JP2002122275A - 取付け具及び取付け組立体 - Google Patents

取付け具及び取付け組立体

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JP2002122275A JP2001237953A JP2001237953A JP2002122275A JP 2002122275 A JP2002122275 A JP 2002122275A JP 2001237953 A JP2001237953 A JP 2001237953A JP 2001237953 A JP2001237953 A JP 2001237953A JP 2002122275 A JP2002122275 A JP 2002122275A
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Kenji A Kingsford
エー.キングスフォード ケンジ
Peter Nguyen
ニューエン ピーター
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用中又は取外し中に不意に弛むことのない
取付け具を提供する。 【解決手段】 本発明の取付け具は輸送通路を有する本
体と、本体の外面に設けられた取付け具把持手段と、本
体の外面に設けられ取付け具が流体処理装置に連結され
た時連動取付け部を形成する連動取付け部材と、取付け
具が流体処理に連結された時取付け具と流体処理装置と
の間に漏れのないシールを提供する手段とを具備してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は2つの異なった組立
体を相互に連結し流体又はガスをその間で輸送させるの
に有用な取付け具に関し、さらに詳細には、異なった組
立体の一方との連動取付け機構を形成し異なった組立体
の他方が取外された時に取付け具の意図的な取外しを阻
止するようになっている取付け具に関する。
【0002】
【従来の技術】異なった組立体を相互に連結しその間に
流体又はガスの流れが連通できるようにするのに用いら
れる取付け具はこの技術分野において周知である。例え
ば、異なった構造の取付け端部を有する取付け具が普通
に用いられ異なった構造の又は異なった大きさの流体輸
送取付け部を有する流体処理装置を相互に連結する。こ
のような流体取付け部はT字管、異なる角度のエルボー
(ひじ形屈曲管)その他のような種々の形状を有する構
造となっている。
【0003】例えば半導体の製造者のための流体処理工
程に用いられる取付け具は関連の流体処理装置の湿潤部
材の全てにおけるように、望ましくは非金属材料から形
成されている。このような湿潤された流体処理部材と取
付け具を非金属材料から形成することは処理流体の汚染
が装置の中に誘発される可能性を最小にし又はなくする
のに望ましいものである。半導体製造処理腐食剤におけ
る侵食性化学薬品の使用は金属の表面に公知の腐食作用
を有しそれにより処理汚染の原因を生じることになる。
【0004】したがって、このような流体処理作用に用
いられる取付け具と流体処理装置は好ましくは非金属材
料、すなわち化学抵抗性重合体から形成され又は化学抵
抗性重合体から形成された湿潤部材を有している。多く
の実例において、このような用途に用いられる取付け具
は非金属材料から形成された2つの流体処理装置の間で
相互に連結される。このような例の用途では、取付け具
は第1の流体処理装置に取付け具の一方の端部が螺合に
より連結され、第2の流体処理装置に取付け具の他方の
端部が螺合により連結される。
【0005】このような取付け具の適用において生じる
ことが知られている問題は取付け具と第1の流体処理装
置との間の螺合による連結が、第2の流体処理装置が弛
められ又は取付け具から取外された時意図せずに弛むよ
うになることである。この弛みが生じる理由は、非金属
材料の使用と、非金属材料の取付け具と、両方の流体処
理装置との間に存在する関連の低い摩擦係数とに起因す
る。取付け具と相互に連結された第1及び/又は第2の
流体処理装置との間の低い摩擦係数はまた、一方の装置
との螺合による連結が2つの装置の間の流体輸送の通常
時の処理の間に例えば熱循環及び/又は処理要素の振動
その他によって生じるような弛みが生じることが知られ
ている。
【0006】上記の用途に用いられる取付け具はしたが
って、流体輸送工程の間と流体装置を取外す間に意図的
に弛められるようになることが知られている。検査せず
に放置すると、弛んだ取付け具は処理流体が周囲に漏出
する程度に弛められたならば環境又は人の安全上の危険
を生じることになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】したがって、通常時の
流体輸送作用又は装置の取外しの間に意図しないで弛む
可能性を減少させ又はなくするような取付け具が構成さ
れることが望まれる。またこの取付け具が異なった大き
さの取付け連結部を有する流体処理装置の間に相互連結
を提供することのできることが望まれる。さらにまたこ
の取付け連結部が特殊の工具を用いる必要なく比較的容
易に用いられることが望ましい。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の取付け具は連結
された流体処理装置に連結された時に漏れのないシール
と連動取付け部とを提供し周囲の環境に漏れを生じる意
図しない取付けの弛みを阻止する。本発明の取付け具は
一般に本体の第1の端部と第2の端部との間に延びる実
質的に中空の輸送通路を有する本体を具備している。取
付け具本体の各端部は各流体処理装置との取付けに適合
できるようになっている。1つの実施態様においては、
取付け具本体の両端部はこの流体処理装置のねじの切ら
れた部材との取付けに適合するように構成されている。
【0009】取付け具は本体の外側表面に沿って配置さ
れた取付け具を把持する手段を含んでいる。この把持手
段は取付け具を流体処理装置に対して回転するのに用い
られる取付け具本体上の保持個所、例えばねじの切られ
た係合部を提供する。連動取付け部材が取付け具本体の
外側表面に沿って配置され、取付け具がこれに連結され
た時に流体処理装置の相補的な部材との連動取付け部を
形成するようになっている。1つの実施態様では、連動
取付け部材は相補的な流体処理装置部材と整合するよう
に構成された複数のラチェット歯を具備している。
【0010】取付け具本体の第1の端部は、流体処理装
置の開口の内部に配置された溝に締まり嵌めできる大き
さと形状の軸方向に距離をおいて突出する舌片を含んで
いる。この舌片と溝との取付け部は取付け具と流体処理
装置との間に漏れのないシールを提供する。
【0011】本発明の取付け具は、取付け具本体の第2
の端部における連結部を弛める流体輸送作用から意図し
ないで弛められることのない流体処理装置との解放可能
な連動連結部と、取付け具と流体処理装置との間の漏れ
のないシールとを提供する。さらに本発明の取付け具は
異なった大きさの第1の端部と第2の端部とを有するよ
うに構成することができ、それにより取付け具を流体輸
送装置の異なった大きさの取付け部の間の輸送継手を提
供するのに用いることができるようにする。
【0012】本発明のこれらのまた他の特徴と形態と利
点とは以下の詳細な記載と特許請求の範囲と添付図面と
について考察された時さらに十分に理解されるであろ
う。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の原理により構成された取
付け具は本体を貫通し本体の両端部の間に延びる中空の
流体輸送通路を有する取付け具本体を具備している。取
付け具本体は両端部の間に介挿された本体外側表面に沿
って配置された連動取付け部材を含んでいる。この連動
部材は取付け具がこれに連結された時に取付け具の相補
的な連動部材と相互に作用するよう構成されている。取
付け具はさらに取付け具の相補的な溝と共働し溝とで漏
れのない嵌合をもたらすような大きさと形状の本体の一
方の端部に沿って配置された舌片を具備する。取付け具
本体の両端部は異なった大きさの連結要素、例えば異な
った流体処理装置の連結要素の間の取付け部に適合する
よう構成することができる。本発明の取付け具は取付け
具が連動取付け具との連結から弛むようになる可能性を
最小にし又はなくする。
【0014】図1は、第1の本体端部16から第2の本
体端部18に貫通して延びる中空の流体又はガスの輸送
通路14を有する本体12を具備する本発明の取付け具
10を示す。1つの実施態様において、本体は実質的に
円筒形の形状を有し、端部16と18は本体の対向する
軸方向の端部に位置している。本体は任意の型式の構造
的に剛性の材料から形成することができる。しかし、半
導体の流体処理に用いるためには、本体は非金属材料、
例えば化学的抵抗性のプラスチック又は重合体材料から
形成されるのが好ましい。適当な重合体材料はポリテト
ラフルオロエチレン(PTFE)、フッ素化エチレン−
ポロピレン(FEP)、ペルオロアルコキシフルオロカ
ーボン樹脂(PFA)、ポリクロロトリフルオロエチレ
ン(PCTFE)、エチレン−クロロトリフルオロエチ
レン共重合体(ECTFE)、エチレン−テトラフルオ
ロエチレン共重合体(ETFE)、ポリ弗化ビニリデン
(PVDF)、ポリ弗化ビニール(PVF)その他を含
むフッ素重合体の群から選択された化合物を含んでい
る。特に好ましい材料はウィルミングトン、デラウエア
のデュポン会社によって提供されるテフロン(登録商
標)PFA又はテフロン(登録商標)PTFEである。
このような材料は腐食性の、酸性の、又は苛性の液体に
よって損傷されることがなくまた例えば半導体製造の工
程に用いられる化学的に純粋な液体に汚染を導入するこ
とがない。
【0015】取付け具は選択される材料の型と計画の見
積りとに依存して、成形又は機械加工によって形成する
ことができる。例えば好ましい実施態様では取付け具は
成形工程によりテフロン(登録商標)PTFEから形成
される。
【0016】取付け具本体12の第1の端部16は管構
造、配管、流体処理装置(図2から4参照)その他のよ
うな他の取付け装置と連結するよう構成される。1つの
実施態様では、第1の端部16は他の取付け装置の相補
的にねじり切られた係合表面との螺合による取付けに適
合するようねじが切られた外側表面20を有する。第1
の端部16はまた端部16から外側に突出し第1の端部
の周縁を区画形成する舌片22を含んでいる。舌片は流
体処理装置の係合開口内部の溝と係合する厚さと深さと
を有するような大きさに形成される(以下により良く記
載され図2と4に示されるように)。
【0017】第1の端部の外側表面20から軸方向にわ
たって、取付け具本体12は本体の周面の周りに配置さ
れた連動取付け部材24を含んでいる。連動取付け部材
24は、流体処理装置上の相補的な連動手段と共働し取
付け具が連結された時、例えば螺合により連結された時
取付け具と流体処理装置との間に解放自在のロック取付
けが得られるようになっている連動手段を有するように
構成される。実施態様では、連動取付け部材24は本体
から半径方向に延びるカラーとして構成されている。こ
のカラーはカラーの外径に沿って位置している複数のラ
チェット歯26の形式の連動手段を含んでいる。ラチェ
ット歯26は1つの半径方向に傾斜され半径方向内側に
向けられた起立部30によって分離された傾斜され外側
に向けられた平面の段部28の反覆構造が得られるよう
にする。所望ならば、起立部30は各段部から90度で
又は90度より大きく垂下するよう構成することができ
る、すなわち起立部は切取ることができる。以下にさら
に良く記載されるように、ラチェット歯26は流体処理
装置の相補的な部材と連動取付けができるように構成さ
れる。
【0018】連動取付け部材24が軸方向に沿って、本
体12はさらに把持表面32を含み取付け具を通路14
を貫通して延びる中心軸線に沿って把持し回転するのを
容易にする。1つの実施態様では、把持表面32は六角
形の形状に構成され通常のレンチにより取付け及び回転
ができるようにする。
【0019】把持表面32から軸方向に沿って、取付け
具本体12は流体処理装置に取付けできるような構造と
される。実施態様では外側表面34はねじが切られ流体
処理装置の相補的な取付け部材と螺合により取付けでき
るようにする。本体の第1の端部と第2の端部に近接し
た取付け具本体の外側表面が典型的ではあるが1つの型
の取付け機構のように構成されまたこの外側表面が記載
され図示されたのとは異なるよう構成され2つの流体処
理装置の間の取付け具本体の相互の連結ができるように
することが理解される。
【0020】本体の第2の端部18は流体処理装置との
漏れのない取付けを形成するような構造とされる。実施
態様では本体の第2端部18はねじの切られた表面34
から軸方向端部へと軸方向に延びる滑らかな外側表面3
6を有する構造となっている。この滑らかな表面36と
軸方向端部とはそれぞれその上に嵌められた管の端部
(図示しない)に取付けできるような構造となってい
る。この管の端部は本体の第2端部18の上に位置し、
また内径に沿って同心の第2端部の滑らかな表面34及
び軸方向端部と、外径に沿って同心のナット(図示しな
い)との間に介挿される。このナットは第2端部のねじ
の切られた表面34と螺合され管の内径を軸方向端部に
当接させ漏れのないシールを形成する。
【0021】図2は流体輸送装置44と共に流体又はガ
ス輸送継手が得られるようにするのに用いられるような
図1の取付け具42を具備する取付け組立体40を示し
ている。取付け具42はその本体の第1端部46が流体
処理装置の取付け口48の方に向けられて配置される。
取付け口48は本体の第1端部のねじの切られた外側表
面50と相補的なねじの切られた壁表面を有する構造と
なっている。
【0022】流体輸送装置44はさらに取付け口48に
近接して位置する1つ又は複数の連動取付け部材52を
含んでいる。実施態様では連動取付け部材52は流体処
理装置と一体で流体処理装置から外側に延びている1つ
又は複数の突起の形式である。好ましい実施態様では、
流体処理装置は相互に直径方向に対向して位置しまた取
付けカラー24に沿って配置されたラチェット歯54と
共働してラチェット歯とで一方向連動共働作用が得られ
るような構造となっている一対の突起52を具備してい
る。
【0023】流体処理装置は湿潤表面、すなわち取付け
具を形成するのに用いられる同一の一般型の材料から構
成された取付け開口を具備する分配マニホルド、弁、ポ
ンプその他の形式とすることができる。半導体製造の工
程に用いるため、流体処理装置は上記の同一型のフッ素
重合体材料から形成された湿潤取付け開口を有してい
る。
【0024】図3は流体処理装置58に取付けられ第1
の端部59が流体処理装置の取付け開口60の内部に係
合された取付け具56を具備する取付け組立体を示す。
取付け具56は流体処理装置に、本体の第1端部を流体
処理装置の開口60に挿入し本体と開口のねじの切られ
た表面とを係合させ取付け具と流体処理装置の一方を相
互に対して回転させることにより、連結される。取付け
具の第1の端部が装置の開口に螺合されるにつれて、突
起62が本体のラチェット歯64と係合し始める。取付
け具が装置の開口の中に引込まれるにつれて、突起62
はラチェット歯の表面の増大部分と係合し続ける。突起
62は、ラチェット歯と係合し制御された大きさだけ屈
撓し突起が傾斜されたラチェット歯を通り越すことがで
きるような特別の構造となっている。各ラチェット歯の
段部表面66が突起を横切り通過するにつれて、突起は
ラチェット歯の起立部68と係合し取付け具が装置に対
し反対方向に回転しないようにする。それにより、取付
け具56と装置58との間に一方向の連動取付けが得ら
れるようにする。上記の一方向連動取付けは突起62を
手で取付け具から半径方向外側に離すことにより解放さ
れる。
【0025】このように構成することにより、取付け具
56はその一方の端部が流体処理装置58に接合するこ
とができ、また流体輸送作用の間に意図しないで弛めら
れることのない流体処理装置との連動連結部を形成す
る。さらに、取付け具によって形成された連動連結部と
流体処理装置は他の流体装置との取付け具第2端部のね
じによる連結部を取外し又は弛める作用によって弛むこ
とがなくなる。
【0026】図4は取付け具70と流体処理装置72と
の間に形成された取付け組立体相互連結部を断面で示
す。上記のように、取付け具本体74の第1端部のねじ
の切られた外側表面76は装置取付け開口80の相補的
なねじの切られた壁表面78と螺合により係合する。取
付け具本体は、本体から半径方向に延びラチェット歯を
具備するカラー82がねじの切られた外側表面76から
十分に距離をおいて位置しカラーと取付け開口80の近
くの装置の隣接表面84との間に所望の間隙ができるよ
うな構造となっている。この間隙は、突起86が装置か
ら半径方向外側に屈撓することができ突起の基部に沿っ
て不必要な応力が生じないで本体のラチェット歯88と
共働することができるように設けられる。
【0027】さらに、取付け具の第1端部は所望の軸方
向の長さを有するよう構成されそれにより本体の第1端
部から軸方向に突出する舌片90が装置の取付け開口の
基部内部に配設された溝92に完全に係合しまたこの係
合により取付け具が装置に挿入できる長さ、が規定され
るようにする。好ましい実施態様では、舌片90は溝9
2の幅より僅かに大きい壁の厚さを有し舌片が溝に係合
したときその間に締まり嵌めが形成されるような大きさ
とされる。この舌片と溝との係合は取付け具と装置の開
口との間に漏れのないシールを提供しそれにより流体が
取付け具の流体輸送通路94又は装置の流体輸送通路9
6から取付け具と装置の開口との螺合表面に通過するの
を阻止するようにする。したがって、流体が連結された
組立体から周囲の環境に漏れ出る可能性を減少し又はな
くするのを助ける。
【0028】特定の連動部材構造を具備する取付け具と
流体処理装置は上記のように記載され図1から4に図示
されてきた。上記のようにこの取付け具の実施態様は代
表的なものであるが連動部材構造の1つの型にすぎず、
また他の型の連動部材構造が本発明の範囲であることが
意図されることが理解されるべきである。
【0029】図5は流体処理装置102に連結される本
発明の取付け具100を具備する他の実施態様の取付け
組立体98を示す。上記の図2から4に図示された取付
け組立体とは異なり、この取付け組立体は一体でない連
動取付け部材を具備する流体処理装置を用いる。1つの
実施態様では、別体の連動取付け部材は、取付け開口に
近接した流体処理装置の表面108の内部に配置された
ピン開口106の中に置かれる大きさの1つ又は複数の
ピン104の形式となっている。好ましい実施態様では
2つのピン104が用いられまたピン開口106が取付
け開口110を横切って相互に直径方向反対側に位置し
ている。ピンは取付け具のラチェット歯112と共働す
る大きさとなっている。
【0030】図6は流体処理装置102に取付けられ取
付け具の第1端部114が流体処理装置の取付け開口1
10の内部と係合している取付け具100を具備する取
付け組立体を示す。取付け具100は図3に示される組
立体について上記したのと同じ方法で流体処理装置に、
本体の第1端部を流体処理装置の開口110に挿入し本
体と開口のねじの切られた表面とを係合し取付け具と流
体処理装置の一方を相互に対して回転することにより、
連結される。
【0031】図6に加えて図1を参照すると、取付け具
の第1の取付け端部14が装置の開口110の中に完全
に配置されそれにより第1の取付け具端部の舌片116
が溝118と完全に係合するようになっている。完全の
舌片と溝との係合が達成されると、ピン104はラチェ
ットの歯の起立部120と当接して位置しピン開口10
6の中に配置され、それにより取付け組立体を流体処理
装置と連動させ意図しない弛みが生じないようにする。
【0032】本発明の取付け具はその一方の端部が単一
の大きさの流体装置にその反対側の端部が多種の大きさ
の流体装置に取付けできるように、すなわち万能取付け
具を提供するよう構成することができる。本発明の典型
的な取付け具はしたがって、(1)第1の端部の名目上
の寸法が1/4インチ(6.35mm)、通路寸法が1/
4インチ(6.35mm)、異なる大きさの第2の端部が
1/4インチ(6.35mm)と3/8インチ(9.53
mm)、(2)第1の端部の名目寸法が1/2インチ(1
2.7mm)通路寸法が3/8インチ(9.53mm)、異
なった寸法の第2の端部が1/4、3/8、及び1/2
インチ(6.35mm、9.53mm、及び12.7mm)、
(3)第1の端部の名目寸法が3/4インチ(19.0
5mm)、通路寸法が5/8インチ(15.88mm)、異
なった大きさの第2の端部が1/2、及び3/4インチ
(12.7mm及び19.05mm)、及び(4)第1の端
部の名目寸法が1インチ(25.4mm)、通路寸法が7
/8インチ(22.23mm)、異なった大きさの第2端
部が3/4及び1インチ(19.05mm及び25.4m
m)である。これらは本発明の取付け具をどのような寸
法として万能取付け具の機能が得られるようにするかを
示す代表的な例にすぎない。
【0033】万能の又は適合する機能を有する取付け具
を提供する能力は重要であるがその理由はこの能力が、
流体輸送取付け部が2つの異なった大きさの流体処理装
置の間に費用効果的なやり方で、すなわち等しい大きさ
の流体処理装置を設けるのを必要とすることに関連する
過剰の費用をなくすことにより、形成することができる
ようにするからである。
【0034】連動取付け部材を具備する本発明の取付け
具は、取付け具が流体輸送作用により又は流体処理装置
を反対側の取付け具の端部から弛める作用により流体処
理装置から弛められる可能性を最小にし又はなくする流
体処理装置に対する解放自在の連動取付け部を提供す
る。これにより、流体又はガスの漏れと流失の可能性
と、弛められた取付け具から生じる関連の環境及び安全
上の危険とをなくすことができる。さらに、流体処理装
置に舌片と溝による連結部を提供する本発明の取付け具
はまた、取付け具と流体処理装置とから最終的には周囲
の環境へのガス又は流体の漏れの可能性を最小にし又は
なくするのを助ける。
【0035】したがって、特許請求の範囲の範囲内で、
本発明の原理により構成された万能取付け具はここに詳
細に記載されたもののほかに具体化できることが理解さ
れるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の取付け具の斜面図である。
【図2】第1の連動機構を有する流体処理装置を備えた
図1の取付け具の分解斜面図である。
【図3】図2の流体処理装置に取付けられる図1と2の
取付け具を具備する取付け組立体の斜面図である。
【図4】図3の取付け組立体の切断側面図である。
【図5】第2の連動機構を有する流体処理装置を備えた
図1の取付け具の分解斜面図である。
【図6】図5の流体処理装置に取付けられる図1と図5
の取付け具を具備する取付け組立体の斜面図である。
【図7】図6の取付け組立体の切断側面図である。
【符号の説明】
10…取付け具 12…取付け具本体 14…輸送通路 16…本体の第1端部 18…本体の第2端部 20…外側表面 22…舌片 24…連動取付け部材 26…ラチェット歯 28…段部 30…起立部 32…把持表面 34…外側表面 36…滑らかな外側表面 40…取付け組立体 42…取付け具 44…流体輸送装置 48…取付け口 52…連動取付け部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ピーター ニューエン アメリカ合衆国,カリフォルニア 92644, ガーデン グローブ,マグノリア 13231 Fターム(参考) 3H013 JC05

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 本体の第1の端部と第2の端部との間に
    貫通して延びる実質的に中空の輸送通路を有する本体で
    あって、第1及び第2の端部が各流体処理装置に取付け
    ることができるようになっている本体と、 本体の外側表面に沿って配置された取付け具把持手段
    と、 取付け具が流体処理装置に連結された時流体処理装置の
    相補的な部材とで連動取付け部を形成するようになって
    いる、本体の外側表面に沿って配置された連動取付け部
    材と、 取付け具が流体処理装置に連結された時取付け具と流体
    処理装置との間に漏れのないシールを提供する手段とを
    具備している取付け具。
  2. 【請求項2】 取付け具把持手段が六角形の本体の外側
    表面部分からなる請求項1に記載の取付け具。
  3. 【請求項3】 連動取付け部材が外側表面の周りに配置
    されたカラーからなり、該カラーがカラーに沿って配置
    された複数のラチェット歯を有している請求項1に記載
    の取付け具。
  4. 【請求項4】 第1の端部がねじの切られた外側表面を
    有し漏れのないシールを提供する手段が第1の端部から
    軸方向に突出する円筒形の舌片を具備している請求項1
    に記載の取付け具。
  5. 【請求項5】 第2の端部に近接するねじの切られた外
    側表面を具備し、第2の端部が第1の端部とは異なった
    大きさとなっている請求項4に記載の取付け具。
  6. 【請求項6】 取付け具把持手段と連動取付け部材と漏
    れのないシールを提供する手段とが全て本体と一体とな
    っている請求項1に記載の取付け具。
  7. 【請求項7】 本体がフッ素重合体材料から形成されて
    いる請求項1に記載の取付け具。
  8. 【請求項8】 本体の第1の端部と第2の端部との間に
    貫通して延びる中空の輸送通路を有する実質的に円筒形
    の本体であって、第1及び第2の端部が各流体処理装置
    に取付けることのできる該端部に近接したねじの切られ
    た外側表面を有し、第1の端部が端部から所望距離で軸
    方向に突出する舌片を含み、取付けられた流体処理装置
    とで漏れのないシールを提供する、円筒形本体と、 本体の外側表面に沿って配置された取付け具の把持手段
    と、 本体の第1の端部に取付けられた流体処理装置とで解放
    自在の連動取付け部を形成するようになっている本体の
    外側表面に沿って配置された連動取付け手段とを具備
    し、 本体が重合体材料から形成されている、 取付け具。
  9. 【請求項9】 把持手段と連動取付け手段とが本体の第
    1及び第2の端部に近接するねじの切られた外側表面の
    間に介挿されている請求項8に記載の取付け具。
  10. 【請求項10】 把持手段と連動取付け手段とが本体と
    一体である請求項8に記載の取付け具。
  11. 【請求項11】 連動取付け手段が本体から半径方向外
    側に一定距離で延びるカラーを具備し、該カラーが第1
    の端部に取付けられた流体処理装置の部材と相互に作用
    し流体処理装置とで解放自在の連動取付け部を形成する
    ようになっている表面を含んでいる請求項8に記載の取
    付け具。
  12. 【請求項12】 カラーの表面が複数のラチェット歯を
    具備している請求項11に記載の取付け具。
  13. 【請求項13】 舌片が第1の端部に取付けられた流体
    処理装置の内部に配置された溝の半径方向の壁厚より大
    きい半径方向の壁厚を有するような大きさとなっている
    請求項8に記載の取付け具。
  14. 【請求項14】 本体の第1の端部と第2の端部との間
    に貫通して延びる中空の輸送通路を有する実質的に円筒
    形の本体であって、第1及び第2の端部が各流体処理装
    置に取付けることのできる該端部に近接したねじの切ら
    れた外側表面を有し、第1の端部が該端部から軸方向に
    所望の距離だけ突出し取付けられた流体処理装置とで漏
    れのないシールを提供する舌片を含んでいる、円筒形の
    本体と、 本体の外側表面の周りに配置されまた本体の第1及び第
    2の端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿
    され取付け具を把持し回転する六角形のカラーと、 本体の外側表面の周りに配置されまた第1及び第2の本
    体の端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿
    された連動取付けカラーであって、該カラーに沿って配
    置され本体の第1の端部に取付けられた流体処理装置の
    部材と整合する複数のラチェット歯を具備し流体処理装
    置とで解放自在の連動取付け部を形成する、連動取付け
    カラーとを具備し、 六角形のカラーと連動取付けカラーとがそれぞれ本体と
    一体であり、 本体が重合体材料から形成されている、 取付け具。
  15. 【請求項15】 重合体材料がフッ素重合体である請求
    項14に記載の取付け具。
