JP2001153290A - 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安定したシール性能を持ち、低コスト・軽量
の集積型ガス供給ユニット用モジュールブロックを提供
すること。 【解決手段】 機能部品42〜49を互いに接続するための
配管継手1と、配管継手1を保持するベースブロック11、
21、31とで構成されるモジュールブロックである。配管
継手1のガス流入口が機能部品の出力ポートヘ、配管継
手1のガス流出口が機能部品の入力ポートに位置するよ
う配置する。そして、ベースブロック1、21、31と機能
部品で配管継手1を挟んで固定する。これによって、シ
ール部は、流路に垂直な方向のみとなり、安定したシー
ル性能を得ることができる。また、接ガス部として最低
必要限の部位である配管継手1のみに、接ガス部として
要求される品質の材料を適用し、低コスト・軽量化を図
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいて使用されるプロセスガス供結ユニットに適用され
るモジュールブロックに関し、さらに詳細には半導体、
フラットパネルディスプレイ(FPD)業界の規格である半
導体製造装置材料協会(Semi conductor Equipment and
Materials Institute)標準規格(以下SEMIスタンダード
という)の2787.1〜5に規定するシール方式を有するプロ
セスガス供給弁、パージ弁、減圧弁、フィルタ、マスフ
ローコントローラ、逆止弁、圧カトランスデューサ、真
空弁等(以下「機能部品」という)を接続するモジュール
ブロックに関する。

【0002】

【従来の技術】半導体工程、例えばエッチング工程にお
いては、プラズマエッチングによる選択エッチングなど
プロセスガスの種類を変えて複数回の処理が行われる。
このため、複数種類のプロセスガスを必要に応じて供給
するガス供結装置が使用されている。

【0003】これらのプロセスガスを供給するガス供給装置
は、供給するガスの圧力を一定に制御するためのレギュ
レータと、ガス圧力を監視するための圧力トランスデュ
ーサまたは圧力計、ガス中の不純物(パーティクル)を除
去するためのフィルタ、ガスの流量を正確に制御するた
めのマスフローコントローラ、ガスの切替えを行うため
の開閉弁、ガスの切替え時に配管内に残留しているガス
をパージするためのパージ弁、ガスの逆流を防ぐ逆止弁
等の機能部品が構成要素として必要である。

【0004】従来のプロセスガスのガス供給装置は、レギュ
レータ、圧力トランスデューサまたは圧力計、フィル
タ、マスフローコントローラ、開閉弁、パージ弁、逆止
弁等の各機能部品を固定用の架台に取付け、これらを設
計されたガス流路に基づきベースプレート上に配置し、
各々の機能部品を配管により接続していた。

【0005】しかし、この各機能部品間を配管により接続す
る方式は、配管の溶接部から発生するパーティクルの問
題や、溶接部の耐食性などの問題を有する。しかも、ガ
ス流路の設計変更は、一度配置した機能部品を再度配置
し直すと同時に、その配置の変更に伴い配管を再設計す
る必要があり、労力的にもコスト的にも弊害があった。
また、各機能部品は、同じ機能を有するものでも製造メ
ーカにより形状が異なり、機能部品のメーカ変更を行う
場合にも、同様に配管の再設計が必須であった。

【0006】このため、最近のプロセスガス供給装置では、
機能部品のガス入口部、出口部の形状や機能部品の固定
方法などが、半導体製造装置材料協会によりSEMIスタン
ダードとして標準化され、各機能部品を配管を使用する
ことなく、設計されたガス流路通りに接続した集積型ガ
ス供給ユニットが用いられている。

【0007】集積型ガス供給ユニットは、例えば、特開平8-
227836号公報、特開平10-214117号公報に記載のよう
に、前記各機能部品の入力ポートおよび出力ポートを、
流路を変換する入力変換ブロックおよび出力変換ブロッ
クさらに機能部品の流路を形成する流路ブロックと接続
し、設計されたガス流路に基づき配置したものである。

【0008】また、特開平11-51226号公報には、各機能部品
の少なくともひとつを取付けるモジュールブロックと、
モジュールブロック間の流路を形成するほぼV字流路が
形成されたベースブロックから構成され、これらを設計
されたガス流路に基づき接続したものが開示されてい
る。

【0009】

【発明が解決しようとする課題】特開平8-227836号公
報、特開平10-214117号公報に開示されている流路を変
換する入力変換ブロックおよび出力変換ブロックさらに
機能部品の流路を形成する流路ブロックでは、ブロック
間の流路断面方向に継手が存在する構造となっている。
このため、ブロックと機能部品の流路に形成される垂直
な方向のシールおよびブロック間に形成される流路方向
のシールを同時に達成しなければならず、安定したシー
ル性能が得られない危険性があった。

【0010】また特開平11-51226号公報に開示されているモ
ジュールブロックとベースブロックの組合せは、ベース
ブロックの交換の際、開閉弁等の機能部品とモジュール
ブロックを取り外す必要があり、メンテナンスコストが
増大するという間題点があった。

【0011】さらに、モジュールブロックおよびベースブロ
ック自身が接ガス部となっているため、ブロックを成形
する際、接ガス部に要求される品質の材料を用いなけれ
ばならず、コスト的にも不利であった。

【0012】同時に、ガス流路がほぼV字形になっているた
め、ブロックの縦方向の長さを大きくとる必要がありブ
ロック自身の重量増大につながる問題点があった。

【0013】本発明の目的は、上述従来技術の欠点を解消
し、限られた配管継手のみでガス流路の接続方向を変換
すると同時に、機能部品の流路に垂直な方向のみのシー
ル構造とし、安定したシール性能を持ち、接ガス部とし
て最低必要限の部位のみに接ガス部として要求される品
質の材料を適用し、低コスト・軽量の集積型ガス供給ユ
ニット用モジュールブロックを提供することにある。

【0014】

【課題を解決するための手段】本発明のSEMIスタンダー
ド2787に規定されたシール構造を持つ機能部品に適用す
るモジュールブロックは、両端上面にシール面を有する
U字型流路を形成した配管継手と、配管継手を保持する
ベースブロックとから構成されている。

【0015】ベースブロックは、上面に配管継手のシール部
と流路管を保持する凹溝とU字溝を有している。なお、
配管継手のシールブロックを保持するベースブロックの
凹溝は、開口とし、シールブロックをベースブロックで
保持してもよい。また、ベースブロックは、ベースプレ
ートに固定するための座ぐり付き空孔と機能部品を接続
するためのタップ孔を有する。配管継手は、両端シール
部上面のシール面が機能部品の入力ポートと出力ポート
に接続する構造となっている。したがって、配管継手と
機能部品のシールは、流路に垂直な方向のみとなり、安
定したシール性能を得ることができる。

【0016】開閉弁等の機能部品は、1個のベースブロック
に接続固定する。このため、配管継手は、ベースブロッ
クと開閉弁等の機能部品とで挟むことにより固定され
る。このとき、配管継手は、2個のベースブロックに跨
って取付けられることになる。したがって、配管継手
は、開閉弁等の機能部品を取外すのみで交換することが
でき、メンテナンスコストの軽減が可能である。

【0017】さらに、本発明のモジュールブロックは、接ガ
ス部として要求される品質の材料を適用しなければなら
ないのは配管継手のみであり、ベースブロックには接ガ
ス部としての品質が要求されないため、モジュールブロ
ックの軽量化および価格の低減が可能である。

【0018】本発明のモジュールブロックのベースブロック
には、配管継手載置用の凹溝、U字溝が十字に加工され
ている。このため、配管継手をベースブロックに固定す
る際には、ガス流路に対し同一面内で直線状もしくは直
角に取付けることが可能であり、ガスの流れ方向を同一
モジュールブロックのみで変更することが可能である。

【0019】

【発明の実施の形態】本発明の集積型ガス供給ユニット
用モジュールブロックは、配管継手とベースブロックか
ら構成され、ベースブロックには、該配管継手を載置す
るための凹溝、U字溝と、開閉弁等の機能部品を固定す
るためのタップ孔と、ベースプレートに固設するための
座ぐり付き空孔が加工されている。したがって、ベース
ブロックは、ベースプレートに固定すると、ボルトの頭
が座ぐりに埋没してベースブロック側面からは見えない
構造になっている。

【0020】開閉弁等の機能部品は、1個のベースブロック
に固定するため、配管継手はベースブロックと開閉弁等
の機能部品とに挟まれることにより固定される。このと
き、配管継手は、2個のベースブロックに跨って取付け
られることになる。

