KR100258429B1

KR100258429B1 - 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구

Info

Publication number: KR100258429B1
Application number: KR1019970065174A
Authority: KR
Inventors: 니시카와마사미
Original assignee: 호리바 마츠시; 가부시키가이샤 에스텍
Priority date: 1996-12-03
Filing date: 1997-12-02
Publication date: 2000-06-01
Also published as: TW526916U; US5901984A; JP3762504B2; KR19980063682A; JPH10160539A

Abstract

본 발명은 1차측, 2차측의 어느 경우에 있어서도 고도의 숙련을 요하는 일없이 동시에 신뢰성을 손상하는 일 없이 접속할 수 있고, 더욱이, 메인티넌스성에 우수한 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구를 제공한다.

본 발명은 유체를 제어 또는 측정하는 기기의 1차측및 2차측에 각각 설치한 상플랜지 및 다른 기기측에 설치한 하플랜지의 중앙에, 상기 상,하 플랜지에 각각 설치한 유체의 유통구멍으로 부터의 유체밀봉용의 링상 시일부재를 개장하고, 상기 상하 1쌍의 플랜지의 상기 중앙을 1개의 볼트로 상방향에서 체결함으로서, 상기 유체를 제어 또는 측정하는 기기를 상기 다른 기기로 각각 접속하는 한편 상기 1개의 볼트를 상방향으로 떼어냄으로서, 1차측 및 2차측에서 각각 상기 양기기간의 접속을 해제하는 것을 특징으로 한다.

Description

유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구

본 발명은 가스나 액체 등 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구에 관한 것이다.

예를들면 반도체의 제조에 사용되는 각종의 가스를 반도체 제조장치에 공급하는 집적형 가스 유닛에서는 이들 가스의 공급유로를 구성하는 각 가스성분에 가스유량을 제어하는 매스플로 컨트롤러(이하, MFC라 부름)가 각각 설치되어 있다.

그런데, MFC의 1차측(및 2차측)을 커플링 및 배관을 통하여 다른 기기(및 더욱더 다른기기)에 접속하고 있었으므로, 각 가스성분이 수평방향으로 길어져서 가스유닛의 점유 면적이 크게되는 단점이 있었다. 이를 해소하기 위하여 1차측 및 2차측의 각각에 있어서 MFC와 다른 기기끼리를 접속하기 위한 상하 1쌍의 플랜지를 설치하고, 양 플랜지 간의 중앙위치에 시일부재를 1차측 및 2차측의 각각에 있어서 개장하고, 2개 또는 4개의 볼트를 상방향에서 양 플랜지의 상기 중앙위치의 주변에 장치함으로서 MFC를 다른 기기(및 더욱더 다른 기기)로 접속하고 있었지만, 1차측 및 2차측의 어느것도 복수개의 볼트를 사용하고 있었으므로 각각의 볼트의 부착시에 체결토오크에 분산이 있고, 이 때문에 1차측 및 2차측에 비틀림이나 변형에 기인하는 가스누출이 발생하는 것을 방지하는데 고도의 숙련을 필요로 한다. 또, 볼트의 장치시간이 길게 걸리는 등 메인티넌스성이 나쁘고, 고객측에 있어서도 교환작업이 곤난하였다.

도 1은 본 발명의 하나의 실시형태를 도시하는 전체분해사시도이다.

도 2는 상기 실시형태에 있어서 1차측 및 2차측을 도시하는 구성 설명도이다.

도 3은 상기 실시형태에 있어서 1차측에서 본 구성설명도이다.

도 4는 상기 실시형태에 있어서 1차측을 도시하는 요부 투과 사시도이다.

도 5는 상기 실시형태에 있어서 동작설명도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시형태를 도시하는 전체 분해사시도이다.

본 발명은 상술의 사항에 유의하여 이루어진 것으로 그 목적은 1차측, 2차측의 어느 것에 있어서도 고도의 숙련을 요하는 일 없이, 동시에 신뢰성을 손상하는 일 없이 접속할 수 있고, 더욱이 메인티넌스성에 우수한 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구는 유체를 제어 또는 측정하는 기기의 1차측 및 2차측에 각각 설치한 상플랜지 및 다른 기기측에 설치한 하플랜지의 중앙에 상기 상,하 플랜지에 각각 설치한 유체의 유통구멍으로 부터의 유체밀봉용의 링상 시일부재를 개장하고, 상기 상하 1쌍의 플랜지의 상기 중앙을 1개의 볼트로 상방향에서 체결함으로서 상기 유체를 제어 또는 측정하는 기기를 상기 다른 기기로 각각 접속하는 한편, 상기 1개의 볼트를 상방향으로 떼어냄으로서 1차측 및 2차측에 있어서 각각 상기 양기기간의 접속을 해제하는 것을 특징으로 한다.

또 별도의 관점에서, 본 발명의 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구는 유체를 제어 또는 측정하는 기기의 본체의 측면에 돌출상태로 고착된 상플랜지와, 다른 기기측에 설치된 하플랜지와, 양 플랜지간에 개장되는 유체밀봉용의 링상시일부재와, 중앙을 관통하는 1개의 볼트구멍이 형성된 스페이서와, 상기 볼트구멍에 나사붙임하는 1개의 볼트를 구비하고, 상기 하플랜지의 중앙에 상향으로 개구한 오목부가 형성되어 이 오목부내의 상위에는 상기 스페이서가 끼워져, 더욱더, 상기 오목부내의 저면에는 상기 하플랜지의 내부에 형성된 유로를 통과한 유체의 유통구멍이 이주위를 상기 시일부재로 시일된 상태에서 설치되는 한편, 상기 상플랜지의 중앙에 상기 오목부내의 하위에 끼워넣기 가능한 볼록부가 형성되고, 더욱이, 이볼록부의 하면중앙에는 상기 하플랜지와의 위치결정시에 있어서 상기 유통구멍에 연통하는 유통구멍이 설치되고 게다가 상기 볼록부의 상면을 직접적 또는 간접적으로 누름할때까지 상기 한개의 볼트를 상기 볼트구멍에 나사붙임하고 이 볼트구멍의 바로밑에 상기 양유통구멍이 위치하는 상태에서 상기 상플랜지와 하플랜지를 위치결정하는 것을 특징으로 한다.

1차측 및 2차측 각각에 있어서 유체 밀봉용의 링상 시일부재가 개장되는 상하 1쌍의 플랜지의 중앙위치를 1개의 볼트로 상방향에서 체결하므로, 고도의 숙련을 요하는 일없이 유체누출을 방지할 수 있고, 동시에, 1차측 및 2차측에 있어서 기기간의 접속이 각각 1개의 볼트에의한 단시간의 장치·떼어냄 조작으로 행할 수 있다.

(바람직한 실시예의 상세한 설명)

이하, 본 발명의 상세를 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1∼도 5는 본 발명의 하나의 실시형태를 도시하는 것으로 도 1∼도 5에 있어서 1은 매스 플로 컨트롤러(이하, MFC라함)로, 그 본체(2)내부에 가스(G)의 유량측정을 행하는 센서부(3)와 가스(G)의 유량제어를 행하는 유량제어부(4)와를 구비하고 있다.

이 실시형태의 1차측(가스입구측)에 있어서 접속기구는 이하와 같이 구성되어 있다.

즉, 5는 상플랜지로, 본체(2)의 일방측면(2a)에 돌출상태로 4개의 볼트(6)로 고착되어 있다. 그리고 상플랜지(5)는 볼트구멍(6a)이 형성된 지지부(7)와 이 지지부(7)의 중앙에서 돌출한 볼록부(8)를 갖는다. 더욱이, 볼록부(8)의 하면(8a)은 평탄면에 형성되어 있고, 이하면(8a)의 중앙에는 유입구멍(m)이 뚫어설치되어 있다. 또, 9는 볼록부(8)의 상면(8b)에 설치한 핀으로, 이핀(9)은 유입구멍(m)이 위치하는 중심선(C)(도 5참조)상에서 다른 기기측에 변위할 위치에 설치되어 있다. 또 10은 볼록부(8)에 형성된 좌우한쌍의 단차부로, 11은 유입구멍(m)에서 유입한 가스(G)의 유로로, 90°로 구부러져 있다.

더구나, 2차측(가스출구측)의 상플랜지 5'(도 1,도 2참조)도 1차측의 상기 상플랜지(5)와 꼭같은 구성으로 되어 있다.

12는 하플랜지로 상기 다른 기기(도시하지 않음)에, 예를들면 1차측 커플링(A) 및 공기압력밸브를 통하여 접속된다. 이의 하플랜지(12)와 2차측(가스출구측)의 하플랜지(12')는 소정의 거리(L)를 갖도록 미리 고정설치되어 있다. 이 실시형태에서는 양플랜지(12,12')는 분리설치되어 있지만 양플랜지(12,12')를 소정의 길이(L)를 갖는 접속체를 통하여 접속한 것을 고정설치하여도 좋다.

13은 중앙을 관통하는 1개의 볼트구멍(14)이 형성된 스페이서로, 15는 그의 볼트구멍(14)에 나사식 붙임하는 볼트이다.

또, 16은 리테이너로 하면부분(16a)이 볼록부(8)의 상면부분(17)에 끼워맞춤하도록 정면에서 보아 문형(門型)의 형상을 갖는다. 그리고, 리테이너(16)의 상면(16b)에 있어서 중앙위치에는 얕은 오목부(18)가 형성되어 있다. 더욱이, 하면부분(16a)에는 볼록부(8)의 핀(9)이 끼워넣기 가능하도록 대응위치에 핀 홈(19)이 형성되어 있다.

더구나, 2차측(가스출구측)의 스페이서(13') 및 리테이너(16')(도 2참조)도 스페이서(13) 및 리테이너(16)와 꼭같은 구성으로 되어 있다.

20은 양플랜지(5,12)사이에 개장되는 유체밀봉용 링상 시일부재이다.

다음에 하플랜지(12)에 대하여 상세히 설명한다.

하플랜지(12)의 중앙에는 상향으로 개구한 오목부(21)가 형성되어 있다. 이 오목부(21)내의 상위에 좌우한쌍의 홈부분(22a)이 형성되어, 이 홈부분(22a)에 스페이서(13)가 볼트구멍(14)의 축선을 유입구멍(m)이 위치하는 중심선(C)상에 일치시킨 상태에서 끼워넣어진다.

또, 오목부(21)내의 저면(22b)에는 하플랜지(12)의 내부에 형성된 유로(23)을 통과한 가스(G)의 유출구멍(n)이 유출구멍(n)의 주위를 시일부재(20)로 시일된 상태에서 뚫어설치되어 있다. 이 유출구멍(n)은 중심선(C)상에 위치한다. 즉, 24는 오목부(21)내의 저면(22b)에 형성된 원주홈으로 이 원주홈(24)의 중앙에 상기 유출구멍(n)이 뚫어설치되어 있다. 더욱이, 이 원주홈(24)내에 상기 시일부재(20)가 끼워넣어 얹어진다. 그리고 상기 다른 기기로부터 유입한 가스(G)는 90°로 구부러진 유로(23)를 통과하여 유출구멍(n)에 이른다.

한편, 오목부(21)내의 하위는 볼록부(8)의 하면(8a)중앙에 뚫어설치한 유입구멍(m)과 오목부(21)내의 저면(22b)에 뚫어설치한 유출구멍(n)이 원주홈(24)내에 위치하는 시일부재(20)를 개재시킨 상태에서 상플랜지(5)의 볼록부(8)가 끼워넣기 가능하도록, 오목형상으로 형성되어 있다.

더우기 2차측(가스출구측)의 하플랜지(12')(도1, 도 2참조)도 하플랜지(12)와 꼭같은 구성으로 되어 있다.

그리하여, 상플랜지(5)의 중앙에 형성된 볼록부(8)를 하플랜지(12)의 중앙에 형성한 오목부(21)내의 하위에 끼워넣는 것으로 볼록부(8)의 하면(8a)중앙에 뚫어설치한 유입구멍(m)과 오목부(21)내의 저면(22b)에 뚫어설치한 유출구멍(n), 시일부재(20)를 개재시킨 상태에서, 연통한다.

계속하여, 리테이너(16)를 볼록부(8)의 상면부분(17)에 끼워넣는다. 이경우, 핀(9)이 핀 홈(19)에 끼워넣으므로, 리테이너(16)를 확실히 위치결정할 수 있다.

그리고, 볼트구멍(14)이 형성된 스페이서(13)를 오목부(21)내의 상위에 끼워넣는 것으로, 볼트구멍(14)이 유출구멍(m) 및 유출구멍(n)의 바로위에 위치한다. 즉, 볼트구멍(14)의 축선, 유입구멍(m) 및 유출구멍(n)이 중심선(C)상에 위치한다.

그후, 상방향에서 1개의 볼트(15)를 볼트구멍(14)에 나사붙임하고, 더욱이, 리테이너(16)의 상면(16b)의 오목부(18)를 누름하는 위치까지 1개의 볼트(15)를 체결하는 것으로 볼트(15)의 선단이 리테이너(16)의 오목부(18)에 맞닿고 리테이너(16)를 통하여 볼트(15)에 의한 누름힘이 볼록부(8)에 확실히 전달되어, 이로서,유출구멍(n) 및 유입구멍(m)사이로부터 가스누출을 유출구멍(n)의 주위에 위치하는 시일부재(20)로 방지할 수 있음과 동시에, 볼트(15)의 선단이 볼록부(8)의 상면(8b)에 부딧치지 않으므로, 볼록부(8)에 볼트(15)에 의한 상처를 방지할 수 있다.

이와같이 양플랜지(5,12)의 중앙을 1개의 볼트(15)로 상방향에서 체결하므로, 체결수순, 체결방법에 의한 차가 없어지기 때문에, 단시간에 양플랜지(5,12)를 위치결정할 수 있어 신뢰성도 향상된다. 또 고객측에서의 메인티넌스도 용이하게 행해진다. 2차측에 있어서도 꼭같이 할 수 있다.

도 6은, 상기 1개의 볼트(15)로 볼록부(5)의 상면(8c)을 누름하도록 구성한 본 발명의 다른 실시형태를 도시하다. 상기 실시형태와 다른 점은 리테이너(16)를 불필요로 한 점이다. 더욱이, 도 6에 있어서, 도 1∼도 5에서 사용한 부호와 동일한 것은 동일 또는 상당한 것을 도시하다.

도 6에 있어서 볼록부(5)의 상면(8c)에 있어서 중앙위치에는 상방향에서 체결시에 볼트(15)의 선단이 맞닿는 얕은 오목부(30)가 형성되어 있다.

그리하여, 상플랜지(5)의 중앙에 형성된 볼록부(8)를 하플랜지(12)의 중앙에 형성한 오목부(21)내의 하위에 끼워넣는 것으로, 볼록부(8)의 하면(8a)중앙에 뚫어설치한 유입구멍(m)과 오목부(21)내의 저면(22b)에 뚫어설치한 유출구멍(n)이, 시일부재(20)를 개재시킨 상태에서, 연통한다.

계속하여 볼트구멍(14)이 형성된 스페이서(13)를, 오목부(21)내의 상위에 끼워넣는 것으로, 볼트구멍(14)이 유입구멍(m) 및 유출구멍(n)의 바로 위에 위치한다.

그후, 상방향에서 1개의 볼트(15)를 볼트구멍(14)에 나사붙임하고, 더욱이 상플랜지(5)의 상면(8c)을 직접적으로 누름하는 위치까지 한개의 볼트(15)를 체결하는 것으로, 고도의 숙련을 요하는 일 없이 가스누출을 확실히 방지할 수 있다.

또, 1개의 볼트(15)의 장치·떼어냄에 의하여 간단히 상방향에서 메인티넌스를 행할 수 있다.

더구나, 상기 각 실시형태에서는 가스를 제어 또는 측정하는 장치로서 매스플로 컨트롤러를 채용한 것을 예시하였지만, 유체의 유량을 측정하는 매스플로 미터, 혹은 유체의 유량을 제어하여 그 압력을 조정하는 압력 컨트롤러 등을 채용하여도 좋다.

이상 설명한 바와같이, 본 발명에 의하면, 1차측 및 2차측 각각에 있어서 유체밀봉용 링상 시일 부재가 개장되는 상하 1쌍의 플랜지의 중앙위치를 1개의 볼트로 상방향에서 체결하도록 구성하였으므로 고도의 숙련을 요할 필요없이, 동시에 신뢰성을 손상하는 일 없이, 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와를 접속할 수 있고, 더욱이, 1차측 및 2차측에 있어서 상기 접속이 각각의 1개의 볼트에 의한 단시간의 장치·떼어내기 조작으로 행해지므로, 메인티넌스성에 우수한 접속기구를 제공할 수 있다.

Claims

유체를 제어 또는 측정하는 기기의 1차측 및 2차측에 각각 설치한 상플랜지 및 다른 기기측에 설치한 하플랜지의 중앙에 상기 상,하 플랜지에 각각 설치한 유체의 유통구멍으로 부터의 유체밀봉용의 링상 시일부재를 개장하고, 상기 상하 1쌍의 플랜지의 상기 중앙을 1개의 볼트로 상방향에서 체결함으로서 상기 유체를 제어 또는 측정하는 기기를 상기 다른 기기로 각각 접속하는 한편, 상기 1개의 볼트를 상방향으로 떼어냄으로서 1차측 및 2차측에 있어서 각각 상기 양기기간의 접속을 해제하는 것을 특징으로 하는 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구.
유체를 제어 또는 측정하는 기기의 본체의 측면에 돌출상태로 고착된 상플랜지와, 다른 기기측에 설치된 하플랜지와, 양 플랜지간에 개장되는 유체밀봉용의 링상 시일부재와, 중앙을 관통하는 1개의 볼트구멍이 형성된 스페이서와, 상기 볼트구멍에 나사붙임하는 1개의 볼트와를 구비하고, 상기 하플랜지의 중앙에 상향으로 개구한 오목부가 형성되어 이 오목부내의 상위에는 상기 스페이서가 끼워지고, 더욱이, 상기 오목부내의 저면에는 상기 하플랜지의 내부에 형성된 유로를 통과한 유체의 유통구멍이 이주위를 상기 시일부재로 시일된 상태에서 설치되는 한편, 상기 상플랜지의 중앙에 상기 오목부내의 하위에 끼워넣기 가능한 볼록부가 형성되고, 더욱이, 이 볼록부의 하면중앙에는 상기 하플랜지와의 위치결정시에 있어서, 상기 유통구멍에 연통하는 유통구멍이 설치되고, 게다가 상기 볼록부의 상면을 직접적 또는 간접적으로 누름할때까지 상기 한개의 볼트를 상기 볼트구멍에 나사붙임하고, 이 볼트구멍의 바로아래에 상기 양유통구멍이 위치하는 상태에서 상기 상플랜지와 하플랜지를 위치결정하는 것을 특징으로 하는 유체를 제어 또는 측정하는 기기와 다른 기기와의 접속기구.