KR100273843B1

KR100273843B1 - 집적화용 가스 제어기기

Info

Publication number: KR100273843B1
Application number: KR1019970048631A
Authority: KR
Inventors: 미요시 기무라
Original assignee: 나카니시 마사히고; 가부시키가이샤 벤칸
Priority date: 1996-09-30
Filing date: 1997-09-22
Publication date: 2000-12-15
Also published as: US6073646A; TW397909B; KR19980024937A

Abstract

본 발명은, 반도체용 고순도 가스 공급계에 있어, 가스라인을 분해하는 일이 없이 간단히 탈착할수 있게 한 집적화용 가스제어기기에 관한 것으로 이 집적화용 가스 제어기기는, 본체를 종형으로 하고, 하부의 몸체에 가스 유입통로, 가스 유출통로를 형성하고, 몸체의 외주에 너트를 설치하여, 몸체를 가스 유입통로와 가스 유출통로를 소유하는 유로블록의 구멍에 삽입함과 동시에, 양자간에 실링재를 개재시켜, 몸체를 너트에 의해 유로블록에 나착한다. 몸체의 외주에 설치한 너트에 의해 유로블록에 나착하므로 너트1개를 풀었다, 조였다만 하면 가스 라인을 분해하는 일이 없이 탈착할 수가 있다.

Description

집적화용 가스 제어기기

본 발명은, 반도체용 고순도 가스 공급계의 가스 제어장치에 있어, 가스의 공급제어, 가스의 정화 등의 소망하는 용도로 패널상에 집적화 하여 사용되는 집적화용 가스 제어기기에 관한 것이다.

종래, 반도체용 고순도 가스 공급계의 가스 제어장치는, 예컨대, 도 1에 도시하듯이, 패널(70)상에 가스 상류 측에서 필터(74), 밸브(73), 블록밸브(72), 매스프로우콘트롤러(71)의 순으로 설치된 가스라인(75)이 병렬로 다수 배설되어 가득 찬 상태로 집적화되어 있다. 상기 가스라인(75)의 각 가스제어기기는, 정기 교환부품이며, 가득 찬 장소에서의 탈착작업은 대단히 귀찮으며 시간이 걸린다. 예컨대, 횡형으로 구성된 필터(74)를 해체함에는 그 양측의 2개소의 나사부(76)(77)를 풀고, 다시 실링면을 상처 입히지 않기 위하여 가스라인(75)을 부분적으로 풀어야 한다. 그러므로 필터 1개를 탈착하는데, 예컨대 하류 측의 밸브 등의 기기를 고정하고 있는 나사의 전부를 풀어야하며 사용자에 의해 정기 보수, 교환 등의 작업을 시행함에는 곤란한 문제점이 있었다.

또 자동다이아프램밸브는 도시되어 있지 않으나 본체 부분을 유로블록에 4개의 볼트로 설치하기 때문에 이 설치에 시간이 걸리고, 더욱이 유로블록을 좁은 공간 속에서 배관계에 설치할 때 하면에 메탈 C링이나 가스켓 등을 개재시켜 역시 4개의 볼트로 체결하기 때문에 설치에 시간이 걸리고 그 이외에 각 볼트의 체결력을 각각 잘 균형을 맞추지 않으면 하면의 결합부에서 가스가 누출되기 쉬워 신뢰성이 결여된다.

또 집적화 때문에 유로블록에 자동다이아프램밸브를 복수로 설치하여 다수의 밸브로 한 것도 있으나 1개의 밸브를 보수하는데도 전부를 교환하여야 되기 때문에 비경제이며 더욱이 복수 개의 볼트로 설치되어 있기 때문에 실링을 확보하기 위한 체결이 힘들다.

본 발명의 목적은 가스라인을 분해하지 않고 간단히 탈착할 수 있어 사용자라도 정기보수, 교환 등의 유지보수를 간단히 할 수 있으며 그 이외에 콤팩트화를 도모할 수 있어 가스라인에서의 공간을 생략할 수 있게 한 집적화용 가스제어기기를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 기기의 설치에 있어서, 결합부의 기밀한 실링성을 확보할 수 있어 신뢰성을 향상시킬 수 있게 한 집적화용 가스제어기기를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 기기 본체의 유로블록에 대한 탈착시 나사부에서 생기는 티끌 등이 유로블록의 설치구멍에서 가스 유로계에 침입하지 않게 하여 신뢰성을 향상시킬 수 있게 한 집적화용 가스제어기기를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 집적화 가스패널에 있어서의 가스라인의 일 예를 표시하는 평면도

도 2는 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제1의 실시 형태를 표시하며, 필터유니트에 적용한 요부 종단면도

도 3은 도 2에 표시한 필터유니트에 사용하는 가스켓의 일 예를 표시하는 평면도

도 4는 도 2에 표시하는 필터유니트에 사용하는 가스켓의 다른 예를 표시하는 평면도

도 5는 도 2에 표시하는 필터유니트의 탈착 동작 설명도

도 6은 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제1의 실시 형태를 표시하며, 자동 다이아프램밸브에 적용한 요부 종단면도

도 7은 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 자동 다이아프램밸브에 적용한 요부 종단면도

도 8은 도 7의 자동 다이아프램밸브에 있어서의 가스켓 삽입 부분을 표시한 A - A 선단면도

도 9는 도 8의 B - B 선단면도

도 10은 본 발명의 집적화용 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 터글형 수동 다이아프램밸브에 적용한 요부 종단면도

도 11은 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 필터유니트에 적용한 요부 종단면도

도 12는 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 체크밸브 부착 자동 다이아프램밸브에 적용한 요부 종단면도

도 13은 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 레귤레이터에 적용한 요부 종단면도

도 14는 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제2의 실시 형태를 표시하며, 매스프로우콘트롤러에 적용한 요부 종단면도

도 15는 본 발명의 집적화용 가스 제어기기의 제 2의 실시 형태를 표시하며, 매스프로우미터에 적용한 요부 종단면도

〈도면의 주요부분에 대한 부호와 설명〉

1.필터유니트 2.본체 3.필터미디어 4.몸체

5.돌출부 6.하우징 7.13.가스유입통로 8.14.가스유출통로

9.돌출테 10.너트 10a.바깥나사 11.유로불록

12.설치구멍 15.16.접합면 17.18.20.가스통로구멍 19.21.가스켓

31.자동다이아프램밸브 32.구동부 33.밸브몸체

34.가스유입통로 35.가스유출통로 36.변좌시트

37.다이아프램 38.압압피스 39.보닛

40.돌기 41.접속부외통 42.피스톤 43.45.돌출테

44.접합면 46.너트 46a.나사 46b.계합부

47.돌출부 47a.나사 48.49.가스통로구멍 50.가스켓

51.홈 61.터글형수동다이아프램밸브 62.체크밸브

63.체크밸브부착자동다이아프램밸브 94.레귤레이터

65.매스프로우콘트롤러 66.매스프로우미터

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 집적화용 가스 제어기기는 종형으로 구성되어, 하부의 몸체에 가스유입통로 및 가스유출통로를 소유하는 가스제어기기의 본체와 전기 몸체의 외주에 설치된 너트와, 전기 몸체가 삽입되는 상향 개구의 설치구성이 있으며, 전기 몸체의 가스유입통로와 가스유출통로에 연통되는 가스유입통로와 가스유출통로를 가지고 있으며, 전기 몸체가 전기 설치구멍에 삽입됨과 동시에 전기 가스유입통로군과 가스유출통로군이 각각 연통된 상태로서 전기 너트에 의해 전기 몸체가 나착되는 유로블록과 전기 가스제어기기의 본체와 전기 유로블록의 나착에 있어 양자간에 설치되는 실링수단을 비치한 것을 특징으로 하는 것이다.

그리고 전기 집적화용 가스제어기기로서, 자동다이아프램밸브, 터글형 수동다이아프램밸브, 필터유니트, 체크밸브 부착 자동다이아프램밸브, 레귤레이터, 매스프로우콘트롤러, 매스프로우미터 등을 사용할 수 있다.

또 전기 구성에 있어 너트 바깥쪽에 나사를 형성하여 유로블록의 설치구멍의 내측에 나착이 가능하며, 또는 너트 안쪽에 나사를 형성하여 유로블록의 원통상 돌출부의 외측에 나착이 가능하다.

또 전기 구성에 있어 실링수단으로서 본체의 몸체와 유로블록과의 접합면에 개재시켜 가스통로구멍이 있는 가스켓의 사용이 가능하며 이 경우 전기 가스켓으로서 가스 유입 측의 가스 통로구멍과 가스 유출 측의 가스 통로구멍을 소유하는 일체형으로 구성하고 또는 가스 통로구멍을 소유하는 가스켓 2개를 리테이너로 결합 지지하게끔 구성이 가능하다.

또 전기 구성에 있어 실링수단으로서 기기의 몸체의 하부와 이에 대향하여 주연보다 높게 돌출하게끔 형성한 유로블록에 있어서의 설치구멍의 돌출형의 저면과의 사이에 개재시켜 가스 통로구멍을 소유한 가스켓을 사용할 수가 있으며 이 경우 전기 가스켓으로서 가스 유입 측의 가스 통로구멍과 가스 유출 측의 가스 통로구멍을 소유하는 일체형으로서 몸체 하면의 홈에 삽입되어 위치 결정이 되도록 구성할 수 있다.

이상 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하며 설명한다.

먼저 바깥쪽에 나사를 형성한 너트를 사용한 제1의 실시 형태에 대하여 설명한다.

도2에 있어 1은 반도체용 고순도 가스공급계의 가스제어장치에 있어 가스라인에 사용되는 필터유니트이다. 이 필터유니트(1)의 본체(2)는 종형으로 구성되어 있다. 그 일 예로서 원통상의 머리부를 소유하는 필터미디어(3)의 하단 개방부가 몸체(4)의 상면 중앙의 돌출부(5) 위에 고정되어 필터미디어(3)를 덮듯이 그 외측에 동심 상으로 원통상의 하우징(6)이 배치되어 이 하우징(6)의 하단 개방부가 몸체(4)의 상면 외주부에 고정되어 있다. 몸체(4)의 중심부에 필터미디어(3)의 내측으로 연통하는 가스유입통로(7)가 수직방향으로 형성되어 몸체(4)의 반경 방향으로 비키어 놓은 위치에서 필터미디어(3)의 외측과 하우징(6)과의 사이에 연통하는 가스 유출통로(8)가 수직방향으로 형성되어 있다. 몸체(4)의 외주 하부에 돌출테(9)가 설치되어 이 돌출테(9)의 상측의 외주에 너트(10)의 하부가 감합되어 있다. 너트(10)는 상단부 외주에 돌출테부를 소유하며 하부 외주에 바깥나사(10a)를 소유하고 있다.

이렇게 구성된 본체(2)의 몸체(4)가 유로블록(11)으로 형성된 상향 개구의 원형의 설치구멍(12) 내에 삽입되어 너트(10)의 바깥나사(10a)가 설치구멍(12)의 상부에 형성된 나사부(12a)에 나착되어 본체(2)가 유로블록(11)에 설치되어 있다. 이 상태로 몸체(4)의 가스유입통로(7)와 유로블록(11)의 가스유입통로(13)가 연통되게 대응되고 몸체(4)의 가스유출통로(8)와 유로블록(11)의 가스유출통로(14)가 연통되게 대응되어 있다. 몸체(4)와 하단의 접합면(15)과 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 저부접합면(16)은 장원형으로 형성되어 접합면(15)측의 돌출부가 접합면(16)측의 요홈부에 감합되어 양 접합면(15)(16)의 사이에 도3의 도시와 같이 장원형의 가스켓(19)이 개재되어 있다. 이 가스켓(19)은 중앙에 가스 유입 측의 가스통로구멍(17)과 그 양측에 가스 유출 측의 가스통로구멍(18)을 소유하는 일체형으로 형성되어 가스통로구멍(17)이 가스유입통로(7)와 가스유입통로(13)를 연통 시켜, 일방의 가스통로구멍(18)이 가스유출통로(8)와 가스유출통로(14)를 연통시키고 있다. 그리고 이 가스켓(19)이 접합면(15)(16)에 의해 협착되어 접합면(15)(16)이 실링되어 있다. 전기와 같이 가스켓(19)의 가스 유출 측의 가스통로구멍(18)은 2개 중, 1개가 사용되며, 다른 1개는 사용되지 않으나 접합면(15)(16)사이에 개재시킬 때에 그 방향을 결정할 필요가 없고, 또, 전면 균등한 체착력에 의해 협착할 수 있음과 동시에 장원형 으로 되어 있으므로 더 이상 회전되지 않게 하는 효과도 있다. 또, 상기 가스켓(19)은 가스 유입용의 가스통로구멍(17)과 가스 유출용의 가스통로구멍(18)을 소유하는 일체형으로 형성하고 있으나, 그 변형 예로써 도4에 표시하듯이 가스통로구멍(20)을 소유하는 가스켓(21)을 S자형의 리테이너(22)에 2개 결합 지지한 것도 좋다. 그 경우, 접합면(15)(16)의 형상은 2개의 가스켓(21)에 상응하는 장원형으로 형성된다.

상기와 같이 구성된 필터유니트(1)에 있어서는 가스가 유로블록(11)의 가스유입통로(13)에서 가스켓(19)의 가스통로구멍(17), 몸체(4)의 가스유입통로(7)를 통하여, 필터미디어(3)의 내측으로 들어간다. 여기에서 필터미디어(3)를 투과하여 그 사이에 청정화 되어, 필터미디어(3)와 하우징(6)과의 사이에서 몸체(4)의 가스유출통로(8), 가스켓(19)의 가스통로구멍(18)을 통하여 유로블록(11)의 가스유출통로(14)에서 빠져 나간다.

상기 구성의 필터유니트(11)는, 몸체(4)의 외주에 설치되어 바깥나사(10a)를 소유하는 너트(10)에 의해 유로블록(11)에 나사 결합되어 있으므로 도5에 표시하듯이, 전용공구(25)에 의해 너트(10)를 풀고, 조임만으로 유로블록(11)에 있어서의 본체(2)의 탈착을 간단히 할 수가 있어, 종래와 같이 가스라인을 분해 할 필요가 없다. 또, 본체(2)의 몸체(4)의 접합면(15)과 유로블록(11)의 접합면(16)과의 사이에 개재시킨 가스켓(19)이 너트(10)만의 체착에 의해 균등하게 체착되므로 기밀한 실링성을 확보 할 수 있다. 그러므로, 사용자라도 정기 보수, 교환 등의 유지 보수를 간단히 할 수가 있다. 또, 필터유니트(1)의 본체(2)가 종형으로써, 콤팩트하게 되어 있으므로 가스라인에서의 공간의 생략을 도모 할 수가 있다.

도6에 있어, 31은 자동다이아프램벨브로써, 구동부(32)와 밸브몸체(33)에 의해 성립된다. 밸브몸체(33)는 저면에 있는 통상으로써, 저부 중심부에 가스유입통로(34)가 수직 방향으로 형성되어 그 측방에서 가스유출통로(35)가 수직 방향으로 형성되어 있다. 가스유입통로(34)의 상단 개구연에는 변좌시트(36)가 가스가 누출되지 않게 고정되어 있다. 이 변좌시트(36)에 밸브인 다이아프램(37)이 압압피스(38)의 압압에 의해 밀착됨에 의해 밸브가 폐쇄되어 압압피스(38)에 의한 다이아프램(37)에 대한 압압력이 해제되어 다이아프램(37)이 변좌시트(36)에서 이격됨에 의해 밸브가 개방되게 되어 있다.

더욱이, 도 6중 39는 다이아프램(37)의 주연부를 몸체(33)내의 저면 주연의 돌기(40)에 압압하는 보닛, 41은 보닛(39)을 단단히 조이는 구동부(32)의 접속부외통, 42는 압압피스(38)를 압압하는 구동부(32)의 피스톤이다.

밸브몸체(33)의 외주 하단에는 돌출테(43)가 설치 되어 이 돌출테(43)의 상측의 외주에 너트(10a)가 감합되어 있다. 너트(10)는 상단부 외주에 돌출테부를 소유하며 하부 외주에 바깥나사(10a)를 소유하고 있다. 밸브몸체(33)가 유로블록(11)에 형성된 상향 개구의 원형의 설치구멍(12)에 삽입되어 너트(10)의 바깥나사(10a)가 설치구멍(12)의 상부의 나사부(12a)에 나착되어 밸브몸체(33)가 유로블록(11)에 설치되어 있다. 이 상태로 밸브몸체(33)의 가스유입통로(34)와 유로블록(11)의 가스유입통로(13)가 연통되게끔 대응되어 밸브몸체(33)의 가스유출통로(35)와 유로블록(11)의 가스유출통로(14)가 연통되게끔 대응되어 있다. 밸브몸체(33)의 하단의 접합면(44)과 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 저부접합면(16)은 전기와 같이 장원형으로 형성되어 요철에 의해 감합되어 이들의 접합면(44)(16)사이 중간에 가스 유입 측의 가스통로구멍(17)과 그 양측에 가스유출측의 가스통로구멍(18)을 소유하는 가스켓(19)이 협착된 상태로 개재되어, 가스통로구멍(17)이 가스유입통로(34)(13)를 연통시킴과 동시에 일방의 가스통로구멍(18)이 가스유출통로(35)(14)를 연통시킨 상태로 접합면(14)(16)이 실링되어 있다.

더욱이, 상기 가스켓(19)으로 교체하여 도4에 표시하는 바와 같이 가스통로구멍(20)을 소유하는 가스켓(21)을 S자형의 리테이너(22)에 2개 결합 지지한 것을 사용하여도 좋은 것은 상기 실시 형태와 같다.

상기와 같이 구성된 자동다이아프램밸브(31)에 있어서는 밸브의 개방시 가스가 유로블록(11)의 가스유입통로(13)에서 가스켓(19)의 가스통로구멍(17), 몸체(33)의 가스유입통로(34)를 통하여 몸체(33)의 내측에 들어 간다. 여기에서 몸체(33)의 가스유출통로(35), 가스켓(19)의 가스통로구멍(18)을 통하여 유로블록(11)의 가스유출통로(14)에서 빠져 나간다.

상기와 같이 구성된 자동다이아프램밸브(31)에 있어서는 밸브몸체(33) 자체가 그 외주에 설치된 바깥나사(10a)를 소유하는 너트(10)에 의해 유로블록(11)에 나사결합되어 있으므로 상기와 같은 전용공구를 이용하여 너트(10)를 풀고, 조이고 할 뿐으로 유로블록(11)과 밸브몸체(33)의 탈착을 간단히 할 수가 있어 자동다이아프램밸브(31)나 가스라인을 분해할 필요가 없다. 또 밸브몸체(33)의 접합면(44)과 유로블록(11)의 접합면(16)과 사이에 개재한 가스켓(19)이 너트(10)만으로 단단히 조임으로써 균등하게 단단히 조여짐으로 실링성이 향상한다. 그러므로 사용자라도 정기 보수, 교환 등의 유지보수를 간단히 할 수 있다. 또 본체를 종형으로 되게끔 배분하고 있어 콤팩트하게 되므로 가스라인의 공간의 생략을 도모 할 수 있다.

더욱, 바깥나사(10a)를 소유하는 너트(10)를 이용하여 기기 본체를 유로블록(11)에 설치하게 한 본 실시 형태에 있어서는 적용하는 기기의 예로써 필터유니트(1), 자동다이아프램밸브(31)만을 표시하였으나 이 외에 반도체용 고순도 가스 공급계의 가스 제어장치에 사용하는 터글형 수동 다이아프램밸브, 체크밸브 부착 자동다이아프램밸브, 레귤레이터, 매스프로우콘트롤러, 매스프로우미터 등에도 동일하게 적용할 수 있다.

다음에 안나사를 소유한 너트를 이용한 본 발명의 제2의 실시 형태에 대하여 설명한다.

도7에 있어, 31은 자동다이아프램밸브이며, 도6에 표시하는 상기 실시 형태와 동일한 구성이므로 같은 부분에는 같은 부호를 부착하여 그 설명을 생략하고 주로 다른 구성에 대하여 설명한다.

몸체(33)의 상부 외주에 돌출테(45)가 설치되어 몸체(33)의 상부에 너트(46)가 감합되어 있다. 너트(46)의 상단부 내주에 돌출된 계합부(46b)가 돌출테(45)의 상면에 계합되어 있다. 너트(46)의 하부 내측에 나사(46a)가 형성되어 있다. 몸체(33)의 하부가 유로블록(11)의 원통상돌출부(47)의 내방에 형성된 상향 개구의 원형의 설치구멍(12)내에 삽입되어 너트(46)가 원통상돌출부(47)의 외주면에 형성된 나사(47)에 나착되므로써 너트(46)의 계합부(46b)로 몸체(33)의 돌츨테(45)가 유로불록(11)의 원통상돌출부(47)의 상단면에 압압되어 몸체(33)가 유로블록(11)에 설치되어 있다. 이 상태로써 몸체(33)의 가스유입통로(34)와 유로블록(11)의 가스유입통로(13)가 연통되는 상태로 대응되어 몸체(33)의 가스유출통로(35)와 유로블록(11)의 가스유출통로(14)가 연통되는 상태로 대응되어 있다. 몸체(33)의 하면의 접합면과 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 저부 접합면과의 사이에는 도8에 표시하듯이 가스 유입측의 가스통로구멍(48)과 가스 유출측의 가스통로구멍(49)을 소유하는 가스켓(50)이 협착된 상태로 개재되어 상호 접합면이 실링되어 있다. 설치구멍(12)의 저면은 주면보다 높아지게 돌출형으로 형성되어 가스켓(50)은 도8, 도9에 표시하듯이 장방형으로 형성되어 몸체(33)의 하면에 형성된 홈(51)에 삽입되어 위치 결정되어 있다. 또, 가스켓(50)은 필요에 따라 리테이너를 사용하여 위치 결정하여도 좋다.

상기와 같이 구성된 자동다이아프램밸브(31)에 있어서는 밸브의 개방시 가스가 유로블록(11)의 가스유입통로(13)에서 가스켓(50)의 가스통로구멍(48), 몸체(33)의 가스유입통로(34)를 통하여 몸체(33)의 내측으로 들어 간다. 이곳에서 몸체(33)의 가스유출통로(35), 가스켓(50)의 가스통로구멍(49)을 통하여 유로블록(11)의 가스유출통로(14)에서 빠져 나간다.

상기 구성의 자동다이아프램밸브(31)는 몸체(33)의 외주에 설치되어 안나사(46a)를 소유하는 너트(46)에 의해 유로블록(11)에 나착되므로 상기와 동일한 전용공구를 사용하여 너트(46)를 풀고 조이고 할 뿐으로써 유로블록(11)에 있어 본체의 탈착을 간단히 할 수 있으며 종래와 같이 가스라인을 분해할 필요가 없고 그 위에 몸체(33)의 돌출테(45)를 유로블록(11)의 원통상돌출부(47)의 상단면에 압압한 상태로 본체를 너트(46)에 의해 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 외측에서 나착하므로 본체의 탈착시 생기는 나사부의 티끌등이 유로블록(11)의 설치구멍(12)에 들어가는 일이 없고 가스 유입계에 들어가는 일이 없다. 또 본체의 몸체(33)의 하면과 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 저면과의 사이에 개재한 가스켓(50)이 너트(46)만으로 단단히 조임에 의해 균등하게 단단히 조여지므로 기밀한 실링성을 확보할 수 있다. 그리고 유로블록(11)의 설치구멍(12)의 저면을 돌출형으로 하였으므로 본체 하부의 몸체(33)의 탈착시에 가스켓(50)의 실링면에 면지의 침입, 고임이 생기는 것을 방지할 수 있다. 그러므로 사용자라도 정기 보수, 교환 등의 유지보수를 간단히 할 수 있다. 더욱이 자동다이아프램밸브(31)의 본체(32)가 종형으로 가스패널에 배치되어 콤팩트하게 되므로 가스라인에서의 공간의 생략을 도모 할 수 있다.

이상 진술한 안나사를 소유한 너트(46)를 이용한 본 발명의 제2의 실시 형태에 있어서는 집적화용 가스 제어기기로써 자동다이아프램밸브(31)에 적용한 경우이나 터글형 수동다이아프램밸브(61)의 경우에는 도10에 표시한바와 바와 같이 구성되고, 필터유니트(1)의 경우에는 도11에 표시하는바 같이 구성되며, 체크밸브(62) 부착 자동다이아프램밸브(63)의 경우에는 도12에 표시하는바와 같이 구성되고, 레귤레이터(64)의 경우에는 도13에 표시하는바와 같이 구성되며 매스프로우콘트롤러(65)의 경우에는 도14에 표시하는바와 같이 구성되어지고 매스프로우미터(66)의 경우에는 도15에 표시하는바와 같이 구성된다. 이들의 가스 제어기기는 모두 다 본체가 종형으로 구성되어 본체 하부의 몸체(33)에 가스유입통로(34) 가스유출통로(35)가 형성되어 몸체(33)의 외주에 안나사(46a)를 소유하는 너트(46)가 설치되어 성립되며 몸체(33)가 유로블록(11)의 설치구멍(12)에 삽입되어 너트(46)에 의해 유로블록(11)에 나착되어 있다. 또 몸체(33)의 하면과 대향하는 유로블록(11)의 저면이 주연보다 높아지게 돌출 형성되어 이 돌출된 저면과 몸체(33)의 하면과의 사이에 가스통로구멍(48)(49)을 소유하는 가스켓(50)이 개재되어 실링되어 있다. 그리고 이 가스켓(50)은 전기 자동다이아프램밸브(31)의 경우의 가스켓(50)과 동일하게 몸체(33)의 하면의 홈(51)에 삽입되어 위치 결정되어 있다. 그러므로 이들의 집적화용 가스 제어기기에 있어서의 작용효과도 전기 자동다이아프램밸브(31)의 경우와 동일하다.

이상과 같은 본 발명은 너트 1개를 풀었다, 조였다 할 뿐이며 유로블록의 설치구멍에 있어서의 기기 본체의 탈착을 할 수 있으며 가스라인을 분해할 것 없이 간단히 탈착작업이 가능하고 사용자가 정기 보수, 교환 등의 유지보수를 간단히 할 수 있다. 또 기기는 그 본체가 종형으로 구성되어 있으므로 가스 패널에 콤팩트하게 배분되므로 가스라인에서의 공간을 생략할 수 있다.

또 기기 본체의 결합부에 가스켓을 개재시키므로서 기밀한 실링성을 확보 가능하며 더욱이 유로블록의 설치구멍의 저면을 돌출 형성함에 의해 기기 본체의 탈착시에 가스켓의 실링면에 먼지의 침입, 고임이 생기는 것을 방지할 수 있다. 그러므로 가스 공급의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

또 너트의 안쪽으로 나사를 형성하여 유로 블록의 돌출부의 외측에 나착하므로서 기기 본체의 탈착시에 나사부에서 생기는 티끌 등이 유로블록의 설치구멍에서 가스라인에 침입할 수 없으므로 가스 공급의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims

종형으로 구성되어 하부의 몸체에 가스 유입통로 및 가스 유출통로를 소유하는 가스 제어기기의 본체와 전기 몸체의 외주에 설치된 너트와 전기 몸체가 삽입되는 상향 개구의 설치구멍을 소유하며 전기 몸체의 가스 유입통로와 가스 유출통로에 연통되는 가스유입통로와 가스유출통로를 소유하며 전기 몸체가 전기 설치구멍에 삽입됨과 동시에 전기 가스유입통로 끼리, 가스 유출통로 끼리 각각 연통된 상태로 전기 너트에 의해 전기 몸체가 나착되는 유로 불록과 전기 가스 제어기기의 본체와 전기 유로블록의 나착에 있어 양자간에 설치되는 실링수단을 비치하는 것을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 1 항에 있어서,

가스제어기기가 자동 다이아프램밸브, 터글형 자동다이아프램밸브, 필터유니트, 체크밸브 부착 자동 다이아프램밸브, 레귤레이터, 매스프로우콘트롤러, 매스프로우미터중 하나임을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 1 항에 있어서,

너트의 바깥쪽에 나사를 형성하여 유로블록의 설치구멍의 내측에 나착됨을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 1 항에 있어서,

너트의 안쪽에 나사를 형성하여 유로블록의 원통상돌출부의 외측에 나착됨을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 1 항에 있어서,

살링수단이 본체의 몸체 자체와 유로블록과의 접합면에 개재되어 가스 통로구멍을 소유하는 가스켓으로함을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 5 항에 있어서,

가스켓이 가스 유입측의 가스 통로구멍과 가스 유출측의 가스 통로구멍을 소유하는 일체형으로 구성됨을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 5 항에 있어서,

가스 통로구멍을 소유한 가스켓 2개를 리테이너로 결합 지지함을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 1 항에 있어서,

실링수단이 기기 몸체의 하면과 이에 대향하여 주연보다 높게 돌출하게끔 형성돤 유로 블록에 있어 설치구멍의 돌출형의 저면과의 사이에 개재되어 가스통로구멍을 소유한 가스켓으로 함을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기
제 8 항에 있어서,

가스켓이 가스 유입측의 가스 통로구멍과 가스 유출측의 가스 통로구멍을 소유하는 일체형으로 몸체 하면의 홈에 삽입되어 위치 결정되어 구성됨을 특징으로 하는 집적화용 가스 제어기기