  16. 【請求項16】 舌片が、第1の端部に取付けられた流
    体処理装置の内部に配置された溝の半径方向の壁厚より
    大きな半径方向の壁厚を有する大きさである請求項14
    に記載の取付け具。
  17. 【請求項17】 取付け具と流体処理装置とからなる取
    付け組立体であって、 取付け具が 本体の第1の端部と第2の端部との間に貫通して延びる
    実質的に中空の輸送通路を有する本体と、 本体の外側表面に沿って配置された取付け具を把持する
    手段と、 取付け具が流体処理装置に連結された時流体処理装置の
    相補的な部材とで連動取付け部を形成するようになって
    いる本体の外側表面に沿って配置された連動取付け部材
    とを具備し、 流体処理装置が内部に配置された取付け開口を有し取付
    け具の本体の第1の端部が該取付け開口の内部に配置さ
    れている本体と、 流体処理装置から延び取付け具の連動取付け部材と整合
    し解放自在の連動連結部を間に得るようにする連動取付
    け部材とを具備している、 取付け組立体。
  18. 【請求項18】 取付け具本体と少なくとも流体処理装
    置の取付け開口とがそれぞれ重合体材料から形成されて
    いる請求項17に記載の取付け組立体。
  19. 【請求項19】 本体の第1の端部が該端部から一定距
    離だけ軸方向に突出する舌片を含み、該舌片が取付け開
    口の基部に沿って配置された溝の中に位置し、舌片と溝
    による取付け部が取付け具と流体処理装置との間に漏れ
    のないシールを提供する請求項17に記載の取付け組立
    体。
  20. 【請求項20】 取付け具の連動取付け部材が本体の外
    側表面に沿って配置された複数のラチェット歯を具備
    し、流体処理装置の連動取付け部材がラチェット歯と整
    合しラチェット歯との間に解放自在の連動連結部が得ら
    れるようにする突起を具備している請求項17に記載の
    取付け組立体。
  21. 【請求項21】 ラチェット歯が本体の外側表面から半
    径方向外側に突出している請求項20に記載の取付け組
    立体。
  22. 【請求項22】 取付け具と流体処理装置とからなる取
    付け組立体であって、 取付け具が、 本体の第1の端部と第2の端部との間に貫通して延びる
    中空の輸送通路を有する実質的に円筒形の本体であっ
    て、第1及び第2の端部が該端部に近接して位置するね
    じの切られた外側表面を有し、第1の端部が該端部から
    軸方向に所望距離だけ突出する舌片を含んでいる、円筒
    形の本体と、 本体の外側表面の周りに配置されかつ第1及び第2の本
    体端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿さ
    れ取付け具を把持し回転するカラーと、 本体の外側表面の周りに配置されかつ第1及び第2の本
    体端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿さ
    れた連動取付けカラーであって、該カラーに沿って配置
    された複数のラチェット歯を具備し、取付け具を把持回
    転するカラーと連動取付けカラーとがそれぞれ本体と一
    体であり、本体が重合体材料から形成されている、連動
    取付けカラーとを具備し、 流体処理装置がねじの切られた取付け開口を有し該開口
    の基部の内部に溝が配置されている本体であって、取付
    け具の本体の第1の端部が該取付け開口の内部に配置さ
    れ前記舌片が該溝の中に配置され該溝との間に漏れのな
    いシールが得られるようにする、本体と、 流体処理装置の本体から延びかつ1つ又は複数の前記ラ
    チェット歯と整合し取付け具と流体処理装置との間に解
    放自在の連動連結部が得られるようにする連動取付け部
    材とを具備し、 少なくとも取付け開口が重合体材料から形成されてい
    る、取付け組立体。
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