JPH1099623A - 集積化ガスパネル用フィルターユニット - Google Patents
集積化ガスパネル用フィルターユニットInfo
- Publication number
- JPH1099623A JPH1099623A JP8276828A JP27682896A JPH1099623A JP H1099623 A JPH1099623 A JP H1099623A JP 8276828 A JP8276828 A JP 8276828A JP 27682896 A JP27682896 A JP 27682896A JP H1099623 A JPH1099623 A JP H1099623A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- filter unit
- main body
- integrated
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルターユニットの本体の脱着を、ガスラ
インを分解することなく簡単にでき、またフィルターユ
ニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、
ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単に
でき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペ
ース化を図ることのできる集積化ガスパネル用フィルタ
ーユニットを提供する。 【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニット
であって、その本体２を縦型となして円筒状のフィルタ
ーメディア３と円筒状のハウジング６を同心に立設固設
すると共にフィルターメディア３の内外と連通するガス
通路７、８を備えたボディ４の外周に外ねじナット１０
を装着し、この外ねじナット１０にて本体２のボディ４
を流路ブロック１１にねじ結合して構成した。
インを分解することなく簡単にでき、またフィルターユ
ニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、
ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単に
でき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペ
ース化を図ることのできる集積化ガスパネル用フィルタ
ーユニットを提供する。 【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニット
であって、その本体２を縦型となして円筒状のフィルタ
ーメディア３と円筒状のハウジング６を同心に立設固設
すると共にフィルターメディア３の内外と連通するガス
通路７、８を備えたボディ４の外周に外ねじナット１０
を装着し、この外ねじナット１０にて本体２のボディ４
を流路ブロック１１にねじ結合して構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体用高純度ガ
ス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラ
インに使用されるフィルターユニットに関する。
ス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラ
インに使用されるフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の集積化ガスパネルは、図５に示す
ようにパネル３０上にガス上流側からマスフローコント
ローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３３、フィ
ルター３４の順に取り付けられたガスライン３５が並列
に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記ガスライ
ン３５の各部品は、定期交換部品であり、ぎっしり詰ま
った場所での脱着作業は非常に厄介で時間がかかる。特
に横型のフィルター３４を取り外すには２ヵ所のねじ部
３６、３７を緩め、さらにシール面を傷付けないように
する為、ガスライン３５を部分的に緩めなければならな
い。従って、フィルター１個を脱着するにガスライン１
本を分解することとなり、復元時シール性を確保するこ
とが難しくなり、ユーザーが定期補修、交換等のメンテ
ナンスを行うことは実際上できない。
ようにパネル３０上にガス上流側からマスフローコント
ローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３３、フィ
ルター３４の順に取り付けられたガスライン３５が並列
に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記ガスライ
ン３５の各部品は、定期交換部品であり、ぎっしり詰ま
った場所での脱着作業は非常に厄介で時間がかかる。特
に横型のフィルター３４を取り外すには２ヵ所のねじ部
３６、３７を緩め、さらにシール面を傷付けないように
する為、ガスライン３５を部分的に緩めなければならな
い。従って、フィルター１個を脱着するにガスライン１
本を分解することとなり、復元時シール性を確保するこ
とが難しくなり、ユーザーが定期補修、交換等のメンテ
ナンスを行うことは実際上できない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、フィ
ルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解する
ことなく簡単にでき、またフィルターユニットの本体の
結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定
期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コ
ンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図るこ
とのできる集積化ガスパネル用フィルターユニットを提
供しようとするものである。
ルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解する
ことなく簡単にでき、またフィルターユニットの本体の
結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定
期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コ
ンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図るこ
とのできる集積化ガスパネル用フィルターユニットを提
供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
の本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、
半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガス
ラインに使用されるフィルターユニットであって、該フ
ィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開
口のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固
定され、フィルターメディアを被うようにその外側に同
心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固
定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス
通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじネット
が装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフ
ィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合され
ていることを特徴とするものである。
の本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、
半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガス
ラインに使用されるフィルターユニットであって、該フ
ィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開
口のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固
定され、フィルターメディアを被うようにその外側に同
心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固
定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス
通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじネット
が装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフ
ィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合され
ていることを特徴とするものである。
【０００５】上記集積化ガスパネル用フィルターユニッ
トに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路
ブロックとの接合面は、ガス通路穴を有するガスケット
が介在されてシールされていることが好ましい。
トに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路
ブロックとの接合面は、ガス通路穴を有するガスケット
が介在されてシールされていることが好ましい。
【０００６】上記ガスケットは、ガス流入側のガス通路
穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケッ
トの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテ
ーナで結合保持した場合とがある。
穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケッ
トの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテ
ーナで結合保持した場合とがある。
【０００７】上記のように構成された本発明の集積化ガ
スパネル用フィルターユニットは、本体のボディの外周
に装着された外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合
されているので、外ねじナット１個を緩めたり、締めた
りするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単に
でき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。
また、本体のボディと流路ブロックとの接合面に介在し
たガスケットが、外ねじナット１個の締め付けにより均
等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保でき
る。さらに、フィルターユニットの本体が縦型でコンパ
クトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図るこ
とができる。
スパネル用フィルターユニットは、本体のボディの外周
に装着された外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合
されているので、外ねじナット１個を緩めたり、締めた
りするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単に
でき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。
また、本体のボディと流路ブロックとの接合面に介在し
たガスケットが、外ねじナット１個の締め付けにより均
等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保でき
る。さらに、フィルターユニットの本体が縦型でコンパ
クトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図るこ
とができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の集積化ガスパネル用フィ
ルターユニットの実施形態を図１によって説明すると、
１は半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於ける
ガスラインに使用されるフィルターユニットである。こ
のフィルターユニット１の本体２は、縦型になされ、下
端のみ開口のフィルターメディア３がボディ４の上面中
央の突出部５上に立設固定され、フィルターメディア３
を被うようにその外側に同心に円筒状のハウジング６が
ボディ４の上面外周部に立設固定され、ボディ４の中心
部にフィルターメディア３内に連通するガス通路７が設
けられ、ボディ４の半径方向にフィルターメディア３外
に連通するガス通路８が設けられ、ボディ４の外周下部
に鍔９が設けられ、この鍔９の上側の外周に外ねじナッ
ト１０が装着されている。
ルターユニットの実施形態を図１によって説明すると、
１は半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於ける
ガスラインに使用されるフィルターユニットである。こ
のフィルターユニット１の本体２は、縦型になされ、下
端のみ開口のフィルターメディア３がボディ４の上面中
央の突出部５上に立設固定され、フィルターメディア３
を被うようにその外側に同心に円筒状のハウジング６が
ボディ４の上面外周部に立設固定され、ボディ４の中心
部にフィルターメディア３内に連通するガス通路７が設
けられ、ボディ４の半径方向にフィルターメディア３外
に連通するガス通路８が設けられ、ボディ４の外周下部
に鍔９が設けられ、この鍔９の上側の外周に外ねじナッ
ト１０が装着されている。
【０００９】このように構成された本体２は、前記外ね
じナット１０にてボディ４を流路ブロック１１の凹部１
２内に締め込み装着し、ボディ４のガス通路７と流路ブ
ロック１１のガス流入通路１３とを連通し、ボディ４の
ガス通路８と流路ブロック１１のガス流出通路１４とを
連通している。この連通部分の相互の接合面１５、１６
は長円形になされて凹凸嵌合され、この相互の接合面１
５、１６の間に図２に示すように中央にガス流入側のガ
ス通路穴１７とその両側にガス流出側のガス通路穴１８
を有する長円形の一体型のガスケット１９が挟み付けら
れて、接合面１５、１６がシールされている。前記ガス
ケット１９のガス流出側のガス通路穴１８は２個の内、
１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時その方
向を見定める必要がなく、また全面均等な締付力にて挟
み付けることができると共に、長円形になされている
為、回り止めの効果もある。
じナット１０にてボディ４を流路ブロック１１の凹部１
２内に締め込み装着し、ボディ４のガス通路７と流路ブ
ロック１１のガス流入通路１３とを連通し、ボディ４の
ガス通路８と流路ブロック１１のガス流出通路１４とを
連通している。この連通部分の相互の接合面１５、１６
は長円形になされて凹凸嵌合され、この相互の接合面１
５、１６の間に図２に示すように中央にガス流入側のガ
ス通路穴１７とその両側にガス流出側のガス通路穴１８
を有する長円形の一体型のガスケット１９が挟み付けら
れて、接合面１５、１６がシールされている。前記ガス
ケット１９のガス流出側のガス通路穴１８は２個の内、
１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時その方
向を見定める必要がなく、また全面均等な締付力にて挟
み付けることができると共に、長円形になされている
為、回り止めの効果もある。
【００１０】尚、上記ガスケット１９は、ガス流入用の
ガス通路穴１７とガス流出用のガス通路穴１８を有する
一体型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２
０を有するガスケット２１をＳ字型のリテーナ２２に２
個結合保持したものであってもよい。その場合、接合面
１５、１６の形状は２個のガスケット２１に相応する長
円形になされる。
ガス通路穴１７とガス流出用のガス通路穴１８を有する
一体型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２
０を有するガスケット２１をＳ字型のリテーナ２２に２
個結合保持したものであってもよい。その場合、接合面
１５、１６の形状は２個のガスケット２１に相応する長
円形になされる。
【００１１】上記のように構成された実施形態の集積化
ガスパネル用フィルターユニット１は、ガスが流路ブロ
ック１１のガス流入通路１３から入り、ガスケット１９
のガス通路穴１７、ボディ４のガス通路７を通って、フ
ィルターメディア３の内側に入り、ここからフィルター
メディア３を透過して、清浄化され、ハウジング６内を
通ってボディ４のガス通路８、ガスケット１９のガス通
路穴１８を通って、流路ブロック１１のガス流出通路１
４から出ていく。かかる機能の集積化ガスパネル用フィ
ルターユニットは、本体２がボディ４の外周に装着され
た外ねじナット１０にて流路ブロック１１にねじ結合さ
れているので、図４に示すように専用工具２５にて外ね
じナット１０を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブ
ロック１１からの本体２の脱着が簡単にでき、従来のよ
うにガスラインを分解する必要がない。また、本体２の
ボディ４の接合面１５と流路ブロック１１の接合面１６
との間に介在したガスケット１９が外ねじナット１０の
みの締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密な
シール性を確保できる。さらに、フィルターユニット１
の本体２が縦型で、コンパクトとなっているので、ガス
ラインでの省スペース化を図ることができる。
ガスパネル用フィルターユニット１は、ガスが流路ブロ
ック１１のガス流入通路１３から入り、ガスケット１９
のガス通路穴１７、ボディ４のガス通路７を通って、フ
ィルターメディア３の内側に入り、ここからフィルター
メディア３を透過して、清浄化され、ハウジング６内を
通ってボディ４のガス通路８、ガスケット１９のガス通
路穴１８を通って、流路ブロック１１のガス流出通路１
４から出ていく。かかる機能の集積化ガスパネル用フィ
ルターユニットは、本体２がボディ４の外周に装着され
た外ねじナット１０にて流路ブロック１１にねじ結合さ
れているので、図４に示すように専用工具２５にて外ね
じナット１０を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブ
ロック１１からの本体２の脱着が簡単にでき、従来のよ
うにガスラインを分解する必要がない。また、本体２の
ボディ４の接合面１５と流路ブロック１１の接合面１６
との間に介在したガスケット１９が外ねじナット１０の
みの締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密な
シール性を確保できる。さらに、フィルターユニット１
の本体２が縦型で、コンパクトとなっているので、ガス
ラインでの省スペース化を図ることができる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の集積化
ガスパネル用フィルターユニットはフィルターユニット
の本体の脱着を、ガスラインを分解することなく、外ね
じナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単にで
き、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシ
ール性を確保でき、従って、ユーザーでも定期補修、交
換等のメンテナンスを簡単にできる。その上、本発明の
フィルターユニットは、本体が縦型でコンパクトとなっ
ているので、ガスラインでの省スペース化を図ることが
できる。
ガスパネル用フィルターユニットはフィルターユニット
の本体の脱着を、ガスラインを分解することなく、外ね
じナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単にで
き、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシ
ール性を確保でき、従って、ユーザーでも定期補修、交
換等のメンテナンスを簡単にできる。その上、本発明の
フィルターユニットは、本体が縦型でコンパクトとなっ
ているので、ガスラインでの省スペース化を図ることが
できる。
【図１】本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニッ
トの一実施形態を示す縦断面図である。
トの一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１のフィルターユニットに於けるガスケット
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図３】ガスケットの他の例を示す平面図である。
【図４】図１のフィルターユニットの本体を脱着する方
法を示す図である。
法を示す図である。
【図５】従来の集積化ガスパネルに於けるガスラインを
示す平面図である。
示す平面図である。
１ フィルターユニット ２ 本体 ３ フィルターメディア ４ ボディ ６ ハウジング ７、８ ガス通路 １０ 外ねじナット １１ 流路ブロック １３ ガス流入通路 １４ ガス流出通路 １５、１６ 接合面 １７、１８ ガス通路穴 １９ 一体型のガスケット ２０ ガス通路穴 ２１ ガスケット ２２ リテーナ
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネ
ルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニット
であって、該フィルターユニットの本体は、縦型になさ
れ、下端のみ開口の円筒状のフィルターメディアがボデ
ィの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアの
外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部
に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通
するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ね
じナットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記
構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ
結合されていることを特徴とする集積化ガスパネル用フ
ィルターユニット。 - 【請求項２】 請求項１記載の集積化ガスパネル用フィ
ルターユニットに於いて、フィルターユニットの本体の
ボディと流路ブロックとの接合面にガス通路穴を有する
ガスケットが介在されてシールされていることを特徴と
する集積化ガスパネル用フィルターユニット。 - 【請求項３】 請求項２記載の集積化ガスパネル用フィ
