JP2002048299A

JP2002048299A - 集積化ガス制御装置

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Publication number: JP2002048299A
Application number: JP2000233756A
Authority: JP
Inventors: Yoshitomo Fukushima; 良知福島
Original assignee: Benkan Corp
Current assignee: Benkan Corp
Priority date: 2000-08-01
Filing date: 2000-08-01
Publication date: 2002-02-15
Anticipated expiration: 2020-08-01
Also published as: KR100718936B1; US20020017329A1; US6546961B2; JP4156184B2; KR20020011331A

Abstract

(57)【要約】【課題】装置全体のコンパクト化、製作リードタイム
の短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡易化等を図る
ことができ、また、確実なシール状態を得て信頼性を向
上させることができ、更には使用するガス制御機器に型
式の差異による制約を受けないようにして利便性を向上
させることができる。【解決手段】基台１０の凹所３６に複数の中間流路ブ
ロック１１と終端流路ブロック１２を配置する。基台１
０の両側突出部３５に取付け装置１３、１４を取付け
る。取付け装置１３、１４により複数種のガス制御機器
２〜９における第1のガス流路１７、３１、第２のガス
流路１８、３２を流路ブロック１１、１２のガス流路４
０、４７にメタルガスケットを介して連通させた位置決
め状態で、ガス制御機器２〜９を流路ブロック１１、１
２側へ加圧してガス制御機器２〜９を流路ブロック１
１、１２に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶等の
製造装置において、高純度のガスの供給制御、パージガ
スによる浄化等の所望の用途でパネル状に集積化して使
用される集積化ガス制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体製造装置における集積化ガ
ス制御装置としては、大別して３つの方式が知られてい
る。第１の方式にあっては、複数種のガス制御機器を継
手、配管により連結してガス制御ラインを構成する。そ
して、この多数組を並列に配置してパネル状に集積化し
ている。

【０００３】第２の方式にあっては、例えば、特開２０
００−１４６０７１号公報に記載されているように、複
数の流路ブロックをベースプレート上に固定し、前記流
路ブロック上にシール材を介してガス制御機器を載せて
前記流路ブロックのガス流路と前記ガス制御機器の流路
とを連通させ、前記ガス制御機器のフランジ、若しくは
突出ブロックを前記流路ブロックにねじにより取外し可
能に取付けてガス制御ラインを構成する。そして、この
多数組を並列に配置してパネル状に集積化している。

【０００４】第３の方式にあっては、本出願人が先に特
願平１１−１２４３７７号として提案したように、複数
組のガス制御機器取付けブロックと流路ブロックとを組
合せてベースプレート上に取付け、前記ガス制御機器取
付けブロックの円筒状部に前記ガス制御機器の円柱状の
ボディを挿入してこのボディと前記流路ブロックとの間
にシール材を介在させるとともに、前記ボディのガス流
路を前記流路ブロックのガス流路に連通させ、前記ガス
制御機器のボディの外周に設けたユニオンナットを前記
ガス制御機器取付けブロックの円筒状部に形成されてい
るねじ部に螺着してガス制御ラインを構成する。そし
て、この多数組を並列に配置してパネル状に集積化して
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来例のうち、第１の方式のように複数種のガス制御機器
を配管、継手を用いて連結すると、ガス制御ラインが長
くなり、半導体製造装置に占めるガス制御装置の内容積
が増大する。また、ガス制御ラインは、一般的に各々異
なる流路構成となるが、ガス制御機器の着脱が困難であ
るため、設計、製作、組立のためのトータル製作リード
タイムが長くなり、新設時の初期立上がり時間が長くな
り、製作にも手数を要し、高価となる。その上、ガス制
御機器の交換が困難であるため、流路変更の必要が生じ
た場合、これに対応することができない。また、性能面
では、溶接ヒューム、パーティクルが発生し、溶接部の
脆性劣化が生じて配管の寿命が短くなり、コスト面で
は、製品歩留りが悪く、メンテナンス費が高価となる。
更に、ガス制御装置のコンパクト化を図ることができな
いため、パネル状に構成するに当たり、表、裏の多面配
置や多層配置を必要とするケースが多い。

【０００６】第２の方式によれば、ベースプレート上に
並べた流路ブロックにガス制御機器を取付けるので、装
置全体のコンパクト化を図って半導体製造装置に占める
内容積を減少させることができ、しかも、溶接ヒューム
等の発生の解消による装置の長寿命化等を図ることがで
きる。また、ガス制御機器を流路ブロックに対して容易
に着脱することができるので、ガス制御機器を容易に交
換することができ、したがって、トータル製作リードタ
イムの短縮化、製作の簡易化による低コスト化、メンテ
ナンスの簡易化によるメンテナンス費の低減等を図るこ
とができる。しかしながら、ガス制御機器のフランジ、
若しくは突出ブロックを複数箇所でねじにより取付ける
に際し、ガス制御機器と流路ブロックとの間にはＯリン
グ等の弾性シール材が介在されており、しかも、ガス制
御機器の姿勢を一定に保つ機能も備えていないため、片
締めが発生しやすく、信頼性に劣る。

【０００７】第３の方式によれば、ガス制御機器を流路
ブロックと組合わせたガス制御機器取付けブロックに取
付けるようにしているので、前記のような第２の方式に
よる利点を有する。更には、ガス制御機器のボディの外
周に設けたユニオンナットをガス制御機器取付けブロッ
クの円筒状部に螺着することにより、ガス制御機器を流
路ブロックに接続するので、ガス制御機器の全体を偶力
を発生させずにバランス良く締め付けることができ、緊
密なシールを確保することができ、したがって、信頼性
を向上させることができる。しかしながら、ガス制御機
器のボディの形状が円柱状に特定されてしまうため、第
２の方式で用いたフランジ、若しくは突出ブロックを備
えたガス制御機器に交換使用することができず、利用者
の利便性を図ることができない。

【０００８】本発明の目的は、前記のような従来の問題
を解決するものであり、流路ブロックを用いた前記従来
例が有する装置全体のコンパクト化、製作リードタイム
の短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡易化等の各利
点を得ることができることは勿論のこと、ガス制御機器
の全体を片締を抑制しながらバランス良く締め付けるこ
とができて流路ブロックとの緊密なシール確保すること
ができ、したがって、信頼性を向上させることができ、
また、フランジ部、若しくは突出ブロックを一体的に備
えたねじ止めタイプのガス制御機器に交換使用すること
ができるようにして交換使用するガス制御機器の型式の
制約を抑制することができ、したがって、利用者の利便
性を向上させることができるようにした集積化ガス制御
装置を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の集積化ガス制御装置は、底面側に開放した第
１のガス流路および第２のガス流路を有する複数種のガ
ス制御機器と、両側に突出部を有し、これら突出部間に
溝状の凹所を有する基台と、前記基台の凹所における中
間部に配置され、両側部を頂部側へ開放したガス流路を
有する中間流路ブロックと、前記基台の凹所における両
側端部に配置され、一側部を前記の隣り合う中間流路ブ
ロック側寄り位置で頂部側へ開放したガス流路を有する
終端流路ブロックと、前記基台の両側突出部に取外し可
能に取付けられ、前記各ガス制御機器の第１のガス流路
および第２のガス流路における開放部を前記の隣り合う
流路ブロックのガス流路における隣り合う開放部に連通
し得る位置決め状態で、前記各ガス制御機器を前記流路
ブロック側へ移動し得るように支持し得る支持手段およ
び前記各支持手段により位置決め状態に支持された前記
各ガス制御機器を前記流路ブロック側に加圧して接続す
るための接続手段から成るガス制御機器取付け手段と、
前記各ガス制御機器の各ガス流路と前記各流路ブロック
のガス流路とを連通させた状態で両者間をシールするシ
ール手段とを備えたものである。

【００１０】前記ガス制御機器が、前記第１のガス流路
および第２のガス流路を底面側に開放した円柱状のボデ
ィを有し、前記ガス制御機器取付け手段における支持手
段が、前記ガス制御機器のボディを挿入することができ
る円筒状部、この円筒状部の下部外周に一体的に設けら
れ、基台の両側突出部上に重ねられるフランジ部を有す
る支持台を備え、前記ガス制御機器取付け手段における
接続手段が、前記支持台の円筒状部における上部周囲に
形成されたねじ部と、前記ガス制御機器のボディの外周
に設けられ、前記ボディを前記支持台の円筒状部に挿入
した状態で、前記ねじ部に螺着して前記ボディを前記流
路ブロック側へ加圧する筒状接続部材とを備えることが
でき、この場合、前記ガス制御機器取付け手段における
支持台と前記中間流路ブロックおよび終端流路ブロック
とを互いに形成された凹凸状の位置決め用係合部により
位置決めし、また、前記ガス制御機器取付け手段におけ
る支持手段のフランジ部を前記基台の両側突出部に頂面
側から底面側へ向かって形成されたねじ穴にねじにより
取付けるようにするのが好ましい。

【００１１】または前記ガス制御機器が、底部の両側中
央部に第１のガス流路および第２のガス流路を底面側に
開放した突出ブロックを有し、前記ガス制御機器取付け
手段における支持手段が、前記突出ブロックを支持する
ように前記基台の両側突出部の４箇所に立設された支柱
を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段
が、前記突出ブロックの両側に配置された前記支柱に跨
って連係され、中央部に貫通するねじ穴を有するクラン
プ用ブロックと、前記クランプ用ブロックのねじ穴に螺
合され、前記突出ブロックを前記流路ブロック側へ加圧
するボルトとを備えることができ、この場合、前記ガス
制御機器取付け手段における支柱を前記基台の両側突出
部に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴に螺
入するのが好ましい。

【００１２】前記シール手段が、前記各ガス制御機器に
おける第１のガス流路および第２のガス流路の底面開放
側の周縁部に形成されたシーリング用環状突出部と、前
記中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの頂面開放
側の周縁部に形成されたシーリング用環状突出部と、前
記各ガス制御機器における第１のガス流路および第２の
ガス流路と前記流路ブロックのガス流路とを連通させる
穴を有し、前記ガス制御機器と前記流路ブロックとの間
に前記各シーリング用環状突出部の食い込み状態で介在
されるメタルガスケットとを備えることができる。この
メタルガスケットはガス制御機器側に保持手段により保
持させておくのが好ましい。

【００１３】前記中間流路ブロックおよび終端流路ブロ
ックが、前記ガス制御機器取付け手段により前記ガス制
御機器を接続する際に前記シール手段を介して前記基台
に対して取外し可能に押圧固定されるように構成するこ
とができる。

【００１４】前記ガス制御機器が一つの構成単位として
組立てられた状態で前記ガス制御機器取付け手段により
前記流路ブロックに取外し可能に接続するように構成す
ることができる。

【００１５】前記の円柱状ボディを有するガス制御機器
として、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニッ
ト、レギュレータ、圧力トランスデューサ、自動ダイヤ
フラム弁、パージ弁から選択使用することができ、前記
突出ブロックを有するガス制御機器としてマスフローコ
ントローラを用いることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。図１ないし図１２はそ
れぞれ本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置を
示し、図１は一列のガス制御ラインの全体平面図、図２
は一列のガス制御ラインの全体正面図、図３、図４、図
５は図２における左側部、中間部、右側部の拡大縦断面
図、図６、図７は一部分解斜視図、図８はガス制御機器
を取付ける前の状態の平面図、図９（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）はそれぞれ一方のタイプの中間流路ブロックを示
す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１０（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ他方のタイプの中間流路ブロ
ックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１１
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ終端流路ブロックを
示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図１２（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ支持台を示す平面図、一部破
断側側面図、中央部縦断面図である。

【００１７】集積化ガス制御装置は、図１および図２に
示すようなガス制御ライン１が複数列（図示例では一列
のみ示している）に並設される。各ガス制御ライン１
は、縦型に構成された所望のガス制御機器が組み合わさ
れて構成される。本実施形態におけるガス制御ライン１
は、その一例として、ガス流路を開閉するトグル型手動
ダイヤフラム弁２、ガス中に含まれる不純物を除去する
フィルタユニット３、ガスの圧力を調整するレギュレー
タ４、流れるガスの圧力を検出する圧力トランスデュー
サ５、流路を開閉する自動ダイヤフラム弁６、パージガ
スの供給に用いるパージ弁７、ガスの流量を制御するマ
スフローコントローラ８、ガス流路を開閉する自動ダイ
ヤフラム弁９が組み合わされ、基台１０に設けられた中
間流路ブロック１１、終端流路ブロック１２に取付け装
置１３、１４により接続された状態で取外し可能に取付
けられる。

【００１８】トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタ
ユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ
５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７、マスフローコ
ントローラ８および自動ダイヤフラム弁９は、それぞれ
備えている機能においては公知であるので、その詳細に
ついては説明を省略するが、図３ないし図５から明らか
なように、それぞれ機能部分が内蔵され、一つの構成単
位として組立てられた状態で一体的に取付け装置１３、
１４により中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１
２に接続され、若しくは交換のために一つの構成単位と
して組立てられた状態で一体的に中間流路ブロック１
１、終端流路ブロック１２から外されるように構成され
ている。

【００１９】トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタ
ユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ
５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイ
ヤフラム弁９は、ボディ１５を有している（なお、トグ
ル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタユニット３、レギ
ュレータ４、圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラ
ム弁６、パージ弁７および自動ダイヤフラム弁９の機能
等により各ボディ１５はその長さ、形状等を異にし、そ
の他についてもその長さ、方向等を異にするが、ここで
は説明の便宜上、以下においても同一機能部分について
は同一符号を付して説明する。）。

【００２０】各ボディ１５は、ほぼ同径の円柱状部１６
を有し、円柱状部１６より底部側には円柱状部１６の外
径より小さい長方形状部１７を有し、長方形状部１７は
トグル型手動ダイヤフラム弁６等の配列方向に沿う両側
が長辺となり、トグル型手動ダイヤフラム弁６等の配列
方向と直角方向の両側が短辺となり、底面が平坦面を有
するように形成されている。各ボディ１５内には第１の
ガス流路１８と第２のガス流路１９とが形成され、各ガ
ス流路１８、１９の一方は機能部分側へ開放され、他方
は底面側に開放され、底面側の開放部は軸心からほぼ等
距離位置でほぼ同径となるように設定されている。ボデ
ィ１５の底面には各ガス流路１８、１９の開放部周縁に
おいてシーリング用環状突出部２０、２１が形成され、
各環状突出部２０、２１は先端部が断面において尖るよ
うに形成されている。トグル型手動ダイヤフラム弁２、
圧力トランスデューサ５、自動ダイヤフラム弁６、パー
ジ弁７、自動ダイヤフラム弁９の各ボディ１５の上部外
周にはフランジ部２２が一体的に設けられ、各フランジ
部２２にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め
用係合部２３，２４が切欠かれている。フィルタユニッ
ト３、レギュレータ４の各ボディ１５の中間部における
段部２５にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決
め用係合部２３、２４が切欠かれている。

【００２１】マスフローコントローラ８は、底部側の両
側に突出ブロック２６、２７を有し、各突出ブロック２
６、２７は基部側の幅が広く、その先方の幅が狭く、そ
の両側面が係合部２８となっている（図７参照）。各突
出ブロック２６、２７の幅狭部における底部側には円形
状の溝２９により円形状部３０が形成され、この円形状
部３０の底面が平坦面を有するように形成されている。
マスフローコントローラ８の突出ブロック２６、２７に
は第１のガス流路３１と第２のガス流路３２とが形成さ
れ、各ガス流路３１、３２の一方は機能部分側へ開放さ
れ、他方は突出ブロック２６、２７の円形状部３０の軸
心に沿うようにしてその底部平坦面側に開放されてい
る。突出ブロック２６、２７の底面には各ガス流路３
１、３２の開放部周縁においてシーリング用環状突出部
３３、３４が形成され、各環状突出部は先端側が断面に
おいて湾曲するように形成されている。

【００２２】図１ないし図８に示すように、基台１０は
アルミニウム等から成り、長辺方向に沿う両側に突出部
３５を有し、両側の突出部３５間に長辺方向に沿う溝状
の凹所３６を有している。両側突出部３５の頂面は平面
状に形成され、凹所３６は垂直壁と平面状の底面とによ
り横断面において矩形状に形成されている。

【００２３】トグル型手動ダイヤフラム弁２とフィルタ
ユニット３との間、フィルタユニット３とレギュレータ
４との間、レギュレータ４と圧力トランスデューサ５と
の間、圧力トランスデューサ５と自動ダイヤフラム弁６
との間、自動ダイヤフラム弁６とパージ弁７との間にそ
れぞれ跨って使用される中間流路ブロック１１はステン
レス鋼等により同様に構成される。特に、図９（ａ）〜
（ｃ）から明らかなように、基台１０の凹所３６の幅に
適合する幅を有し、全体として直方体状に形成され、頂
面側において、中央部に位置決め用係合部３７が突出さ
れ、位置決め用係合部３７の両側にそれより少し低い位
置決め用係合部３８が突出され、位置決め用係合部３８
の外側の端部側にはそれより低い平坦状の接続部３９が
形成されている。接続部３９の位置決め用係合部３８側
は中間流路ブロック１１の中央部側へ突出する円弧状に
形成されている。各中間流路ブロック１１にはガス流路
４０が形成されている。各ガス流路４０はその中間部分
が中間流路ブロック１１の軸心に沿うように水平方向に
形成され、この水平部の両端部で頂面側へ直角方向に屈
曲されて接続部３９に開放されている（なお、各ガス流
路４０は前記のようにＵ字状に形成するほか、Ｖ字状に
形成することもできる。）。各接続部３９にはガス流路
４０の開放部周縁においてシーリング用環状突出部４１
が突設され、このシーリング用環状突出部４１は先端部
が断面において尖るように形成され、位置決め用係合部
３８より低くなるように設定されている。各中間流路ブ
ロック１１が基台１０の凹所３６に挿入された状態で、
位置決め用係合部３７、３８が基台１０の突出部３５よ
り高く突出されるように設定されている（図３ないし図
５参照）。

【００２４】パージ弁７とマスフローコントローラ８と
の間、マスフローコントローラ８と自動ダイヤクラム弁
９との間にそれぞれ跨って使用される中間流路ブロック
１１は、特に、図１０（ａ）〜（ｃ）から明らかなよう
に、位置決め用係合部３７の一側に位置決め用係合部３
８が突設され、他側にマスフローコントローラ８の突出
ブロック２６、２７における幅狭部の底面を載せる載置
面４２が位置決め用係合部３８より少し低く、しかも、
シーリング用環状突出部４１より僅かに高く形成され、
平坦状の接続部３９が円形状に形成され、環状突出部４
１の先端側が断面において湾曲するように形成された点
を除き、図９に示す前記中間流路ブロック１１とほぼ同
様の構成である。そして、この各中間流路ブロック１１
は、基台１０の凹所３６に挿入された状態で位置決め用
係合部３７、３８が基台１０の突出部３５より高く突出
され、載置面４２が突出部３５とほぼ同じ高さになるよ
うに設定されている（図４、図５参照）。

【００２５】各終端流路ブロック１２はステンレス鋼等
により同様に構成される。特に、図１１（ａ）〜（ｃ）
から明らかなように、基台１０の凹所３６の幅に適合す
る幅を有し、中央部から一側部に亘って直方体状に形成
され、他側部が円柱状に形成されている。直方体状部の
頂面側において、円柱状部側の端部に位置決め用係合部
４３が突設され、位置決め用係合部４３の一側端部側に
はそれより順次低くなる位置決め用係合部４４、平坦状
の接続部４５が形成されている。接続部４５の位置決め
用係合部４４側は終端流路ブロック１２の中央部側へ突
出する円弧状に形成されている。円柱状部の中間部外周
にはねじ４６が形成されている。各終端流路ブロック１
２にはガス流路４７が形成されている。各ガス流路４７
は円柱状部の端面側から終端流路ブロック１２の軸心に
沿うように水平方向に形成され、この水平部の端部で頂
面側へ直角方向に屈曲されて接続部４５に開放されてい
る。各接続部４５にはガス流路４７の開放部周縁におい
てシーリング用環状突出部４８が突設され、このシーリ
ング用環状突出部４８はその先端側が断面において尖る
ように形成され、位置決め用係合部４４より低くなるよ
うに設定されている。各円柱状部の端面にもガス流路４
７の開放部周縁においてシーリング用環状突出部４９が
突設されている。

【００２６】中間流路ブロック１１と終端流路ブロック
１２とは位置決め用係合部３７と４３、位置決め用係合
部３８と４４、接続部３９と４５、シーリング用環状突
出部４１と４８がそれぞれほぼ同一高さとなるように設
定されている。

【００２７】図１ないし図８に示すように、基台１０の
凹所３６にはその両端部において終端流路ブロック１２
の直方体状部が取外し可能に挿入され、各終端流路ブロ
ック１２のねじ部４６が基台１０の外方に突出され、凹
所３６にはその中間部において中間流路ブロック１１が
取外し可能に挿入されている。トグル型手動ダイヤフラ
ム弁２とフィルタユニット３との間、フィルタユニット
３とレギュレータ４との間、レギュレータ４と圧力トラ
ンスデューサ５との間、圧力トランスデューサ５と自動
ダイヤフラム弁６との間、自動ダイヤフラム弁６とパー
ジ弁７との間にそれぞれ跨る中間流路ブロック１１とし
ては、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、両側に位置決
め用係合部３８を有するタイプのものが用いられて一方
の終端流路ブロック１２に隣接するように配置されてい
る。パージ弁７とマスフローコントローラ８との間、マ
スフローコントローラ８と自動ダイヤフラム弁９との間
にそれぞれ跨る一対の中間流路ブロック１１としては、
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、一側に位置決め用
係合部３８を有し、他側に載置面４２を有するタイプの
ものが用いられ、互いに間隔を存して前記最終段の中間
流路ブロック１１と他方の終端流路ブロック１２に隣接
するように配置されている。

【００２８】トグル型手動ダイヤフラム弁２、フィルタ
ユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ
５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動ダイ
ヤフラム弁９の取付け装置１３は、支持台５０、筒状接
続部材であるユニオンナット５１等から構成され、これ
ら支持台５０、ユニオンナット５１はトグル型手動ダイ
ヤフラム弁２等の形状等により高さ、外径等を異にする
が、基本的構造については同様であるので、便宜上、同
じ機能を有する部分については同じ符号を付し、異なる
部分についてのみ異なる符号を付して説明する。

【００２９】支持台５０は、ステンレス鋼等から成り、
特に、図１２（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、円筒
状部５２の下端部外周に角形状のフランジ部５３が一体
的に設けられている。円筒状部５２の外周には雄ねじ５
４が形成され、フランジ部５２の四隅部には座ぐりを有
するねじ取付け穴５５が形成されている。各ねじ取付け
穴５５は前記基台１０の両側突出部３５にトグル型手動
ダイヤフラム弁２等の各取付け位置に対応して各４箇所
に頂面側から底面側へ向かって形成されたねじ穴５６に
対応するように設定されている。円筒状部５２はトグル
型手動ダイヤフラム弁２等のボディ１５を挿入し、かつ
ボディ１５の円柱状部１６を密に嵌合し得るように設定
され、円筒状部５２の頂面にはほぼ１８０度位相をずら
した位置で位置決め用係合部５７、５８が一体的に突出
されている。

【００３０】円筒状部５２にボディ１５が挿入された状
態で、円筒状部５２の位置決め用係合部５７，５８にボ
ディ１５側の位置決め用係合部２３、２４が係合され、
円筒状部５２にボディ１５が位置決め状態で軸方向にの
み移動し得るように支持されるようになっている（図３
ないし図５参照）。このとき、例えば、対応する位置決
め用係合部５７および位置決め用係合部２３の幅と、位
置決め用係合部５８および位置決め用係合部２４の幅と
を変えるなどにより、ボディ１５を円筒状部５２に挿入
する際、ボディ１５の円筒状部５２に対する挿入方向、
すなわち、第１のガス流路１８と第２のガス流路１９の
位置が正しくなるように規制することができる。

【００３１】支持台５０の底面側には位置決め用係合部
５９が凹入され、この位置決め用係合部５９は中間流路
ブロック１１の位置決め用係合部３８、終端流路ブロッ
ク１２の位置決め用係合部４４に係合し得るような幅、
深さに設定されている。そして、支持台５０の位置決め
用係合部５９が終端流路ブロック１２の位置決め用係合
部４４と終端流路ブロック１２に隣接する中間流路ブロ
ック１１の位置決め用係合部３８に跨って係合され、隣
接する中間流路ブロック１１同士の位置決め用係合部３
８に跨って係合される。

【００３２】前記係合状態で、フランジ部５３のねじ取
付け穴５５が基台１０のねじ穴５６に対応し得るように
位置決めされ、また、フランジ部５３の側面が隣接する
終端流路ブロック１２の位置決め用係合部４３と中間流
路ブロック１１の位置決め用係合部３７の側面、隣接す
る中間流路ブロック１１同士の位置決め用係合部３７の
側面に係合され、支持台５０と中間流路ブロック１１と
がトグル型手動ダイヤフラム弁２等の配列方向において
位置決めされるようになっている。なお、終端流路ブロ
ック１２を基台１０に図示していない係合穴と係合ピン
との係合など、所望の位置決め手段により位置決めする
ことにより、全体を外れないように位置決めすることが
できる（図１ないし図５、図８参照）。

【００３３】前記のような位置決め状態において、図１
ないし図８、特に、図８から明らかなように、終端流路
ブロック１２の接続部４５と中間流路ブロック１１にお
ける終端流路ブロック１２との隣接側の接続部３９およ
び隣接する中間流路ブロック１１の隣接側の接続部３９
同士が支持台５０内に位置するようにし、基台１０の凹
部３６内における頂部開放側で円弧状部を両側に有する
ほぼ長円形状に凹入されている。そして、この凹入部、
すなわち、平坦部が支持台５０に支持されるボディ１５
における底部平坦面に対応し得るようになっている。ま
た、終端流路ブロック１２のガス流路４７における頂面
側開放部およびシーリング用環状突出部４８および隣接
する中間流路ブロック１１のガス流路４０における終端
流路ブロック１２隣接側の頂面側開放部と、隣接する中
間流路ブロック１１のガス流路４０における隣接側の頂
面開放部およびシーリング用環状突出部４１とがそれぞ
れ支持台５０に支持されるボディ１５の第１のガス流路
１８、第２のガス流路１９における底面側開放部および
シーリング用環状突出部２０、２１と対応し得るように
なっている。

【００３４】したがって、前記のような位置決め状態
で、ねじ６０が支持台５０のフランジ部５３のねじ取付
け穴５５から基台１０のねじ穴５６に螺入されて支持台
５０のフランジ部５３が基台１０に取外し可能で固定状
態に取付けられることにより、終端流路ブロック１２、
中間流路ブロック１１は位置決め状態で、しかも、抜止
め状態に保持されている。

【００３５】特に、図３ないし図５から明らかなよう
に、トグル型手動ダイヤフラム弁２、圧力トランスデュ
ーサ５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７および自動
ダイヤフラム弁９のボディ１５の外周部には組立時にボ
ディ１５の上方からステンレス鋼等から成るユニオンナ
ット５１が軸回りで回転可能に、かつフランジ部の内面
がボディ１５フランジ部２２の頂面に係合されるように
嵌合されている。フィルタユニット３、レギュレータ４
にあっては、その組立時にボディの上方からユニオンナ
ット５１を嵌合することができない。そこで、ユニオン
ナット５１がボディ１５に底部側から嵌合された後、底
部側からステンレス鋼等から成る係合用ナット６１が嵌
合され、位置決め用係合部２３、２４の上方における大
径のねじ部６２に螺着されてユニオンナット５１のフラ
ンジ部の内面が係合用ナット６１の頂面に係合されてい
る。

【００３６】各ボディ１５の底部外周部にはステンレス
鋼等から成る枠状の保持部材６３が取外し可能に取付け
られ、保持部材６３によりボディ１５の底面側にステン
レス鋼等から成るメタルガスケット６４が保持されてい
る。メタルガスケット６４の底面は保持部材６３から突
出され、この突出部の外周形状は、前記のように流路ブ
ロック１１、１２の接続部４４および３８、接続部３８
および３８と基台１０の凹所３６における垂直壁との組
合わせで形成される長円形状の凹入部（図８参照）に対
応する長円形状にされている。メタルガスケット６４の
両側部には穴６５、６６が形成され、これらの６５、６
６は第１のガス流路１８、第２のガス流路１９に連通さ
れている。

【００３７】各支持台５０の円筒状部５２には前記のよ
うにトグル型手動ダイヤフラム弁２等のボディ１５がメ
タルガスケット６４等と共に挿入されて位置決め状態に
支持され、メタルガスケット６４の底部側が前記のよう
に流路ブロック１１、１２の接続部４４および３８、接
続部３８および３８における長円形状の凹入部に挿入さ
れる。トグル型手動ダイヤフラム弁２、自動ダイヤフラ
ム弁９にあっては、それらのボディ１５における第１の
ガス流路１８と第２のガス流路１９の開放部がメタルガ
スケット６４の穴６５と６６により隣接する終端流路ブ
ロック１２のガス流路４７の開放部と中間流路ブロック
１１のガス流路４０の開放部に連通されている。フィル
タユニット３、レギュレータ４、圧力トランスデューサ
５、自動ダイヤフラム弁６、パージ弁７にあっては、そ
れらのボディ１５における第１のガス流路１８と第２の
ガス流路１９の開放部がメタルガスケット６４の穴６５
と６６により隣接する中間流路ブロック１１のガス流路
４０の開放部に連通されている。

【００３８】そして、トグル型手動ダイヤフラム弁２等
の各ボディ１５に嵌合されているユニオンナット５１が
支持台５０の円筒状部５２における外周の雄ねじ部５４
に螺着され、各ボディ１５、メタルガスケット６４等が
流路ブロック１１、１２側へ加圧されることにより、メ
タルガスケット６４がボディ１５の底部平坦面と流路ブ
ロック１１、１２の接続部４４、３９である平坦面との
間でメタルガスケット６４の穴６５、６６の周縁部にシ
ーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１が食い込
んだ確実なシール状態で介在され、トグル型手動ダイヤ
フラム弁２等が流路ブロック１１、１２に接続された状
態に保持される。前記のようにシーリング用環状突出部
２０、２１、４８、４１の先端側が尖るように形成する
ことにより、これらを比較的小さい加圧力でメタルガス
ケット６４に食い込ませることができる。このとき、メ
タルガスケット６４がボディ１５の底面平坦面と流路ブ
ロック１１、１２の平坦面に当接することにより、メタ
ルガスケット６４に対するシーリング用環状突出部２
０、２１、４８、４１の食い込みを規制することができ
るが、シーリング用環状突出部２０、２１、４８、４１
の先端側を断面において湾曲させることにより、メタル
ガスケット６４に対する食い込みを規制する必要がない
ので、平坦面をメタルガスケット６４に当接させないよ
うにすることもできる。

【００３９】トグル型手動ダイヤフラム弁２等の流路ブ
ロック１１、１２に対する接続に際し、前記のようにト
グル型手動ダイヤフラム弁２等はそのボディ１５が支持
台５０に流路ブロック１１、１２に対して位置決めさ
れ、流路ブロック１１、１２側へ移動可能に支持された
状態でユニオンナット５１により加圧される。したがっ
て、トグル型手動ダイヤフラム弁２等の流路ブロック１
１、１２に対する接続時にトグル型手動ダイヤフラム弁
２等が前記位置決め状態から傾くおそれがないので、片
締めのおそれがなく、緊密なシールを確保することがで
きる。特に、前記のようにボディ１５の外周に設けたユ
ニオンナット５１を支持台５０に螺着することにより、
トグル型手動ダイヤフラム弁２等を流路ブロック１１、
１２に接続するので、トグル型手動ダイヤフラム弁２等
の全体を簡単な操作で偶力を発生させずにバランス良く
締め付けることができる。

【００４０】マスフローコントローラ８の取付け装置１
４は、特に、図５、図７から明らかなように、支柱６
７、クランプ用ブロック６８、ボルト６９等から構成さ
れる。支柱６７はステンレス鋼等から成り、底部側外周
にねじ７０を有し、頂部側に頂部７１、中間部７２より
小径となる支持部７３が形成されている。前記基台１０
の両側突出部３５にはパージ弁７と自動ダイヤフラム弁
９との間でマスフローコントローラ８の取付け位置に対
応して頂面側から底面側へ向かって計４箇所にねじ穴７
４が形成され、各ねじ穴７４に支柱６７のねじ７０が螺
着されている。クランプ用ブロック６８はステンレス鋼
等から成り、両側に支柱６７の支持部７３に軸方向に沿
って移動し得る係合溝７５が形成され、クランプ用ブロ
ック６８の頂面側で係合溝７５の側方開放側における端
部にはクランプ用ブロック６８の上昇時に支柱６７の頂
部７１に係合し得る係合用突部７６が一体的に設けられ
ている。クランプ用ブロック６８の中央部には頂面から
底面に貫通するねじ穴７７が形成され、このねじ穴７７
にボルト６９が挿通状態で螺合されるようになってい
る。

【００４１】マスフローコントローラ８の突出ブロック
２６、２７における底部の円形状部外周部には溝２９内
でステンレス鋼等から成る枠状の保持部材７８が取外し
可能に取付けられ、保持部材７８により突出ブロック２
６、２７の底部側にステンレス鋼等から成るメタルガス
ケット７９が保持されている。メタルガスケット７９の
底面は保持部材７８から突出され、この突出部の外周形
状は前記のように中間流路ブロック１１における円形で
平坦状の接続部３９に対応する円形状に形成されてい
る。メタルガスケット７９の中央部には穴８０が形成さ
れ、この穴８０が第１のガス流路３１、若しくは第２の
ガス流路３２に連通されている。

【００４２】そして、各支柱６７の中間部７２にはマス
フローコントローラ８の突出ブロック２６、２７におけ
る基部両側部の係合部２８が係合されて位置決め状態で
上下動が許されるように支持され、メタルガスケット７
９の底部側が前記のように中間流路ブロック１１におけ
る円形状の接続部３９に挿入される。これに伴い、突出
ブロック２６、２７の平坦面が中間流路ブロック１１に
おける平坦状の接続部３９に対応され、突出ブロック２
６、２７における第１のガス流路３１と第２のガス流路
３２の開放部およびシーリング用環状突出部３３、３４
がメタルガスケット７９を介して中間流路ブロック１１
のガス流路４０の開放部およびシーリング用環状突出部
４１に対応されている。

【００４３】基台１０の凹所３６を挟んで対峙する両側
の支柱６７における支持部７３にクランプ用ブロック６
８における係合溝７５が上下動可能に係合されている。
各クランプ用ブロック６８のねじ穴７７にボルト６９が
挿通状態で螺合され、各ボルト６９の先端の曲面状突出
部８１が突出ブロック２６、２７の頂面中央部に形成さ
れた曲面状凹入部８２に係合される。そして、ボルト６
９が回転されることにより、まず、両側の支柱６７によ
り回転規制されているクランプ用ブロック６８が上昇
し、支柱６７の頂部７１の底面に当接されて上昇規制さ
れ、この状態で係合用突部７６が頂部７１に係合され、
クランプ用ブロック６８はその係合溝７５の奥側と係合
用突部７６とで頂部７１を挟むことになり、支柱６７か
らの離脱が防止される。続いて、ボルト６９が回転され
てクランプ用ブロック６８のねじ穴７７からの下方への
突出長さが長くなることにより、ボルト６９の曲面状突
出部８１により突出ブロック２６、２７の曲面状凹入部
８２が加圧され、メタルガスケット７９の穴８０の周縁
部にシーリング用環状突出部３３、３４、４１が食い込
むとともに、突出ブロック２６、２７の幅狭の突出部が
中間流路ブロック１１の載置面４２に載置された安定状
態で、かつ確実なシール状態でマスフローコントローラ
３８が中間流路ブロック１１に接続された状態に保持さ
れる。勿論、このマスフローコントローラ８の接続に際
し、シーリング用環状突出部３３、３４、４１の先端側
を断面において尖らせておくこともでき、この場合に
は、メタルガスケット７９に対するシーリング用環状突
出部３３、３４、４１の食い込みを規制するためにメタ
ルガスケット７９を突出ブロック２６、２７の平坦面と
中間流路ブロック１１の接続部３９である平坦面との間
に当接状態に介在させるようにすればよい。

【００４４】マスフローコントローラ８の中間流路ブロ
ック１１に対する接続に際し、前記のようにマスフロー
コントローラ８はその突出ブロック２６、２７がその係
合部２８と支柱６７により流路ブロック１１に対して位
置決めされ、流路ブロック１１側へ移動可能に支持され
た状態でボルト６９により加圧される。したがって、マ
スフローコントローラ８が前記位置決め状態から支柱６
７により狭まれた方向においては傾くおそれがなく、支
柱６７により狭まれていない方向のみの片締めに注意す
ればよいので、片締めのおそれが少なく、緊密なシール
状態を確保することができる。

【００４５】このようにしてトグル型手動ダイヤフラム
弁２等の所望のガス制御機器が流路ブロック１１、１２
により接続されることにより、図１、図２に示すよう
に、ガス制御ライン１が構成され、所望本数のガス制御
ライン１が並列されることにより、パネル状の集積化ガ
ス制御装置が構成される。このような集積化ガス制御装
置において、一方の終端に位置する終端流路ブロック１
２がねじ部３６によりガス供給源側に接続され、他方の
終端に位置する終端流路ブロック１２がねじ部３６によ
り所望のガス供給先側に接続される。そして、前記のよ
うにパネル状に構成された集積化ガス制御装置に用いる
ことにより、多数のガス制御ライン１において、トグル
型手動ダイヤフラム弁２等のガス制御機器を作動させる
ことにより、窒素ガス、水素ガス、モノシラン、シジラ
ン、水素希釈ホスフィン、Ｎ２Ｏ、三弗化クロライド等
の高純度ガスの圧力制御、流量制御、混合、パージガス
等の供給時の制御を確実に安定して行うことができる。

【００４６】前記のように構成された集積化ガス制御装
置において、支持台５０を用いて取付けているトグル型
手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を交
換するには、そのユニオンナット５１を緩めることによ
り、トグル型手動ダイヤフラム弁２等をメタルガスケッ
ト６４と共に支持台５０から外す。そして、新しいガス
制御機器をメタルガスケット６４と共に、前記と同様に
して、支持台５０に取付けて流路ブロック１１、１２と
接続状態に保持することができる。マスフローコントロ
ーラ８を交換するには、まず、ボルト６９を緩め、突出
ブロック２６、２７の押圧状態を解放するとともに、ク
ランプ用ブロック６８を支柱６７の支持部７３内で下降
させて係合用突部７６を支柱６７の頂部７１から離脱さ
せる。続いて、クランプ用ブロック６８を支柱６７から
外し、マスフローコントローラ８をメタルガスケット７
９と共に支柱６７に沿って上方へ外す。そして、新しい
マスフローコントローラ８をメタルガスケット７９と共
に、前記と同様にして、支柱６７にクランプ用ブロック
６８、ボルト６９等により取付けて流路ブロック１１と
接続状態に保持することができる。

【００４７】このようなトグル型手動ダイヤフラム弁２
等の各ガス制御機器の交換に際し、各ガス制御機器は、
前記のように一つの構成単位として組立てられた状態を
維持して一体的に取り外し、取付けることができるの
で、その作業性を向上させることができるとともに、利
用者の利便性を向上させることができる。

【００４８】支持台５０を用いて取付けているトグル型
手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を支
持台５０と共に交換するには、支持台５０のねじ６０を
外すことにより、トグル型手動ダイヤフラム弁２等をメ
タルガスケット６４、支持台５０と共に外す。そして、
新しいガス制御機器をメタルガスケット６４、支持台５
０と共に交換する。その際、前記と同様に、まず、支持
台５０を基台１０にねじ６０により取付け、その後、ガ
ス制御機器をメタルガスケット６４と共にユニオンナッ
ト５１により支持台５０に取付けて流路ブロック１１、
１２と接続状態に保持することができる。この場合、支
持台５０のねじ６０による取付け位置を標準化しておく
ことにより、別の機能を有するガス制御機器を交換使用
することができる。

【００４９】支持台５０を用いて取付けているトグル型
手動ダイヤフラム弁２等のいずれかのガス制御機器を支
持台５０、流路ブロック１１、１２と共に交換するに
は、支持台５０のねじ６０を外すことにより、トグル型
手動ダイヤフラム弁２等をメタルガスケット６４、支持
台５０と共に外す。終端流路ブロック１２については端
部に位置するトグル型手動ダイヤフラム弁２、自動ダイ
ヤフラム弁９を支持台５０と共に外すことにより、その
まま基台１０から外して交換することができる。しかし
ながら、中間流路ブロック１１については、隣接するガ
ス制御機器によりメタルガスケット６４、７９を介して
加圧されているため、この隣接するガス制御機器を支持
台５０に対して緩め、若しくは外すことにより、その下
側の中間流路ブロック１１の加圧状態を解除することが
できるので、その中間流路ブロック１１を全体を分解す
ることなく、基台１０から外して交換することができ
る。

【００５０】また、基台１０におけるねじ穴５６の配置
について標準化しておくことにより、前記トグル型手動
ダイヤフラム弁２等の所望のガス制御機器、若しくはす
べてのガス制御機器を必要に応じて前記従来のようにフ
ランジを一体的に有するガス制御機器に交換することも
可能である。また、マスフローコントローラ８について
も基台１０におけるねじ穴７４の配置について標準化し
ておくことにより、前記従来例のように突出ブロックに
ガス流路の両側に位置してねじ取付け穴を有するタイプ
のマスフローコントローラに交換することも可能であ
る。なお、これらの交換に際しては、本実施形態のよう
に支持台５０や支柱６７によりガス制御機器を位置決め
して支持した状態で取付けることができないため、片締
めの問題を生じ、流路ブロック１１、１２との確実な接
続状態を得ることができないおそれがあることについて
は、前記のように従来技術の問題として記載していると
おりである。

【００５１】前記実施形態に係る集積化ガス制御装置に
よれば、ガス制御ライン１を分解せずに、ユニオンナッ
ト５１やボルト６９を螺着したり、外したり、更には支
持台５０をねじ６０で取付けたり、外したりすることに
より、所望のガス制御機器を簡単に着脱できるので、メ
ンテナンスが簡単で、その費用も安価となる。また、ガ
ス制御ライン１は、標準化された支持台５０、流路ブロ
ック１１、１２を用いることにより、高自由度な流路構
成を得ることができるとともに、設計、製作、組立に要
するトータル製作リードタイムを短縮することができ、
したがって、半導体製造装置等を新設する際の初期立上
り時間を短縮することができ、その上、流路構成の短縮
化、直線化を図ることができ、しかも、置換性、応答性
等の性能も向上する。

【００５２】また、両側を頂面側に開放した中間流路ブ
ロック１１を用いるので、流路ブロック同士を接続する
必要がなく、ガス制御ライン１の長さを短縮化すること
ができる。また、ガス制御機器をユニオンナット５１、
ボルト６９により加圧することにより、中間流路ブロッ
ク１１、終端流路ブロック１２を基台１０に固定するこ
とができ、中間流路ブロック１１、終端流路ブロック１
２自体を基台１０に固定しなくてもよいので、組立作業
を容易に、かつ迅速に行うことができることは勿論のこ
と、加工箇所、部品点数を削減することができ、しか
も、ガス制御機器のボディ１５、中間流路ブロック１
１、終端流路ブロック１２、支持台５０等を標準化する
ことができるので、更に一層、製作リードタイムの短縮
化とコスト低減を実現することができる。

【００５３】また、支持台５０を用いて取付けるトグル
型手動ダイヤフラム弁２等の各ガス制御機器にあって
は、そのボディ１５を支持台５０の円筒状部５２に挿入
し、ボディ１５の外周に嵌合したナットを円筒状部５２
の内周に形成した雌ねじに螺合することもできるが、前
記本実施形態のように、各ガス制御機器のボディ１５を
支持台５０の円筒状部５２に挿入し、ボディ１５の外周
に嵌合したユニオンナット５１を円筒状部５２の外周に
形成した雄ねじ５４に螺合することにより、ユニオンナ
ット５１を雄ねじ５４に対して着脱する際に両ねじ部か
ら発生するパーティクル等が円筒状部５２内に侵入する
のを防止することができる。

【００５４】更に、中間流路ブロック１１、終端流路ブ
ロック１２についてはガス中に不純物が混入しないよう
にするために、前記のようにステンレス鋼を用いるのが
好ましいが、基台１０についてはガスと接触しないの
で、前記のようにアルミニウム等の軽量な材料を用いる
ことができ、全体の軽量化を図ることができる。

【００５５】なお、支持台５０はねじ６０により基台１
０に取外し可能に取付けることに限定されるものではな
く、例えば、クランプ装置のような他の取付け手段によ
り基台１０に取外し可能に取付けるようにしてもよい。
また、トグル型手動ダイヤフラム弁２等を位置決め状態
で支持する手段も前記実施形態における支持台５０の構
成に限定されるものではなく、前記支持手段にトグル型
手動ダイヤフラム弁２等を取付けて流路ブロック１１、
１２と接続した状態に保持する手段もユニオンナット５
１に限定されるものではなく、トグル型手動ダイヤフラ
ム弁２等を支持手段により位置決め状態に支持している
ので、いかなる接続手段を用いても片締めを生じるおそ
れはない。また、マスフローコントローラ８を位置決め
状態で支持する手段も支柱６７に限定されるものではな
く、任意の手段を採用することができ、マスフローコン
トローラ８を流路ブロック１１と接続した状態に保持す
る手段もクランプ用ブロック６８、ボルト６９等に限定
されるものではなく、マスフローコントローラ８を支持
手段により位置決め状態に支持しているので、いかなる
接続手段を用いても片締めを抑制することができる。こ
のほか、本発明は、その基本的技術思想を逸脱しない範
囲で種々設計変更することができる。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、中
間流路ブロック、終端流路ブロックにより複数のガス制
御機器を接続するので、装置全体のコンパクト化、製作
リードタイムの短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡
易化等を図ることができる。また、基台の凹所に中間流
路ブロックと終端流路ブロックを挿入し、基台の両側突
出部に複数箇所で取外し可能に取付けた支持手段にガス
制御機器を位置決めして支持した状態で接続手段により
流路ブロックにシール手段を介して接続状態に保持する
ことができるので、ガス制御機器を簡単な操作で片締め
を抑制しながら、そのガス流路を流路ブロックのガス流
路と連通した確実なシ−ル状態で接続することができ、
したがって、信頼性を向上させることができる。また、
基台の両側突出部にねじ穴を形成しておくことにより、
従来のトグル型手動ダイヤフラム弁等のようにボディの
下端部外周にフランジ部を一体的に有し、フランジ部の
隅部にねじ取付け穴を有するタイプの各ガス制御機器や
従来のマスフローコントローラのように両側の突出ブロ
ックにガス流路の両側に位置してねじ取付け穴を有する
ガス制御機器に交換使用することができるようにし、使
用するガス制御機器に型式の差異による制約を受けない
ようにすることでき、したがって、利用者の利便性を向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置
における一列のガス制御ラインを示す全体の平面図であ
る。

【図２】同集積化ガス装置における一列のガス制御ライ
ンを示す全体の正面図である。

【図３】同集積化ガス制御装置を示し、図２の左側部分
における中央部縦断面図である。

【図４】同集積化ガス制御装置を示し、図２の中間部分
における中央部縦断面図である。

【図５】同集積化ガス制御装置を示し、図２の右側部分
における中央部縦断面図である。

【図６】同集積化ガス制御装置を示す一部分解斜視図で
ある。

【図７】同集積化ガス制御装置を示す一部分解斜視図で
ある。

【図８】同集積化ガス制御装置を示し、各ガス制御機器
を取付ける前の状態における基台、流路ブロック、支持
台等を示す平面図である。

【図９】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる一方のタイプの中間流路ブロックを
示す平面図、側面図、中央部縦断面図である。

【図１０】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化
ガス制御装置に用いる他方のタイプの中間流路ブロック
を示す平面図、側面図、中央部縦断面図である。

【図１１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化
ガス制御装置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、
側面図、中央部縦断面図である。

【図１２】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化
ガス制御装置に用いる支持台を示す平面図、一部破断側
面図、中央部縦断面図である。

