樹脂であるの
で、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生す
る。さらに、第１接合面の第１凹部は第１流路の開口部
を囲い巡らしており、第２接合面の凸部は第２流路の開
口部を囲い巡らしている。これらにより、バルブ１１の
第１流路の開口部とレギュレータ１２の第２流路の開口
部との連接部分の漏れを防止することができる。また、
第２接合面の凸部の内周面が第１接合面の第１凹部の内
周面に圧接している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バルブ、レギュレ
ータ、フィルターなどの薬液用流体機器同士を連結する
ための連結構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、バルブ、レギュレータ、フィルタ
などの薬液用流体機器同士を連結する場合には、図１１
に示すように、配管１０４、１０５を介して、バルブ１
０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０３の各薬液用
流体機器を連結することにより行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バルブ
１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０３の薬液用
流体機器同士を配管１０４、１０５を介して連結するこ
とは、配管１０４、１０５のスペースを確保する必要が
あり、薬液用流体機器が使用される分野（例えば、半導
体製造などの分野）でコンパクト化が要望されても、そ
れに対応することができなかった。

【０００４】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、薬液用流体機器同士の
連結時のコンパクト化を図った薬液用流体機器の連結構
造を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に成された請求項１に係る薬液用流体機器の連結構造
は、第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、第２流
路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流路の開
口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられた樹脂か
らなる第１凹部と、前記第２流路の開口部を囲い巡らし
て前記第２接合面に設けられた樹脂からなる凸部とを備
え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定
させる際に、前記凸部を前記第１凹部に圧接して嵌め込
むことによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路
の開口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特
徴とする。

【０００６】また、請求項２に係る薬液用流体機器の連
結構造は、請求項１に記載する薬液用流体機器の連結構
造であって、前記凸部の内周面が前記第１凹部の内周面
に圧接することを特徴とする。

【０００７】また、請求項３に係る薬液用流体機器の連
結構造は、第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、
第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流
路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられる
とともに樹脂からなる第１凹部と、前記第２流路の開口
部を囲い巡らして前記第２接合面に設けられるとともに
樹脂からなる第２凹部と、樹脂からなるパッキンを備
え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定
させる際に、前記パッキンを前記第１凹部及び前記第２
凹部に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の
開口部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏
れを防止したことを特徴とする。

【０００８】また、請求項４に係る薬液用流体機器の連
結構造は、請求３に記載する薬液用流体機器の連結構造
であって、前記パッキンの内周面が前記第１凹部の内周
面及び前記第２凹部の内周面に圧接することを特徴とす
る。

【０００９】また、請求項５に係る薬液用流体機器の連
結構造は、請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載
する薬液用流体機器の連結構造であって、バルブをマニ
ホールドベースに連結する際に使用されることを特徴と
する。

【００１０】このような特定事項を有する本発明の薬液
用流体機器の連結構造では、薬液用流体機器同士を連結
するために、一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方
の薬液用流体機器の第２接合面とを密着して固定させ
る。これにより、一方の薬液用流体機器の第１流路の開
口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部を連接
させる。

【００１１】このとき、第２接合面に凸部が設けられて
いる場合には、第２接合面の凸部は第１接合面の第１凹
部に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面の第１
凹部と第２接合面の凸部は、ともに樹脂であるので、圧
接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さら
に、第１接合面の第１凹部は第１流路の開口部を囲い巡
らしており、第２接合面の凸部は第２流路の開口部を囲
い巡らしている。これらにより、一方の薬液用流体機器
の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路
の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。

【００１２】また、第２接合面に第２凹部が設けられて
いる場合には、第２接合面の第２凹部と第１接合面の第
１凹部には、パッキンが圧接して嵌め込まれる。そし
て、第１接合面の第１凹部と第２接合面の第２凹部とパ
ッキンは、ともに樹脂であるので、圧接された部分にお
いて、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１流路の開
口部を囲い巡らした第１接合面の第１凹部と、第２流路
の開口部を囲い巡らした第２接合面の第２凹部とに、パ
ッキンが圧接して嵌め込まれている。これらにより、一
方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用
流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止
することができる。

【００１３】すなわち、本発明の薬液用流体機器の連結
構造は、一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方の薬
液用流体機器の第２接合面とを密着して固定させて、一
方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用
流体機器の第２流路の開口部を連接させるとともに漏れ
を防止しており、配管を用いることなく薬液用流体機器
同士を連結させているので、薬液用流体機器同士の連結
時のコンパクト化を図ることができる。

【００１４】また、配管を用いることなく薬液用流体機
器同士を連結させているので、配管に対する作業が不要
となり、薬液用流体機器同士を連結する際の作業がスム
ーズとなる。

【００１５】また、凸部の内周面が第１凹部の内周面に
圧接したり、又は、パッキンの内周面が第１凹部の内周
面及び第２凹部の内周面に圧接する場合には、一方の薬
液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機
器の第２流路の開口部との連接部分に最も近い位置で、
一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液
用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防
止することができる。

【００１６】また、本発明の薬液用流体機器の連結構造
を、薬液用流体機器のバルブをマニホールド化する構造
として使用する場合には、既存の単品用バルブの接続口
を加工することによって、凸部、第１凹部または第２凹
部を既存の単品用バルブに設けることができるので、既
存の単品用バルブの製品又は設計を流用することができ
るとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バル
ブとは別に製作する必要がない。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして説明する。先ず、本発明の第１実施の形態
について説明する。図１に、第１実施の形態の薬液用流
体機器の連結構造で、薬液用流体機器同士が連結された
際の外観を示す。但し、図１においては、第１実施の形
態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してある。ま
た、図１では、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結
構造をもって、バルブ１１、レギュレータ１２、フィル
タ１３の薬液用流体機器同士を連結している。

【００１８】先ず、第１実施の形態の薬液用流体機器の
連結構造であって、バルブ１１とレギュレータ１２を連
結するものについて説明する。図２は、バルブ１１とレ
ギュレータ１２を連結する連結構造の断面を示すもので
ある。バルブ１１のボディ２１の内部には第１流路２２
が設けられており、かかる第１流路２２の開口部２３
が、バルブ１１の第１接合面２４に露呈している。ま
た、バルブ１１の第１接合面２４においては、第１流路
２２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部
２５が設けられている。尚、バルブ１１のボディ２１の
材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１
凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。

【００１９】一方、レギュレータ１２のボディ３１の内
部には第２流路３２が設けられており、かかる第２流路
３２の開口部３３が、レギュレータ１２の第２接合面３
４に露呈している。また、レギュレータ１２の第２接合
面３４においては、第２流路３２の開口部３３を囲い巡
らすように、環状の凸部３５が設けられている。尚、レ
ギュレータ１２のボディ３１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦ
Ｅなどの樹脂であり、凸部３５はボディ３１と一体に成
形されているので、凸部３５も同じ材質の樹脂からな
る。

【００２０】そして、バルブ１１とレギュレータ１２を
連結するために、図３に示すように、バルブ１１の第１
接合面２４とレギュレータ１２の第２接合面３４とを密
着して固定させる。かかる固定には、バルブ１１とレギ
ュレータ１２とを、螺子（図示しない）で締着すること
によって行う。これにより、バルブ１１の第１流路２２
の開口部２３とレギュレータ１２の第２流路３２の開口
部３３を連接させる。

【００２１】このとき、図３に示すように、レギュレー
タ１２の第２接合面３４の凸部３５は、バルブ１１の第
１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込まれる。
そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接合面３
４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接された部
分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接
合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部２３を
囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は第２流
路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これらによ
り、バルブ１１の第１流路２２の開口部２３とレギュレ
ータ１２の第２流路３２の開口部３３との連接部分の漏
れを防止することができる。尚、ここでは、第２接合面
３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の第１凹部２
５の内周面に圧接している。

【００２２】次に、第１実施の形態の薬液用流体機器の
連結構造であって、レギュレータ１２とフィルタ１３を
連結するものについて説明する。図２は、レギュレータ
１２とフィルタ１３を連結する連結構造の断面を示すも
のでもある。レギュレータ１２のボディ２１の内部には
第１流路２２が設けられており、かかる第１流路２２の
開口部２３が、レギュレータ１２の第１接合面２４に露
呈している。また、レギュレータ１２の第１接合面２４
においては、第１流路２２の開口部２３を囲い巡らすよ
うに、環状の第１凹部２５が設けられている。尚、レギ
ュレータ１２のボディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ
などの樹脂であるので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂
からなる。

【００２３】一方、フィルタ１３のボディ３１の内部に
は第２流路３２が設けられており、かかる第２流路３２
の開口部３３が、フィルタ１３の第２接合面３４に露呈
している。また、フィルタ１３の第２接合面３４におい
ては、第２流路３２の開口部３３を囲い巡らすように、
環状の凸部３５が設けられている。尚、フィルタ１３の
ボディ３１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であ
り、凸部３５はボディ３１と一体に成形されているの
で、凸部３５も同じ材質の樹脂からなる。

【００２４】そして、レギュレータ１２とフィルタ１３
を連結するために、図３に示すように、レギュレータ１
２の第１接合面２４とフィルタ１３の第２接合面３４と
を密着して固定させる。かかる固定には、レギュレータ
１２とフィルタ１３とを、螺子（図示しない）で締着す
ることによって行う。これにより、レギュレータ１２の
第１流路２２の開口部２３とフィルタ１３の第２流路３
２の開口部３３とを連接させる。

【００２５】このとき、図３に示すように、フィルタ１
３の第２接合面３４の凸部３５は、レギュレータ１２の
第１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込まれ
る。そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接合
面３４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接され
た部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第
１接合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部２
３を囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は第
２流路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これらに
より、レギュレータ１２の第１流路２２の開口部２３と
フィルタ１３の第２流路３２の開口部３３との連接部分
の漏れを防止することができる。尚、ここでは、第２接
合面３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の第１凹
部２５の内周面に圧接している。

【００２６】次に、本発明の第２実施の形態について説
明する。図４に、第２実施の形態の薬液用流体機器の連
結構造で、薬液用流体機器同士が連結された際の外観を
示す。但し、図２においては、第２実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造を断面で示してある。また、図２で
は、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造をもっ
て、バルブ４１、レギュレータ４２、フィルタ４３の薬
液用流体機器同士を連結している。

【００２７】先ず、第２実施の形態の薬液用流体機器の
連結構造であって、バルブ４１とレギュレータ４２を連
結するものについて説明する。図５は、バルブ４１とレ
ギュレータ４２を連結する連結構造の断面を示すもので
ある。バルブ４１のボディ５１の内部には第１流路５２
が設けられており、かかる第１流路５２の開口部５３
が、バルブ４１の第１接合面５４に露呈している。ま
た、バルブ４１の第１接合面５４においては、第１流路
５２の開口部５３を囲い巡らすように、環状の第１凹部
５５が設けられている。尚、バルブ４１のボディ５１の
材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１
凹部５５も同じ材質の樹脂からなる。

【００２８】同様に、レギュレータ４２のボディ６１の
内部には第２流路６２が設けられており、かかる第２流
路６２の開口部６３が、レギュレータ４２の第２接合面
６４に露呈している。また、レギュレータ４２の第２接
合面６４においては、第２流路６２の開口部６３を囲い
巡らすように、環状の第２凹部６５が設けられている。
尚、レギュレータ４２のボディ６１の材質は、ＰＦＡ、
ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第２凹部６５も同じ材
質の樹脂からなる。

【００２９】そして、バルブ４１とレギュレータ４２を
連結するために、図６に示すように、バルブ４１の第１
接合面５４とレギュレータ４２の第２接合面６４とを密
着して固定させる。かかる固定には、バルブ４１とレギ
ュレータ４２とを、螺子（図示しない）で締着すること
によって行う。これにより、バルブ４１の第１流路５２
の開口部５３とレギュレータ４２の第２流路６２の開口
部６３を連接させる。

【００３０】このとき、バルブ４１の第１接合面５４の
第１凹部５５とレギュレータ４２の第２接合面６４の第
２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂からなる
環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そして、
第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４の第２
凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるので、圧
接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さら
に、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした第１接合
面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口部６３を
囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５とに、パッ
キン７０が圧接して嵌め込まれている。これらにより、
バルブ４１の第１流路５２の開口部５３とレギュレータ
４２の第２流路６２の開口部６３との連接部分の漏れを
防止することができる。尚、ここでは、パッキン７０の
内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周
面に圧接している。

【００３１】次に、第２実施の形態の薬液用流体機器の
連結構造であって、レギュレータ４２とフィルタ４３を
連結するものについて説明する。図５は、レギュレータ
４２とフィルタ４３を連結する連結構造の断面を示すも
のでもある。レギュレータ４２のボディ５１の内部には
第１流路５２が設けられており、かかる第１流路５２の
開口部５３が、レギュレータ４２の第１接合面５４に露
呈している。また、レギュレータ４２の第１接合面５４
においては、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らすよ
うに、環状の第１凹部５５が設けられている。尚、レギ
ュレータ４２のボディ５１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ
などの樹脂であるので、第１凹部５５も同じ材質の樹脂
からなる。

【００３２】同様に、フィルタ４３のボディ６１の内部
には第２流路６２が設けられており、かかる第２流路６
２の開口部６３が、フィルタ４３の第２接合面６４に露
呈している。また、フィルタ４３の第２接合面６４にお
いては、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らすよう
に、環状の第２凹部６５が設けられている。尚、フィル
タ４３のボディ６１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの
樹脂であるので、第２凹部６５も同じ材質の樹脂からな
る。

【００３３】そして、レギュレータ４２とフィルタ４３
を連結するために、図６に示すように、レギュレータ４
２の第１接合面５４とフィルタ４３の第２接合面６４と
を密着して固定させる。かかる固定には、レギュレータ
４２とフィルタ４３とを、螺子（図示しない）で締着す
ることによって行う。これにより、レギュレータ４２の
第１流路５２の開口部５３とフィルタ４３の第２流路６
２の開口部６３を連接させる。

【００３４】このとき、レギュレータ４２の第１接合面
５４の第１凹部５５とフィルタ４３の第２接合面６４の
第２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂からな
る環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そし
て、第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４の
第２凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるの
で、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生す
る。さらに、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした
第１接合面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口
部６３を囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５と
に、パッキン７０が圧接して嵌め込まれている。これら
により、レギュレータ４２の第１流路５２の開口部５３
とフィルタ４３の第２流路６２の開口部６３との連接部
分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、パッ
キン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部
６５の内周面に圧接している。

【００３５】次に、本発明の第３実施の形態について説
明する。図７に、第３実施の形態の薬液用流体機器の連
結構造で、薬液用流体機器のバルブがマニホールド化さ
れた際の外観を示す。但し、図７においては、第３実施
の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してあ
る。また、図７では、図９に示すように、第３実施の形
態の薬液用流体機器の連結構造をもって、マニホールド
ベース８１に３個のバルブ８２が連結している。

【００３６】ここで、第３実施の形態の薬液用流体機器
の連結構造であって、マニホールドベース８１とバルブ
８２を連結するものについて説明する。図２は、マニホ
ールドベース８１とバルブ８２を連結する連結構造の断
面を示すものでもある。マニホールドベース８１のボデ
ィ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かか
る第１流路２２の開口部２３が、マニホールドベース８
１の第１接合面２４に露呈している。また、マニホール
ドベース８１の第１接合面２４においては、第１流路２
２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２
５が設けられている。尚、マニホールドベース８１のボ
ディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂である
ので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。

【００３７】一方、バルブ８２のボディ３１の内部には
第２流路３２が設けられており、かかる第２流路３２の
開口部３３が、バルブ８２の第２接合面３４に露呈して
いる。また、バルブ８２の第２接合面３４においては、
第２流路３２の開口部３３を囲い巡らすように、環状の
凸部３５が設けられている。尚、バルブ８２の第２接合
面３４の凸部３５の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹
脂であって、ボディ３１の材質と同じである。

【００３８】そして、マニホールドベース８１とバルブ
８２を連結するために、図３に示すように、マニホール
ドベース８１の第１接合面２４とバルブ８２の第２接合
面３４とを密着して固定させる。かかる固定には、マニ
ホールドベース８１とバルブ８２とを、図９に示す螺子
８５で締着することによって行う。これにより、マニホ
ールドベース８１の第１流路２２の開口部２３とバルブ
８２の第２流路３２の開口部３３を連接させる。

【００３９】このとき、図３に示すように、バルブ８２
の第２接合面３４の凸部３５は、マニホールドベース８
１の第１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込ま
れる。そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接
合面３４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接さ
れた部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、
第１接合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部
２３を囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は
第２流路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これら
により、マニホールドベース８１の第１流路２２の開口
部２３とバルブ８２の第２流路３２の開口部３３との連
接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、
第２接合面３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の
第１凹部２５の内周面に圧接している。

【００４０】次に、本発明の第４実施の形態について説
明する。図８に、第４実施の形態の薬液用流体機器の連
結構造で、薬液用流体機器のバルブがマニホールド化さ
れた際の外観を示す。但し、図８においては、第４実施
の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してあ
る。また、図８では、図９に示すように、第４実施の形
態の薬液用流体機器の連結構造をもって、マニホールド
ベース８３に３個のバルブ８４が連結している。

【００４１】ここで、第４実施の形態の薬液用流体機器
の連結構造であって、マニホールドベース８３とバルブ
８４を連結するものについて説明する。図５は、マニホ
ールドベース８３とバルブ８４を連結する連結構造の断
面を示すものでもある。マニホールドベース８３のボデ
ィ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かか
る第１流路２２の開口部２３が、マニホールドベース８
３の第１接合面２４に露呈している。また、マニホール
ドベース８３の第１接合面２４においては、第１流路２
２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２
５が設けられている。尚、マニホールドベース８３のボ
ディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂である
ので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。

【００４２】同様に、バルブ８４のボディ６１の内部に
は第２流路６２が設けられており、かかる第２流路６２
の開口部６３が、バルブ８４の第２接合面６４に露呈し
ている。また、バルブ８４の第２接合面６４において
は、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らすように、環
状の第２凹部６５が設けられている。尚、バルブ８４の
ボディ６１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であ
るので、第２凹部６５も同じ材質の樹脂からなる。

【００４３】そして、マニホールドベース８３とバルブ
８４を連結するために、図６に示すように、マニホール
ドベース８３の第１接合面５４とバルブ８４の第２接合
面６４とを密着して固定させる。かかる固定には、マニ
ホールドベース８３とバルブ８４とを、図９に示す螺子
８５で締着することによって行う。これにより、マニホ
ールドベース８３の第１流路５２の開口部５３とバルブ
８４の第２流路６２の開口部６３を連接させる。

【００４４】このとき、マニホールドベース８３の第１
接合面５４の第１凹部５５とバルブ８４の第２接合面６
４の第２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂か
らなる環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そ
して、第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４
の第２凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるの
で、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生す
る。さらに、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした
第１接合面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口
部６３を囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５と
に、パッキン７０が圧接して嵌め込まれている。これら
により、マニホールドベース８３の第１流路５２の開口
部５３とバルブ８４の第２流路６２の開口部６３との連
接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、
パッキン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２
凹部６５の内周面に圧接している。

【００４５】以上詳細に説明したように、図１に示す第
１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造は、一方の薬
液用流体機器の第１接合面２４と他方の薬液用流体機器
の第２接合面３４とを密着して固定させて、一方の薬液
用流体機器の第１流路２２の開口部２３と他方の薬液用
流体機器の第２流路３２の開口部３３を連接させるとと
もに漏れを防止しており、配管を用いることなく薬液用
流体機器同士を連結させているので、薬液用流体機器同
士の連結時のコンパクト化を図ることができる（図１１
参照）。

【００４６】また、図３に示すように、凸部３５の内周
面が第１凹部２５の内周面に圧接しているので、一方の
薬液用流体機器の第１流路２２の開口部２３と他方の薬
液用流体機器の第２流路３２の開口部３３との連接部分
に最も近い位置で、一方の薬液用流体機器の第１流路２
２の開口部２３と他方の薬液用流体機器の第２流路３２
の開口部３３との連接部分の漏れを防止することができ
る。

【００４７】また、図４に示す第２実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造は、一方の薬液用流体機器の第１接
合面５４と他方の薬液用流体機器の第２接合面６４とを
密着して固定させて、一方の薬液用流体機器の第１流路
５２の開口部５３と他方の薬液用流体機器の第２流路６
２の開口部６３を連接させるとともに漏れを防止してお
り、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結さ
せているので、薬液用流体機器同士の連結時のコンパク
ト化を図ることができる（図１１参照）。

【００４８】また、図６に示すように、パッキン７０の
内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周
面に圧接しているので、一方の薬液用流体機器の第１流
路５２の開口部５３と他方の薬液用流体機器の第２流路
６２の開口部６３との連接部分に最も近い位置で、一方
の薬液用流体機器の第１流路５２の開口部５３と他方の
薬液用流体機器の第２流路６２の開口部６３との連接部
分の漏れを防止することができる。

