JP3762504B2 - 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 - Google Patents
流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3762504B2 JP3762504B2 JP33903496A JP33903496A JP3762504B2 JP 3762504 B2 JP3762504 B2 JP 3762504B2 JP 33903496 A JP33903496 A JP 33903496A JP 33903496 A JP33903496 A JP 33903496A JP 3762504 B2 JP3762504 B2 JP 3762504B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bolt
- hole
- center
- lower flange
- convex portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/18—Supports or connecting means for meters
- G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Valve Housings (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガスや液体など流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体の製造に用いられる各種のガスを半導体製造装置に供給する集積型ガスユニットでは、これらガスの供給流路を構成する各ガスコンポーネントに、ガス流量を制御するマスフローコントローラ(以下、MFCという)がそれぞれ設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、MFCの一次側(および二次側)を、継手および配管を介して他の機器(および更に他の機器)に接続していたから、各ガスコンポーネントが横方向に長くなってガスユニットの占有面積が大きくなる不都合があった。これを解消するために、一次側および二次側のそれぞれにおいて、MFCと他の機器同士を接続するための上下一対のフランジを設け、両フランジ間の中央位置にシール部材を一次側および二次側のそれぞれにおいて介装し、二本または四本のボルトを上方向から両フランジの前記中央位置の周辺に取り付けることにより、MFCを他の機器(および更に他の機器)へ接続していたけれども、一次側および二次側のどちらも複数本のボルトを用いているから、各々のボルトの取り付けの際の締付けトルクにバラツキがあり、そのため、一次側および二次側に捩じれや歪みに起因するガスリークが発生するのを防止するのに、高度の熟練を必要とする。また、ボルトの取り付け時間が長くかかる等メンテナンス性が悪く、顧客サイドにおいては交換作業が困難であった。
【0004】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、一次側、二次側のどちらにおいても高度の熟練を要することなく、かつ、信頼性を損なうことなく接続でき、更に、メンテナンス性に優れた流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構は、流体を制御または測定する機器の本体の側面に突出状態で固着された上フランジと、他の機器側に設けられた下フランジと、両フランジ間に介装される流体漏れ止め用 のリング状シール部材と、中央を貫通する1個のボルト孔が形成されたスペーサと、前記ボルト孔に螺着する一本のボルトとを備え、前記下フランジの中央に上向きに開口した凹入部が形成され、この凹入部内の上位には前記スペーサが嵌め込まれ、更に、前記凹入部内の底面には、前記下フランジの内部に形成された流路を通過した流体の流通孔がこの周囲を前記シール部材でシールされた状態で設けられる一方、前記上フランジの中央に前記凹入部内の下位に嵌め込み可能な凸部が形成され、更に、この凸部の下面中央には、前記下フランジとの位置決め時において、前記流通孔に連通する流通孔が設けられ、しかも、前記凸部の上面を直接的または間接的に押圧するまで前記一本のボルトを前記ボルト孔に螺着し、このボルト孔の直下に前記両流通孔が位置する状態で前記上フランジと下フランジを位置決めすることを特徴とする。
【0006】
【0007】
【作用】
上記構成により、高度の熟練を要することなく流体漏れを防止でき、かつ、一次側および二次側における機器間の接続が、それぞれ一本のボルトによる短時間の取り付け・取り外し操作で行える。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。
図1〜図5は、この発明の一つの実施の形態を示すもので、図1〜図5において、1はマスフローコントローラ(以下、MFCという)で、その本体2内部にガスGの流量測定を行うセンサ部3とガスGの流量制御を行う流量制御部4とを備えている。
【0009】
この実施形態の一次側(ガス入口側)における接続機構は以下のように構成されている。
【0010】
すなわち、5は上フランジで、本体2の一方側面2aに突出状態で四本のボルト6で固着されている。そして、上フランジ5は、ボルト孔6aが形成された支持部7とこの支持部7の中央から突出した凸部8を有する。更に、凸部8の下面8aは平坦面に形成されており、この下面8aの中央には流入孔mが穿設されている。また、9は、凸部8の上面8bに設けたピンで、このピンは流入孔mが位置する中心線C(図5参照)上より他の機器の側に変位した位置に設けられている。また、10は、凸部8に形成された左右一対の段差部で、11は、流入孔mから流入したガスGの流路で、90°に折れ曲がっている。
【0011】
なお、二次側(ガス出口側)の上フランジ5’(図1,図2参照)も一次側の前記上フランジ5と同様の構成になっている。
【0012】
12は下フランジで、前記他の機器(図示せず)に、例えば、一次側継手Aおよび空気圧力弁を介して接続される。この下フランジ12と二次側(ガス出口側)の下フランジ12’は、所定の距離Lを有するよう予め固定設置されている。この実施形態では、両フランジ12,12’は分離設置されているが、両フランジ12,12’を所定の長さLを有する接続体を介して接続したものを固定設置してもよい。
【0013】
13は、中央を貫通する1個のボルト孔14が形成されたスペーサで、15は、そのボルト孔14に螺着するボルトである。
【0014】
また、16はリテーナで、下面部分16aが凸部8の上面部分17に嵌合するよう正面視門型の形状を有する。そして、このリテーナ16の上面16bにおける中央位置には浅い凹所18が形成されている。更に、下面部分16aには、凸部8のピン9が嵌入可能なように、対応位置にピン溝19が形成されている。
【0015】
なお、二次側(ガス出口側)のスペーサ13’およびリテーナ16’(図2参照)もスペーサ13およびリテーナ16と同様の構成になっている。
【0016】
20は、両フランジ5,12間に介装される流体漏れ止め用のリング状シール部材である。
【0017】
次に、下フランジ12について詳細に説明する。
下フランジ12の中央には、上向きに開口した凹入部21が形成されている。この凹入部21内の上位に左右一対のコ字型形状部分22が形成され、このコ字型形状部分22にスペーサ13が、ボルト孔14の軸線を流入孔mが位置する中心線C上に一致させた状態で、嵌め込まれる。
【0018】
また、凹入部21内の底面22には、下フランジ12の内部に形成された流路23を通過したガスGの流出孔nが流出孔nの周囲をシール部材20でシールされた状態で穿設されている。この流出孔nは中心線C上に位置する。すなわち、24は、凹入部21内の底面22に形成された円周溝で、この円周溝24の中央に前記流出孔nが穿設されている。更に、この円周溝24内に前記シール部材20が嵌入載置される。そして、前記他の機器から流入したガスGは、90°に折れ曲がった流路23を通過して流出孔nに至る。
【0019】
一方、凹入部21内の下位は、凸部8の下面8a中央に穿設した流入孔mと凹入部21内の底面22に穿設した流出孔nが円周溝24内に位置するシール部材20を介在させた状態で、上フランジ5の凸部8が嵌め込み可能なように、凹形状に形成されている。
【0020】
なお、二次側(ガス出口側)の下フランジ12’(図1,図2参照)も下フランジ12と同様の構成になっている。
【0021】
而して、上フランジ5の中央に形成された凸部8を、下フランジ12の中央に形成した凹入部21内の下位に嵌め込むことで、凸部8の下面8a中央に穿設した流入孔mと凹入部21内の底面22に穿設した流出孔nとが、シール部材20を介在させた状態で、連通する。
【0022】
続いて、リテーナ16を凸部8の上面部分17に嵌合する。この際、ピン9がピン溝19に嵌入するので、リテーナ16を確実に位置決めできる。
【0023】
そして、ボルト孔14が形成されたスペーサ13を、凹入部21内の上位に嵌め込むことで、ボルト孔14が流入孔mおよび流出孔nの直上に位置する。すなわち、ボルト孔14の軸線、流入孔mおよび流出孔nが中心線C上に位置する。
【0024】
その後、上方向から一本のボルト15をボルト孔14に螺着し、更に、リテーナ16の上面16bの凹所18を押圧する位置まで一本のボルト15を締付けることで、ボルト15の先端がリテーナ16の凹所18に当接し、リテーナ16を介してボルト15による押圧力が凸部8に確実に伝達され、これにより、流出孔nおよび流入孔m間からのガス漏れを、流出孔nの周囲に位置するシール部材20で防止できるとともに、ボルト15の先端が凸部8の上面8bに当たらないので、凸部8にボルト15による傷が付くのを防止できる。
【0025】
このように、両フランジ5,12の中央を一本のボルト15で上方向から締付けるので、締付け手順、締付け方法による差が無くなるため、短時間で両フランジ5,12を位置決めでき、信頼性も向上できる。また、顧客サイドでのメンテナンスも容易に行える。二次側においても同様にできる。
【0026】
図6は、前記一本のボルト15で凸部5の上面8cを押圧するように構成したこの発明の他の実施形態を示す。上記実施形態と異なる点は、リテーナ16を不要にした点である。なお、図6において、図1〜図5で用いた符号と同一のものは、同一または相当物を示す。
【0027】
図6において、凸部5の上面8cにおける中央位置には、上方向から締付け時にボルト15の先端が当接する浅い凹所30が形成されている。
【0028】
而して、上フランジ5の中央に形成された凸部8を、下フランジ12の中央に形成した凹入部21内の下位に嵌め込むことで、凸部8の下面8a中央に穿設した流入孔mと凹入部21内の底面22に穿設した流出孔nとが、シール部材20を介在させた状態で、連通する。
【0029】
続いて、ボルト孔14が形成されたスペーサ13を、凹入部21内の上位に嵌め込むことで、ボルト孔14が流入孔mおよび流出孔nの直上に位置する。
【0030】
その後、上方向から一本のボルト15をボルト孔14に螺着し、更に、上フランジ5の上面8cを直接的に押圧する位置まで一本のボルト15を締付けることで、高度の熟練を要することなくガス漏れを確実に防止できる。
【0031】
また、一本のボルト15の取り付け・取り外しにより簡単に上方向よりメンテナンスを行える。
【0032】
なお、上記各実施形態では、ガスを制御または測定する装置としてマスフローコントローラを採用したものを示したが、流体の流量を測定するマスフローメータ、あるいは、流体の流量を制御しその圧力を調整する圧力コントローラなどを採用してもよい。
【0033】
【発明の効果】
この発明によれば、高度の熟練を要することなく、かつ、信頼性を損なうことなく流体を制御または測定する機器と他の機器とを接続でき、更に、一次側および二次側における前記接続が、それぞれ一本のボルトによる短時間の取り付け・取り外し操作で行えるので、メンテナンス性に優れた接続機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一つの実施の形態を示す全体分解斜視図である。
【図2】 上記実施形態における一次側および二次側を示す構成説明図である。
【図3】 上記実施形態における一次側から見た構成説明図である。
【図4】 上記実施形態における一次側を示す要部透過斜視図である。
【図5】 上記実施形態における動作説明図である。
【図6】 この発明の他の実施の形態を示す全体分解斜視図である。
【符号の説明】
1…マスフローコントローラ、2…本体、5,5’…上フランジ、8…凸部、11,23…流路、12,12’…下フランジ、13…スペーサ、14…ボルト孔、15…ボルト、20…リング状シール部材、21…凹入部、m…流入孔、n…流出孔、G…ガス。
Claims (1)
- 流体を制御または測定する機器の本体の側面に突出状態で固着された上フランジと、他の機器側に設けられた下フランジと、両フランジ間に介装される流体漏れ止め用のリング状シール部材と、中央を貫通する1個のボルト孔が形成されたスペーサと、前記ボルト孔に螺着する一本のボルトとを備え、前記下フランジの中央に上向きに開口した凹入部が形成され、この凹入部内の上位には前記スペーサが嵌め込まれ、更に、前記凹入部内の底面には、前記下フランジの内部に形成された流路を通過した流体の流通孔がこの周囲を前記シール部材でシールされた状態で設けられる一方、前記上フランジの中央に前記凹入部内の下位に嵌め込み可能な凸部が形成され、更に、この凸部の下面中央には、前記下フランジとの位置決め時において、前記流通孔に連通する流通孔が設けられ、しかも、前記凸部の上面を直接的または間接的に押圧するまで前記一本のボルトを前記ボルト孔に螺着し、このボルト孔の直下に前記両流通孔が位置する状態で前記上フランジと下フランジを位置決めすることを特徴とする流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33903496A JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
TW091214358U TW526916U (en) | 1996-12-03 | 1997-11-27 | Connector for a mass-flow controlling or detecting device and other devices |
KR1019970065174A KR100258429B1 (ko) | 1996-12-03 | 1997-12-02 | 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구 |
US08/984,302 US5901984A (en) | 1996-12-03 | 1997-12-03 | Coupling mechanism for connecting a fluid line to a mass flow controller or other device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33903496A JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10160539A JPH10160539A (ja) | 1998-06-19 |
JP3762504B2 true JP3762504B2 (ja) | 2006-04-05 |
Family
ID=18323652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33903496A Expired - Fee Related JP3762504B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5901984A (ja) |
JP (1) | JP3762504B2 (ja) |
KR (1) | KR100258429B1 (ja) |
TW (1) | TW526916U (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006007103B4 (de) * | 2006-02-16 | 2009-02-26 | Festo Ag & Co. Kg | Modulares Druckluft-Wartungsgerät |
US8950433B2 (en) | 2011-05-02 | 2015-02-10 | Advantage Group International Inc. | Manifold system for gas and fluid delivery |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4625999A (en) * | 1981-11-19 | 1986-12-02 | Stanley Aviation Corporation | Remotely-operable ball joint connector |
US4471799A (en) * | 1982-01-11 | 1984-09-18 | Grove Valve And Regulator Company | Line removable ball valve |
JPS596695U (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | エスエムシ−株式会社 | 空気圧回路用3点セツト |
US5069362A (en) * | 1990-05-02 | 1991-12-03 | Air Way Automation, Inc. | Escapement manifold for fastener feeding machines and the like |
-
1996
- 1996-12-03 JP JP33903496A patent/JP3762504B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-11-27 TW TW091214358U patent/TW526916U/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-12-02 KR KR1019970065174A patent/KR100258429B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-12-03 US US08/984,302 patent/US5901984A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10160539A (ja) | 1998-06-19 |
TW526916U (en) | 2003-04-01 |
KR19980063682A (ko) | 1998-10-07 |
US5901984A (en) | 1999-05-11 |
KR100258429B1 (ko) | 2000-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0932954A (ja) | 流体制御器 | |
JP3762504B2 (ja) | 流体を制御または測定する機器と他の機器との接続機構 | |
JP3867999B2 (ja) | 差圧、差流量および差水位を測定するためのシステム | |
EP1328784B1 (en) | In-line pressure transmitter | |
KR20000035499A (ko) | 하단 부재의 고정 장치 및 이것을 구비한 유체 제어 장치 | |
AU695064B2 (en) | Test connector for automatic test device | |
US2325417A (en) | Means for sealing pipe leaks | |
JPS61139737A (ja) | フランジ継手の漏洩防止装置 | |
JP3709985B2 (ja) | 差圧測定装置 | |
JPH08170739A (ja) | 遮断弁 | |
KR100645087B1 (ko) | 리니어식 밸브개도 제어기의 포지셔너에서 액추에이터로의에어공급구조 | |
JPH0211666Y2 (ja) | ||
JPH0351566Y2 (ja) | ||
JPH07248092A (ja) | ライニング管の分岐部シール方法 | |
CN115264106B (zh) | 一体化智能流量调节装置 | |
JPH0421003Y2 (ja) | ||
CN108507724B (zh) | 发动机试漏工装 | |
JPS63308290A (ja) | ユニオン継手 | |
CN216483758U (zh) | 一种气体安全阀检测装置 | |
CN211639602U (zh) | 一种用于检查压差管与催化器总成连接的气密性的检测夹具 | |
JPS63251699A (ja) | 圧力安全装置及びその検査方法 | |
EP0719687B1 (en) | Test connector for automatic test device | |
KR20010058267A (ko) | 압력보호 밸브 및 안전밸브의 시트누설 시험장치 | |
JPS6036851Y2 (ja) | レシ−バ−タンク | |
JPH09166259A (ja) | 分岐管接続用管継手 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050719 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060113 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |