JP2000314500A - 集積化ガス制御装置 - Google Patents
集積化ガス制御装置Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D3/00—Arrangements for supervising or controlling working operations
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/10—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
- F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
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-
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87917—Flow path with serial valves and/or closures
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス制御機器の配置間隔を短くし、また、加
工箇所、部品点数を削減して装置全体のコンパクト化、
軽量化、低コスト等を図る。 【解決手段】 機器取付けブロック３の貫通穴２１に終
端流路ブロック５の挿入部３４、中間流路ブロック４の
挿入部２６を挿入し、終端流路ブロック５および中間流
路ブロック４の固定部３２、２５をボルト４２を用いて
ベースプレート１に固定する。これとともに、機器取付
けブロック３の挿入穴２０にガス制御機器６、７、８の
ボディ９を挿入し、各流路ブロック４、５のガス通路２
８、３７とガス制御機器のガス流入通路１０およびガス
流出通路１１を連通させた状態で、ボディ９をユニオン
ナット１７により機器取付けブロック３に取付ける。流
路ブロック４、５同士を直接接続することなく、各流路
ブロック４、５をベースプレート１に固定することによ
り、ガス制御機器の配置間隔を短縮し、また、加工箇
所、部品点数を削減することができる。
工箇所、部品点数を削減して装置全体のコンパクト化、
軽量化、低コスト等を図る。 【解決手段】 機器取付けブロック３の貫通穴２１に終
端流路ブロック５の挿入部３４、中間流路ブロック４の
挿入部２６を挿入し、終端流路ブロック５および中間流
路ブロック４の固定部３２、２５をボルト４２を用いて
ベースプレート１に固定する。これとともに、機器取付
けブロック３の挿入穴２０にガス制御機器６、７、８の
ボディ９を挿入し、各流路ブロック４、５のガス通路２
８、３７とガス制御機器のガス流入通路１０およびガス
流出通路１１を連通させた状態で、ボディ９をユニオン
ナット１７により機器取付けブロック３に取付ける。流
路ブロック４、５同士を直接接続することなく、各流路
ブロック４、５をベースプレート１に固定することによ
り、ガス制御機器の配置間隔を短縮し、また、加工箇
所、部品点数を削減することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置用
の高純度ガス系のガス制御装置において、ガスの供給制
御、ガスの浄化等の所望の用途でパネル状に集積化して
使用される集積化ガス制御装置に関する。
の高純度ガス系のガス制御装置において、ガスの供給制
御、ガスの浄化等の所望の用途でパネル状に集積化して
使用される集積化ガス制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体製造装置用の高純度ガス系
のガス制御装置は、個々の独立したガス制御機器を、継
手、配管を用いて連結し、ガス制御ラインを構成し、こ
の多数組をベースプレート上に並列に配置し、パネル状
に集積化している。しかしながら、前記のように個々の
独立したガス制御機器を配管、継手を用いて連結する
と、ガス制御ラインが長大化し、半導体製造装置に占め
るガス制御装置の内容積が増大する。また、ガス制御ラ
インは各々異なる流路構成となるが、ガス制御機器の着
脱が困難であるため、設計、製作、組立のためのトータ
ル製作リードタイムが長くなり、新設時の初期立上がり
時間が長くなり、製作にも手数を要し、高価となる。そ
の上、ガス制御機器の交換が困難であるため、流路変更
の必要が生じた場合、これに対応することができない。
また、性能面では、溶接ヒューム、パーティクルが発生
し、溶接部の脆性劣化が生じて配管の寿命が短くなり、
コスト面では、製品歩留りが悪く、メンテナンス費が高
価となる。更に、ガス制御装置のコンパクト化を図るこ
とができないため、パネル状に構成するに当り、表、裏
の多面配置や多層配置を必要とするケースが多い。
のガス制御装置は、個々の独立したガス制御機器を、継
手、配管を用いて連結し、ガス制御ラインを構成し、こ
の多数組をベースプレート上に並列に配置し、パネル状
に集積化している。しかしながら、前記のように個々の
独立したガス制御機器を配管、継手を用いて連結する
と、ガス制御ラインが長大化し、半導体製造装置に占め
るガス制御装置の内容積が増大する。また、ガス制御ラ
インは各々異なる流路構成となるが、ガス制御機器の着
脱が困難であるため、設計、製作、組立のためのトータ
ル製作リードタイムが長くなり、新設時の初期立上がり
時間が長くなり、製作にも手数を要し、高価となる。そ
の上、ガス制御機器の交換が困難であるため、流路変更
の必要が生じた場合、これに対応することができない。
また、性能面では、溶接ヒューム、パーティクルが発生
し、溶接部の脆性劣化が生じて配管の寿命が短くなり、
コスト面では、製品歩留りが悪く、メンテナンス費が高
価となる。更に、ガス制御装置のコンパクト化を図るこ
とができないため、パネル状に構成するに当り、表、裏
の多面配置や多層配置を必要とするケースが多い。
【０００３】また、従来、ガス制御装置のガス制御ライ
ンにおける個々の独立したガス制御機器を流路ブロック
に接続するには、一般的にはフランジ結合したり、複数
本のボルトにより締め付けたりする手段が用いられてい
る。しかし、これらの接続方式では、ボルトの締め付け
時、片締めが発生し易く、信頼性に劣り、しかも、組立
工数も多く、高価となる。
ンにおける個々の独立したガス制御機器を流路ブロック
に接続するには、一般的にはフランジ結合したり、複数
本のボルトにより締め付けたりする手段が用いられてい
る。しかし、これらの接続方式では、ボルトの締め付け
時、片締めが発生し易く、信頼性に劣り、しかも、組立
工数も多く、高価となる。
【０００４】そこで、本出願人は、上記従来例の問題を
解決すべく特開平１０−３０００００号公報に記載され
ているように、ベースプレート上に複数個の流路ブロッ
クを用いて所望のガス制御機器を接続し、ガス制御機器
をパネル状に集積化するようにした構成を提供した。こ
の従来の集積化ガス制御装置について図１０を参照しな
がら概略説明すると、流路ブロック１０１の端面にガス
流路通路１０２とガス流出通路１０３の外周部において
シーリングビード１０４と１０５が形成され、隣接する
流路ブロック１０１のシーリングビード１０４、１０５
間にリング状のメタルガスケット１０６が介在されてい
る。一方の流路ブロック１０１の端部外終に形成された
ねじ１０７にナット１０８が螺着され、このナット１０
８の外周にユニオンナット１０９が設けられ、このユニ
オンナット１０９が他方の流路ブロック１０１の端部外
周に形成されたねじ１１０に螺着されることにより、隣
接する流路ブロック１０１同士がガス流出通路１０３と
ガス流入通路１０２とを連通した状態でシール状態で分
離可能に接続されている。複数の流路ブロック１０１が
前記のように接続された状態でベースプレート１１１上
に取外し可能に取り付けられている（図１０において
は、２個の流路ブロック１０１のみを示している。）
解決すべく特開平１０−３０００００号公報に記載され
ているように、ベースプレート上に複数個の流路ブロッ
クを用いて所望のガス制御機器を接続し、ガス制御機器
をパネル状に集積化するようにした構成を提供した。こ
の従来の集積化ガス制御装置について図１０を参照しな
がら概略説明すると、流路ブロック１０１の端面にガス
流路通路１０２とガス流出通路１０３の外周部において
シーリングビード１０４と１０５が形成され、隣接する
流路ブロック１０１のシーリングビード１０４、１０５
間にリング状のメタルガスケット１０６が介在されてい
る。一方の流路ブロック１０１の端部外終に形成された
ねじ１０７にナット１０８が螺着され、このナット１０
８の外周にユニオンナット１０９が設けられ、このユニ
オンナット１０９が他方の流路ブロック１０１の端部外
周に形成されたねじ１１０に螺着されることにより、隣
接する流路ブロック１０１同士がガス流出通路１０３と
ガス流入通路１０２とを連通した状態でシール状態で分
離可能に接続されている。複数の流路ブロック１０１が
前記のように接続された状態でベースプレート１１１上
に取外し可能に取り付けられている（図１０において
は、２個の流路ブロック１０１のみを示している。）
【０００５】所望のガス制御機器、図示例ではトグル型
手動ダイヤフラム弁１１２とフィルタユニット１１３の
ボディ１１４が各流路ブロック１０１の上向き開口の挿
入穴１１５にメタルガスケット１１６を介して挿入さ
れ、ボディ１１４のガス流入通路１１７とガス流出通路
１１８がメタルガスケット１１６を介して流路ブロック