【００４９】また、図１に示す第１実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造や、図４に示す第２実施の形態の薬
液用流体機器の連結構造では、配管を用いることなく薬
液用流体機器同士を連結させているので、配管に対する
作業が不要となり、薬液用流体機器同士を連結する際の
作業がスムーズとなる。

【００５０】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造では、図１に示す第１実施の形態の
薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブ
８２をマニホールド化する構造として使用しており、図
１０に示す既存の単品用バルブ９０の接続口９１を加工
することによって、凸部３５を既存の単品用バルブ９０
に設けることができるので、既存の単品用バルブ９０の
製品又は設計を流用することができるとともに、マニホ
ールド化専用のバルブを単品用バルブ９０とは別に製作
する必要がない。

【００５１】また、図８に示す第４実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造では、図４に示す第２実施の形態の
薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブ
８４をマニホールド化する構造として使用しており、図
１０に示す既存の単品用バルブ９０の接続口９１を加工
することによって、第２凹部６５を既存の単品用バルブ
９０に設けることができるので、既存の単品用バルブ９
０の製品又は設計を流用することができるとともに、マ
ニホールド化専用のバルブを単品用バルブ９０とは別に
製作する必要がない。

【００５２】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、図１に示す第１実施の形態の薬液
用流体機器の連結構造においては、バルブ１１に第１凹
部２５を設けるとともにレギュレータ１２に凸部３５を
設けることによって、バルブ１１とレギュレータ１２を
連結させていたが、バルブ１１に凸部３５を設けるとと
もにレギュレータ１２に第１凹部２５を設けることによ
って、バルブ１１とレギュレータ１２を連結させてもよ
い。

【００５３】また、レギュレータ１２に第１凹部２５を
設けるとともにフィルタ１３に凸部３５を設けることに
よって、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結させて
いたが、レギュレータ１２に凸部３５を設けるとともに
フィルタ１３に第１凹部２５を設けることによって、レ
ギュレータ１２とフィルタ１３を連結させてもよい。

【００５４】また、図４に示す第２実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造においては、バルブ４１に第１凹部
５５を設けるとともにレギュレータ４２に第２凹部６５
を設けることによって、バルブ４１とレギュレータ４２
を連結させていたが、バルブ４１に第２凹部６５を設け
るとともにレギュレータ４２に第１凹部５５を設けるこ
とによって、バルブ４１とレギュレータ４２を連結させ
てもよい。

【００５５】また、レギュレータ４２に第１凹部５５を
設けるとともにフィルタ４３に第２凹部６５を設けるこ
とによって、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結さ
せていたが、レギュレータ４２に第２凹部６５を設ける
とともにフィルタ４３に第１凹部５５を設けることによ
って、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結させても
よい。

【００５６】また、図１に示す第１実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造や、図４に示す第２実施の形態の薬
液用流体機器の連結構造においては、バルブ１１、４
１、レギュレータ１２、４２、フィルタ１３、４３の３
個の異なる種類の薬液用流体機器同士を連結させている
が、連結させる薬液用流体機器の個数や種類は、必要に
応じて変更することができる。

【００５７】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造においては、マニホールドプレート
８１に第１凹部２５を設けるとともにバルブ８２に凸部
３５を設けることによって、マニホールドプレート８１
とバルブ８２を連結させていたが、マニホールドプレー
ト８１に凸部３５を設けるとともにバルブ８２に第１凹
部２５を設けることによって、マニホールドプレート８
１とバルブ８２を連結させてもよい。

【００５８】また、図８に示す第４実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造においては、マニホールドプレート
８３に第１凹部５５を設けるとともにバルブ８４に第２
凹部６５を設けることによって、マニホールドプレート
８３とバルブ８４を連結させていたが、マニホールドプ
レート８３に第２凹部６５を設けるとともにバルブ８４
に第１凹部５５を設けることによって、マニホールドプ
レート８３とバルブ８４を連結させてもよい。

【００５９】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用
流体機器の連結構造や、図８に示す第４実施の形態の薬
液用流体機器の連結構造においては、マニホールドベー
ス８１、８３に連結させるバルブ１２、８４は３個であ
るが、連結させるバルブ１２、８４の個数は３個に限定
されるものではない。

【００６０】

【発明の効果】本発明の薬液用流体機器の連結構造は、
一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方の薬液用流体
機器の第２接合面とを密着して固定させて、一方の薬液
用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器
の第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止し
ており、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連
結させているので、薬液用流体機器同士の連結時のコン
パクト化を図ることができる。

【００６１】また、配管を用いることなく薬液用流体機
器同士を連結させているので、配管に対する作業が不要
となり、薬液用流体機器同士を連結する際の作業がスム
ーズとなる。

【００６２】また、凸部の内周面が第１凹部の内周面に
圧接したり、又は、パッキンの内周面が第１凹部の内周
面及び第２凹部の内周面に圧接する場合には、一方の薬
液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機
器の第２流路の開口部との連接部分に最も近い位置で、
一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液
用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防
止することができる。

【００６３】また、本発明の薬液用流体機器の連結構造
を、薬液用流体機器のバルブをマニホールド化する構造
として使用する場合には、既存の単品用バルブの接続口
を加工することによって、凸部、第１凹部または第２凹
部を既存の単品用バルブに設けることができるので、既
存の単品用バルブの製品又は設計を流用することができ
るとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バル
ブとは別に製作する必要がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で
薬液用流体機器同士を連結した際の外観を示す図であっ
て、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につい
ては断面で示したものである。

【図２】第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造、
又は、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につ
いて示した断面図である。

【図３】第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造、
又は、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につ
いて示した断面図である。

【図４】第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で
薬液用流体機器同士を連結した際の外観を示す図であっ
て、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につい
ては断面で示したものである。

【図５】第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造、
又は、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につ
いて示した断面図である。

【図６】第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造、
又は、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につ
いて示した断面図である。

【図７】第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で
バルブをマニホールド化した際の外観を示す図であっ
て、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につい
ては断面で示したものである。

【図８】第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で
バルブをマニホールド化した際の外観を示す図であっ
て、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造につい
ては断面で示したものである。

【図９】第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造
で、又は、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造
で、バルブをマニホールド化した際の外観を示した上面
図である。

【図１０】単品用バルブの側面図である。

【図１１】従来技術の薬液用流体機器の連結構造で薬液
用流体機器同士を連結した際の外観を示す図でる。

【符号の説明】

２２、５２ 第１流路 ２３、５３ 第１流路の開口部 ２４、５４ 第１接合面 ２５、５５ 第１凹部 ３２、６２ 第２流路 ３３、６３ 第２流路の開口部 ３４、６４ 第２接合面 ３５ 凸部 ６５ 第２凹部 ７０ パッキン ８１、８３ マニホールドベース ８２、８４ バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 博 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 3H016 EA04 3H051 BB02 BB10 CC01 CC11 CC14 CC15 DD07 EE08 FF09 FF14 FF15 3J040 AA01 AA12 BA01 EA01 EA16 FA05 HA15 HA30

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１流路の開口部が露呈した第１接合面
   と、 第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、 前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に
   設けられた樹脂からなる第１凹部と、 前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に
   設けられた樹脂からなる凸部とを備え、 前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させ
   る際に、前記凸部を前記第１凹部に圧接して嵌め込むこ
   とによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路の開
   口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特徴と
   する薬液用流体機器の連結構造。
2. 【請求項２】 請求項１に記載する薬液用流体機器の連
   結構造において、 前記凸部の内周面が前記第１凹部の内周面に圧接するこ
   とを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
3. 【請求項３】 第１流路の開口部が露呈した第１接合面
   と、 第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、 前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に
   設けられるとともに樹脂からなる第１凹部と、 前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に
   設けられるとともに樹脂からなる第２凹部と、 樹脂からなるパッキンとを備え、 前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させ
   る際に、前記パッキンを前記第１凹部及び前記第２凹部
   に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の開口
   部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを
   防止したことを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
4. 【請求項４】 請求３に記載する薬液用流体機器の連結
   構造において、 前記パッキンの内周面が前記第１凹部の内周面及び前記
   第２凹部の内周面に圧接することを特徴とする薬液用流
   体機器の連結構造。
5. 【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれか一つに
   記載する薬液用流体機器の連結構造において、 バルブをマニホールドベースに連結する際に使用される
   ことを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。