JP2005069490A - 取付け具及び取付け組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】 使用中又は取外し中に不意に弛むことのない取付け具を提供する。
【解決手段】 本発明の取付け具は輸送通路を有する本体と、本体の外面に設けられた取付け具把持手段と、本体の外面に設けられ取付け具が流体処理装置に連結された時連動取付け部を形成する連動取付け部材と、取付け具が流体処理に連結された時取付け具と流体処理装置との間に漏れのないシールを提供する手段とを具備している。
【選択図】 図１

Description

本発明は２つの異なった組立体を相互に連結し流体又はガスをその間で輸送させるのに有用な取付け具に関し、さらに詳細には、異なった組立体の一方との連動取付け機構を形成し異なった組立体の他方が取外された時に取付け具の意図的な取外しを阻止するようになっている取付け具に関する。

異なった組立体を相互に連結しその間に流体又はガスの流れが連通できるようにするのに用いられる取付け具はこの技術分野において周知である。例えば、異なった構造の取付け端部を有する取付け具が普通に用いられ異なった構造の又は異なった大きさの流体輸送取付け部を有する流体処理装置を相互に連結する。このような流体取付け部はＴ字管、異なる角度のエルボー（ひじ形屈曲管）その他のような種々の形状を有する構造となっている。

例えば半導体の製造者のための流体処理工程に用いられる取付け具は関連の流体処理装置の湿潤部材の全てにおけるように、望ましくは非金属材料から形成されている。このような湿潤された流体処理部材と取付け具を非金属材料から形成することは処理流体の汚染が装置の中に誘発される可能性を最小にし又はなくするのに望ましいものである。半導体製造処理腐食剤における侵食性化学薬品の使用は金属の表面に公知の腐食作用を有しそれにより処理汚染の原因を生じることになる。

したがって、このような流体処理作用に用いられる取付け具と流体処理装置は好ましくは非金属材料、すなわち化学抵抗性重合体から形成され又は化学抵抗性重合体から形成された湿潤部材を有している。多くの実例において、このような用途に用いられる取付け具は非金属材料から形成された２つの流体処理装置の間で相互に連結される。このような例の用途では、取付け具は第１の流体処理装置に取付け具の一方の端部が螺合により連結され、第２の流体処理装置に取付け具の他方の端部が螺合により連結される。

このような取付け具の適用において生じることが知られている問題は取付け具と第１の流体処理装置との間の螺合による連結が、第２の流体処理装置が弛められ又は取付け具から取外された時意図せずに弛むようになることである。この弛みが生じる理由は、非金属材料の使用と、非金属材料の取付け具と、両方の流体処理装置との間に存在する関連の低い摩擦係数とに起因する。取付け具と相互に連結された第１及び／又は第２の流体処理装置との間の低い摩擦係数はまた、一方の装置との螺合による連結が２つの装置の間の流体輸送の通常時の処理の間に例えば熱循環及び／又は処理要素の振動その他によって生じるような弛みが生じることが知られている。

上記の用途に用いられる取付け具はしたがって、流体輸送工程の間と流体装置を取外す間に意図的に弛められるようになることが知られている。検査せずに放置すると、弛んだ取付け具は処理流体が周囲に漏出する程度に弛められたならば環境又は人の安全上の危険を生じることになる。

したがって、通常時の流体輸送作用又は装置の取外しの間に意図しないで弛む可能性を減少させ又はなくするような取付け具が構成されることが望まれる。またこの取付け具が異なった大きさの取付け連結部を有する流体処理装置の間に相互連結を提供することのできることが望まれる。さらにまたこの取付け連結部が特殊の工具を用いる必要なく比較的容易に用いられることが望ましい。

本発明の取付け具は連結された流体処理装置に連結された時に漏れのないシールと連動取付け部とを提供し周囲の環境に漏れを生じる意図しない取付けの弛みを阻止する。本発明の取付け具は一般に本体の第１の端部と第２の端部との間に延びる実質的に中空の輸送通路を有する本体を具備している。取付け具本体の各端部は各流体処理装置との取付けに適合できるようになっている。１つの実施態様においては、取付け具本体の両端部はこの流体処理装置のねじの切られた部材との取付けに適合するように構成されている。

取付け具は本体の外側表面に沿って配置された取付け具を把持する手段を含んでいる。この把持手段は取付け具を流体処理装置に対して回転するのに用いられる取付け具本体上の保持個所、例えばねじの切られた係合部を提供する。連動取付け部材が取付け具本体の外側表面に沿って配置され、取付け具がこれに連結された時に流体処理装置の相補的な部材との連動取付け部を形成するようになっている。１つの実施態様では、連動取付け部材は相補的な流体処理装置部材と整合するように構成された複数のラチェット歯を具備している。

取付け具本体の第１の端部は、流体処理装置の開口の内部に配置された溝に締まり嵌めできる大きさと形状の軸方向に距離をおいて突出する舌片を含んでいる。この舌片と溝との取付け部は取付け具と流体処理装置との間に漏れのないシールを提供する。

本発明の取付け具は、取付け具本体の第２の端部における連結部を弛める流体輸送作用から意図しないで弛められることのない流体処理装置との解放可能な連動連結部と、取付け具と流体処理装置との間の漏れのないシールとを提供する。さらに本発明の取付け具は異なった大きさの第１の端部と第２の端部とを有するように構成することができ、それにより取付け具を流体輸送装置の異なった大きさの取付け部の間の輸送継手を提供するのに用いることができるようにする。

本発明のこれらのまた他の特徴と形態と利点とは以下の詳細な記載と特許請求の範囲と添付図面とについて考察された時さらに十分に理解されるであろう。

本発明の原理により構成された取付け具は本体を貫通し本体の両端部の間に延びる中空の流体輸送通路を有する取付け具本体を具備している。取付け具本体は両端部の間に介挿された本体外側表面に沿って配置された連動取付け部材を含んでいる。この連動部材は取付け具がこれに連結された時に取付け具の相補的な連動部材と相互に作用するよう構成されている。取付け具はさらに取付け具の相補的な溝と共働し溝とで漏れのない嵌合をもたらすような大きさと形状の本体の一方の端部に沿って配置された舌片を具備する。取付け具本体の両端部は異なった大きさの連結要素、例えば異なった流体処理装置の連結要素の間の取付け部に適合するよう構成することができる。本発明の取付け具は取付け具が連動取付け具との連結から弛むようになる可能性を最小にし又はなくする。

図１は、第１の本体端部１６から第２の本体端部１８に貫通して延びる中空の流体又はガスの輸送通路１４を有する本体１２を具備する本発明の取付け具１０を示す。１つの実施態様において、本体は実質的に円筒形の形状を有し、端部１６と１８は本体の対向する軸方向の端部に位置している。本体は任意の型式の構造的に剛性の材料から形成することができる。しかし、半導体の流体処理に用いるためには、本体は非金属材料、例えば化学的抵抗性のプラスチック又は重合体材料から形成されるのが好ましい。適当な重合体材料はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ素化エチレン−ポロピレン（ＦＥＰ）、ペルオロアルコキシフルオロカーボン樹脂（ＰＦＡ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリ弗化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリ弗化ビニール（ＰＶＦ）その他を含むフッ素重合体の群から選択された化合物を含んでいる。特に好ましい材料はウィルミングトン、デラウエアのデュポン会社によって提供されるテフロン（登録商標）ＰＦＡ又はテフロン（登録商標）ＰＴＦＥである。このような材料は腐食性の、酸性の、又は苛性の液体によって損傷されることがなくまた例えば半導体製造の工程に用いられる化学的に純粋な液体に汚染を導入することがない。

取付け具は選択される材料の型と計画の見積りとに依存して、成形又は機械加工によって形成することができる。例えば好ましい実施態様では取付け具は成形工程によりテフロン（登録商標）ＰＴＦＥから形成される。

取付け具本体１２の第１の端部１６は管構造、配管、流体処理装置（図２から４参照）その他のような他の取付け装置と連結するよう構成される。１つの実施態様では、第１の端部１６は他の取付け装置の相補的にねじり切られた係合表面との螺合による取付けに適合するようねじが切られた外側表面２０を有する。第１の端部１６はまた端部１６から外側に突出し第１の端部の周縁を区画形成する舌片２２を含んでいる。舌片は流体処理装置の係合開口内部の溝と係合する厚さと深さとを有するような大きさに形成される（以下により良く記載され図２と４に示されるように）。

第１の端部の外側表面２０から軸方向にわたって、取付け具本体１２は本体の周面の周りに配置された連動取付け部材２４を含んでいる。連動取付け部材２４は、流体処理装置上の相補的な連動手段と共働し取付け具が連結された時、例えば螺合により連結された時取付け具と流体処理装置との間に解放自在のロック取付けが得られるようになっている連動手段を有するように構成される。実施態様では、連動取付け部材２４は本体から半径方向に延びるカラーとして構成されている。このカラーはカラーの外径に沿って位置している複数のラチェット歯２６の形式の連動手段を含んでいる。ラチェット歯２６は１つの半径方向に傾斜され半径方向内側に向けられた起立部３０によって分離された傾斜され外側に向けられた平面の段部２８の反覆構造が得られるようにする。所望ならば、起立部３０は各段部から９０度で又は９０度より大きく垂下するよう構成することができる、すなわち起立部は切取ることができる。以下にさらに良く記載されるように、ラチェット歯２６は流体処理装置の相補的な部材と連動取付けができるように構成される。

連動取付け部材２４が軸方向に沿って、本体１２はさらに把持表面３２を含み取付け具を通路１４を貫通して延びる中心軸線に沿って把持し回転するのを容易にする。１つの実施態様では、把持表面３２は六角形の形状に構成され通常のレンチにより取付け及び回転ができるようにする。

把持表面３２から軸方向に沿って、取付け具本体１２は流体処理装置に取付けできるような構造とされる。実施態様では外側表面３４はねじが切られ流体処理装置の相補的な取付け部材と螺合により取付けできるようにする。本体の第１の端部と第２の端部に近接した取付け具本体の外側表面が典型的ではあるが１つの型の取付け機構のように構成されまたこの外側表面が記載され図示されたのとは異なるよう構成され２つの流体処理装置の間の取付け具本体の相互の連結ができるようにすることが理解される。

本体の第２の端部１８は流体処理装置との漏れのない取付けを形成するような構造とされる。実施態様では本体の第２端部１８はねじの切られた表面３４から軸方向端部へと軸方向に延びる滑らかな外側表面３６を有する構造となっている。この滑らかな表面３６と軸方向端部とはそれぞれその上に嵌められた管の端部（図示しない）に取付けできるような構造となっている。この管の端部は本体の第２端部１８の上に位置し、また内径に沿って同心の第２端部の滑らかな表面３４及び軸方向端部と、外径に沿って同心のナット（図示しない）との間に介挿される。このナットは第２端部のねじの切られた表面３４と螺合され管の内径を軸方向端部に当接させ漏れのないシールを形成する。

図２は流体輸送装置４４と共に流体又はガス輸送継手が得られるようにするのに用いられるような図１の取付け具４２を具備する取付け組立体４０を示している。取付け具４２はその本体の第１端部４６が流体処理装置の取付け口４８の方に向けられて配置される。取付け口４８は本体の第１端部のねじの切られた外側表面５０と相補的なねじの切られた壁表面を有する構造となっている。

流体輸送装置４４はさらに取付け口４８に近接して位置する１つ又は複数の連動取付け部材５２を含んでいる。実施態様では連動取付け部材５２は流体処理装置と一体で流体処理装置から外側に延びている１つ又は複数の突起の形式である。好ましい実施態様では、流体処理装置は相互に直径方向に対向して位置しまた取付けカラー２４に沿って配置されたラチェット歯５４と共働してラチェット歯とで一方向連動共働作用が得られるような構造となっている一対の突起５２を具備している。

流体処理装置は湿潤表面、すなわち取付け具を形成するのに用いられる同一の一般型の材料から構成された取付け開口を具備する分配マニホルド、弁、ポンプその他の形式とすることができる。半導体製造の工程に用いるため、流体処理装置は上記の同一型のフッ素重合体材料から形成された湿潤取付け開口を有している。

図３は流体処理装置５８に取付けられ第１の端部５９が流体処理装置の取付け開口６０の内部に係合された取付け具５６を具備する取付け組立体を示す。取付け具５６は流体処理装置に、本体の第１端部を流体処理装置の開口６０に挿入し本体と開口のねじの切られた表面とを係合させ取付け具と流体処理装置の一方を相互に対して回転させることにより、連結される。取付け具の第１の端部が装置の開口に螺合されるにつれて、突起６２が本体のラチェット歯６４と係合し始める。取付け具が装置の開口の中に引込まれるにつれて、突起６２はラチェット歯の表面の増大部分と係合し続ける。突起６２は、ラチェット歯と係合し制御された大きさだけ屈撓し突起が傾斜されたラチェット歯を通り越すことができるような特別の構造となっている。各ラチェット歯の段部表面６６が突起を横切り通過するにつれて、突起はラチェット歯の起立部６８と係合し取付け具が装置に対し反対方向に回転しないようにする。それにより、取付け具５６と装置５８との間に一方向の連動取付けが得られるようにする。上記の一方向連動取付けは突起６２を手で取付け具から半径方向外側に離すことにより解放される。

このように構成することにより、取付け具５６はその一方の端部が流体処理装置５８に接合することができ、また流体輸送作用の間に意図しないで弛められることのない流体処理装置との連動連結部を形成する。さらに、取付け具によって形成された連動連結部と流体処理装置は他の流体装置との取付け具第２端部のねじによる連結部を取外し又は弛める作用によって弛むことがなくなる。

図４は取付け具７０と流体処理装置７２との間に形成された取付け組立体相互連結部を断面で示す。上記のように、取付け具本体７４の第１端部のねじの切られた外側表面７６は装置取付け開口８０の相補的なねじの切られた壁表面７８と螺合により係合する。取付け具本体は、本体から半径方向に延びラチェット歯を具備するカラー８２がねじの切られた外側表面７６から十分に距離をおいて位置しカラーと取付け開口８０の近くの装置の隣接表面８４との間に所望の間隙ができるような構造となっている。この間隙は、突起８６が装置から半径方向外側に屈撓することができ突起の基部に沿って不必要な応力が生じないで本体のラチェット歯８８と共働することができるように設けられる。

さらに、取付け具の第１端部は所望の軸方向の長さを有するよう構成されそれにより本体の第１端部から軸方向に突出する舌片９０が装置の取付け開口の基部内部に配設された溝９２に完全に係合しまたこの係合により取付け具が装置に挿入できる長さ、が規定されるようにする。好ましい実施態様では、舌片９０は溝９２の幅より僅かに大きい壁の厚さを有し舌片が溝に係合したときその間に締まり嵌めが形成されるような大きさとされる。この舌片と溝との係合は取付け具と装置の開口との間に漏れのないシールを提供しそれにより流体が取付け具の流体輸送通路９４又は装置の流体輸送通路９６から取付け具と装置の開口との螺合表面に通過するのを阻止するようにする。したがって、流体が連結された組立体から周囲の環境に漏れ出る可能性を減少し又はなくするのを助ける。

特定の連動部材構造を具備する取付け具と流体処理装置は上記のように記載され図１から４に図示されてきた。上記のようにこの取付け具の実施態様は代表的なものであるが連動部材構造の１つの型にすぎず、また他の型の連動部材構造が本発明の範囲であることが意図されることが理解されるべきである。

図５は流体処理装置１０２に連結される本発明の取付け具１００を具備する他の実施態様の取付け組立体９８を示す。上記の図２から４に図示された取付け組立体とは異なり、この取付け組立体は一体でない連動取付け部材を具備する流体処理装置を用いる。１つの実施態様では、別体の連動取付け部材は、取付け開口に近接した流体処理装置の表面１０８の内部に配置されたピン開口１０６の中に置かれる大きさの１つ又は複数のピン１０４の形式となっている。好ましい実施態様では２つのピン１０４が用いられまたピン開口１０６が取付け開口１１０を横切って相互に直径方向反対側に位置している。ピンは取付け具のラチェット歯１１２と共働する大きさとなっている。

図６は流体処理装置１０２に取付けられ取付け具の第１端部１１４が流体処理装置の取付け開口１１０の内部と係合している取付け具１００を具備する取付け組立体を示す。取付け具１００は図３に示される組立体について上記したのと同じ方法で流体処理装置に、本体の第１端部を流体処理装置の開口１１０に挿入し本体と開口のねじの切られた表面とを係合し取付け具と流体処理装置の一方を相互に対して回転することにより、連結される。

図６に加えて図１を参照すると、取付け具の第１の取付け端部１４が装置の開口１１０の中に完全に配置されそれにより第１の取付け具端部の舌片１１６が溝１１８と完全に係合するようになっている。完全の舌片と溝との係合が達成されると、ピン１０４はラチェットの歯の起立部１２０と当接して位置しピン開口１０６の中に配置され、それにより取付け組立体を流体処理装置と連動させ意図しない弛みが生じないようにする。

本発明の取付け具はその一方の端部が単一の大きさの流体装置にその反対側の端部が多種の大きさの流体装置に取付けできるように、すなわち万能取付け具を提供するよう構成することができる。本発明の典型的な取付け具はしたがって、（１）第１の端部の名目上の寸法が１／４インチ（６．３５mm）、通路寸法が１／４インチ（６．３５mm）、異なる大きさの第２の端部が１／４インチ（６．３５mm）と３／８インチ（９．５３mm）、（２）第１の端部の名目寸法が１／２インチ（１２．７mm）通路寸法が３／８インチ（９．５３mm）、異なった寸法の第２の端部が１／４、３／８、及び１／２インチ（６．３５mm、９．５３mm、及び１２．７mm）、（３）第１の端部の名目寸法が３／４インチ（１９．０５mm）、通路寸法が５／８インチ（１５．８８mm）、異なった大きさの第２の端部が１／２、及び３／４インチ（１２．７mm及び１９．０５mm）、及び（４）第１の端部の名目寸法が１インチ（２５．４mm）、通路寸法が７／８インチ（２２．２３mm）、異なった大きさの第２端部が３／４及び１インチ（１９．０５mm及び２５．４mm）である。これらは本発明の取付け具をどのような寸法として万能取付け具の機能が得られるようにするかを示す代表的な例にすぎない。

万能の又は適合する機能を有する取付け具を提供する能力は重要であるがその理由はこの能力が、流体輸送取付け部が２つの異なった大きさの流体処理装置の間に費用効果的なやり方で、すなわち等しい大きさの流体処理装置を設けるのを必要とすることに関連する過剰の費用をなくすことにより、形成することができるようにするからである。

連動取付け部材を具備する本発明の取付け具は、取付け具が流体輸送作用により又は流体処理装置を反対側の取付け具の端部から弛める作用により流体処理装置から弛められる可能性を最小にし又はなくする流体処理装置に対する解放自在の連動取付け部を提供する。これにより、流体又はガスの漏れと流失の可能性と、弛められた取付け具から生じる関連の環境及び安全上の危険とをなくすことができる。さらに、流体処理装置に舌片と溝による連結部を提供する本発明の取付け具はまた、取付け具と流体処理装置とから最終的には周囲の環境へのガス又は流体の漏れの可能性を最小にし又はなくするのを助ける。

したがって、特許請求の範囲の範囲内で、本発明の原理により構成された万能取付け具はここに詳細に記載されたもののほかに具体化できることが理解されるべきである。

本発明の取付け具の斜面図である。 第１の連動機構を有する流体処理装置を備えた図１の取付け具の分解斜面図である。 図２の流体処理装置に取付けられる図１と２の取付け具を具備する取付け組立体の斜面図である。 図３の取付け組立体の切断側面図である。 第２の連動機構を有する流体処理装置を備えた図１の取付け具の分解斜面図である。 図５の流体処理装置に取付けられる図１と図５の取付け具を具備する取付け組立体の斜面図である。 図６の取付け組立体の切断側面図である。

符号の説明

１０ 取付け具
１２ 取付け具本体
１４ 輸送通路
１６ 本体の第１端部
１８ 本体の第２端部
２０ 外側表面
２２ 舌片
２４ 連動取付け部材
２６ ラチェット歯
２８ 段部
３０ 起立部
３２ 把持表面
３４ 外側表面
３６ 滑らかな外側表面
４０ 取付け組立体
４２ 取付け具
４４ 流体輸送装置
４８ 取付け口
５２ 連動取付け部材

Claims (22)

1. 本体の第１の端部と第２の端部との間に貫通して延びる実質的に中空の輸送通路を有する本体であって、第１及び第２の端部が各流体処理装置に取付けることができるようになっている本体と、
   本体の外側表面に沿って配置された取付け具把持手段と、
   取付け具が流体処理装置に連結された時流体処理装置の相補的な部材とで連動取付け部を形成するようになっている、本体の外側表面に沿って配置された連動取付け部材と、
   取付け具が流体処理装置に連結された時取付け具と流体処理装置との間に漏れのないシールを提供する手段
   とを具備している取付け具。
2. 取付け具把持手段が六角形の本体の外側表面部分からなる請求項１に記載の取付け具。
3. 連動取付け部材が外側表面の周りに配置されたカラーからなり、該カラーがカラーに沿って配置された複数のラチェット歯を有している請求項１に記載の取付け具。
4. 第１の端部がねじの切られた外側表面を有し漏れのないシールを提供する手段が第１の端部から軸方向に突出する円筒形の舌片を具備している請求項１に記載の取付け具。
5. 第２の端部に近接するねじの切られた外側表面を具備し、第２の端部が第１の端部とは異なった大きさとなっている請求項４に記載の取付け具。
6. 取付け具把持手段と連動取付け部材と漏れのないシールを提供する手段とが全て本体と一体となっている請求項１に記載の取付け具。
7. 本体がフッ素重合体材料から形成されている請求項１に記載の取付け具。
8. 本体の第１の端部と第２の端部との間に貫通して延びる中空の輸送通路を有する実質的に円筒形の本体であって、第１及び第２の端部が各流体処理装置に取付けることのできる該端部に近接したねじの切られた外側表面を有し、第１の端部が端部から所望距離で軸方向に突出する舌片を含み、取付けられた流体処理装置とで漏れのないシールを提供する、円筒形本体と、
   本体の外側表面に沿って配置された取付け具の把持手段と、
   本体の第１の端部に取付けられた流体処理装置とで解放自在の連動取付け部を形成するようになっている本体の外側表面に沿って配置された連動取付け手段
   とを具備し、
   本体が重合体材料から形成されている、
   取付け具。
9. 把持手段と連動取付け手段とが本体の第１及び第２の端部に近接するねじの切られた外側表面の間に介挿されている請求項８に記載の取付け具。
10. 把持手段と連動取付け手段とが本体と一体である請求項８に記載の取付け具。
11. 連動取付け手段が本体から半径方向外側に一定距離で延びるカラーを具備し、該カラーが第１の端部に取付けられた流体処理装置の部材と相互に作用し流体処理装置とで解放自在の連動取付け部を形成するようになっている表面を含んでいる請求項８に記載の取付け具。
12. カラーの表面が複数のラチェット歯を具備している請求項１１に記載の取付け具。
13. 舌片が第１の端部に取付けられた流体処理装置の内部に配置された溝の半径方向の壁厚より大きい半径方向の壁厚を有するような大きさとなっている請求項８に記載の取付け具。
14. 本体の第１の端部と第２の端部との間に貫通して延びる中空の輸送通路を有する実質的に円筒形の本体であって、第１及び第２の端部が各流体処理装置に取付けることのできる該端部に近接したねじの切られた外側表面を有し、第１の端部が該端部から軸方向に所望の距離だけ突出し取付けられた流体処理装置とで漏れのないシールを提供する舌片を含んでいる、円筒形の本体と、
    本体の外側表面の周りに配置されまた本体の第１及び第２の端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿され取付け具を把持し回転する六角形のカラーと、
    本体の外側表面の周りに配置されまた第１及び第２の本体の端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿された連動取付けカラーであって、該カラーに沿って配置され本体の第１の端部に取付けられた流体処理装置の部材と整合する複数のラチェット歯を具備し流体処理装置とで解放自在の連動取付け部を形成する、連動取付けカラー
    とを具備し、
    六角形のカラーと連動取付けカラーとがそれぞれ本体と一体であり、
    本体が重合体材料から形成されている、
    取付け具。
15. 重合体材料がフッ素重合体である請求項１４に記載の取付け具。
16. 舌片が、第１の端部に取付けられた流体処理装置の内部に配置された溝の半径方向の壁厚より大きな半径方向の壁厚を有する大きさである請求項１４に記載の取付け具。
17. 取付け具と流体処理装置とからなる取付け組立体であって、
    取付け具が
    本体の第１の端部と第２の端部との間に貫通して延びる実質的に中空の輸送通路を有する本体と、
    本体の外側表面に沿って配置された取付け具を把持する手段と、
    取付け具が流体処理装置に連結された時流体処理装置の相補的な部材とで連動取付け部を形成するようになっている本体の外側表面に沿って配置された連動取付け部材
    とを具備し、
    流体処理装置が
    内部に配置された取付け開口を有し取付け具の本体の第１の端部が該取付け開口の内部に配置されている本体と、
    流体処理装置から延び取付け具の連動取付け部材と整合し解放自在の連動連結部を間に得るようにする連動取付け部材
    とを具備している、
    取付け組立体。
18. 取付け具本体と少なくとも流体処理装置の取付け開口とがそれぞれ重合体材料から形成されている請求項１７に記載の取付け組立体。
19. 本体の第１の端部が該端部から一定距離だけ軸方向に突出する舌片を含み、該舌片が取付け開口の基部に沿って配置された溝の中に位置し、舌片と溝による取付け部が取付け具と流体処理装置との間に漏れのないシールを提供する請求項１７に記載の取付け組立体。
20. 取付け具の連動取付け部材が本体の外側表面に沿って配置された複数のラチェット歯を具備し、流体処理装置の連動取付け部材がラチェット歯と整合しラチェット歯との間に解放自在の連動連結部が得られるようにする突起を具備している請求項１７に記載の取付け組立体。
21. ラチェット歯が本体の外側表面から半径方向外側に突出している請求項２０に記載の取付け組立体。
22. 取付け具と流体処理装置とからなる取付け組立体であって、
    取付け具が、
    本体の第１の端部と第２の端部との間に貫通して延びる中空の輸送通路を有する実質的に円筒形の本体であって、第１及び第２の端部が該端部に近接して位置するねじの切られた外側表面を有し、第１の端部が該端部から軸方向に所望距離だけ突出する舌片を含んでいる、円筒形の本体と、
    本体の外側表面の周りに配置されかつ第１及び第２の本体端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿され取付け具を把持し回転するカラーと、
    本体の外側表面の周りに配置されかつ第１及び第２の本体端部に近接したねじの切られた外側表面の間に介挿された連動取付けカラーであって、該カラーに沿って配置された複数のラチェット歯を具備し、取付け具を把持回転するカラーと連動取付けカラーとがそれぞれ本体と一体であり、本体が重合体材料から形成されている、連動取付けカラー
    とを具備し、
    流体処理装置が
    ねじの切られた取付け開口を有し該開口の基部の内部に溝が配置されている本体であって、取付け具の本体の第１の端部が該取付け開口の内部に配置され前記舌片が該溝の中に配置され該溝との間に漏れのないシールが得られるようにする、本体と、
    流体処理装置の本体から延びかつ１つ又は複数の前記ラチェット歯と整合し取付け具と流体処理装置との間に解放自在の連動連結部が得られるようにする連動取付け部材
    とを具備し、
    少なくとも取付け開口が重合体材料から形成されている、
    取付け組立体。

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