ルターユニットに於いて、ガスケットが、ガス流入側の
ガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型の
ガスケット、又はガス通路穴を有するガスケット２個を
リテーナで結合保持したものであることを特徴とする集
積化ガスパネル用フィルターユニット。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27682896A JP3739500B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 集積化ガスパネル用フィルターユニット |
| TW86113389A TW397909B (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Integration gas controller |
| US08/929,853 US6073646A (en) | 1996-09-30 | 1997-09-15 | Gas controlling device for integration |
| KR1019970048631A KR100273843B1 (ko) | 1996-09-30 | 1997-09-22 | 집적화용 가스 제어기기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27682896A JP3739500B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 集積化ガスパネル用フィルターユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1099623A true JPH1099623A (ja) | 1998-04-21 |
| JP3739500B2 JP3739500B2 (ja) | 2006-01-25 |
Family
ID=17574977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27682896A Expired - Fee Related JP3739500B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 集積化ガスパネル用フィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3739500B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013117269A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Fujikin Inc | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
| JP2019173771A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日本精線株式会社 | ガスフィルタ及びこれを具えたガス供給装置 |
| KR20210026348A (ko) * | 2019-08-30 | 2021-03-10 | 주식회사 아스플로 | Igs 모듈용 필터 및 그 제조방법 |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP27682896A patent/JP3739500B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013117269A (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | Fujikin Inc | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
| JP2019173771A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日本精線株式会社 | ガスフィルタ及びこれを具えたガス供給装置 |
| KR20210026348A (ko) * | 2019-08-30 | 2021-03-10 | 주식회사 아스플로 | Igs 모듈용 필터 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3739500B2 (ja) | 2006-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100273843B1 (ko) | 집적화용 가스 제어기기 | |
| JP4156184B2 (ja) | 集積化ガス制御装置 | |
| US6012479A (en) | Integrated gas control device | |
| JP5125228B2 (ja) | 流体制御装置およびその組立方法 | |
| JP3595311B2 (ja) | エンジンのエアクリーナ | |
| JP2000314500A (ja) | 集積化ガス制御装置 | |
| JPH1085562A (ja) | ユニオン式制限オリフィス及び濾過装置 | |
| WO2007018228A1 (ja) | 継手付き流体制御器 | |
| JPH1099623A (ja) | 集積化ガスパネル用フィルターユニット | |
| JPH10169881A (ja) | 集積化ガスパネル及びその組立方法 | |
| JP3068010B2 (ja) | 集積化ガス制御装置におけるバルブ結合装置 | |
| JP3549701B2 (ja) | 集積化ガスパネル用制御機器 | |
| JPH032725Y2 (ja) | ||
| JPH11201303A (ja) | ガス供給制御装置用複合化弁 | |
| CN220666361U (zh) | 一种二次供水控制机组 | |
| JPH0721967Y2 (ja) | メタルガスケット | |
| JP2002045618A (ja) | ストレーナ | |
| JP3295659B2 (ja) | エアフィルタ装置 | |
| CN2278543Y (zh) | 多层式筛选机的筛网夹持装置 | |
| KR200383996Y1 (ko) | 오일 제거 필터용 가이드 베인의 고정수단 | |
| TWM652404U (zh) | 流體管路用快拆式濾綱型由任 | |
| JP2604046Y2 (ja) | 流体用機器の取付構造 | |
| JPS6031772Y2 (ja) | ストレ−ナ | |
| KR200298627Y1 (ko) | 도시가스 여과장치 | |
| KR100615135B1 (ko) | 오일 제거 필터용 가이드 베인의 고정수단 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050629 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051101 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051102 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081111 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091111 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101111 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111111 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121111 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |