JPH10281385A - 集積化ガスパネル用制御機器 - Google Patents
集積化ガスパネル用制御機器Info
- Publication number
- JPH10281385A JPH10281385A JP9102404A JP10240497A JPH10281385A JP H10281385 A JPH10281385 A JP H10281385A JP 9102404 A JP9102404 A JP 9102404A JP 10240497 A JP10240497 A JP 10240497A JP H10281385 A JPH10281385 A JP H10281385A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- control device
- diaphragm valve
- integrated
- flow path
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解す
ることなく簡単にでき、また制御機器本体の結合部の緊
密なシール性を確保できてユーザーでも定期補修、交換
等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにで
きてガスラインでの省スペース化を図ることができる。 【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁
１、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニッ
ト、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレータ
ー、マスフローコントローラー、マスフローメーター等
の制御機器であって、本体を縦型にし、下部のボディ３
にガス流入通路４、ガス流出通路５を設け、ボディ３の
外周に内ねじを有する袋状ナット１４を装着する。ボデ
ィ３を流路ブロック１５の装着穴１６に装入し、袋状ナ
ット１４にて流路ブロック１５に締結し、ボディ３の下
面と対向する装着穴１６の底面を周縁より高い凸型に形
成し、これらの間にガス通路穴２０、２１を有するガス
ケット２２を介在してシールしている。
ることなく簡単にでき、また制御機器本体の結合部の緊
密なシール性を確保できてユーザーでも定期補修、交換
等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにで
きてガスラインでの省スペース化を図ることができる。 【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム弁
１、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニッ
ト、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレータ
ー、マスフローコントローラー、マスフローメーター等
の制御機器であって、本体を縦型にし、下部のボディ３
にガス流入通路４、ガス流出通路５を設け、ボディ３の
外周に内ねじを有する袋状ナット１４を装着する。ボデ
ィ３を流路ブロック１５の装着穴１６に装入し、袋状ナ
ット１４にて流路ブロック１５に締結し、ボディ３の下
面と対向する装着穴１６の底面を周縁より高い凸型に形
成し、これらの間にガス通路穴２０、２１を有するガス
ケット２２を介在してシールしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用高純度ガ
ス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラ
インに使用される制御機器に関する。
ス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラ
インに使用される制御機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の集積化ガスパネルは、例えば図１
０に示すようにパネル３０上にガス上流側からマスフロ
ーコントローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３
３、フィルター３４の順に取り付けられたガスライン３
５が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記
ガスライン３５の各制御機器は、定期交換部品であり、
ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間
がかかる。例えば横型のフィルター３４を取り外すには
２ヵ所のねじ部３６、３７を緩め、さらにシール面を傷
付けないようにする為、ガスライン３５を部分的に緩め
なければならない。従って、フィルター１個を脱着する
に例えば下流側のバルブ等の機器を固定しているネジの
全てを緩めなければならず、ユーザーでの定期交換補修
が非常に大変である。
０に示すようにパネル３０上にガス上流側からマスフロ
ーコントローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３
３、フィルター３４の順に取り付けられたガスライン３
５が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記
ガスライン３５の各制御機器は、定期交換部品であり、
ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間
がかかる。例えば横型のフィルター３４を取り外すには
２ヵ所のねじ部３６、３７を緩め、さらにシール面を傷
付けないようにする為、ガスライン３５を部分的に緩め
なければならない。従って、フィルター１個を脱着する
に例えば下流側のバルブ等の機器を固定しているネジの
全てを緩めなければならず、ユーザーでの定期交換補修
が非常に大変である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、制御
機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単
にでき、また制御機器本体の結合部の緊密なシール性を
確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナ
ンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスライ
ンでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネ
ル用制御機器を提供しようとするものである。
機器本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単
にでき、また制御機器本体の結合部の緊密なシール性を
確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナ
ンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスライ
ンでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネ
ル用制御機器を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、半導体用高
純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使
用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラ
ム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフ
ラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、
マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器
の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通
路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを
有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボ
ディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、
前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていること
を特徴とするものである。
の本発明の集積化ガスパネル用制御機器は、半導体用高
純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使
用される自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラ
ム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフ
ラム弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、
マスフローメーター等の制御機器であって、該制御機器
の本体は縦型になされ、本体下部のボディにガス流入通
路、ガス流出通路が設けられ、ボディの外周に内ねじを
有する袋状ナットが装着されて成り、前記制御機器のボ
ディが流路ブロックの上向き開口の装着穴に装入され、
前記袋状ナットにて流路ブロックに締結されていること
を特徴とするものである。
【０００５】上記の集積化ガスパネル用制御機器に於い
て、制御機器のボディの下面と対向する流路ブロックの
装着穴の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、
この凸型の底面とボディの下面との間にガス通路穴を有
するガスケットが介在されてシールされていることが好
ましい。
て、制御機器のボディの下面と対向する流路ブロックの
装着穴の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、
この凸型の底面とボディの下面との間にガス通路穴を有
するガスケットが介在されてシールされていることが好
ましい。
【０００６】上記のガスケットは、本体下部のボディ下
面の溝に装入位置決めされ、ガス流入側のガス通路穴と
ガス流出側のガス通路穴を有する一体型であることが好
ましい。
面の溝に装入位置決めされ、ガス流入側のガス通路穴と
ガス流出側のガス通路穴を有する一体型であることが好
ましい。
【０００７】上記のように構成された本発明の集積化ガ
スパネル用制御機器は、本体下部のボディの外周に装着
された内ねじを有する袋状ナットにて流路ブロックに締
結されているので、袋状ナット１個を緩めたり、締めた
りするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単に
でき、従来のようにガスラインを分解する必要がなく、
しかも本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流
路ブロックの装着穴に入ることがないので、ガス流路系
に入ることがない。また、本体下部のボディの下面と流
路ブロックの装着穴の底面との間に介在したガスケット
が、袋状ナット１個の締め付けにより均等に締め付けら
れるので、緊密なシール性を確保できる。しかも流路ブ
ロックの装着穴の底面を凸型にしてあるので、本体下部
のボディの脱着時にガスケットシール面にゴミの侵入、
溜りが生じるのを防止できる。さらに、制御機器が縦型
でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化
を図ることができる。
スパネル用制御機器は、本体下部のボディの外周に装着
された内ねじを有する袋状ナットにて流路ブロックに締
結されているので、袋状ナット１個を緩めたり、締めた
りするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単に
でき、従来のようにガスラインを分解する必要がなく、
しかも本体の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流
路ブロックの装着穴に入ることがないので、ガス流路系
に入ることがない。また、本体下部のボディの下面と流
路ブロックの装着穴の底面との間に介在したガスケット
が、袋状ナット１個の締め付けにより均等に締め付けら
れるので、緊密なシール性を確保できる。しかも流路ブ
ロックの装着穴の底面を凸型にしてあるので、本体下部
のボディの脱着時にガスケットシール面にゴミの侵入、
溜りが生じるのを防止できる。さらに、制御機器が縦型
でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化
を図ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の集積化ガスパネル用制御
機器の一実施形態を図１によって説明すると、１は半導
体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスライ
ンに使用される自動ダイヤフラム弁で、本体が縦型にな
されて上部に駆動部２、下部にボディ３を有する。ボデ
ィ３は有底筒状で、底部中心にガス流入通路４が設けら
れ、その外側方にガス流出通路５が垂直に設けられてい
る。ガス流入通路４の上端開口縁には弁座シート６がか
しめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤフラム
７が押えピース８の押圧により密着され、バルブが閉鎖
されるようになっている。尚、図１中、９はダイヤフラ
ム７の周縁部をボディ３内の底面周縁の突起１０に押え
るボンネット、１１はボンネット９を締め付ける駆動部
２の接続部外筒、１２は押えピース８を押圧する駆動部
２のピストンである。
機器の一実施形態を図１によって説明すると、１は半導
体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスライ
ンに使用される自動ダイヤフラム弁で、本体が縦型にな
されて上部に駆動部２、下部にボディ３を有する。ボデ
ィ３は有底筒状で、底部中心にガス流入通路４が設けら
れ、その外側方にガス流出通路５が垂直に設けられてい
る。ガス流入通路４の上端開口縁には弁座シート６がか
しめ止めにて固設され、これに弁体であるダイヤフラム
７が押えピース８の押圧により密着され、バルブが閉鎖
されるようになっている。尚、図１中、９はダイヤフラ
ム７の周縁部をボディ３内の底面周縁の突起１０に押え
るボンネット、１１はボンネット９を締め付ける駆動部
２の接続部外筒、１２は押えピース８を押圧する駆動部
２のピストンである。
【０００９】然してボディ３の上部外周には鍔１３が設
けられ、この鍔１３の上側の外周に内ねじを有する袋状
ナット１４が装着されている。ボディ３は、流路ブロッ
ク１５の上向き開口の円形の装着穴１６内に装入され、
前記の袋状ナット１４が装着穴１６の筒状壁外周面のね
じ１７に締め込まれて流路ブロック１５に締結されてい
る。そしてボディ３のガス流入通路４と流路ブロック１
５のガス流入通路１８とが連通され、ボディ３のガス流
出通路５と流路ブロック１５のガス流出通路１９とが連
通されている。この連通部分の相互の接合面間には即
ち、ボディ３の下面と前記装着穴１６の底面との間には
図２に示すようにガス流入側のガス通路穴２０とガス流
出側のガス通路穴２１を有するガスケット２２が挟み付
けられて相互の接合面がシールされている。前記装着穴
１６の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、前
記ガスケット２２は図３に示すように長方形になされて
ボディ３の下面に設けた溝２３に装入位置決めされてい
る。尚、ガスケット２２は、必要に応じてリテーナを用
いて位置決めしてもよい。
けられ、この鍔１３の上側の外周に内ねじを有する袋状
ナット１４が装着されている。ボディ３は、流路ブロッ
ク１５の上向き開口の円形の装着穴１６内に装入され、
前記の袋状ナット１４が装着穴１６の筒状壁外周面のね
じ１７に締め込まれて流路ブロック１５に締結されてい
る。そしてボディ３のガス流入通路４と流路ブロック１
５のガス流入通路１８とが連通され、ボディ３のガス流
出通路５と流路ブロック１５のガス流出通路１９とが連
通されている。この連通部分の相互の接合面間には即
ち、ボディ３の下面と前記装着穴１６の底面との間には
図２に示すようにガス流入側のガス通路穴２０とガス流
出側のガス通路穴２１を有するガスケット２２が挟み付
けられて相互の接合面がシールされている。前記装着穴
１６の底面は周縁より高くなされて凸型に形成され、前
記ガスケット２２は図３に示すように長方形になされて
ボディ３の下面に設けた溝２３に装入位置決めされてい
る。尚、ガスケット２２は、必要に応じてリテーナを用
いて位置決めしてもよい。
【００１０】上記のように構成された実施形態の集積化
ガスパネル用自動ダイヤフラム弁１は、開弁時、ガスが
流路ブロック１５のガス流入通路１８から入り、ガスケ
ット２２のガス通路穴２０、ボディ３のガス流入通路４
を通って、ボディ３の内側に入り、ここからボディ３の
ガス流出通路５、ガスケット２２のガス通路穴２１を通
って、流路ブロック１５のガス流出通路１９から出てい
く。かかる機能の集積化ガスパネル用自動ダイヤフラム
弁１は、ボディ３の外周に装着された内ねじを有する袋
状ナット１４にて流路ブロック１５に締結されているの
で、袋状ナット１４を緩めたり、締めたりするだけで、
流路ブロック１５からの本体の脱着が簡単にでき、従来
のようにガスラインを分解する必要がなく、しかも本体
の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロック
１５の装着穴１６に入ることがないので、ガス流路系に
入ることがない。また、本体のボディ４の下面と流路ブ
ロック１５の装着穴１６の底面との間に介在したガスケ
ット２２が袋状ナット１４のみの締め付けにより均等に
締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。し
かも流路ブロック１５の装着穴１６の底面を凸型にして
あるので、本体下部のボディ３の脱着時にガスケット２
２のシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止でき
る。さらに、自動ダイヤフラム弁の本体２が縦型にガス
パネルに配されてコンパクトとなるので、ガスラインで
の省スペース化を図ることができる。
ガスパネル用自動ダイヤフラム弁１は、開弁時、ガスが
流路ブロック１５のガス流入通路１８から入り、ガスケ
ット２２のガス通路穴２０、ボディ３のガス流入通路４
を通って、ボディ３の内側に入り、ここからボディ３の
ガス流出通路５、ガスケット２２のガス通路穴２１を通
って、流路ブロック１５のガス流出通路１９から出てい
く。かかる機能の集積化ガスパネル用自動ダイヤフラム
弁１は、ボディ３の外周に装着された内ねじを有する袋
状ナット１４にて流路ブロック１５に締結されているの
で、袋状ナット１４を緩めたり、締めたりするだけで、
流路ブロック１５からの本体の脱着が簡単にでき、従来
のようにガスラインを分解する必要がなく、しかも本体
の脱着時に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロック
１５の装着穴１６に入ることがないので、ガス流路系に
入ることがない。また、本体のボディ４の下面と流路ブ
ロック１５の装着穴１６の底面との間に介在したガスケ
ット２２が袋状ナット１４のみの締め付けにより均等に
締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。し
かも流路ブロック１５の装着穴１６の底面を凸型にして
あるので、本体下部のボディ３の脱着時にガスケット２
２のシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止でき
る。さらに、自動ダイヤフラム弁の本体２が縦型にガス
パネルに配されてコンパクトとなるので、ガスラインで
の省スペース化を図ることができる。
【００１１】以上述べた本発明の集積化ガスパネル用制
御機器の実施形態は、自動ダイヤフラム弁１の場合であ
るが、トグル型手動ダイヤフラム弁４０の場合は、図４
に示すように構成され、フィルターユニット４１の場合
は図５に示すように構成され、チャッキ弁４２付自動ダ
イヤフラム弁４３の場合は図６に示すように構成され、
レギュレーター４４の場合は図７に示すように構成さ
れ、マスフローコントローラー４５の場合は図８に示す
ように構成され、マスフローメーター４６の場合は図９
に示すように構成される。これらの制御機器は、いずれ
も本体が縦型になされ、本体下部のボディ３′にガス流
入通路４′、ガス流出通路５′が設けられ、ボディ３′
の外周に内ねじを有する袋状ナット１４′が装着されて
成り、前記ボディ３′が流路ブロック１５′の上向き開
口の装着穴１６′に装入され、前記袋状ナット１４′に
て流路ブロック１５′に締結されている。また、ボディ
３′の下面と対向する流路ブロック１５′の底面が周縁
より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボ
ディ３′の下面との間にガス通路穴２０′、２１′を有
するガスケット２２′が介在されてシールされている。
そしてこのガスケット２２′は前記実施形態の自動ダイ
ヤフラム弁１の場合のガスケット２２と同様にボディ
３′の下面の溝２３′に装入位置決めされている。
御機器の実施形態は、自動ダイヤフラム弁１の場合であ
るが、トグル型手動ダイヤフラム弁４０の場合は、図４
に示すように構成され、フィルターユニット４１の場合
は図５に示すように構成され、チャッキ弁４２付自動ダ
イヤフラム弁４３の場合は図６に示すように構成され、
レギュレーター４４の場合は図７に示すように構成さ
れ、マスフローコントローラー４５の場合は図８に示す
ように構成され、マスフローメーター４６の場合は図９
に示すように構成される。これらの制御機器は、いずれ
も本体が縦型になされ、本体下部のボディ３′にガス流
入通路４′、ガス流出通路５′が設けられ、ボディ３′
の外周に内ねじを有する袋状ナット１４′が装着されて
成り、前記ボディ３′が流路ブロック１５′の上向き開
口の装着穴１６′に装入され、前記袋状ナット１４′に
て流路ブロック１５′に締結されている。また、ボディ
３′の下面と対向する流路ブロック１５′の底面が周縁
より高くなされて凸型に形成され、この凸型の底面とボ
ディ３′の下面との間にガス通路穴２０′、２１′を有
するガスケット２２′が介在されてシールされている。
そしてこのガスケット２２′は前記実施形態の自動ダイ
ヤフラム弁１の場合のガスケット２２と同様にボディ
３′の下面の溝２３′に装入位置決めされている。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
ガスパネル用制御機器は、流路ブロックの装着穴からの
制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することな
く、内ねじを有する袋状ナット１つを緩めたり、締めた
りするだけで簡単にでき、しかも制御機器本体の脱着時
に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロックの装着穴
に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。
また制御機器本体の結合部をガスケットにより緊密なシ
ール性を確保でき、しかも流路ブロックの装着穴の底面
を凸型にしてあるので、制御機器本体の脱着時にガスケ
ットのシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止で
きる。従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテ
ナンスを簡単にできる。その上、本発明の制御機器は、
本体が縦型にガスパネルに配されてコンパクトとなるの
で、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
ガスパネル用制御機器は、流路ブロックの装着穴からの
制御機器本体の脱着を、ガスラインを分解することな
く、内ねじを有する袋状ナット１つを緩めたり、締めた
りするだけで簡単にでき、しかも制御機器本体の脱着時
に生じるねじ部のパーティクルが流路ブロックの装着穴
に入ることがないので、ガス流路系に入ることがない。
また制御機器本体の結合部をガスケットにより緊密なシ
ール性を確保でき、しかも流路ブロックの装着穴の底面
を凸型にしてあるので、制御機器本体の脱着時にガスケ
ットのシール面にゴミの侵入、溜りが生じるのを防止で
きる。従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテ
ナンスを簡単にできる。その上、本発明の制御機器は、
本体が縦型にガスパネルに配されてコンパクトとなるの
で、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【図１】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の一実施
形態である自動ダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
形態である自動ダイヤフラム弁を示す縦断面図である。
【図２】図１の自動ダイヤフラム弁に於けるガスケット
装入部分を示すＡ−Ａ矢視断面図である。
装入部分を示すＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図４】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるトグル型手動ダイヤフラム弁を示す要部縦
断面図である。
施形態であるトグル型手動ダイヤフラム弁を示す要部縦
断面図である。
【図５】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるフィルターユニットを示す縦断面図であ
る。
施形態であるフィルターユニットを示す縦断面図であ
る。
【図６】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるチャッキ弁付自動ダイヤフラム弁を示す要
部縦断面図である。
施形態であるチャッキ弁付自動ダイヤフラム弁を示す要
部縦断面図である。
【図７】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるレギュレーターを示す要部縦断面図であ
る。
施形態であるレギュレーターを示す要部縦断面図であ
る。
【図８】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるマスフローコントローラーを示す要部縦断
面図である。
施形態であるマスフローコントローラーを示す要部縦断
面図である。
【図９】本発明の集積化ガスパネル用制御機器の他の実
施形態であるマスフローメーターを示す要部縦断面図で
ある。
施形態であるマスフローメーターを示す要部縦断面図で
ある。
【図１０】従来の集積化ガスパネルに於けるガスライン
の一例を示す平面図である。
の一例を示す平面図である。
１ 自動ダイヤフラム弁 ３、３′ ボディ ４、４′ ガス流入通路 ５、５′ ガス流出通路 １４、１４′ 袋状ナット １５、１５′ 流路ブロック １６、１６′ 装着穴 ２０、２０′、２１、２１′ ガス通路穴 ２２、２２′ ガスケット ２３、２３′ ボディの下面の溝 ４０ トグル型手動ダイヤフラム弁 ４０ フィルターユニット ４３ チャッキ弁４２付自動ダイヤフラム弁 ４４ レギュレーター ４５ マスフローコントローラー ４６ マスフローメーター
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用される自動ダイヤフラム
弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニッ
ト、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、レギュレータ
ー、マスフローコントローラー、マスフローメーター等
の制御機器であって、該制御機器の本体は縦型になさ
れ、本体下部のボディにガス流入通路、ガス流出通路が
設けられ、ボディの外周に内ねじを有する袋状ナットが
装着されて成り、前記制御機器のボディが流路ブロック
の上向き開口の装着穴に装入され、前記袋状ナットにて
流路ブロックに締結されていることを特徴とする集積化
ガスパネル用制御機器。 - 【請求項２】 請求項１記載の集積化ガスパネル用制御
機器に於いて、制御機器のボディの下面と対向する流路
ブロックの装着穴の底面が周縁より高くなされて凸型に
形成され、この凸型の底面とボディの下面との間にガス
通路穴を有するガスケットが介在されてシールされてい
ることを特徴とする集積化ガスパネル用制御機器。 - 【請求項３】 請求項２記載の集積化ガスパネル用制御
機器に於いて、ガスケットが、ボディ下面の溝に装入位
置決めされ、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガ
ス通路穴を有する一体型であることを特徴とする集積化
ガスパネル用制御機器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10240497A JP3549701B2 (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
| TW86113389A TW397909B (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Integration gas controller |
| US08/929,853 US6073646A (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Gas controlling device for integration |
| KR1019970048631A KR100273843B1 (ko) | 1996-09-30 | 1997-09-22 | 집적화용 가스 제어기기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10240497A JP3549701B2 (ja) | 1997-04-07 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10281385A true JPH10281385A (ja) | 1998-10-23 |
| JP3549701B2 JP3549701B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=14326513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10240497A Expired - Lifetime JP3549701B2 (ja) | 1996-09-30 | 1997-04-07 | 集積化ガスパネル用制御機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009002523A (ja) * | 2008-09-22 | 2009-01-08 | Hitachi Metals Ltd | メタルダイヤフラム弁 |
-
1997
- 1997-04-07 JP JP10240497A patent/JP3549701B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2009002523A (ja) * | 2008-09-22 | 2009-01-08 | Hitachi Metals Ltd | メタルダイヤフラム弁 |
| JP4697612B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2011-06-08 | 日立金属株式会社 | メタルダイヤフラム弁 |
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| JP3549701B2 (ja) | 2004-08-04 |
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