JPH1119438A - 反応性媒体を隔離及び収納するための装置 - Google Patents
反応性媒体を隔離及び収納するための装置Info
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- JPH1119438A JPH1119438A JP25939197A JP25939197A JPH1119438A JP H1119438 A JPH1119438 A JP H1119438A JP 25939197 A JP25939197 A JP 25939197A JP 25939197 A JP25939197 A JP 25939197A JP H1119438 A JPH1119438 A JP H1119438A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L29/00—Joints with fluid cut-off means
- F16L29/02—Joints with fluid cut-off means with a cut-off device in one of the two pipe ends, the cut-off device being automatically opened when the coupling is applied
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Valve Housings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 浄化するべきガス流れ中への汚染物の侵入を
回避し且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボリ
ュームが小さく、改良された表面仕上げを有する、改良
型のガス隔離及び収納装置を提供することである。 【解決手段】 ガスケット３０が円盤形状を有し、管状
のアクチュエーターロッドの内側穿孔１３Ａと整列する
円形孔３１を有している。円形孔３１の直径は拡開端部
３５のそれよりも小さく、ガスケット３０の中実の周囲
部分３２が拡開端部３５と接触し且つ、合致するコネク
タ２２を締め付けるに際して端部３５を押圧する。中実
の周囲部分３２がアクチュエーターロッド１３の拡開端
部３５を押圧してダイヤフラム４を偏位させ、かくして
弁アセンブリーが開放する。
回避し且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボリ
ュームが小さく、改良された表面仕上げを有する、改良
型のガス隔離及び収納装置を提供することである。 【解決手段】 ガスケット３０が円盤形状を有し、管状
のアクチュエーターロッドの内側穿孔１３Ａと整列する
円形孔３１を有している。円形孔３１の直径は拡開端部
３５のそれよりも小さく、ガスケット３０の中実の周囲
部分３２が拡開端部３５と接触し且つ、合致するコネク
タ２２を締め付けるに際して端部３５を押圧する。中実
の周囲部分３２がアクチュエーターロッド１３の拡開端
部３５を押圧してダイヤフラム４を偏位させ、かくして
弁アセンブリーが開放する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に、ガス反応性
材料を隔離及び収納するための装置に関し、詳しくは本
発明は、超小型電子技術工業で有益な、ガス清浄器、フ
ィルター、モニターに関する。更に詳しくは本発明は、
浄化するべきガスを周囲環境から隔離及び収納するため
の、グランド内型でのダイヤフラム弁アセンブリを有す
るガス清浄器に関する。
材料を隔離及び収納するための装置に関し、詳しくは本
発明は、超小型電子技術工業で有益な、ガス清浄器、フ
ィルター、モニターに関する。更に詳しくは本発明は、
浄化するべきガスを周囲環境から隔離及び収納するため
の、グランド内型でのダイヤフラム弁アセンブリを有す
るガス清浄器に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガスを浄化し、濾過し、或は監視するた
めの様々な形式の装置が工業的に広く使用されている。
例えば、半導体製造に際して使用するガスは、半導体チ
ップが小型化されるに従い、超高純度のものとする必要
がある。超小型電子技術工業界では長年、ガス清浄器
を、そうしたガスから分子並びに粒状の汚染物を除去す
るために使用してきている。半導体製造に際して使用す
る多くのガスは毒性或は腐食性のものであることから、
もし周囲環境に露呈されると環境上や健康上の問題を生
じ得る。ガス清浄器は、使用に際し、浄化エレメントと
してのガス反応性材料が消費されることから、代表的に
は使い捨て式の装置である。また、装置の設置に際して
はガス反応性材料内に周囲環境が入り込み、その有効寿
命の一部分が消費されてしまう。周囲環境に対して露呈
されることから、装置を使用するに先立ってシステムか
ら水分その他の不純物をパージする必要が生じ、ガス供
給ラインを準備する時間も長くなる。結局、ガス清浄器
をガス供給ラインから隔離することと、ガス清浄器の設
置及び撤去中にガス清浄器内にガスを収納させておくこ
ととが必要となる。ガス清浄器の交換中におけるガスの
そうした隔離及び収納は、大抵は、ガス清浄器をガス供
給ラインに付設するところの、ガス清浄器の入口側及び
出口側の各フィッティングに隣り合う位置で浄化エレメ
ントの外側に位置決めした一対の分離弁を使用して行な
う。分離弁は、保守に際してガス清浄器をガスラインか
ら外す際の安全性を高めること、そしてガス反応性材料
が周囲環境に露呈されないようにすることをその主要な
機能とするものであるが、装置外部の分離弁を使用する
ことで装置コストが上昇し、システム内容積が増大し、
ガス清浄器の全体形状が大きくなる、といった欠点がも
たらされる。全体形状が大きくなると、特に、半導体が
クリーンルーム環境内で製造されるという点から、追加
コスト分が著しく増大する。
めの様々な形式の装置が工業的に広く使用されている。
例えば、半導体製造に際して使用するガスは、半導体チ
ップが小型化されるに従い、超高純度のものとする必要
がある。超小型電子技術工業界では長年、ガス清浄器
を、そうしたガスから分子並びに粒状の汚染物を除去す
るために使用してきている。半導体製造に際して使用す
る多くのガスは毒性或は腐食性のものであることから、
もし周囲環境に露呈されると環境上や健康上の問題を生
じ得る。ガス清浄器は、使用に際し、浄化エレメントと
してのガス反応性材料が消費されることから、代表的に
は使い捨て式の装置である。また、装置の設置に際して
はガス反応性材料内に周囲環境が入り込み、その有効寿
命の一部分が消費されてしまう。周囲環境に対して露呈
されることから、装置を使用するに先立ってシステムか
ら水分その他の不純物をパージする必要が生じ、ガス供
給ラインを準備する時間も長くなる。結局、ガス清浄器
をガス供給ラインから隔離することと、ガス清浄器の設
置及び撤去中にガス清浄器内にガスを収納させておくこ
ととが必要となる。ガス清浄器の交換中におけるガスの
そうした隔離及び収納は、大抵は、ガス清浄器をガス供
給ラインに付設するところの、ガス清浄器の入口側及び
出口側の各フィッティングに隣り合う位置で浄化エレメ
ントの外側に位置決めした一対の分離弁を使用して行な
う。分離弁は、保守に際してガス清浄器をガスラインか
ら外す際の安全性を高めること、そしてガス反応性材料
が周囲環境に露呈されないようにすることをその主要な
機能とするものであるが、装置外部の分離弁を使用する
ことで装置コストが上昇し、システム内容積が増大し、
ガス清浄器の全体形状が大きくなる、といった欠点がも
たらされる。全体形状が大きくなると、特に、半導体が
クリーンルーム環境内で製造されるという点から、追加
コスト分が著しく増大する。
【０００３】ガス清浄器の外側の分離弁を不要化しよう
とする試みがなされて来ている。そのような設計形状の
ものが米国特許第５，１３９，７４７号に示される。こ
の米国特許には、浄化エレメントの内部にポペット弁を
一体取り付けすることで、装置外部の弁を不要化したガ
ス清浄器が記載されるが、使用するガスケットが特別設
計のものであることから、ポペット弁を作動するための
大きな力が必要となっている。このため、前記米国特許
では一対のばねスタックを使用し、各１つのばねスタッ
クを入口側及び出口側にそれぞれ配し、シールを確実な
ものとするに必要な十分な力をポペット弁に加えるよう
にしている。前記米国特許の図１には、使用するポペッ
ト弁配列構成の形式を表わす断面図が示される。ばねの
使用は望ましくない。なぜなら、それらのばねにより増
大する表面積分が汚染源となり得るからである。この増
大された表面積分の大半は、流体によって洗浄されるこ
とがないので、有意のデッドボリュームとなってしま
う。しかも、ばねの表面の材料は応力により割れやす
く、割れた材料が汚染物となる恐れもある。更に、前記
米国特許のポペット弁は押し嵌め式の装置部品を使用し
て組み立てられるのであるが、そうした装置部品はユニ
ット内部に捕捉領域、或はデッドボリュームを創出す
る。そうしたデッドボリューム部分には流体が捕捉さ
れ、捕捉された流体が腐食の発生を招き、結局、供給ガ
スの純度に影響を与え得るようにもなる。超小型電子技
術工業においては当然とされるような超高純度用途のた
めには、供給ガスと接触する表面を電解研磨仕上するの
が極めて望ましいが、ばねは電解研磨仕上げするのが非
常に難しく、腐食をより受けやすいことが知られてい
る。従って、浄化するべきガス流れ中への汚染物の侵入
を回避し且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボ
リュームが小さく、改良された表面仕上げを有する、改
良型のガス隔離及び収納装置に対する需要がある。更に
は、そうした装置を人体を危険なガスに晒すことなく交
換することが可能であり、しかも交換用の装置を、ガス
反応性材料を周囲環境に露呈させることなく組み込むこ
とができるようにすることに対する要望もある。
とする試みがなされて来ている。そのような設計形状の
ものが米国特許第５，１３９，７４７号に示される。こ
の米国特許には、浄化エレメントの内部にポペット弁を
一体取り付けすることで、装置外部の弁を不要化したガ
ス清浄器が記載されるが、使用するガスケットが特別設
計のものであることから、ポペット弁を作動するための
大きな力が必要となっている。このため、前記米国特許
では一対のばねスタックを使用し、各１つのばねスタッ
クを入口側及び出口側にそれぞれ配し、シールを確実な
ものとするに必要な十分な力をポペット弁に加えるよう
にしている。前記米国特許の図１には、使用するポペッ
ト弁配列構成の形式を表わす断面図が示される。ばねの
使用は望ましくない。なぜなら、それらのばねにより増
大する表面積分が汚染源となり得るからである。この増
大された表面積分の大半は、流体によって洗浄されるこ
とがないので、有意のデッドボリュームとなってしま
う。しかも、ばねの表面の材料は応力により割れやす
く、割れた材料が汚染物となる恐れもある。更に、前記
米国特許のポペット弁は押し嵌め式の装置部品を使用し
て組み立てられるのであるが、そうした装置部品はユニ
ット内部に捕捉領域、或はデッドボリュームを創出す
る。そうしたデッドボリューム部分には流体が捕捉さ
れ、捕捉された流体が腐食の発生を招き、結局、供給ガ
スの純度に影響を与え得るようにもなる。超小型電子技
術工業においては当然とされるような超高純度用途のた
めには、供給ガスと接触する表面を電解研磨仕上するの
が極めて望ましいが、ばねは電解研磨仕上げするのが非
常に難しく、腐食をより受けやすいことが知られてい
る。従って、浄化するべきガス流れ中への汚染物の侵入
を回避し且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボ
リュームが小さく、改良された表面仕上げを有する、改
良型のガス隔離及び収納装置に対する需要がある。更に
は、そうした装置を人体を危険なガスに晒すことなく交
換することが可能であり、しかも交換用の装置を、ガス
反応性材料を周囲環境に露呈させることなく組み込むこ
とができるようにすることに対する要望もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】浄化するべきガス流れ
中への汚染物の侵入を回避し且つ監視するための、構造
が簡単で、デッドボリュームが小さく、改良された表面
仕上げを有する、改良型のガス隔離及び収納装置を提供
することであり、そうした改良型のガス隔離及び収納装
置を、危険なガスに人体を晒すことなく交換することが
可能であり、しかも交換用の装置を、ガス反応性材料を
周囲環境に露呈させることなく組み込むことができるよ
うにすることである。
中への汚染物の侵入を回避し且つ監視するための、構造
が簡単で、デッドボリュームが小さく、改良された表面
仕上げを有する、改良型のガス隔離及び収納装置を提供
することであり、そうした改良型のガス隔離及び収納装
置を、危険なガスに人体を晒すことなく交換することが
可能であり、しかも交換用の装置を、ガス反応性材料を
周囲環境に露呈させることなく組み込むことができるよ
うにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に従えば、従来装
置の不利益及び欠点を解消するための、前負荷された金
属製のダイヤフラムの移動と組み合わせて作動する新規
な弁を備える、ガス反応性材料を隔離及び収納するため
の装置が提供される。浄化或は監視するべきガスライン
と装置とを繋ぐ各フィッティングが、弁アセンブリー及
び、ダイヤフラムに接続したアクチュエーターと相互作
動し、フィッティング及びアクチュエーターは全て、装
置のハウジング内部に格納される。本発明の好ましい実
施例に従えば、ガス清浄器にはグランド内の一対の弁が
組み込まれ、ガス反応性材料を隔離及び収納する目的の
ために、グランド内の一対の弁の一方が装置の入口側の
位置に、他方が出口側の位置に夫々配置される。ガス清
浄器は、金属製のダイヤフラムと、これに対応する金属
製の座部とを含み、座部が、ガス清浄器をガス供給ライ
ン、例えば半導体製造作業で使用するガスラインに結合
されない場合の、確実な液密シール形成する。そうした
液密シールは、ダイヤフラムによる、前負荷された偏位
力によって達成される。この偏位力によりダイヤフラム
は座部と係合し、ガス清浄器の内部をシールすると共
に、浄化されたガスを周囲環境からシールする。ダイヤ
フラムには、ガス清浄器の入口側及び出口側の各位置の
フィッティングを長手方向に越えて伸延するアクチュエ
ーターが付設される。各フィッティングがガス供給ライ
ンと連結する時、このアクチュエーターに対し、ダイヤ
フラムの偏位力に打ち勝つに十分な力が加わりそれによ
り、ガス供給ラインの入口及び出口が共に、ガス清浄器
に露呈される。
置の不利益及び欠点を解消するための、前負荷された金
属製のダイヤフラムの移動と組み合わせて作動する新規
な弁を備える、ガス反応性材料を隔離及び収納するため
の装置が提供される。浄化或は監視するべきガスライン
と装置とを繋ぐ各フィッティングが、弁アセンブリー及
び、ダイヤフラムに接続したアクチュエーターと相互作
動し、フィッティング及びアクチュエーターは全て、装
置のハウジング内部に格納される。本発明の好ましい実
施例に従えば、ガス清浄器にはグランド内の一対の弁が
組み込まれ、ガス反応性材料を隔離及び収納する目的の
ために、グランド内の一対の弁の一方が装置の入口側の
位置に、他方が出口側の位置に夫々配置される。ガス清
浄器は、金属製のダイヤフラムと、これに対応する金属
製の座部とを含み、座部が、ガス清浄器をガス供給ライ
ン、例えば半導体製造作業で使用するガスラインに結合
されない場合の、確実な液密シール形成する。そうした
液密シールは、ダイヤフラムによる、前負荷された偏位
力によって達成される。この偏位力によりダイヤフラム
は座部と係合し、ガス清浄器の内部をシールすると共
に、浄化されたガスを周囲環境からシールする。ダイヤ
フラムには、ガス清浄器の入口側及び出口側の各位置の
フィッティングを長手方向に越えて伸延するアクチュエ
ーターが付設される。各フィッティングがガス供給ライ
ンと連結する時、このアクチュエーターに対し、ダイヤ
フラムの偏位力に打ち勝つに十分な力が加わりそれによ
り、ガス供給ラインの入口及び出口が共に、ガス清浄器
に露呈される。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施例が図２及
び図３に示される。図２には、清浄器胴部１１として組
み立てられる各部品を含む、ガス清浄器１０の分解図が
示される。清浄器胴部はその各端部側に弁アセンブリー
１２を収納し、弁アセンブリー１２は、中空の内側穿孔
を有する管状のアクチュエーターロッド１３を有してい
る。アクチュエーターロッド１３は弁胴部１６の中央孔
１４に挿入されるようになっており、弁胴部１６の反対
側の端部には弁マニホルド１７が位置付けられる。
び図３に示される。図２には、清浄器胴部１１として組
み立てられる各部品を含む、ガス清浄器１０の分解図が
示される。清浄器胴部はその各端部側に弁アセンブリー
１２を収納し、弁アセンブリー１２は、中空の内側穿孔
を有する管状のアクチュエーターロッド１３を有してい
る。アクチュエーターロッド１３は弁胴部１６の中央孔
１４に挿入されるようになっており、弁胴部１６の反対
側の端部には弁マニホルド１７が位置付けられる。
【０００７】弁アセンブリー１２は、弁マニホルド１７
を弁胴部１６に溶接し、次いで、金属製のダイヤフラム
４及びダイヤフラムリテーナ１５を弁マニホルドに溶接
することにより組み立てられる。各弁アセンブリーは同
一構造を有しているので、相互に交換することができ
る。ガス清浄器のガス供給ライン内での方向によって、
何れの弁アセンブリーが入口側の弁アセンブリー或は出
口側の弁アセンブリーとして機能するかが決まる。一般
的には、ガス清浄器の前方に位置決めされる入口側の弁
アセンブリーがガス供給源の上流側端部位置にあり、出
口側の弁アセンブリーは下流側、つまりガス清浄器の後
方にある。
を弁胴部１６に溶接し、次いで、金属製のダイヤフラム
４及びダイヤフラムリテーナ１５を弁マニホルドに溶接
することにより組み立てられる。各弁アセンブリーは同
一構造を有しているので、相互に交換することができ
る。ガス清浄器のガス供給ライン内での方向によって、
何れの弁アセンブリーが入口側の弁アセンブリー或は出
口側の弁アセンブリーとして機能するかが決まる。一般
的には、ガス清浄器の前方に位置決めされる入口側の弁
アセンブリーがガス供給源の上流側端部位置にあり、出
口側の弁アセンブリーは下流側、つまりガス清浄器の後
方にある。
【０００８】清浄器胴部１１の下流側端部と、出口側の
弁アセンブリー１２との間に膜フィルター２を挟持さ
せ、出口側の弁アセンブリーを清浄器胴部に溶接するこ
とにより、ガス清浄器１０を完成させる。ガス清浄器に
は、米国特許第４，９５０，４１９号、４，８５３，１
４８号、４，７１３，２２４号に記載される形式のよう
な浄化材料であるところの無機性樹脂２０を充填する。
そうした樹脂は、ガス流れ中に含まれる成分或は汚染物
と反応し得る材料でコーティングされた、大表面積の無
機性の支持体である。当業者には、用途（例えば、浄化
或は監視）に基づき、その他の材料を使用できることを
認識されよう。それらの材料には、米国特許第４，３１
２，６６９号及び５，４５６，７４０号に記載されるよ
うなゲッター合金、米国特許第４，６０４，２７０号、
４，７６１，３９５号に記載されるような、有機金属製
の樹脂ベースの材料、米国特許第５，３４０，５５２号
に記載されるようなガス反応性のマイクロマトリックス
材料が含まれる。多孔質のフリット１８を清浄器胴部の
上流側端部に挿入し、このフリット１８に樹脂を収納さ
せる。次いで、入口側の弁アセンブリー１２を清浄器胴
部に溶接し、ガス清浄器を完成させる。
弁アセンブリー１２との間に膜フィルター２を挟持さ
せ、出口側の弁アセンブリーを清浄器胴部に溶接するこ
とにより、ガス清浄器１０を完成させる。ガス清浄器に
は、米国特許第４，９５０，４１９号、４，８５３，１
４８号、４，７１３，２２４号に記載される形式のよう
な浄化材料であるところの無機性樹脂２０を充填する。
そうした樹脂は、ガス流れ中に含まれる成分或は汚染物
と反応し得る材料でコーティングされた、大表面積の無
機性の支持体である。当業者には、用途（例えば、浄化
或は監視）に基づき、その他の材料を使用できることを
認識されよう。それらの材料には、米国特許第４，３１
２，６６９号及び５，４５６，７４０号に記載されるよ
うなゲッター合金、米国特許第４，６０４，２７０号、
４，７６１，３９５号に記載されるような、有機金属製
の樹脂ベースの材料、米国特許第５，３４０，５５２号
に記載されるようなガス反応性のマイクロマトリックス
材料が含まれる。多孔質のフリット１８を清浄器胴部の
上流側端部に挿入し、このフリット１８に樹脂を収納さ
せる。次いで、入口側の弁アセンブリー１２を清浄器胴
部に溶接し、ガス清浄器を完成させる。
【０００９】金属製のダイヤフラム４は、降伏値の高
い、高引張強度の金属合金であり、コバルト、クム、ニ
ッケルの混合物であるElgiloy （商標名）で形成するも
のが特に有益である。ダイヤフラムは厚さが０．００４
インチ（約０．１０２ｍｍ）であり、波形模様が形成さ
れる。弁アセンブリーを組み立てる時、ダイヤフラムは
約０．００５インチ（０．１２７ｍｍ）撓まされこの撓
みが、その座部２８に２０ポンド（約９．０７Ｋｇ）以
上の力を加え、この力によって液密シールが保証され
る。
い、高引張強度の金属合金であり、コバルト、クム、ニ
ッケルの混合物であるElgiloy （商標名）で形成するも
のが特に有益である。ダイヤフラムは厚さが０．００４
インチ（約０．１０２ｍｍ）であり、波形模様が形成さ
れる。弁アセンブリーを組み立てる時、ダイヤフラムは
約０．００５インチ（０．１２７ｍｍ）撓まされこの撓
みが、その座部２８に２０ポンド（約９．０７Ｋｇ）以
上の力を加え、この力によって液密シールが保証され
る。
【００１０】図３を参照して、以下にガス清浄器及びそ
の弁機構の作動を説明する。ガス供給ラインの配管の合
致するコネクタ２２を各弁アセンブリー１２のねじ溝２
６に結合させると、ガスケット３０がアクチュエーター
ロッド１３の、前記ねじ溝２６を越えて横方向に拡開し
た拡開端部３５を押す。ガスケットの、中実の周囲部分
３２を前記アクチュエーターロッドの端部と接触させ、
コネクタ２２と密着させると、金属製のダイヤフラム４
の前負荷された偏位力に打ち勝つに十分な力が創出され
る。この力が、弁アセンブリーの内部でダイヤフラムを
座部２８から離座させると弁は開放される。図３には開
放した状態での弁が示される。ガスケット３０は円盤形
状を有し、管状のアクチュエーターロッドの内側穿孔１
３Ａと整列する円形孔３１を有している。円形孔３１の
直径は拡開端部３５のそれよりも小さいことから、ガス
ケット３０の中実の周囲部分３２は拡開端部３５と接触
し且つ、合致するコネクタ２２を締め付けるに際して端
部３５を押圧する。中実の周囲部分３２はアクチュエー
ターロッド１３の拡開端部３５を押圧しダイヤフラム４
を押圧し、かくして弁アセンブリーを開放させる。
の弁機構の作動を説明する。ガス供給ラインの配管の合
致するコネクタ２２を各弁アセンブリー１２のねじ溝２
６に結合させると、ガスケット３０がアクチュエーター
ロッド１３の、前記ねじ溝２６を越えて横方向に拡開し
た拡開端部３５を押す。ガスケットの、中実の周囲部分
３２を前記アクチュエーターロッドの端部と接触させ、
コネクタ２２と密着させると、金属製のダイヤフラム４
の前負荷された偏位力に打ち勝つに十分な力が創出され
る。この力が、弁アセンブリーの内部でダイヤフラムを
座部２８から離座させると弁は開放される。図３には開
放した状態での弁が示される。ガスケット３０は円盤形
状を有し、管状のアクチュエーターロッドの内側穿孔１
３Ａと整列する円形孔３１を有している。円形孔３１の
直径は拡開端部３５のそれよりも小さいことから、ガス
ケット３０の中実の周囲部分３２は拡開端部３５と接触
し且つ、合致するコネクタ２２を締め付けるに際して端
部３５を押圧する。中実の周囲部分３２はアクチュエー
ターロッド１３の拡開端部３５を押圧しダイヤフラム４
を押圧し、かくして弁アセンブリーを開放させる。
【００１１】円形孔３１を通り、アクチュエーターロッ
ド１３の内側穿孔１３Ａを通過した供給ガスは、アクチ
ュエーターロッド１３内に位置付けられた一連の半径方
向穴４０から出、次いで環状スリット４２を流れて座部
２８を越え、弁マニホルド１７の半径方向孔４４を通過
する。浄化されるべきガスは、次いで清浄器胴部１１に
流入して樹脂部２０を通り抜け、この樹脂部２０で浄化
され、最後に膜フィルター２を通して出口側の弁アセン
ブリー１２に入る。ガスは出口側の弁アセンブリー１２
を前述の流れとは逆の方向に流れた後、使用位置に供給
される。
ド１３の内側穿孔１３Ａを通過した供給ガスは、アクチ
ュエーターロッド１３内に位置付けられた一連の半径方
向穴４０から出、次いで環状スリット４２を流れて座部
２８を越え、弁マニホルド１７の半径方向孔４４を通過
する。浄化されるべきガスは、次いで清浄器胴部１１に
流入して樹脂部２０を通り抜け、この樹脂部２０で浄化
され、最後に膜フィルター２を通して出口側の弁アセン
ブリー１２に入る。ガスは出口側の弁アセンブリー１２
を前述の流れとは逆の方向に流れた後、使用位置に供給
される。
【００１２】ガス供給ラインからガス清浄器１０を取り
外す時は、先ず、ガス供給ラインの合致する各コネクタ
２２をねじ溝２６から緩める。これにより、金属製のダ
イヤフラム４の、十分に前負荷された力を有している内
側表面がその力によって座部２８にシールされる。かく
して、清浄器胴部内に捕捉されたガスは周囲環境に逃出
することがない。こうした構成（すなわち、ガス清浄器
がガス供給ラインに接続されない構成）が、新規な或は
代替用のガス清浄器のガス反応性材料の、周囲環境から
のシールを可能とすることをも認識されよう。
外す時は、先ず、ガス供給ラインの合致する各コネクタ
２２をねじ溝２６から緩める。これにより、金属製のダ
イヤフラム４の、十分に前負荷された力を有している内
側表面がその力によって座部２８にシールされる。かく
して、清浄器胴部内に捕捉されたガスは周囲環境に逃出
することがない。こうした構成（すなわち、ガス清浄器
がガス供給ラインに接続されない構成）が、新規な或は
代替用のガス清浄器のガス反応性材料の、周囲環境から
のシールを可能とすることをも認識されよう。
【００１３】図４には別態様での本発明の弁アセンブリ
ーが示される。本実施例ではテーパ付き弁５０が金属製
のダイヤフラム４に溶接され、弁のテーパ端部が、弁胴
部１６に位置付けた座部５２と合致している。弁５０が
図示されるように閉じている時に液密シールが達成され
る。図示された弁アセンブリーがガス清浄器１０の入口
側の弁アセンブリーであるとすると、その作動はガスケ
ットの円形孔３１、アクチュエーターロッド１３の内側
穿孔１３Ａ、半径方向穴４０、環状スリット４２を通し
ての、先に説明した好ましい実姉例におけるそれと類似
のものとなる。しかしながら、本実施例では、弁５０を
座部５２から離座させると、ガス流れは金属製のダイヤ
フラム４内の一連の穴４８を貫き、ガス清浄器の残余の
要素部分に流動する。
ーが示される。本実施例ではテーパ付き弁５０が金属製
のダイヤフラム４に溶接され、弁のテーパ端部が、弁胴
部１６に位置付けた座部５２と合致している。弁５０が
図示されるように閉じている時に液密シールが達成され
る。図示された弁アセンブリーがガス清浄器１０の入口
側の弁アセンブリーであるとすると、その作動はガスケ
ットの円形孔３１、アクチュエーターロッド１３の内側
穿孔１３Ａ、半径方向穴４０、環状スリット４２を通し
ての、先に説明した好ましい実姉例におけるそれと類似
のものとなる。しかしながら、本実施例では、弁５０を
座部５２から離座させると、ガス流れは金属製のダイヤ
フラム４内の一連の穴４８を貫き、ガス清浄器の残余の
要素部分に流動する。
【００１４】図５には、本発明の弁アセンブリーの別態
様が示され、ここではアクチュエーターロッド１３は、
先の好ましい実施例では管状であるのに対し、中実化さ
れている。中実のアクチュエーターロッド１３は、弁胴
部１６の中心穿孔１４に挿入されるようになっている。
中実のアクチュエーターロッド１３の、金属製のダイヤ
フラム４を収納する側の端部とは反対側の端部に隣り合
って、長孔１３Ｂが位置付けられる。この長孔１３Ｂは
弁胴部１６の中心穿孔１４と連通する。
様が示され、ここではアクチュエーターロッド１３は、
先の好ましい実施例では管状であるのに対し、中実化さ
れている。中実のアクチュエーターロッド１３は、弁胴
部１６の中心穿孔１４に挿入されるようになっている。
中実のアクチュエーターロッド１３の、金属製のダイヤ
フラム４を収納する側の端部とは反対側の端部に隣り合
って、長孔１３Ｂが位置付けられる。この長孔１３Ｂは
弁胴部１６の中心穿孔１４と連通する。
【００１５】図５に示す実施例の弁機構の作動を以下に
説明する。ガス供給ラインの、合致するコネクタ２２の
配管を入口側の弁アセンブリー１２のねじ溝２６に連結
すると、ガスケット３０がアクチュエーターロッド１３
を押し込む。アクチュエーターロッド１３の端部はねじ
溝を越えて横方向に伸延し、拡開端部３５を形成してい
る。ガスケットの、中実の周囲部分３２がこの拡開端部
都接触し、コネクタ２２を締め付けることにより、金属
製のダイヤフラム４の前負荷された偏位力に打ち勝つだ
けの十分な力が発生する。この力によってダイヤフラム
４は弁アセンブリーの内側で座部２８を離れ、弁が開放
される。図５には閉じた位置における弁アセンブリーが
示される。ガスケット３０は円盤形状を有し、アクチュ
エーターロッド１３の長孔１３Ｂと整列する円形孔３１
を有する。この円形孔３１の直径が拡開端部３５の直径
よりも小さいことから、ガスケット３０の中実の周囲部
分３２が拡開端部と接触し、合致するコネクタ２２を締
め付けるに際して拡開端部３５を押圧する。中実の周囲
部分３２が拡開端部３５を押圧するとダイヤフラム４が
偏位され、かくして弁は開放する。供給ガスは、アクチ
ュエーターロッド１３の円形孔３１及び長孔１３Ｂ通過
して弁の中心穿孔１４に入り、次いで、座部２８を越え
て環状スリット４２に入り、合致するコネクタ２２の半
径方向孔４４を流れる。
説明する。ガス供給ラインの、合致するコネクタ２２の
配管を入口側の弁アセンブリー１２のねじ溝２６に連結
すると、ガスケット３０がアクチュエーターロッド１３
を押し込む。アクチュエーターロッド１３の端部はねじ
溝を越えて横方向に伸延し、拡開端部３５を形成してい
る。ガスケットの、中実の周囲部分３２がこの拡開端部
都接触し、コネクタ２２を締め付けることにより、金属
製のダイヤフラム４の前負荷された偏位力に打ち勝つだ
けの十分な力が発生する。この力によってダイヤフラム
４は弁アセンブリーの内側で座部２８を離れ、弁が開放
される。図５には閉じた位置における弁アセンブリーが
示される。ガスケット３０は円盤形状を有し、アクチュ
エーターロッド１３の長孔１３Ｂと整列する円形孔３１
を有する。この円形孔３１の直径が拡開端部３５の直径
よりも小さいことから、ガスケット３０の中実の周囲部
分３２が拡開端部と接触し、合致するコネクタ２２を締
め付けるに際して拡開端部３５を押圧する。中実の周囲
部分３２が拡開端部３５を押圧するとダイヤフラム４が
偏位され、かくして弁は開放する。供給ガスは、アクチ
ュエーターロッド１３の円形孔３１及び長孔１３Ｂ通過
して弁の中心穿孔１４に入り、次いで、座部２８を越え
て環状スリット４２に入り、合致するコネクタ２２の半
径方向孔４４を流れる。
【００１６】以上本発明を具体例を参照して説明した
が、本発明の内で多くの変更を成し得ることを理解され
たい。例えば、周囲空気のような汚染環境からの隔離を
必要とする製品、即ち、ゲッタフィラー／清浄器、並び
にライン内ガスモニターといった付随的な製品をふくむ
ものであり得る。
が、本発明の内で多くの変更を成し得ることを理解され
たい。例えば、周囲空気のような汚染環境からの隔離を
必要とする製品、即ち、ゲッタフィラー／清浄器、並び
にライン内ガスモニターといった付随的な製品をふくむ
ものであり得る。
【００１７】
１．浄化するべきガス流れ中への汚染物の侵入を回避し
且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボリューム
が小さく、改良された表面仕上げを有する、改良型のガ
ス隔離及び収納装置が提供される。 ２．そうした改良型のガス隔離及び収納装置を、危険な
ガスに人体を晒すことなく交換することが可能であり、
しかも交換用の装置を、ガス反応性材料を周囲環境に露
呈させることなく組み込むことができるようになる。
且つ監視するための、構造が簡単で、デッドボリューム
が小さく、改良された表面仕上げを有する、改良型のガ
ス隔離及び収納装置が提供される。 ２．そうした改良型のガス隔離及び収納装置を、危険な
ガスに人体を晒すことなく交換することが可能であり、
しかも交換用の装置を、ガス反応性材料を周囲環境に露
呈させることなく組み込むことができるようになる。
【図１】図１は、一体化された、ばね作動式のポペット
弁を有する従来のガス清浄器のアセンブリーの断面図で
ある。
弁を有する従来のガス清浄器のアセンブリーの断面図で
ある。
【図２】図２は、本発明のガス清浄器の好ましい実施例
の分解断面図である。
の分解断面図である。
【図３】図３は、図２の実施例の、金属製の弁及びその
座部の詳細を示す断面図である。
座部の詳細を示す断面図である。
【図４】図４は、別態様での本発明の弁アセンブリーの
分解断面図である。
分解断面図である。
【図５】図５は、別態様での本発明の弁アセンブリーの
分解断面図である。
分解断面図である。
２ 膜フィルター ４ 金属製のダイヤフラム １０ ガス清浄器 １１ 清浄器胴部 １２ 弁アセンブリー １３ アクチュエーターロッド １３Ａ 内側穿孔 １３Ｂ 長孔 １４ 中心穿孔 １５ ダイヤフラムリテーナ １６ 弁胴部 １７ 弁マニホルド １８ フリット ２０ 無機性樹脂 ２２ コネクタ ２６ ねじ溝 ２８ 座部 ３０ ガスケット ３１ 円形孔 ３２ 中実の周囲部分 ３５ 拡開端部 ４０ 半径方向穴 ４２ 環状スリット ４４ 半径方向孔
Claims (13)
- 【請求項１】 ガス反応性の材料を隔離及び収納するた
めの装置であって、 ハウジングにして、該ハウジングをガス供給源に接続す
るようになっている入口側及び出口側の各フィッティン
グを有するハウジングと、 ハウジング内部に収納されたガス反応性材料と、 を含み、 入口側及び出口側の各フィッティングが、ハウジング内
部の、前負荷された金属製のダイヤフラムに結合された
アクチュエーターを各々含み、金属製のダイヤフラム
が、前記装置がガス供給源に接続されない時には金属製
の座部と係合するべく偏位されそれにより、ガス反応性
材料が周囲環境からシールされ、 前記アクチュエーターが、ハウジングとガス供給源との
間を流体連通させるためのガス通路を含み、ハウジング
から遠い側の端部の位置でフィッティングを越えて伸延
し、前記装置がガス供給源に接続された時には金属製の
ダイヤフラムの前負荷された偏位力に打ち勝つに十分な
力で偏位されそれにより、ガス供給源がガス反応性材料
に対して露呈される、 ガス反応性の材料を隔離及び収納するための装置。 - 【請求項２】 金属製の座部がハウジングにおいて位置
付けられる請求項１の装置。 - 【請求項３】 金属製の座部が金属製のダイヤフラム
の、ハウジングの内側の表面とは反対側の表面に置いて
位置付けられる請求項１の装置。 - 【請求項４】 ガス反応性材料が有機金属樹脂を含む請
求項１の装置。 - 【請求項５】 アクチュエーターが、金属製のダイヤフ
ラムと接触する金属製の管である請求項１の装置。 - 【請求項６】 アクチュエーターが、金属製のダイヤフ
ラムに溶接される請求項５の装置。 - 【請求項７】 金属製の管が、該金属製の管の長手方向
に沿って離間する複数の半径方向孔を有している請求項
５の装置。 - 【請求項８】 金属製の管の、ハウジングから遠い側の
端部が外側方向に拡開されている請求項５の装置。 - 【請求項９】 各フィッティングにはガスケットが挿入
され、該ガスケットが、金属製の管の、外側方向に拡開
された、ハウジングから遠い側の端部の円周方向部分と
接触しそれにより、装置をガス供給源内に組み込んだ場
合に、金属製のダイヤフラムを作動させるために必要な
力を最小化する請求項８の装置。 - 【請求項１０】 金属製のダイヤフラムが、降伏値の高
い、高引張強度の金属合金から作成される請求項２の装
置。 - 【請求項１１】 金属合金がコバルト、クロム、ニッケ
ルの混合物を含む請求項１０の装置。 - 【請求項１２】 ミクロン以下の粒子を除去するため
の、一体化されたフィルターがハウジング内部に配設さ
れる請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０
或は１１の何れかの装置。 - 【請求項１３】 アクチュエーターが中実の金属製ロッ
ドであり、アクチュエーターのガス通路が、アクチュエ
ーターにおける、入口側のフィッティングに隣り合う位
置の長穴であり、該長穴が、ハウジングの、アクチュエ
ーターを包囲する中心穿孔と連通する請求項１の装置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/711,525 US5738335A (en) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | Apparatus for isolating and containing reactive medium |
| US08/921,059 US5984267A (en) | 1996-09-10 | 1997-08-29 | Apparatus for isolating and containing reactive medium |
| US711525 | 1997-08-29 | ||
| US921059 | 1997-08-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1119438A true JPH1119438A (ja) | 1999-01-26 |
| JP3157490B2 JP3157490B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=27108653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25939197A Expired - Fee Related JP3157490B2 (ja) | 1996-09-10 | 1997-09-09 | 反応性媒体を隔離及び収納するための装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0831268A3 (ja) |
| JP (1) | JP3157490B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9809500D0 (en) * | 1998-05-06 | 1998-07-01 | Knight Lock Systems Ltd | Anti-theft systems |
| JP5980074B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-31 | 川崎重工業株式会社 | 鞍乗型車両のシート |
| JP2014108748A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 自動二輪車 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5139747A (en) * | 1991-01-14 | 1992-08-18 | Semi-Gas Systems, Inc. | Gas filter-purifier |
| FR2677425A1 (fr) * | 1991-06-07 | 1992-12-11 | Transfluid Sa | Membrane metallique pour vanne a membrane. |
| US5360413A (en) * | 1991-12-06 | 1994-11-01 | Filtertek, Inc. | Needleless access device |
| US5558688A (en) * | 1994-07-14 | 1996-09-24 | Semi-Gas Systems, Inc. | Block filter-purifier |
| DE4442352C1 (de) * | 1994-11-29 | 1995-12-21 | Braun Melsungen Ag | Ventilvorrichtung |
-
1997
- 1997-09-09 JP JP25939197A patent/JP3157490B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-09-09 EP EP97115631A patent/EP0831268A3/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0831268A2 (en) | 1998-03-25 |
| EP0831268A3 (en) | 1998-09-23 |
| JP3157490B2 (ja) | 2001-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010116 |
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