TWI807082B - 流路接頭構造 - Google Patents

Abstract

本發明之流路接頭構造1，係用於將分別形成於第一及第二配管區塊51、52的流路孔510、520彼此連接，包含：第一外螺紋部11，在第一配管區塊51的端部，形成於流路孔510的徑向外方；第二外螺紋部12，在第二配管區塊52的端部，形成於流路孔520的徑向外方；接合螺帽13，在軸向其中一側具有螺合於第一外螺紋部11的第一內螺紋部13a，並且在軸向另一側具有螺合於第二外螺紋部12的第二內螺紋部13b；及墊圈14，在接合螺帽13的徑向內方，將流路孔510、520彼此連接的部分加以密封。第一外螺紋部11及第一內螺紋部13a為右旋螺紋，第二外螺紋部12及第二內螺紋部13b為左旋螺紋。

Description

流路接頭構造

本發明係關於一種流路接頭構造。

在半導體、液晶、有機電致發光等各種技術領域的製程所使用之化學品等流體的配管路徑中，作為以最短的方式將形成於泵浦、閥、蓄積器、過濾器、流量計、壓力感測器及配管區塊等兩個流體元件之流路孔彼此連接的流路接頭構造，吾人知悉有圖13所示者。此流路接頭構造，係分別在形成為必要最低限度之長度的管部101之兩端，使用套筒102及接合螺帽103，而連接流體元件110(參照專利文獻1)。

[習知技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1] 日本特開2014-219060號公報

在半導體、液晶、有機電致發光等製程中，將化學品進行送液及循環時所使用的流路接頭構造，其設置空間較好能節省空間。然而，圖13所示之流路接頭構造，由於需要用於設置管部101及兩個接合螺帽103的設置空間，故會有無法以節省空間的方式設置流路接頭構造這樣的問題。

本發明係鑑於如此情事而完成者，其目的在於能以節省空間的方式設置流路接頭構造。

(1)本發明之流路接頭構造，係用於將分別形成於兩個流體元件之流路孔彼此連接，包含：第一外螺紋部，在該兩個流體元件之其中一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；第二外螺紋部，在該兩個流體元件之其中另一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；接合螺帽，在軸向其中一側具有螺合於該第一外螺紋部的第一內螺紋部，並在軸向另一側具有螺合於該第二外螺紋部的第二內螺紋部；及密封構件，在該接合螺帽之徑向內方，藉由將該第一內螺紋部螺合於該第一外螺紋部並將該第二內螺紋部螺合於該第二外螺紋部，而將該兩個流體元件中之流路孔彼此連接的部分加以密封；該第一外螺紋部及該第一內螺紋部為右旋螺紋及左旋螺紋中之任一者，該第二外螺紋部及該第二內螺紋部為右旋螺紋及左旋螺紋中之另一者。

根據本發明，由於接合螺帽之軸向其中一側的第一內螺紋部為右旋螺紋及左旋螺紋中的任一者，而接合螺帽之軸向另一側的第二內螺紋部為右旋螺紋及左旋螺紋中的另一者，故在鎖緊接合螺帽的狀態下，第一內螺紋部會螺合於其中一個流體元件的第一外螺紋部，而第二內螺紋部會螺合於另一個流體元件的 第二外螺紋部。藉此，可僅以一個接合螺帽便將兩個流體元件的流路孔彼此連接，並且在接合螺帽的徑向內方，可藉由墊圈將流路孔彼此連接的部分加以密封。因此，本發明之流路接頭構造，由於不需要如以往構造般設置管部及兩個接合螺帽，故能以節省空間的方式設置流路接頭構造。

(2)該第一外螺紋部的螺紋開始位置與該第二外螺紋部的螺紋開始位置，較佳係在周向上設定於相同位置，而該第一內螺紋部的螺紋開始位置與該第二內螺紋部的螺紋開始位置，較佳係在周向上設定於相同位置。

此情況下，可在鎖緊接合螺帽時，使第一內螺紋部開始螺合於第一外螺紋部的時間點，與第二內螺紋部開始螺合於第二外螺紋部的時間點一致。藉此，可較容易進行第一內螺紋部對於第一外螺紋部的鎖緊控管，及第二內螺紋部對於第二外螺紋部的鎖緊控管。

(3)該流路接頭構造較佳更包含：第一標記部，設於該其中一個流體元件，並表示為該第一外螺紋部的螺紋開始位置；第二標記部，設於該另一個流體元件，並表示為該第二外螺紋部的螺紋開始位置；第三標記部，設於該接合螺帽，並表示為該第一內螺紋部及該第二內螺紋部中之至少一者的螺紋開始位置。

此情況下，藉由將兩個流體元件的第一標記部及第二標記部與接合螺帽的第三標記部進行位置對準，可較容易進行第一外螺紋部之螺紋開始位置與第一內螺紋部之螺紋開始位置的位置對準、及第二外螺紋部之螺紋開始位置與第二內螺紋部之螺紋開始位置的位置對準。

(4)該第一標記部及該第二標記部所示之位置、及該第三標記部所示之位置中的其中一者，較佳係實際的螺紋開始位置，該第一標記部及該第二標記部所 示之位置、及該第三標記部所示之位置中的另一者，較佳係相對於實際的螺紋開始位置，而在周向上錯開的位置。

此情況下，當已將兩個流體元件的第一標記部及第二標記部與接合螺帽的第三標記部進行位置對準時，第一外螺紋部之實際的螺紋開始位置與第一內螺紋部之實際的螺紋開始位置會在周向上錯開，並且第二外螺紋部之實際的螺紋開始位置與第二內螺紋部之實際的螺紋開始位置會在周向上錯開。藉此，在從已進行該位置對準之狀態鎖緊接合螺帽時，可使第一內螺紋部順暢地螺合於第一外螺紋部，並且可使第二內螺紋部順暢地螺合於第二外螺紋部。

(5)該接合螺帽較佳係更包含：非螺紋部，形成於該第一內螺紋部與該第二內螺紋部之間。

在接合螺帽之第一外螺紋部及第二外螺紋部係於軸向上連續形成的情況下，當鎖緊接合螺帽時，例如，當與第一內螺紋部開始螺合於第一外螺紋部的時間點相比，第二內螺紋部開始螺合於第二外螺紋部的時間點較慢時，會產生如以下的問題。亦即，第一內螺紋部對於第一外螺紋部的鎖緊完成之後，接合螺帽亦會繼續鎖緊，直到完成第二內螺紋部對於第二外螺紋部的鎖緊為止。藉此，第一外螺紋部會移動至第二內螺紋部的螺合位置，但由於第一外螺紋部與第二內螺紋部具有右旋螺紋與左旋螺紋的關係，故無法互相螺合。因此，若強行鎖緊接合螺帽，則會有第一外螺紋部及第二內螺紋部損壞的疑慮。

相對於此，在該(5)之流路接頭構造的情況下，例如，即使如上述般第一外螺紋部向第二內螺紋部移動，但由於第一外螺紋部係移動至與非螺紋部對應的位置，故可抑制第一外螺紋部移動至第二內螺紋部之螺合位置的情形。因此，在鎖緊接合螺帽時，即使第一內螺紋部開始螺合於第一外螺紋部的時間點，與 第二內螺紋部開始螺合於第二外螺紋部的時間點錯開，亦可抑制第一外螺紋部移動至第二內螺紋部之螺合位置，或是第二外螺紋部移動至第一內螺紋部之螺合位置的情形。其結果，可有效地抑制流體元件側之外螺紋部及接合螺帽側之內螺紋部損壞的情形。

(6)該兩個流體元件中之至少其中一者較佳係包含：抵接部，當該接合螺帽的扭緊(retightening)達到界限時，抵接該接合螺帽。

此情況下，當接合螺帽的扭緊達到界限時，由於接合螺帽會抵接於流體元件的抵接部，故作業者可透過因該抵接而造成的扭矩變動，而輕易地掌握接合螺帽的扭緊已達到界限之情形。

(7)該流路接頭構造較佳係更包含：流動方向標記部，設於該接合螺帽，並表示流動於該接合螺帽內之流體的流動方向。

此情況下，作業者可藉由流動方向標記部，而輕易地掌握配置於兩個流體元件間之接合螺帽的方向。

(8)該流路接頭構造較佳係更包含：鎖緊方向標記部，設於該接合螺帽，並表示該接合螺帽的鎖緊方向。

此情況下，作業者加藉由鎖緊方向標記部，而輕易地掌握接合螺帽的鎖緊方向。

根據本發明，能夠以節省空間的方式設置流路接頭構造。

1:流路接頭構造

11:第一外螺紋部

11a:螺紋開始位置

12:第二外螺紋部

12a:螺紋開始位置

13、103:接合螺帽

13a:第一內螺紋部

13a1:螺紋開始位置

13b:第二內螺紋部

13b1:螺紋開始位置

13c:非螺紋部

13d:另一側面

13e:一側面

13f:凸部

14:墊圈(密封構件)

14a:第一壓入部

14b:第二壓入部

15:第一密封溝槽

16:第二密封溝槽

51:第一配管區塊(流體元件)

52:第二配管區塊(流體元件)

61:第一標記部

62:第二標記部

63A、63B:第三標記部

64:流動方向標記部

65:鎖緊方向標記部

66A、66B:抵接部

101:管部

510、520:流路孔

511、521:區塊本體

511a、521a:一端面

511b、521b:另一端面

512:第一突出部

513、523:環狀溝部

522:第二突出部

α:角度

A、B:箭頭

圖1係顯示依本發明之第一實施態樣之流路接頭構造的立體圖。

圖2係流路接頭構造的剖面圖。

圖3係顯示將流路接頭構造分解後之狀態的剖面圖。

圖4係顯示將流路接頭構造分解後之狀態的立體圖。

圖5係圖4之流路接頭構造的俯視圖。

圖6係顯示在第一配管區塊安裝有墊圈之狀態的剖面圖。

圖7係顯示接合螺帽在鎖緊途中之狀態的剖面圖。

圖8係顯示接合螺帽之鎖緊完成後之狀態的剖面圖。

圖9係顯示接合螺帽的扭緊達到界限之狀態的剖面圖。

圖10係顯示將依本發明之第二實施態樣之流路接頭構造分解後之狀態的立體圖。

圖11係顯示開始進行第二實施態樣之接合螺帽的鎖緊之狀態的剖面圖。

圖12係顯示第二實施態樣之接合螺帽的鎖緊完成後之狀態的剖面圖。

圖13係顯示以往之流路接頭構造的剖面圖。

[流路接頭構造]

接著，參照附加圖式說明本發明之較佳實施態樣。又，亦可將以下所記載之複數實施態樣的至少一部分任意組合。

圖1係顯示依本發明之第一實施態樣之流路接頭構造的立體圖。在圖1中，本實施態樣的流路接頭構造1，例如係作為以下連接構造而使用：在半導體製造 裝置使用之化學品所流動的配管路徑中，將形成於第一配管區塊(流體元件)51之流路孔510(參照圖4)、與形成於第二配管區塊(流體元件)52之流路孔520加以連接。

又，本實施態樣之流路接頭構造1係作為將配管區塊51、52之流路孔510、520彼此連接的連接構造而使用，但亦可適用於將泵浦、閥、蓄積器、過濾器等其他流體元件之流路孔彼此連接的連接構造。

圖2係本實施態樣之流路接頭構造1的剖面圖。圖3係顯示將流路接頭構造1分解後之狀態的剖面圖。在圖2及圖3中，第一配管區塊51例如包含：區塊本體511，由矩形體所構成；及一對第一突出部512，突出而形成於區塊本體511之一端面511a及其相反側之另一端面511b。在各第一突出部512之區塊本體511側的基端部形成有環狀溝部513。

其中一邊(在圖2中為右側)的第一突出部512，在除了該環狀溝部513之外的外周，形成有由外螺紋所構成之第一外螺紋部11。另一邊(在圖2中為左側)的第一突出部512，在除了該環狀溝部513之外的外周，形成有由外螺紋所構成之第二外螺紋部12。第一配管區塊51的流路孔510，係貫通區塊本體511及一對第一突出部512而形成。因此，第一外螺紋部11及第二外螺紋部12，係形成於流路孔510之兩端部的徑向外方。

在該其中一邊的第一突出部512之前端面，形成有環狀的第一密封溝槽15，在該另一邊的第一突出部512之前端面，形成有環狀的第二密封溝槽16。

第二配管區塊52例如包含：區塊本體521，由矩形體所構成；及一對第二突出部522，突出而形成於區塊本體521之一端面521a及其相反側之另一端面521b。在各第二突出部522之區塊本體521側的基端部形成有環狀溝部523。

其中一邊(在圖2為右側)的第二突出部522，在除了該環狀溝部523之外的外周形成有第一外螺紋部11。另一邊(在圖2中為左側)的第二突出部522，在除了該環狀溝部523之外的外周形成有第二外螺紋部12。第二配管區塊52的流路孔520係貫通區塊本體521及一對第二突出部522而形成。因此，第一外螺紋部11及第二外螺紋部12係形成於流路孔520之兩端部的徑向外方。本實施態樣的流路孔520係形成為與流路孔510相同直徑。

在該其中一邊的第二突出部522之前端面形成有環狀的第一密封溝槽15，在該另一邊的第二突出部522之前端面形成有環狀的第二密封溝槽16。

流路接頭構造1其主要的構成元件包含：第一配管區塊51的該第一外螺紋部11、第二配管區塊52的該第二外螺紋部12、接合螺帽13及墊圈(密封構件)14。

在本實施態樣中，第一外螺紋部11為右旋螺紋，第二外螺紋部12為左旋螺紋。又，亦可與本實施態樣相反，將第一外螺紋部11設為左旋螺紋，將第二外螺紋部12設為右旋螺紋。

接合螺帽13包含：第一內螺紋部13a，由內螺紋所構成，並形成於軸向其中一側的內周；及第二內螺紋部13b，由內螺紋所構成，並形成於軸向另一側的內周。在本實施態樣中，第一內螺紋部13a及第二內螺紋部13b係在軸向上連續形成。

第一內螺紋部13a係螺合於第一配管區塊51的第一外螺紋部11。第二內螺紋部13b係螺合於第二配管區塊52的第二外螺紋部12。

因此，在本實施態樣中，第一內螺紋部13a為右旋螺紋，而第二內螺紋部13b為左旋螺紋。又，在第一外螺紋部11為左旋螺紋，而第二外螺紋部12為右旋螺紋的情況下，第一內螺紋部13a為左旋螺紋，而第二內螺紋部13b為右旋螺紋。

墊圈14係在接合螺帽13的徑向內方，藉由將第一內螺紋部13a螺合於第一外螺紋部11，並將第二內螺紋部13b螺合於第二外螺紋部12，而將流路孔510、520彼此連接的部分加以密封。本實施態樣的墊圈14包含：環狀的第一壓入部14a，形成於軸向其中一側；及環狀的第二壓入部14b，形成於軸向另一側。第一壓入部14a係被壓入至第一突出部512的第一密封溝槽15，第二壓入部14b係被壓入至第二突出部522的第二密封溝槽16。

又，在本實施態樣中，係使用墊圈14作為將流路孔510、520彼此連接的部分加以密封的密封構件，但亦可使用墊圈14以外的其他密封構件。

[螺紋開始位置及標記部]

圖4係顯示將流路接頭構造1分解後之狀態的立體圖。又，在圖4中，係將墊圈14的圖示省略(圖5亦同樣省略)。在圖4中，第一外螺紋部11的螺紋開始位置11a與第二外螺紋部12的螺紋開始位置12a，係在周向上設定於相同位置(在圖例中為12點鐘方向的位置)。第一內螺紋部13a的螺紋開始位置13a1與第二內螺紋部13b的螺紋開始位置13b1，係在周向上設定於相同位置(在圖4的例子中，從第二內螺紋部13b側觀察接合螺帽13時，為略10點鐘方向的位置)。

藉此，可在鎖緊接合螺帽13時，使第一內螺紋部13a開始螺合於第一外螺紋部11的時間點，與第二內螺紋部13b開始螺合於第二外螺紋部12的時間點一致。其結果，可較容易進行第一內螺紋部13a對於第一外螺紋部11的鎖緊控管，及第二內螺紋部13b對於第二外螺紋部12的鎖緊控管。

圖5係圖4之流路接頭構造1的俯視圖。在圖4及圖5中，於區塊本體511之一端面511a的上側設有第一標記部61，其往側方(圖5的右側方)突出，並表示為第一外螺紋部11的螺紋開始位置11a。第一標記部61例如突出而形成為前端較細的形狀。第一標記部61相對於該一端面511a的突出量，係形成為短於環狀溝部513之軸向的長度。

在本實施態樣中，在第一外螺紋部11之周向上的第一標記部61之最前端位置，係與第一外螺紋部11之螺紋開始位置11a相同的位置(在圖例中為12點鐘方向的位置)。亦即，第一標記部61的最前端位置，係表示第一外螺紋部11之實際的螺紋開始位置11a。

在區塊本體521之另一端面521b的上側設有第二標記部62，其往側方(圖5的左側方)突出，並表示為第二外螺紋部12的螺紋開始位置12a。在第二標記部62之突出端面的中央部，例如凹陷成V字形。第二標記部62相對於該另一端面521b的突出量，係形成為短於環狀溝部523之軸向的長度。

在本實施態樣中，在第二外螺紋部12之周向上的第二標記部62之最凹部位置，係與第二外螺紋部12之螺紋開始位置12a相同的位置(在圖例中為12點鐘方向 的位置)。亦即，第二標記部62的最凹部位置，係表示第二外螺紋部12之實際的螺紋開始位置12a。

在接合螺帽13外周的第一內螺紋部13a側設有第三標記部63A，其表示為第一內螺紋部13a的螺紋開始位置13a1。第三標記部63A例如係在後述凸部13f之長邊方向的一端部中，以凹陷的方式形成為V字形。

在接合螺帽13外周的第二內螺紋部13b側設有第三標記部63B，其表示為第二內螺紋部13b的螺紋開始位置13b1。第三標記部63B例如係在該凸部13f之長邊方向的另一端部中，突出而形成前端較細的形狀。

第三標記部63B的最前端位置，係相對於第二內螺紋部13b之實際的螺紋開始位置13b1而在周向上稍微錯開的位置。在本實施態樣中，接合螺帽13中之第三標記部63B的最前端位置，係往接合螺帽13之鎖緊方向(圖4之箭頭A方向)偏移既定角度α之量的位置(在圖4所示之狀態下為12點鐘方向的位置)。亦即，第三標記部63B的最前端位置，係表示比第二內螺紋部13b之實際的螺紋開始位置13b1往該鎖緊方向偏移既定角度α之量的位置。

同樣地，第三標記部63A的最凹部位置，係相對於第一內螺紋部13a之實際的螺紋開始位置13a1而在周向上稍微錯開的位置。在本實施態樣中，接合螺帽13中之第三標記部63A的最凹部位置，係往接合螺帽13的鎖緊方向偏移該既定角度α之量的位置。亦即，第三標記部63A的最凹部位置，係表示比第一內螺紋部13a之實際的螺紋開始位置13a1往該鎖緊方向偏移既定角度α之量的位置。

又，在圖1~圖3中，係將第一標記部61、第二標記部62及第三標記部63A、63B的圖示省略(圖6~圖9亦同樣省略)。

根據以上構成，藉由將第一標記部61的最前端位置與第三標記部63A的最凹部位置進行位置對準，可較容易進行第一外螺紋部11之螺紋開始位置11a與第一內螺紋部13a之螺紋開始位置13a1的位置對準。又，藉由將第二標記部62的最凹部位置與第三標記部63B的最前端位置進行位置對準，可較容易進行第二外螺紋部12之螺紋開始位置12a與第二內螺紋部13b之螺紋開始位置13b1的位置對準。

又，第一標記部61及第二標記部62係表示實際的螺紋開始位置11a、12a，而第三標記部63A及第三標記部63B，係表示比實際的螺紋開始位置13a1、13b1往接合螺帽13之鎖緊方向偏移既定角度α之量的位置。藉此，在鎖緊接合螺帽13時，當將第一標記部61與第三標記部63A進行位置對準，並同時將第二標記部62與第三標記部63B進行位置對準時，第一外螺紋部11之實際的螺紋開始位置11a與第一內螺紋部13a之實際的螺紋開始位置13a1，會在周向上錯開既定角度α的量，並且第二外螺紋部12之實際的螺紋開始位置12a與第二內螺紋部13b之實際的螺紋開始位置13b1，會在周向上錯開既定角度α的量。

因此，從此狀態下，藉由使接合螺帽13往鎖緊方向旋轉，實際的螺紋開始位置13a1會與實際的螺紋開始位置11a一致而使第一內螺紋部13a螺合於第一外螺紋部11，並且實際的螺紋開始位置13b1會與實際的螺紋開始位置12a一致而使第二內螺紋部13b螺合於第二外螺紋部12。因此，和在開始進行接合螺帽13的鎖緊時，實際的螺紋開始位置13a1與實際的螺紋開始位置11a為一致，並且實際的螺紋開始位置13b1與實際的螺紋開始位置12a為一致的情況相比，可使第一內螺紋部13a順暢地螺合於第一外螺紋部11，並且可使第二內螺紋部13b順暢地螺合於第二外螺紋部12。

又，在本實施態樣中，第一標記部61及第二標記部62係表示實際的螺紋開始位置11a、12a，第三標記部63A、63B係表示相對於實際的螺紋開始位置13a1、13b1而在周向上錯開的位置，但第一標記部61及第二標記部62亦可表示相對於實際的螺紋開始位置11a、12a而在周向上錯開的位置，第三標記部63A、63B亦可表示實際的螺紋開始位置13a1、13b1。此情況下，第一標記部61及第二標記部62只要係表示相對於實際的螺紋開始位置11a、12a，而在與接合螺帽13之鎖緊方向的相反方向上錯開的位置即可。

又，本實施態樣的第三標記部63A、63B係與凸部13f一體地形成，但亦可與凸部13f各別地設置。

又，在本實施態樣之接合螺帽13中，設有表示為第一內螺紋部13a之螺紋開始位置13a1的第三標記部63A、及表示為第二內螺紋部13b之螺紋開始位置13b1的第三標記部63B，但亦可僅設置第三標記部63A，或亦可僅設置第三標記部63B。

在圖4及圖5中，本實施態樣係如箭頭B所示，流體(化學品等)會從第一配管區塊51的流路孔510，經由接合螺帽13而向第二配管區塊52的流路孔520流動。接合螺帽13中之第三標記部63A的凹部形狀、及第三標記部63B的突出形狀，係表示流動於接合螺帽13內之流體的流動方向。

因此，在本實施態樣中，表示為第一內螺紋部13a及第二內螺紋部13b之螺紋開始位置13a1、13b1的第三標記部63A及第三標記部63B，亦作為表示流動於 接合螺帽13內之流體的流動方向的流動方向標記部64而發揮功能。藉此，作業者可藉由識別接合螺帽13之流動方向標記部64，而輕易地掌握配置於第一配管區塊51與第二配管區塊52之間的接合螺帽13之軸向的方向。其結果，可使由右旋螺所構成之第一外螺紋部11與第一內螺紋部13a彼此確實地螺合，並且可使由左旋螺紋所構成第二外螺紋部12與第二內螺紋部13b彼此確實地螺合。

在接合螺帽13的外周面，為了掛設將接合螺帽13鎖緊的工具，例如藉由滾紋加工，在周向上隔著既定間隔而形成複數於軸向上延伸之凸部13f。在本實施態樣中，例如，如圖式所示，每一組既定數量之凸部13f，係藉由使該等凸部13f之軸向的長度逐漸縮短，而在周向上形成複數個整體呈箭頭形之形狀。該等箭頭的形狀係表示接合螺帽13的鎖緊方向。

因此，在本實施態樣中，每一組既定數量之凸部13f所形成之複數箭頭的形狀，係作為表示接合螺帽13之鎖緊方向的鎖緊方向標記部65而發揮功能。藉此，作業者可藉由識別接合螺帽13之鎖緊方向標記部65，而輕易地掌握接合螺帽13的鎖緊方向。

又，本實施態樣之流動方向標記部64，係由第三標記部63A及第三標記部63B所構成，但第三標記部63A及第三標記部63B亦可各別地設置。又，本實施態樣的流動方向標記部64，係藉由其形狀而表示流體的流動方向，但亦可在接合螺帽13註記表示該流動方向的箭頭等。

又，本實施態樣的鎖緊方向標記部65，係由形成於接合螺帽13之外周的凸部13f所構成，但亦可與凸部13f各別地設置。又，本實施態樣的鎖緊方向標記部 65，係藉由凸部13f的形狀而表示接合螺帽13的鎖緊方向，但亦可在接合螺帽13註記表示該鎖緊方向的箭頭等。

圖5中，在第一配管區塊51中之區塊本體511的一端面511a設有抵接部66A，其往側方(圖5的右側方)突出，並會與接合螺帽13之另一側面13d抵接。抵接部66A係比第一標記部61更往軸向突出，並且形成為短於環狀溝部513之軸向的長度。又，抵接部66A之軸向的突出量，係以「當接合螺帽13的扭緊達到界限時，接合螺帽13之另一側面13d會抵接於抵接部66A之前端面」的方式進行設定。

在第二配管區塊52中之區塊本體521的另一端面521b設有抵接部66B，其往側方(圖5的左側方)突出，並會與接合螺帽13之一側面13e抵接。抵接部66B係比第二標記部62更往軸向突出，並且形成為短於環狀溝部523之軸向的長度。又，抵接部66B之軸向的突出量，係以「當接合螺帽13的扭緊達到界限時，接合螺帽13之一側面13e會抵接於抵接部66B之前端面」的方式進行設定。

在本實施態樣的第一配管區塊51及第二配管區塊52中，設有會與接合螺帽13抵接的抵接部66A、66B，但亦可僅在第一配管區塊51設置抵接部66A，或是亦可僅在第二配管區塊52設置抵接部66B。

又，在圖1~圖3中，係將抵接部66A及抵接部66B的圖示省略。

[藉由流路接頭構造而進行之連接步驟]

接著，說明藉由本實施態樣之流路接頭構造1，而將第一配管區塊51及第二配管區塊52之流路孔510、520彼此連接的步驟。首先，如圖6所示，作業者將墊 圈14的第一壓入部14a壓入第一配管區塊51的第一密封溝槽15，以將墊圈14一體地安裝於第一配管區塊51。

又，墊圈14亦可一體地安裝於第二配管區塊52。此情況下，作業者只要將墊圈14的第二壓入部14b壓入第二配管區塊52的第二密封溝槽16即可。

接著，作業者將接合螺帽13配置於第一配管區塊51與第二配管區塊52之間。此時，作業者可藉由識別接合螺帽13的流動方向標記部64(參照圖5)，而輕易地掌握接合螺帽13之軸向的方向。

接著，作業者在圖6所示之狀態下，使接合螺帽13往鎖緊方向或是往鎖緊方向之相反方向旋轉，而如圖5所示，將第一標記部61與第三標記部63A進行位置對準，並將第二標記部62與第三標記部63B進行位置對準。藉此，在進行第一外螺紋部11之螺紋開始位置11a與第一內螺紋部13a之螺紋開始位置13a1的位置對準的同時，亦進行第二外螺紋部12之螺紋開始位置12a與第二內螺紋部13b之螺紋開始位置13b1的位置對準。

又，在本實施態樣中，第三標記部63A及第三標記部63B，係表示比實際之螺紋開始位置13a1、13b1往接合螺帽13的鎖緊方向偏移既定角度α之量的位置(參照圖4)。因此，在將第一標記部61與第三標記部63A進行位置對準，並將第二標記部62與第三標記部63B進行位置對準時，第一外螺紋部11之實際的螺紋開始位置11a與第一內螺紋部13a之實際的螺紋開始位置13a1，會在周向上錯開既定角度α之量的狀態下進行位置對準，同時第二外螺紋部12之實際的螺紋開始位置12a與第二內螺紋部13b之實際的螺紋開始位置13b1，會在周向上錯開既定角度α之量的狀態下進行位置對準。

接著，作業者從圖6所示之狀態，使第一配管區塊51之第一突出部512的前端及第二配管區塊52之第二突出部522的前端分別抵接於接合螺帽13的軸向兩端後，使用工具(圖示省略)等而開始進行接合螺帽13的鎖緊。此時，作業者可藉由識別接合螺帽13之鎖緊方向標記部65(參照圖4)，而輕易地掌握接合螺帽13的鎖緊方向。

作業者開始進行接合螺帽13的鎖緊後，若將接合螺帽13旋轉既定角度α的量，則實際的螺紋開始位置13a1會與實際的螺紋開始位置11a一致，並且實際的螺紋開始位置13b1會與實際的螺紋開始位置12a一致。若從此狀態進一步將接合螺帽13往鎖緊方向旋轉，則右旋螺紋側的第一內螺紋部13a會開始螺合於第一外螺紋部11，與此同時，左旋螺紋側的第二內螺紋部13b會開始螺合於第二外螺紋部12。藉此，可使第一內螺紋部13a開始螺合於第一外螺紋部11的時間點，與第二內螺紋部13b開始螺合於第二外螺紋部12的時間點一致。

若作業者進一步將接合螺帽13鎖緊，則如圖7所示，藉由使第一外螺紋部11相對於第一內螺紋部13a的螺合更推進，第一配管區塊51的第一突出部512會從接合螺帽13之軸向其中一側(圖7的右側)向軸向中央移動。同樣地，藉由使第二外螺紋部12相對於第二內螺紋部13b的螺合更推進，第二配管區塊52的第二突出部522會從接合螺帽13之軸向另一側(圖7的左側)向軸向中央移動。

如此，第一突出部512及第二突出部522會從接合螺帽13的軸向兩側向軸向中央移動，如圖8所示，整個第一外螺紋部11及整個第二外螺紋部12會成為進入接合螺帽13內的狀態。藉此，墊圈14的第二壓入部14b會被壓入第二配管區塊52 的第二密封溝槽16，而使流路孔510、520彼此連接，並且該連接部分會被墊圈14加以密封。

在本實施態樣中，係將圖8所示之狀態，亦即整個第一外螺紋部11及整個第二外螺紋部12進入接合螺帽13內的狀態，作為已完成接合螺帽13之鎖緊的狀態。因此，作業者可藉由無法從接合螺帽13之外側看見第一外螺紋部11及第二外螺紋部12，而輕易地掌握已完成接合螺帽13之鎖緊。又，作為作業者掌握鎖緊完成之方法，並不限定於如上述般無法從接合螺帽13之外側看見第一外螺紋部11及第二外螺紋部12者。

以上，根據本實施態樣的流路接頭構造1，由於在接合螺帽13中，藉由第一內螺紋部13a及第二內螺紋部13b而形成右旋螺紋及左旋螺紋，故藉由鎖緊接合螺帽13，第一內螺紋部13a會螺合於第一配管區塊51的第一外螺紋部11，而第二內螺紋部13b會螺合於第二配管區塊52的第二外螺紋部12。藉此，可僅以一個接合螺帽13便將第一配管區塊51及第二配管區塊52的流路孔510、520彼此連接，並且在接合螺帽13的徑向內方，可藉由墊圈14將流路孔510、520彼此連接的部分加以密封。因此，由於本實施態樣的流路接頭構造1並不需要如圖13所示之以往構造般，設置管部101及兩個接合螺帽103，故能以節省空間的方式設置流路接頭構造1。

又，在本實施態樣的流路接頭構造1中，第一外螺紋部11的螺紋開始位置11a與第二外螺紋部12的螺紋開始位置12a係在周向上設定於相同位置，並且第一內螺紋部13a的螺紋開始位置13a1與第二內螺紋部13b的螺紋開始位置13b1係在周向上設定於相同位置。

因此，在鎖緊接合螺帽13時，可使第一內螺紋部13a開始螺合於第一外螺紋部11的時間點，與第二內螺紋部13b開始螺合於第二外螺紋部12的時間點一致。藉此，可較容易進行第一內螺紋部13a對於第一外螺紋部11的鎖緊控管，及第二內螺紋部13b對於第二外螺紋部12的鎖緊控管。

又，由於不需如後述第二實施態樣(參照圖10)般，在接合螺帽13的第一內螺紋部13a與第二內螺紋部13b之間形成非螺紋部13c，故可使接合螺帽13在軸向上較為精簡。藉此，能以更節省空間的方式設置流路接頭構造1。

在圖8所示之狀態中，於第一外螺紋部11的前端面與第二外螺紋部12的前端面之間形成有間隙S。此間隙S係用於可從圖8所示之狀態進行接合螺帽13之扭緊的間隙(空間)。因此，作業者可藉由從已完成接合螺帽13之鎖緊的狀態(圖8所示之狀態)，進一步使接合螺帽13往鎖緊方向旋轉，而進行接合螺帽13的扭緊。

在進行接合螺帽13之扭緊的情況下，如圖9所示，當接合螺帽13的扭緊達到界限時，接合螺帽13之另一側面13d會抵接於第一配管區塊51的抵接部66A，同時接合螺帽13的一側面13e會抵接於第二配管區塊52的抵接部66B。因此，作業者可藉由因接合螺帽13抵接於兩抵接部66A、66B而產生之扭矩變動，而輕易地掌握接合螺帽13的扭緊已達到界限之情形。

圖10係顯示將依本發明之第二實施態樣之流路接頭構造分解後之狀態的剖面圖。本實施態樣之流路接頭構造1中的接合螺帽13，具有形成在第一內螺紋部13a與第二內螺紋部13b之間的非螺紋部13c。非螺紋部13c係在接合螺帽13的內周中未形成內螺紋的部分。

又，本實施態樣的流路接頭構造1雖然將圖示省略，但第一內螺紋部13a的螺紋開始位置與第二內螺紋部13b的螺紋開始位置係在周向上設定於相同位置，第一外螺紋部11的螺紋開始位置與第二外螺紋部12的螺紋開始位置係在周向設定於不同的位置。因此，如圖11所示，在本實施態樣中例如會具有以下情況：相較於第一內螺紋部13a開始螺合於第一外螺紋部11的時間點，第二內螺紋部13b開始螺合於第二外螺紋部12時間點較慢。

此情況下，作業者在完成第一內螺紋部13a對於第一外螺紋部11的鎖緊後，更繼續鎖緊接合螺帽13，直到完成第二內螺紋部13b對於第二外螺紋部12的鎖緊。如此一來，右旋螺紋的第一外螺紋部11會向無法與自身螺合之左旋螺紋的第二內螺紋部13b移動。

然而，如上所述，在本實施態樣的接合螺帽13中，係在第一內螺紋部13a與第二內螺紋部13b之間形成有非螺紋部13c。因此，如圖12所示，即使在完成第二內螺紋部13b對於第二外螺紋部12的鎖緊前，第一外螺紋部11向第二內螺紋部13b移動，第一外螺紋部11亦係移動至對應於非螺紋部13c的位置。藉此，可抑制第一外螺紋部11移動至第二內螺紋部13b之螺合位置的情形。因此，可有效抑制起因於第一外螺紋部11往第二內螺紋部13b的螺合位置移動，而導致第一外螺紋部11及第二內螺紋部13b損壞之情形。

[其他]

上述實施態樣的流路接頭構造係說明使用於半導體製造裝置的情況，但亦可在液晶及有機電致發光領域、醫療及醫藥領域、或是汽車相關領域等中使用。

又，亦可採用第二實施態樣之具有非螺紋部13c的接合螺帽13作為第一實施態樣的接合螺帽13。此情況下，在鎖緊接合螺帽13時，假設因作業失誤等，而導致第一內螺紋部13a開始螺合於第一外螺紋部11的時間點，與第二內螺紋部13b開始螺合於第二外螺紋部12的時間點錯開，亦可使接合螺帽13的鎖緊完成，並且可抑制外螺紋部及內螺紋部損壞之情形。

吾人應瞭解到，本次揭露之實施態樣其所有記載僅為例示，並非限制本發明。本發明之專利範圍並非上述記載之含意，而係意指包含申請專利範圍所示，與申請專利範圍均等之含意、及範圍內的全部變更。

1:流路接頭構造

11:第一外螺紋部

12:第二外螺紋部

13:接合螺帽

13a:第一內螺紋部

13b:第二內螺紋部

14:墊圈(密封構件)

14a:第一壓入部

14b:第二壓入部

15:第一密封溝槽

16:第二密封溝槽

51:第一配管區塊(流體元件)

52:第二配管區塊(流體元件)

510、520:流路孔

511、521:區塊本體

511a、521a:一端面

511b、521b:另一端面

512:第一突出部

513、523:環狀溝部

522:第二突出部

Claims (6)

1. 一種流路接頭構造，用於將分別形成於兩個流體元件的流路孔彼此連接，包含：第一外螺紋部，在該兩個流體元件之其中一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；第二外螺紋部，在該兩個流體元件之其中另一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；接合螺帽，在其軸向其中一側具有螺合於該第一外螺紋部的第一內螺紋部，而在其軸向另一側具有螺合於該第二外螺紋部的第二內螺紋部；及密封構件，在該接合螺帽之徑向內方，藉由將該第一內螺紋部螺合於該第一外螺紋部並將該第二內螺紋部螺合於該第二外螺紋部，而將該兩個流體元件中之流路孔彼此連接的部分加以密封；該第一外螺紋部及該第一內螺紋部，為右旋螺紋及左旋螺紋中之任一者，該第二外螺紋部及該第二內螺紋部，為右旋螺紋及左旋螺紋中之另一者；該第一外螺紋部的螺紋開始位置與該第二外螺紋部的螺紋開始位置，係在周向上設定於相同位置；該第一內螺紋部的螺紋開始位置與該第二內螺紋部的螺紋開始位置，係在周向上設定於相同位置；該流路接頭構造，更包含：第一標記部，設於該其中一個流體元件，並表示為該第一外螺紋部的螺紋開始位置；第二標記部，設於該其中另一個流體元件，並表示為該第二外螺紋部的螺紋開始位置；及 第三標記部，設於該接合螺帽，並顯示為該第一內螺紋部及該第二內螺紋部中之至少一者的螺紋開始位置；該第一標記部與該第二標記部所示之位置，係實際的螺紋開始位置；該第三標記部所示之位置，係相對於實際的螺紋開始位置，往該接合螺帽之鎖緊方向偏移既定角度的位置。
2. 一種流路接頭構造，用於將分別形成於兩個流體元件的流路孔彼此連接，包含：第一外螺紋部，在該兩個流體元件之其中一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；第二外螺紋部，在該兩個流體元件之其中另一個流體元件的端部，形成於該流體元件之流路孔的徑向外方；接合螺帽，在其軸向其中一側具有螺合於該第一外螺紋部的第一內螺紋部，而在其軸向另一側具有螺合於該第二外螺紋部的第二內螺紋部；及密封構件，在該接合螺帽之徑向內方，藉由將該第一內螺紋部螺合於該第一外螺紋部並將該第二內螺紋部螺合於該第二外螺紋部，而將該兩個流體元件中之流路孔彼此連接的部分加以密封；該第一外螺紋部及該第一內螺紋部，為右旋螺紋及左旋螺紋中之任一者，該第二外螺紋部及該第二內螺紋部，為右旋螺紋及左旋螺紋中之另一者；該第一外螺紋部的螺紋開始位置與該第二外螺紋部的螺紋開始位置，係在周向上設定於相同位置；該第一內螺紋部的螺紋開始位置與該第二內螺紋部的螺紋開始位置，係在周向上設定於相同位置；該流路接頭構造，更包含： 第一標記部，設於該其中一個流體元件，並表示為該第一外螺紋部的螺紋開始位置；第二標記部，設於該其中另一個流體元件，並表示為該第二外螺紋部的螺紋開始位置；及第三標記部，設於該接合螺帽，並顯示為該第一內螺紋部及該第二內螺紋部中之至少一者的螺紋開始位置；該第三標記部所示之位置，係實際的螺紋開始位置；該第一標記部與該第二標記部所示之位置，係相對於實際的螺紋開始位置，往該接合螺帽之鎖緊方向的相反方向偏移既定角度的位置。
3. 如請求項1或2所述之流路接頭構造，其中，該接合螺帽更包含：非螺紋部，形成於該第一內螺紋部與該第二內螺紋部之間。
4. 如請求項1或2所述之流路接頭構造，其中，該兩個流體元件的至少其中一個包含：抵接部，在該接合螺帽的扭緊達到界限時，抵接該接合螺帽。
5. 如請求項1或2所述之流路接頭構造，更包含：流動方向標記部，設於該接合螺帽，用來顯示流動於該接合螺帽內之流體的流動方向。
6. 如請求項1或2所述之流路接頭構造，更包含：鎖緊方向標記部，設於該接合螺帽，用來顯示該接合螺帽的鎖緊方向。