JP7308727B2

JP7308727B2 - 流路継手構造

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Publication number: JP7308727B2
Application number: JP2019207953A
Authority: JP
Inventors: 清敬大前; 真史刀谷
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Current assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd
Priority date: 2019-11-18
Filing date: 2019-11-18
Publication date: 2023-07-14
Anticipated expiration: 2039-11-18
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Description

本発明は、流路継手構造に関する。

半導体、液晶、有機ＥＬ等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる薬液等の流体の配管経路において、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、及び配管ブロック等の２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を最短で接続する流路継手構造として、図２８に示すものが知られている。この流路継手構造は、必要最小限の長さに形成されたチューブ１０１の両端それぞれに、スリーブ１０２とユニオンナット１０３を用いて、２つの流体デバイス１１０を接続するように構成されている（特許文献１参照）。

特開２０１４－２１９０６０号公報

半導体、液晶、有機ＥＬ等の製造工程において、薬液を送液及び循環する際に使用される流路継手構造は、その設置スペースが省スペースであることが好ましい。しかし、図２８に示す流路継手構造は、チューブ１０１及び２個のユニオンナット１０３を設置するための設置スペースが必要となるため、流路継手構造を省スペースで設置することができないという問題があった。そこで、流路継手構造を省スペースで設置することができるように、１つのユニオンナットだけで２つの流体デバイスの流路孔同士を接続することが検討されている。

具体的には、ユニオンナットの内周の軸方向一方側に右雌ねじを形成し、ユニオンナットの内周の軸方向他方側に左雌ねじを形成した両雌ねじを有するユニオンナットなどがある。このユニオンナットを一方向に締め付けると、ユニオンナットの右雌ねじが一方の流体デバイスの右雄ねじに螺合されるとともに、ユニオンナットの左雌ねじが他方の流体デバイスの左雄ねじに螺合される。これにより、２つの流体デバイスの流路孔同士がガスケットを介して接続されるようになっている。しかし、上記ユニオンナットを備えた流路継手構造では、例えば、作業者が、ユニオンナットの右雌ねじを、誤って流体デバイスの左雄ねじに螺合してしまうと、その右雌ねじ及び左雄ねじのねじ山が破損してしまう恐れがある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、流路継手構造を省スペースで設置でき、かつねじ山が破損するのを抑制できるようにすることを目的とする。

（１）本発明の流路継手構造は、第１流体デバイス及び第２流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、前記第１流体デバイスの一端面から突出して設けられ、当該第１流体デバイスの流路孔の径方向外方に配置された第１雄ねじ部と、前記第２流体デバイスの一端面から突出して設けられ、当該第２流体デバイスの流路孔の径方向外方に配置された第２雄ねじ部と、軸方向一方側に前記第１の雄ねじ部に螺合される第１雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第２雄ねじ部に螺合される第２雌ねじ部を有するユニオンナットと、前記ユニオンナットの径方向内方において、前記第１雄ねじ部に前記第１雌ねじ部が螺合されるとともに前記第２雄ねじ部に前記第２雌ねじ部が螺合されることで、前記第１流体デバイス及び第２流体デバイスの流路孔同士の接続部分をシールするシール部材と、を備え、前記第１雄ねじ部及び前記第１雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、前記第２雄ねじ部及び前記第２雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方であり、前記第１流体デバイス及び前記第２流体デバイスのうち少なくとも一方の流体デバイスに設けられ、前記第１雄ねじ部及び前記第２雄ねじ部のうち前記一方の流体デバイスに設けられた雄ねじ部の締付方向を示す第１目印部を備える。

本発明によれば、ユニオンナットの軸方向一方側の第１雌ねじ部が右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、ユニオンナットの軸方向他方側の第２雌ねじ部が右ねじ及び左ねじのいずれか他方であるため、ユニオンナットを締め付けることで、第１雌ねじ部が第１流体デバイスの第１雄ねじ部に螺合され、第２雌ねじ部が第２流体デバイスの第２雄ねじ部に螺合される。これにより、１つのユニオンナットだけで２つの流体デバイスの流路孔同士を接続することができ、かつユニオンナットの径方向内方では、流路孔同士の接続部分をガスケットでシールすることができる。従って、本発明の流路継手構造は、従来構造のようにチューブ及び２つのユニオンナットを設置する必要がないため、流路継手構造を省スペースで設置することができる。

また、作業者は、少なくとも一方の流体デバイスに設けられた第１目印部により、当該流体デバイスの雄ねじ部の締付方向を把握することができる。これにより、前記雄ねじ部と異なる締付方向の雌ねじ部が前記雄ねじ部に螺合されるのを抑制することができるので、これらの雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合に起因して、当該雄ねじ部及び雌ねじ部のねじ山が破損するのを抑制することができる。

（２）前記流路継手構造は、前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットの締付方向を示す第２目印部をさらに備えるのが好ましい。
この場合、作業者は、第２目印部により、ユニオンナットの締付方向、つまり第１雌ねじ部及び第２雌ねじ部の締付方向も把握することができるので、雄ねじ部と異なる締付方向の雌ねじ部が螺合されるのをさらに抑制することができる。

（３）前記流路継手構造は、前記一方の流体デバイスの前記一端面から突出して設けられた固定側突起部と、前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットから前記一方の流体デバイスの前記一端面側に突出する可動側突起部と、をさらに備え、前記可動側突起部は、前記第１雌ねじ部及び前記第２雌ねじ部のうち前記雄ねじ部に対応する雌ねじ部が当該雄ねじ部に螺合された状態から、前記ユニオンナットが反締付方向に回転しようとすると、前記固定側突起部に当接して前記ユニオンナットの反締付方向への回転を規制するのが好ましい。
この場合、雄ねじ部に、対応する雌ねじ部が螺合された状態から、ユニオンナットが反締付方向に回転しようとすると、可動側突起部が固定側突起部に当接してユニオンナットの反締付方向への回転が規制される。これにより、ユニオンナットを締め付けた状態で、流体の脈動等により流体デバイスが振動しても、ユニオンナットが反締付方向に緩むのを抑制することができる。

（４）前記第１目印部の少なくとも一部が、前記固定側突起部を構成しているのが好ましい。
この場合、第１目印部とは別に固定側突起部を設ける必要がないので、流路継手構造の構成を簡素化することができる。

（５）前記流路継手構造は、前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットの締付方向を示す第２目印部をさらに備え、前記第２目印部の少なくとも一部が、前記可動側突起部を構成しているのが好ましい。
この場合、第２目印部とは別に可動側突起部を設ける必要がないので、流路継手構造の構成をさらに簡素化することができる。

本発明によれば、流路継手構造を省スペースで設置することができ、かつねじ山が破損するのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係る流路継手構造を示す斜視図である。流路継手構造の断面図である。流路継手構造を分解した状態を示す断面図である。第１配管ブロックの斜視図である。第１配管ブロックを右側から見た側面図である。第２配管ブロックの斜視図である。第２配管ブロックを左側から見た側面図である。ユニオンナットの正面図である。ユニオンナットを左側から見た側面図である。ユニオンナットを右側から見た側面図である。第１配管ブロックを右側から見た側面図であり、第１固定側突起部と第１可動側突起部との位置関係を示している。第２配管ブロックを左側から見た側面図であり、第２固定側突起部と第２可動側突起部との位置関係を示している。第１配管ブロックにガスケットを取り付けた状態を示す断面図である。ユニオンナットの締め付け途中の状態を示す断面図である。ユニオンナットの締め付けが完了する手前の状態を示す断面図である。ユニオンナットの締め付けが完了した状態を示す断面図である。本発明の第２実施形態に係る流路継手構造の第１配管ブロックの斜視図である。図１７の第１配管ブロックを右側から見た側面図である。第２実施形態に係る流路継手構造の第２配管ブロックの斜視図である。図１９の第２配管ブロックを左側から見た側面図である。第２実施形態に係る流路継手構造のユニオンナットの斜視図である。第２実施形態における第１配管ブロックを右側から見た側面図であり、第１固定側突起部と第１可動側突起部との位置関係を示している。第２実施形態における第２配管ブロックを左側から見た側面図であり、第２固定側突起部と第２可動側突起部との位置関係を示している。本発明の第３実施形態に係る流路継手構造のユニオンナットの斜視図である。第３実施形態における第１配管ブロックを右側から見た側面図であり、第１固定側突起部と第１可動側突起部との位置関係を示している。第３実施形態における第２配管ブロックを左側から見た側面図であり、第２固定側突起部と第２可動側突起部との位置関係を示している。シール部材の変形例を示す断面図である。従来の流路継手構造を示す断面図である。

以下、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、以下に記載する複数の実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
［流路継手構造］
図１は、本発明の第１実施形態に係る流路継手構造を示す斜視図である。図１において、本実施形態の流路継手構造１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、第１配管ブロック（第１流体デバイス）５１に形成された流路孔５１０（図２参照）と、第２配管ブロック（第２流体デバイス）５２に形成された流路孔５２０と、を接続する接続構造として使用される。以下の本明細書において、上、下、左及び右といった方向は、図１に示す方向を意味する。

なお、本実施形態の流路継手構造１は、配管ブロック５１，５２の流路孔５１０，５２０同士を接続する接続構造として使用しているが、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計等の他の流体デバイスの流路孔同士を接続する接続構造にも適用することができる。

図２は、本実施形態の流路継手構造１の断面図である。図３は、流路継手構造１を分解した状態を示す断面図である。図２及び図３において、第１配管ブロック５１は、例えば矩形体からなるブロック本体５１１と、円筒体からなる左右一対の第１突出部５１２と、を備えている。右側の第１突出部５１２は、ブロック本体５１１の右側の端面（一端面）５１１ａにおいて、右側へ突出してブロック本体５１１と一体に形成されている。左側の第１突出部５１２は、ブロック本体５１１の左側の端面５１１ｂにおいて、左側へ突出してブロック本体５１１と一体に形成されている。各第１突出部５１２のブロック本体５１１側の基端部には環状溝５１３が形成されている。

右側の第１突出部５１２の外周（環状溝５１３を除く）には第１雄ねじ部１１が形成されている。左側の第１突出部５１２の外周（環状溝５１３を除く）には第２雄ねじ部１２が形成されている。第１配管ブロック５１の流路孔５１０は、ブロック本体５１１および一対の第１突出部５１２を貫通して形成されている。従って、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２は、流路孔５１０の両端部の径方向外方に配置されている。
右側の第１突出部５１２の先端面には、環状の第１シール溝１５が形成され、左側の第１突出部５１２の先端面には、環状の第２シール溝１６が形成されている。

第２配管ブロック５２は、例えば矩形体からなるブロック本体５２１と、円筒体からなる左右一対の第２突出部５２２と、を備えている。右側の第２突出部５２２は、ブロック本体５２１の右側の端面５２１ａにおいて、右側へ突出してブロック本体５２１と一体に形成されている。左側の第２突出部５２２は、ブロック本体５２１の左側の端面（一端面）５２１ｂにおいて、左側へ突出してブロック本体５２１と一体に形成されている。各第２突出部５２２のブロック本体５２１側の基端部には環状溝５２３が形成されている。

右側の第２突出部５２２の外周（環状溝５２３を除く）には第１雄ねじ部１１が形成されている。左側の第２突出部５２２の外周（環状溝５２３を除く）には第２雄ねじ部１２が形成されている。第２配管ブロック５２の流路孔５２０は、ブロック本体５２１および一対の第２突出部５２２を貫通して形成されている。従って、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２は、流路孔５２０の両端部の径方向外方に配置されている。本実施形態の流路孔５２０は、流路孔５１０と同一径に形成されている。
右側の第２突出部５２２の先端面には、環状の第１シール溝１５が形成され、左側の第２突出部５２２の先端面には、環状の第２シール溝１６が形成されている。

流路継手構造１は、主として、第１配管ブロック５１の前記第１雄ねじ部１１、第２配管ブロック５２の前記第２雄ねじ部１２、ユニオンナット１３、及びガスケット（シール部材）１４を備えている。
本実施形態では、第１配管ブロック５１の第１雄ねじ部１１は左ねじとされ、第２配管ブロック５２の第２雄ねじ部１２は右ねじとされている。なお、本実施形態とは逆に、第１配管ブロック５１の第１雄ねじ部１１を右ねじとし、第２配管ブロック５２の第２雄ねじ部１２を左ねじとしてもよい。

ユニオンナット１３は、例えば円筒体からなり、左側（軸方向一方側）の内周に形成された第１雌ねじ部１３ａと、右側（軸方向他方側）の内周に形成された第２雌ねじ部１３ｂと、を有している。第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂは、軸方向に連続して形成されている。第１雌ねじ部１３ａは、第１配管ブロック５１の第１雄ねじ部１１に螺合される。第２雌ねじ部１３ｂは、第２配管ブロック５２の第２雄ねじ部１２に螺合される。

従って、本実施形態では、第１雌ねじ部１３ａは、第１雄ねじ部１１と同じ左ねじとされ、第２雌ねじ部１３ｂは、第２雄ねじ部１２と同じ右ねじとされている。なお、第１雄ねじ部１１が右ねじとされ、第２雄ねじ部１２が左ねじとされている場合には、第１雌ねじ部１３ａは右ねじとなり、第２雌ねじ部１３ｂは左ねじとなる。

ガスケット１４は、ユニオンナット１３の径方向内方において、第１雄ねじ部１１に第１雌ねじ部１３ａが螺合されるとともに第２雄ねじ部１２に第２雌ねじ部１３ｂが螺合されることで、流路孔５１０，５２０同士の接続部分をシールするものである。本実施形態のガスケット１４は、左側（軸方向一方側）に形成された環状の第１圧入部１４ａと、右側（軸方向他方側）に形成された環状の第２圧入部１４ｂと、を有している。第１圧入部１４ａは第１突出部５１２の第１シール溝１５に圧入され、第２圧入部１４ｂは第２突出部５２２の第２シール溝１６に圧入される。

［第１目印部と固定側突起部］
図４は、第１配管ブロック５１の斜視図である。図５は、第１配管ブロック５１を右側から見た側面図である。図４及び図５において、第１配管ブロック５１におけるブロック本体５１１の端面５１１ａには、第１雄ねじ部１１の締付方向（図５の反時計回り方向）を示す一対の第１目印部６１が、第１雄ねじ部１１の突出方向と同一の方向である右方向にわずかに突出して設けられている。端面５１１ａに対する各第１目印部６１の突出量は、環状溝５１３の左右方向（軸方向）の幅よりも短く形成されている（図１３参照）。なお、図１～図３では、第１目印部６１の図示を省略している。

一対の第１目印部６１は、側面視において第１突出部５１２よりも径方向外方において、第１突出部５１２の周方向に等間隔をあけて配置されている。各第１目印部６１は、例えば矢印形状に形成されており、略三角形状に形成された先部６１１と、円弧形状に形成された後部６１２と、を有している。

先部６１１は、図５の反時計回り方向に向かうにつれて先細るように形成され、かつ、径方向外方に向かうにつれて先細るように形成されている。先部６１１における径方向外方に先細る部分の後部６１２側の側面６１１ａは、端面５１１ａに向かうにつれて突出高さが徐々に低くなるように傾斜するテーパ面とされている。先部６１１の径方向外方に先細る部分における、前記側面６１１ａと反対側の側面６１１ｂは、端面５１１ａに対して垂直な非テーパ面であり、上下方向に延びて形成されている。先部６１１は、第１緩み止め機構７５（後述）の第１固定側突起部７１として機能する。

図６は、第２配管ブロック５２の斜視図である。図７は、第２配管ブロック５２を左側から見た側面図である。図６及び図７において、第２配管ブロック５２におけるブロック本体５２１の端面５２１ｂには、第２雄ねじ部１２の締付方向（図７の時計回り方向）を示す一対の第１目印部６２が、第２雄ねじ部１２の突出方向と同一の方向である左方向に突出して設けられている。端面５２１ｂに対する第１目印部６２の突出量は、環状溝５２３の左右方向（軸方向）の幅よりも短く形成されている（図１３参照）。なお、図１～図３では、第１目印部６２の図示を省略している。

一対の第１目印部６２は、側面視において第２突出部５２２よりも径方向外方において、第２突出部５２２の周方向に等間隔をあけて配置されている。各第１目印部６２は、例えば第１目印部６１と同じ矢印形状に形成されており、略三角形状に形成された先部６２１と、円弧形状に形成された後部６２２と、を有している。

先部６２１は、図７の時計回り方向に向かうにつれて先細るように形成され、かつ、径方向外方に向かうにつれて先細るように形成されている。先部６２１における径方向外方に先細る部分の後部６２２側の側面６２１ａは、端面５２１ｂに向かうにつれて突出高さが徐々に低くなるように傾斜するテーパ面とされている。先部６２１の径方向外方に先細る部分における、前記側面６２１ａと反対側の側面６２１ｂは、上下方向に延びて形成されている。先部６２１は、第２緩み止め機構７６（後述）の第２固定側突起部７２として機能する。

［第２目印部と可動側突起部］
図８は、ユニオンナット１３の正面図である。図８において、ユニオンナット１３の外周には、左右方向（軸方向）に延びる凸部１３ｆが周方向に等間隔をあけて複数設けられている。これら複数の凸部１３ｆは、ユニオンナット１３を締め付ける工具を引っ掛けるためのものであり、例えばローレット加工により形成されている。

本実施形態では、例えば、周方向に連続する所定数（図例では３つ）の凸部１３ｆ毎に、これらの軸方向の長さを徐々に短くすることによって、全体として矢印の形状が周方向に複数形成されている。これらの矢印の形状は、ユニオンナット１３の締付方向（第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂの締付方向）を示している。従って、本実施形態では、所定数の凸部１３ｆ毎に形成された複数の矢印の形状が、ユニオンナット１３の締付方向を示す第２目印部６３として機能する。

