WO2021192643A1

WO2021192643A1 - 気化システム

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Publication number: WO2021192643A1
Application number: PCT/JP2021/003956
Authority: WO
Inventors: 田口　明広
Original assignee: 株式会社堀場エステック
Priority date: 2020-03-23
Filing date: 2021-02-03
Publication date: 2021-09-30
Also published as: KR20220156833A; EP4130333A4; CN115279941A; JPWO2021192643A1; TW202137299A; US20230134421A1; EP4130333A1

Abstract

液体材料を気化するものであって、前記液体材料が導入される導入ポートと、前記液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートとを有する気化装置と、前記導入ポート及び前記導出ポートの少なくとも一方をベースにネジ止めして固定する第１の固定ネジと、前記固定されたポートに連通し、前記気化ガス又は前記液体材料が流れる配管部材と、前記配管部材を、前記固定されたポートにシール部材を介してネジ止めして固定する第２の固定ネジと、を備える気化システム。

Description

気化システム

　本発明は、液体材料を気化する気化システムに関するものである。

　従来、例えば成膜プロセス等の半導体製造プロセスに用いられるガスを生成するものとして、液体材料を気化する気化システムが用いられている（例えば特許文献１）。一般的にこの気化システムは、液体原料を気化する気化部や、気化されたガスの流量を制御するマスフローコントローラなどの複数の機器を筐体内に備えている。この筐体には、液体材料が導入される導入ポートと、液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートが設けられており、この導入ポート及び導出ポートを半導体製造ラインの配管に連通して、半導体製造プロセスを行うプロセスチャンバに所定流量のガスを供給することができる。

　ところで、この気化システムはプロセス室内のベース部材等に固定して使用されることが多い。従来の気化システムの固定方法としては、図１０に示すように、ベース部材に形成されている内部流路に気化装置の導入ポート及び導出ポートをそれぞれ連通させ、これらをシール部材を介してネジ止めして固定することで、気化装置をベース部材に固定するようにしている。

特開２０１６－１２２８４１号公報

　しかしながら、前記した従来の気化装置の固定方法では、ベース部材への気化装置の固定とシール部材の締め付けとを共通の固定ネジにより行っているため、気化装置の重量がシール部材に掛かってしまう。これにより、シール部材の締め付け面圧に偏りが生じシール性を低下させてしまう恐れがある。

　そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、シール部材を締め付けるネジに掛かる気化装置の重量を低減させ、シール部材の締め付け面圧の偏りを低減させてシール性を向上させることをその主たる課題とするものである。

　すなわち本発明に係る気化システムは、液体材料を気化するものであって、前記液体材料が導入される導入ポートと、前記液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートとを有する気化装置と、前記導入ポート及び前記導出ポートの少なくとも一方をベースにネジ止めして固定する第１の固定ネジと、前記固定されたポートに連通し、前記気化ガス又は前記液体材料が流れる配管部材と、前記配管部材を、前記固定されたポートにシール部材を介してネジ止めして固定する第２の固定ネジと、を備えることを特徴とする。

　このようなものであれば、ポートとベースとの間を締結して気化装置をベースに固定するネジ（第１の固定ネジ）と、ポートと配管部材との間を締結してシールするためのネジ（第２の固定ネジ）とを別々に設けているので、気化装置の重量を主として第１の固定ネジによって支持させ、シールを形成するための第２の固定ネジに掛かる気化装置の重量を低減することができる。これにより、第２の固定ネジによってシール部材に掛かる締め付け面圧の偏りを低減させ、シール性を向上することができる。

　前記気化システムの具体的な構成としては、前記固定されたポートは、前記ベースに取り付けられる被取付け面と、前記配管部材が連通するように取り付けられる配管部材取付け面と、を有し、前記固定されたポートにおいて、前記被取付け面と前記配管部材取付け面とが互いに異なる面に形成されているものが挙げられる。

　前記気化システムは、前記固定されたポートにおいて、前記配管部材取付け面が、前記被取付け面とは反対側の面に形成されていることが好ましい。
　このようにすれば、ユーザはベースの取り付け面に向かい合うような姿勢で配管部材をポートにネジ止めすることができるので、気化装置への配管部材の取付けの作業性を向上させることができる。このような効果は、例えば気化システムが複数並べられている等、狭所での取付け作業時において、より顕著に奏される。

　前記気化システムは、前記導入ポート及び前記導出ポートが、前記第１の固定ネジにより前記ベースにそれぞれネジ止めされており、前記配管部材として、前記導入ポートに連通し、前記液体材料が流れる導入側配管部材と、前記導出ポートに連通し、前記気化ガスが流れる導出側配管部材と、を有し前記導入側配管部材及び前記導出側配管が、前記第２の固定ネジにより、それぞれの対応する前記ポートにシール部材を介してネジ止めされていることが好ましい。
　このようなものであれば、第１の固定ネジにより導入ポートと導出ポートの両方をベースにネジ止めするので、導入ポートと導出ポートのいずれにおいても、シールを形成するための第２の固定ネジに掛かる気化装置の重量を低減することができる。これにより、第２の固定ネジによってシール部材に掛かる締め付け面圧の偏りを一層低減させ、シール性を向上することができる。

　本発明の効果は、気化装置の重量のうち第１の固定ネジに掛かる成分が大きいほど顕著になる。
　このような本発明の効果をより顕著に奏する態様としては、例えば、前記導入ポートが前記気化装置の一端側に設けられ、前記導出ポートが前記気化装置の他端側に設けられており、前記気化装置が、前記導入ポート及び前記導出ポートが鉛直方向に対して上下に位置するように前記ベースに固定されるものが挙げられる。
　また本発明の効果をより一層顕著に奏する態様としては、導入ポート及び導出ポートの被取付け面が、鉛直方向に対して平行になるように形成されているものが挙げられる。

　前記気化システムは、前記配管部材が、外側配管と、前記外側配管と前記固定されたポートとを連通させる連通部材とを備え、
前記連通部材は、一端が前記固定されたポートにネジ止めされ、他端が前記外側配管にネジ止めされていることが好ましい。
　このようにすれば、配管部材が複数の部材から構成されているので、配管部材の設計の自由度を増すことができる。

　上述した本発明の効果は、気化装置の重量が大きいほど顕著になる。
　このような本発明の効果をより顕著に奏する態様としては、例えば、前記気化装置が、前記液体材料を気化する気化器と、前記気化器への前記液体材料の供給量を制御する供給量制御機器とを備えるものが挙げられる。
　また、本発明の効果をより顕著に奏する別の態様としては、例えば、前記気化装置が前記気化器により気化された気化ガスの流量を制御するマスフローコントローラを更に備えるものが挙げられる。

　また本発明の気化装置の固定方法は、液体材料を気化するものであって、前記液体材料が導入される導入ポートと、前記液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートとを有する気化装置をベースに固定する方法であって、前記導入ポート及び前記導出ポートの少なくとも一方をベースにネジ止めして固定し、前記固定されたポートに連通し、前記気化ガス又は前記液体材料が流れる配管部材を、前記固定されたポートにシール部材を介してネジ止めして固定することを特徴とする。
　このような気化装置の固定方法であれば、前記した本発明の気化システムと同様の作用効果を奏し得る。

　このように構成した本発明によれば、シール部材を締め付けるネジに掛かる気化装置の重量を低減させ、シール部材の締め付け面圧の偏りを低減させてシール性を向上させることができる。

本実施形態の気化システムの構成を示す模式図。同実施形態の気化システムの構成を装置取り付け面に向かって視た平面図。同実施形態の気化システムの分解図。他の実施形態の気化システムの構成を示す模式図。他の実施形態の気化システムの構成を示す模式図。他の実施形態の気化システムの構成を装置取り付け面に向かって視た平面図。他の実施形態の気化システムの構成を示す模式図。他の実施形態の気化システムの構成を装置取り付け面に向かって視た平面図。他の実施形態の気化システムの構成を示す模式図。従来の気化システムの構成を示す模式図。

１００・・・気化システム
１　　・・・気化装置
４１_ｉ、４１_о・・・第１の固定ネジ
４２_ｉ・・・導入側配管部材
４２_о・・・導出側配管部材
４３ｉ_、４３_о・・・第２の固定ネジ
Ｆ　　・・・ベース部材
Ｓ　　・・・シール部材
Ｐ_ｉ　　・・・導入ポート
Ｐ_Ｏ　　・・・導出ポート
Ｂ　　・・・本体ブロック

　以下に本発明に係る気化システムの一実施形態について図面を参照して説明する。

　本実施形態の気化システム１００は、例えば半導体製造ライン等に組み込まれて半導体製造プロセスを行うプロセスチャンバに所定流量のガスを供給するためのものである。具体的にこの気化システム１００は、液体材料を気化する気化装置１と、この気化装置１をベース部材Ｆに固定するとともに、これを半導体製造ラインに接続する接続機構４とを備えている。

　気化装置１は、図１に示すように、液体原料を気化する気化部２と、当該気化部２により気化されたガスの流量を制御するマスフローコントローラ３とを具備している。この気化装置１は、長手方向を有する概略柱形状（具体的には概略直方体形状）を成す筐体Ｃを備えており、この筐体Ｃ内に気化部２及びマスフローコントローラ３が収容されている。筐体Ｃの長手方向の一端側には液体材料を導入する導入ポートＰ_ｉが設けられ、長手方向の他端側には、気化ガスを導出する導出ポートＰ_оが設けられている。図２に示すように、本実施形態の気化システム１００は複数の気化装置１を備えており、この複数の気化装置１が、ベース部材Ｆが有する装置取付け面Ｆｘ上に起立するようにして並べて固定されている。

　前記気化部２は、液体材料をベーキング方式により気化する気化器２１と、当該気化器２１への液体材料の供給量を制御する供給流量制御機器２２と、前記気化器２１に供給される液体材料を所定の温度に予熱する予熱器２３とを備えている。

　これらの気化器２１、供給流量制御機器２２及び予熱器２３は、内部に流路が形成されたマニホールドブロックである本体ブロックＢの一面に設定された機器取付け面Ｂｘに取り付けられている。ここで本体ブロックＢは、例えばステンレス鋼等の金属製であり、長手方向を有する概略柱形状（具体的には概略直方体形状）をなすものであり、前記機器取付け面Ｂｘは、長手方向を有する矩形状をなす面である。なお本体ブロックＢは、その長手方向が筐体Ｃの長手方向を向くように筐体Ｃに取り付けられている。

　具体的に前記予熱器２３、前記供給流量制御機器２２及び前記気化器２１は、前記機器取付け面Ｂｘに長手方向に沿って一列に取り付けられている。また、前記予熱器２３、前記供給流量制御機器２２及び前記気化器２１は、上流側からこの順に、本体ブロックＢに形成された内部流路により直列的に接続される。本体ブロックＢの内部流路の上流側開口は、本体ブロックＢの長手方向一端面に設けられた液体材料導入ポートＰ_ｉに繋がっている。

　前記気化器２１は、内部に液体材料を貯留する空間を有する気化タンクである貯留容器と、当該貯留容器に設けられて液体材料を気化させるための気化ヒータ（図示しない）とを有する。

　供給流量制御機器２２は、前記気化器２１への液体材料の供給流量を制御する制御弁であり、具体的には電磁開閉弁である。そして、図示しない制御機器が、気化器２１の貯留容器に設けられた液面センサからの検知信号に基づいて、貯留容器に貯留される液体材料が常時所定量となるように電磁開閉弁２２を制御（例えばＯＮ／ＯＦＦ制御）する。これにより、液体材料が間欠的に気化器２１に供給されることになる。

　予熱器２３は、予熱ヒータ（図示しない）により、液体材料を気化直前の温度（沸点未満）まで加熱するように構成されている。

　以上のように構成した気化部２により、液体材料導入ポートＰ_ｉから導入された液体材料は、予熱器２３内の流路を流れることにより、所定温度まで予熱される。この予熱器２３により予熱された液体材料は、供給量制御機器である電磁開閉弁２２の制御により、気化器２１に間欠的に導入される。そして、気化器２１では液体材料が常時貯留された状態となり、電磁開閉弁２２の制御に影響を受けることなく、当該液体材料が気化した気化ガスが連続的に生成されて、マスフローコントローラ３に連続的に導出される。

　次に、マスフローコントローラ３について説明する。
　マスフローコントローラ３は、流路を流れる気化ガスを検知する流体検知機器３１と、流路を流れる気化ガスの流量を制御する流量制御弁３２とを備えている。流体検知機器３１は、流路に設けられた流体抵抗の上流側及び下流側の圧力をそれぞれ検出する例えば静電容量型の圧力センサである。また流量制御弁３２は、気化器２１により生成された気化ガスの流量を制御する制御弁であり、本実施形態では、ピエゾバルブである。

　これらの流体検知機器３１及び流量制御弁３２は、前記した機器取付け面Ｂｘに取り付けられている。具体的に前記流量制御弁３２及び前記流体検知機器３１は、機器取付け面Ｂｘにその長手方向に沿って一列に取り付けられている。また、前記流量制御弁３２及び前記流体検知機器３１は、上流側からこの順で、前記本体ブロックＢに形成された内部流路により直列的に接続される。

　なお、本実施形態では、マスフローコントローラ３の上流側に、上流側圧力センサ５及び開閉弁６が設けられている。さらに、本体ブロックＢの内部流路の下流側開口は、本体ブロックＢの長手方向他端面に設けられた気化ガス導出ポートＰ_оに繋がっている。

　接続機構４は、気化装置１を、その長手方向が上下方向（鉛直方向）を向き、導入ポートＰ_ｉと導出ポートＰ_оが上下に位置するように（ここでは、導入ポートＰ_ｉが下で、導出ポートＰ_оが上に位置するように）ベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘに固定する。ここでは、装置取付け面Ｆｘは、鉛直方向に対して平行になるようにベース部材Ｆに形成されている。

　具体的にこの接続機構４は、図３に示すように、導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏをベース部材Ｆにネジ止めして固定する第１の固定ネジ４１と、導入ポートＰ_ｉに連通し、液体材料が流れる内部流路が形成された導入側配管部材４２_ｉと、導出ポートＰ_ｏに連通し、気化ガスが流れる内部流路が形成された導出側配管部材４２_оと、導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оをそれぞれの対応するポートにシール部材Ｓを介してネジ止めして固定する第２の固定ネジ４３とを備える。

　前記導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏは、内部流路が形成されたブロック状のものであり、ベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘに取り付けられる被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘをそれぞれ備えている。導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏには、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘから反対側の面に向かって貫通する貫通孔Ｐ_ｉｈ、Ｐ_оｈが形成されている。第１の固定ネジ４１は、各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘとは反対側の面から貫通孔Ｐ_ｉｈ、Ｐ_оｈに挿通され、その先端がベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘに形成されたネジ穴と螺合することにより、各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘとベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘとの間を締め付ける。なおここでは、第１の固定ネジ４１がベース部材Ｆの取付け面Ｆｘと直交するように、貫通孔Ｐ_ｉｈ、Ｐ_оｈ及びネジ穴が形成されている。

　導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏにおいて、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘとは異なる面には、対応する配管部材が連通するように取付けられる配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙが形成されている。ここでは、各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙは、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘとは反対側の面に形成されている。導入ポートＰ_ｉの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙには液体材料が導入する導入口が形成されており、導出ポートＰ_ｏの配管部材取付け面Ｐ_оｙには気化ガスが導出される導出口が形成されている。

　導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оは、その内部流路がベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘに沿って上下方向に延びるように構成されている。各配管部材４２_ｉ、４２_оは、対応するポートの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙに取付けられる第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘを有している。第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘには内部流路の一端が開口しており、各配管部材４２_ｉ、４２_оが有する第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘを、対応するポートの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙに取り付けることにより、内部流路が導入口及び導出口にそれぞれ連通するように構成されている。

　導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оには、第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘから反対側の面に向かって貫通する貫通孔４２_ｉｈ、４２_оｈが形成されている。第２の固定ネジ４３は、各配管部材４２_ｉ、４２_оの第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘとは反対側の面から貫通孔４２_ｉｈ、４２_оｈに挿通され、その先端が、対応する各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙに形成されたネジ穴と螺合する。これにより、各配管部材４２_ｉ、４２_оの第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘと対応する各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙとの間を、シール部材Ｓを介して締め付けてシールする。なおここでは、第２の固定ネジ４３がベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘと直交するように、貫通孔４２_ｉｈ、４２_оｈ及びネジ穴が形成されている。

　本実施形態では、導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оは、いずれも複数の部材から構成されている。具体的には、図３に示すように、導入側配管部材４２_ｉは、液体材料が流れる液体供給ラインに連通する導入側外側配管４２１_ｉと、当該導入側外側配管４２１_ｉと導入ポートＰ_ｉとを連通させる導入側連通部材４２２_ｉとを備えている。そして導出側配管部材４２_оは、プロセスチャンバに連通する導出側外側配管４２１_оと、当該導出側外側配管４２１_оと導出ポートＰ_ｏとを連通させる導出側連通部材４２２_оとを備えている。

　各外側配管４２１_ｉ、４２１_оは、内部流路が形成された柱状のものであり、その内部流路が鉛直方向を向くようにベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘに取り付けられている。各外側配管４２１_ｉ、４２１_оにおいて、ベース部材Ｆに取付けられる被取付け面４２１_ｉｘ、４２１_оｘの反対側の面には、対応する連通部材が取付けられる連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙが形成されており、この連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙに内部流路の一端が開口している。

　各連通部材４２２_ｉ、４２２_оは、内部流路が形成されたブロック状のものであり、前記した第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘと、対応する外側配管の連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙに取り付けられる第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘとを有している。ここでは、第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘと第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘとは、各連通部材４２２_ｉ、４２２_оにおいて同一面内の異なる位置に形成されており、第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘには内部流路の一端が開口し、第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘには内部流路の他端が開口している。そして各連通部材４２２_ｉ、４２２_оの第１の被取付け面４２_ｉｘ、４２_оｘを、対応するポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙに取り付けることにより、連通部材の内部流路と各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏの導入口及び導出口とが連通し、第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘを、対応する外側配管４２１_ｉ、４２１_оの連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙに取り付けることにより、各連通部材４２２_ｉ、４２２_оに形成された内部流路と、対応する外側配管４２１_ｉ、４２１_оに形成された内部流路とが連通するように構成されている。

　ここで、接続機構４は、導入側連通部材４２２_ｉ及び導出側連通部材４２２_оを、それぞれの対応する外側配管４２１_ｉ、４２１_оにシール部材Ｓを介してネジ止めして固定する第３の固定ネジ４４を更に有している。

　導入側連通部材４２２_ｉ及び導出側連通部材４２２_оには、第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘから反対側の面に向かって貫通する貫通孔４２２_ｉｈ、４２２_оｈが形成されている。第３の固定ネジ４４は、各連通部材４２２_ｉ、４２２_оの第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘとは反対側の面から貫通孔４２２_ｉｈ、４２２_оｈに挿通され、その先端が、対応する各外側配管４２１_ｉ、４２１_оの連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙに形成されたネジ穴と螺合する。これにより、各連通部材４２２_ｉ、４２２_оの第２の被取付け面４２２_ｉｘ、４２２_оｘと、対応する各外側配管４２１_ｉ、４２１_оの連通部材取付け面４２１_ｉｙ、４２１_оｙとの間を、シール部材Ｓを介して締め付けてシールする。なお、第３の固定ネジ４４がベース部材Ｆの装置取付け面Ｆｘと直交するように、貫通孔４２２_ｉｈ、４２２_оｈ及びネジ穴が形成されている。

　このように構成した本実施形態の気化システム１００によれば、各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏとベース部材Ｆとの間を締結して気化装置１をベースに固定する第１の固定ネジ４１と、各ポートＰ_ｉ、Ｐ_ｏと対応する配管部材４２_ｉ、４２_оとの間を締結してシールするための第２の固定ネジ４３とを別々に設けているので、気化装置１の重量を主として第１の固定ネジ４１によって支持させ、シールを形成するための第２の固定ネジ４３に掛かる気化装置１の重量を低減することができる。これにより、第２の固定ネジ４３によってシール部材Ｓに掛かる締め付け面圧の偏りを低減させ、シール性を向上することができる。

　なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

　例えば前記実施形態の気化システム１００は、導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оは、いずれも複数の部材から構成されていたが、これに限らない。他の実施形態の気化システム１００は、図４に示すように、導入側配管部材４２_ｉ及び導出側配管部材４２_оはいずれも単一の部材から構成されていてもよい。

　また、前記実施形態の気化システム１００は、導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏにおいて、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘと反対側の面に配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙが形成されていたが、これに限らない。配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙは、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘと異なる位置に形成されていれば、いずれの位置であってもよい。

　例えば他の実施形態の気化システム１００は、導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏにおいて、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘに対して配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙが交差（直交等）するように形成されてもよい。具体的には、図５及び図６に示すように、配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙは、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘに対して交差し、且つ気化装置１の長手方向に対して交差するように形成されていてもよい。また図７及び図８に示すように、配管部材取付け面Ｐ_ｉｙ、Ｐ_оｙは、被取付け面Ｐ_ｉｘ、Ｐ_оｘに対して交差し、且つ気化装置１の長手方向に対して平行になるように形成されていてもよい。

　また前記実施形態の気化システム１００は、導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏのいずれもが、配管部材４２を介して半導体製造ラインに接続されていたが、これに限らない。他の実施形態の気化システム１００は、導入ポートＰ_ｉ及び導出ポートＰ_ｏの一方のみが、配管部材４２を介して半導体製造ラインに接続されていてもよい。例えば、図９に示すように、導入ポートＰ_ｉ（又は導出ポートＰ_о）は、固定ネジ７によりシール部材を介してベース部材Ｆにネジ止めして固定され、ベース部材Ｆ内に形成された内部流路に連通させるようにしてもよい。

　また、前記実施形態の気化システム１００は、マスフローコントローラ３を有さず、少なくとも気化器２１及び供給流量制御機器２２を有するものであってもよい。

　また前記実施形態では、気化装置１は、その長手方向が上下方向（鉛直方向）を向くように設置されたものであったが、前記長手方向が左右方向（水平方向）を向くようにベース部材Ｆに設置されたものであってもよい。また気化装置１は、導入ポートＰ_ｉが導出ポートＰ_ｏよりも上方に位置するようにベース部材Ｆに固定されてもよい。

　また、前記実施形態のマスフローコントローラ３は所謂圧力式のものであったが、これに限らず所謂熱式のものであってもよい。

　その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

　本発明によれば、シール部材を締め付けるネジに掛かる気化装置の重量を低減させ、シール部材の締め付け面圧の偏りを低減させてシール性を向上させることができる。

Claims

　液体材料を気化するものであって、前記液体材料が導入される導入ポートと、前記液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートとを有する気化装置と、
　前記導入ポート及び前記導出ポートの少なくとも一方をベースにネジ止めして固定する第１の固定ネジと、
　前記固定されたポートに連通し、前記気化ガス又は前記液体材料が流れる配管部材と、
　前記配管部材を、前記固定されたポートにシール部材を介してネジ止めして固定する第２の固定ネジと、を備える気化システム。
　前記固定されたポートは、
　前記ベースに取り付けられる被取付け面と、
　前記配管部材が連通するように取り付けられる配管部材取付け面と、
を有し、
　前記固定されたポートにおいて、前記被取付け面と前記配管部材取付け面とが互いに異なる面に形成されている請求項１に記載の気化システム。
　前記固定されたポートにおいて、前記配管部材取付け面が、前記被取付け面とは反対側の面に形成されている請求項２に記載の気化システム。
　前記導入ポート及び前記導出ポートが、前記第１の固定ネジにより前記ベースにそれぞれネジ止めされており、
　前記配管部材として、
　　前記導入ポートに連通し、前記液体材料が流れる導入側配管部材と、
　　前記導出ポートに連通し、前記気化ガスが流れる導出側配管部材と、
を有し
　前記導入側配管部材及び前記導出側配管が、前記第２の固定ネジにより、それぞれの対応する前記ポートにシール部材を介してネジ止めされている請求項１～３のいずれか一項に記載の気化システム。
　前記導入ポートは前記気化装置の一端側に設けられ、前記導出ポートは前記気化装置の他端側に設けられており、
　前記気化装置が、前記導入ポート及び前記導出ポートが鉛直方向に対して上下に位置するように前記ベースに固定されている請求項４に記載の気化システム。
　前記配管部材が、外側配管と、前記外側配管と前記固定されたポートとを連通させる連通部材とを備え、
　前記連通部材は、一端が前記固定されたポートにネジ止めされ、他端が前記外側配管にネジ止めされている請求項１～５のいずれか一項に記載の気化システム。
　前記気化装置が、
　前記液体材料を気化する気化器と、
　前記気化器への前記液体材料の供給量を制御する供給量制御機器と
を備える請求項１～６のいずれか一項に記載の気化システム。
　前記気化装置が、前記気化器により気化された気化ガスの流量を制御するマスフローコントローラを更に備える請求項７に記載の気化システム。
　液体材料を気化するものであって、前記液体材料が導入される導入ポートと、前記液体材料が気化した気化ガスを導出する導出ポートとを有する気化装置をベースに固定する方法であって、
　前記導入ポート及び前記導出ポートの少なくとも一方をベースにネジ止めして固定し、
　前記固定されたポートに連通し、前記気化ガス又は前記液体材料が流れる配管部材を、前記固定されたポートにシール部材を介してネジ止めして固定する、気化装置の固定方法。