JPH09184577A - 流体及び気体のシステムのための底部が平坦な部品及びその構造 - Google Patents
流体及び気体のシステムのための底部が平坦な部品及びその構造Info
- Publication number
- JPH09184577A JPH09184577A JP8316521A JP31652196A JPH09184577A JP H09184577 A JPH09184577 A JP H09184577A JP 8316521 A JP8316521 A JP 8316521A JP 31652196 A JP31652196 A JP 31652196A JP H09184577 A JPH09184577 A JP H09184577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- manifold
- fluid
- port
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K13/00—Other constructional types of cut-off apparatus; Arrangements for cutting-off
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Feeding And Controlling Fuel (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流体システム部品の相互接続において、汚
染、腐食、漏洩及び信頼性に関する問題を低減する。 【解決手段】 流体又はガスの供給システムの他の部品
とのインターフェースとなる平坦平面である表面を有す
る、バルブを備えている。この平坦平面なバルブ面に
は、流入及び排出のポートと、複数の開口とが、外縁に
沿って配置されている。典型的には、バルブの外縁沿っ
て配置される開口の中に、バルブを他の部品に固定する
ための止めねじが配置される。流入ポートを設置するこ
とにより、バルブ本体の中に配置される流入通路を通っ
て、バルブのキャビティの中へと、流体が流入できるよ
うになる。排出ポートは、バルブ本体の中配置される排
出通路の出口の地点を画成する。排出通路により、バル
ブキャビティの外へと流体が排出されることが可能とな
る。
染、腐食、漏洩及び信頼性に関する問題を低減する。 【解決手段】 流体又はガスの供給システムの他の部品
とのインターフェースとなる平坦平面である表面を有す
る、バルブを備えている。この平坦平面なバルブ面に
は、流入及び排出のポートと、複数の開口とが、外縁に
沿って配置されている。典型的には、バルブの外縁沿っ
て配置される開口の中に、バルブを他の部品に固定する
ための止めねじが配置される。流入ポートを設置するこ
とにより、バルブ本体の中に配置される流入通路を通っ
て、バルブのキャビティの中へと、流体が流入できるよ
うになる。排出ポートは、バルブ本体の中配置される排
出通路の出口の地点を画成する。排出通路により、バル
ブキャビティの外へと流体が排出されることが可能とな
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、概説的には、流体
システム及び気体システムに関する。特に、本発バル
ブ、レギュレータ、機器計測装置等の、底部が平坦な部
品を有する流体システム及び気体システムに関する。
システム及び気体システムに関する。特に、本発バル
ブ、レギュレータ、機器計測装置等の、底部が平坦な部
品を有する流体システム及び気体システムに関する。
【0002】
【従来の技術】工業プロセスの多くで流体やプロセスガ
スの流動を制御することが必要となることは、知られて
いるところである。半導体産業、製薬産業、原子力産業
などを始めとする多くの産業では、所要の場所に導入す
るプロセスガスや流体が高純度である必要があり、且つ
粒子を含んでいないことが必要である。このような高純
度且つ粒子のないガスや流体を搬入可能なシステムに対
する要請を例示する目的で、ここでは、半導体処理に関
する要請に関して話を限定する。しかしながら、このよ
うな限定は説明のためのものであり、また、本発明の装
置は、あらゆるガス又は流体の移送システムに適用可能
であることが理解されよう。
スの流動を制御することが必要となることは、知られて
いるところである。半導体産業、製薬産業、原子力産業
などを始めとする多くの産業では、所要の場所に導入す
るプロセスガスや流体が高純度である必要があり、且つ
粒子を含んでいないことが必要である。このような高純
度且つ粒子のないガスや流体を搬入可能なシステムに対
する要請を例示する目的で、ここでは、半導体処理に関
する要請に関して話を限定する。しかしながら、このよ
うな限定は説明のためのものであり、また、本発明の装
置は、あらゆるガス又は流体の移送システムに適用可能
であることが理解されよう。
【0003】前述のように、高純度且つ粒子のないガス
や流体を流入させる技術は、広範な産業上の用途に極め
て重要である。例えば、半導体産業における化学気相堆
積法(CVD)やエッチング技術の急速な普及は、製造
装置の開発や使用に関連してなされたものであり、これ
らは、半導体製造装置において所要の場所に超高純度の
プロセスガスを供給する技術に負うところが大きい。高
純度ガスの操作に関しては、所要の場所にプロセスガス
を汚染なく供給することが不可欠であり、何故なら、数
ppb(十億分の数部)の不純物レベルで、半導体その
他の高純度の製品の収率に悪影響を与え得るからであ
る。更に、ガス供給システムは操業上安全であり且つシ
ステムのオペレータの健康や安全を害するようなガスの
漏洩がないことを確保する必要がある。
や流体を流入させる技術は、広範な産業上の用途に極め
て重要である。例えば、半導体産業における化学気相堆
積法(CVD)やエッチング技術の急速な普及は、製造
装置の開発や使用に関連してなされたものであり、これ
らは、半導体製造装置において所要の場所に超高純度の
プロセスガスを供給する技術に負うところが大きい。高
純度ガスの操作に関しては、所要の場所にプロセスガス
を汚染なく供給することが不可欠であり、何故なら、数
ppb(十億分の数部)の不純物レベルで、半導体その
他の高純度の製品の収率に悪影響を与え得るからであ
る。更に、ガス供給システムは操業上安全であり且つシ
ステムのオペレータの健康や安全を害するようなガスの
漏洩がないことを確保する必要がある。
【0004】よく用いられてきた従来技術によるガス供
給システムでは、バルブ、レギュレータや圧力センサ等
の様々なシステム部品間相互の接続に、ステンレス鋼の
配管や圧縮継手(コンプレッションフィッティング)を
用いている。更に、これらシステム部品をシステムの配
管につなぐため、継手との相互接続を行う前に、まず、
配管の一部をシステム部品に溶接する必要がある。この
ような従来技術の配管システムは十分に確立されている
ものであるが、使用に当たって多くの問題点が存在す
る。これらの問題点は、毒性や腐食性を有するガスや流
体を高純度のレベルで供給する必要があるようなシステ
ムにおいて特に強調される。
給システムでは、バルブ、レギュレータや圧力センサ等
の様々なシステム部品間相互の接続に、ステンレス鋼の
配管や圧縮継手(コンプレッションフィッティング)を
用いている。更に、これらシステム部品をシステムの配
管につなぐため、継手との相互接続を行う前に、まず、
配管の一部をシステム部品に溶接する必要がある。この
ような従来技術の配管システムは十分に確立されている
ものであるが、使用に当たって多くの問題点が存在す
る。これらの問題点は、毒性や腐食性を有するガスや流
体を高純度のレベルで供給する必要があるようなシステ
ムにおいて特に強調される。
【0005】前述のように、従来技術の配管技術は、シ
ステム部品間相互の接続を与えるために、継手と溶接を
用いている。このような複雑な、配管、継手及び溶接の
システムのため、問題が数多く生じている。従来技術の
配管システムは、通常は、継手を少なくとも2つ必要と
し、更に、多くの場合、部品と配管の間に溶接ジョイン
トを有している。1つの例として、図1には、従来技術
の流体及びガス供給システムに用いられる、典型的な従
来技術のバルブ本体下部10の断面図を例示する。図1
に示されるように、バルブ本体10は、流入通路17及
び排出通路18とを有し、これらは、バルブ本体10の
中に配置されたキャビティ16からの流入及び排出を行
うためのものである。バルブは、ディスク15を有して
おり、このディスク15は、バルブ座19にディスク1
5を強制的に係合させるために用いられるステム14に
取り付けられている。更に重要なことに、本体10は、
配管部12a、12bと溶接部13a、13bに取り付
けられた継手11a、11bを有していることを注意す
べきである。図2は、従来技術の流体及びガス供給シス
テムの別の従来からの部品の例を例示する。図2は、典
型的な機器計測装置60の側面図である。図示のよう
に、装置60は、本体62と、配管部61a、61bと
を有している。前述のバルブ本体の場合を同様に、装置
60は、堆積のシステム部品との接続に必要な継手63
及び64を有している。継手及び溶接を用いてシステム
部品間相互を接続することに係るコストは高く、そのた
め、製造コストを押し上げてしまう。配管及び継手で
は、使用している最中の不適切な組み立て、使用及び損
傷により、漏洩が生じやすい傾向がある。
ステム部品間相互の接続を与えるために、継手と溶接を
用いている。このような複雑な、配管、継手及び溶接の
システムのため、問題が数多く生じている。従来技術の
配管システムは、通常は、継手を少なくとも2つ必要と
し、更に、多くの場合、部品と配管の間に溶接ジョイン
トを有している。1つの例として、図1には、従来技術
の流体及びガス供給システムに用いられる、典型的な従
来技術のバルブ本体下部10の断面図を例示する。図1
に示されるように、バルブ本体10は、流入通路17及
び排出通路18とを有し、これらは、バルブ本体10の
中に配置されたキャビティ16からの流入及び排出を行
うためのものである。バルブは、ディスク15を有して
おり、このディスク15は、バルブ座19にディスク1
5を強制的に係合させるために用いられるステム14に
取り付けられている。更に重要なことに、本体10は、
配管部12a、12bと溶接部13a、13bに取り付
けられた継手11a、11bを有していることを注意す
べきである。図2は、従来技術の流体及びガス供給シス
テムの別の従来からの部品の例を例示する。図2は、典
型的な機器計測装置60の側面図である。図示のよう
に、装置60は、本体62と、配管部61a、61bと
を有している。前述のバルブ本体の場合を同様に、装置
60は、堆積のシステム部品との接続に必要な継手63
及び64を有している。継手及び溶接を用いてシステム
部品間相互を接続することに係るコストは高く、そのた
め、製造コストを押し上げてしまう。配管及び継手で
は、使用している最中の不適切な組み立て、使用及び損
傷により、漏洩が生じやすい傾向がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の配管システ
ムに関する別の問題は、汚染され易さである。先に述べ
たように、多くの配管組立体では、システム部品と配管
の間の接続の形成には、溶接を必要とする。このような
溶接は、穴あきや腐食が生じ易く、特に腐食性の媒体を
供給するシステムでは顕著である。このような腐食が汚
染につながることは、直ちに理解されるだろう。また、
配管組立体では、システムの中を流れる流体に曝露され
るぬれ面積は比較的大きいことに注意すべきである。こ
のことによっても、システム内の不純物を増加させる。
前述のように、ウルトラクリーンな半導体用途等、高純
度ガスの流入が非常に重要な用途がある。例えば、化学
気相堆積(CVD)やその他の気相技術による、電子及
び光電子セルの高品質な薄膜の成長は、ガス供給システ
ム中の不純物によって妨害される。これらの不純物によ
り欠陥が生じ、不良品の数が多くなり、非常に高価なも
のとなる。
ムに関する別の問題は、汚染され易さである。先に述べ
たように、多くの配管組立体では、システム部品と配管
の間の接続の形成には、溶接を必要とする。このような
溶接は、穴あきや腐食が生じ易く、特に腐食性の媒体を
供給するシステムでは顕著である。このような腐食が汚
染につながることは、直ちに理解されるだろう。また、
配管組立体では、システムの中を流れる流体に曝露され
るぬれ面積は比較的大きいことに注意すべきである。こ
のことによっても、システム内の不純物を増加させる。
前述のように、ウルトラクリーンな半導体用途等、高純
度ガスの流入が非常に重要な用途がある。例えば、化学
気相堆積(CVD)やその他の気相技術による、電子及
び光電子セルの高品質な薄膜の成長は、ガス供給システ
ム中の不純物によって妨害される。これらの不純物によ
り欠陥が生じ、不良品の数が多くなり、非常に高価なも
のとなる。
【0007】また、従来技術の配管システムは、典型的
には、インラインの構成を必要とすることに注意するこ
とが重要である。即ち、システム部品のそれぞれが、配
管の1つのラインとして相互に順番に接続されていく必
要がある。このことが制約となり、システムの設計を小
型化することが困難となり、その結果、組立体が大型に
なる。更に、この制約により、内部の気体体積が大きく
なり、その結果、必要なパージ時間が増加し、高価なパ
ージガスを余計に用いなければならなくなる。
には、インラインの構成を必要とすることに注意するこ
とが重要である。即ち、システム部品のそれぞれが、配
管の1つのラインとして相互に順番に接続されていく必
要がある。このことが制約となり、システムの設計を小
型化することが困難となり、その結果、組立体が大型に
なる。更に、この制約により、内部の気体体積が大きく
なり、その結果、必要なパージ時間が増加し、高価なパ
ージガスを余計に用いなければならなくなる。
【0008】
【課題を解決するための手段】従って、所要の場所にガ
ス及び流体を供給することに関する問題を解決する装置
が必要である。即ち、本発明は、底部が平坦なの構造を
用いることにより、前述の問題を解決する、改良された
部品と、改良されたガス及び/又は流体供給システムと
を、提供するものである。
ス及び流体を供給することに関する問題を解決する装置
が必要である。即ち、本発明は、底部が平坦なの構造を
用いることにより、前述の問題を解決する、改良された
部品と、改良されたガス及び/又は流体供給システムと
を、提供するものである。
【0009】改良されたバルブ及び流体供給組立体が開
示される。具体例の1つでは、本発明は、流体又はガス
の供給システムの他の部品とのインターフェースとなる
平坦平面である表面を有する、バルブを備えている。こ
の平坦平面なバルブ面には、流入及び排出のポートと、
複数の開口とが、外縁に沿って配置されている。典型的
には、バルブの外縁沿って配置される開口の中に、バル
ブを他の部品に固定するための止めねじが配置される。
流入ポートを設置することにより、バルブ本体の中に配
置される流入通路を通って、バルブのキャビティの中へ
と、流体が流入できるようになる。排出ポートは、バル
ブ本体の中配置される排出通路の出口の地点を画成す
る。排出通路により、バルブキャビティの外へと流体が
排出されることが可能となる。本発明の顕著な特徴は、
継手や溶接を用いずに、流体システムの中の他の部品に
バルブを取り付けることができる点にある。
示される。具体例の1つでは、本発明は、流体又はガス
の供給システムの他の部品とのインターフェースとなる
平坦平面である表面を有する、バルブを備えている。こ
の平坦平面なバルブ面には、流入及び排出のポートと、
複数の開口とが、外縁に沿って配置されている。典型的
には、バルブの外縁沿って配置される開口の中に、バル
ブを他の部品に固定するための止めねじが配置される。
流入ポートを設置することにより、バルブ本体の中に配
置される流入通路を通って、バルブのキャビティの中へ
と、流体が流入できるようになる。排出ポートは、バル
ブ本体の中配置される排出通路の出口の地点を画成す
る。排出通路により、バルブキャビティの外へと流体が
排出されることが可能となる。本発明の顕著な特徴は、
継手や溶接を用いずに、流体システムの中の他の部品に
バルブを取り付けることができる点にある。
【0010】本発明の別の具体例では、底部が平坦なバ
ルブ及び/又は、機器計測装置等の他の底部が平坦な部
品が、これら底部が平坦な部品と相互に接続するための
通路を有するモノリシックないし一体の構造体に取り付
けられている。このモノリシックな構造体は、概説的に
は、少なくとも1つの平坦な外面を有するマニホールド
から有しており、この外面は、底部が平坦な部品のマニ
ホールドへの接続を容易にする。マニホールドの平坦な
外面は、典型的には、マニホールドに取り付けられる底
部が平坦な部品の流入ポート及び/又は排出ポートに対
応する流入ポート及び/又は排出ポートを有している。
更に、マニホールドの平坦な外面は、ねじ切り開口を有
しており、これは、底部が平坦な部品の外縁の周りに配
置される開口に対応している。底部が平坦な部品のマニ
ホールドへの取り付けは、典型的には、先ず底部が平坦
な部品をマニホールドの平坦な外面の上に配置し、次い
で、それぞれの流入ポート及び/又は排出ポートと調心
をすることによってなされる。調心が済んだ後、止めね
じをそれぞれの部品開口に挿入してマニホールドのねじ
切り開口にねじを止めて、底部が平坦な部品を固定す
る。
ルブ及び/又は、機器計測装置等の他の底部が平坦な部
品が、これら底部が平坦な部品と相互に接続するための
通路を有するモノリシックないし一体の構造体に取り付
けられている。このモノリシックな構造体は、概説的に
は、少なくとも1つの平坦な外面を有するマニホールド
から有しており、この外面は、底部が平坦な部品のマニ
ホールドへの接続を容易にする。マニホールドの平坦な
外面は、典型的には、マニホールドに取り付けられる底
部が平坦な部品の流入ポート及び/又は排出ポートに対
応する流入ポート及び/又は排出ポートを有している。
更に、マニホールドの平坦な外面は、ねじ切り開口を有
しており、これは、底部が平坦な部品の外縁の周りに配
置される開口に対応している。底部が平坦な部品のマニ
ホールドへの取り付けは、典型的には、先ず底部が平坦
な部品をマニホールドの平坦な外面の上に配置し、次い
で、それぞれの流入ポート及び/又は排出ポートと調心
をすることによってなされる。調心が済んだ後、止めね
じをそれぞれの部品開口に挿入してマニホールドのねじ
切り開口にねじを止めて、底部が平坦な部品を固定す
る。
【0011】また別の具体例では、本発明は、キャビテ
ィと、バルブ部品と、バルブ部品を位置決めするための
手段と、平坦面を有するフランジ部分とを有するバルブ
本体組立体を有している。バルブ本体組立体は、流入通
路及び排出通路を有する別の流体システム部品に固定さ
れ、これら通路は、少なくとも1つの平坦外面に沿って
配置される開口を有している。バルブ本体組立体と流体
部品とが、これらの平坦面に沿って固定される場合は、
流体部品の流入開口と排出開口の何れかと係合するよう
にバルブ部品の位置が与えられ、それぞれの通路の中の
流体を流動させあるいは制限する。
ィと、バルブ部品と、バルブ部品を位置決めするための
手段と、平坦面を有するフランジ部分とを有するバルブ
本体組立体を有している。バルブ本体組立体は、流入通
路及び排出通路を有する別の流体システム部品に固定さ
れ、これら通路は、少なくとも1つの平坦外面に沿って
配置される開口を有している。バルブ本体組立体と流体
部品とが、これらの平坦面に沿って固定される場合は、
流体部品の流入開口と排出開口の何れかと係合するよう
にバルブ部品の位置が与えられ、それぞれの通路の中の
流体を流動させあるいは制限する。
【0012】本発明は、その単純な構造及び比較的低い
コストに特徴がある。継手と溶接の必要がかなり少なく
なったため、コストが低くなった。また、継手と溶接の
数が減ったことにより、漏洩の可能性が最小になり、流
体システムが汚染及び腐食を被ることが低減される。更
に、底部が平坦な部品は、1つ以上のマニホールド表面
に沿って様々な態様で取り付け可能であるため、流体供
給システムを更に小さくコンパクトに設計製作すること
が可能となる。
コストに特徴がある。継手と溶接の必要がかなり少なく
なったため、コストが低くなった。また、継手と溶接の
数が減ったことにより、漏洩の可能性が最小になり、流
体システムが汚染及び腐食を被ることが低減される。更
に、底部が平坦な部品は、1つ以上のマニホールド表面
に沿って様々な態様で取り付け可能であるため、流体供
給システムを更に小さくコンパクトに設計製作すること
が可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】底部が平坦なの構造を利用する、
改良されたバルブ及びシステムを、以下に説明する。以
下の説明では、材料のタイプや寸法等の特定の詳細事項
は、本発明の理解促進の目的で与えるものである。しか
し、いわゆる当業者には、このような特定の詳細事項を
用いずとも、本発明を実施することが可能であることが
自明である。別の場合では、本発明を必然なく不明瞭に
しないため、周知の構成や処理工程は特に詳細には説明
しなかった。更に、ここでの説明全ては、流体供給シス
テムの様々な部品にも参照されることに注意すべきであ
る。この説明及び前出の説明の目的のため、「流体」な
る語には、気体、液体並びに、配管システム内を流動可
能なその他の媒体が含まれるものとする。
改良されたバルブ及びシステムを、以下に説明する。以
下の説明では、材料のタイプや寸法等の特定の詳細事項
は、本発明の理解促進の目的で与えるものである。しか
し、いわゆる当業者には、このような特定の詳細事項を
用いずとも、本発明を実施することが可能であることが
自明である。別の場合では、本発明を必然なく不明瞭に
しないため、周知の構成や処理工程は特に詳細には説明
しなかった。更に、ここでの説明全ては、流体供給シス
テムの様々な部品にも参照されることに注意すべきであ
る。この説明及び前出の説明の目的のため、「流体」な
る語には、気体、液体並びに、配管システム内を流動可
能なその他の媒体が含まれるものとする。
【0014】図3には、本発明の具体例の1つにおける
底部が平坦なバルブの本体下部の側面断面図が示され
る。図3に示されるように、バルブ本体20は、側壁2
2と底壁23とを有するキャビティ21を画成する。バ
ルブ本体20は更に、流入通路30と排出通路31とを
画成する。流入通路及び排出通路は、底壁23の配置さ
れる流入ポート34及び排出ポート35でキャビティ2
1と連通する。排出ポート35は、バルブ要素29を受
容するためのバルブ座59と外接する。バルブ要素29
は、ステム28に取り付けられており、これを用いて、
バルブ要素をバルブ座59へ押し付けて係合させる。バ
ルブ本体20の外面は、面24、25及び26によって
画成される。図3に示されるように、流入通路30は開
口32を、排出通路31は開口33を、それぞれ、面2
6の側に有している。また、面26の側には、貫通開口
27が配置され、これは典型的には、流体供給システム
の他の部品にバルブ本体20を固定するための手段を与
えるために具備されるものである。
底部が平坦なバルブの本体下部の側面断面図が示され
る。図3に示されるように、バルブ本体20は、側壁2
2と底壁23とを有するキャビティ21を画成する。バ
ルブ本体20は更に、流入通路30と排出通路31とを
画成する。流入通路及び排出通路は、底壁23の配置さ
れる流入ポート34及び排出ポート35でキャビティ2
1と連通する。排出ポート35は、バルブ要素29を受
容するためのバルブ座59と外接する。バルブ要素29
は、ステム28に取り付けられており、これを用いて、
バルブ要素をバルブ座59へ押し付けて係合させる。バ
ルブ本体20の外面は、面24、25及び26によって
画成される。図3に示されるように、流入通路30は開
口32を、排出通路31は開口33を、それぞれ、面2
6の側に有している。また、面26の側には、貫通開口
27が配置され、これは典型的には、流体供給システム
の他の部品にバルブ本体20を固定するための手段を与
えるために具備されるものである。
【0015】前述の如く、また、図1に示されるよう
に、従来技術の流体供給システムのバルブは、概説的に
は、複雑な一連の配管、継手及び溶接を有し、これによ
りバルブと他の部品との間の相互接続部を与えている。
このような従来技術の接続手段に関する問題点は周知の
ところである。本発明の顕著な特徴の1つは、継手や溶
接を用いずとも、バルブを流体システムの他の部品に取
り付けることができる点にある。
に、従来技術の流体供給システムのバルブは、概説的に
は、複雑な一連の配管、継手及び溶接を有し、これによ
りバルブと他の部品との間の相互接続部を与えている。
このような従来技術の接続手段に関する問題点は周知の
ところである。本発明の顕著な特徴の1つは、継手や溶
接を用いずとも、バルブを流体システムの他の部品に取
り付けることができる点にある。
【0016】ここで図4には、図3に示されている組立
体の底面図が示されている。上述の如く、本発明のバル
ブ本体は、流入開口32及び排出開口33並びに貫通穴
27を有する平坦な底面26を有している。平坦な底面
26により、バルブ本体20を、開口32及び33に連
通する対応開口を有する平坦面を備えた第2のシステム
部品(図示せず)に取り付けることが可能となる。ま
た、第2のシステム部品は、貫通穴27に対応するねじ
開口を有していてもよい。本発明のバルブ本体を第2の
部品に取り付けるには、先ず、開口32、33、27
を、第2の部品の平坦面に配置されたそれぞれの対応す
る開口に調心する。調心が終われば、貫通穴27にねじ
止めを挿入して、第2の部品の平坦面に配置されたねじ
切り開口にねじを止めて、バルブ本体を、第2のシステ
ム部品に固定する。具体例の1つでは、第2の部品の平
坦面と平坦底面26との間にガスケットを入れて、これ
ら2つの部品の間をシールできるようにする。また別の
具体例では、これら2つの面の間に、メタルシールリン
グを有するメタルリミッターを入れて、連結面をシール
できるようにする。このようなシールの方法を用いた場
合は、バルブの平坦面と第2の部品の平坦面の間とは、
緊密に接触しないことが理解されよう。その代わりに、
これら2つの面はそれぞれ、ガスケットやリミッター等
のシール部材の対立する面に緊密に接触することにな
る。
体の底面図が示されている。上述の如く、本発明のバル
ブ本体は、流入開口32及び排出開口33並びに貫通穴
27を有する平坦な底面26を有している。平坦な底面
26により、バルブ本体20を、開口32及び33に連
通する対応開口を有する平坦面を備えた第2のシステム
部品(図示せず)に取り付けることが可能となる。ま
た、第2のシステム部品は、貫通穴27に対応するねじ
開口を有していてもよい。本発明のバルブ本体を第2の
部品に取り付けるには、先ず、開口32、33、27
を、第2の部品の平坦面に配置されたそれぞれの対応す
る開口に調心する。調心が終われば、貫通穴27にねじ
止めを挿入して、第2の部品の平坦面に配置されたねじ
切り開口にねじを止めて、バルブ本体を、第2のシステ
ム部品に固定する。具体例の1つでは、第2の部品の平
坦面と平坦底面26との間にガスケットを入れて、これ
ら2つの部品の間をシールできるようにする。また別の
具体例では、これら2つの面の間に、メタルシールリン
グを有するメタルリミッターを入れて、連結面をシール
できるようにする。このようなシールの方法を用いた場
合は、バルブの平坦面と第2の部品の平坦面の間とは、
緊密に接触しないことが理解されよう。その代わりに、
これら2つの面はそれぞれ、ガスケットやリミッター等
のシール部材の対立する面に緊密に接触することにな
る。
【0017】図5には、図3に例示されたバルブ組立体
の別の具体例が示される。図5に示されるように、底面
26は、排出開口33の周囲に配置された第1のリセス
40と、流入開口32及び排出開口33の両方を取り囲
む第2のリセス42とを備えている。本発明に従い、O
リングやその他の同様な部材(図示せず)を、リセス4
0及び42のそれぞれの中に配置させて、バルブを別の
部品に取り付けた際に平坦な底面にシールを与える。こ
こで説明するリセス及びシールの構成は、可能な構成の
1つを例示するだけのものである。例えば、リセス42
に代えて、面26は、開口32だけの周囲に配置される
第2のリセスを有していてもよい。更に、シール部材
は、バルブと部品との連結面でシールを形成することが
可能な材料であればいかなる材料を備えていてもよいこ
とが理解されよう。例示すれば、このようなシール部材
は、ポリマーやメタル材料を備えていてもよい。
の別の具体例が示される。図5に示されるように、底面
26は、排出開口33の周囲に配置された第1のリセス
40と、流入開口32及び排出開口33の両方を取り囲
む第2のリセス42とを備えている。本発明に従い、O
リングやその他の同様な部材(図示せず)を、リセス4
0及び42のそれぞれの中に配置させて、バルブを別の
部品に取り付けた際に平坦な底面にシールを与える。こ
こで説明するリセス及びシールの構成は、可能な構成の
1つを例示するだけのものである。例えば、リセス42
に代えて、面26は、開口32だけの周囲に配置される
第2のリセスを有していてもよい。更に、シール部材
は、バルブと部品との連結面でシールを形成することが
可能な材料であればいかなる材料を備えていてもよいこ
とが理解されよう。例示すれば、このようなシール部材
は、ポリマーやメタル材料を備えていてもよい。
【0018】前出の説明では、本体が平坦な底面を有す
るバルブを説明した。バルブ要素29、ステム28及び
バルブ座59は、本発明の具体例の1つを説明するため
のものであることが理解されるだろう。多種類のその他
のバルブ要素、バルブ座及び係合のデザインを用いての
本発明を実施が可能なことが、認識されるだろう。例示
のためであるが、排出ポート35の中のバルブ座59を
一体で形成する代りに、排出ポート35の中に、ポリマ
ーやメタルのバルブ座インサートを配置させてもよい。
更に、バルブ要素のサイズ、形状及び構造が、特定の用
途や使用法に依存することが、理解されるだろう。用途
の1つでは、バルブ要素が、もっと長い形状を有してい
てもよく、これとは別の用途では、バルブ要素は、ダイ
アフラムを有していてもよい。また、バルブ要素をバル
ブ座に係合させるための手段も、変形することができ
る。ステムが図3に例示されているが、本発明の実施に
は、ばね、空気圧、電磁弁、その他の数多くの方法及び
装置を用いることができる。更に、図3のバルブ組立体
への流体の流入出を逆転させて、流体が通路31を通っ
てバルブキャビティ21に流入し、通路30を通ってキ
ャビティから排出させてもよい。前述の説明に続き、本
発明のバルブは、様々な形態を取ることが可能である。
例えば、バルブは、レギュレータ、質量流量制御器等を
備えていてもよい。
るバルブを説明した。バルブ要素29、ステム28及び
バルブ座59は、本発明の具体例の1つを説明するため
のものであることが理解されるだろう。多種類のその他
のバルブ要素、バルブ座及び係合のデザインを用いての
本発明を実施が可能なことが、認識されるだろう。例示
のためであるが、排出ポート35の中のバルブ座59を
一体で形成する代りに、排出ポート35の中に、ポリマ
ーやメタルのバルブ座インサートを配置させてもよい。
更に、バルブ要素のサイズ、形状及び構造が、特定の用
途や使用法に依存することが、理解されるだろう。用途
の1つでは、バルブ要素が、もっと長い形状を有してい
てもよく、これとは別の用途では、バルブ要素は、ダイ
アフラムを有していてもよい。また、バルブ要素をバル
ブ座に係合させるための手段も、変形することができ
る。ステムが図3に例示されているが、本発明の実施に
は、ばね、空気圧、電磁弁、その他の数多くの方法及び
装置を用いることができる。更に、図3のバルブ組立体
への流体の流入出を逆転させて、流体が通路31を通っ
てバルブキャビティ21に流入し、通路30を通ってキ
ャビティから排出させてもよい。前述の説明に続き、本
発明のバルブは、様々な形態を取ることが可能である。
例えば、バルブは、レギュレータ、質量流量制御器等を
備えていてもよい。
【0019】具体例の1つでは、図3、4、5に示され
るバルブ組立体全体が、ステンレス鋼やニッケルクロム
鋼を備えていてもよい。しかし、バルブの用途や特定の
使用法に応じて、他の多数のメタルやセラミックの中か
ら用いることもできることに、注意すべきである。ま
た、流入通路30及び排出通路31を、特定の用途に応
じて変えてもよい。具体例の1つでは、通路30及び3
1は、直径約0.15インチ(約3.8mm)の実質的
に円形の断面を有していてもよい。また、貫通穴27
も、直径約0.2インチ(約5.0mm)の実質的に円
形の断面を有していてもよい。続いて図4及び5を参照
すれば、平坦な底面26が方形の断面を有している。具
体例の1つでは、面26は、長さと幅がそれぞれ、1.
5インチ(約38mm)である。面26の平坦性及び面
仕上は、バルブと流体供給システムとの連結面で用いる
シール法によって決まる。一般に、面の平坦性は、およ
そ0.005〜0.001インチ(約0.13〜約0.
025mm)の間で制御され、表面仕上は、典型的に
は、16RA(Roughness Average) 以上とされる。具体
例の1つでは、リセス40及び42が、図5に例示され
るように、深さ0.05インチ(約1.3mm)、幅が
それぞれ0.15(約3.8mm)インチと0.20
(約5.0mm)インチの、実質的に円形の断面を有し
ている。面26は、約0.005〜0.001インチ
(約0.13〜約0.025mm)の平坦性まで研磨さ
れることが好ましい。所望なら、その後、ラップ仕上や
電解研磨を用いて、所望の表面仕上を実現してもよい。
また、研磨によりリセス40及び42を形成してもよ
い。
るバルブ組立体全体が、ステンレス鋼やニッケルクロム
鋼を備えていてもよい。しかし、バルブの用途や特定の
使用法に応じて、他の多数のメタルやセラミックの中か
ら用いることもできることに、注意すべきである。ま
た、流入通路30及び排出通路31を、特定の用途に応
じて変えてもよい。具体例の1つでは、通路30及び3
1は、直径約0.15インチ(約3.8mm)の実質的
に円形の断面を有していてもよい。また、貫通穴27
も、直径約0.2インチ(約5.0mm)の実質的に円
形の断面を有していてもよい。続いて図4及び5を参照
すれば、平坦な底面26が方形の断面を有している。具
体例の1つでは、面26は、長さと幅がそれぞれ、1.
5インチ(約38mm)である。面26の平坦性及び面
仕上は、バルブと流体供給システムとの連結面で用いる
シール法によって決まる。一般に、面の平坦性は、およ
そ0.005〜0.001インチ(約0.13〜約0.
025mm)の間で制御され、表面仕上は、典型的に
は、16RA(Roughness Average) 以上とされる。具体
例の1つでは、リセス40及び42が、図5に例示され
るように、深さ0.05インチ(約1.3mm)、幅が
それぞれ0.15(約3.8mm)インチと0.20
(約5.0mm)インチの、実質的に円形の断面を有し
ている。面26は、約0.005〜0.001インチ
(約0.13〜約0.025mm)の平坦性まで研磨さ
れることが好ましい。所望なら、その後、ラップ仕上や
電解研磨を用いて、所望の表面仕上を実現してもよい。
また、研磨によりリセス40及び42を形成してもよ
い。
【0020】図6には、本発明の1つの具体例が例示さ
れ、ここでは、図3及び4に例示された底面が平坦なバ
ルブが、平坦な外面103を有するマニホールド50に
取り付けられているところが示される。例示されるよう
に、マニホールド50は、流体通路52と、バルブ組立
体104の流入通路30に連通する流入通路55と、排
出通路31に連通する排出通路56とを有している。マ
ニホールド流入通路55は、マニホールド50の幅側の
中を伸びて、マニホールド内の流体の向きを与える貫通
穴54を有している。また、マニホールド50は、平坦
な外面103側に配置されるねじ切り開口46を有して
いる。バルブ組立体104及びマニホールド50は、ね
じ44によって止められている。シール部材111及び
112が、面26と面103の間に配置され、バルブと
マニホールドの2つの組立体を取り付けたときに、バル
ブとマニホールドの連結面にシールを与える。シール部
材111及び112は、ガスケット、シール部材を有す
るメタルリミッター、又は、バルブ組立体とマニホール
ドの連結面でシールを形成するその他の同様の部材を、
備えていてもよい。例えば、ポリマーガスケットは、腐
食性のない低温の液体を供給するシステムに適してお
り、他方、メタルガスケットは、高温、高圧、腐食性の
用途で用いるのに適している。マニホールド開口及び表
面の平坦性の要求は、図4の具体例に関して上述した値
と釣り合っていることに注意すべきである。また、マニ
ホールドの平坦な外面を、所望の平坦性及び表面品質に
するプロセスは、図4及び5の平坦な底面に関して上述
したプロセスと同様である。
れ、ここでは、図3及び4に例示された底面が平坦なバ
ルブが、平坦な外面103を有するマニホールド50に
取り付けられているところが示される。例示されるよう
に、マニホールド50は、流体通路52と、バルブ組立
体104の流入通路30に連通する流入通路55と、排
出通路31に連通する排出通路56とを有している。マ
ニホールド流入通路55は、マニホールド50の幅側の
中を伸びて、マニホールド内の流体の向きを与える貫通
穴54を有している。また、マニホールド50は、平坦
な外面103側に配置されるねじ切り開口46を有して
いる。バルブ組立体104及びマニホールド50は、ね
じ44によって止められている。シール部材111及び
112が、面26と面103の間に配置され、バルブと
マニホールドの2つの組立体を取り付けたときに、バル
ブとマニホールドの連結面にシールを与える。シール部
材111及び112は、ガスケット、シール部材を有す
るメタルリミッター、又は、バルブ組立体とマニホール
ドの連結面でシールを形成するその他の同様の部材を、
備えていてもよい。例えば、ポリマーガスケットは、腐
食性のない低温の液体を供給するシステムに適してお
り、他方、メタルガスケットは、高温、高圧、腐食性の
用途で用いるのに適している。マニホールド開口及び表
面の平坦性の要求は、図4の具体例に関して上述した値
と釣り合っていることに注意すべきである。また、マニ
ホールドの平坦な外面を、所望の平坦性及び表面品質に
するプロセスは、図4及び5の平坦な底面に関して上述
したプロセスと同様である。
【0021】図7には、本発明の別の具体例が示され、
ここでは、図3及び5に例示される底部が平坦なバルブ
が、平坦な外面103を有するマニホールド50に取り
付けられているところが示される。図示の如く、マニホ
ールド50は、流体通路52と、バルブ組立体104の
流入通路30に連通する流入通路55と、排出通路31
に連通する排出通路56とを有している。マニホールド
流入通路55は、マニホールド50の幅側の中を伸び
て、マニホールド内の流体の向きを与える貫通穴54を
有している。また、マニホールド50は、平坦な外面1
03側に配置されるねじ切り開口46を有している。バ
ルブ組立体104及びマニホールド50は、ねじ44に
よって止められている。リセス40及び42の中にはそ
れぞれ、Oリング100及び101が配置され、バルブ
とマニホールドの2つの組立体を取り付けたときに、バ
ルブとマニホールドの連結面にシールを与える。Oリン
グ100及び101は、ポリマー、メタル、又は、バル
ブとマニホールドの連結面でシールを与えるシールを形
成することが可能なその他の材料を備えていてもよい。
例えば、ポリマーOリングは、低温の液体を供給するシ
ステムに適しており、他方、メタルガスケットは、高
温、高圧、腐食性の用途で用いるのに適している。マニ
ホールド開口及び表面の平坦性の要求は、図5の具体例
に関して上述した値と釣り合っていることに注意すべき
である。
ここでは、図3及び5に例示される底部が平坦なバルブ
が、平坦な外面103を有するマニホールド50に取り
付けられているところが示される。図示の如く、マニホ
ールド50は、流体通路52と、バルブ組立体104の
流入通路30に連通する流入通路55と、排出通路31
に連通する排出通路56とを有している。マニホールド
流入通路55は、マニホールド50の幅側の中を伸び
て、マニホールド内の流体の向きを与える貫通穴54を
有している。また、マニホールド50は、平坦な外面1
03側に配置されるねじ切り開口46を有している。バ
ルブ組立体104及びマニホールド50は、ねじ44に
よって止められている。リセス40及び42の中にはそ
れぞれ、Oリング100及び101が配置され、バルブ
とマニホールドの2つの組立体を取り付けたときに、バ
ルブとマニホールドの連結面にシールを与える。Oリン
グ100及び101は、ポリマー、メタル、又は、バル
ブとマニホールドの連結面でシールを与えるシールを形
成することが可能なその他の材料を備えていてもよい。
例えば、ポリマーOリングは、低温の液体を供給するシ
ステムに適しており、他方、メタルガスケットは、高
温、高圧、腐食性の用途で用いるのに適している。マニ
ホールド開口及び表面の平坦性の要求は、図5の具体例
に関して上述した値と釣り合っていることに注意すべき
である。
【0022】図8は、図7に示したマニホールドの別の
具体例を例示するものである。図7の具体例では、Oリ
ング100及び101が、バルブ組立体104の平坦な
底面26の中に配置されたリセス40及び42によっ
て、適所に保持されている。図8の具体例では、リセス
57及び58がマニホールド50の平坦な外面103の
中に具備され、Oリング100及び101を適所に保持
する。従って、図8の具体例では、リセス40及び42
を有しない、底面が平坦なバルブを、マニホールド50
に取り付けることができる(図4参照)。図9には、平
坦な外面103に取り付けられたバルブ組立体105を
有する、図8のマニホールドが示される。Oリング10
0及び101がリセス57及び58並びに、平坦面26
側のバルブ組立体105との連結面の内側に配置される
ことに注意されたい。
具体例を例示するものである。図7の具体例では、Oリ
ング100及び101が、バルブ組立体104の平坦な
底面26の中に配置されたリセス40及び42によっ
て、適所に保持されている。図8の具体例では、リセス
57及び58がマニホールド50の平坦な外面103の
中に具備され、Oリング100及び101を適所に保持
する。従って、図8の具体例では、リセス40及び42
を有しない、底面が平坦なバルブを、マニホールド50
に取り付けることができる(図4参照)。図9には、平
坦な外面103に取り付けられたバルブ組立体105を
有する、図8のマニホールドが示される。Oリング10
0及び101がリセス57及び58並びに、平坦面26
側のバルブ組立体105との連結面の内側に配置される
ことに注意されたい。
【0023】図10は、本発明のまた別の具体例を例示
する。図10に示すように、バルブ本体組立体120
が、平坦な外面141を有するマニホールド140に取
り付けられている。バルブ組立体120は、壁121に
より画成されるキャビティ126と、貫通穴170及び
平坦な底面123を有するフランジ部122とを有して
いる。マニホールド140は、流体通路131と、流入
通路128と、排出通路129とを有している。マニホ
ールド流入通路128は、マニホールド140の幅側の
中を伸びて、マニホールド内の流体の向きを与える貫通
穴130を有している。また、マニホールド140は、
バルブ組立体キャビティ126から排出される流体を通
路129へと向ける開口132を有している。図示のよ
うに、組立体120は、バルブ要素125を有してお
り、このバルブ要素125は、ステム124に取り付け
られており、これを用いて、バルブ要素をな排出開口1
32へ押し付けて係合させる。また、マニホールド14
0は、平坦な外面141側に配置されたねじ切り開口1
71を備えていることに注意すべきである。バルブ本体
組立体120とマニホールド140は、ねじ127によ
り取り付けられる。バルブ本体組立体とマニホールドの
間にはシール部材172が配置され、これら2つの部品
の連結面をシールする。
する。図10に示すように、バルブ本体組立体120
が、平坦な外面141を有するマニホールド140に取
り付けられている。バルブ組立体120は、壁121に
より画成されるキャビティ126と、貫通穴170及び
平坦な底面123を有するフランジ部122とを有して
いる。マニホールド140は、流体通路131と、流入
通路128と、排出通路129とを有している。マニホ
ールド流入通路128は、マニホールド140の幅側の
中を伸びて、マニホールド内の流体の向きを与える貫通
穴130を有している。また、マニホールド140は、
バルブ組立体キャビティ126から排出される流体を通
路129へと向ける開口132を有している。図示のよ
うに、組立体120は、バルブ要素125を有してお
り、このバルブ要素125は、ステム124に取り付け
られており、これを用いて、バルブ要素をな排出開口1
32へ押し付けて係合させる。また、マニホールド14
0は、平坦な外面141側に配置されたねじ切り開口1
71を備えていることに注意すべきである。バルブ本体
組立体120とマニホールド140は、ねじ127によ
り取り付けられる。バルブ本体組立体とマニホールドの
間にはシール部材172が配置され、これら2つの部品
の連結面をシールする。
【0024】続いて図10を参照すれば、バルブ組立体
120自身が、流入通路及び排出通路を有していないこ
とに、注意すべきである。その代わり、図10の組立体
は、マニホールド140の中に一体で形成された1組の
通路を有している。バルブ本発明組立体120とマニホ
ールド140は、キャビティ126及びバルブ要素12
5が流入通路128及び排出通路129の上方に配置さ
れるように、構成される。前述のように、バルブ本体組
立体120がマニホールド140に取り付けられたと
き、バルブ要素125が開口132と係合して、通路1
29の中の流体を流通させ又は制限するように、バルブ
要素125に位置を与える。開口132は通路129の
中でバルブ座を一体に形成するように示されているが、
バルブ座は、排出通路129の中に配置されてもよいこ
とが理解されよう。
120自身が、流入通路及び排出通路を有していないこ
とに、注意すべきである。その代わり、図10の組立体
は、マニホールド140の中に一体で形成された1組の
通路を有している。バルブ本発明組立体120とマニホ
ールド140は、キャビティ126及びバルブ要素12
5が流入通路128及び排出通路129の上方に配置さ
れるように、構成される。前述のように、バルブ本体組
立体120がマニホールド140に取り付けられたと
き、バルブ要素125が開口132と係合して、通路1
29の中の流体を流通させ又は制限するように、バルブ
要素125に位置を与える。開口132は通路129の
中でバルブ座を一体に形成するように示されているが、
バルブ座は、排出通路129の中に配置されてもよいこ
とが理解されよう。
【0025】図11は、図10で開示された具体例の変
形の例である。図示の如く、組立体150は、本体15
1と、ダイアフラム154と、プランジャー153とを
有している。組立体の中の流体流通通路は、プランカー
153をダイアフラム154に強制的に係合させ、開口
152を通って流通させ又は制限することにより、調節
される。
形の例である。図示の如く、組立体150は、本体15
1と、ダイアフラム154と、プランジャー153とを
有している。組立体の中の流体流通通路は、プランカー
153をダイアフラム154に強制的に係合させ、開口
152を通って流通させ又は制限することにより、調節
される。
【0026】マニホールドについてここまで説明した
が、実質的に平坦な面を少なくとも1つ有するあらゆる
流体供給手段であれば、本発明の実施に用いることが可
能であることが理解されよう。更に、マニホールド50
は、特定の用途の温度、圧力、及び純度の要求に合う材
料を備えていてもよいことが理解されよう。しかし、マ
ニホールドを構成する材料はバルブ組立体の熱膨張係数
と同様の熱膨張係数を有する材料であることが望まし
い。
が、実質的に平坦な面を少なくとも1つ有するあらゆる
流体供給手段であれば、本発明の実施に用いることが可
能であることが理解されよう。更に、マニホールド50
は、特定の用途の温度、圧力、及び純度の要求に合う材
料を備えていてもよいことが理解されよう。しかし、マ
ニホールドを構成する材料はバルブ組立体の熱膨張係数
と同様の熱膨張係数を有する材料であることが望まし
い。
【0027】図12は、本発明のまた別の具体例を例示
する。図12は、平坦な底面74を有する計測装置70
を示している。計測装置70は、本体72と、開口75
及び貫通穴76を有するフランジ部73を有している。
開口75は、装置本体の流体流入通路を与える。多種多
様な測定装置を本体72の中に収容してもよいことが認
識されよう。例えば、測定装置70が圧力測定器であれ
ば、本体72はキャパシタンスマノメータを有していて
もよい。多く種類のその他の測定や検出装置を用いても
よいことが認識されよう。貫通開口76は、この装置を
流体供給システムの中のその他の装置に固定するための
手段を与えるために具備される。
する。図12は、平坦な底面74を有する計測装置70
を示している。計測装置70は、本体72と、開口75
及び貫通穴76を有するフランジ部73を有している。
開口75は、装置本体の流体流入通路を与える。多種多
様な測定装置を本体72の中に収容してもよいことが認
識されよう。例えば、測定装置70が圧力測定器であれ
ば、本体72はキャパシタンスマノメータを有していて
もよい。多く種類のその他の測定や検出装置を用いても
よいことが認識されよう。貫通開口76は、この装置を
流体供給システムの中のその他の装置に固定するための
手段を与えるために具備される。
【0028】図13は、図12に示された計測装置の底
面図を例示する。上述の如く、本発明の計測装置は、流
入開口75と貫通穴76とを有する平坦な底面74を有
している。平坦な底面74により、流入開口75と連通
する対応開口をもつ平坦面を有する第2のシステム部品
に、計測装置70を取り付けることができる。貫通開口
76にねじ止め(ボルト)を挿入して、隣接する平坦面
に配置されたねじ切り開口にこのねじを止めて、装置7
0を、第2のシステム部品に固定する。引続いて図13
を参照すれば、リセス79が開口75の周囲に配置され
るところが示されている。本発明に従って、Oリング又
はその他の同様の部材(図示せず)がリセス79内に配
置され、装置70と第2の流体供給システム部品との連
結面をシールする。
面図を例示する。上述の如く、本発明の計測装置は、流
入開口75と貫通穴76とを有する平坦な底面74を有
している。平坦な底面74により、流入開口75と連通
する対応開口をもつ平坦面を有する第2のシステム部品
に、計測装置70を取り付けることができる。貫通開口
76にねじ止め(ボルト)を挿入して、隣接する平坦面
に配置されたねじ切り開口にこのねじを止めて、装置7
0を、第2のシステム部品に固定する。引続いて図13
を参照すれば、リセス79が開口75の周囲に配置され
るところが示されている。本発明に従って、Oリング又
はその他の同様の部材(図示せず)がリセス79内に配
置され、装置70と第2の流体供給システム部品との連
結面をシールする。
【0029】具体例の1つでは、装置70の本体72と
フランジ部73は、ステンレス鋼の部分を備えている。
流入開口75及び貫通穴76のサイズと形状は、使用す
る特定の流体供給システムと計測検知装置とに大きく依
存する。装置70が圧力計測器である具体例では開口7
5は、直径約0.75インチ(約19mm)の略円形の
断面を有している。また、貫通穴76も、直径約0.2
インチ(約5.1mm)の略円形の断面を有している。
リセス79は、深さ0.05インチ(約1.3mm)、
幅が0.15(約3.8mm)インチ〜0.20(約
5.0mm)インチの、実質的に円形の断面を有してい
る。表面74の平坦性及び面仕上は、装置及び特有のシ
ールの要請によって決まる。しかし、典型的には、面の
平坦性はおよそ0.005〜0.001インチ(約0.
13〜約0.025mm)の間で制御され、表面仕上
は、典型的には、16RA(Roughness Average) 以上で
ある。
フランジ部73は、ステンレス鋼の部分を備えている。
流入開口75及び貫通穴76のサイズと形状は、使用す
る特定の流体供給システムと計測検知装置とに大きく依
存する。装置70が圧力計測器である具体例では開口7
5は、直径約0.75インチ(約19mm)の略円形の
断面を有している。また、貫通穴76も、直径約0.2
インチ(約5.1mm)の略円形の断面を有している。
リセス79は、深さ0.05インチ(約1.3mm)、
幅が0.15(約3.8mm)インチ〜0.20(約
5.0mm)インチの、実質的に円形の断面を有してい
る。表面74の平坦性及び面仕上は、装置及び特有のシ
ールの要請によって決まる。しかし、典型的には、面の
平坦性はおよそ0.005〜0.001インチ(約0.
13〜約0.025mm)の間で制御され、表面仕上
は、典型的には、16RA(Roughness Average) 以上で
ある。
【0030】前述の如く、また、図2に示されるよう
に、従来技術の計測装置は、計測装置と他の部品との間
を相互に接続させるためには、継手及び、場合によって
は溶接を必要とする。図14に例示されるように、本発
明の計測装置は、継手や溶接を用いずに、流体供給シス
テム内のマニホールド80やその他の部品に取り付ける
ことができる。図14に示されるように、装置70は、
流体通路81と、装置70の流入開口75と連通する流
入通路82とを有するマニホールド80に取り付けられ
ていてもよい。また、マニホールド80は、平坦な外面
106と、装置70の貫通穴76に対応する複数のねじ
切り穴78とを備えていている。装置70をマニホール
ド80に取り付けるには、先ずOリングその他のシール
部材をリセス79の中に配置させ、次いで、開口75及
び76をマニホールド開口82及び78に調心する。調
心を行った後、ねじ77を穴76に挿入し、ねじをねじ
切り開口に係合させて、装置70をマニホールドに取り
付ける。
に、従来技術の計測装置は、計測装置と他の部品との間
を相互に接続させるためには、継手及び、場合によって
は溶接を必要とする。図14に例示されるように、本発
明の計測装置は、継手や溶接を用いずに、流体供給シス
テム内のマニホールド80やその他の部品に取り付ける
ことができる。図14に示されるように、装置70は、
流体通路81と、装置70の流入開口75と連通する流
入通路82とを有するマニホールド80に取り付けられ
ていてもよい。また、マニホールド80は、平坦な外面
106と、装置70の貫通穴76に対応する複数のねじ
切り穴78とを備えていている。装置70をマニホール
ド80に取り付けるには、先ずOリングその他のシール
部材をリセス79の中に配置させ、次いで、開口75及
び76をマニホールド開口82及び78に調心する。調
心を行った後、ねじ77を穴76に挿入し、ねじをねじ
切り開口に係合させて、装置70をマニホールドに取り
付ける。
【0031】ここまで、本発明の数多くの具体例を開示
して、底面の平坦なバルブや計測装置を、平坦な外面を
少なくとも1つ有するマニホールドに相互接続させる方
法を例証してきた。この平坦な底面の構造が、流体供給
システムに関係するものであり、バルブや計測機器のみ
に限定されないことが認識されよう。また、本発明の方
法は、フィルターや流量計等を始めとするその他の数多
くの装置にも広げることができる。
して、底面の平坦なバルブや計測装置を、平坦な外面を
少なくとも1つ有するマニホールドに相互接続させる方
法を例証してきた。この平坦な底面の構造が、流体供給
システムに関係するものであり、バルブや計測機器のみ
に限定されないことが認識されよう。また、本発明の方
法は、フィルターや流量計等を始めとするその他の数多
くの装置にも広げることができる。
【0032】図15は、多数の部品を有する流体供給シ
ステムにおいて本発明の方法を実施する1つの態様を例
示する。システム90は、底面の平坦な構造の流体供給
システムの一部を示すものであり、これは、計測装置8
9と、マニホールド91の平坦な外面の周囲に配置され
たバルブ92、93及び94とを有している。これらバ
ルブは、それぞれ通路99及び96を通じてマニホール
ドキャビティ97に連通している。また、マニホールド
91は、流体の流れをバルブ92、93及び94に向け
る流入通路98を備えている。更に、マニホールド流入
通路98は、マニホールド91の外面まで伸びる貫通開
口95を有している。開口95は、流体の流れを外部か
らマニホールドの中へと流入させるために設けられてい
る。
ステムにおいて本発明の方法を実施する1つの態様を例
示する。システム90は、底面の平坦な構造の流体供給
システムの一部を示すものであり、これは、計測装置8
9と、マニホールド91の平坦な外面の周囲に配置され
たバルブ92、93及び94とを有している。これらバ
ルブは、それぞれ通路99及び96を通じてマニホール
ドキャビティ97に連通している。また、マニホールド
91は、流体の流れをバルブ92、93及び94に向け
る流入通路98を備えている。更に、マニホールド流入
通路98は、マニホールド91の外面まで伸びる貫通開
口95を有している。開口95は、流体の流れを外部か
らマニホールドの中へと流入させるために設けられてい
る。
【0033】本発明の底面の平坦な部品及び構造を用い
る移転は、図15に示されるシステムから直ちに理解さ
れよう。最も顕著な利点は、流体システム部品相互の接
続に通常要求される継手、溶接、及び長い配管を有して
いないことである。この結果、従来の方法による流体シ
ステム部品の相互接続の方法に関しての汚染、腐食、漏
洩及び信頼性に関する問題が、著しく低減される。ま
た、システム90の部品は、複数の平坦なマニホールド
表面に取り付けるように配置してもよいことに注意する
ことが重要である。これにより、流体システムの設計の
自由度が高くなり、また、小型化することが可能とな
る。
る移転は、図15に示されるシステムから直ちに理解さ
れよう。最も顕著な利点は、流体システム部品相互の接
続に通常要求される継手、溶接、及び長い配管を有して
いないことである。この結果、従来の方法による流体シ
ステム部品の相互接続の方法に関しての汚染、腐食、漏
洩及び信頼性に関する問題が、著しく低減される。ま
た、システム90の部品は、複数の平坦なマニホールド
表面に取り付けるように配置してもよいことに注意する
ことが重要である。これにより、流体システムの設計の
自由度が高くなり、また、小型化することが可能とな
る。
【0034】ここまで、平坦な合せ面を有する流体シス
テム部品に関して説明してきた。しかし、本発明は、平
面平坦な合せ面を有する流体システム部品に限定される
ものではない。図16(a)及び(b)は、本発明の実
施に用いることができる別の合せ面の構成を示すもので
ある。図16(a)に示すように、本発明は、ステップ
状面163及び164側に配置される流体通路162を
有する、2つの流体システム部品160及び161を有
していてもよい。図16(b)には、別の具体例が例示
され、ここでは、流体通路165は、曲面の合せ面16
6及び167の側に配置される。ここで、図16(a)
及び(b)は、本発明の実施に用いることが可能な多数
の非平坦な具体例の中のほんの2例を挙げているに過ぎ
ないことに注意すべきである。更に、図16(a)及び
(b)に示されたような非平坦な面の具体例はいずれ
も、複雑な表面を有している必要はないことにも注意す
べきである。その代わり、これら部品は、容易に機械加
工できて部材間の合せ不良を最小にするような、比較的
スムーズな面を備えているべきである。例えば、突起を
有していたり、ねじ切りを有しているような面その他の
複雑な面では、機械加工で治癒できない不良が発生して
不良品率が高くなるため、望ましくない。
テム部品に関して説明してきた。しかし、本発明は、平
面平坦な合せ面を有する流体システム部品に限定される
ものではない。図16(a)及び(b)は、本発明の実
施に用いることができる別の合せ面の構成を示すもので
ある。図16(a)に示すように、本発明は、ステップ
状面163及び164側に配置される流体通路162を
有する、2つの流体システム部品160及び161を有
していてもよい。図16(b)には、別の具体例が例示
され、ここでは、流体通路165は、曲面の合せ面16
6及び167の側に配置される。ここで、図16(a)
及び(b)は、本発明の実施に用いることが可能な多数
の非平坦な具体例の中のほんの2例を挙げているに過ぎ
ないことに注意すべきである。更に、図16(a)及び
(b)に示されたような非平坦な面の具体例はいずれ
も、複雑な表面を有している必要はないことにも注意す
べきである。その代わり、これら部品は、容易に機械加
工できて部材間の合せ不良を最小にするような、比較的
スムーズな面を備えているべきである。例えば、突起を
有していたり、ねじ切りを有しているような面その他の
複雑な面では、機械加工で治癒できない不良が発生して
不良品率が高くなるため、望ましくない。
【0035】本発明の方法及び装置は、様々な技術への
適用が可能であることが認識されるだろう。更に、ここ
での説明で示した相対的な寸法、幾何形状、材料及びプ
ロセスは、ここに開示した具体例の説明のためだけのも
のであることも理解されよう。本発明の変形や修正は当
業者が容易に行い得るものであるため、ここに例示した
特定の具体例は、本発明を限定するものではないこと
が、理解されよう。
適用が可能であることが認識されるだろう。更に、ここ
での説明で示した相対的な寸法、幾何形状、材料及びプ
ロセスは、ここに開示した具体例の説明のためだけのも
のであることも理解されよう。本発明の変形や修正は当
業者が容易に行い得るものであるため、ここに例示した
特定の具体例は、本発明を限定するものではないこと
が、理解されよう。
【0036】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の方
法及び装置によれば、流体システム部品相互の接続に通
常要求される継手、溶接、及び長い配管を有していない
ことである。この結果、従来の方法による流体システム
部品の相互接続の方法に関しての汚染、腐食、漏洩及び
信頼性に関する問題が、著しく低減される。
法及び装置によれば、流体システム部品相互の接続に通
常要求される継手、溶接、及び長い配管を有していない
ことである。この結果、従来の方法による流体システム
部品の相互接続の方法に関しての汚染、腐食、漏洩及び
信頼性に関する問題が、著しく低減される。
【図1】VCR継手及び溶接を有する従来技術のバルブ
の断面図である。
の断面図である。
【図2】VCR継手を有する従来技術の計測装置の側面
図である。
図である。
【図3】本発明の具体例の1つの底部が平坦なバルブの
断面図である。
断面図である。
【図4】図3で例示したバルブの1具体例の底面図であ
る。
る。
【図5】図3で例示したバルブの別の具体例の底面図で
ある。
ある。
【図6】図4のバルブがマニホールドに取り付けられ
た、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
た、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
【図7】図5のバルブがマニホールドに取り付けられ
た、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
た、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
【図8】図7に例示したマニホールドの上面図である。
【図9】図4のバルブが図8のマニホールドに取り付け
られた、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
られた、本発明の装置の別の具体例の断面図である。
【図10】本発明の別の具体例の断面図である。
【図11】本発明の別の具体例の断面図である。
【図12】平坦な底面を有する本発明の計測装置の側面
図である。
図である。
【図13】図12に例示される装置の底面図である。
【図14】図9の底部が平坦な装置がマニホールドに取
り付けられた、本発明の別の具体例の断面図である。
り付けられた、本発明の別の具体例の断面図である。
【図15】本発明の底部が平坦なの構造を用いた流体供
給システムの断面図である。
給システムの断面図である。
【図16】(a)は、本発明の実施に用いることが可能
な、非平坦合せ面の断面図であり、(b)は、本発明の
実施に用いることが可能な、別の非平坦合せ面の断面図
である。
な、非平坦合せ面の断面図であり、(b)は、本発明の
実施に用いることが可能な、別の非平坦合せ面の断面図
である。
10…バルブ本体下部、11…継手、12…配管、13
…溶接部、14…ステム、15…ディスク、16…キャ
ビティ、17…流入通路、18…排出通路、20…バル
ブ本体、21…キャビティ、22…側壁、23…底壁、
24,25,26…面、28…ステム、29…バルブ要
素、30…流入通路、31…排出通路、34…流入ポー
ト、35…排出ポート、40…第1のリセス、42…第
2のリセス、44…ねじ、50…マニホールド、54…
貫通穴、55…流入通路、56…排出通路、57,58
…リセス、59…バルブ座、60…機器計測装置、61
…配管部、62…本体、63,64…継手、70…計測
装置、72…本体、73…フランジ部、74…底面、7
5…開口、76…貫通穴、77…ねじ、78…ねじ切り
穴、79…リセス、80…マニホールド、81…流体通
路、82…流入通路、89…計測装置、90…システ
ム、91…マニホールド、92,93,94…バルブ、
96…通路、97…マニホールドキャビティ、99…通
路、100,101…Oリング、103…外面、104
…バルブ組立体、105…バルブ組立体、106…外
面、111,112…シール部材、120…バルブ本体
組立体、121…壁、122…フランジ部、123…底
面、124…ステム、125…バルブ要素、126…キ
ャビティ、127…ねじ、128…流入通路、129…
排出通路、130…貫通穴、131…流体通路、132
…開口、140…マニホールド、141…外面、150
…組立体、151…本体、152…開口、153…プラ
ンジャー、154…ダイアフラム、160,161…流
体システム部品、162…流体通路、163,164…
ステップ状表面、165…流体通路、166,167…
曲面の合せ面、170…貫通穴、171…ねじ切り開
口、
…溶接部、14…ステム、15…ディスク、16…キャ
ビティ、17…流入通路、18…排出通路、20…バル
ブ本体、21…キャビティ、22…側壁、23…底壁、
24,25,26…面、28…ステム、29…バルブ要
素、30…流入通路、31…排出通路、34…流入ポー
ト、35…排出ポート、40…第1のリセス、42…第
2のリセス、44…ねじ、50…マニホールド、54…
貫通穴、55…流入通路、56…排出通路、57,58
…リセス、59…バルブ座、60…機器計測装置、61
…配管部、62…本体、63,64…継手、70…計測
装置、72…本体、73…フランジ部、74…底面、7
5…開口、76…貫通穴、77…ねじ、78…ねじ切り
穴、79…リセス、80…マニホールド、81…流体通
路、82…流入通路、89…計測装置、90…システ
ム、91…マニホールド、92,93,94…バルブ、
96…通路、97…マニホールドキャビティ、99…通
路、100,101…Oリング、103…外面、104
…バルブ組立体、105…バルブ組立体、106…外
面、111,112…シール部材、120…バルブ本体
組立体、121…壁、122…フランジ部、123…底
面、124…ステム、125…バルブ要素、126…キ
ャビティ、127…ねじ、128…流入通路、129…
排出通路、130…貫通穴、131…流体通路、132
…開口、140…マニホールド、141…外面、150
…組立体、151…本体、152…開口、153…プラ
ンジャー、154…ダイアフラム、160,161…流
体システム部品、162…流体通路、163,164…
ステップ状表面、165…流体通路、166,167…
曲面の合せ面、170…貫通穴、171…ねじ切り開
口、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム エル. モノフスキー, ジ ュニア アメリカ合衆国, カリフォルニア州, サン ノゼ, ヤーバ バンク コート 2593 (72)発明者 エドワード エム. カゾロウスキー アメリカ合衆国, カリフォルニア州, サラトガ, グリーン メドウ レーン 12445
Claims (12)
- 【請求項1】 バルブであって、前記バルブは、平坦外
面と、前記平坦面の側に配置された第1の開口及び第2
の開口とを有するマニホールドを備える流体システム部
品と連結し、前記バルブは、 キャビティを画成する本体であって、前記本体は、前記
バルブが前記流体システム部品に取り付けられたときに
前記流体システム部品の前記平坦外面と連結するため
の、平坦面を有する、前記本体と、 第1のポートと第2のポートとを有して前記流体を前記
キャビティの中に流入させる流入通路と、第3のポート
と第4のポートとを有して前記流体を前記キャビティか
ら排出させる排出通路とであって、 前記第1のポートと前記第3のポートとは前記本体の前
記平坦面側に配置され、前記第1のポートと前記第3の
ポートのそれぞれは、前記バルブが前記流体システム部
品に取り付けられたとき前記流体システム部品の前記第
1の開口と前記第2の開口の一方と連通し、 前記第2のポートと前記第4のポートとは、前記キャビ
ティの中に開き、前記第2のポートはバルブ座を有する
前記流入通路と前記排出通路と、 前記キャビティの中に前記バルブ座と離れて配置され、
前記バルブ座と係合して前記第2のポートの中を通る流
体の流れを調節する、バルブ要素と、 前記バルブ要素と連関して動作して、前記バルブ座に前
記バルブ要素を強制的に係合させる手段とを備えるバル
ブ。 - 【請求項2】 前記第3のポートを取り囲む第1のリセ
スと、前記第1のポートと前記第3のポートとを取り囲
む第2のリセスとを更に備える請求項1に記載のバル
ブ。 - 【請求項3】 前記第1のリセスの内側に配置される第
1のシール部材と、前記第2のリセスとの内側に配置さ
れる第2のシール部材とを有する請求項2に記載のバル
ブ。 - 【請求項4】 前記バルブの前記平坦面と、前記マニホ
ールドの前記平坦外面との間にシール部材が配置される
請求項1に記載のバルブ。 - 【請求項5】 前記マニホールドの前記平坦外面が複数
の開口を有し、前記マニホールドの前記平坦外面が、前
記複数の開口の周囲に配置される複数のリセスを有する
請求項1に記載のバルブ。 - 【請求項6】 前記シール部材が、Oリングと、メタル
ガスケットとから成る群から選択される請求項4に記載
のバルブ。 - 【請求項7】 所要の場所に流体を供給する装置であっ
て、 流体を自身の中に流入排出させるための少なくとも1つ
の通路と、第1の合せ面と、前記通路を前記合せ面に接
続させるための少なくとも1つの孔とを有するマニホー
ルドと、 少なくとも1つの部品であって、前記部品は、 前記部品が前記マニホールドに取り付けられたとき、前
記第1の合せ面と緊密に接触するための、第2の面と、 前記部品が前記マニホールドに取り付けられたとき、前
記孔と連通する開口とを有する前記部品とを備える装
置。 - 【請求項8】 前記部品の前記第2の合せ面と前記マニ
ホールドの前記第1の合せ面との間に配置されるシール
部材を更に備える請求項7に記載の装置。 - 【請求項9】 前記部品の前記開口の周囲に配置される
リセスを更に備える請求項7に記載の装置。 - 【請求項10】 前記部品の前記リセスと前記マニホー
ルドの前記合せ面との間に配置されるシール部材を更に
備える請求項9に記載の装置。 - 【請求項11】 前記シール部材がOリングを備える請
求項10に記載の装置。 - 【請求項12】 前記部品が、バルブと、機器計測装置
とから成る群から選択される請求項7に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US56446695A | 1995-11-29 | 1995-11-29 | |
US08/564466 | 1995-11-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09184577A true JPH09184577A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=24254584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8316521A Withdrawn JPH09184577A (ja) | 1995-11-29 | 1996-11-27 | 流体及び気体のシステムのための底部が平坦な部品及びその構造 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0777259A1 (ja) |
JP (1) | JPH09184577A (ja) |
KR (1) | KR970028015A (ja) |
TW (1) | TW347460B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6374859B1 (en) | 1996-10-30 | 2002-04-23 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system for enabling a distribution of fluids |
US6394138B1 (en) | 1996-10-30 | 2002-05-28 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system of removable components for distribution of fluids |
US6474700B2 (en) | 1996-10-30 | 2002-11-05 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
JP2007078141A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Ckd Corp | 空圧制御機器ユニット |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8307854B1 (en) | 2009-05-14 | 2012-11-13 | Vistadeltek, Inc. | Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks |
WO2010144541A2 (en) | 2009-06-10 | 2010-12-16 | Vistadeltek, Llc | Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61166976A (ja) * | 1985-01-17 | 1986-07-28 | Anelva Corp | 表面処理方法 |
JPS61271836A (ja) * | 1985-05-28 | 1986-12-02 | Ulvac Corp | ドライエツチング装置 |
US4612077A (en) * | 1985-07-29 | 1986-09-16 | The Perkin-Elmer Corporation | Electrode for plasma etching system |
ATE111261T1 (de) * | 1986-12-19 | 1994-09-15 | Applied Materials Inc | Plasmaätzvorrichtung mit magnetfeldverstärkung. |
JPH02101740A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-13 | Anelva Corp | プラズマエッチング装置 |
DE3914065A1 (de) * | 1989-04-28 | 1990-10-31 | Leybold Ag | Vorrichtung zur durchfuehrung von plasma-aetzverfahren |
EP0413239B1 (en) * | 1989-08-14 | 1996-01-10 | Applied Materials, Inc. | Gas distribution system and method of using said system |
DE4011933C2 (de) * | 1990-04-12 | 1996-11-21 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur reaktiven Oberflächenbehandlung eines Werkstückes sowie Behandlungskammer hierfür |
US5266153A (en) * | 1992-06-16 | 1993-11-30 | National Semiconductor Corp. | Gas distribution head for plasma deposition and etch systems |
US5589002A (en) * | 1994-03-24 | 1996-12-31 | Applied Materials, Inc. | Gas distribution plate for semiconductor wafer processing apparatus with means for inhibiting arcing |
-
1996
- 1996-07-09 TW TW085108272A patent/TW347460B/zh active
- 1996-11-27 JP JP8316521A patent/JPH09184577A/ja not_active Withdrawn
- 1996-11-28 EP EP96308627A patent/EP0777259A1/en not_active Withdrawn
- 1996-11-29 KR KR1019960059370A patent/KR970028015A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6374859B1 (en) | 1996-10-30 | 2002-04-23 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system for enabling a distribution of fluids |
US6394138B1 (en) | 1996-10-30 | 2002-05-28 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system of removable components for distribution of fluids |
US6474700B2 (en) | 1996-10-30 | 2002-11-05 | Unit Instruments, Inc. | Gas panel |
JP2007078141A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Ckd Corp | 空圧制御機器ユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0777259A1 (en) | 1997-06-04 |
TW347460B (en) | 1998-12-11 |
KR970028015A (ko) | 1997-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4930538A (en) | Compact manifold valve | |
US9879795B2 (en) | Additively manufactured gas distribution manifold | |
US6302141B1 (en) | Building blocks for integrated gas panel | |
TWI322342B (ja) | ||
US5836355A (en) | Building blocks for integrated gas panel | |
US5080131A (en) | Mass flow controller | |
EP1239203A1 (en) | Modular fluid delivery apparatus | |
US7055550B2 (en) | Fluid delivery system and mounting panel therefor | |
US7334605B2 (en) | Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane | |
JP3431631B2 (ja) | プロセス流体の処理装置 | |
KR101662095B1 (ko) | 제거 가능한 샘플링 밸브를 갖는 배관 고정구용 시스템, 방법 및 장치 | |
WO1998025058A9 (en) | Building blocks for integrated gas panel | |
US8307854B1 (en) | Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks | |
JP5462926B2 (ja) | ガスパネルアッセンブリ | |
JP2006009969A (ja) | 集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法並びに集積化ガス制御装置 | |
US6000422A (en) | Fluid device with double containment | |
JPH09184577A (ja) | 流体及び気体のシステムのための底部が平坦な部品及びその構造 | |
EP1458984B1 (en) | Apparatus for conveying fluids and base plate | |
JP2006242222A (ja) | 集積化ガス制御装置と集積化ガス制御方法 | |
US11841036B2 (en) | Laminar flow restrictor and seal for same | |
JP3123099U (ja) | ガス供給機器用流路ブロック、及び半導体製造用ガス供給ユニット | |
JPH1069317A (ja) | マスフローコントローラ取付構造 | |
US20210041027A1 (en) | Seal for a flow restrictor | |
US20230029366A1 (en) | Fluid delivery module | |
JP2021073415A (ja) | 液体送達システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040203 |