JP7128306B2 - 液体送達システム - Google Patents

Description

本出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれている、２０１６年４月４日に
出願された「ＬＩＱＵＩＤ ＤＥＬＩＶＥＲＹ ＳＹＳＴＥＭ」という名称のＣｈｒｉｓ
Ｍｅｌｃｅｒ他による米国仮特許出願第６２／３１８，２０２号の優先権を主張するも
のである。

本発明は、液体化学物質送達システムに関し、より詳細には、専有面積が大幅に低減さ
れたモジュール式の無管液体化学物質送達システムに関する。

液体送達および分配システムは、半導体デバイスの製造、医薬品の製造などを含むさま
ざまな用途で使用されている。例えば、半導体ウェーハは、その製造プロセス中に、エッ
チング、洗浄、研磨、乾燥および材料付着など、さまざまな液体処理プロセスにかけられ
る。半導体基板処理では一般に、要求に応じて精確な量の液体化学物質が送達されること
、気泡を含まないこと、基板の使用可能部分上の厚さが均一であること、ならびにコスト
および環境上の懸念から化学廃棄物を最小限に抑えることが要求される。

米国仮特許出願第６２／３１８，２０２号

流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調節器、弁などのさまざまなタイプの
能動構成要素を使用するプロセスに供給源から液体化学物質を送達するために、さまざま
なタイプの液体送達システムが使用されている。これらの用途の多くで、液体化学物質分
配システムのサイズはコストに劇的な影響を及ぼしうる。例えば、半導体デバイスの製造
において、液体分配システムまたは液体分配システムのある部分は通常、クリーン・ルー
ムなどの極めてクリーンな環境の中に収容される。さらに、半導体の製造において使用さ
れる液体の多くは有毒であるかもしくは反応性が高いか、またはその両方であるため、こ
のような分配システムはしばしば、特別な封じ込めおよび排気機器を必要とする。このよ
うなシステムについては、流体分配システムのサイズの低減が有利である。

本発明の実施形態によれば、液体化学物質の分配を可能にするモジュール式システムが
提供される。このシステムは、基板ブロックを備え、この基板ブロックは、ブロックの第
１の主表面に形成された少なくとも２つのポートと、それらの２つのポート間に延びる流
体通路とを含む。流体の流れが流路全体を隈なく完全に広がって流れ、前記流体通路内で
滞留する停滞容積または領域が存在しないように、この流体経路は、流体経路の容積全体
が所望の流体の流れに完全に一致した、継目のない滑らかな経路であることが好ましい。

本発明の別の実施形態によれば、新規の組成および製造プロセスを使用して、フッ素ポ
リマーから基板ブロックを形成することができる。

本発明の別の実施形態によれば、交換可能なインサート型シールとモジュール式構成要
素内に形成された突縁と溝状のシールとの組合せを使用した密封アセンブリが提供される
。

以上では、以下の本発明の詳細な説明をより十分に理解できるように、本発明の特徴お
よび技術上の利点をかなりおおまかに概説した。以下では、本発明の追加の特徴および追
加の利点を説明する。開示される着想および特定の実施形態を、本発明の同じ目的を達成
するために他の構造を変更または設計するためのベースとして容易に利用することができ
ることを当業者は理解すべきである。さらに、このような等価の構造は、添付の特許請求
の範囲に記載された本発明の趣旨および範囲を逸脱しないことを当業者は理解すべきであ
る。

次に、本発明および本発明の利点のより完全な理解のため、添付図面に関して書かれた
以下の説明を参照する。

先行技術の基板ブロックを示す図である。 本発明の一実施形態に基づくモジュール式液体化学物質送達システムの斜視 図である。 図１のモジュール式液体化学物質送達システムの下面斜視図である。 本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロックを示す図である。 図４の基板ブロックの分解図である。 図４の基板ブロックの分解図である。 図４の基板ブロックの断面の斜視図である。 図４の基板ブロックの断面の斜視図である。 図４の基板ブロックの断面図である。 本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロックの別の実施形態を示 す図である。 本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロックの別の実施形態を示 す図である。 一実施形態に基づく別のモジュール式基板ブロックの頂面（シール側）斜 視図である。 図９Ａのモジュール式基板ブロックの下面斜視図である。 図９Ａのモジュール式基板ブロックの上面図である。 線ＡＡに沿った図９Ａのモジュール式基板ブロックの断面図である。 線ＢＢに沿った図９Ａのモジュール式基板ブロックの断面図である。 基板ブロックおよび能動構成要素を通る一実施形態に基づく流体流れ経 路を示す図である。 図１１Ａの部分拡大図である。 一実施形態に基づく交換可能なインサート・シールを示す図である。 一実施形態に基づく交換可能なインサート・シールを示す図である。 一実施形態に基づく交換可能なインサート・シールを示す図である。 図１３Ａのシールの切断図である。 一実施形態に基づく基板ブロックを示す図である。 交換可能なインサート・シールの別の実施形態を示す図である。 図１４Ｂの交換可能なインサート・シールを示す図である。 図１４Ｂの交換可能なインサート・シールの切断図である。 一実施形態に基づく別の交換可能なインサート・シールの斜視図である 。 線ＡＡに沿った図１６Ａのシールの断面図である。 図１６Ｂの断面の拡大図である。 ２次シール構造または１次シール構造として使用することができる本発 明の実施形態に基づくさまざまな可能な突縁と溝状の構造を示す図である。 ２次シール構造または１次シール構造として使用することができる本発 明の実施形態に基づくさまざまな可能な突縁と溝状の構造を示す図である。 ２次シール構造または１次シール構造として使用することができる本発 明の実施形態に基づくさまざまな可能な突縁と溝状の構造を示す図である。 ２次シール構造または１次シール構造として使用することができる本発 明の実施形態に基づくさまざまな可能な突縁と溝状の構造を示す図である。 本発明の一実施形態に基づく液体化学物質送達システムの別の実施形態を 示す図である。 能動構成要素が埋め込まれた一実施形態に基づく基板ブロックの透視図で ある。

添付図面を一定の尺度で描くことは意図されていない。これらの図面では、さまざまな
図に示された同一の構成要素またはほぼ同一の構成要素がそれぞれ同様の符号によって表
されている。分かりやすくする目的上、全ての図面の全ての構成要素に符号が付されてい
るわけではない。

本発明の実施形態は、先行技術のシステムよりも専有面積が大幅に小さいモジュール式
の無管液体化学物質送達システムを提供する。気体の送達および分配に使用するモジュー
ル式流体送達システムはよく知られているが、これらの先行技術のシステムを、液体化学
物質送達システムに適さないものにするいくつかの因子が存在する。第１に、（流体通路
を提供する）先行技術のモジュール式基板ブロックは通常、ステンレス鋼などの固体金属
から製作される。半導体製造で使用される液体化学物質の多くは金属を腐食させる。さら
に、金属表面と接触した液体中に金属イオンが抽出される傾向があり、その結果、非常に
望ましくないことに、製造プロセス中に金属イオンがウェーハ表面に付着しうる。

さらに、先行技術の基板ブロック内の流体通路、入口ポートおよび出口ポートは、材料
ブロックを穿孔することによって形成される。このような先行技術の基板ブロック１０１
が図１Ａおよび１Ｂに示されている。図１Ｂの内部通路は破線で示されている。図４Ｂに
示されているように、所望の流体通路１０６を穿設すると、内部流体通路１０６が入口ポ
ートおよび出口ポート１０２と交わるところに、ある量の「オーバーシュート」（領域１
０７、１０８）が生じる。（（ポート１０２を備える）基板ブロックの上面１０４に対し
て平行な方向に走る）内部流体経路を穿設するためには、基板ブロックの側面１０９から
ドリルを入れる必要があり、基板ブロックの側面１０９からドリルを入れたときには、所
望の流体通路を隔離するために、穿設した通路の一部分を栓１０５で塞ぐ必要がある。こ
れらの因子は全て、流体経路内に、ある程度の望ましくない停滞容積ができることに帰着
する。

本発明の実施形態は、ポリプロピレン、ＰＴＦＥ、改質ＰＴＦＥまたはＰＦＡなどのポ
リマーまたはフッ素ポリマーから形成されたモジュール式基板ブロックを利用する。好ま
しい実施形態では、８５±５℃の超純水中での７日間静的浸出試験において表面抽出可能
イオン、金属、および全有機炭素汚染に関するＳＥＭＩ Ｆ５７に記載された要件を満た
す材料からモジュール式基板ブロックが形成される。

図４は、本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロック４０１を示す。モジュー
ル式基板ブロック４０１は、ブロックの上面４０４に位置する２つのポート４０２をつな
ぐ単一の流体経路４０６を有する。いくつかの実施形態では、さまざまなサイズのブロッ
クを使用することができ、そのうちの一部は、同じブロック内に多数のポート対および多
数の流体通路を有する。さらに図２～３を参照すると、モジュール式基板ブロック４０１
を「ジャンパ・ブロック」と呼ぶことができ、モジュール式基板ブロック４０１を使用し
て、例えば、２つの能動構成要素を流体接続する（第１の能動構成要素の出口を第２の能
動構成要素の入口に接続する）こと、または１つの能動構成要素を別の基板ブロックに接
続することができる。後に説明するが、いくつかの実施形態では、多数の流れの通路およ
び入口／出口ポートを有する基板ブロックを使用することもできる。

図２は、本発明の一実施形態に基づくモジュール式液体化学物質送達システム２００の
斜視図である。図３は、図２のモジュール式液体化学物質送達システム２００の下面斜視
図であり、バック・プレーンは省かれており、分かりやすくするために一部の基板ブロッ
クは示されていない。図２の実施形態では、システムに対する３つの層、すなわち（流量
制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調節器、弁などの）能動構成要素からなる最
上位層、（能動構成要素間の流体接続を形成する役目を果たす）基板ブロックからなる２
番目の中間層、およびシステム全体のための支持構造の働きをするバック・プレーンがあ
る。

さらに図８Ａおよび８Ｂを参照すると、基板ブロック２０１は通常、基板ブロックを所
定の位置に保持するために基板の上面（入口／出口ポートを含む同じ表面）から締結具穴
８５２を通ってバック・プレーン内へ延びるねじまたは他の同様の締結具によってバック
・プレーン２１０に装着される。いくつかの実施形態では、安定性を追加するために、隣
接する基板ブロックを互いに結合することもできる。

それぞれの能動構成要素（２１２、２１３、２１４、２１５、２１６、２１７）は、少
なくとも２つのねじまたは同様の締結具によって、１つ（または複数）の基板ブロック２
０１上の所定の位置に、保持することができる。この少なくとも２つのねじまたは同様の
締結具は、能動構成要素を基板ブロックに取り付け、基板ブロックの表面の入口／出口ポ
ートに対して適当な位置に能動構成要素を保持する役目を果たす。通常、能動構成要素は
、入口／出口ポートの両側にある２つのねじ穴８５４によって第１の基板ブロックに取り
付けることができ、同じやり方で第２の基板ブロック（およびポート）に取り付けること
ができる。いくつかの実施形態では、能動構成要素の接続ねじと嵌合する金属の雌ねじを
有するインサートを、基板ブロックのポリマー本体の内部に適当に配置することができる
。本明細書の図面では、分かりやすくするためにほとんどの図に締結具穴およびねじ穴が
示されていない。

基板ブロックを使用するこのモジュール方式でも、それぞれの構成要素に直接にアクセ
スすることができ、能動構成要素の装着および取外しには、限定はされないがアレン・レ
ンチなどの手動の手工具だけが必要である。能動構成要素に直接にアクセスすることがで
きることで、損傷した能動構成要素だけを取り外すことにより修理を単純にし、それによ
って稼動停止時間を短くすることが可能である。基板ブロックが標準化されているため、
システム内の任意の場所に能動構成要素を置くことができる。

図２の実施形態では、液体化学物質送達システムへの液体接続および液体化学物質送達
システムからの液体接続が、管継手２１５によって実施される。プロセスで使用される１
種または数種の液体化学物質は通常、貯蔵タンク（図示せず）から管を通って流れる。管
は、管継手２１５によってシステム２００に接続される。液体化学物質は、システム２０
０に入ると、配置された基板ブロックを介してさまざまな能動構成要素に流れ、最終的に
、所望の加工サイトに通じる１本または数本の送達管に（やはり管継手２１５を介して）
送達される。図２の実施形態では、能動構成要素が、調節器２１４、圧力変換器２１７、
弁２１６、液体流量制御器２１３および流量計２１２を含む。本明細書で使用されるとき
、液体送達システムの（能動構成要素および基板ブロックを含む）全てのシステム構成要
素および入口管継手から出口管継手までのこのような構成要素間の空きスペースが占有す
る総面積は、システム「専有面積」と呼ばれる。

本明細書に記載された方法を使用して、事実上任意の所望のサイズおよび構成を有する
基板ブロックを形成することができるが、図４の実施形態では、基板ブロックの幅が約５
５ｍｍ、厚さが約２５ｍｍ（１インチ）である。流れ経路の内径は、例えば１／４インチ
、３／８インチまたは１／２インチを含む所望の任意のサイズとすることができる。重要
には、好ましい実施形態では、内部流体経路が、実質的に継目のない滑らかな通路であり
、経路の容積全体が所望の流体の流れに完全に一致している。言い換えると、図１Ｂの先
行技術の構造に見られるような停滞容積・領域または栓がされた部分が存在しない。特に
スラリに関しては、停滞容積は、粒子の滞留および大粒子数の望ましくない増大に帰着し
うる。本発明の実施形態に基づく基板ブロックは、３００リットルの噴流内において＜０
．１粒子／ｍｌ（粒径＞０．１μｍ）を達成することに寄与する。

図４は、本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロック４０１を示す。いくつか
の実施形態では、２つの別個のフッ素ポリマー層を機械加工し、次いでそれらの層を継目
４２６のところで溶融接着することにより１つに接合することによって、図４の基板ブロ
ックを製造することができる。図５Ａおよび５Ｂは、上層５２２および下層５２３を示す
分解図を示し、図６Ａおよび６Ｂは、線Ａ－Ａに沿った図４の基板ブロックの断面の斜視
図を示し、図７は、線Ａ－Ａに沿った図４の基板ブロックの断面図を示す。公知の技法を
使用して下層５２３の上面を機械加工して、所望の流路位置に滑らかな溝５２８を形成す
ることができる。上層５２２の底面を機械加工して、対応する溝（図示せず）を形成する
ことができる。さらに、流路のそれぞれの端に、上層５２２を貫通する入口ポートおよび
出口ポート４０２を穿設することができる。これらの２つの層を１つに合わせると、対応
する２つの溝が、図６Ａおよび６Ｂに示された滑らかな流路６０６を形成する。

これらの２つの層を機械加工し、適正に配置した後、熱と圧力の組合せによる溶融接着
技法を使用して、これらの２つの層を接着して１つにすることができる。溶融接着に必要
な温度／圧力／時間の精密な組合せは当技術分野において知られており、その組合せは、
層を形成するために使用する具体的なフッ素ポリマーによって異なる。いくつかの実施形
態では、これらの２つの層を改質ＰＴＦＡから形成することができ、約４５０ｐｓｉの圧
力下で約３５０℃から３８０℃の温度に１時間（またはそれよりも長い時間）加熱するこ
とにより、これらの層を接着して１つにすることができる。これらの条件下で、２つの層
内の改質ＰＴＦＥポリマー鎖は絡み合い、それによって２つの表面が分子レベルで恒久的
に接着され、改質ＰＴＦＥの均質な中実ブロックが形成される。

図４の基板ブロックは、２つの入口／出口ポートだけをつなぐ非常に単純な単一の流れ
通路を有するが、これらの同じ技法を使用して、所望の任意の数の入口／出口ポート間に
それよりもはるかに複雑な流れ通路を生み出すことができることを当業者は認識する。例
えば、図８Ａおよび８Ｂは、４つの異なる流路８２５および８つの入口／出口ポート８２
０を備える基板ブロックを示す。いくつかの実施形態では、２つ以上のフッ素ポリマー層
を使用して、よりいっそう複雑な３Ｄ流れ経路を生み出すことができる。その内部で２つ
以上の入口流れ経路が単一の出口流れ経路と結合したマニホルドとして、基板ブロックを
使用することもできる。

他の実施形態では、圧縮成形またはアイソスタティック成形などの公知のフッ素ポリマ
ー成形技法を使用して、所望の流れ通路および入口／出口ポートを有するフッ素ポリマー
・ブロックを生み出すことができる。いくつかの適当なフッ素ポリマー（ＰＦＡなどの）
は、溶融加工が可能であることが知られており、射出成形技法を使用してそれらのフッ素
ポリマーを成形することができる。他の実施形態では、ＰＴＦＥまたは他のフッ素ポリマ
ー粉末を型に充填し、次いでその型を適切な条件下で焼結させて、図５Ａおよび５Ｂに示
されたものなどの２つの層を、１つまたは複数の流路を形成するための機械加工を一切必
要とすることなく形成することができる。同様のやり方でＰＴＦＥまたは他のフッ素ポリ
マー粉末を焼結させることによって、１つまたは複数の流路を有する完全な基板ブロック
を直接に形成することができる。これらの技法のうちの一部もしくは全ての技法の使用ま
たはこれらの技法の任意の組合せの使用も本発明の範囲に含まれることを当業者は認識す
る。

図９Ａおよび９Ｂはそれぞれ、頂面（シール側）および底面から見た、本発明の実施形
態に基づく別のモジュール式基板ブロック９０１の斜視図を示す。いくつかの実施形態で
は、ＰＦＡなどの材料を使用した射出成形によって図９Ａおよび９Ｂの基板ブロックを製
造することができるが、本発明の範囲に含まれる他の適当な製造方法および材料を使用す
ることもできる。図１０Ａは、モジュール式基板ブロック９０１の頂面（シール）図、図
１０Ｂは、線ＡＡに沿った断面図、図１０Ｃは、線ＢＢに沿った断面図を示す。

いくつかの実施形態では、多数の部分からなる型を使用して、モジュール式基板ブロッ
クの本体を形成することができ、滑らかな流体経路９０６を形成するために、取外し可能
な湾曲したインサートが使用される。製造方法が厳密に何であるかを問わず、モジュール
式基板ブロックの実施形態は、流体の流れが流路全体を隈なく完全に広がって流れ、前記
流体通路内で滞留する停滞容積または領域が存在しないように、流体経路の容積全体が所
望の流体の流れに完全に一致する、実質的に継目のない１つまたは複数の滑らかな流体経
路を含む。図１０Ｂの実施形態では、流体流れ経路が、コーナまたは角張った壁のない滑
らかな弧を形成する。このような弧は、液体が滞留する停滞容積または領域を大幅に排除
するのに役立つ。

このモジュール式基板ブロックの本体は、上で論じた例と同様に、流体経路およびねじ
穴を除いて、実質的に中実の材料ブロックとして形成することができる。他の実施形態で
は、図９Ａから１１Ｃの例に示されているように、このモジュール式基板ブロックの本体
を、必要な支持壁９５９だけを有するように形成することができる。このような実施形態
は、本体の異なる全てのセクションの厚さが実質的に同じであり、それにより、不要な空
隙を回避するために型の全てのセクションに均一に充填するのがより容易になるため、射
出成形に対して特に有利である。図９Ｂに示されたこのような実施形態は、図４の中実構
造に比べて表面積が大きく、このことが、モジュール式基板ブロックがより高い温度に耐
えることを可能にする可能性がある。

いくつかの実施形態では、顕著な継目または成形アーチファクトを除去し、流路が滑ら
かであることを保証するために、所望の流れ経路を含む基板ブロックが形成された後に、
基板ブロックの中に研磨材を勢いよく流すことができる。あるいは、特別に設計されたツ
ールを使用して、内部流れ経路を、手動でまたは自動的に滑らかにすることもできる。

再び図２～３を参照する。本発明に基づく基板ブロックを組み合わせて、能動構成要素
（例えば弁、圧力変換器、流量制御器など）の事実上任意の所望の配置を介して液体源を
プロセスに接続する流れ経路であって、溶接部および管のない流れ経路を形成することが
できる。液体は、別個の管を通ってではなく、基板ブロック内の通路を通って流れる。こ
のようにして、本発明は、少なくとも１つの流体通路と共通の表面にアクセスする入口お
よび出口ポートとをそれぞれが有する複数の個々の基板ブロックを提供することにより、
先行技術の課題を解決する解決策を提供する。その共通の表面を使用して、流量制御器、
圧力変換器、流量測定センサ、圧力調節器、弁などの標準的な能動構成要素を装着するこ
とができる。いくつかの実施形態では、密封要件を容易にするために、隣接するそれぞれ
のマニホルド・ブロックの共通の表面が、共通の平面内に維持される。能動構成要素は、
隣接する基板ブロックを橋絡し、または隣接する基板ブロックにわたって延びており、基
板ブロックは、密封された相互接続のために、それぞれの流体通路が配置されることを可
能にするように、（上で説明したように）取外し可能に整列および装着される。

本明細書に記載された新規のシステムおよびプロセスによって可能にされるこれらのタ
イプのモジュール式構成要素を使用すると、通常の先行技術の液体化学物質送達システム
のサイズの１／２よりも専有面積が小さい液体化学物質送達システムを提供することがで
きることを本出願の出願人は見出した。管継手および管を介して構成要素が接続される従
来の液体送達システムとは違い、本発明のシステムの実施形態では、構成要素間の間隙を
非常に小さくして構成要素を配置することができる。好ましい実施形態では、隣接する構
成要素を、２０ｍｍ未満の間隙、例えば１０ｍｍ未満、５ｍｍ未満、約１ｍｍまたは１ｍ
ｍ未満の間隔で配置することができる。さらに、いくつかの実施形態では、能動構成要素
に対する標準化された幅（例えば５５ｍｍ）を使用すると、平行な液体流路間の無駄なス
ペースなく、さまざまな構成要素を配置することができる。好ましい実施形態では、全シ
ステム・専有面積に対する無駄なスペースの比率を３０％程度にすることができ、この比
率を例えば２０％、１０％または５％とすることができる。このようなモジュール式構成
要素の使用はさらに、カスタム部品および／または管アセンブリに関連した設計時間およ
び支出を大幅に省くのに役立つ。

上で説明したとおり、本発明のいくつかの実施形態では、能動構成要素が、ねじまたは
他の締結具によって基板ブロック上に装着される。ねじ穴８５４は、それぞれの入口／出
口ポートの両側に配置される。いくつかの実施形態では、金属ねじを提供し、密な接続を
容易にするために、ねじ穴８５４の内側に金属インサートが置かれる。したがって、それ
ぞれの能動構成要素の下面は、基板ブロックの入口／出口ポート上の適当な位置に保持さ
れた対応する入口／出口ポートを有する。好ましい実施形態では、能動構成要素９６２の
ハウジングもポリマーまたはフッ素ポリマーから形成される。図１１Ａは、一実施形態の
流体流れ経路（矢印１１６４によって示されている）を示す。第１の基板ブロック４０１
Ａの出口ポートの上に能動構成要素１１６２（この例では弁）が、能動構成要素１１６２
の内側の流体経路が基板ブロック４０１Ａ内の流体経路に流体接続されるように装着され
ている。同様に、能動構成要素１１６２は、基板ブロック４０１Ｂにも、能動構成要素１
１６２の出口ポートが基板ブロック４０１Ｂの入口ポートの上に配置され、能動構成要素
９６２からの流体経路が基板ブロック４０１Ｂ内の流体通路に流体接続されるように装着
されている。

図１１Ｂは、図１１Ａの破線のボックス１１７０の内側の部分の拡大図である。図１１
Ｂに示されているように、所望の流体経路（線１１６４）は、基板ブロック４０１Ａから
、基板ブロック４０１Ａの頂面および能動構成要素１１６２の下面の入口／出口ポートを
通って、構成要素流体通路１１６３内へ通じている。構成要素と基板ブロックの間の接続
が密であっても、（矢印１１６６によって示された方向の）漏れの可能性は依然としてあ
る。また、面と面の界面は、液体が滞留する潜在性を有し、これは、微生物の増殖または
大粒子数の発生につながりうる。これに応じて、いくつかの実施形態では、能動構成要素
と基板ブロックの間の接続部における漏れを防ぐために、１つまたは複数の密封アセンブ
リが使用される。

本発明のいくつかの実施形態は、突縁と溝状の構造および／またはインサートを利用し
て、能動構成要素と基板ブロックの間にシールを提供する。いくつかの実施形態では、同
様のシールを使用して、基板ブロック間または能動構成要素間の流体接続を直接に形成す
ることができる。図１０Ｂおよび１０Ｃに示されているように、２つの構成要素の本体に
突縁と溝状の接続（それぞれ９５７および９５６）が直接に形成される（すなわち一方の
表面の突き出た小さな「突縁」が対応する表面に形成された「溝」にはまる）。これとは
別にインサートが形成され、一方または両方の接続面に形成された溝内に、交換可能な密
封構成要素を置くことができる。