各第２目印部６３における左右方向に最も長い凸部１３ｆの左端部は、ユニオンナット１３の左側の一側面１３ｄよりも左側に突出しており、第１緩み止め機構７５（後述）の第１可動側突起部７３として機能する。これにより、本実施形態では、第２目印部６３の一部が第１可動側突起部７３を構成している。また、第１雌ねじ部１３ａを第１雄ねじ部１１に螺合するときに、第１可動側突起部７３は、ユニオンナット１３から第１配管ブロック５１の端面５１１ａ側に向かって突出する（図１３参照）。

各第２目印部６３における左右方向に最も長い凸部１３ｆの右端部は、ユニオンナット１３の右側の他側面１３ｅよりも右側に突出しており、第２緩み止め機構７６（後述）の第２可動側突起部７４として機能する。これにより、本実施形態では、第２目印部６３の一部が第２可動側突起部７４を構成している。また、第２雌ねじ部１３ｂを第２雄ねじ部１２に螺合するときに、第２可動側突起部７４は、ユニオンナット１３から第２配管ブロック５２の端面５２１ｂ側に向かって突出する（図１３参照）。

図９は、ユニオンナット１３を左側から見た側面図である。図８及び図９において、第１可動側突起部７３は、ユニオンナット１３の外周側において周方向に等間隔をあけて配置されている。第１可動側突起部７３は、凸部１３ｆの左端部から、ユニオンナット１３の一側面１３ｄに沿ってユニオンナット１３の軸心Ｃ側へ延びている。第１可動側突起部７３の幅方向（ユニオンナット１３の周方向）両側の側面７３ａ，側面７３ｂは、軸心Ｃ側に向かうにつれて第１可動側突起部７３が先細るように傾斜している。なお、図９の白矢印は、第１雌ねじ部１３ａの締付方向を示している。

図１０は、ユニオンナット１３を右側から見た側面図である。図８及び図１０において、第２可動側突起部７４は、ユニオンナット１３の外周側において周方向に等間隔をあけて配置されている。第２可動側突起部７４は、凸部１３ｆの右端部から、ユニオンナット１３の他側面１３ｅに沿ってユニオンナット１３の軸心Ｃ側へ延びている。第２可動側突起部７４の幅方向（ユニオンナット１３の周方向）両側の側面７４ａ，側面７４ｂは、軸心Ｃ側に向かうにつれて第２可動側突起部７４が先細るように傾斜している。なお、図１０の白矢印は、第２雌ねじ部１３ｂの締付方向を示している。

［緩み止め機構］
図１１は、第１配管ブロック５１を右側から見た側面図であり、第１固定側突起部７１と第１可動側突起部７３との位置関係を示している。
第１雌ねじ部１３ａを第１雄ねじ部１１に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第１可動側突起部７３は、図１１の１点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ｂが第１固定側突起部７１（先部６１１）の側面６１１ａに当接する位置に配置されている。

また、第１雌ねじ部１３ａが第１雄ねじ部１１に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第１可動側突起部７３は、図１１の２点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ａが第１固定側突起部７１の側面６１１ｂに当接する位置に配置されている。

第１可動側突起部７３におけるユニオンナット１３の一側面１３ｄに対する突出高さは、第１可動側突起部７３の側面７３ｂが第１固定側突起部７１の側面６１１ａに当接した状態から、さらにユニオンナット１３を締付方向に回転させたときに、第１可動側突起部７３が第１固定側突起部７１を乗り越えることができる高さに設定されている。また、第１可動側突起部７３の前記突出高さは、第１可動側突起部７３の側面７３ａが第１固定側突起部７１の側面６１１ｂに当接した状態から、さらにユニオンナット１３が反締付方向に回転しても、第１可動側突起部７３が第１固定側突起部７１を乗り越えることができない高さに設定されている。

以上の構成により、第１配管ブロック５１側の第１固定側突起部７１、及びユニオンナット１３側の第１可動側突起部７３は、第１雌ねじ部１３ａが第１雄ねじ部１１に螺合された状態からユニオンナット１３が反締付方向に回転するのを規制する第１緩み止め機構７５を構成している。

図１２は、第２配管ブロック５２を左側から見た側面図であり、第２固定側突起部７２と第２可動側突起部７４との位置関係を示している。
第２雌ねじ部１３ｂを第２雄ねじ部１２に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第２可動側突起部７４は、図１２の１点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ｂが第２固定側突起部７２（先部６２１）の側面６２１ａに当接する位置に配置されている。

また、第２雌ねじ部１３ｂが第２雄ねじ部１２に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第２可動側突起部７４は、図１２の２点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ａが第２固定側突起部７２の側面６２１ｂに当接する位置に配置されている。

第２可動側突起部７４におけるユニオンナット１３の他側面１３ｅに対する突出高さは、第２可動側突起部７４の側面７４ｂが第２固定側突起部７２の側面６２１ａに当接した状態から、さらにユニオンナット１３を締付方向に回転させたときに、第２可動側突起部７４が第２固定側突起部７２を乗り越えることができる高さに設定されている。また、第２可動側突起部７４の前記突出高さは、第２可動側突起部７４の側面７４ａが第２固定側突起部７２の側面６２１ｂに当接した状態から、さらにユニオンナット１３が反締付方向に回転しても、第２可動側突起部７４が第２固定側突起部７２を乗り越えることができない高さに設定されている。

以上の構成により、第２配管ブロック５２側の第２固定側突起部７２、及びユニオンナット１３側の第２可動側突起部７４は、第２雌ねじ部１３ｂが第２雄ねじ部１２に螺合された状態からユニオンナット１３が反締付方向に回転するのを規制する第２緩み止め機構７６を構成している。

［流路継手構造による接続手順］
次に、本実施形態の流路継手構造１により、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２の流路孔５１０，５２０同士を接続する手順について説明する。まず、図１３に示すように、作業者は、第１配管ブロック５１の第１シール溝１５にガスケット１４の第１圧入部１４ａを圧入し、第１配管ブロック５１にガスケット１４を一体に取り付ける。
なお、ガスケット１４は、第２配管ブロック５２に一体に取り付けられてもよい。この場合、作業者は、第２配管ブロック５２の第２シール溝１６にガスケット１４の第２圧入部１４ｂを圧入すればよい。

次に、作業者は、第１配管ブロック５１と第２配管ブロック５２との間にユニオンナット１３を配置する。その際、作業者は、第１及び第２配管ブロック５１，５２の第１目印部６１，６２と、ユニオンナット１３の第２目印部６３を視認することにより、第１雄ねじ部１１の締付方向、第２雄ねじ部１２の締付方向、及びユニオンナット１３（第１雌ねじ部１３ａと第２雌ねじ部１３ｂ）の締付方向が全て同じ方向を向くように、第１配管ブロック５１、第２配管ブロック５２、及びユニオンナット１３を配置する。

次に、作業者は、ユニオンナット１３の軸方向両端に、第１配管ブロック５１の第１突出部５１２の先端、及び第２配管ブロック５２の第２突出部５２２の先端をそれぞれ当接させた後、工具（図示省略）等を用いて、第２目印部６３が示す方向にユニオンナット１３を締め付ける。これにより、互いに左ねじである第１雄ねじ部１１と第１雌ねじ部１３ａとを確実に螺合させることができ、互いに右ねじである第２雄ねじ部１２と第２雌ねじ部１３ｂとを確実に螺合させることができる。

作業者がユニオンナット１３を締め付けていくと、図１４に示すように、第１雌ねじ部１３ａに対する第１雄ねじ部１１の螺合が進むことで、第１配管ブロック５１の第１突出部５１２は、ユニオンナット１３の左側から中央に向かって移動する。同様に、第２雌ねじ部１３ｂに対する第２雄ねじ部１２の螺合が進むことで、第２配管ブロック５２の第２突出部５２２は、ユニオンナット１３の右側から中央に向かって移動する。

このように、第１突出部５１２及び第２突出部５２２がユニオンナット１３の中央に向かって移動すると、図１５に示すように、ガスケット１４の第２圧入部１４ｂは、第２配管ブロック５２の第２シール溝１６に圧入され、流路孔５１０，５２０同士が接続されるとともに、その接続部分がガスケット１４によりシールされる。

また、図１５に示すように、ユニオンナット１３における第１及び第２可動側突起部７３，７４の側面７３ｂ，７４ｂは、ユニオンナット１３の締め付けが完了する手前で、それぞれ第１及び第２固定側突起部７１，７２の側面６１１ａ，６２１ａに当接する（図１１，図１２も参照）。この状態からさらにユニオンナット１３を締め付けると、第１及び第２可動側突起部７３，７４は、第１及び第２固定側突起部７１，７２を乗り越える。その際、第１及び第２可動側突起部７３，７４は、テーパ面である側面６１１ａ，６２１ａに沿って第１及び第２固定側突起部７１，７２を乗り越えるので、ユニオンナット１３の締め付けトルクが上昇するのを低減することができるとともに、第１及び第２可動側突起部７３，７４のへたりや破損を抑制することができる。

第１及び第２可動側突起部７３，７４が第１及び第２固定側突起部７１，７２を乗り越えた状態からユニオンナット１３をさらに締め付けると、図１６に示すように、第１及び第２可動側突起部７３，７４の端面７３ｃ，７４ｃが、第１及び第２配管ブロック５１，５２の端面５１１ａ，５２１ｂに当接する。これにより、ユニオンナット１３の締め付けが完了する。

ところで、図１６に示す状態において流路孔５１０，５２０を流れる薬液の脈動等により、第１及び第２配管ブロック５１，５２が振動すると、ユニオンナット１３が反締付方向に回転して緩むことがある。しかし、本実施形態では、ユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、図１１及び図１２に示すように、第１及び第２可動側突起部７３，７４は、第１及び第２固定側突起部７１，７２の側面６１１ｂ，６２１ｂに当接する。この側面６１１ｂ，６２１ｂは上述したように非テーパ面であるため、第１及び第２可動側突起部７３，７４は、側面６１１ｂ，６２１ｂに当接することで第１及び第２固定側突起部７１，７２を乗り越えることが抑制される。これにより、ユニオンナット１３の反締付方向への回転が規制されるので、ユニオンナット１３が反締付方向に緩むのを抑制することができる。

［作用効果］
以上、本実施形態の流路継手構造１によれば、ユニオンナット１３には、第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂにより、右ねじ及び左ねじが形成されるため、ユニオンナット１３を締め付けることで、第１雌ねじ部１３ａが第１配管ブロック５１の第１雄ねじ部１１に螺合され、第２雌ねじ部１３ｂが第２配管ブロック５２の第２雄ねじ部１２に螺合される。これにより、１つのユニオンナット１３だけで第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２の流路孔５１０，５２０同士を接続することができ、かつユニオンナット１３の径方向内方では、流路孔５１０，５２０同士の接続部分をガスケット１４でシールすることができる。従って、本実施形態の流路継手構造１は、図２８に示す従来構造のようにチューブ１０１及び２つのユニオンナット１０３を設置する必要がないため、流路継手構造１を省スペースで設置することができる。

また、本実施形態の流路継手構造１では、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２には、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２の締付方向を示す第１目印部６１，６２が設けられているので、作業者は、第１目印部６１，６２を視認することで、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２の締付方向を把握することができる。これにより、互いに締付方向が異なる、第１雄ねじ部１１と第２雌ねじ部１３ｂとが螺合したり、第２雄ねじ部１２と第１雌ねじ部１３ａとが螺合したりするのを抑制することができる。その結果、互いに締付方向が異なる雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合に起因して、当該雄ねじ部及び雌ねじ部のねじ山が破損するのを抑制することができる。

また、ユニオンナット１３に、その締付方向を示す第２目印部６３が設けられているので、作業者は、第２目印部６３を視認することで、ユニオンナット１３の締付方向、つまり第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂの締付方向も把握することができる。これにより、互いに締付方向が異なる雄ねじ部と雌ねじ部が螺合されるのをさらに抑制することができる。

また、第１及び第２雌ねじ部１３ａ，１３ｂがそれぞれ第１及び第２雄ねじ部１１，１２に螺合された状態から、ユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、ユニオンナット１３側の第１及び第２可動側突起部７３，７４が、第１及び第２配管ブロック５１，５２側の第１及び第２固定側突起部７１，７２に当接し、ユニオンナット１３の反締付方向への回転が規制される。これにより、ユニオンナット１３を締め付けた状態で、流路孔５１０，５２０を流れる薬液の脈動等により第１及び第２配管ブロック５１，５２が振動しても、ユニオンナッ１３が反締付方向に緩むのを抑制することができる。

第１及び第２配管ブロック５１，５２の第１目印部６１，６２の一部が、第１及び第２固定側突起部７１，７２を構成しているので、第１目印部６１，６２とは別に第１及び第２固定側突起部７１，７２を設ける必要がない。その結果、流路継手構造１の構成を簡素化することができる。

第１及び第２配管ブロック５１，５２の第２目印部６３の一部が、第１及び第２可動側突起部７３，７４を構成しているので、第２目印部６３とは別に第１及び第２可動側突起部７３，７４を設ける必要がないので、流路継手構造１の構成をさらに簡素化することができる。

［第２実施形態］
図１７は、本発明の第２実施形態に係る流路継手構造１の第１配管ブロック５１の斜視図である。図１８は、図１７の第１配管ブロック５１を右側から見た側面図である。本実施形態の流路継手構造１は、第１配管ブロック５１の第１目印部６１と第１固定側突起部７１とが別々に設けられている点で、第１実施形態と異なる。

図１７及び図１８において、第１配管ブロック５１におけるブロック本体５１１の端面５１１ａには、第１雄ねじ部１１の締付方向（図１８の反時計回り方向）を示す一対の第１目印部６１が左方向に凹んで形成されている。一対の第１目印部６１は、側面視において第１突出部５１２よりも径方向外方において、第１突出部５１２の周方向に等間隔をあけて配置されている。各第１目印部６１は、例えば矢印形状に形成されている。

第１配管ブロック５１におけるブロック本体５１１の端面５１１ａには、第１緩み止め機構７５を構成する一対の第１固定側突起部７１が右方向に突出して設けられている。端面５１１ａに対する各第１固定側突起部７１の突出量は、第１実施形態の第１目印部６１の突出量と同一である。

一対の第１固定側突起部７１は、側面視において第１突出部５１２よりも径方向外方において、第１突出部５１２の周方向に等間隔をあけて配置されている。各第１固定側突起部７１の幅方向（第１突出部５１２の周方向）両側の側面７１ａ，７１ｂは、第１突出部５１２の径方向外方に延びて形成されている。各第１固定側突起部７１の前記径方向外方の端部は、例えば半円弧状に形成されている。

図１９は第２実施形態に係る流路継手構造１の第２配管ブロック５２の斜視図である。図２０は、図１９の第２配管ブロック５２を左側から見た側面図である。本実施形態の流路継手構造１は、第２配管ブロック５２の第１目印部６２と第２固定側突起部７２とが別々に設けられている点で、第１実施形態と異なる。

図１９及び図２０において、第２配管ブロック５２におけるブロック本体５２１の端面５２１ｂには、第２雄ねじ部１２の締付方向（図２０の時計回り方向）を示す一対の第１目印部６２が右方向に凹んで形成されている。一対の第１目印部６２は、側面視において第２突出部５２２よりも径方向外方において、第２突出部５２２の周方向に等間隔をあけて配置されている。各第１目印部６２は、例えば第１目印部６１と同じ矢印形状に形成されている。

第２配管ブロック５２におけるブロック本体５２１の端面５２１ｂには、第２緩み止め機構７６を構成する一対の第２固定側突起部７２が左方向に突出して設けられている。端面５２１ｂに対する各第２固定側突起部７２の突出量は、第１実施形態の第１目印部６２の突出量と同一である。

一対の第２固定側突起部７２は、側面視において第２突出部５２２よりも径方向外方において、第２突出部５２２の周方向に等間隔をあけて配置されている。第２固定側突起部７２は、第１固定側突起７１と同一形状に形成されている。すなわち、各第２固定側突起部７２の幅方向（第２突出部５２２の周方向）両側の側面７２ａ，７２ｂは、第２突出部５２２の径方向外方に延びて形成されている。また、各第２固定側突起部７２の前記径方向外方の端部は、半円弧状に形成されている。

図２１は、第２実施形態に係る流路継手構造１のユニオンナット１３の斜視図である。本実施形態の流路継手構造１は、ユニオンナット１３の第２目印部６３と第１及び第２可動側突起部７３，７４とが別々に設けられている点で、第１実施形態と異なる。

図２１において、本実施形態のユニオンナット１３の外周は、例えば正八角形状に形成されている。ユニオンナット１３の外周の各面には、第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂの締付方向（図２１の白矢印が示す方向）、つまりユニオンナット１３の締付方向を示す第２目印部６３が設けられている。第２目印部６３は、例えば、Ｖ字状の矢印形状が凹んで形成されており、ユニオンナット１３の外周の各面に２つずつ形成されている。

ユニオンナット１３の一側面１３ｄの外周側には、第１緩み止め機構７５の複数の第１可動側突起部７３が左側に突出して設けられている。ユニオンナット１３の他側面１３ｅの外周側には、第２緩み止め機構７６の複数の第２可動側突起部７４が右側に突出して設けられている。

第２可動側突起部７４は、例えば正六角形状に形成されており、ユニオンナット１３の他側面１３ｅの外周側における８つの角部にそれぞれ設けられている。これにより、第２可動側突起部７４は、ユニオンナット１３の他側面１３ｅの外周側において周方向に等間隔をあけて配置されている。第２可動側突起部７４は、ユニオンナット１３の周方向両側に側面７４ａ，７４ｂを有している（図２３参照）。

第１可動側突起部７３は、第２可動側突起部７４と同一形状に形成されている。すなわち、第１可動側突起部７３は、正六角形状に形成されており（図示省略）、ユニオンナット１３の一側面１３ｄの外周側における８つの角部にそれぞれ設けられている。これにより、第１可動側突起部７３は、ユニオンナット１３の一側面１３ｄの外周側において周方向に等間隔をあけて配置されている。第１可動側突起部７３は、ユニオンナット１３の周方向両側に側面７３ａ，７３ｂを有している（図２２参照）。

図２２は、第２実施形態における第１配管ブロック５１を右側から見た側面図であり、第１固定側突起部７１と第１可動側突起部７３との位置関係を示している。
第１雌ねじ部１３ａを第１雄ねじ部１１に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第１可動側突起部７３は、図２２の１点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ｂが第１固定側突起部７１の側面７１ａに当接する位置に配置されている。

また、第１雌ねじ部１３ａが第１雄ねじ部１１に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第１可動側突起部７３は、図２２の２点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ａが第１固定側突起部７１の側面７１ｂに当接する位置に配置されている。

第１可動側突起部７３におけるユニオンナット１３の一側面１３ｄに対する突出高さは、第１可動側突起部７３の側面７３ｂが第１固定側突起部７１の側面７１ａに当接した状態から、さらにユニオンナット１３を締付方向に回転させたときに、第１可動側突起部７３が第１固定側突起部７１を乗り越えることができる高さに設定されている。また、第１可動側突起部７３の前記突出高さは、第１可動側突起部７３の側面７３ａが第１固定側突起部７１の側面７１ｂに当接した状態から、さらにユニオンナット１３が反締付方向に回転しても、第１可動側突起部７３が第１固定側突起部７１を乗り越えることができない高さに設定されている。

図２３は、第２実施形態における第２配管ブロック５２を左側から見た側面図であり、第２固定側突起部７２と第２可動側突起部７４との位置関係を示している。
第２雌ねじ部１３ｂを第２雄ねじ部１２に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第２可動側突起部７４は、図２３の１点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ｂが第２固定側突起部７２の側面７２ａに当接する位置に配置されている。

また、第２雌ねじ部１３ｂが第２雄ねじ部１２に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第２可動側突起部７４は、図２３の２点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ａが第２固定側突起部７２の側面７２ｂに当接する位置に配置されている。

第２可動側突起部７４におけるユニオンナット１３の他側面１３ｅに対する突出高さは、第２可動側突起部７４の側面７４ｂが第２固定側突起部７２の側面７２ａに当接した状態から、さらにユニオンナット１３を締付方向に回転させたときに、第２可動側突起部７４が第２固定側突起部７２を乗り越えることができる高さに設定されている。また、第２可動側突起部７４の前記突出高さは、第２可動側突起部７４の側面７４ａが第２固定側突起部７２の側面７２ｂに当接した状態から、さらにユニオンナット１３が反締付方向に回転しても、第２可動側突起部７４が第２固定側突起部７２を乗り越えることができない高さに設定されている。

以上の構成により、第２配管ブロック５２側の第２固定側突起部７２、及びユニオンナット１３側の第２可動側突起部７４は、第２雌ねじ部１３ｂが第２雄ねじ部１２に螺合された状態からユニオンナット１３が反締付方向に回転するのを規制する第２緩み止め機構７６を構成している。
本実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。

第２実施形態の流路継手構造１においても、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２には、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２の締付方向を示す第１目印部６１，６２が設けられているので、作業者は、第１目印部６１，６２を視認することで、第１雄ねじ部１１及び第２雄ねじ部１２の締付方向を把握することができる。これにより、互いに締付方向が異なる雄ねじ部と雌ねじ部が螺合されるのを抑制することができる。その結果、互いに締付方向が異なる雄ねじ部及び雌ねじ部の螺合に起因して、当該雄ねじ部及び雌ねじ部のねじ山が破損するのを抑制することができる。

［第３実施形態］
図２４は、本発明の第３実施形態に係る流路継手構造１のユニオンナット１３の斜視図である。本実施形態の流路継手構造１は、第２実施形態の変形例であり、ユニオンナット１３の第２目印部６３が第１及び第２可動側突起部７３，７４とされている点で、第２実施形態と異なる。

図２４において、本実施形態のユニオンナット１３の一側面１３ｄ及び他側面１３ｅには、第１雌ねじ部１３ａ及び第２雌ねじ部１３ｂの締付方向（図２４の白矢印が示す方向）、つまりユニオンナット１３の締付方向を示す第２目印部６３が複数設けられている。第２目印部６３は、例えば矢羽根形状に形成されており、ユニオンナット１３の一側面１３ｄ（他側面１３ｅ）の外周側において、ユニオンナット１３の外周の各面に対応する位置から左方向（右方向）へ突出して設けられている。また、第２目印部６３は、ユニオンナット１３の一側面１３ｄ（他側面１３ｅ）の外周側において周方向に等間隔をあけて配置されている。

ユニオンナット１３の一側面１３ｄに設けられた各第２目印部６３は、第１緩み止め機構７５の第１可動側突起部７３として機能する。第１可動側突起部７３におけるユニオンナット１３の周方向両側には、Ｖ字状に窪んだ側面７３ａと、Ｖ字状に突出した側面７３ｂとが形成されている（図２５参照）。

ユニオンナット１３の他側面１３ｅに設けられた各第２目印部６３は、第２緩み止め機構７６の第２可動側突起部７４として機能する。第２可動側突起部７４におけるユニオンナット１３の周方向両側には、Ｖ字状に窪んだ側面７４ａと、Ｖ字状に突出した側面７４ｂとが形成されている（図２６参照）。

図２５は、第３実施形態における第１配管ブロック５１を右側から見た側面図であり、第１固定側突起部７１と第１可動側突起部７３との位置関係を示している。
第１雌ねじ部１３ａを第１雄ねじ部１１に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第１可動側突起部７３は、図２５の１点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ｂが第１固定側突起部７１の側面７１ａに当接する位置に配置されている。

また、第１雌ねじ部１３ａが第１雄ねじ部１１に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第１可動側突起部７３は、図２５の２点鎖線で示すように、第１可動側突起部７３の側面７３ａが第１固定側突起部７１の側面７１ｂに当接する位置に配置されている。

