JP2007162734A - 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007162734A JP2007162734A JP2005356183A JP2005356183A JP2007162734A JP 2007162734 A JP2007162734 A JP 2007162734A JP 2005356183 A JP2005356183 A JP 2005356183A JP 2005356183 A JP2005356183 A JP 2005356183A JP 2007162734 A JP2007162734 A JP 2007162734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- joint
- fluid
- fluid control
- control device
- fluid passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 121
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 59
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 15
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 8
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 6
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005242 forging Methods 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B33/00—Features common to bolt and nut
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B33/00—Features common to bolt and nut
- F16B33/06—Surface treatment of parts furnished with screw-thread, e.g. for preventing seizure or fretting
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】流体制御装置用直方体状継手(13)は、中央に凹溝(18)が設けられかつ凹溝(18)の両側に継手取付け用ボルト(19)の頭を継手(13)から突出しないように受ける段部(20a)付きボルト挿通孔(20)および装置構成部材取付け用おねじ部材(21)がねじ込まれるめねじ部(22)がそれぞれ設けられた凹字状接続部材(23)と、接続部材(23)の凹溝(18)に嵌め込まれかつU字状連通路(12)のみを有する扁平直方体状連通部材(24)とに全体が2分割せられ、連通部材(24)がステンレス鋼、接続部材(23)がポリアミド6よりなる。接続部材(23)の凹溝(18) の底面に位置決め用凸部(36)が設けられ、連通部材(24)の底面に位置決め用凹部(37)が設けられて両者が嵌合せられている。
【選択図】 図6
Description
状鋳塊を複数得る。各直方体状鋳塊をひっくり返し、扁平直方体部分にU字状連通路(55)を加工形成してステンレス鋼製連通部材(56)となすとともに、各円柱体部分にめねじ(53)を加工形成してステンレス鋼製円柱状めねじ部品(58)が埋入せられたアルミニウム製接続部材(54)となす。そして、接続部材(54)の中央両側に、一体となった接続部材(54)と連通部材(56)に跨って段部付きボルト挿通孔(57)を2つあけることにより第1直方体状継手(51)を得る。
(9) 装置構成部材の流体通路出口
(10) 装置構成部材の流体通路入口
(11) 基板
(12) (16) (55) 連通路
(13) (14) (15) (17) (51) 継手
(18) (52) 凹溝
(19) 継手取付け用ボルト
(20) (57) ボルト挿通孔
(20a) ボルト挿通孔の段部
(21) 装置構成部材取付け用おねじ部材
(22) (53) 目ねじ部
(23) (54) 接続部材
(24) (56) 連通部材
(27) (58) めねじ部品
(34) (36) 位置決め用凸部
(35) (37) 位置決め用凹部
(E)流体制御装置
(W)垂直壁面
Claims (8)
- 一列に並べられた複数の装置構成部材の装置設置側に配置され、隣り合う装置構成部材の一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、他機器の流体通路出口若しくは流体源から配管された外部導入管と流体制御装置の一端の装置構成部材の流体通路入口とを連通させるか、または制御流体必要機器へ配管された外部排出管と流体制御装置の他端の装置構成部材の流体通路出口とを連通させる流体制御装置用継手において、中央に凹溝が設けられかつ装置構成部材取付け用おねじ部材によって装置構成部材が固定される接続部材と、凹溝内に存在しかつ連通路が形成された連通部材より構成され、連通部材が耐食性のある素材よりなり、接続部材が連通部材より比重が軽い素材よりなる流体制御装置用継手。
- 接続部材には、装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部品が埋入せられており、めねじ部品の素材および連通部材の素材が、ステンレス鋼またはステンレス合金であり、接続部材の素材が、アルミニウムであって、全体が溶湯鍛造法により鋳造せられている請求項1記載の流体制御装置用継手。
- さらに、接続部材の両側に、接続部材と連通部材に跨って段部付きボルト挿通孔があけられている請求項2記載の流体制御装置用継手。
- 垂直壁面に配置せられる流体制御装置において、基板と、ともに基板側に向いた流体通路入口および流体通路出口が並んでいる流体通路を有しかつ一列に並べられた所要数の装置構成部材との間に介在せられ、内部に形成せられた連通路により、各隣り合う2つの装置構成部材の一方の装置構成部材の流体通路出口と他方の装置構成部材の流体通路入口とを接続するか、他機器の流体通路出口若しくは流体源から配管された外部導入管と流体制御装置の一端の装置構成部材の流体通路入口とを接続するか、または制御流体必要機器へ配管された外部排出管と流体制御装置の他端の装置構成部材の流体通路出口とを接続する直方体状継手であって、中央に凹溝が設けられかつ凹溝の両側に継手取付け用ボルトの頭を継手から突出しないように受ける段部付きボルト挿通孔および装置構成部材取付け用おねじ部材がねじ込まれるめねじ部がそれぞれ設けられた凹字状接続部材と、接続部材の凹溝に嵌め込まれかつ連通路のみを有する扁平直方体状連通部材とに全体が2分割せられ、接続部材がステンレス鋼またはステンレス合金よりなるのに対し、連通部材が接続部材より比重が軽い素材よりなり、嵌め合わされた接続部材と連通部材の対向する3組の対向面のうち少なくとも1組の対向面のいずれか一方の面に位置決め用凹部が、他方の面に位置決め用凸部がそれぞれ設けられて嵌合せられている流体制御装置用継手。
- 位置決め用凸部が、接続部材の凹溝の両側面それぞれに、ボルト挿通孔の段部の一部を含むように凸円弧状に設けられたものであり、位置決め用凹部が、連通部材の両側面それぞれに凹円弧状に設けられたものである請求項4記載の流体制御装置用継手。
- めねじ部が、接続部材に埋入せられたステンレス鋼またはステンレス合金よりなるめねじ部品により形成せられている請求項4または5記載の流体制御装置用継手。
- 接続部材より比重が軽い連通部材の素材が、合成樹脂またはアルミニウムである請求項4ないし6項のいずれか一項に記載の流体制御装置用継手。
- 請求項1ないし7項のいずれか一項に記載の流体通路連通用継手が用いられている流体制御装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005356183A JP4780558B2 (ja) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 |
US11/606,974 US7841628B2 (en) | 2005-12-09 | 2006-12-01 | Joint for use in fluid control apparatus |
KR1020060122087A KR101428806B1 (ko) | 2005-12-09 | 2006-12-05 | 유체 제어 장치용 커플링 및 이를 이용한 유체 제어 장치 |
TW95145994A TWI422768B (zh) | 2005-12-09 | 2006-12-08 | 液體控制用接頭及使用其之流體控制裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005356183A JP4780558B2 (ja) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011072530A Division JP5277278B2 (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 流体制御装置用継手 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007162734A true JP2007162734A (ja) | 2007-06-28 |
JP2007162734A5 JP2007162734A5 (ja) | 2010-07-01 |
JP4780558B2 JP4780558B2 (ja) | 2011-09-28 |
Family
ID=38138553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005356183A Active JP4780558B2 (ja) | 2005-12-09 | 2005-12-09 | 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7841628B2 (ja) |
JP (1) | JP4780558B2 (ja) |
KR (1) | KR101428806B1 (ja) |
TW (1) | TWI422768B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076809A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | ガス供給装置、半導体製造装置及びガス供給装置用部品 |
KR101422916B1 (ko) * | 2011-08-10 | 2014-07-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 |
WO2021192643A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社堀場エステック | 気化システム |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4780555B2 (ja) * | 2005-09-12 | 2011-09-28 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
FR2960160B1 (fr) * | 2010-05-19 | 2012-08-17 | Millipore Corp | Bloc de liaison fluidique pour dispositif de filtration a jeu d'au moins une cassette filtrante |
FR2960162B1 (fr) | 2010-05-19 | 2012-08-17 | Millipore Corp | Dispositif de filtration a jeu d'au moins une cassette filtrante |
KR101599344B1 (ko) * | 2011-09-30 | 2016-03-03 | 가부시키가이샤 후지킨 | 가스 공급 장치 |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
CN103240557A (zh) * | 2013-05-13 | 2013-08-14 | 成都海凌达机械有限公司 | 用于对装载机大梁装配时的定位装置 |
JP6147113B2 (ja) * | 2013-06-27 | 2017-06-14 | 株式会社フジキン | 流体制御装置用継手および流体制御装置 |
US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
EP3392418B1 (de) * | 2017-04-19 | 2020-04-29 | Geberit International AG | Befestigungssystem |
TWI829260B (zh) * | 2021-07-28 | 2024-01-11 | 美商艾克爾系統公司 | 模組化配件組件以及包含該組件的系統 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0726040Y2 (ja) * | 1992-03-30 | 1995-06-14 | 桐生機械株式会社 | 加圧鋳造装置 |
JPH10300000A (ja) * | 1997-02-28 | 1998-11-13 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
JPH10311450A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | 流体制御器用継手 |
JP2000314500A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
JP2001140509A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-05-22 | Sekisui Chem Co Ltd | 把手の取付構造 |
JP2001153290A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Air Water Inc | 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック |
JP2001280595A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Air Water Inc | 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック |
JP2002048299A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
JP2002506181A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-26 | スウエイジロク・カンパニー | モジュール式表面取付型マニホルド |
WO2004048784A2 (en) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Swagelok Company | Modular surface mount fluid system |
WO2004087560A2 (en) * | 2003-03-26 | 2004-10-14 | Kevin S Bennett | A fluid delivery system |
JP2005240989A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Ckd Corp | 流路ブロック |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2257846B1 (ja) * | 1973-07-03 | 1976-05-28 | Legris France Sa | |
US4082324A (en) * | 1976-10-04 | 1978-04-04 | Obrecht Robert E | Connection arrangement for manifold blocks |
FR2470887A1 (fr) * | 1979-11-30 | 1981-06-12 | Telemecanique Electrique | Dispositif d'association pour des appareils pneumatiques |
US5383689A (en) * | 1993-07-09 | 1995-01-24 | Wilkerson Corporation | Separable connector for pressure fluid components |
DE69518894T2 (de) * | 1994-11-23 | 2001-04-26 | Automotive Fluid Systems Inc | Verbindungsblock mit Einlagen |
KR100209379B1 (ko) * | 1995-11-29 | 1999-07-15 | 전주범 | 모터로터의 쇼트 서큐이트 제조방법 |
US6394138B1 (en) * | 1996-10-30 | 2002-05-28 | Unit Instruments, Inc. | Manifold system of removable components for distribution of fluids |
JP4022696B2 (ja) * | 1996-11-20 | 2007-12-19 | 忠弘 大見 | 遮断開放器 |
JP3774800B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2006-05-17 | 株式会社フジキン | 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置 |
JP2000145979A (ja) * | 1998-11-16 | 2000-05-26 | Fujikin Inc | 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置 |
JP2003322127A (ja) | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Fujikin Inc | 流体継手 |
US7334605B2 (en) * | 2002-08-27 | 2008-02-26 | Celerity, Inc. | Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane |
JP4431940B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2010-03-17 | 旭有機材工業株式会社 | 配管部材の接続構造 |
US7178556B2 (en) * | 2003-08-07 | 2007-02-20 | Parker-Hannifin Corporation | Modular component connector substrate assembly system |
US7048008B2 (en) * | 2004-04-13 | 2006-05-23 | Ultra Clean Holdings, Inc. | Gas-panel assembly |
US7458397B2 (en) * | 2004-07-09 | 2008-12-02 | Michael Doyle | Modular fluid distribution system |
US7146999B2 (en) * | 2005-03-08 | 2006-12-12 | Gregory C. Giese | Modular fluid handling device |
-
2005
- 2005-12-09 JP JP2005356183A patent/JP4780558B2/ja active Active
-
2006
- 2006-12-01 US US11/606,974 patent/US7841628B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-05 KR KR1020060122087A patent/KR101428806B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-08 TW TW95145994A patent/TWI422768B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0726040Y2 (ja) * | 1992-03-30 | 1995-06-14 | 桐生機械株式会社 | 加圧鋳造装置 |
JPH10300000A (ja) * | 1997-02-28 | 1998-11-13 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
JPH10311450A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | 流体制御器用継手 |
JP2002506181A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-26 | スウエイジロク・カンパニー | モジュール式表面取付型マニホルド |
JP2000314500A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
JP2001140509A (ja) * | 1999-11-17 | 2001-05-22 | Sekisui Chem Co Ltd | 把手の取付構造 |
JP2001153290A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Air Water Inc | 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック |
JP2001280595A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Air Water Inc | 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック |
JP2002048299A (ja) * | 2000-08-01 | 2002-02-15 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
WO2004048784A2 (en) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Swagelok Company | Modular surface mount fluid system |
JP2006507463A (ja) * | 2002-11-26 | 2006-03-02 | スワゲロック カンパニー | モジュール式表面設置流体システム |
WO2004087560A2 (en) * | 2003-03-26 | 2004-10-14 | Kevin S Bennett | A fluid delivery system |
JP2006521522A (ja) * | 2003-03-26 | 2006-09-21 | ケヴィン エス ベネット | 流体送出装置 |
JP2005240989A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Ckd Corp | 流路ブロック |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076809A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | ガス供給装置、半導体製造装置及びガス供給装置用部品 |
KR101422916B1 (ko) * | 2011-08-10 | 2014-07-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 |
US9212755B2 (en) | 2011-08-10 | 2015-12-15 | Fujikin Incorporated | Fluid control device |
WO2021192643A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 株式会社堀場エステック | 気化システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070132231A1 (en) | 2007-06-14 |
KR20070061373A (ko) | 2007-06-13 |
TW200730757A (en) | 2007-08-16 |
US7841628B2 (en) | 2010-11-30 |
TWI422768B (zh) | 2014-01-11 |
JP4780558B2 (ja) | 2011-09-28 |
KR101428806B1 (ko) | 2014-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4780558B2 (ja) | 流体制御装置用継手およびそれを用いた流体制御装置 | |
US6116282A (en) | Fluid control device | |
JP5277278B2 (ja) | 流体制御装置用継手 | |
TWI388753B (zh) | 流體控制裝置 | |
JP4244254B2 (ja) | 集積化ガス制御装置 | |
US8042573B2 (en) | Fluid control device | |
US20020017329A1 (en) | Integrated gas control device | |
KR101230747B1 (ko) | 유체 제어 장치 및 그 조립 방법 | |
EP0877170A1 (en) | Couplings for fluid controllers | |
US10895329B2 (en) | Fluid control system, base block used for same, and method for manufacturing fluid control system | |
JP2002517698A (ja) | モジュラー化学送達ブロック | |
JP4832428B2 (ja) | 流体制御装置 | |
JP2007198788A (ja) | 圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器 | |
JP3871438B2 (ja) | プロセスガス供給ユニット | |
JP2008298177A (ja) | 流体制御装置 | |
JPH10169881A (ja) | 集積化ガスパネル及びその組立方法 | |
JP6175300B2 (ja) | 流体制御装置用継手部材および流体制御装置 | |
JP2006242222A (ja) | 集積化ガス制御装置と集積化ガス制御方法 | |
JP4528592B2 (ja) | ガス供給集積ユニット | |
JP2009236174A (ja) | 流体制御装置 | |
KR200286782Y1 (ko) | 보일러용 온수 분배기 | |
JP2009257554A (ja) | 電磁弁用マニホールド | |
US20030136452A1 (en) | Manifold regulator apparatus | |
JP2003166509A (ja) | 上段部材取付けの基準となる孔を有する複数の下段部材の固定方法および固定用治具 | |
KR20080027285A (ko) | 통로 블록의 결합 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110329 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110531 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110627 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4780558 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |