JP7396933B2 - 流路ユニット - Google Patents

Description

本発明は、流路ユニットに関する。

半導体、液晶、有機ＥＬ等の各種技術分野の製造工程において、薬液等の流体を送達及び循環させる際に使用する流路ユニットとして、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、圧力センサ、配管等の複数の流体デバイスと、２つの流体デバイスに形成された流路孔同士を接続する複数の基板ブロックと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１の図１１Ａ参照）。

特許文献１に記載された基板ブロックの内部には、Ｕ字状の流路が形成されており、その流路の両端は、基板ブロックの上面において開口している。基板ブロックの上面には、複数の流体デバイスが水平方向に並べて設置されている。隣り合う２つの流体デバイスのうち、一方の流体デバイスの流路孔は、基板ブロックの流路の一方側の開口に接続され、他方の流体デバイスの流路孔は、基板ブロックの流路の他方側の開口に接続されている。このようにして全ての流体デバイスの流路孔は、基板ブロックの流路を介して順に接続されている。これにより、全ての流体デバイスを直接接続する必要がないので、各流体デバイスを基板ブロックから個別に着脱することができるようになっている。

特表２０１９－５１８１７５号公報

半導体、液晶、有機ＥＬ等の製造工程において使用される流路ユニットは、その設置スペースを小さくするために、コンパクトに構成することが好ましい。しかし、特許文献１に示す流路ユニットでは、複数の流体デバイスの流路孔が基板ブロックの流路を介して順に接続されるように、全ての流体デバイスを基板ブロックの上面に沿って水平方向に並べて配置する必要がある。このため、流路ユニットを設置する際には、水平方向に比較的大きな設置スペースが必要となる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、コンパクトな構成で複数の流体デバイスの流路孔を接続することができ、かつ複数の流体デバイスを個別に着脱することができる流路ユニットを提供することを目的とする。

（１）本発明の流路ユニットは、ベースプレートと、前記ベースプレートに設けられた複数の流体デバイスと、を備えた流路ユニットであって、前記複数の流体デバイスは、少なくとも、第１流路孔を有する第１流体デバイスと、第２流路孔を有する第２流体デバイスと、を含み、前記第１流体デバイスは、前記ベースプレートの厚み方向の一方側に配置されて前記ベースプレートに着脱自在に設けられ、前記第２流体デバイスは、前記ベースプレートの厚み方向の他方側に配置されて前記ベースプレートに着脱自在に設けられ、前記ベースプレートは、前記第１流路孔と前記第２流路孔とを連通するために、当該ベースプレートの厚み方向に貫通して形成された貫通孔を有する。

本発明によれば、第１流体デバイス及び第２流体デバイスは、ベースプレートの厚み方向の一方側と他方側とに分けて配置され、第１流体デバイスの第１流路孔及び第２流体デバイスの第２流路孔は、ベースプレートを厚み方向に貫通する貫通孔により連通される。これにより、従来のように、全ての流体デバイスをベースプレートの厚み方向の一方側に並べて配置する場合に比べて、流路ユニットをベースプレートの厚み方向と直交する方向にコンパクトに構成した状態で、第１流体デバイス及び第２流体デバイスの流路孔同士を連通させることができる。また、第１流体デバイス及び第２流体デバイスは、それぞれベースプレートに着脱自在に設けられているため、第１流体デバイス及び第２流体デバイスをベースプレートから個別に着脱することができる。

（２）前記流路ユニットは、前記貫通孔に配置されたガスケットをさらに備え、前記ガスケットは、前記第１流路孔と前記第２流路孔とを連通する連通流路が内部に形成された筒状のガスケット本体と、前記ガスケット本体の軸方向一方側に設けられ、前記第１流体デバイスに着脱自在に接続されてその接続部分をシールする第１シール部と、前記ガスケット本体の軸方向他方側に設けられ、前記第２流体デバイスに着脱自在に接続されてその接続部分をシールする第２シール部と、を有するのが好ましい。
この場合、ガスケットの第１シール部を第１流体デバイスに接続し、ガスケットの第２シール部を第２流体デバイスに接続することで、これらの接続部分を第１シール部及び第２シール部によりシールされる。また、ガスケット内の連通流路により第１流路孔と第２流路孔とを連通することができる。したがって、ガスケットを用いることで、第１流体デバイス及び第２流体デバイスの流路孔同士を、流体が漏洩しないように連通させることができる。

（３）前記ガスケットの軸方向の長さは、前記貫通孔の長さよりも長いのが好ましい。
この場合、ガスケットの少なくとも軸方向一端部は、ベースプレートの貫通孔の外側へ突出する。これにより、ガスケットの前記軸方向一端部に接続されている流体デバイスをガスケットから取り外したときに、ガスケットの貫通孔から突出している部分を掴むことで、ガスケットをベースプレートから容易に取り外すことができる。

本発明によれば、省スペースで複数の流体デバイスの流路孔を接続することができ、かつ複数の流体デバイスを個別に着脱することができる。

本発明の第１実施形態に係る流路ユニットを示す斜視図である。 流路ユニットの要部断面図である。 本発明の第２実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。

［第１実施形態］
まず、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、以下に記載する複数の実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
図１は、本発明の第１実施形態に係る流路ユニットを示す斜視図である。図１において、本実施形態の流路ユニット１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液を送液及び循環させる際に使用される。以下の本明細書において、上、下、左及び右といった方向は、図１に示す方向を意味する。

流路ユニット１は、ベースプレート２と、複数の流体デバイス３と、流入管ブロック４と、流出管ブロック５と、を備えている。
ベースプレート２は、例えば、上下方向に所定の厚みを有する矩形状の平板によって構成されており、左右方向に長く延びて形成されている。

複数の流体デバイス３は、例えば、第１流体デバイス３１、第２流体デバイス３２、第３流体デバイス３３、及び第４流体デバイス３４を含んでいる。各流体デバイス３１～３４は、ポンプ、バルブ、アキュムレータ、フィルタ、流量計、又は圧力センサ等からなり、ブロック状に形成されている。また、これらの流体デバイス３１～３４は、それぞれベースプレート２に設置される第１設置面３１ａ、第２設置面３２ａ、第３設置面３３ａ、第４設置面３４ａを有している（図２参照）。

第１流体デバイス３１及び第３流体デバイス３３は、それぞれの設置面３１ａ，３３ａをベースプレート２の上面２ａに設置した状態で配置されている。図１では、第１流体デバイス３１は、ベースプレート２の上面２ａの左端に寄せて配置されており、第３流体デバイス３３は、ベースプレート２の上面２ａにおいて第１流体デバイス３１の右側に近接して配置されている。第１流体デバイス３１は、複数のボルト１１によりベースプレート２の上面２ａに対して着脱自在に固定されている。第３流体デバイス３３は、複数のボルト１３によりベースプレート２の上面２ａに対して着脱自在に固定されている。

第２流体デバイス３２及び第４流体デバイス３４は、それぞれの設置面３２ａ，３４ａをベースプレート２の下面２ｂに設置した状態で配置されている。図１では、第４流体デバイス３４は、ベースプレート２の下面２ｂの右端に寄せて配置されており、第２流体デバイス３２は、ベースプレート２の下面２ｂにおいて第４流体デバイス３４の左側に近接して配置されている。第２流体デバイス３２は、複数のボルト１２によりベースプレート２の下面２ｂに対して着脱自在に固定されている。第４流体デバイス３４は、複数のボルト１４によりベースプレート２の下面２ｂに対して着脱自在に固定されている。

流入管ブロック４は、外部から薬液が流入する配管ブロックである。流入管ブロック４は、ベースプレート２の下面２ｂの左端に配置されている。流入管ブロック４は、複数のボルト１５（図１には１つのみ図示）によりベースプレート２の下面２ｂに対して着脱自在に固定されている。流入管ブロック４は、左側に突出する突出管部４ａを有している。突出管部４ａの先端には、薬液が流入する入口４ｃが形成されている。

流出管ブロック５は、外部に薬液を排出する配管ブロックである。流出管ブロック５は、ベースプレート２の上面２ａの右端に配置されている。流出管ブロック５は、複数のボルト１６によりベースプレート２の上面２ａに対して着脱自在に固定されている。流出管ブロック５は、右側に突出する突出管部５ａを有している。突出管部５ａの先端には、薬液が流出する出口５ｄが形成されている。

図２は、流路ユニット１の要部断面図である。図２において、第１～第４流体デバイス３１～３４の内部には、それぞれ薬液が流れる第１流路孔３１ｂ、第２流路孔３２ｂ、第３流路孔３３ｂ、第４流路孔３４ｂが形成されている。これらの流路孔３１ｂ～３４ｂの孔径は、いずれも略同一寸法に設定されている。

第１流路孔３１ｂの入口（図示省略）と出口３１ｄは、いずれも第１設置面３１ａに開口して形成されている。第１流路孔３１ｂの入口は、流入管ブロック４内及びベースプレート２内にそれぞれ形成された流路孔（図示省略）を介して、流入管ブロック４の入口４ｃ（図１参照）と連通している。第１流路孔３１ｂの出口３１ｄは、第１流体デバイス３１の右端部に形成されている。

第２流路孔３２ｂの入口３２ｃと出口３２ｄは、いずれも第２設置面３２ａに開口して形成されている。第２流路孔３２ｂの入口３２ｃは、第２流体デバイス３２の左端部において、第１流路孔３１ｂの出口３１ｄの下方位置に形成されている。第２流路孔３２ｂの出口３２ｄは、第２流体デバイス３２の右端部に形成されている。

第３流路孔３３ｂの入口３３ｃと出口３３ｄは、いずれも第３設置面３３ａに開口して形成されている。第３流路孔３３ｂの入口３３ｃは、第３流体デバイス３３の左端部において、第２流路孔３２ｂの出口３２ｄの上方位置に形成されている。第３流路孔３３ｂの出口３３ｄは、第３流体デバイス３３の右端部に形成されている。

第４流路孔３４ｂの入口３４ｃと出口（図示省略）は、いずれも第４設置面３４ａに開口して形成されている。第４流路孔３４ｂの入口３４ｃは、第４流体デバイス３４の左端部において、第３流路孔３３ｂの出口３３ｄの下方位置に形成されている。第４流路孔３４ｂの出口は、ベースプレート２内及び流出管ブロック５内にそれぞれ形成された流路孔（図示省略）を介して、流出管ブロック５の出口５ｄ（図１参照）と連通している。

ベースプレート２は、その厚み方向に貫通して形成された第１貫通孔２１、第２貫通孔２２、及び第３貫通孔２３を有する。これらの貫通孔２１～２３の孔径は、後述するガスケット６の外径よりも大きい寸法に設定されている。

第１貫通孔２１は、ベースプレート２において、第１流路孔３１ｂの出口３１ｄと第２流路孔３２ｂの入口３２ｃとを連通する位置に形成されている。第２貫通孔２２は、ベースプレート２において、第２流路孔３２ｂの出口３２ｄと第３流路孔３３ｂの入口３３ｃとを連通する位置に形成されている。第３貫通孔２３は、ベースプレート２において、第３流路孔３３ｂの出口３３ｄと第４流路孔３４ｂの入口３４ｃとを連通する位置に形成されている。

流路ユニット１は、複数のガスケット６をさらに備えている。複数のガスケット６は、第１貫通孔２１に配置された第１ガスケット６１と、第２貫通孔２２に配置された第２ガスケット６２と、第３貫通孔２３に配置された第３ガスケット６３と、を含んでいる。

第１ガスケット６１～第３ガスケット６３は、同一の形状に形成されており、これらの軸方向の長さＬ１は、第１貫通孔２１～第３貫通孔２３の上下方向の長さＬ２よりも長い。第１ガスケット６１～第３ガスケット６３の上端部（軸方向一端部）は、ベースプレート２よりも上側に突出して配置されている。また、第１ガスケット６１～第３ガスケット６３の下端部（軸方向他端部）は、ベースプレート２よりも下側に突出して配置されている。

各ガスケット６は、ガスケット本体６ａと、ガスケット本体６ａの上側（軸方向一方側）に設けられた第１シール部６ｂと、ガスケット本体６ａの下側（軸方向他方側）に設けられた第２シール部６ｃと、を有する。
各ガスケット本体６ａは、例えば円筒状に形成されている。図２の左から順番に配置された各ガスケット本体６ａの内部には、上側の流路孔３１ｂ，３３ｂ，３３ｂと下側の流路孔３２ｂ，３２ｂ，３４ｂとを連通する連通流路６ｄが形成されている。連通流路６ｄの孔径は、流路孔３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂの孔径と略同一寸法に設定されている。

第１シール部６ｂは、例えば、環状の径内側シール部６ｂ１と、環状の径外側シール部６ｂ２と、を有している。
径内側シール部６ｂ１は、ガスケット本体６ａの径方向内側において上方に突出して形成されている。径内側シール部６ｂ１は、上側の流体デバイス３（３１，３３）に形成された径内側シール溝３ａに圧入されている。

径外側シール部６ｂ２は、ガスケット本体６ａの径方向外側において上方に突出して形成されている。径外側シール部６ｂ２は、上側の流体デバイス３に形成された径外側シール溝３ｂに圧入されている。
これにより、第１シール部６ｂは、上側の流体デバイス３に着脱自在に接続されており、その接続部分をシールしている。

第２シール部６ｃは、例えば、環状の径内側シール部６ｃ１と、環状の径外側シール部６ｃ２と、を有している。
径内側シール部６ｃ１は、ガスケット本体６ａの径方向内側において下方に突出して形成されている。径内側シール部６ｃ１は、下側の流体デバイス３（３２，３４）に形成された径内側シール溝３ｃに圧入されている。

径外側シール部６ｃ２は、ガスケット本体６ａの径方向外側において下方に突出して形成されている。径外側シール部６ｃ２は、下側の流体デバイス３に形成された径外側シール溝３ｄに圧入されている。
これにより、第２シール部６ｃは、下側の流体デバイス３に着脱自在に接続されており、その接続部分をシールしている。

以上の構成により、流入管ブロック４の入口４ｃから流入した薬液は、第１流体デバイス３１の第１流路孔３１ｂ、第１ガスケット６１の連通流路６ｄ、第２流体デバイス３２の第２流路孔３２ｂ、第２ガスケット６２の連通流路６ｄ、第３流体デバイス３３の第３流路孔３３ｂ、第３ガスケット６３の連通流路６ｄ、及び第４流体デバイス３４の第４流路孔３４ｂを、これらの順に通過した後、流出管ブロック５の出口５ｄから排出される。

第１実施形態の流路ユニット１によれば、第１流体デバイス３１及び第３流体デバイス３３はベースプレート２の上側に配置され、第２流体デバイス３２及び第４流体デバイス３４はベースプレート２の下側に配置されている。そして、上側の流体デバイス３１，３３の流路孔３１ｂ，３３ｂ，３３ｂ、及び下側の流体デバイス３２，３４の流路孔３２ｂ，３２ｂ，３４ｂは、ベースプレート２の貫通孔２１，２２，２３に配置された第１～第３ガスケット６１，６２，６３の連通流路６ｄにより連通されている。これにより、従来のように、全ての流体デバイスをベースプレートの上面に並べて配置する場合に比べて、流路ユニット１をベースプレート２の左右方向にコンパクトに構成した状態で、上側の流路孔３１ｂ，３３ｂ，３３ｂと下側の流路孔３２ｂ，３２ｂ，３４ｂとを連通させることができる。また、各流体デバイス３１～３４は、それぞれベースプレート２に着脱自在に設けられているため、各流体デバイス３１～３４をベースプレート２から個別に着脱することができる。

また、各第１～第３ガスケット６１，６２，６３の第１シール部６ｂを上側の流体デバイス３１，３３に接続し、各第１～第３ガスケット６１，６２，６３の第２シール部６ｃを下側の流体デバイス３２，３４に接続することで、これらの接続部分を第１シール部６ｂ及び第２シール部６ｃによりシールすることができる。したがって、第１～第３ガスケット６１，６２，６３を用いることで、上側の流路孔３１ｂ，３３ｂ，３３ｂと下側の流路孔３２ｂ，３２ｂ，３４ｂとを、薬液が漏洩しないように連通させることができる。

また、各ガスケット６の軸方向の長さＬ１は、ベースプレート２の貫通孔２１～２３の長さＬ２よりも長く形成されている。そして、上側の流体デバイス３１，３３をガスケット６から取り外したときに、ガスケット６の上端部（第１シール部６ｂ）は、ベースプレート２の貫通孔２１，２２，２３の上側（外側）へ突出する。また、下側の流体デバイス３２，３４をガスケット６から取り外したときに、ガスケット６の下端部（第２シール部６ｃ）が貫通孔２１，２２，２３の下側（外側）へ突出する。このため、ガスケット６の貫通孔２１，２２，２３から突出している部分を掴むことで、ガスケット６をベースプレート２から容易に取り外すことができる。

なお、第１実施形態において、複数の流体デバイス３は、４つの流体デバイス３１～３４を含んでいるが、少なくとも２つの流体デバイスを含んでいればもよい。例えば、複数の流体デバイス３は、第３流体デバイス３３及び第４流体デバイス３４のみを含んでいてもよい。その場合、第３流体デバイス３３及び第４流体デバイス３４のうち、一方の流体デバイスは、ベースプレート２の厚み方向の一方側に配置される「第１流体デバイス」となり、他方の流体デバイスは、ベースプレート２の厚み方向の他方側に配置される「第２流体デバイス」となる。

［第２実施形態］
図３は、本発明の第２実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。図３において、本実施形態の流路ユニット１では、複数の流体デバイス３は、例えば、第１流体デバイス３１及び第２流体デバイス３２を含んでいる。第１流体デバイス３１は、ベースプレート２の上面２ａに設置される第１設置面３１ａよりも下方に突出する円筒状の第１突出部３１ｅを有している。第２流体デバイス３２は、ベースプレート２の下面２ｂに設置される第２設置面３２ａよりも上方に突出する円筒状の第２突出部３２ｅを有している。

第１流体デバイス３１の第１突出部３１ｅの下面には、第１流路孔３１ｂの出口３１ｄが形成されている。第２流体デバイス３２の第２突出部３２ｅの上面には、第２流路孔３２ｂの入口３２ｃが形成されている。第２流路孔３２ｂの入口３２ｃは、第１流路孔３１ｂの出口３１ｄの下方位置に形成されている。

ベースプレート２は、その厚み方向に貫通して形成された第１貫通孔２１を有する。第１貫通孔２１には、その上側から第１流体デバイス３１の第１突出部３１ｅが挿入されている。また、第１貫通孔２１には、その下側から第２流体デバイス３２の第２突出部３２ｅが挿入されている。

ベースプレート２の第１貫通孔２１には、第１ガスケット６１が配置されている。第１ガスケット６１の軸方向の長さＬ１は、第１貫通孔２１の上下方向の長さＬ２と同一または当該長さＬ２よりも短い。第１ガスケット６１の第１シール部６ｂにおける径内側シール部６ｂ１及び径外側シール部６ｂ２は、第１流体デバイス３１の第１突出部３１ｅに形成された径内側シール溝３ａ及び径外側シール溝３ｂに圧入されている。第１ガスケット６１の第２シール部６ｃにおける径内側シール部６ｃ１及び径外側シール部６ｃ２は、第２流体デバイス３２の第２突出部３２ｅに形成された径内側シール溝３ｃ及び径外側シール溝３ｄに圧入されている。

以上の構成により、第１流体デバイス３１の第１流路孔３１ｂ、及び第２流体デバイス３２の第２流路孔３２ｂは、第１ガスケット６１の連通流路６ｄを介して連通している。 本実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。

第２実施形態の流路ユニット１によれば、第１流体デバイス３１はベースプレート２の上側に配置され、第２流体デバイス３２はベースプレート２の下側に配置されている。そして、第１流体デバイス３１の流路孔３１ｂ、及び第２流体デバイス３２の流路孔３２ｂは、ベースプレート２の第１貫通孔２１に配置された第１ガスケット６１の連通流路６ｄにより連通されている。これにより、従来のように、全ての流体デバイスをベースプレートの上面に並べて配置する場合に比べて、流路ユニット１をベースプレート２の左右方向にコンパクトに構成した状態で、第１流路孔３１ｂと第２流路孔３２ｂとを連通させることができる。また、各流体デバイス３１，３２は、それぞれベースプレート２に着脱自在に設けられているため、各流体デバイス３１，３２をベースプレート２から個別に着脱することができる。

また、第１ガスケット６１の第１シール部６ｂを第１流体デバイス３１に接続し、第１ガスケット６１の第２シール部６ｃを第２流体デバイス３２に接続することで、これらの接続部分を第１シール部６ｂ及び第２シール部６ｃによりシールすることができる。したがって、第１ガスケット６１を用いることで、第１流路孔３１ｂと第２流路孔３２ｂとを、薬液が漏洩しないように連通させることができる。

［第３実施形態］
図４は、本発明の第３実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。本実施形態の流路ユニット１は、第２実施形態の変形例である。図４において、第１流体デバイス３１の第１突出部３１ｅの外周には、雄ねじ部３１ｆが形成されている。第２流体デバイス３２の第２突出部３２ｅの外周には、雄ねじ部３２ｆが形成されている。本実施形態では、第１突出部３１ｅ及び第２突出部３２ｅの各雄ねじ部３１ｆ，３２ｆは、左ねじとされている。

ベースプレート２は、プレート本体２４と、円筒状の第１隆起部２５と、円筒状の第２隆起部２６と、を有している。第１隆起部２５は、プレート本体２４の上面２４ａから上方に突出して形成されている。第２隆起部２６は、プレート本体２４の下面２４ｂから下方に突出して形成されている。

第１隆起部２５の外周には、雄ねじ部２５ａが形成されている。第２隆起部２６は、第１隆起部２５の形成位置に対して、プレート本体２４を挟んで反対側の位置に形成されている。第２隆起部２６の外周には、雄ねじ部２６ａが形成されている。第１隆起部２５及び第２隆起部２６の各雄ねじ部２５ａ，２６ａは、第１突出部３１ｅ及び第２突出部３２ｅの各雄ねじ部３１ｆ，３２ｆに対して逆ねじとされている。本実施形態の各雄ねじ部２５ａ，２６ａは、右ねじとされている。

本実施形態の流路ユニット１は、第１流体デバイス３１をベースプレート２に対して着脱自在に固定する第１ナット７と、第２流体デバイス３２をベースプレート２に対して着脱自在に固定する第２ナット８と、を備えている。

第１ナット７の内周の上半分には第１雌ねじ部７ａが形成され、第１ナット７の内周の下半分には第２雌ねじ部７ｂが形成されている。第１雌ねじ部７ａ及び第２雌ねじ部７ｂは、互いに逆ねじとされている。本実施形態では、第１雌ねじ部７ａは左ねじとされ、第２雌ねじ部７ｂは右ねじとされている。

第１ナット７の第１雌ねじ部７ａは、第１突出部３１ｅの雄ねじ部３１ｆに螺合される。第１ナット７の第２雌ねじ部７ｂは、第１隆起部２５の雄ねじ部２５ａに螺合される。これにより、第１流体デバイス３１の第１突出部３１ｅ、及びベースプレート２の第１隆起部２５は、第１ナット７により連結されている。

第２ナット８の内周の下半分には第１雌ねじ部８ａが形成され、第２ナット８の内周の上半分には第２雌ねじ部８ｂが形成されている。第１雌ねじ部８ａ及び第２雌ねじ部８ｂは、互いに逆ねじとされている。本実施形態では、第１雌ねじ部８ａは左ねじとされ、第２雌ねじ部８ｂは右ねじとされている。

第２ナット８の第１雌ねじ部８ａは、第２突出部３２ｅの雄ねじ部３２ｆに螺合される。第２ナット８の第２雌ねじ部８ｂは、第２隆起部２６の雄ねじ部２６ａに螺合される。これにより、第２流体デバイス３２の第２突出部３２ｅ、及びベースプレート２の第２隆起部２６は、第２ナット８により連結されている。

ベースプレート２の第１隆起部２５及び第２隆起部２６には、ベースプレート２の厚み方向に貫通して形成された第１貫通孔２１が形成されている。ベースプレート２の第１貫通孔２１には、第１ガスケット６１が配置されている。第１ガスケット６１の軸方向の長さＬ１は、第１貫通孔２１～第３貫通孔２３の上下方向の長さＬ２よりも長い。

第１ガスケット６１における第１シール部６ｂの径内側シール部６ｂ１及び径外側シール部６ｂ２は、第１ナット７を締め付けることで、第１流体デバイス３１の径内側シール溝３ａ及び径外側シール溝３ｂに圧入されるようになっている。第１ナット７を締め付けた状態で、第１ナット７の軸方向（図４の上下方向）の両端面は、第１流体デバイス３１の第１設置面３１ａとプレート本体２４の上面２４ａに当接する。これにより、第１流体デバイス３１の第１設置面３１ａは、第１ナット７を介してベースプレート２の上側に設置される。

第１ガスケット６１における第２シール部６ｃの径内側シール部６ｃ１及び径外側シール部６ｃ２は、第２ナット８を締め付けることで、第２流体デバイス３２の径内側シール溝３ｃ及び径外側シール溝３ｄに圧入されるようになっている。第２ナット８を締め付けた状態で、第２ナット８の軸方向（図４の上下方向）の両端面は、第２流体デバイス３２の第２設置面３２ａとプレート本体２４の下面２４ｂに当接する。これにより、第２流体デバイス３２の第２設置面３２ａは、第２ナット８を介してベースプレート２の下側に設置される。

なお、本実施形態では、第１ナット７の軸方向の両端面が第１流体デバイス３１の第１設置面３１ａとプレート本体２４の上面２４ａに当接し、第２ナット８の軸方向の両端面が第２流体デバイス３２の第２設置面３２ａとプレート本体２４の下面２４ｂに当接するとしたが、これらを当接させずに第１設置面３１ａと上面２４ａとの間および第２設置面３２ａと下面２４ｂとの間にスペースを設けてもよい。
本実施形態の他の構成は、第２実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。

第３実施形態の流路ユニット１においても、第２実施形態と同様の作用効果を奏する。また、各ガスケット６の軸方向の長さＬ１は、ベースプレート２の第１貫通孔２１の長さＬ２よりも長く形成されている。そして、第１流体デバイス３１を第１ガスケット６１から取り外したときに、第１ガスケット６１の上端部（第１シール部６ｂ）は、ベースプレート２の第１貫通孔２１の上側（外側）へ突出する。また、第２流体デバイス３２を第１ガスケット６１から取り外したときに、第１ガスケット６１の下端部（第２シール部６ｃ）が第１貫通孔２１の下側（外側）へ突出する。このため、第１ガスケット６１の第１貫通孔２１から突出している部分を掴むことで、第１ガスケット６１をベースプレート２から容易に取り外すことができる。

［第４実施形態］
図５は、本発明の第４実施形態に係る流路ユニットの要部を示す断面図である。本実施形態の流路ユニット１は、第３実施形態の変形例である。図５において、第１流体デバイス３１は、第１本体部３１１と、第１本体部３１１から下方に突出する円筒状の第１突出部３１２と、を有している。第１突出部３１２の下端部の外周には、径方向外側（左右方向）に突出して形成された環状の第１フランジ部３１３が形成されている。

第２流体デバイス３２は、第２本体部３２１と、第２本体部３２１から上方に突出する円筒状の第２突出部３２２と、を有している。第２突出部３２２の上端部の外周には、径方向外側に突出して形成された環状の第２フランジ部３２３が形成されている。

ベースプレート２は、第１隆起部２５の上端部の外周において径方向外側に突出して形成された環状の第１フランジ部２７と、第２隆起部２６の下端部の外周において径方向外側に突出して形成された環状の第２フランジ部２８と、を有している。

本実施形態の流路ユニット１は、第１流体デバイス３１をベースプレート２に対して着脱自在に固定する第１クランプ９と、第２流体デバイス３２をベースプレート２に対して着脱自在に固定する第２クランプ１０と、を備えている。

第１クランプ９は、例えば断面略Ｃ字状に形成されており、第１流体デバイス３１の第１フランジ部３１３と、ベースプレート２の第１フランジ部２７と、を挟み込んで締め付けることにより、これら両フランジ部３１３，２７を連結している。これにより、第１流体デバイス３１は、第１クランプ９を介してベースプレート２の上側に設置されている。

第２クランプ１０は、例えば断面略Ｃ字状に形成されており、第２流体デバイス３２の第２フランジ部３２３と、ベースプレート２の第２フランジ部２８と、を挟み込んで締め付けることにより、これら両フランジ部３２３，２８を連結している。これにより、第２流体デバイス３２は、第２クランプ１０を介してベースプレート２の下側に設置されている。

第１ガスケット６１における第１シール部６ｂの径内側シール部６ｂ１及び径外側シール部６ｂ２は、第１クランプ９を締め付けることで、第１流体デバイス３１の径内側シール溝３ａ及び径外側シール溝３ｂに圧入されるようになっている。
第１ガスケット６１における第２シール部６ｃの径内側シール部６ｃ１及び径外側シール部６ｃ２は、第２クランプ１０を締め付けることで、第２流体デバイス３２の径内側シール溝３ｃ及び径外側シール溝３ｄに圧入されるようになっている。

本実施形態の他の構成は、第３実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。第４実施形態の流路ユニット１においても、第３実施形態と同様の作用効果を奏する。

［その他］
上記実施形態では、上側に配置された流体デバイス３と下側に配置された流体デバイス３の流路孔同士は、ガスケット６の連通流路６ｄを介して連通しているが、ベースプレート２の貫通孔２１（２２，２３）だけで連通させてもよい。
また、本発明の流路ユニットは、半導体製造装置以外に、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいても適用することができる。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 流路ユニット
２ ベースプレート
３ 流体デバイス
６ ガスケット
６ａ ガスケット本体
６ｂ 第１シール部
６ｃ 第２シール部
２１ 第１貫通孔（貫通孔）
３１ 第１流体デバイス
３１ｂ 第１流路孔
３２ 第２流体デバイス
３２ｂ 第２流路孔
Ｌ１ ガスケットの軸方向の長さ
Ｌ２ 貫通孔の長さ

Claims (3)

1. ベースプレートと、前記ベースプレートに設けられた複数の流体デバイスと、を備えた流路ユニットであって、
   前記複数の流体デバイスは、少なくとも、第１流路孔を有する第１流体デバイスと、第２流路孔を有する第２流体デバイスと、を含み、
   前記第１流体デバイスは、前記ベースプレートの厚み方向の一方側に配置されて前記ベースプレートに着脱自在に設けられ、
   前記第２流体デバイスは、前記ベースプレートの厚み方向の他方側に配置されて前記ベースプレートに着脱自在に設けられ、
   前記ベースプレートは、前記第１流路孔と前記第２流路孔とを連通するために、当該ベースプレートの厚み方向に貫通して形成された貫通孔を有し、
   前記貫通孔に配置されたガスケットをさらに備え、
   前記ガスケットは、
   前記第１流路孔と前記第２流路孔とを連通する連通流路が内部に形成された筒状のガスケット本体と、
   前記ガスケット本体の軸方向一方側に設けられ、前記第１流体デバイスに着脱自在に接続されてその接続部分をシールする第１シール部と、
   前記ガスケット本体の軸方向他方側に設けられ、前記第２流体デバイスに着脱自在に接続されてその接続部分をシールする第２シール部と、を有する、流路ユニット。
2. 前記ガスケットの軸方向の長さは、前記貫通孔の長さよりも長い、請求項１に記載の流路ユニット。
3. 前記第１流体デバイスは、前記ベースプレートの前記一方側の面に設置された第１設置面と、前記第１設置面よりも前記他方側に突出して前記貫通孔に挿入されている第１突出部と、前記第１突出部に形成された前記第１流路孔と、を有し、
   前記第２流体デバイスは、前記ベースプレートの前記他方側の面に設置された第２設置面と、前記第２設置面よりも前記一方側に突出して前記貫通孔に挿入されている第２突出部と、前記第２突出部に形成された前記第２流路孔と、を有し、
   前記第１シール部は、前記第１突出部に着脱自在に接続され、
   前記第２シール部は、前記第２突出部に着脱自在に接続される、請求項１又は請求項２に記載の流路ユニット。

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