１０１のガス流入通路１０２とガス流出通路１０３に連
通されている。そして、ボディ１１４の外周に設けられ
たユニオンナット１１９が流路ブロック１０１の上部外
周のねじ１２０に螺着され、ボディ１１４が流路ブロッ
ク１０１にシール状態で交換可能に取付けられている。
ガス制御機器としては、前記トグル型手動ダイヤフラム
弁１１２、フィルタユニット１１３のほかにも自動ダイ
ヤフラム弁、マスフローコントローラ、レギュレータ、
チェック弁付自動ダイヤフラム弁等が選択的に使用され
る。
手動ダイヤフラム弁１１２とフィルタユニット１１３の
ボディ１１４が各流路ブロック１０１の上向き開口の挿
入穴１１５にメタルガスケット１１６を介して挿入さ
れ、ボディ１１４のガス流入通路１１７とガス流出通路
１１８がメタルガスケット１１６を介して流路ブロック
１０１のガス流入通路１０２とガス流出通路１０３に連
通されている。そして、ボディ１１４の外周に設けられ
たユニオンナット１１９が流路ブロック１０１の上部外
周のねじ１２０に螺着され、ボディ１１４が流路ブロッ
ク１０１にシール状態で交換可能に取付けられている。
ガス制御機器としては、前記トグル型手動ダイヤフラム
弁１１２、フィルタユニット１１３のほかにも自動ダイ
ヤフラム弁、マスフローコントローラ、レギュレータ、
チェック弁付自動ダイヤフラム弁等が選択的に使用され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例の集積化ガ
ス制御装置によれば、次のような利点を有する。すなわ
ち、流路ブロック１０１の端部同士を接続するととも
に、ガス制御機器１１２、１１３を縦型に構成して流路
ブロック１０１に接続しているので、装置全体のコンパ
クト化を図って流路構成、ガス制御ラインの直線化、縮
小化を図ることができ、したがって、半導体製造装置に
占める内容積を減少させることができる。また、ガス制
御ラインを標準化されたパーツで構成することができる
ので、高自由度な流路構成を可能とすることができ、し
たがって、設計、製作、組立てのためのトータル製作リ
ードタイムの短縮を図って設備初期立上り期間の短縮を
図ることができるとともに、流路変更に対する置換性、
応答性を向上させることができる。また、流路ブロック
１０１の接続に溶接配管を用いる必要がないので、前記
接続に際し、溶接ヒューム等の発生を解消することがで
き、したがって、長寿命化、製品の歩留りの向上を図る
ことができる。また、ガス制御機器１１２、１１３のボ
ディ１１４の外周に設けたユニオンナット１１９を流路
ブロック１０１に対して着脱するだけでガス制御機器１
１２、１１３を流路ブロック１０１に対して容易に着脱
することができるので、ガス制御機器１１２、１１３を
容易に交換することができ、したがって、メンテナンス
を容易に行うことができるとともに、メンテナンス費の
低減を図ることができる。更には、ガス制御機器１１
２、１１３のボディ１１４の外周に設けたユニオンナッ
ト１１９を流路ブロック１０１に螺着することにより、
ガス制御機器１１２、１１３を流路ブロック１０１に接
続するので、ガス制御機器１１２、１１３の全体を偶力
を発生させずにバランス良く締め付けることができ、緊
密なシールを確保することができ、したがって、信頼性
を向上させることができる。
ス制御装置によれば、次のような利点を有する。すなわ
ち、流路ブロック１０１の端部同士を接続するととも
に、ガス制御機器１１２、１１３を縦型に構成して流路
ブロック１０１に接続しているので、装置全体のコンパ
クト化を図って流路構成、ガス制御ラインの直線化、縮
小化を図ることができ、したがって、半導体製造装置に
占める内容積を減少させることができる。また、ガス制
御ラインを標準化されたパーツで構成することができる
ので、高自由度な流路構成を可能とすることができ、し
たがって、設計、製作、組立てのためのトータル製作リ
ードタイムの短縮を図って設備初期立上り期間の短縮を
図ることができるとともに、流路変更に対する置換性、
応答性を向上させることができる。また、流路ブロック
１０１の接続に溶接配管を用いる必要がないので、前記
接続に際し、溶接ヒューム等の発生を解消することがで
き、したがって、長寿命化、製品の歩留りの向上を図る
ことができる。また、ガス制御機器１１２、１１３のボ
ディ１１４の外周に設けたユニオンナット１１９を流路
ブロック１０１に対して着脱するだけでガス制御機器１
１２、１１３を流路ブロック１０１に対して容易に着脱
することができるので、ガス制御機器１１２、１１３を
容易に交換することができ、したがって、メンテナンス
を容易に行うことができるとともに、メンテナンス費の
低減を図ることができる。更には、ガス制御機器１１
２、１１３のボディ１１４の外周に設けたユニオンナッ
ト１１９を流路ブロック１０１に螺着することにより、
ガス制御機器１１２、１１３を流路ブロック１０１に接
続するので、ガス制御機器１１２、１１３の全体を偶力
を発生させずにバランス良く締め付けることができ、緊
密なシールを確保することができ、したがって、信頼性
を向上させることができる。
【０００７】しかしながら、上記従来例の集積化ガス制
御装置の構成では、隣接する流路ブロック１０１同士を
ねじ方式で接続しているため、流路ブロック１０１の端
部のシーリングビード１０４、１０５間にメタルガスケ
ット１０６を介在してシールするが、シールする部分が
増えることにより、全体としてシール性能が下がる心配
があった。このため、メタルガスケット１０６やシーリ
ングビード１０４、１０５の高い加工精度を必要とす
る。また、隣接する流路ブロック１０１同士をねじ方式
で接続しているため、各流路ブロック１０１の端部外周
にねじ部１０７、１１０を加工しなければならず、構成
部品もナット１０８およびユニオンナット１０９を使用
しなければならず、加工箇所、部品点数も多くなり、製
作リードタイムが長くなり、製作に手数を要し、高価な
ものとなっている。特に、流路ブロック１０１の一端部
は、隣接する流路ブロック１０１の他端部外周のねじ部
１１０に螺合するユニオンナット１０９が進退する長さ
を必要とするため、各流路ブロック１０１に取付けるガ
ス制御機器１１２、１１３間の間隔が今だ長く、ガス制
御ラインが十分に短縮されていない。
御装置の構成では、隣接する流路ブロック１０１同士を
ねじ方式で接続しているため、流路ブロック１０１の端
部のシーリングビード１０４、１０５間にメタルガスケ
ット１０６を介在してシールするが、シールする部分が
増えることにより、全体としてシール性能が下がる心配
があった。このため、メタルガスケット１０６やシーリ
ングビード１０４、１０５の高い加工精度を必要とす
る。また、隣接する流路ブロック１０１同士をねじ方式
で接続しているため、各流路ブロック１０１の端部外周
にねじ部１０７、１１０を加工しなければならず、構成
部品もナット１０８およびユニオンナット１０９を使用
しなければならず、加工箇所、部品点数も多くなり、製
作リードタイムが長くなり、製作に手数を要し、高価な
ものとなっている。特に、流路ブロック１０１の一端部
は、隣接する流路ブロック１０１の他端部外周のねじ部
１１０に螺合するユニオンナット１０９が進退する長さ
を必要とするため、各流路ブロック１０１に取付けるガ
ス制御機器１１２、１１３間の間隔が今だ長く、ガス制
御ラインが十分に短縮されていない。
【０００８】本発明の目的は、前記のような従来の問題
を解決するものであり、前記従来例が有する部品の標準
化による製作リードタイムの短縮化等の各利点を得るこ
とができることは勿論のこと、流路ブロック同士を直接
接続することなく、各流路ブロックをベースプレートに
固定することにより、ガス制御機器間の配置間隔を短縮
することができ、また、加工箇所、部品点数を削減する
ことができ、したがって、装置全体のコンパクト化、軽
量化等を図ることができ、また、低コスト化を図ること
ができるようにした集積化ガス制御装置を提供するにあ
る。
を解決するものであり、前記従来例が有する部品の標準
化による製作リードタイムの短縮化等の各利点を得るこ
とができることは勿論のこと、流路ブロック同士を直接
接続することなく、各流路ブロックをベースプレートに
固定することにより、ガス制御機器間の配置間隔を短縮
することができ、また、加工箇所、部品点数を削減する
ことができ、したがって、装置全体のコンパクト化、軽
量化等を図ることができ、また、低コスト化を図ること
ができるようにした集積化ガス制御装置を提供するにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の集積化ガス制御装置は、ベースプレートと、
ボディを有し、このボディの下面に開放されたガス流入
通路およびガス流出通路を有する複数種のガス制御機器
と、上部に前記ガス制御機器のボディを挿入する挿入穴
を有し、上部周囲にねじを有し、下部水平方向に前記挿
入穴と連通する貫通穴を有する機器取付けブロックと、
前記各ガス制御機器のボディの外周に設けられ、このボ
ディを前記機器取付けブロックの挿入穴に挿入した状態
で、前記ねじに螺着して前記ボディを前記機器取付けブ
ロックに取付ける接続筒と、前記ベースプレートに固定
する固定部を中央部に有し、隣り合う前記機器取付けブ
ロックの貫通穴における対向側の一側部に挿入し得る挿
入部を前記固定部の両側部に有し、前記両側の挿入部上
部に開放され、この開放部により前記ガス制御機器にお
けるガス流入通路およびガス流出通路と連通し得るガス
通路を有する中間流路ブロックと、前記ベースプレート
に固定する固定部を中間部に有し、接続部を前記固定部
の一側部に有し、終端に位置する前記機器取付けブロッ
クの貫通穴における終端側部に挿入し得る挿入部を前記
固定部の他側部に有し、前記挿入部上部に開放され、こ
の開放部により前記ガス制御機器におけるガス流入通路
およびガス流出通路のいずれか一方と連通し得るガス通
路を有する終端流路ブロックと、前記中間流路ブロック
の固定部を前記ベースプレートに固定する固定手段と、
前記終端流路ブロックの固定部を前記ベースプレートに
固定する固定手段とを備えたものである。
に本発明の集積化ガス制御装置は、ベースプレートと、
ボディを有し、このボディの下面に開放されたガス流入
通路およびガス流出通路を有する複数種のガス制御機器
と、上部に前記ガス制御機器のボディを挿入する挿入穴
を有し、上部周囲にねじを有し、下部水平方向に前記挿
入穴と連通する貫通穴を有する機器取付けブロックと、
前記各ガス制御機器のボディの外周に設けられ、このボ
ディを前記機器取付けブロックの挿入穴に挿入した状態
で、前記ねじに螺着して前記ボディを前記機器取付けブ
ロックに取付ける接続筒と、前記ベースプレートに固定
する固定部を中央部に有し、隣り合う前記機器取付けブ
ロックの貫通穴における対向側の一側部に挿入し得る挿
入部を前記固定部の両側部に有し、前記両側の挿入部上
部に開放され、この開放部により前記ガス制御機器にお
けるガス流入通路およびガス流出通路と連通し得るガス
通路を有する中間流路ブロックと、前記ベースプレート
に固定する固定部を中間部に有し、接続部を前記固定部
の一側部に有し、終端に位置する前記機器取付けブロッ
クの貫通穴における終端側部に挿入し得る挿入部を前記
固定部の他側部に有し、前記挿入部上部に開放され、こ
の開放部により前記ガス制御機器におけるガス流入通路
およびガス流出通路のいずれか一方と連通し得るガス通
路を有する終端流路ブロックと、前記中間流路ブロック
の固定部を前記ベースプレートに固定する固定手段と、
前記終端流路ブロックの固定部を前記ベースプレートに
固定する固定手段とを備えたものである。
【００１０】そして、前記構成において、各ガス制御機
器のボディが下面に平坦面を有するとともに、ガス流入
通路およびガス流出通路の周縁部にシーリングビードを
有し、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの挿入
部上部が前記ボディの平坦面に対する平坦面を有すると
ともに、各ガス通路の周縁部にシーリングビードを有
し、前記ボディの平坦面と前記挿入部の平坦面との間に
前記各シーリングビードの食い込み状態で介在されるメ
タルガスケットを備えることができ、この場合、前記機
器取付けブロックの貫通穴を横断面円形に形成するとと
もに、挿入穴の底部と前記円形の一部を切欠いた形状で
連通させ、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの
挿入部を前記貫通穴に対応する円柱状に形成し、前記挿
入部上部を前記貫通穴の切欠形状に対応して切欠いて平
坦面状に形成するのが好ましい。
器のボディが下面に平坦面を有するとともに、ガス流入
通路およびガス流出通路の周縁部にシーリングビードを
有し、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの挿入
部上部が前記ボディの平坦面に対する平坦面を有すると
ともに、各ガス通路の周縁部にシーリングビードを有
し、前記ボディの平坦面と前記挿入部の平坦面との間に
前記各シーリングビードの食い込み状態で介在されるメ
タルガスケットを備えることができ、この場合、前記機
器取付けブロックの貫通穴を横断面円形に形成するとと
もに、挿入穴の底部と前記円形の一部を切欠いた形状で
連通させ、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの
挿入部を前記貫通穴に対応する円柱状に形成し、前記挿
入部上部を前記貫通穴の切欠形状に対応して切欠いて平
坦面状に形成するのが好ましい。
【００１１】前記各ガス制御機器のボディおよび機器取
付けブロックが、前記ボディを前記機器取付けブロック
の挿入穴に挿入する際に前記ボディのガス流入通路とガ
ス流出通路を中間流路ブロック、終端流路ブロックのい
ずれかのガス通路の開放部と連通させるための位置決め
手段を備えるのが好ましい。
付けブロックが、前記ボディを前記機器取付けブロック
の挿入穴に挿入する際に前記ボディのガス流入通路とガ
ス流出通路を中間流路ブロック、終端流路ブロックのい
ずれかのガス通路の開放部と連通させるための位置決め
手段を備えるのが好ましい。
【００１２】前記機器取付けブロックの上部周囲のねじ
を外周の雄ねじとして形成し、各ガス制御機器を前記機
器取付けブロックに取付ける接続筒が内周に雌ねじを有
し、この雌ねじを前記雄ねじに螺着するのが好ましい。
を外周の雄ねじとして形成し、各ガス制御機器を前記機
器取付けブロックに取付ける接続筒が内周に雌ねじを有
し、この雌ねじを前記雄ねじに螺着するのが好ましい。
【００１３】中間流路ブロック、若しくは終端流路ブロ
ックのベースプレートに対する固定手段として、中間流
路ブロック、若しくは終端流路ブロックにおけるガス通
路を挟む両側に配置され、ベースプレートに形成された
ねじ穴と、中間流路ブロック、若しくは終端流路ブロッ
クの固定部に前記ねじ穴に対して形成されたボルト挿通
穴と、前記固定部の上方から前記ボルト挿通穴に挿通さ
れて前記ねじ穴に螺着されるボルトとを備えることがで
きる。
ックのベースプレートに対する固定手段として、中間流
路ブロック、若しくは終端流路ブロックにおけるガス通
路を挟む両側に配置され、ベースプレートに形成された
ねじ穴と、中間流路ブロック、若しくは終端流路ブロッ
クの固定部に前記ねじ穴に対して形成されたボルト挿通
穴と、前記固定部の上方から前記ボルト挿通穴に挿通さ
れて前記ねじ穴に螺着されるボルトとを備えることがで
きる。
【００１４】前記ガス制御機器として、自動ダイヤフラ
ム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニッ
ト、チェック弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、レギュ
レータ、マスフローコントローラ、マスフローメータ等
から選択使用することができる。
ム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニッ
ト、チェック弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、レギュ
レータ、マスフローコントローラ、マスフローメータ等
から選択使用することができる。
【００１５】前記のように構成された本発明によれば、
機器取付けブロックの貫通穴に終端流路ブロックの挿入
部、中間流路ブロックの挿入部を挿入し、終端流路ブロ
ックおよび中間流路ブロックの固定部をベースプレート
に固定するとともに、機器取付けブロックの挿入穴にガ
ス制御機器のボディを挿入し、各流路ブロックのガス通
路とガス制御機器のガス流入通路およびガス流出通路を
連通させた状態で、ボディを接続筒により機器取付けブ
ロックに取付けることができる。そして、流路ブロック
同士を直接接続することなく、各流路ブロックをベース
プレートに固定するので、ガス制御機器間の配置間隔を
短縮することができ、また、加工箇所、部品点数を削減
することができる。
機器取付けブロックの貫通穴に終端流路ブロックの挿入
部、中間流路ブロックの挿入部を挿入し、終端流路ブロ
ックおよび中間流路ブロックの固定部をベースプレート
に固定するとともに、機器取付けブロックの挿入穴にガ
ス制御機器のボディを挿入し、各流路ブロックのガス通
路とガス制御機器のガス流入通路およびガス流出通路を
連通させた状態で、ボディを接続筒により機器取付けブ
ロックに取付けることができる。そして、流路ブロック
同士を直接接続することなく、各流路ブロックをベース
プレートに固定するので、ガス制御機器間の配置間隔を
短縮することができ、また、加工箇所、部品点数を削減
することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。図１、図２、図３はそ
れぞれ本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置を
示す平面図、正面図、一部破断正面図、図４、図５、図
６はそれぞれ同集積化ガス制御装置を示し、ガス制御機
器を除去した平面図、一部破断平面図、中央部縦断面
図、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる機器取付けブロックを示す平面図、
側面図、中央部縦断面図、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる中間流路ブロ
ックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図９
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装
置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、側面図、中
央部縦断面図である。
て図面を参照しながら説明する。図１、図２、図３はそ
れぞれ本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置を
示す平面図、正面図、一部破断正面図、図４、図５、図
６はそれぞれ同集積化ガス制御装置を示し、ガス制御機
器を除去した平面図、一部破断平面図、中央部縦断面
図、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる機器取付けブロックを示す平面図、
側面図、中央部縦断面図、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
はそれぞれ同集積化ガス制御装置に用いる中間流路ブロ
ックを示す平面図、側面図、中央部縦断面図、図９
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガス制御装
置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、側面図、中
央部縦断面図である。
【００１７】図１ないし図３に示すように、ベースプレ
ート１上にガス制御ライン２が複数列（図示例は一列の
み示している）に並設される。各ガス制御ライン２は、
縦型に構成された自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダ
イヤフラム弁、フィルタユニット、チェック弁付自動ダ
イヤフラム弁、レギュレータ、マスフローコントロー
ラ、マスフローメータ等の所望のガス制御機器が適宜選
択的に組み合わされ、機器取付けブロック３、中間流路
ブロック４、終端流路ブロック５等により接続されてベ
ースプレート１上に取付けられる。本実施形態において
は、説明を簡略化するため、ガス制御機器として、トグ
ル型手動ダイヤフラム弁６、フィルタユニット７、自動
ダイヤフラム弁８を組み合わせて接続した例について説
明する。
ート１上にガス制御ライン２が複数列（図示例は一列の
み示している）に並設される。各ガス制御ライン２は、
縦型に構成された自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダ
イヤフラム弁、フィルタユニット、チェック弁付自動ダ
イヤフラム弁、レギュレータ、マスフローコントロー
ラ、マスフローメータ等の所望のガス制御機器が適宜選
択的に組み合わされ、機器取付けブロック３、中間流路
ブロック４、終端流路ブロック５等により接続されてベ
ースプレート１上に取付けられる。本実施形態において
は、説明を簡略化するため、ガス制御機器として、トグ
ル型手動ダイヤフラム弁６、フィルタユニット７、自動
ダイヤフラム弁８を組み合わせて接続した例について説
明する。
【００１８】トグル型手動ダイヤフラム弁６、フィルタ
ユニット７、自動ダイヤフラム弁８は、図３から明らか
なように、それぞれ縦型に構成されて下部に同様の円柱
状のボディ９を有し、このボディ９にガス流入通路１０
およびガス流出通路１１が形成されている。円柱状のボ
ディ９の下面は平坦面に形成され、ガス流入通路１０お
よびガス流出通路１１の開放部周縁においてシーリング
ビード１２および１３が突設されている。ボディ９の中
間部外周にはフランジ部１４が一体的に設けられ、フラ
ンジ部１４にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置
決め用切欠１５、１６が形成されている。フランジ部１
４の外周には接続筒であるユニオンナット１７が軸回り
で回転可能に、かつフランジ部１４の上面に係止される
ように嵌合されている。
ユニット７、自動ダイヤフラム弁８は、図３から明らか
なように、それぞれ縦型に構成されて下部に同様の円柱
状のボディ９を有し、このボディ９にガス流入通路１０
およびガス流出通路１１が形成されている。円柱状のボ
ディ９の下面は平坦面に形成され、ガス流入通路１０お
よびガス流出通路１１の開放部周縁においてシーリング
ビード１２および１３が突設されている。ボディ９の中
間部外周にはフランジ部１４が一体的に設けられ、フラ
ンジ部１４にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置
決め用切欠１５、１６が形成されている。フランジ部１
４の外周には接続筒であるユニオンナット１７が軸回り
で回転可能に、かつフランジ部１４の上面に係止される
ように嵌合されている。
【００１９】各機器取付けブロック３は同様に構成され
る。特に、図７（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、立
方体状の外形を有する本体部１８の上面に円筒状部１９
が一体に設けられ、本体部１８の下面の平坦面がベース
プレート１上に載せられるようになっている（図２、図
３、図６参照）。円筒状部１９の内側は本体部１１の上
部内側まで連続して円形状に凹入する上向き開口の挿入
穴２０に形成され、この挿入穴２０に前記ボディ９にお
けるフランジ部１４の下方が挿入されるようになってい
る。本体部１８には挿入穴２０の軸心と直角方向で水平
方向に貫通穴２１が形成されている。貫通穴２１は横断
面円形に形成され、挿入穴２０の底部と円形形状の一部
が切欠かれた形状で連通されている。円筒状部１９の外
周には雄ねじ２２が形成されている。円筒状部１９が頂
面にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め用突
出部２３、２４が形成されている。この位置決め用突出
部２３、２４は前記ボディ９のフランジ部１４における
位置決め用切欠１５、１６をそれぞれ係合することがで
きる。そして、例えば、対応する位置決め用切欠１５お
よび位置決め用突出部２３の幅が狭くなるように形成さ
れ、位置決め用切欠１６および位置決め用突出部２４の
幅が広くなるように形成され、互いに幅が異なるように
形成されることにより、ボディ９を挿入穴２０に挿入す
る際、ボディ９の挿入穴２０に対する挿入方向、すなわ
ち、ガス流入通路１０とガス流出通路１１の位置が正し
くなるように規制される。
る。特に、図７（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、立
方体状の外形を有する本体部１８の上面に円筒状部１９
が一体に設けられ、本体部１８の下面の平坦面がベース
プレート１上に載せられるようになっている（図２、図
３、図６参照）。円筒状部１９の内側は本体部１１の上
部内側まで連続して円形状に凹入する上向き開口の挿入
穴２０に形成され、この挿入穴２０に前記ボディ９にお
けるフランジ部１４の下方が挿入されるようになってい
る。本体部１８には挿入穴２０の軸心と直角方向で水平
方向に貫通穴２１が形成されている。貫通穴２１は横断
面円形に形成され、挿入穴２０の底部と円形形状の一部
が切欠かれた形状で連通されている。円筒状部１９の外
周には雄ねじ２２が形成されている。円筒状部１９が頂
面にはほぼ１８０度位相をずらした位置で位置決め用突
出部２３、２４が形成されている。この位置決め用突出
部２３、２４は前記ボディ９のフランジ部１４における
位置決め用切欠１５、１６をそれぞれ係合することがで
きる。そして、例えば、対応する位置決め用切欠１５お
よび位置決め用突出部２３の幅が狭くなるように形成さ
れ、位置決め用切欠１６および位置決め用突出部２４の
幅が広くなるように形成され、互いに幅が異なるように
形成されることにより、ボディ９を挿入穴２０に挿入す
る際、ボディ９の挿入穴２０に対する挿入方向、すなわ
ち、ガス流入通路１０とガス流出通路１１の位置が正し
くなるように規制される。
【００２０】各中間流路ブロック４は同様に構成され
る。特に、図８（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、中
間部の固定部２５の両側部に挿入部２６が一体に設けら
れている（両側の挿入部２６は対称的に構成されている
ので、同一符号を付して説明する。）。各挿入部２６は
前記機器取付けブロック３の貫通穴２１の一側部に密に
挿入し得るように円柱状に形成され、固定部２５は直方
体状に形成され、その下面の平坦面がベースプレート１
上に載せられるようになっている（図２、図３、図６参
照）。各挿入部２６は上部に前記機器取付けブロック３
の貫通穴２１の切欠形状に対応する平坦面２７が切欠き
により形成され、この平坦面２７は機器取付けブロック
３の挿入穴２０の底面と同一平面上に位置し得るように
設定されている。各中間流路ブロック４にはガス通路２
８が形成されている。各ガス通路２８はその中間部分が
中間流路ブロック４の軸心に沿うように水平方向に形成
され、この水平部分の両端部で上方直角方向に屈曲され
て挿入部２６の平坦面２７、すなわち、機器取付けブロ
ック３の挿入穴２０の底部に開放されるようになってい
る。各平坦面２７にはガス通路３０の開放部周縁におい
てシーリングビード２９が突設されている。固定部２５
にはガス通路２８を挟む両側で垂直方向にボルト挿通穴
３０が形成されている。これらのボルト挿通穴３０はベ
ースプレート１に形成されたねじ穴３１（図２、図３、
図６参照）に対応している。
る。特に、図８（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、中
間部の固定部２５の両側部に挿入部２６が一体に設けら
れている（両側の挿入部２６は対称的に構成されている
ので、同一符号を付して説明する。）。各挿入部２６は
前記機器取付けブロック３の貫通穴２１の一側部に密に
挿入し得るように円柱状に形成され、固定部２５は直方
体状に形成され、その下面の平坦面がベースプレート１
上に載せられるようになっている（図２、図３、図６参
照）。各挿入部２６は上部に前記機器取付けブロック３
の貫通穴２１の切欠形状に対応する平坦面２７が切欠き
により形成され、この平坦面２７は機器取付けブロック
３の挿入穴２０の底面と同一平面上に位置し得るように
設定されている。各中間流路ブロック４にはガス通路２
８が形成されている。各ガス通路２８はその中間部分が
中間流路ブロック４の軸心に沿うように水平方向に形成
され、この水平部分の両端部で上方直角方向に屈曲され
て挿入部２６の平坦面２７、すなわち、機器取付けブロ
ック３の挿入穴２０の底部に開放されるようになってい
る。各平坦面２７にはガス通路３０の開放部周縁におい
てシーリングビード２９が突設されている。固定部２５
にはガス通路２８を挟む両側で垂直方向にボルト挿通穴
３０が形成されている。これらのボルト挿通穴３０はベ
ースプレート１に形成されたねじ穴３１（図２、図３、
図６参照）に対応している。
【００２１】各終端流路ブロック５は同様に構成され
る。特に、図９（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、固
定部３２の両側部に接続部３３と挿入部３４が一体に設
けられている。接続部３３は円柱状に形成され、挿入部
３４は前記機器取付けブロック３の貫通穴２１の一側部
に密に挿入し得るように円柱状に形成され、固定部３２
は直方体状に形成され、その下面の平坦面がベースプレ
ート１上に載せられるようになっている（図２、図３、
図６参照）。接続部３３の中間部外周にはねじ３５が形
成されている。挿入部３４は上部に前記機器取付けブロ
ック３の貫通穴２１の切欠形状に対応する平坦面３６が
切欠きにより形成され、この平坦面３６は機器取付けブ
ロック３の挿入穴２０の底面と同一平面上に位置し得る
ように設定されている。各終端流路ブロック５にはガス
通路３７が形成されている。各ガス通路３７は接続部３
３の端部側から終端流路ブロック５の軸心に沿うように
水平方向に形成され、この水平部分の端部で上方直角方
向に屈曲されて挿入部３４の平坦面３６、すなわち、機
器取付けブロック３の挿入穴２０の底部に開放されるよ
うになっている。接続部３３の端面にはガス通路３７の
開放部周縁にシーリングビード３８が突設され、平坦面
３６にはガス通路３７の開放部周縁においてシーリング
ビード３９が突設されている。固定部３２にはガス通路
３７を挟む両側で垂直方向にボルト挿通穴４０が形成さ
れている。これらのボルト挿通穴４０はベースプレート
１に形成されたねじ穴４１（図２、図３、図６参照）に
対応している。
る。特に、図９（ａ）〜（ｃ）から明らかなように、固
定部３２の両側部に接続部３３と挿入部３４が一体に設
けられている。接続部３３は円柱状に形成され、挿入部
３４は前記機器取付けブロック３の貫通穴２１の一側部
に密に挿入し得るように円柱状に形成され、固定部３２
は直方体状に形成され、その下面の平坦面がベースプレ
ート１上に載せられるようになっている（図２、図３、
図６参照）。接続部３３の中間部外周にはねじ３５が形
成されている。挿入部３４は上部に前記機器取付けブロ
ック３の貫通穴２１の切欠形状に対応する平坦面３６が
切欠きにより形成され、この平坦面３６は機器取付けブ
ロック３の挿入穴２０の底面と同一平面上に位置し得る
ように設定されている。各終端流路ブロック５にはガス
通路３７が形成されている。各ガス通路３７は接続部３
３の端部側から終端流路ブロック５の軸心に沿うように
水平方向に形成され、この水平部分の端部で上方直角方
向に屈曲されて挿入部３４の平坦面３６、すなわち、機
器取付けブロック３の挿入穴２０の底部に開放されるよ
うになっている。接続部３３の端面にはガス通路３７の
開放部周縁にシーリングビード３８が突設され、平坦面
３６にはガス通路３７の開放部周縁においてシーリング
ビード３９が突設されている。固定部３２にはガス通路
３７を挟む両側で垂直方向にボルト挿通穴４０が形成さ
れている。これらのボルト挿通穴４０はベースプレート
１に形成されたねじ穴４１（図２、図３、図６参照）に
対応している。
【００２２】図１ないし図６に示すように、隣り合う機
器取付けブロック３における対向する貫通穴２１の各一
側部に中間流路ブロック４の両側の挿入部３６が密に挿
入され、終端部の機器取付けブロック３における貫通穴
２１の外側部に終端流路ブロック５の挿入部３４が密に
挿入されている。そして、中間部に位置する機器取付け
ブロック３においては、中間流路ブロック４の平坦面２
７と２７、すなわち、両ガス通路２８の開放部が挿入穴
２０の底部に配置されている。終端部に位置する機器取
付けブロック３においては、中間流路ブロック４の平坦
面２７と終端流路ブロック５の平坦面３６、すなわち、
ガス通路２８の開放部とガス通路３７の開放部が挿入穴
２０の底部に配置されている。このように機器取付けブ
ロック３、中間流路ブロック４、終端流路ブロック５と
が組み合わされた状態で、機器取付けブロック３の本体
部１１における下面の平坦面、中間流路ブロック４の固
定部２５における下面の平坦面、終端流路ブロック５の
固定部３２における下面の平坦面がそれぞれベースプレ
ート１の上面に載せられ、各固定部２５、３２のボルト
挿通穴３０、４０がベースプレート１のねじ穴３１、４
１に一致されている。各ボルト挿通穴３０、４０に上方
からボルト４２が挿通され、ボルト４２の先端部の頭部
下面と固定部２５、３２の上面との間にワッシャ４３が
介在された状態でボルト４２の先端部がねじ穴３１、４
１に螺入されることにより、各ブロック３、４、５がベ
ースプレート１に離脱可能に取付けられている。
器取付けブロック３における対向する貫通穴２１の各一
側部に中間流路ブロック４の両側の挿入部３６が密に挿
入され、終端部の機器取付けブロック３における貫通穴
２１の外側部に終端流路ブロック５の挿入部３４が密に
挿入されている。そして、中間部に位置する機器取付け
ブロック３においては、中間流路ブロック４の平坦面２
７と２７、すなわち、両ガス通路２８の開放部が挿入穴
２０の底部に配置されている。終端部に位置する機器取
付けブロック３においては、中間流路ブロック４の平坦
面２７と終端流路ブロック５の平坦面３６、すなわち、
ガス通路２８の開放部とガス通路３７の開放部が挿入穴
２０の底部に配置されている。このように機器取付けブ
ロック３、中間流路ブロック４、終端流路ブロック５と
が組み合わされた状態で、機器取付けブロック３の本体
部１１における下面の平坦面、中間流路ブロック４の固
定部２５における下面の平坦面、終端流路ブロック５の
固定部３２における下面の平坦面がそれぞれベースプレ
ート１の上面に載せられ、各固定部２５、３２のボルト
挿通穴３０、４０がベースプレート１のねじ穴３１、４
１に一致されている。各ボルト挿通穴３０、４０に上方
からボルト４２が挿通され、ボルト４２の先端部の頭部
下面と固定部２５、３２の上面との間にワッシャ４３が
介在された状態でボルト４２の先端部がねじ穴３１、４
１に螺入されることにより、各ブロック３、４、５がベ
ースプレート１に離脱可能に取付けられている。
【００２３】一方の終端に位置する機器取付けブロック
３の挿入穴２０にはトグル型手動ダイヤフラム弁６のボ
ディ９が挿入され、中間に位置する機器取付けブロック
３の挿入穴２０にはフィルタユニット７のボディ９が挿
入され、他方の終端に位置する機器取付けブロック３の
挿入穴２０には自動ダイヤフラム弁８のボディ９が挿入
され、各ボディ９の下面と挿入穴２０の底部との間にメ
タルガスケット４４が介在されている。このとき、各ボ
ディ９のフランジ部１４に形成されている幅の異なる位
置決め用切欠１５、１６を各機器取付けブロック３の筒
状部１９に突設された幅の異なる位置決め用突出部２
３、２４に係合することにより、各ボディ９のガス流入
通路１０とガス流出通路１１を所定の配置にセットする
ことができる。すなわち、トグル型手動ダイヤフラム弁
６においては、そのガス流入通路１０とガス流出通路１
１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６を介してガ
ス通路３７とガス通路２８とに連通され、フィルタユニ
ット７においては、そのガス流入通路１０とガス流出通
路１１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６を介し
てガス通路２８とガス通路２８とに連通され、自動ダイ
ヤフラム弁８においては、そのガス流入通路１０とガス
流出通路１１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６
を介してガス通路２８とガス通路３７とに連通される。
３の挿入穴２０にはトグル型手動ダイヤフラム弁６のボ
ディ９が挿入され、中間に位置する機器取付けブロック
３の挿入穴２０にはフィルタユニット７のボディ９が挿
入され、他方の終端に位置する機器取付けブロック３の
挿入穴２０には自動ダイヤフラム弁８のボディ９が挿入
され、各ボディ９の下面と挿入穴２０の底部との間にメ
タルガスケット４４が介在されている。このとき、各ボ
ディ９のフランジ部１４に形成されている幅の異なる位
置決め用切欠１５、１６を各機器取付けブロック３の筒
状部１９に突設された幅の異なる位置決め用突出部２
３、２４に係合することにより、各ボディ９のガス流入
通路１０とガス流出通路１１を所定の配置にセットする
ことができる。すなわち、トグル型手動ダイヤフラム弁
６においては、そのガス流入通路１０とガス流出通路１
１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６を介してガ
ス通路３７とガス通路２８とに連通され、フィルタユニ
ット７においては、そのガス流入通路１０とガス流出通
路１１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６を介し
てガス通路２８とガス通路２８とに連通され、自動ダイ
ヤフラム弁８においては、そのガス流入通路１０とガス
流出通路１１とがメタルガスケット４４の穴４５と４６
を介してガス通路２８とガス通路３７とに連通される。
【００２４】そして、各ボディ９に嵌合されているユニ
オンナット１７の内周の雌ねじが機器取付けブロック３
の雄ねじ２２に螺着されることにより、メタルガスケッ
ト４４にシーリングビード３９、２９、１２、１３が食
い込んだ確実なシール状態でボディ９が機器取付けブロ
ック３の挿入穴２０に取り付けられる。このようにして
所望本数のガス制御ライン２がベースプレート１上に設
けられることにより、パネル状の集積化ガス制御装置が
構成される。一方の終端に位置する終端流路ブロック５
の接続部３３はガス供給源側に接続され、他方の終端に
位置する終端流路ブロック５の接続部３３は所望のガス
供給先側に接続される。
オンナット１７の内周の雌ねじが機器取付けブロック３
の雄ねじ２２に螺着されることにより、メタルガスケッ
ト４４にシーリングビード３９、２９、１２、１３が食
い込んだ確実なシール状態でボディ９が機器取付けブロ
ック３の挿入穴２０に取り付けられる。このようにして
所望本数のガス制御ライン２がベースプレート１上に設
けられることにより、パネル状の集積化ガス制御装置が
構成される。一方の終端に位置する終端流路ブロック５
の接続部３３はガス供給源側に接続され、他方の終端に
位置する終端流路ブロック５の接続部３３は所望のガス
供給先側に接続される。
【００２５】前記のように構成された集積化ガス制御装
置において、いずれかのガス制御機器を交換するには、
そのユニオンナット１７を緩めることにより機械取付け
ブロック３から外し、新しいガス制御機器を前記と同様
にして機器取付けブロック３に取付けることができる。
また、所望のガス制御ライン２において、流路ブロック
４、５および機器取付けブロック３を増減することによ
り、ガス制御機器を増減することができる。
置において、いずれかのガス制御機器を交換するには、
そのユニオンナット１７を緩めることにより機械取付け
ブロック３から外し、新しいガス制御機器を前記と同様
にして機器取付けブロック３に取付けることができる。
また、所望のガス制御ライン２において、流路ブロック
４、５および機器取付けブロック３を増減することによ
り、ガス制御機器を増減することができる。
【００２６】前記のようにパネル状に構成された集積化
ガス制御装置に用いることにより、多数のガス制御ライ
ン２において、各機器取付けブロック３に縦型に接続さ
れた自動ダイヤフラム弁８等のガス制御機器を作動させ
ることにより、窒素ガス、水素ガス、モノシラン、ジシ
ラン、水素希釈ホスフィン、Ｎ2Ｏ、三弗化クロライド
等の高純度ガスの圧力制御、流量制御、混合、パージ等
の供給時の制御を確実に安定して行うことができる。
ガス制御装置に用いることにより、多数のガス制御ライ
ン２において、各機器取付けブロック３に縦型に接続さ
れた自動ダイヤフラム弁８等のガス制御機器を作動させ
ることにより、窒素ガス、水素ガス、モノシラン、ジシ
ラン、水素希釈ホスフィン、Ｎ2Ｏ、三弗化クロライド
等の高純度ガスの圧力制御、流量制御、混合、パージ等
の供給時の制御を確実に安定して行うことができる。
【００２７】前記の実施形態に係る集積化ガス制御装置
によれば、ガス制御ライン２を分解せずに、ユニオンナ
ット１７を外したり、螺着したりすることにより、ガス
制御機器を簡単に着脱できるので、メンテナンスが簡単
で、その費用も安価となる。また、ガス制御ライン２
は、標準化された機器取付けブロック３、流路ブロック
４、５を用いることにより、高自由度な流路構成を得る
ことができるとともに、設計、製作、組立に要するトー
タル製作リードタイムを短縮することができ、したがっ
て、半導体製造装置を新設する際の初期立上り時間を短
縮することができ、その上、流路構成の短縮化、直線化
を図ることができ、しかも、置換性、応答性等の性能も
向上する。
によれば、ガス制御ライン２を分解せずに、ユニオンナ
ット１７を外したり、螺着したりすることにより、ガス
制御機器を簡単に着脱できるので、メンテナンスが簡単
で、その費用も安価となる。また、ガス制御ライン２
は、標準化された機器取付けブロック３、流路ブロック
４、５を用いることにより、高自由度な流路構成を得る
ことができるとともに、設計、製作、組立に要するトー
タル製作リードタイムを短縮することができ、したがっ
て、半導体製造装置を新設する際の初期立上り時間を短
縮することができ、その上、流路構成の短縮化、直線化
を図ることができ、しかも、置換性、応答性等の性能も
向上する。
【００２８】また、各流路ブロック４、５の挿入部２
６、３４を機器取付けブロック３の貫通穴２１に挿入
し、挿入部２６、３４同士が突き合わされるように接近
させるようにしている。これにより、ガス制御ライン２
の長さは、ほぼ複数の終端流路ブロック５と複数の中間
流路ブロック４とを合計した長さとなり、各機器取付け
ブロック３の側方には各流路ブロック４、５の固定部２
５、３２のみ存在し、前記従来例のように隣接する流路
ブロック同士をねじ方式により接続する必要がなく、機
器取付けブロック３の挿入穴２０に挿入されて取付けら
れたガス制御機器間のピッチは最小限に短くなる。した
がって、ガス制御ライン２を著しく短縮化することがで
きる。
６、３４を機器取付けブロック３の貫通穴２１に挿入
し、挿入部２６、３４同士が突き合わされるように接近
させるようにしている。これにより、ガス制御ライン２
の長さは、ほぼ複数の終端流路ブロック５と複数の中間
流路ブロック４とを合計した長さとなり、各機器取付け
ブロック３の側方には各流路ブロック４、５の固定部２
５、３２のみ存在し、前記従来例のように隣接する流路
ブロック同士をねじ方式により接続する必要がなく、機
器取付けブロック３の挿入穴２０に挿入されて取付けら
れたガス制御機器間のピッチは最小限に短くなる。した
がって、ガス制御ライン２を著しく短縮化することがで
きる。
【００２９】また、機器取付けブロック３の挿入穴２０
を筒状部１９の下方まで深く形成し、一方、貫通穴２１
に挿入穴２０の底部まで挿入される中間流路ブロック４
および終端流路ブロック５の挿入部２６、３４の上部に
ガス制御機器のボディ９における下面の平坦面に対応す
る平坦面２７、３６を切欠により形成しているので、ガ
ス制御機器の高さが低くなり、取付けレベルの低位化を
実現することができる。しかも、中間流路ブロック４や
終端流路ブロック５の挿入部２６、３４の上部に平坦面
２７、３６を切欠により形成し、この部分に開放するガ
ス通路２８、３７の縦方向長さを非常に短くしているの
で、ガス制御機器のガス流入通路１０、ガス流出通路１
１までのデットボリュームを著しく縮小化することがで
きる。したがって、集積化ガス制御装置の一層のコンパ
クトと軽量化を実現することができる。
を筒状部１９の下方まで深く形成し、一方、貫通穴２１
に挿入穴２０の底部まで挿入される中間流路ブロック４
および終端流路ブロック５の挿入部２６、３４の上部に
ガス制御機器のボディ９における下面の平坦面に対応す
る平坦面２７、３６を切欠により形成しているので、ガ
ス制御機器の高さが低くなり、取付けレベルの低位化を
実現することができる。しかも、中間流路ブロック４や
終端流路ブロック５の挿入部２６、３４の上部に平坦面
２７、３６を切欠により形成し、この部分に開放するガ
ス通路２８、３７の縦方向長さを非常に短くしているの
で、ガス制御機器のガス流入通路１０、ガス流出通路１
１までのデットボリュームを著しく縮小化することがで
きる。したがって、集積化ガス制御装置の一層のコンパ
クトと軽量化を実現することができる。
【００３０】また、中間流路ブロック４と終端流路ブロ
ック５との間および中間流路ブロック４同士の間をねじ
方式により接続する必要がなくなり、機器取付けブロッ
ク３の貫通穴２１に挿入するだけでよく、しかも、中間
流路ブロック４と終端流路ブロック５の固定部２５と３
２をボルト４２によりベースプレート１のねじ穴３１、
４２に上方から締付けるだけであるから、固定作業を容
易に、かつ迅速に行うことができることは勿論のこと、
加工箇所、部品点数を削減することができ、しかも、ガ
ス制御機器のボディ９、機器取付けブロック３、中間流
路ブロック４、終端流路ブロック５等を標準化すること
ができるので、更に一層、製作リードタイムの短縮化と
コスト低減を実現することができる。
ック５との間および中間流路ブロック４同士の間をねじ
方式により接続する必要がなくなり、機器取付けブロッ
ク３の貫通穴２１に挿入するだけでよく、しかも、中間
流路ブロック４と終端流路ブロック５の固定部２５と３
２をボルト４２によりベースプレート１のねじ穴３１、
４２に上方から締付けるだけであるから、固定作業を容
易に、かつ迅速に行うことができることは勿論のこと、
加工箇所、部品点数を削減することができ、しかも、ガ
ス制御機器のボディ９、機器取付けブロック３、中間流
路ブロック４、終端流路ブロック５等を標準化すること
ができるので、更に一層、製作リードタイムの短縮化と
コスト低減を実現することができる。
【００３１】また、各ガス制御機器のボディ９を機器取
付けブロック３の挿入穴２０に挿入し、ボディ９の外周
に嵌合したナットを挿入穴２０を形成する筒状部１９の
内周に形成した雌ねじに螺合することもできるが、前記
本実施形態のように、各ガス制御機器のボディ９を機器
取付けブロック３の挿入穴２０に挿入し、ボディ９の外
周に嵌合したユニオンナット１７を挿入穴２０を形成す
る筒状部１９の外周に形成した雄ねじ２２に螺合するこ
とにより、ユニオンナット１７を雄ねじ２２に対して着
脱する際に両ねじ部から発生するパーティクル等が挿入
穴２０に侵入するのを防止することができる。
付けブロック３の挿入穴２０に挿入し、ボディ９の外周
に嵌合したナットを挿入穴２０を形成する筒状部１９の
内周に形成した雌ねじに螺合することもできるが、前記
本実施形態のように、各ガス制御機器のボディ９を機器
取付けブロック３の挿入穴２０に挿入し、ボディ９の外
周に嵌合したユニオンナット１７を挿入穴２０を形成す
る筒状部１９の外周に形成した雄ねじ２２に螺合するこ
とにより、ユニオンナット１７を雄ねじ２２に対して着
脱する際に両ねじ部から発生するパーティクル等が挿入
穴２０に侵入するのを防止することができる。
【００３２】なお、本発明は、前記実施形態に限定され
るものではなく、その基本的技術思想を逸脱しない範囲
で種々設計変更することができる。
るものではなく、その基本的技術思想を逸脱しない範囲
で種々設計変更することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明したように本発明によれば、
機器取付けブロックの貫通穴に終端流路ブロックの挿入
部、中間流路ブロックの挿入部を挿入し、終端流路ブロ
ックおよび中間流路ブロックの固定部をベースプレート
に固定するとともに、機器取付ブロックの挿入穴にガス
制御機器のボディを挿入し、各流路ブロックのガス通路
とガス制御機器のガス流入通路およびガス流出通路を連
通させた状態で、ボディを接続筒により機器取付けブロ
ックに取付けることができる。そして、流路ブロック同
士を直接接続することなく、各流路ブロックをベースプ
レートに固定するので、ガス制御機器間の配置間隔を短
縮することができ、また、加工箇所、部品点数を削減す
ることができる。したがって、装置全体のコンパクト
化、計量化等を図ることができ、また、低コスト化を図
ることができる。
機器取付けブロックの貫通穴に終端流路ブロックの挿入
部、中間流路ブロックの挿入部を挿入し、終端流路ブロ
ックおよび中間流路ブロックの固定部をベースプレート
に固定するとともに、機器取付ブロックの挿入穴にガス
制御機器のボディを挿入し、各流路ブロックのガス通路
とガス制御機器のガス流入通路およびガス流出通路を連
通させた状態で、ボディを接続筒により機器取付けブロ
ックに取付けることができる。そして、流路ブロック同
士を直接接続することなく、各流路ブロックをベースプ
レートに固定するので、ガス制御機器間の配置間隔を短
縮することができ、また、加工箇所、部品点数を削減す
ることができる。したがって、装置全体のコンパクト
化、計量化等を図ることができ、また、低コスト化を図
ることができる。
【００３４】機器取付けブロックの貫通穴を横断面円形
に形成するとともに、機器取付けブロックの挿入穴の底
部と前記円形の一部を切欠いた形状で連通させ、中間流
路ブロックおよび終端流路ブロックの挿入部を前記貫通
穴に対応する円柱状に形成し、前記挿入部上部を前記貫
通穴の切欠形状に対応するように切欠いて平坦面状に形
成することにより、機器取付けブロックからの各ガス制
御機器の突出高さをなるべく低くすることができて装置
全体を更に一層、コンパクト化することができる。
に形成するとともに、機器取付けブロックの挿入穴の底
部と前記円形の一部を切欠いた形状で連通させ、中間流
路ブロックおよび終端流路ブロックの挿入部を前記貫通
穴に対応する円柱状に形成し、前記挿入部上部を前記貫
通穴の切欠形状に対応するように切欠いて平坦面状に形
成することにより、機器取付けブロックからの各ガス制
御機器の突出高さをなるべく低くすることができて装置
全体を更に一層、コンパクト化することができる。
【００３５】各ガス制御機器のボディおよび機器取付け
ブロックが、前記ボディを機器取付けブロックの挿入穴
に挿入する際に前記ボディのガス流入通路とガス流出通
路を中間流路ブロック、終端流路ブロックのいずれかの
ガス通路の開放部と連通させるための位置決め手段を備
えることにより、特別な治具を用いることなく、各ガス
制御機器のボディを機器取付けブロックの挿入穴に正し
い姿勢で簡単に、かつ迅速に挿入して取付けることがで
きる。
ブロックが、前記ボディを機器取付けブロックの挿入穴
に挿入する際に前記ボディのガス流入通路とガス流出通
路を中間流路ブロック、終端流路ブロックのいずれかの
ガス通路の開放部と連通させるための位置決め手段を備
えることにより、特別な治具を用いることなく、各ガス
制御機器のボディを機器取付けブロックの挿入穴に正し
い姿勢で簡単に、かつ迅速に挿入して取付けることがで
きる。
【００３６】機器取付けブロックの上部周囲のねじを外
周に雄ねじとして形成し、各ガス制御機器を前記機器取
付けブロックに取付ける接続筒が内周に雌ねじを有し、
この雌ねじを前記雄ねじに螺着することにより、ガス制
御機器を機器取付けブロックに対して着脱する際にねじ
部から生じるパーティクルが機器取付けブロックの挿入
穴からガスラインに侵入することがなくなる。したがっ
て、信頼性を向上させることができる。
周に雄ねじとして形成し、各ガス制御機器を前記機器取
付けブロックに取付ける接続筒が内周に雌ねじを有し、
この雌ねじを前記雄ねじに螺着することにより、ガス制
御機器を機器取付けブロックに対して着脱する際にねじ
部から生じるパーティクルが機器取付けブロックの挿入
穴からガスラインに侵入することがなくなる。したがっ
て、信頼性を向上させることができる。
【００３７】中間流路ブロックおよび終端流路ブロック
をベースプレートに固定する固定手段として、中間流路
ブロックおよび終端流路ブロックにおけるガス通路を挟
む両側に配置され、ベースプレートに形成されたねじ穴
と、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの各固定
部に前記ねじ穴に対して形成されたボルト挿通穴と、前
記各固定部の上方から前記ボルト挿通穴に挿通されて前
記ねじ穴に螺着されるボルトとを備えることにより、簡
単に、かつ迅速に、しかも確実に固定作業を行うことが
できる。
をベースプレートに固定する固定手段として、中間流路
ブロックおよび終端流路ブロックにおけるガス通路を挟
む両側に配置され、ベースプレートに形成されたねじ穴
と、中間流路ブロックおよび終端流路ブロックの各固定
部に前記ねじ穴に対して形成されたボルト挿通穴と、前
記各固定部の上方から前記ボルト挿通穴に挿通されて前
記ねじ穴に螺着されるボルトとを備えることにより、簡
単に、かつ迅速に、しかも確実に固定作業を行うことが
できる。
【図１】本発明の一実施形態に係る集積化ガス制御装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図２】同集積化ガス制御装置を示す正面図である。
【図３】同集積化ガス制御装置を示す一部破断正面図で
ある。
ある。
【図４】同集積化ガス制御装置を示し、ガス制御機器を
除去した状態の平面図である。
除去した状態の平面図である。
【図５】同集積化ガス制御装置を示し、ガス制御機器を
除去した状態の一部破断平面図である。
除去した状態の一部破断平面図である。
【図６】同集積化ガス制御装置を示し、ガス制御機器を
除去した状態の中央部縦断面図である。
除去した状態の中央部縦断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる機器取付けブロックを示す平面図、
側面図、中央部縦断面図である。
ス制御装置に用いる機器取付けブロックを示す平面図、
側面図、中央部縦断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる中間流路ブロックを示す平面図、側
面図、中央部縦断面図である。
ス制御装置に用いる中間流路ブロックを示す平面図、側
面図、中央部縦断面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同集積化ガ
ス制御装置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、側
面図、中央部縦断面図である。
ス制御装置に用いる終端流路ブロックを示す平面図、側
面図、中央部縦断面図である。
【図１０】従来例に係る集積化ガス制御装置を示す一部
破断正面図である。
破断正面図である。
１ ベースプレート ２ ガス制御ライン ３ 機器取付けブロック ４ 中間流路ブロック ５ 終端流路ブロック ６ トグル型手動ダイヤフラム弁（ガス制御機器） ７ フィルタユニット（ガス制御機器） ８ 自動ダイヤフラム弁（ガス制御機器） ９ ボディ １０ ガス流入通路 １１ ガス流出通路 １７ ユニオンナット ２０ 挿入穴 ２１ 貫通穴 ２５ 固定部 ２６ 挿入部 ２８ ガス通路 ３２ 固定部 ３３ 接続部 ３４ 挿入部 ３７ ガス通路
Claims (8)
- 【請求項１】 ベースプレートと、ボディを有し、この
ボディの下面に開放されたガス流入通路およびガス流出
通路を有する複数種のガス制御機器と、上部に前記ガス
制御機器のボディを挿入する挿入穴を有し、上部周囲に
ねじを有し、下部水平方向に前記挿入穴と連通する貫通
穴を有する機器取付けブロックと、前記各ガス制御機器
のボディの外周に設けられ、このボディを前記機器取付
けブロックの挿入穴に挿入した状態で、前記ねじに螺着
して前記ボディを前記機器取付けブロックに取付ける接
続筒と、前記ベースプレートに固定する固定部を中間部
に有し、隣り合う前記機器取付けブロックの貫通穴にお
ける対向側の一側部に挿入し得る挿入部を前記固定部の
両側部に有し、前記両側の挿入部上部に開放され、この
開放部により前記ガス制御機器におけるガス流入通路お
よびガス流出通路と連通し得るガス通路を有する中間流
路ブロックと、前記ベースプレートに固定する固定部を
中間部に有し、接続部を前記固定部の一側部に有し、終
端に位置する前記機器取付けブロックの貫通穴における
終端側部に挿入し得る挿入部を前記固定部の他側部に有
し、前記挿入部上部に開放され、この開放部により前記
ガス制御機器におけるガス流入通路およびガス流出通路
のいずれか一方と連通し得るガス通路を有する終端流路
ブロックと、前記中間流路ブロックの固定部を前記ベー
スプレートに固定する固定手段と、前記終端流路ブロッ
クの固定部を前記ベースプレートに固定する固定手段と
を備えた集積化ガス制御装置。 - 【請求項２】 各ガス制御機器のボディが下面に平坦面
を有するとともに、ガス流入通路およびガス流出通路の
周縁部にシーリングビードを有し、中間流路ブロックお
よび終端流路ブロックの挿入部上部が前記ボディの平坦
面に対する平坦面を有するとともに、各ガス通路の周縁
部にシーリングビードを有し、前記ボディの平坦面と前
記挿入部の平坦面との間に前記各シーリングビードの食
い込み状態で介在されるメタルガスケットを備えた請求
項１記載の集積化ガス制御装置。 - 【請求項３】 機器取付けブロックの貫通穴が横断面円
形に形成されるとともに、挿入穴の底部と前記円形の一
部が切欠かれた形状で連通され、中間流路ブロックおよ
び終端流路ブロックの挿入部が前記貫通穴に対応する円
柱状に形成され、前記挿入部上部が前記貫通穴の切欠形
状に対応して切欠かれて平坦面状に形成された請求項２
記載の集積化ガス制御装置。 - 【請求項４】 各ガス制御機器のボディおよび機器取付
けブロックが、前記ボディを前記機器取付けブロックの
挿入穴に挿入する際に前記ボディのガス流入通路とガス
流出通路を中間流路ブロック、終端流路ブロックのいず
れかのガス通路の開放部と連通させるための位置決め手
段を備えた請求項１ないし３のいずれかに記載の集積化
ガス制御装置。 - 【請求項５】 機器取付けブロックの上部周囲のねじが
外周に雄ねじとして形成され、各ガス制御機器を前記機
器取付けブロックに取付ける接続筒が内周に雌ねじを有
し、この雌ねじが前記雄ねじに螺着される請求項１ない
し４のいずれかに記載の集積化ガス制御装置。 - 【請求項６】 中間流路ブロックのベースプレートに対
する固定手段が、前記中間流路ブロックにおけるガス通
路を挟む両側に配置され、前記ベースプレートに形成さ
れたねじ穴と、前記中間流路ブロックの固定部に前記ね
じ穴に対応して形成されたボルト挿通穴と、前記固定部
の上方から前記ボルト挿通穴に挿通されて前記ねじ穴に
螺着されるボルトとを備えた請求項１ないし５のいずれ
かに記載の集積化ガス制御装置。 - 【請求項７】 終端流路ブロックのベースプレートに対
する固定手段が、前記終端流路ブロックにおけるガス通
路を挟む両側に配置され、前記ベースプレートに形成さ
れたねじ穴と、前記終端流路ブロックの固定部に前記ね
じ穴に対応して形成されたボルト挿通穴と、前記固定部
の上方から前記ボルト挿通穴に挿通されて前記ねじ穴に
螺着されるボルトとを備えた請求項１ないし６のいずれ
かに記載の集積化ガス制御装置。 - 【請求項８】 ガス制御機器が、自動ダイヤフラム弁、
トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルタユニット、チェ
ック弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、レギュレータ、
マスフローコントローラ、マスフローメータから選択使
用される請求項１ないし７のいずれかに記載の集積化ガ
ス制御装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12437799A JP4244254B2 (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 集積化ガス制御装置 |
| TW089105363A TW472124B (en) | 1999-04-30 | 2000-03-23 | Integrated gas control device |
| KR10-2000-0016301A KR100420270B1 (ko) | 1999-04-30 | 2000-03-29 | 집적화 가스 제어장치 |
| GB0008924A GB2349444A (en) | 1999-04-30 | 2000-04-11 | Gas control unit manifold |
| US09/556,434 US6216739B1 (en) | 1999-04-30 | 2000-04-24 | Integrated gas control device |
| DE10020722A DE10020722B4 (de) | 1999-04-30 | 2000-04-27 | Integriertes Gassteuergerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12437799A JP4244254B2 (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 集積化ガス制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000314500A true JP2000314500A (ja) | 2000-11-14 |
| JP4244254B2 JP4244254B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=14883907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12437799A Expired - Fee Related JP4244254B2 (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | 集積化ガス制御装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6216739B1 (ja) |
| JP (1) | JP4244254B2 (ja) |
| KR (1) | KR100420270B1 (ja) |
| DE (1) | DE10020722B4 (ja) |
| GB (1) | GB2349444A (ja) |
| TW (1) | TW472124B (ja) |
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| JP5127304B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2013-01-23 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH10300000A (ja) * | 1997-02-28 | 1998-11-13 | Benkan Corp | 集積化ガス制御装置 |
| US6012469A (en) | 1997-09-17 | 2000-01-11 | Micron Technology, Inc. | Etch residue clean |
| JP3780096B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2006-05-31 | シーケーディ株式会社 | プロセスガス供給ユニット |
| US6085783A (en) * | 1998-09-02 | 2000-07-11 | Hollingshead; J. Gregory | Unified modular multi-directional flow chemical distribution block |
| JP3921565B2 (ja) * | 1998-07-10 | 2007-05-30 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
| US6125887A (en) * | 1999-09-20 | 2000-10-03 | Pinto; James V. | Welded interconnection modules for high purity fluid flow control applications |
-
1999
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