図２６は、第３実施形態における第２配管ブロック５２を左側から見た側面図であり、第２固定側突起部７２と第２可動側突起部７４との位置関係を示している。
第２雌ねじ部１３ｂを第２雄ねじ部１２に螺合している途中（ユニオンナット１３を締付方向に回転している途中）において（図１５参照）、第２可動側突起部７４は、図２５の１点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ｂが第２固定側突起部７２の側面７２ａに当接する位置に配置されている。

また、第２雌ねじ部１３ｂが第２雄ねじ部１２に螺合された状態（図１６参照）からユニオンナット１３が反締付方向に回転しようとすると、第２可動側突起部７４は、図２５の２点鎖線で示すように、第２可動側突起部７４の側面７４ａが第２固定側突起部７２の側面７２ｂに当接する位置に配置されている。
本実施形態の他の構成は、第２実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。

第３実施形態の流路継手構造１においても、第２実施形態と同様の作用効果を奏する。また、第１及び第２配管ブロック５１，５２の第２目印部６３が、第１及び第２可動側突起部７３，７４を構成しているので、第２目印部６３とは別に第１及び第２可動側突起部７３，７４を設ける必要がないので、流路継手構造１の構成を簡素化することができる。

［その他］
上記実施形態の流路継手構造１は、半導体製造装置に使用される場合について説明したが、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいて使用されてもよい。

上記実施形態の流路継手構造１は、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２の両方に第１目印部６１，６２を設けているが、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２のいずれか一方のみに第１目印部を設けてもよい。また、第１目印部６１，６２の形状、個数及び位置は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２に凸形状又は凹形状の第１目印部６１，６２を設けているが、第１及び第２雄ねじ部１１，１２の締付方向を示す矢印等を表記したものであってもよい。

第２目印部６３の形状、個数及び位置は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、ユニオンナット１３に凸形状又は凹形状の第２目印部６３を設けているが、ユニオンナット１３の締付方向を示す矢印等を表記したものであってもよい。

上記実施形態では、第１配管ブロック５１及び第２配管ブロック５２の両方に第１及び第２固定側突起部７１，７２を設けているが、両配管ブロック５１，５２のいずれか一方のみに固定側突起部を設けてもよい。その場合、両配管ブロック５１，５２のいずれか一方のみに設けた固定側突起部に対応する可動側突起部だけをユニオンナット１３に設ければよい。

第１及び第２固定側突起部７１，７２の形状、個数及び位置は、上記実施形態に限定されるものではない。また、第１及び第２可動側突起部７３，７４の形状、個数及び位置は、上記実施形態に限定されるものではない。

上記実施形態では、流路孔５１０，５２０同士の接続部分をシールするシール部材として、ガスケット１４を用いているが、ガスケット１４以外の他のシール部材を用いてもよい。また、図２７に示すように、前記シール部材（ガスケット１４）は、第１配管ブロック５１の第１突出部５１２に一体化されていてもよいし、図示を省略するが第２配管ブロック５１の第２突出部５２２に一体化されていてもよい。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。また、第１～第３の各実施形態で例示される構成の全部または一部を組み合わせることも可能である。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１流路継手構造
１１第１雄ねじ部
１２第２雄ねじ部
１３ユニオンナット
１３ａ第１雌ねじ部
１３ｂ第２雌ねじ部
１４ガスケット（シール部材）
５１第１配管ブロック（第１流体デバイス）
５２第２配管ブロック（第２流体デバイス）
６１第１目印部
６２第１目印部
６３第２目印部
７１第１固定側突起部（固定側突起部）
７２第２固定側突起部（固定側突起部）
７３第１可動側突起部（可動側突起部）
７４第２可動側突起部（可動側突起部）
５１０流路孔
５２０流路孔

Claims

第１流体デバイス及び第２流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
前記第１流体デバイスの一端面から突出して設けられ、当該第１流体デバイスの流路孔の径方向外方に配置された第１雄ねじ部と、
前記第２流体デバイスの一端面から突出して設けられ、当該第２流体デバイスの流路孔の径方向外方に配置された第２雄ねじ部と、
軸方向一方側に前記第１雄ねじ部に螺合される第１雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第２雄ねじ部に螺合される第２雌ねじ部を有するユニオンナットと、
前記ユニオンナットの径方向内方において、前記第１雄ねじ部に前記第１雌ねじ部が螺合されるとともに前記第２雄ねじ部に前記第２雌ねじ部が螺合されることで、前記第１流体デバイス及び前記第２流体デバイスの流路孔同士の接続部分をシールするシール部材と、を備え、
前記第１雄ねじ部及び前記第１雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、
前記第２雄ねじ部及び前記第２雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方であり、
前記第１流体デバイス及び前記第２流体デバイスのうち少なくとも一方の流体デバイスに設けられ、前記第１雄ねじ部及び前記第２雄ねじ部のうち前記一方の流体デバイスに設けられた雄ねじ部の締付方向（前記第１雌ねじ部及び前記第２雌ねじ部のうち前記雄ねじ部に対応する雌ねじ部が前記雄ねじ部に螺合される方向）を示す第１目印部を備える、流路継手構造。
前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットの締付方向を示す第２目印部をさらに備える、請求項１に記載の流路継手構造。
前記一方の流体デバイスの前記一端面から突出して設けられた固定側突起部と、
前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットから前記一方の流体デバイスの前記一端面側に突出する可動側突起部と、をさらに備え、
前記可動側突起部は、前記雌ねじ部が前記雄ねじ部に螺合された状態から、前記ユニオンナットが反締付方向に回転しようとすると、前記固定側突起部に当接して前記ユニオンナットの反締付方向への回転を規制する、請求項１又は２に記載の流路継手構造。
前記第１目印部の少なくとも一部が、前記固定側突起部を構成している、請求項３に記載の流路継手構造。
前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットの締付方向を示す第２目印部をさらに備え、
前記第２目印部の少なくとも一部が、前記可動側突起部を構成している、請求項３又は４に記載の流路継手構造。