【0021】なお、最上流のモジュールブロックは、配管継
手のガス流入口にプロセスガス供給配管を接続するもの
で、配管継手のガス流出口を最上流の開閉弁等の機能部
品の入力ポートに接続する。最下流のモジュールブロッ
クは、ガス種が1系列または複数系列でプロセスガス導
出配管を集合させる必要のない場合、最下流の機能部品
の出力ポートに配管継手のガス流入口を接続する配管継
手のガス流出口に、プロセスガス導出配管を接続する。
また複数系列でプロセスガス導出配管を集合させる場合
は、最下流の集合させる機能部品の出力ポートに接続す
る配管継手のガス流出口に、集合させる系列数に応じて
連結された配管を接続してプロセスガス配管を集合させ
た後、該集合配管のガス流出口をプロセスガス導出配管
に接続する。

【0022】パージ弁用のモジュールブロックは、ガス種が
1系列の場合はパージ弁の側面にパージガス導入用機能
部品を固定するためのベースブロックを配置し、配管継
手のガス流出口をパージ弁に接続し、配管継手のガス流
入口にパージガス導入用機能部品の出力ポートを接続す
る。複数系列の場合は、図8に示すように、系列数に応
じて配管継手61を延長し、系列数のガス流出口62と一端
にガス流入口63を配置する。配管継手61は、各系列のパ
ージ弁用のベースブロックの中心にガス流出口62を位置
させ、各パージ弁の入力ポートに配管継手61のガス流出
口62を接続し、最端のパージ弁の側面にパージガス導入
用機能部品を固定するためのベースブロックを配置し、
凹溝に配管継手61のガス流入口63を載置し、パージガス
導入用機能部品の出力ポートを接続する。

【0023】本発明のモジュールブロックを構成するベース
ブロックには、前記配管継手を固定するための凹溝、U
字溝が十字に加工されており、開閉弁等の機能部品を固
定するためのタップ孔と、ベースプレートに固設するた
めの座ぐり付き空孔が設けられている。ベースブロック
をベースプレートに固設する際には、ボルト頭がベース
ブロックの座ぐりに埋没してベースブロック側面からは
見えない構造になっている。開閉弁等の機能部品は、1
個のベースブロックに固定するため、配管継手はベース
ブロックと開閉弁等の機能部品との間に配管継手が挟ま
れて固定され、シール性能を維持することができる。

【0024】なお、SEMIスタンダードの2787.1〜2787.5に規
定するシール方式を有する各機能部品は、入力ポートと
出力ポートの中心間距離が異なるため、ベースブロック
に設ける凹溝位置、U字溝位置および配管継手の流路管
の長さを、各機能部品の入力ポートと出力ポートの中心
間距離に応じて調整することは、言うまでもない。

【0025】

【実施例】実施例1 SEMIスタンダードの2787.1に規定するシール方式を有す
る機能部品の本発明の集積型ガス供給ユニット用モジュ
ールブロックについて図面を参照して説明する。図1は
配管継手を示すもので、(a)図は側断面図、(b)図は平面
図、図2は最上流ベースブロックおよび最下流ベースブ
ロックを示すもので、(a)図は平面図、(b)図は側面図、
図3は機能部品を固定するためのベースブロックを示す
もので、(a)図は平面図、(b)図は側面図、図4はパージ
弁用ベースブロックを示すもので、(a)図は平面図、(b)
図は側面図である。

【0026】図1(a)(b)に示すように、配管継手1は、ベース
ブロックに固定する際、座りを良くするため、シールブ
ロックを形成する両端を六面体ブロック2、3とし、六面
体ブロック2、3を流路管6で連結し、側断面からみてU字
型に流路を形成している。ガス流入口4およびガス流出
口5は、それぞれ隣りあった機能部品の出力ポートおよ
び入力ポートに接続される。

【0027】また、配管継手1のガス流入口4およびガス流出
口5は、六面体ブロック2の上面から見て中央にあり、六
面体ブロック2の各辺の長さは、開閉弁等の機能部品の
入力ポートと出力ポートの中心距離よりも短くなってい
る。このため、機能部品の出力ポートに接続する配管継
手1は、機能部品の入力ポートにガス流出口3を接続する
配管継手1と干渉することなく、方向を90°変えて取付
けることとが可能であり、プロセスガスの流れ方向を変
更することができる。

【0028】図2(a)(b)は、最上流、最下流およびマスフロ
ーコントローラ入出側のベースブロック11を示すもの
で、ベースプレートに取り付けるための座ぐり付き空孔
12が設けられており、ベースブロック11をベースプレー
トに取り付けるためのボルトの頭は、座ぐりに埋没して
ベースブロック11の側面から見えない構造になってい
る。また、ベースブロック11の上面には、配管継手1の
ガス流入口4を設けた六面体ブロック2を載置するための
凹溝13が形成されている。最下流に配置するベースブロ
ック11の場合は、ベースブロック11の凹溝13に配管継手
1のガス流出口5を設けた六面体ブロック3を載置する構
造となっている。

【0029】さらに、ベースブロック11には、プロセスガス
導入配管またはプロセスガス導出配管を固定するための
タップ孔14が加工されている。配管継手1のガス流入口4
を設けた六面体ブロック2またはガス流出口5を設けた六
面体ブロック3は、最上流ベースブロック11または最下
流ベースブロック11とプロセスガス導入配管またはプロ
セスガス導出配管で挟み込んで固定し、シール性能を維
持する構造となっている。本ベースブロック11は、プロ
セスガスとの接ガス部位を持たないため、接ガス部に要
求される品質の材料を用いる必要はない。

【0030】図3(a)(b)は、機能部品を接続するベースブロ
ック21を示すもので、ベースプレートに取付けるための
座ぐり付き空孔22が設けられており、ベースブロック21
をベースプレートに取り付けるためのボルトの頭は、座
ぐりに埋没してベースブロック21の側面から見えない構
造になっている。また、ベースブロック21の上面には、
配管継手1の六面体ブロック2、3が2個入る凹溝23が、中
心部からプロセスガス流路方向の下流側に、凹溝23に連
続して流路管5を載置するためのU字溝24がプロセスガス
流路方向に形成され、中心部の凹溝23と直角方向にU字
溝25が上面からみて十字に形成されている。

【0031】通常、ベースブロック21には、機能部品の入力
ポートに接続する配管継手1のガス流出口5と、その下流
の機能部品の入力ポートに接続する配管継手1のガス流
入口4が固定される。この時、下流の機能部品の入力ポ
ートに接続される配管継手1のガス流出口5は、ベースブ
ロック21を上面から見て十字に加工された凹溝23とU字
溝25の交差点に配置される。このため、配管継手1は、
ベースブロック21に対して固定方向を90°変更すること
が可能である。このことにより、単一種の配管継手1で
機能部品の配列方向を直列方向の並びから直角に変更す
ることが可能である。また、ベースブロック21には、機
能部品を接続するためのタップ孔26が穿孔されている。

【0032】配管継手1のガス流入口4を設けた六面体ブロッ
ク2またはガス流出口5を設けた六面体ブロック3は、最
上流ベースブロック11、最下流ベースブロック11または
ベースブロック21とプロセスガス導入配管、プロセスガ
ス導出配管または機能部品との間に挟み込んで固定し、
シール性能を維持する構造となっている。本ベースブロ
ック21は、プロセスガスとの接ガス部位を持たないた
め、接ガス部に要求される品質の材料を用いる必要はな
い。

【0033】図4(a)(b)は、ポートを3個有するパージ弁等の
機能部品を接続するベースブロック31を示すもので、ベ
ースプレートに取付けるための座ぐり付き空孔32が設け
られている。ベースブロック31をベースプレートに取り
付けるためのボルトの頭は、座ぐりに埋没してベースブ
ロック31の側面から見えない構造になっている。また、
ベースブロック31の上面には、配管継手1の六面体ブロ
ック2、3を3個載置するための凹溝33が、中心部からプ
ロセスガス流路方向の両辺に向かって伸び、凹溝33に連
続して流路管5を載置するためのU字溝34と、上面からみ
て凹溝33と十字に交差するU字溝35がプロセスガス搬送
方向と直角方向の両辺まで形成されている。

【0034】ベースブロック31の凹溝33には、上流側に位置
する機能部品の出力ポートに接続される配管継手1のガ
ス流入口4を設けた六面体ブロック2と、その下流の機能
部品の入力ポートに接続される配管継手1のガス流出口5
を設けた六面体ブロック3に挟まれる形で、プロセスガ
スの流路に対し直角にもう一つの配管継手1のガス流入
口4を設けた六面体ブロック2またはガス流出口5を設け
た六面体ブロック3がベースブロック31の中央に載置さ
れる。

【0035】この配管継手1の他方のガス流出口5を設けた六
面体ブロック3またはガス流入口4を設けた六面体ブロッ
ク2は、本ベースブロック31のプロセスガス流路に対し
て横に配置されたベースブロックの凹溝に載置され、パ
ージガス導入配管と接続される。また、ベースブロック
31には、機能部品を接続するためのタップ孔36が穿孔さ
れている。配管継手1を機能部品とで挟んで固定し、シ
ール性能を維持する構造となっている。さらに本ベース
ブロック31は、プロセスガスとの接ガス部を持たないた
め、接ガス部に要求される品質の材料を用いる必要はな
く、コストの低減が可能である。

【0036】実施例2 本発明の集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック
を用いた8系列のガスラインの1例を図5〜図7により説明
する。図5は本発明の集積型ガス供給ユニット用モジュ
ールを適用したガス供給ラインの平面図、図6は図5の側
面図、図7はガス導出配管側から見た背面図である。な
お、図5は理解を助けるためにベースブロックの上部に
取り付けられている開閉弁等の機能部品を部分的に省略
している。また、配管継手1、ベースブロック11、21、3
1の説明は、実施例1を参照のこと。

【0037】プロセスガス供給ラインは、ベースブロック11
a、ベースブロック21a〜21e、ベースブロック31、ベー
スブロック11b、11c、21fおよび11d、配管継手1а〜1
j、ガス導入配管41、および開閉弁42、レギュレータ4
3、圧力トランスデューサ44、フィルタ45、開閉弁46、
パージ弁47、マスフローコントローラ48、開閉弁49、ガ
ス導出配管50を組合わせ、ベースプレート51に固定して
いる。

【0038】先ず、ベースブロック11а、ベースブロック21
a〜21e、ベースブロック31、ベースブロック11b、11c、
21fおよび11dをベースプレート51上に配置し、座ぐり付
き空孔12、22、32を介してボルトで所定間隔で固設す
る。なお、ベースブロック11aとマスフローコントロー
ラ48に接続するベースブロック11bおよび11cとベースブ
ロック11dは同一品で、取付けの向きがそれぞれ異なる
のみである。

【0039】配管継手1aのガス流入口4を設けた六面体ブロ
ック2は、最上流のベースブロック11aの凹溝13に、配管
継手1aのガス流出口5を設けた六面体ブロック3は、その
下流側のベースブロック21aの凹溝23の上流側に、配管
継手1aの流路管6はベースブロック21aのU字溝24に載置
する。

【0040】さらに、別の配管継手1bのガス流入口4を設け
た六面体ブロック2を該ベースブロック21aの凹溝23の下
流側に、配管継手1bの流路管6はベースブロック21aのU
字溝24に載置する。配管継手1bのガス流出口5を設けた
六面体ブロック3は、ベースブロック21aの下流側に位置
するベースブロック21bの凹溝23の上流側に、配管継手1
bの流路管6はベースブロック21bのU字溝24に載置する。
これを、出口ブロック11dまで繰り返し、配管継手1a〜1
jを載置する。

【0041】次にガスケットを入口ベースブロック11a、ベ
ースブロック21a〜21e、ベースブロック31、11b、11c、
21fおよび11d上に配置された配管継手1a〜1jのガス流入
口4とガス流出口5の周囲に位置させて載置する。

【0042】ガス導入配管41は、ベースブロック11aの凹溝1
3に載置された配管継手1aの六面体ブロック2のガス流入
口4に位置させ、六面体ブロック2との間にガスケットを
挟み、ベースブロック11aのタップ孔14にボルトをねじ
込んで固定する。

【0043】開閉弁42は、開閉弁42の入力ポートをベースブ
ロック21aの凹溝23に載置された配管継手1aの六面体ブ
ロック3のガス流出口5に、出力ポートをベースブロック
21aの凹溝23に載置された配管継手1bの六面体ブロック
のガス流入口4に位置させ、六面体ブロック2、3との間
にガスケットを挟み、ベースブロック21aのタップ孔26
にボルトをねじ込んで固定する。

【0044】レギュレータ43は、レギュレータ43の入力ポー
トをベースブロック21bの凹溝23に載置された配管継手1
bの六面体ブロック3のガス流出口5に、出力ポートをベ
ースブロック21bの凹溝23に載置された配管継手1cの六
面体ブロック2のガス流入口4に位置させ、六面体ブロッ
ク2、3との間にガスケットを挟み、ベースブロック21b
のタップ孔26にボルトをねじ込んで固定する。

【0045】圧力トランスデューサ44は、入力ポートをベー
スブロック21cの凹溝23に載置された配管継手1cの六面
体ブロック3のガス流出口5に、出力ポートをベースブロ
ック21cの凹溝23に載置された配管継手1dの六面体ブロ
ック2のガス流入口4に位置させ、六面体ブロック2、3と
の間にガスケットを挟み、ベースブロック21cのタップ
孔26にボルトをねじ込んで固定する。

【0046】フィルタ45は、フィルタ45の入力ポートをベー
スブロック21dの凹溝23に載置された配管継手1dの六面
体ブロック3のガス流出口5に、出力ポートをベースブロ
ック21dの凹溝23に載置された配管継手1eの六面体ブロ
ック2のガス流入口4に位置させ、六面体ブロック2、3と
の間にガスケットを挟み、ベースブロック21dのタップ
孔26にボルトをねじ込んで固定する。

【0047】開閉弁46は、開閉弁46の入力ポートをベースブ
ロック21eの凹溝23に載置された配管継手1eの六面体ブ
ロック3のガス流出口5に、出力ポートをベースブロック
21eの凹溝23に載置された配管継手1fの六面体ブロック2
のガス流入口4に位置させ、六面体ブロック2、3との間
にガスケットを挟み、ベースブロック21eのタップ孔26
にボルトをねじ込んで固定する。

【0048】パージ弁47は、パージ弁47の第1入力ポートを
ベースブロック31の凹溝33に載置された配管継手1fの六
面体ブロック3のガス流出口5に、パージ弁47の第2入力
ポートをベースブロック31の凹溝33の中央に配置された
配管継手1gの六面体ブロック3のガス流出口5に、パージ
弁47の出力ポートをベースブロック31の凹溝33に載置さ
れた配管継手1hの六面体ブロック2のガス流入口5に位置
させ、六面体ブロック2、2、3との間にガスケットを挟
み、ベースブロック31のタップ孔36にボルトをねじ込ん
で固定する。

【0049】マスフローコントローラ48は、マスフローコン
トローラ48の入力ポートをベースブロック11bの凹溝13
に載置された配管継手1hの六面体ブロック3のガス流出
口5に、出力ポートをベースブロック11cの凹溝13に載置
された配管継手1iの六面体ブロック2のガス流入口4に位
置させ、六面体ブロック2、3との間にガスケットを挟
み、ベースブロック11bおよび11cのタップ孔14にボルト
をねじ込んで固定する。

【0050】開閉弁49は、開閉弁49の入力ポートをベースブ
ロック21fの凹溝23に載置された配管継手1iの六面体ブ
ロック3のガス流出口5に、出力ポートをベースブロック
21fの凹溝23に載置された配管継手1jの六面体ブロック2
のガス流入口4に位置させ、六面体ブロック2、3との間
にガスケットを挟み、ベースブロック21fのタップ孔26
にポルトをねじ込んで固定する。

【0051】ガス導出配管50は、ベースブロック11dの凸溝1
3に配置された配管継手1jの六面体ブロック3のガス流出
口5に位置させ、六面体ブロック3との間にガスケットを
挟み、ベースブロック11dのタップ孔14にボルトをねじ
込んで固定する。ガス導出配管50は、導出ガス配管を集
合させる必要がある場合、配管52で連結する。

【0052】このようにして、ガス導入配管41、開閉弁42、
レギュレータ43、圧カトランスデューサ44、フィルタ4
5、開閉弁46、パージ弁47、マスフローコントローラ4
8、開閉弁49、ガス導出配管50は、配管継手1a〜1jを介
してベースプレート上に流路を形成する。

【0053】このため、集積型ガス供給ユニット用モジュー
ルブロックは、ベースブロック11a〜11d、ベースブロッ
ク21a〜21f、ベースブロック31、配管継手1a〜1jおよび
ガス導入配管41およびガス導出配管50の5種類の部品の
みで構成することが可能である。また、シール部は、全
て配管継手1a〜1jの六面体ブロック2、3と機能部品の入
力ポート、出力ポートの間にガスケットを挟んで垂直に
形成され、一方向の締付けでシールするため、安定した
シール性能を維持することができる。

【0054】

【発明の効果】本発明の集積型ガス供給ユニット用モジ
ュールブロックは、ベースブロックと配管継手からな
り、SEMIスタンダード規格2787に規定されるシール構造
を持つ開閉弁等の機能部品との接続を、機能部品と配管
継手のシール面のみでシールする構造であるため、モジ
ュールブロック間にシール面がなく、高いシール性能が
得られる。

【0055】また、配管継手は、ガス流路に対して90度に配
置することが可能であるため、同一部品を用いて容易に
ガス流路方向を変更することが可能である。また、接ガ
ス部に要求される品質の材料は、配管継手のみに適用す
るだけで、ベースブロックにはその品質が要求されない
ため、安価に機能部品間の流路を形成することが可能で
ある。さらに、ベースブロックは、機能部品と配管継手
の固定の役割を持つので、ガス流路を形成する必要がな
く、ベースブロックの厚みを薄くすることができ、モジ
ュールブロックの軽量化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図1】配管継手を示すもので、(a)図は側断面図、(b)
図は平面図である。

【図2】ガス導入部およびガス導出部、マスフローコン
トローラの入出口部の接続に使用されるベースブロック
を示すもので、(a)図は平面図、(b)図は側面図である。

【図3】入出口の2つのポートを有する機能部品を固定す
るためのベースブロックを示すもので(3)図は平面図、
(b)図は側面図である。

【図4】3つの入出口ポートを有する機能部品を固定する
ためのベースブロックを示すもので(a)図は平面図、(b)
図は側面図である。

【図5】本発明による集積型ガス供給ユニット用モジュ
ールブロックを適用した8系列のガスラインの1例を示す
平面図である。

【図6】図5の側面図である。

【図7】図7は図5のガス導出配管側からみた背面図であ
る。

【図8】複数系列用の配管継手を示すもので、(a)図は側
断面図、(b)図は平面図である。

【符号の説明】

1、61 配管継手 2、3 六面体ブロック 4、63 ガス流入口 5、62 ガス流出口 6 流路管 11、21、31 ベースブロック 12、22、32 座ぐり付き空孔 13、23、33 凹溝 14、26、36 タップ孔 24、25、34、35 U字溝 41 ガス導入配管 42、46、49 開閉弁 43 レギュレータ 44 圧力トランスデューサ 45 フィルタ 47 パージ弁 48 マスフローコントローラ 50 ガス導出配管 51 ベースプレート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大塚 保則 和歌山県和歌山市湊1850番地 共同酸素株 式会社内 Ｆターム(参考） 3H019 BA33 BD05 3H051 BB04 CC07 CC15 CC16 FF01 3J106 AB01 BA02 BB02 BC09 BD01 BE12 BE31 BE33 CA11 5F004 BC03

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項1】 開閉弁等の機能部品を互いに接続するた
   めの配管継手と、該配管継手を保持するベースブロック
   で構成されるモジュールブロックであって、ベースブロ
   ックに載置した配管継手のガス流入口が機能部品の出力
   ポートヘ、ガス流出口が機能部品の入力ポートに位置す
   るよう配置し、ベースブロックと機能部品で配管継手を
   挟んで固定することを特徴とする集積型ガス供給ユニッ
   ト用モジュールブロック。
2. 【請求項2】 配管継手のガス流入口あるいはガス流出
   口を設けたシールブロック各辺の寸法を、機能部品の入
   力ポートと出力ポートの中心間距離より小さくし、ベー
   スブロックに十字に設けた凹溝内で固定方向を変更可能
   となし、プロセスガスの流れ方向を90°変更できる構造
   としたことを特徴とする請求項1記載の集積型ガス供給
   ユニット用モジュールブロック。