CN112639348B - 流路接头构造 - Google Patents

Abstract

将分别形成于第1配管块及第2配管块(51、52)的流路孔(510、520)彼此连接的流路接头构造(1)具有：第1外螺纹部(11)，其在第1配管块(51)的端部形成于流路孔(510)的径向外侧；第2外螺纹部(12)，其在第2配管块(52)的端部形成于流路孔(520)的径向外侧；联管螺母(13)，其在轴向一侧具有与第1外螺纹部(11)螺合的第1内螺纹部(13a)，并且在轴向另一侧具有与第2外螺纹部(12)螺合的第2内螺纹部(13b)；以及垫片(14)，其在联管螺母(13)的径向内侧将流路孔(510、520)彼此的连接部分密封。第1外螺纹部(11)及第1内螺纹部(13a)是右旋螺纹，第2外螺纹部(12)及第2内螺纹部(13b)是左旋螺纹。

Description

流路接头构造

技术领域

本发明涉及一种流路接头构造。

背景技术

关于在半导体、液晶、有机EL等各种技术领域的制造工序中处理的药液等流体的配管路径，作为以最短的方式将在泵、阀、蓄积器、过滤器、流量计、压力传感器以及配管块等2个流体设备形成的流路孔彼此连接的流路接头构造，已知图13所示的构造。该流路接头构造以如下方式构成，即，在形成为所需最小限度的长度的管101的两端分别利用套筒102和联管螺母103将流体设备110连接(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014-219060号公报

发明内容

在半导体、液晶、有机EL等的制造工序中，在输送药液以及使药液循环时使用的流路接头构造，优选节省其设置空间。然而，图13所示的流路接头构造需要用于设置管101以及2个联管螺母103的设置空间，因此存在无法以节省空间的方式设置流路接头构造的问题。

本发明就是鉴于上述情形而提出的，其目的在于能够以节省空间的方式设置流路接头构造。

(1)本发明的流路接头构造是将分别形成于2个流体设备的流路孔彼此连接的流路接头构造，其中，具有：第1外螺纹部，其在所述2个流体设备中的一个流体设备的端部形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；第2外螺纹部，其在所述2个流体设备中的另一个流体设备的端部形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；联管螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及密封部件，其在所述联管螺母的径向内侧使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合、且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此将所述2个流体设备的流路孔彼此的连接部分密封，所述第1外螺纹部以及所述第1内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的任一者，所述第2外螺纹部以及所述第2内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的另一者。

根据本发明，联管螺母的轴向一侧的第1内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的任一者，联管螺母的轴向另一侧的第2内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的另一者，因此通过对联管螺母进行紧固而使得第1内螺纹部与一个流体设备的第1外螺纹部螺合、且使得第2内螺纹部与另一个流体设备的第2外螺纹部螺合。由此，仅利用1个联管螺母便能够将2个流体设备的流路孔彼此连接，并且能够在联管螺母的径向内侧利用垫片将流路孔彼此的连接部分密封。因此，本发明的流路接头构造无需如现有构造那样设置管以及2个联管螺母，因此能够节省空间地设置流路接头构造。

(2)优选地，所述第1外螺纹部的螺纹开始位置和所述第2外螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，所述第1内螺纹部的螺纹开始位置和所述第2内螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置。

在该情况下，在对联管螺母进行紧固时，能够使第1内螺纹部向第1外螺纹部的螺合开始的定时、和第2内螺纹部向第2外螺纹部的螺合开始的定时一致。由此，能够容易地进行第1内螺纹部相对于第1外螺纹部的紧固管理、以及第2内螺纹部相对于第2外螺纹部的紧固管理。

(3)优选地，所述流路接头构造还具有：第1标记部，其设置于所述一个流体设备，作为所述第1外螺纹部的螺纹开始位置而示出；第2标记部，其设置于所述另一个流体设备，表示为所述第2外螺纹部的螺纹开始位置；以及第3标记部，其设置于所述联管螺母，作为所述第1内螺纹部以及所述第2内螺纹部中的至少一者的螺纹开始位置而示出。

在该情况下，通过对2个流体设备的第1标记部及第2标记部、和联管螺母的第3标记部进行对位，能够容易地进行第1外螺纹部的螺纹开始位置和第1内螺纹部的螺纹开始位置的对位、以及第2外螺纹部的螺纹开始位置和第2内螺纹部的螺纹开始位置的对位。

(4)优选地，所述第1标记部和所述第2标记部表示的位置、以及所述第3标记部表示的位置中的一者是实际的螺纹开始位置，所述第1标记部和所述第2标记部表示的位置、以及所述第3标记部表示的位置中的另一者是相对于实际的螺纹开始位置在周向上偏离的位置。

在该情况下，在对2个流体设备的第1标记部及第2标记部、和联管螺母的第3标记部进行对位时，第1外螺纹部的实际的螺纹开始位置和第1内螺纹部的实际的螺纹开始位置在周向上偏离，并且第2外螺纹部的实际的螺纹开始位置和第2内螺纹部的实际的螺纹开始位置在周向上偏离。由此，在从进行了所述对位的状态开始对联管螺母进行紧固时，能够顺畅地使第1内螺纹部与第1外螺纹部螺合，并且能够顺畅地使第2内螺纹部与第2外螺纹部螺合。

(5)优选地，所述联管螺母还具有形成于所述第1外螺纹部与所述第2外螺纹部之间的非螺纹部。

在联管螺母的第1外螺纹部以及第2外螺纹部沿轴向连续地形成的情况下，在对联管螺母进行紧固时，例如，在第2内螺纹部向第2外螺纹部的螺合开始的定时与第1内螺纹部向第1外螺纹部的螺合开始的定时相比而滞后时，产生如下问题。即，在第1内螺纹部相对于第1外螺纹部的紧固完毕之后，也直至第2内螺纹部相对于第2外螺纹部的紧固完毕为止而对联管螺母进行紧固。由此，第1外螺纹部移动至第2内螺纹部的螺合位置，但第1外螺纹部和第2内螺纹部形成为右旋螺纹和左旋螺纹的关系，因此无法相互螺合。因此，如果勉强对联管螺母进行紧固，则第1外螺纹部以及第2内螺纹部有可能会破损。

与此相对，在所述(5)的流路接头构造的情况下，例如，如上所述，即使第1外螺纹部朝向第2内螺纹部移动，第1外螺纹部也移动至与非螺纹部对应的位置，因此能够抑制第1外螺纹部移动至第2内螺纹部的螺合位置。因此，在对联管螺母进行紧固时，即使第1内螺纹部向第1外螺纹部的螺合开始的定时、和第2内螺纹部向第2外螺纹部的螺合开始的定时错开，也能够抑制第1外螺纹部移动至第2内螺纹部的螺合位置、或者第2外螺纹部移动至第1内螺纹部的螺合位置。其结果，能够有效地抑制流体设备侧的外螺纹部以及联管螺母侧的内螺纹部破损。

(6)优选地，所述2个流体设备中的至少一者具有在所述联管螺母的进一步紧固到达极限时供该联管螺母抵接的抵接部。

在该情况下，在联管螺母的进一步紧固到达极限时，联管螺母与流体设备的抵接部抵接，因此作业者能够根据由该抵接产生的扭矩变动而容易地掌握联管螺母的进一步紧固已到达极限。

(7)优选地，所述流路接头构造还具有流动方向标记部，所述流动方向标记部设置于所述联管螺母，表示在该联管螺母内流动的流体的流动方向。

在该情况下，作业者能够根据流动方向标记部而容易地掌握配置于2个流体设备之间的联管螺母的朝向。

(8)优选地，所述流路接头构造还具有紧固方向标记部，所述紧固方向标记部设置于所述联管螺母，表示该联管螺母的紧固方向。

在该情况下，作业者能够根据紧固方向标记部而容易地掌握联管螺母的紧固方向。

发明的效果

根据本发明，能够节省空间地设置流路接头构造。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的流路接头构造的斜视图。

图2是流路接头构造的剖面图。

图3是表示流路接头构造分解后的状态的剖面图。

图4是表示流路接头构造分解后的状态的斜视图。

图5是图4的流路接头构造的俯视图。

图6是表示在第1配管块安装有垫片的状态的剖面图。

图7是表示联管螺母的紧固中途的状态的剖面图。

图8是表示联管螺母的紧固完毕的状态的剖面图。

图9是表示联管螺母的进一步紧固到达极限的状态的剖面图。

图10是表示本发明的第2实施方式所涉及的流路接头构造分解后的状态的斜视图。

图11是表示第2实施方式的联管螺母开始紧固的状态的剖面图。

图12是表示第2实施方式的联管螺母的紧固完毕的状态的剖面图。

图13是表示当前的流路接头构造的剖面图。

具体实施方式

[流路接头构造]

下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。此外，可以任意地对下面记载的多个实施方式中的至少一部分进行组合。

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的流路接头构造的斜视图。在图1中，本实施方式的流路接头构造1例如作为如下连接构造而使用，即，在半导体制造装置中使用的供药液流通的配管路径中，将形成于第1配管块(流体设备)51的流路孔510(参照图4)与形成于第2配管块(流体设备)52的流路孔520连接。

此外，本实施方式的流路接头构造1作为将配管块51、52的流路孔510、520彼此连接的连接构造而使用，但也可以应用于将泵、阀、蓄积器、过滤器等其他流体设备的流路孔彼此连接的连接构造。

图2是本实施方式的流路接头构造1的剖面图。图3是表示流路接头构造1分解后的状态的剖面图。在图2及图3中，第1配管块51具有：块主体511，其例如由矩形体构成；以及一对第1凸出部512，它们凸出形成于块主体511的一端面511a、及其相反侧的另一端面511b。在各第1凸出部512的块主体511侧的基端部形成有环状槽513。

在一个(图2中的右侧)的第1凸出部512的除了所述环状槽513以外的外周形成有由外螺纹构成的第1外螺纹部11。在另一个(图2中的左侧)的第1凸出部512的除了所述环状槽513以外的外周形成有由外螺纹构成的第2外螺纹部12。第1配管块51的流路孔510形成为将块主体511及一对第1凸出部512贯通。因此，第1外螺纹部11以及第2外螺纹部12形成于流路孔510的两端部的径向外侧。

在所述一个第1凸出部512的前端面形成有环状的第1密封槽15，在所述另一个第1凸出部512的前端面形成有环状的第2密封槽16。

第2配管块52具有：块主体521，其例如由矩形体构成；以及一对第2凸出部522，它们凸出形成于块主体521的一端面521a、及其相反侧的另一端面521b。在各第2凸出部522的块主体521侧的基端部形成有环状槽523。

在一个(图2中的右侧)的第2凸出部522的除了所述环状槽523以外的外周形成有第1外螺纹部11。在另一个(图2中的左侧)的第2凸出部522的除了所述环状槽523以外的外周形成有第2外螺纹部12。第2配管块52的流路孔520形成为将块主体521以及一对第2凸出部522贯通。因此，第1外螺纹部11以及第2外螺纹部12形成于流路孔520的两端部的径向外侧。本实施方式的流路孔520形成为与流路孔510相同的直径。

在所述一个第2凸出部522的前端面形成有环状的第1密封槽15，在所述另一个第2凸出部522的前端面形成有环状的第2密封槽16。

作为主要结构要素，流路接头构造1具有第1配管块51的所述第1外螺纹部11、第2配管块52的所述第2外螺纹部12、联管螺母13、以及垫片(密封部件)14。

在本实施方式中，第1外螺纹部11设为右旋螺纹，第2外螺纹部12设为左旋螺纹。此外，可以与本实施方式相反，第1外螺纹部11设为左旋螺纹而第2外螺纹部12设为右旋螺纹。

联管螺母13具有：第1内螺纹部13a，其形成于轴向一侧的内周且由内螺纹构成；以及第2内螺纹部13b，其形成于轴向另一侧的内周且由内螺纹构成。在本实施方式中，第1内螺纹部13a以及第2内螺纹部13b在轴向上连续地形成。

第1内螺纹部13a与第1配管块51的第1外螺纹部11螺合。第2内螺纹部13b与第2配管块52的第2外螺纹部12螺合。

因此，在本实施方式中，第1内螺纹部13a设为右旋螺纹，第2内螺纹部13b设为左旋螺纹。此外，在第1外螺纹部11设为左旋螺纹、且第2外螺纹部12设为右旋螺纹的情况下，第1内螺纹部13a设为左旋螺纹，第2内螺纹部13b设为右旋螺纹。

在联管螺母13的径向内侧，第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合、且第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合，从而垫片14将流路孔510、520彼此的连接部分密封。本实施方式的垫片14具有：环状的第1压入部14a，其形成于轴向一侧；以及环状的第2压入部14b，其形成于轴向另一侧。第1压入部14a压入于第1凸出部512的第1密封槽15，第2压入部14b压入于第2凸出部522的第2密封槽16。

此外，在本实施方式中，作为将流路孔510、520彼此的连接部分密封的密封部件而使用垫片14，但也可以使用除了垫片14以外的其他密封部件。

[螺纹开始位置及标记部]

图4是表示流路接头构造1分解后的状态的斜视图。此外，图4中省略垫片14的图示(图5中也一样)。在图4中，第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a、以及第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a在周向上设定为相同的位置(图示例子中为12点的位置)。第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1以及第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1在周向上设定为相同的位置(图4的例子中，从第2内螺纹部13b侧观察联管螺母13，大约为10点的位置)。

由此，在对联管螺母13进行紧固时，能够使得第1内螺纹部13a开始向第1外螺纹部11螺合的定时(timing)、与第2内螺纹部13b开始向第2外螺纹部12螺合的定时一致。其结果，能够容易地进行第1内螺纹部13a相对于第1外螺纹部11的紧固管理、以及第2内螺纹部13b相对于第2外螺纹部12的紧固管理。

图5是图4的流路接头构造1的俯视图。在图4及图5中，在块主体511的一端面511a的上侧，作为第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a而示出的第1标记部61凸出设置于侧方(图5的右侧)。第1标记部61例如凸出形成为尖细状。第1标记部61相对于所述一端面511a的凸出量形成为比环状槽513的轴向长度短。

在本实施方式中，第1标记部61相对于第1外螺纹部11的周向的最前端位置设为与第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a相同的位置(图示例子中为12点的位置)。即，第1标记部61的最前端位置表示第1外螺纹部11的实际的螺纹开始位置11a。

在块主体521的另一端面521b的上侧，作为第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a而示出的第2标记部62凸出设置于侧方(图5的左侧)。第2标记部62的凸出端面的中央部例如以V字状凹陷。第2标记部62相对于所述另一端面521b的凸出量形成为比环状槽523的轴向长度短。

在本实施方式中，第2标记部62相对于第2外螺纹部12的周向的凹陷程度最大的位置设为与第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a相同的位置(图示的例子中为12点的位置)。即，第2标记部62的凹陷程度最大的位置表示第2外螺纹部12的实际的螺纹开始位置12a。

在联管螺母13的外周的第1内螺纹部13a侧设置有作为第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1而示出的第3标记部63A。第3标记部63A例如在后述的凸部13f的长度方向的一端部凹陷形成为V字状。

在联管螺母13的外周的第2内螺纹部13b侧设置有作为第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1而示出的第3标记部63B。第3标记部63B例如在所述凸部13f的长度方向的另一端部凸出形成为尖细状。

第3标记部63B的最前端位置设为相对于第2内螺纹部13b的实际的螺纹开始位置13b1而在周向上略微偏离的位置。在本实施方式中，联管螺母13的第3标记部63B的最前端位置设为在联管螺母13的紧固方向(图4中的箭头A方向)上以规定角度α偏离的位置(图4所示的状态下为12点的位置)。即，第3标记部63B的最前端位置表示与第2内螺纹部13b的实际的螺纹开始位置13b1相比以规定角度α在所述紧固方向上偏离的位置。

同样地，第3标记部63A的凹陷程度最大位置设为相对于第1内螺纹部13a的实际的螺纹开始位置13a1而在周向上略微偏离的位置。在本实施方式中，联管螺母13的第3标记部63A的凹陷程度最大位置设为在联管螺母13的紧固方向上以所述规定角度α偏离的位置。即，第3标记部63A的凹陷程度最大位置表示与第1内螺纹部13a的实际的螺纹开始位置13a1相比而以规定角度α在所述紧固方向上偏离的位置。

此外，在图1～图3中，省略了第1标记部61、第2标记部62以及第3标记部63A、63B的图示(图6～图9中也一样)。

根据以上结构，通过对第1标记部61的最前端位置与第3标记部63A的凹陷程度最大位置进行对位，能够容易地进行第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a与第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1的对位。另外，通过对第2标记部62的凹陷程度最大位置和第3标记部63B的最前端位置进行对位，能够容易地进行第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a和第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1的对位。

另外，第1标记部61及第2标记部62表示实际的螺纹开始位置11a、12a，第3标记部63A及第3标记部63B表示与实际的螺纹开始位置13a1、13b1相比以规定角度α在联管螺母13的紧固方向上偏离的位置。由此，在对联管螺母13进行紧固时，对第1标记部61和第3标记部63A进行对位，并且，在对第2标记部62和第3标记部63B进行对位时，使得第1外螺纹部11的实际的螺纹开始位置11a和第1内螺纹部13a的实际的螺纹开始位置13a1在周向上以规定角度α偏离，并且使得第2外螺纹部12的实际的螺纹开始位置12a和第2内螺纹部13b的实际的螺纹开始位置13b1在周向上以规定角度α偏离。

因此，通过从该状态起使联管螺母13在紧固方向上旋转，以实际的螺纹开始位置13a1与实际的螺纹开始位置11a一致的方式使得第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合，并以实际的螺纹开始位置13b1与实际的螺纹开始位置12a一致的方式使得第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合。因此，在开始联管螺母13的紧固时，与实际的螺纹开始位置13a1和实际的螺纹开始位置11a一致、且实际的螺纹开始位置13b1和实际的螺纹开始位置12a一致的情况相比，能够顺畅地使第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合，并且能够顺畅地使第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合。

此外，在本实施方式中，第1标记部61及第2标记部62表示实际的螺纹开始位置11a、12a，第3标记部63A、63B表示相对于实际的螺纹开始位置13a1、13b1而在周向上偏离的位置，但第1标记部61及第2标记部62也可以表示相对于实际的螺纹开始位置11a、12a而在周向上偏离的位置，第3标记部63A、63B可以表示实际的螺纹开始位置13a1、13b1。在该情况下，第1标记部61及第2标记部62只要表示相对于实际的螺纹开始位置11a、12a而在联管螺母13的紧固方向的相反方向上偏离的位置即可。

另外，本实施方式的第3标记部63A、63B与凸部13f形成为一体，但也可以与凸部13f分体设置。

另外，在本实施方式的联管螺母13设置有作为第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1而示出的第3标记部63A、以及作示为第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1而示出的第3标记部63B，但可以仅设置第3标记部63A，也可以仅设置第3标记部63B。

在图4及图5中，在本实施方式中，如箭头B所示，流体(药液等)从第1配管块51的流路孔510经由联管螺母13而朝向第2配管块52的流路孔520流动。联管螺母13的第3标记部63A的凹陷形状、以及第3标记部63B的凸出形状表示在联管螺母13内流动的流体的流动方向。

因此，在本实施方式中，作为第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13a1、13b1而示出的第3标记部63A及第3标记部63B，还作为表示在联管螺母13内流动的流体的流动方向的流动方向标记部64而起作用。由此，作业者通过目视确认联管螺母13的流动方向标记部64，而能够容易地掌握在第1配管块51与第2配管块52之间配置的联管螺母13的轴向的朝向。其结果，能够使得由右旋螺纹构成的第1外螺纹部11和第1内螺纹部13a彼此可靠地螺合，并且能够使得由左旋螺纹构成的第2外螺纹部12和第2内螺纹部13b彼此可靠地螺合。

在联管螺母13的外周面，为了供对联管螺母13实施紧固的工具卡挂，例如通过滚花加工在周向上隔开规定间隔而形成有多个沿轴向延伸的凸部13f。在本实施方式中，例如如图示所示，针对规定数量的每一个凸部13f，通过逐渐缩短它们的轴向长度而在周向上形成有多个整体为箭头的形状。上述箭头的形状表示联管螺母13的紧固方向。

因此，在本实施方式中，针对规定数量的每一个凸部13f而形成的多个箭头的形状作为表示联管螺母13的紧固方向的紧固方向标记部65而起作用。由此，作业者通过目视确认联管螺母13的紧固方向标记部65而能够容易地掌握联管螺母13的紧固方向。

此外，本实施方式的流动方向标记部64由第3标记部63A及第3标记部63B构成，但也可以与第3标记部63A及第3标记部63B分体设置。另外，本实施方式的流动方向标记部64利用其形状而表示流体的流动方向，但也可以在联管螺母13标注表示所述流动方向的箭头等。

另外，本实施方式的紧固方向标记部65由形成于联管螺母13的外周的凸部13f构成，但也可以与凸部13f分体设置。另外，本实施方式的紧固方向标记部65利用凸部13f的形状而表示联管螺母13的紧固方向，但也可以在联管螺母13标注表示所述紧固方向的箭头等。

在图5中，在第1配管块51的块主体511的一端面511a，与联管螺母13的另一侧面13d抵接的抵接部66A凸出设置于侧方(图5的右侧)。抵接部66A比第1标记部61更在轴向上凸出、且形成为比环状槽513的轴向长度短。另外，抵接部66A的轴向上的凸出量设定为在联管螺母13的进一步紧固达到极限时使得联管螺母13的另一侧面13d与抵接部66A的前端面抵接。

在第2配管块52的块主体521的另一端面521b，与联管螺母13的一侧面13e抵接的抵接部66B凸出设置于侧方(图5的左侧)。抵接部66B比第2标记部62更在轴向上凸出、且形成为比环状槽523的轴向长度短。另外，抵接部66B的轴向上的凸出量设定为在联管螺母13的进一步紧固达到极限时使得联管螺母13的一侧面13e与抵接部66B的前端面抵接。

在本实施方式的第1配管块51以及第2配管块52设置有供联管螺母13抵接的抵接部66A、66B，但可以仅在第1配管块51设置抵接部66A，也可以仅在第2配管块52设置抵接部66B。

此外，图1～图3中省略了抵接部66A以及抵接部66B的图示。

[流路接头构造的连接次序]

接下来，对利用本实施方式的流路接头构造1将第1配管块51及第2配管块52的流路孔510、520彼此连接的次序进行说明。首先，如图6所示，作业者将垫片14的第1压入部14a压入于第1配管块51的第1密封槽15，由此将垫片14一体地安装于第1配管块51。

此外，垫片14可以一体地安装于第2配管块52。在该情况下，作业者只要将垫片14的第2压入部14b压入于第2配管块52的第2密封槽16即可。

接下来，作业者将联管螺母13配置于第1配管块51与第2配管块52之间。此时，作业者通过目视确认联管螺母13的流动方向标记部64(参照图5)而能够容易地掌握联管螺母13的轴向的朝向。

接下来，作业者在图6所示的状态下使联管螺母13向紧固方向或者其相反方向旋转，如图5所示，对第1标记部61和第3标记部63A进行对位，并且对第2标记部62和第3标记部63B进行对位。由此，进行第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a和第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1的对位，并且进行第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a和第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1的对位。

此外，在本实施方式中，第3标记部63A以及第3标记部63B表示与实际的螺纹开始位置13a1、13b1相比以规定角度α在联管螺母13的紧固方向上偏离的位置(参照图4)。因此，对第1标记部61和第3标记部63A进行对位，并且在对第2标记部62和第3标记部63B进行对位时，第1外螺纹部11的实际的螺纹开始位置11a和第1内螺纹部13a的实际的螺纹开始位置13a1以在周向上以规定角度α偏离的状态而对位，并且第2外螺纹部12的实际的螺纹开始位置12a和第2内螺纹部13b的实际的螺纹开始位置13b1以在周向上以规定角度α偏离的状态而对位。

接下来，作业者从图6所示的状态开始使第1配管块51的第1凸出部512的前端、以及第2配管块52的第2凸出部522的前端分别与联管螺母13的轴向两端抵接，然后利用工具(省略图示)等开始进行联管螺母13的紧固。此时，作业者通过目视确认联管螺母13的紧固方向标记部65(参照图4)而能够容易地掌握联管螺母13的紧固方向。

在作业者开始联管螺母13的紧固之后，如果联管螺母13以规定角度α而旋转，则实际的螺纹开始位置13a1与实际的螺纹开始位置11a一致，并且实际的螺纹开始位置13b1与实际的螺纹开始位置12a一致。如果联管螺母13从该状态开始进一步向紧固方向旋转，则处于右旋螺纹侧的第1内螺纹部13a开始与第1外螺纹部11螺合，与此同时，处于左旋螺纹侧的第2内螺纹部13b开始与第2外螺纹部12螺合。由此，能够使得第1内螺纹部13a开始向第1外螺纹部11螺合的定时、和第2内螺纹部13b开始向第2外螺纹部12螺合的定时一致。

如果作业者进一步对联管螺母13进行紧固，则如图7所示，第1外螺纹部11相对于第1内螺纹部13a进一步螺合，从而第1配管块51的第1凸出部512从联管螺母13的轴向一侧(图7的左侧)朝向轴向中央移动。同样地，第2外螺纹部12相对于第2内螺纹部13b进一步螺合，从而第2配管块52的第2凸出部522从联管螺母13的轴向另一侧(图7的右侧)朝向轴向中央移动。

这样，如果第1凸出部512以及第2凸出部522从联管螺母13的轴向两侧朝向轴向中央移动，则如图8所示，第1外螺纹部11的整体以及第2外螺纹部12的整体变为进入联管螺母13内的状态。由此，垫片14的第2压入部14b压入于第2配管块52的第2密封槽16而将流路孔510、520彼此连接，并且由垫片14将该连接部分密封。

在本实施方式中，图8所示的状态、即第1外螺纹部11的整体以及第2外螺纹部12的整体进入联管螺母13内的状态是联管螺母13的紧固完毕的状态。因此，作业者无法从联管螺母13的外侧看到第1外螺纹部11以及第2外螺纹部12，从而能够容易地掌握联管螺母13的紧固已完毕。此外，作为作业者掌握紧固完毕的情况的方法，并不限定于如上所述那样从联管螺母13的外侧无法看到第1外螺纹部11以及第2外螺纹部12。

如上，根据本实施方式的流路接头构造1，在联管螺母13，通过第1内螺纹部13a以及第2内螺纹部13b而形成右旋螺纹以及左旋螺纹，因此通过对联管螺母13进行紧固而使得第1内螺纹部13a与第1配管块51的第1外螺纹部11螺合，并使得第2内螺纹部13b与第2配管块52的第2外螺纹部12螺合。由此，仅利用1个联管螺母13就能够将第1配管块51以及第2配管块52的流路孔510、520彼此连接，并且能够在联管螺母13的径向内侧利用垫片14将流路孔510、520彼此的连接部分密封。因此，本实施方式的流路接头构造1无需如图13所示的现有构造那样设置管101以及2个联管螺母103，因此能够以节省空间的方式设置流路接头构造1。

另外，关于本实施方式的流路接头构造1，第1外螺纹部11的螺纹开始位置11a和第2外螺纹部12的螺纹开始位置12a在周向上设定为相同的位置，并且第1内螺纹部13a的螺纹开始位置13a1和第2内螺纹部13b的螺纹开始位置13b1在周向上设定为相同的位置。

因此，在对联管螺母13进行紧固时，能够使第1内螺纹部13a开始向第1外螺纹部11螺合的定时、和第2内螺纹部13b开始向第2外螺纹部12螺合的定时一致。由此，能够容易地进行第1内螺纹部13a相对于第1外螺纹部11的紧固管理、以及第2内螺纹部13b相对于第2外螺纹部12的紧固管理。

另外，如后述的第2实施方式(参照图10)所示，无需在联管螺母13的第1内螺纹部13a与第2内螺纹部13b之间形成非螺纹部13c，因此能够使联管螺母13在轴向上变得紧凑。由此能够进一步节省空间地设置流路接头构造1。

在图8所示的状态下，在第1外螺纹部11的前端面与第2外螺纹部12的前端面之间形成有间隙S。该间隙S是用于从图8所示的状态开始能够实现联管螺母13的进一步紧固的间隙(空间)。因此，作业者从联管螺母13的紧固完毕的状态(图8所示的状态)开始进一步使联管螺母13在紧固方向上旋转而能够进行联管螺母13的进一步紧固。

在进行了联管螺母13的进一步紧固的情况下，如图9所示，在联管螺母13的进一步紧固到达极限时，联管螺母13的另一侧面13d与第1配管块51的抵接部66A抵接，并且联管螺母13的一侧面13e与第2配管块52的抵接部66B抵接。因此，作业者根据由联管螺母13向两个抵接部66A、66B抵接引起的扭矩变动而能够容易地掌握联管螺母13的进一步紧固已到达极限。

图10是表示本发明的第2实施方式所涉及的流路接头构造分解后的状态的剖面图。本实施方式的流路接头构造1的联管螺母13具有在第1内螺纹部13a与第2内螺纹部13b之间形成的非螺纹部13c。非螺纹部13c是在联管螺母13的内周未形成内螺纹的部分。

另外，省略了本实施方式的流路接头构造1的图示，但第1内螺纹部13a的螺纹开始位置和第2内螺纹部13b的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，第1外螺纹部11的螺纹开始位置和第2外螺纹部12的螺纹开始位置在周向上设定为不同的位置。因此，在本实施方式中，例如图11所示，与第1内螺纹部13a开始向第1外螺纹部11螺合的定时相比，有时第2内螺纹部13b开始向第2外螺纹部12螺合的定时滞后。

在该情况下，作业者在第1内螺纹部13a相对于第1外螺纹部11的紧固完毕之后也对联管螺母13进行紧固直至第2内螺纹部13b相对于第2外螺纹部12的紧固完毕为止。于是，右旋螺纹的第1外螺纹部11朝向无法与自身螺合的左旋螺纹的第2内螺纹部13b移动。

然而，关于本实施方式的联管螺母13，如上所述，在第1内螺纹部13a与第2内螺纹部13b之间形成有非螺纹部13c。因此，如图12所示，直至第2内螺纹部13b相对于第2外螺纹部12的紧固完毕为止，即使第1外螺纹部11朝向第2内螺纹部13b移动，第1外螺纹部11也移动至与非螺纹部13c对应的位置。由此，能够抑制第1外螺纹部11移动至第2内螺纹部13b的螺合位置。因此，能够有效地抑制因第1外螺纹部11向第2内螺纹部13b的螺合位置移动而引起第1外螺纹部11以及第2内螺纹部13b破损。

[其他]

对上述实施方式的流路接头构造用于半导体制造装置的情况进行了说明，但也可以在液晶·有机EL领域、医疗·医药领域、或者汽车相关领域等使用。

另外，作为第1实施方式的联管螺母13，也可以采用第2实施方式的具有非螺纹部13c的联管螺母13。在该情况下，在对联管螺母13进行紧固时，假设即使因作业失误等而导致第1内螺纹部13a开始向第1外螺纹部11螺合的定时、和第2内螺纹部13b开始向第2外螺纹部12螺合的定时出现偏差，也能够完成联管螺母13的紧固，并且能够抑制外螺纹部、内螺纹部破损。

应当理解，此次公开的实施方式在所有方面都是示例，并未受到它们的限制。本发明的范围由后附的权利要求书来表示，谋求包含与权利要求书等同的范围、以及范围内的所有变更。

标号的说明

1    流路接头构造

11   第1外螺纹部

11a  螺纹开始位置

12   第2外螺纹部

12a  螺纹开始位置

13   联管螺母

13a  第1内螺纹部

13a1 螺纹开始位置

13b  第2内螺纹部

13b1 螺纹开始位置

13c  非螺纹部

14   垫片(密封部件)

51   第1配管块(流体设备)

52   第2配管块(流体设备)

61   第1标记部

62   第2标记部

63A  第3标记部

63B  第3标记部

64   流动方向标记部

65   紧固方向标记部

66A  抵接部

66B  抵接部

510  流路孔

520  流路孔

Claims (5)

1.一种流路接头构造，其将分别形成于2个流体设备的流路孔彼此连接，其中，

所述流路接头构造具有：

第1外螺纹部，其在所述2个流体设备中的一个流体设备的端部，形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；

第2外螺纹部，其在所述2个流体设备中的另一个流体设备的端部，形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；

联管螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及

密封部件，其在所述联管螺母的径向内侧，使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此将所述2个流体设备中的流路孔彼此的连接部分密封，

所述第1外螺纹部以及所述第1内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的任一者，

所述第2外螺纹部以及所述第2内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的另一者，

所述第1外螺纹部的螺纹开始位置和所述第2外螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，

所述第1内螺纹部的螺纹开始位置和所述第2内螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，

所述流路接头构造还具有：

第1标记部，其设置于所述一个流体设备，作为所述第1外螺纹部的螺纹开始位置而示出；

第2标记部，其设置于所述另一个流体设备，作为所述第2外螺纹部的螺纹开始位置而示出；以及

第3标记部，其设置于所述联管螺母，作为所述第1内螺纹部以及所述第2内螺纹部各自的螺纹开始位置而示出，

所述第1标记部和所述第2标记部表示的位置是实际的螺纹开始位置，

所述第3标记部表示的位置是相对于实际的螺纹开始位置在所述联管螺母的紧固方向上以规定角度偏离的位置，

所述流路接头构造还具有流动方向标记部，所述流动方向标记部设置于所述联管螺母，表示在该联管螺母内从所述轴向一侧向所述轴向另一侧流动的流体的流动方向，

作为所述第1内螺纹部的螺纹开始位置而示出的所述第3标记部是在所述流动方向上凹陷的凹陷形状，

作为所述第2内螺纹部的螺纹开始位置而示出的所述第3标记部是在所述流动方向上凸出的凸出形状，

所述流动方向标记部由所述凹陷形状的所述第3标记部以及所述凸出形状的所述第3标记部构成。

2.一种流路接头构造，其将分别形成于2个流体设备的流路孔彼此连接，其中，

所述流路接头构造具有：

第1外螺纹部，其在所述2个流体设备中的一个流体设备的端部，形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；

第2外螺纹部，其在所述2个流体设备中的另一个流体设备的端部，形成于该流体设备的流路孔的径向外侧；

联管螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及

密封部件，其在所述联管螺母的径向内侧，使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此将所述2个流体设备中的流路孔彼此的连接部分密封，

所述第1外螺纹部以及所述第1内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的任一者，

所述第2外螺纹部以及所述第2内螺纹部是右旋螺纹以及左旋螺纹中的另一者，

所述第1外螺纹部的螺纹开始位置和所述第2外螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，

所述第1内螺纹部的螺纹开始位置和所述第2内螺纹部的螺纹开始位置在周向上设定为相同的位置，

所述流路接头构造还具有：

第1标记部，其设置于所述一个流体设备，作为所述第1外螺纹部的螺纹开始位置而示出；

第2标记部，其设置于所述另一个流体设备，作为所述第2外螺纹部的螺纹开始位置而示出；以及

第3标记部，其设置于所述联管螺母，作为所述第1内螺纹部以及所述第2内螺纹部各自的螺纹开始位置而示出，

所述第3标记部表示的位置是实际的螺纹开始位置，

所述第1标记部和所述第2标记部表示的位置是相对于实际的螺纹开始位置在所述联管螺母的紧固方向的相反方向上以规定角度偏离的位置，

所述流路接头构造还具有流动方向标记部，所述流动方向标记部设置于所述联管螺母，表示在该联管螺母内从所述轴向一侧向所述轴向另一侧流动的流体的流动方向，

作为所述第1内螺纹部的螺纹开始位置而示出的所述第3标记部是在所述流动方向上凹陷的凹陷形状，

作为所述第2内螺纹部的螺纹开始位置而示出的所述第3标记部是在所述流动方向上凸出的凸出形状，

所述流动方向标记部由所述凹陷形状的所述第3标记部以及所述凸出形状的所述第3标记部构成。

3.根据权利要求1或2所述的流路接头构造，其中，

所述联管螺母还具有形成于所述第1内螺纹部与所述第2内螺纹部之间的非螺纹部。

4.根据权利要求1或2所述的流路接头构造，其中，

所述2个流体设备中的至少一者具有在所述联管螺母的进一步紧固到达极限时供该联管螺母抵接的抵接部。

5.根据权利要求1或2所述的流路接头构造，其中，

所述流路接头构造还具有紧固方向标记部，所述紧固方向标记部设置于所述联管螺母，表示该联管螺母的紧固方向。

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