JP3123099U - ガス供給機器用流路ブロック、及び半導体製造用ガス供給ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体が流れる流路31を有し、一方の継手側接続部31cにはフランジ部32を設けた継手部材3と、流体が流れる流路21を有し、一方の本体側接続部21dには前記ボルト穴に合致するねじ部22を形成した本体部材2と、前記継手部材3と、前記本体部材2とを前記ボルト穴34と前記ねじ部22を利用して締結するボルト5と、前記継手部材3と、前記本体部材2との間に挟着したガスケット付フィルタ4とからなる流路ブロックをガス供給ユニットの入口に設けることでなる。
【選択図】図1
Description
更に、特許文献1、特許文献2及び特許文献3に記載のフィルタ装置、ガス供給ユニット及び流体制御器においては、メンテナンスの際にフィルタ装置部分を分解すると、フィルタ装置から下流部分がクリーンルーム内の室内空気に曝され、ガス供給ユニットの流路内部を汚染してしまうという問題がある。例えば、特許文献3においてガスケットフィルタはレギュレータ又はマスフローコントローラの入口通路に設けられている。従って、フィルタ部分を分解すると、レギュレータ又はマスフローコントローラの内部を汚染させ、圧力制御や流量制御に誤差を証しさせてしまう恐れがある。そのために、フィルタのメンテナンス後には、窒素等の不活性ガスを長時間流してパージしなければ使用に供することができない。
そして、図2に示すように、継手部材3のフランジ部32には、2箇所のボルト穴34が形成してあり、一方、本体部材2の側面には、前記ボルト穴34の位置にあうように2箇所の側面ねじ部22(図示せず)か形成されている。
しかるに、本体部材2と継手部材3との間にガスケット付フィルタ4を狭着し、ボルト5を締め付けると、本体部材2の本体側接続部21dと、継手部材3の継手側接続部31cとでガスケット部41を押さえつけ、本体部材2と継手部材3とがシール状態で締結されることとなる。
ベースプレート101には、ブロック締結用ねじ101a及び(図示しない)位置決めピン穴101bが設けてあり、ガス供給機器用流路ブロック1の位置決めピン26aをベースプレート101の位置決めピン穴101bへ挿入して定位置が決まるようにしている。そして、本体部材2に設けた締結用ボルト穴と、ブロック締結用ねじ101aとを利用してガス供給機器用流路ブロック1は、ベースプレート101に固定される。また、同様にして複数の流路ブロック102aから102hが、ベースプレート101に固定される。
このようにして、ガス供給ユニット100は必要な機能の流体制御機器を搭載したユニットとなる。
開閉弁103b、103cを経て、流れるガスは、マスフローコントローラ105で質量流量が制御され、開閉弁103dを経て、下流へ導出される。
また、パージライン流路102jを有する流路ブロック102eに接続された開閉弁103cは、三方弁で、初期のガス系の立ち上げ時、マスフローコントローラなどの流体制御機器の交換時や、ガス種を変更するときなどにここから窒素ガス等を導入してパージする。
また、メンテナンスのときには、開閉弁103aを予め閉じておくことで、開閉弁103aより下流の流体制御機器は、密閉状態が保たれ、外部からコンタミネーションが混入することを防止できる。従って、ガス供給ユニット100の流路内部は常にクリーンな状態を保つことができ、流体制御機器の故障や制御誤差の増大を防止することができる。
図5に示したガス供給ユニットによれば、開閉弁本体部材103eと、継手部材3との間にガスケット付フィルタ4を挟着させているので、図4に示したガス供給ユニットよりも更にコンパクトが図られ、デッドスペースを最小とすることができるとともに、ボルト5を緩めるとガスケット付フィルタ4を容易に取り出せ、交換できる。したがって、短時間で容易にメンテナンスができる。
ガスケット付フィルタの形態においては、これに限らず、本体部材と継手部材とに狭着され、本体部材と継手部材とをシール状態に可能なガスケットを有するフィルタであればよい。
2:本体部材、21:流路、21a:本体側流路出口、21b:本体側流路入口、21c、21d:本体側接続部、21e:凹部、22:側面ねじ部、23:締結用ボルト穴、24:締結用ねじ部、25a:位置決めピン穴、26a:位置決めピン
3:継手部材3、31:流路、31a:継手側流路出口、31b:継手側流路入口、31c、31d:継手側接続部、32:フランジ部、33:継手部、34:ボルト穴
4:ガスケット付フィルタ、41:ガスケット部、42:フィルタ部
5:ボルト、6:リテーナ、
100:ガス供給ユニット、
101:ベースプレート、101a:ブロック締結用ねじ、101b:位置決めピン穴
102a〜102h:流路ブロック、102i:流体制御機器連結流路、102j:パージライン流路、102k:ガス供給ユニット出口流路、103a〜103d:開閉弁、103e:開閉弁本体部材、104:レギュレータ、105:マスフローコントローラ、106:圧力センサ
Claims (5)
- 流体が流れる流路を有し、前記流路の両端に継手側接続部を形成し、一方の継手側接続部にはフランジ部と、該フランジ部に形成した複数のボルト穴を設けた継手部材と、
流体が流れる流路を有し、前記流路の両端に本体側接続部を形成し、少なくとも一方の本体側接続部には前記ボルト穴に合致するねじ部を形成した本体部材と、
前記継手部材と、前記本体部材とを前記ボルト穴と前記ねじ部を利用して締結するボルトと、
前記継手部材の継手側接続部と、前記本体部材の本体側接続部との間に挟着したガスケット付フィルタとからなり、
前記本体部材の他方の本体側接続部は、前記本体部材の上面に設けられるとともに、
前記本体部材の上面には、複数のねじ部と、複数のボルト穴と、複数の位置決め穴とを設け、
前記本体部材の下面には、複数の位置決めピンを設けた
ことを特徴とするガス供給機器用流路ブロック。 - ベースプレートと、複数の流体制御機器と、複数の流路ブロックからなる半導体製造用ガス供給ユニットにおいて、
前記ガス供給ユニットの入口側及び/又は出口側に設けられたブロックが、請求項1に記載のガス供給機器用流路ブロックである
ことを特徴とする半導体製造用ガス供給ユニット。 - 前記ガス供給ユニットの入口側及び/又は出口側に設けられた前記ブロックに接続される流体制御機器が開閉弁であることを特徴とする請求項2に記載の半導体製造用ガス供給ユニット。
- ベースプレートと、複数の流体制御機器と、複数の流路ブロックからなる半導体製造用ガス供給ユニットにおいて、
前記ガス供給ユニットの入口側及び/又は出口側に設けられた流体制御機器の端部に複数のねじ部を形成した本体側接続部を有する流体機器の本体部材と、
流体が流れる流路を有し、前記流路の両端に継手側接続部を形成し、一方の継手側接続部側にはフランジ部と、該フランジ部に形成した複数のボルト穴からなる継手部材とを、前記ボルト穴と前記流体制御機器の本体部材のねじ部とをボルトを利用して締結する際、
前記継手部材の継手側接続部と、前記本体部材の本体側接続部との間にガスケット付フィルタを挟着した
ことを特徴とする半導体製造用ガス供給ユニット。 - 前記ガス供給ユニットの入口側及び/又は出口側に設けられた前記流体制御機器が開閉弁であることを特徴とする請求項4に記載の半導体製造用ガス供給ユニット。
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JP2006002908U JP3123099U (ja) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | ガス供給機器用流路ブロック、及び半導体製造用ガス供給ユニット |
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JP3123099U true JP3123099U (ja) | 2006-07-06 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP3123099U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2021192643A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社堀場エステック | 気化システム |
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2006
- 2006-04-18 JP JP2006002908U patent/JP3123099U/ja not_active Expired - Lifetime
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WO2021192643A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社堀場エステック | 気化システム |
CN115279941A (zh) * | 2020-03-23 | 2022-11-01 | 株式会社堀场Stec | 气化系统 |
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