【符号の説明】

１ガス制御ライン２トグル型手動ダイヤフラム弁３フィルタユニット４レギュレータ５圧力トランスデューサ６自動ダイヤフラム弁７パージ弁８マスフローコントローラ９自動ダイヤフラム弁１０基台１１中間流路ブロック１２終端流路ブロック１３取付け装置１４取付け装置１５ボディ１８第１のガス流路１９第２のガス流路２６突出ブロック２７突出ブロック２８係合部３５突出部３６凹所５０支持台５１ユニオンナット６４メタルガスケット６７支柱６８クランプ用ブロック７９メタルガスケット

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【手続補正書】

【提出日】平成１３年８月６日（２００１．８．６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】本発明の目的は、前記のような従来の問題
を解決するものであり、流路ブロックを用いた前記従来
例が有する装置全体のコンパクト化、製作リードタイム
の短縮化、低コスト化、メンテナンスの簡易化等の各利
点を得ることができることは勿論のこと、ガス制御機器
の全体を片締を抑制しながらバランス良く締め付けるこ
とができて流路ブロックとの緊密なシール状態を確保す
ることができ、したがって、信頼性を向上させることが
でき、また、フランジ部、若しくは突出ブロックを一体
的に備えたねじ止めタイプのガス制御機器に交換使用す
ることができるようにして交換使用するガス制御機器の
型式の制約を抑制することができ、したがって、利用者
の利便性を向上させることができるようにした集積化ガ
ス制御装置を提供するにある。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】マスフローコントローラ８の中間流路ブロ
ック１１に対する接続に際し、前記のようにマスフロー
コントローラ８はその突出ブロック２６、２７がその係
合部２８と支柱６７により流路ブロック１１に対して位
置決めされ、流路ブロック１１側へ移動可能に支持され
た状態でボルト６９により加圧される。したがって、マ
スフローコントローラ８が前記位置決め状態から支柱６
７により挟まれた方向においては傾くおそれがなく、支
柱６７により挟まれていない方向のみの片締めに注意す
ればよいので、片締めのおそれが少なく、緊密なシール
状態を確保することができる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】底面側に開放した第１のガス流路および
第２のガス流路を有する複数種のガス制御機器と、両側
に突出部を有し、これら突出部間に溝状の凹所を有する
基台と、前記基台の凹所における中間部に配置され、両
側部を頂部側へ開放したガス流路を有する中間流路ブロ
ックと、前記基台の凹所における両側端部に配置され、
一側部を前記の隣り合う中間流路ブロック側寄り位置で
頂部側へ開放したガス流路を有する終端流路ブロック
と、前記基台の両側突出部に取外し可能に取付けられ、
前記各ガス制御機器の第１のガス流路および第２のガス
流路における開放部を前記の隣り合う流路ブロックのガ
ス流路における隣り合う開放部に連通し得る位置決め状
態で、前記各ガス制御機器を前記流路ブロック側へ移動
し得るように支持し得る支持手段および前記各支持手段
により位置決め状態に支持された前記各ガス制御機器を
前記流路ブロック側に加圧して接続するための接続手段
から成るガス制御機器取付け手段と、前記各ガス制御機
器の各ガス流路と前記各流路ブロックのガス流路とを連
通させた状態で両者間をシールするシール手段とを備え
た集積化ガス制御機器。
【請求項２】ガス制御機器が、第１のガス流路および
第２のガス流路を底面側に開放した円柱状のボディを有
し、ガス制御機器取付け手段における支持手段が、前記
ガス制御機器のボディを挿入することができる円筒状
部、この円筒状部の下部外周に一体的に設けられ、基台
の両側突出部上に重ねられるフランジ部を有する支持台
を備え、前記ガス制御機器取付け手段における接続手段
が、前記支持台の円筒状部における上部周囲に形成され
たねじ部と、前記ガス制御機器のボディの外周に設けら
れ、前記ボディを前記支持台の円筒状部に挿入した状態
で、前記ねじ部に螺着して前記ボディを流路ブロック側
へ加圧する筒状接続部材とを備えた請求項１記載の集積
化ガス制御装置。
【請求項３】ガス制御機器取付け手段における支持台
と中間流路ブロックおよび終端流路ブロックとが互いに
形成された凹凸状の位置決め用係合部により位置決めさ
れる請求項２記載の集積化ガス制御装置。
【請求項４】ガス制御機器取付け手段における支持手
段のフランジ部が、基台の両側突出部に頂面側から底面
側へ向かって形成されたねじ穴にねじにより取付けられ
た請求項２または３記載の集積化ガス制御装置。
【請求項５】ガス制御機器が、底部の両側中央部に第
１のガス流路および第２のガス流路を底面側に開放した
突出ブロックを有し、ガス制御機器取付け手段における
支持手段が、前記突出ブロックを支持するように基台の
両側突出部の４箇所に立設された支柱を備え、前記ガス
制御機器取付け手段における接続手段が、前記突出ブロ
ックの両側に配置された前記支柱に跨って連係され、中
央部に貫通するねじ穴を有するクランプ用ブロックと、
前記クランプ用ブロックのねじ穴に螺合され、前記突出
ブロックを流路ブロック側へ加圧するボルトとを備えた
請求項１ないし４のいずれかに記載の集積化ガス制御装
置。
【請求項６】ガス制御機器取付け手段における支柱
が、基台の両側突出部に頂面側から底面側へ向かって形
成されたねじ穴に螺入された請求項５記載の集積化ガス
制御装置。
【請求項７】シール手段が、各ガス制御機器における
第１のガス流路および第２のガス流路の底面開放側周縁
部に形成されたシーリング用環状突出部と、中間流路ブ
ロックおよび終端流路ブロックの頂面開放側周縁部に形
成されたシーリング用環状突出部と、前記各ガス制御機
器における第１のガス流路および第２のガス流路と前記
流路ブロックのガス流路とを連通させる穴を有し、前記
ガス制御機器と前記流路ブロックとの間に前記各シーリ
ング用環状突出部の食い込み状態で介在されるメタルガ
スケットとを備えた請求項１ないし６のいずれかに記載
の集積化ガス制御装置。
【請求項８】メタルガスケットがガス制御機器側に保
持手段により保持された請求項７記載の集積化ガス制御
装置。
【請求項９】中間流路ブロックおよび終端流路ブロッ
クが、ガス制御機器取付け手段によりガス制御機器を接
続する際にシール手段を介して基台に対して取外し可能
に押圧固定される請求項１ないし８のいずれかに記載の
集積化ガス制御装置。
【請求項１０】ガス制御機器が一つの構成単位として
組立てられた状態でガス制御機器取付け手段により流路
ブロックに取外し可能に接続される請求項１ないし９の
いずれかに記載の集積化ガス制御装置。
【請求項１１】ガス制御機器が、トグル型手動ダイヤ
フラム弁、フィルタユニット、レギュレータ、圧力トラ
ンスデューサ、自動ダイヤフラム弁、パージ弁から選択
使用される請求項２ないし４のいずれかに記載の集積化
ガス制御装置。
【請求項１２】ガス制御機器がマスフローコントロー
ラである請求項５または６記載の集積化ガス制御装置。