図１１２および１２Ｂは、基板ブロック４０１と能動構成要素１１６２の間の流体接続
の周囲の整形された溝の中に交換可能なインサート・シール９７０を置くことができる、
本発明の一実施形態を示す。図１２Ａおよび１２Ｂの断面図では、示された能動構成要素
が、流れおよび抽出可能な粒子の要件を試験する目的に使用される試験用治具だが、この
シール配置は、弁または液体流量計など実際の能動構成要素に対しても同じであろう。図
１４Ａは基板ブロック４０１を示し、線Ｂ－Ｂは、図１２Ａおよび１２Ｂの断面の位置を
示す。図１３Ａは、シール９７０の斜視図を示し、図１３Ｂは、断面の形状を示すための
シール９７０の切断図を示す。示された実施形態では、シール９７０の面取りされた水平
部分９７２が、一方の装着面（この実施形態では能動構成要素の下面）の溝に容易に挿入
することができる前縁を提供することにより、シールの適切な取付けを助ける。再び図８
Ａおよび８Ｂを参照すると、シール溝８６０は、それぞれの入口／出口ポート８２０の周
囲に、機械加工によってまたは他の手法で形成される。

好ましい実施形態では、シール９７０も、ポリマーまたはフッ素ポリマーから製作する
ことができる。ポリマー本体に機械加工によってまたは他の手法で形成された構造に対し
て許容差を大きくする必要があるため、シール・リング９７０のサイズは、シール・リン
グの前縁９７２に常に締めしろがあるように決定されるべきであることを本出願の出願人
は見出した。言い換えると、取り付けられている間、シール・リングは、液体シールが常
に形成されることを保証するために水平方向に圧縮される。対照的に、いくつかの実施形
態では、リングの水平部分９７１上に垂直方向の締めしろまたは圧縮がほとんどまたは全
くないように、シールのサイズが決定される。

図１４Ｂは、交換可能なシール・リングの別の実施形態１２８０を、基板ブロック４０
１上に装着された能動構成要素１１６２の断面図として示す。この場合も、図１４Ａは基
板ブロック４０１を示し、線Ｂ－Ｂは、図１４Ａの断面の位置を示す。

図１５Ａは、１２８０の斜視図を示し、図１５Ｂは、断面の形状を示すためのシール１
２８０の切断図を示す。シール・リング１２８０は、（潜在的に漏れを可能にしうる）水
平部分を持たない円錐形の内部スリーブ１２８３を特徴とする。したがって、シールが所
定の位置にあるときに、スリーブ１２８３の内側を、液体は隈なく広がって流れる。水平
のブリッジ部分１２８４を介して円錐形のスリーブ部分に接続された外リング１２８２は
、円錐形のシール部分１２８３の後ろに、バックアップの働きをし、位置決めを加える追
加のシールを提供する。円錐形の中心部分１２８３のテーパの付いた形状も、シール・リ
ング１２８０の取付けを助ける働きをする。上で説明したシール・リングの実施形態と同
様に、シール・リング１２８０のサイズも、取り付けられたときに、溝が、垂直方向の締
めしろではなく水平方向の締めしろを生じさせるように決定される。

図１６Ａは、本発明の実施形態に基づくモジュール式基板ブロックの入口および出口ポ
ートの位置に液体シールを提供するために使用される交換可能なシール・リング１６８０
の別の実施形態の斜視図を示す。図１６Ｂは、線ＡＡに沿った図１６Ａのシールの断面で
ある。図１６Ｃは、図１６Ｂの断面の半分の拡大図である。シール・リング１６８０は、
円錐形の内部スリーブ１６８３を特徴とする。円錐形のスリーブ１６８３は、外側へ傾斜
した（ポート開口から遠ざかる方向に傾斜した）部分１６８５および内側へ傾斜した（ポ
ート開口に向かって傾斜した）部分１６８６、ならびに外側垂直部分１６８７を有する。
図１６Ａの実施形態では、シールの円錐形のスリーブ部分が、（潜在的に漏れを可能にし
うる）水平な表面を持たない。いくつかの実施形態では、外側へ傾斜した部分１６８５の
傾斜が、垂直軸（またはシールの内壁）に対して約２５度から約３５度、例えば約３０度
である。いくつかの実施形態では、内側へ傾斜した部分１６８６の傾斜が、垂直軸に対し
て、４０度から５０度、例えば約４５度など、外側へ傾斜した部分の傾斜よりも大きい角
度である。

円錐形の内部スリーブを特徴とするシールのいくつかの実施形態では、円錐の高さ（矢
印および参照符号１６９５によって示されている）と円錐壁の厚さ（矢印および参照符号
１９７６によって示されている）の比が、約１．０から２．０、約１．１から１．８また
は約１．１から１．６など、約０．５から約２．５の範囲にある。

いくつかの実施形態では、シールのサイズが、シールが取り付けられたときに円錐形の
スリーブの外側へ傾斜した部分１６８５が矢印１６９０によって示されているように圧縮
されるように決定される。シールのサイズはさらに、シールが取り付けられたときに、ポ
ート開口の上縁（基板嵌合部）が、外側へ傾斜した部分１６８５と接触しないように決定
される。その代わりに、ポート開口の上縁は外側垂直部分１６８７を超えて滑り、シール
は、参照符号１６８８によって示された領域にできる。円錐形の中心部分１６８３のテー
パの付いた形状も、シール・リング１６８０の取付けを助ける働きをする。したがって、
シールが所定の位置にあるときに、スリーブ１６８３の内側を、液体は隈なく広がって流
れる。

外リング１６８２は、円錐形のシール部分１６８３の後ろに、バックアップの働きをし
、位置決めをさらに加える役目を果たす追加のシールを提供する。いくつかの実施形態で
は、シール・リング１６８０のサイズが、取り付けられたときに、モジュール式基板ブロ
ック内のポート開口の周囲の溝が、矢印１６９１および１６９２によって示された外リン
グ１６８８の外面および内面に水平方向の締めしろを生じさせるように決定される。いく
つかの実施形態では、リングの頂面または底面、水平のブリッジ部分もしくは中間部１６
８４上、および／または円錐形の中心部分１６８３上に垂直方向の締めしろがない。

いくつかの実施形態では、上で説明した取外し可能なインサートに加えて、突縁と溝状
のインサートを、バックアップまたは２次シールとして、および能動構成要素上のポート
と基板ブロック上のポートとを適正に整列させる際の追加の補助として使用することがで
きる。図１７Ａは、本発明の一実施形態に基づく１次シール・インサート１７７０に対す
る突縁と溝状の２次シール１７９０の位置を示す。他の実施形態では、突縁と溝状の構造
を（所望の流れ経路に最も近い）１次シール構造とすることができ、シール・インサート
を２次シールとすることができる。図１７Ｂ～１７Ｄは、２次シール構造または１次シー
ル構造として使用することができるさまざまな可能な突縁と溝状の構造を示す。図１７Ｂ
は、単純な対応する突縁と溝状のリング１７９０を示す。図１７Ｃは、図１７Ｂの凸リン
グが損傷することを防ぐ働きをする、逆さにした同心のショルダ１７９２の追加を示す。
図１７Ｄは、同心の突縁と溝状のリング（１７９３、１７９４）の２重セットを示す。い
くつかの実施形態では、１次シールと２次シールの間の基板内に漏れ検出器を埋め込むこ
とができる。

図１８は、基板ブロック１８０１に１つまたは複数の能動構成要素が埋め込まれた、液
体化学物質送達システムの別の実施形態１８００を示す。図１９は、内部構造を示す、基
板ブロック１８０１の透視図を示す。図１９の実施形態では、液体が、入口１９２０Ａを
通って基板ブロックに入り、経路１９２５を通って逆止め弁１９９２に進み、静的ミキサ
１９９４に達する。このようにして、２つの流体の流れが結合され、出口ポート１９２０
Ｂを通って基板ブロックを出る。上で説明したとおり、液体化学物質と一緒に使用するた
めの基板ブロック１４０１は、ポリマーまたはフッ素ポリマーから形成することができる
。いくつかの実施形態では、気体混合物と一緒に使用するための基板ブロック１４０１を
、ステンレス鋼などの金属から形成することができる。基板ブロック１４０１は、能動構
成要素のためのスロットを有するように形成することができ、または基板ブロックにスロ
ット／開口を機械加工することもできる。流れ経路は上で説明したとおりに形成すること
ができ、または先行技術の方法を使用して機械加工することもできる。いくつかの実施形
態では、埋め込まれた能動構成要素が交換可能であり、ねじ／締結具１９９１によって所
定の位置に取外し可能に保持される。

多くの異なる態様および実施形態が可能である。本明細書には、それらの態様および実
施形態の一部が記載されている。本明細書を読んだ後、それらの態様および実施形態は例
示が目的であり、本発明の範囲を限定するものではないことを当業者は理解するであろう
。実施形態は、以下に挙げる項目のうちの任意の１つまたは複数の項目に基づくことがあ
る。

項目１．第１の表面に形成された第１の基板ポートおよび第２の基板ポートと、第１の
方向に延びて、第１の基板ポートを第２の基板ポートに流体接続する液体通路とを含む基
板ブロックと、第１の基板ポートに流体接続された第１の能動構成要素と、第１の能動構
成要素とは別の第２の能動構成要素であって、第２の基板ポートに流体接続された第２の
能動構成要素とを備え、第１の液体通路が、液体が滞留する停滞容積または領域を持たな
い液体送達システム。

項目２．液体化学物質の分配を可能にするシステムであって、第１の表面に形成された
第１の基板ポートおよび第２の基板ポートと、第１の方向に延びており、第１の基板ポー
トを第２の基板ポートに流体接続する第１の液体通路と、を含む基板ブロックを備え、第
１の基板ポートが、第１の能動構成要素に流体接続されるように適合されており、第２の
基板ポートが、第１の能動構成要素とは別の第２の能動構成要素に流体接続されるように
適合されており、第１の液体通路が、液体が滞留する停滞容積または領域を持たない滑ら
かな通路であるシステム。

項目３．液体化学物質の分配を可能にするシステムであって、第１の表面に形成された
第１の基板ポートおよび第２の基板ポートと、第１の方向に延びており、第１の基板ポー
トを第２の基板ポートに流体接続する第１の液体通路と、を含む基板ブロックを備え、第
１の基板ポートが、第１の能動構成要素に流体接続されるように適合されており、第２の
基板ポートが、第１の能動構成要素とは別の第２の能動構成要素に流体接続されるように
適合されており、第１の液体通路の容積全体が流体の流れと一致したシステム。

項目４．第１の液体通路が、液体の流れが液体通路の容積全体を隈なく流れるように形
成された、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目５．第１の液体通路の容積全体が流体の流れと一致した、前記項目のうちのいずれ
か１つの項目。

項目６．基板ブロックがポリマーまたはフッ素ポリマーを含む、前記項目のうちのいず
れか１つの項目。

項目７．基板ブロックが、ポリプロピレン、ＰＴＦＥ、改質ＰＴＦＥまたはＰＦＡを含
む、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目８．基板ブロックが、第１の表面に形成された第３および第４の基板ポート、およ
び第３の基板ポートを第４の基板ポートに流体接続する第２の液体通路を備える、前記項
目のうちのいずれか１つの項目。

項目９．第１の基板層の上面に滑らかな溝を機械加工し、第２の基板層の底面に、整合
した滑らかな溝を機械加工し、整合したこれらの溝が液体通路を形成するように第１の基
板層上に第２の基板層を配置し、２つの層を接着して１つにすることにより、基板ブロッ
クが形成された、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目１０．形成された溝の両端に、第２の層を貫通して第１のポートおよび第２のポー
トを穿設することをさらに含む、項目９。

項目１１．２つの基板層を接着することが、熱および圧力を加えることにより２つのポ
リマーまたはフッ素ポリマー層を溶融接着して１つにすることを含む、前記項目のうちの
いずれか１つの項目。

項目１２．基板ブロックが、ポリマーまたはフッ素ポリマーを成形することにより形成
された、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目１３．成形が、圧縮成形、アイソスタティック成形、溶融加工または射出成形を含
む、項目１２。

項目１４．基板ブロックが、フッ素ポリマーを型の中で焼結させることにより形成され
た、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目１５．２つの基板層を型の中で別々に焼結させ、次いで層を溶融接着して１つにす
ることにより、基板ブロックが形成された、前記項目のうちのいずれか１つの項目。

項目１６．能動構成要素が、流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調節器お
よび弁のグループから選択された１つまたは複数の構成要素を備える、前記項目のうちの
いずれか１つの項目。

項目１７．システム構成要素に対する空きスペースの比率が３０％以下、２０％以下、
１０％以下または５％以下である専有面積を有する、前記項目のうちのいずれか１つの項
目。

項目１８．能動構成要素間の間隔が、１０ｍｍ未満、５ｍｍ未満、約１ｍｍまたは１ｍ
ｍ未満など、２０ｍｍ未満になるように装着された複数の能動構成要素を有する、前記項
目のうちのいずれか１つの項目。

項目１９．第１の表面に形成された第１の基板ポートおよび第２の基板ポートと、第１
の方向に延びており、第１の基板ポートを第２の基板ポートに流体接続する第１の液体通
路とを含む基板ブロック、第１の基板ポートに流体接続された下面を有する第１の能動構
成要素、およびその流体接続を密封するシール・アセンブリであり、取外し可能なシール
・インサートを備える１次シールと、基板ブロックの第１の表面および能動構成要素の下
面に形成された突縁と溝状の構造を備える２次シールとを含むシール・アセンブリを備え
る液体送達システム。

項目２０．シール・インサートがポリマーまたはフッ素ポリマーを含む、項目１９。

項目２１．シール・アセンブリが、取り付けられたときに水平方向に圧縮され、垂直方
向には圧縮されないシール・リングを備える、項目１９～２０のうちのいずれか１つの項
目。

項目２２．２次の突縁と溝状の構造が、基板ブロックの上面または能動構成要素の下面
のうちのどちらか一方にある円形の溝であり、対応する円形の突縁が、基板ブロックの上
面または能動構成要素の下面のうちのどちらか他方から延びている、項目１９～２１のう
ちのいずれか１つの項目。

項目２３．突縁と溝状の構造が、インサート・シールよりも大きな直径を有する円形の
構造を含む、項目１９～２２のうちのいずれか１つの項目。

項目２４．突縁と溝状の構造が、少なくとも２つの同心の円形の突縁と溝状の構造を含
む、項目１９～２３のうちのいずれか１つの項目。

項目２５．シールが、シールが所定の位置にあるときに液体がその中を流れる円錐形の
中心部分を含む、項目１９～２４のうちのいずれか１つの項目。

項目２６．円錐形の中心部分の円錐の高さと円錐形の中心部分のシール壁の厚さの比が
、約１．０から２．０、１．１から１．８または１．１から１．６など、約０．５から２
．５である、項目２５。

本明細書に記載された発明は幅広い適用可能性を有し、上記の例において説明し示した
多くの利点を提供することができる。本発明の実施形態は、具体的な用途によって大きく
異なり、全ての実施形態が、これらの利点の全てを提供するわけではなく、本発明によっ
て達成可能な目的の全てを達成するわけでもない。

本明細書において、用語「自動」、「自動化された」または類似の用語が使用されると
き、これらの用語は、自動プロセスもしくは自動ステップまたは自動化されたプロセスも
しくは自動化されたステップの手動による開始を含むものと理解される。本明細書の議論
および特許請求の範囲では、用語「含む」および「備える」が、オープン・エンド型の用
語として使用されており、したがって、これらの用語は、「．．．を含むが、それらだけ
に限定されない」ことを意味すると解釈すべきである。ある用語が本明細書で特に定義さ
れていない場合、その用語は、その通常の一般的な意味で使用されることが意図されてい
る。添付図面は、本発明を理解する助けとなることが意図されており、特に明示されてい
ない限り、一定の尺度では描かれていない。本明細書で使用されるとき、語「右」、「左
」、「下」、「上」、「底」、「水平」、「垂直」などは、参照する図面内での方向を指
定する。これらの用語は便宜上使用されているだけであり、限定を意図するものではない
。

さらに、本発明の実施形態は、コンピュータ・ハードウェアもしくはソフトウェア、ま
たはハードウェアとソフトウェアの組合せによって実現することができることを認識すべ
きである。本発明の方法は、標準プログラミング技法を使用し、本明細書に記載された方
法および図に基づいて、コンピュータ・プログラムとして実現することができ、このコン
ピュータ・プログラムは、コンピュータ・プログラムを含むように構成されたコンピュー
タ可読の記憶媒体を含み、そのように構成された記憶媒体は、コンピュータを、予め決め
られた特定の方式で動作させる。コンピュータ・システムと通信するため、それぞれのプ
ログラムは、高水準手続き型プログラミング言語またはオブジェクト指向プログラミング
言語で実現することができる。しかしながら、所望ならば、それらのプログラムを、アセ
ンブラ言語または機械語で実現することもできる。いずれにせよ、その言語は、コンパイ
ルまたは解釈される言語とすることができる。さらに、そのプログラムは、そのプログラ
ムを実行するようにプログラムされた専用の集積回路上で実行することができる。

本出願の範囲が、本明細書に記載されたプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法お
よびステップの特定の実施形態に限定されることは意図されていない。当業者なら本発明
の開示から容易に理解することだが、本明細書に記載された対応する実施形態と実質的に
同じ機能を実行し、または実質的に同じ結果を達成する既存のまたは今後開発されるプロ
セス、機械、製造、組成物、手段、方法またはステップを、本発明に従って利用すること
ができる。したがって、添付の特許請求の範囲は、その範囲内に、このようなプロセス、
機械、製造、組成物、手段、方法またはステップを含むことが意図されている。本明細書
に記載された図は一般に略図であり、本発明の実施形態は必ずしも適切な割合または尺度
では描かれていない。

Claims (17)

1. 流体送達システムであって、
   背面と、
   前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含み；前記第１の入口基板ポートおよび前記第１の出口基板ポートはそれぞれ第１の基板リングによって形成され；前記第１の出口基板ポートおよび前記第１の入口基板ポートそれぞれについて、前記第１の基板チャネルは、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを囲み；前記第１の基板リングの外面は前記第１の基板チャネルの内面を形成する、第１の基板ブロックと、
   前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含み；前記第２の入口基板ポートおよび前記第２の出口基板ポートはそれぞれ第２の基板リングによって形成され；前記第２の出口基板ポートおよび前記第２の入口基板ポートそれぞれについて、前記第２の基板チャネルは、前記第２の上面に形成され、前記第２の基板リングを囲み；前記第２の基板リングの外面は前記第２の基板チャネルの内面を形成する、第２の基板ブロックと、
   流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含み；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートはそれぞれ構成要素リングによって形成され；前記構成要素入口ポートおよび前記構成要素出口ポートそれぞれについて、構成要素チャネルは、前記能動構成要素の前記下面に形成され、前記構成要素リングを囲み、前記第１の構成要素リングの外面は、前記構成要素チャネルの内面を形成する、能動構成要素と、
   第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ長手方向軸に沿って延びるスリーブ流体通路を形成する内部スリーブ；および前記内部スリーブに接続され、かつそれを取り囲む外リングであって、（１）環状上部スリーブ溝が、前記外リングの上部と前記内部スリーブの上部との間に形成され、かつ（２）環状下部スリーブ溝が、前記外リングの下部と前記内部スリーブ下部との間に形成される、外リングを備えた第１のシールリングおよび第２のシールリングと、
   を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートの前記第１の基板チャネルおよび前記構成要素入口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第１のシールリングは、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートの前記第２の基板チャネルおよび前記構成要素出口ポートの前記構成要素チャネルのそれぞれに入れ子になり、前記第２のシールリングは、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし；（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。
2. 前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記環状下部スリーブ溝内に延在し、前記第１の構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記環状上部スリーブ溝内に延在し、前記第１のシールリングの前記外リングの上部は前記構成要素チャネル内に延在し、前記第１のシールリングの前記外リングの下部は前記第１の基板チャネル内に延在する、請求項１に記載の流体送達システム。
3. 前記第１の基板ブロックの前記第１の上面と前記能動構成要素の前記下面は、水平界面を形成し、前記第１のシールリングは、（１）前記第１のシールリングの前記外リングが、前記第１の構成要素チャネルと前記第１の基板チャネルのそれぞれの内部で水平方向に圧縮され、かつ（２）前記第１のシールリングの前記外リングは垂直方向に圧縮されないように、サイズ決定される、請求項２に記載の流体送達システム。
4. 前記第１のシールリングは、前記内部スリーブと前記外リングを接続するウェブをさらに備え、前記ウェブは、前記構成要素リングと前記基板リングとの間に配置され、前記第１のシールリングは、前記ウェブが垂直方向に圧縮されないようにサイズ決定される、請求項３に記載の流体送達システム。
5. 前記第１のシールリングは、中心面および中心軸に沿って延びる前記スリーブ流体通路に関して両側対称であり、前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有する、請求項１に記載の流体送達システム。
6. 前記第１のシールリングの前記内部スリーブが水平面を有さない、請求項５に記載の流体送達システム。
7. 前記内部スリーブの上部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有し、前記内部スリーブの下部は、内側へ傾斜した部分を含む内面を有する、請求項５に記載の流体送達システム。
8. 前記第１のシールリングは、前記構成要素リングが前記内部スリーブの上部の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼし、かつ前記第１の基板リングは、前記内部スリーブの下部の前記外側へ傾斜した部分に干渉力を及ぼすように、サイズ決定される、請求項５に記載の流体送達システム。
9. 前記内部スリーブの上部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記内部スリーブの下部は、外側へ傾斜した部分を含む外面を有し、前記第１の構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの上部の外側へ傾斜した部分と結合する内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、前記第１の基板リングは、前記シールリングの内部スリーブの下部の前記外側へ傾斜した部分と結合する前記内側へ傾斜した部分を有する内面を備える、請求項１に記載の流体送達システム。
10. 前記能動構成要素の基部を通って前記基板ブロック内に延在して、前記能動構成要素を前記基板ブロックに取り付ける複数の締結具をさらに備える、請求項１に記載の流体送達システム。
11. 前記第１の基板ブロックは、前記背面に取り付けられ、前記能動構成要素が取り外されたときに、前記第１の基板ブロックは、前記背面に固定されたままである、請求項１に記載の液体送達システム。
12. 流体送達システムであって、
    背面と、
    前記背面の上面に設けられた第１の基板ブロックであって、第１の上面；前記第１の上面の第１の入口基板ポート；前記第１の上面の第１の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第１の入口基板ポートと前記第１の出口基板ポートとの間に延びる第１の基板流体通路を含む、第１の基板ブロックと、
    前記背面の前記上面に設けられた第２の基板ブロックであって、第２の上面；前記第２の上面の第２の入口基板ポート；および前記第２の上面の第２の出口基板ポート；およびコーナまたは角張った壁のない滑らかな弧の形態で前記第２の入口基板ポートと前記第２の出口基板ポートとの間に延びる第２の基板流体通路を含む、第２の基板ブロックと、
    流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調整器、弁、および流量計からなる群から選択される能動構成要素であって、下面；前記下面の構成要素入口ポート；前記下面の構成要素出口ポート；および前記構成要素入口ポートから前記構成要素出口ポートまで延びる構成要素流体通路を含む、能動構成要素と、
    第１のシールリングおよび第２のシールリングであって、前記第１のシールリングおよび第２のシールリングはそれぞれ内部スリーブおよび外リングを有する、第１のシールリングおよび第２のシールリングと、
    を備え、前記能動構成要素は、前記第１の基板ブロックおよび前記第２の基板ブロックに設けられ、それらを繋げて、（１）前記第１の出口基板ポートと前記構成要素入口ポートが位置合わせされ、前記第１の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第１のシールリングは、前記第１の出口基板ポートおよび前記構成要素入口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第１の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第１のシールリングは、垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（２）前記第２の入口基板ポートと前記構成要素出口ポートが位置合わせされ、前記第２の上面と前記下面との間に水平界面が形成され、かつ前記第２のシールリングは、前記第２の入口基板ポートおよび前記構成要素出口ポートのそれぞれを取り囲み、前記第２の基板流体通路および前記構成要素流体通路を流体的にシールし、前記第２のシールリングは、垂直方向の干渉がなく、水平方向に圧縮されるようにサイズ決定され、（３）前記能動構成要素は、前記背面から離間して分離されている、流体送達システム。
13. 前記第１のシールリングは、前記外リングから半径方向内側に延びるウェブをさらに備え、前記ウェブは垂直方向に圧縮されない、請求項１２に記載の流体送達システム。
14. 前記第１の基板ブロックは、前記第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングと、前記第１の上面に形成され、前記第１の基板リングを取り囲む基板チャネルと、を備え、
    前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングと、前記下面に形成され、前記構成要素リングを取り囲む構成要素チャネルと、を備え、
    前記第１のシールリングの前記外リングは、前記各基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの内部へ延び、前記基板チャネルおよび前記構成要素チャネルの側壁が、前記外リングを水平方向に圧縮し、
    前記ウェブは、前記基板リングと前記構成要素リングとの間に配置される、請求項１３に記載の流体送達システム。
15. 前記第１の基板ブロックは、第１の出口基板ポートを形成する第１の基板リングを備え、前記能動構成要素は、前記構成要素入口ポートを形成する構成要素リングを備え、前記第１のシールリングの前記内部スリーブは、外側へ傾斜した下部と外側へ傾斜した上部とを含む外面を備え、前記構成要素リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの上部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備え、前記第１の基板リングは、前記第１のシールリングの前記内部スリーブの下部の前記外側へ傾斜した部分と結合してそれに圧縮力を及ぼす内側へ傾斜した部分を有する内面を備える、請求項１２に記載の液体送達システム。
16. 前記第１の基板ブロック、前記第２の基板ブロック、前記第１のシールリング、および前記第２のシールリンは、グフッ素ポリマーからなる、請求項１に記載の流体送達システム。
17. 前記第１の基板流体通路が、実質的に一定の半径を有する、請求項１に記載の流体送達システム。

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