JP2000146051A - 流体継手 - Google Patents
流体継手Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16D3/00—Yielding couplings, i.e. with means permitting movement between the connected parts during the drive
- F16D3/80—Yielding couplings, i.e. with means permitting movement between the connected parts during the drive in which a fluid is used
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- Pipeline Systems (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
Abstract
いる利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を
除去することができる流体継手を提供する。 【解決手段】 継手部材12,31 の流体通路75,76 が、突
き合わせ端面に直交する開口部通路75a,76a と、これに
傾斜状に連なる本通路75b,76b とを有し、開口部通路75
a,76a の径がガスケット押さえ用環状突起71a,72a の内
径と等しくされ、ガスケット73の内径が開口部通路75a,
76a の径より小さくなされている。
Description
し、特に、流体通路が突き合わせ端面に直交する方向に
対して傾斜している流体継手に関する。
状突起を有する第1および第2の継手部材と、両継手部
材間に介在させられる円環状ガスケットとを備えている
流体継手は、従来より知られているが、従来の流体継手
では、各継手部材の流体通路が突き合わせ端面に直交し
ているのが一般的であった。
示すように、半導体製造装置等において用いられる流体
制御装置(4) をマスフローコントローラ(3) およびこれ
の左方および右方に設けられた遮断開放器(1)(2)により
構成するとともに、各遮断開放器(1)(2)が、入口および
出口が下面に設けられた複数の弁(6)(7)(8)(9)(10)と、
各弁(6)(7)(8)(9)(10)が上方から着脱自在に一方向に並
んで取り付けられている弁取付基部(28)(29)とよりな
り、弁取付基部(28)(29)が、一端側に配置された弁(6)
(8)の入口に通じる通路を有する流入路形成部材(30)(3
4)と、隣り合う弁(6)(7)(8)(9)(10)の入口と出口とを連
通する通路を有する1または複数の連通路形成部材(31)
(36)(38)と、他端側に配置された弁(7)(10) の出口に通
じる通路を有する流出路形成部材(33)(39)とによって形
成されているものを提案した(特願平9−278473
参照)。
1)(60)(61)が設けられた左側弁本体(22)(25)、中央弁本
体(23)(26)および右側弁本体(24)(27)よりなる逆止弁で
あり、(32)(35)(37)は、継手保持部材(47)(51)(53)およ
び継手部(48)(52)(54)からなる副通路形成部材であり、
(49)(50)は、マスフローコントローラ(3) の下端部に設
けられかつ下向きに開口した通路を有する直方体状張出
部である。また、各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞ
れ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から
取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の流路を
適宜遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)
よりなり、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部に設け
られた上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18
a)(20a)が上方からねじ込まれたねじ(図示略)により
弁取付基部(28)(29)に結合されている。
形成部材(30)(38)は、複数部材(42)(43)(44)(45)(46)(5
5)(56)(57)(58)(59)の組み合わせによってU字状通路を
有するように構成してもよく、また、流路形成部材(31)
(33)(34)(36)(39)は、V字状通路(31a)(33a)(34a)(36a)
(39a) を有するブロック状継手部材だけから構成されて
もよい。ここで、ブロック状継手部材(31)(33)(34)(36)
(39)は、部品数の低減とヒーターによる加熱の容易さと
いう利点を有している。
圧のシステムや大流量のシステムにおいて使用される場
合が多く、圧損を減らして流量アップを図ることが望ま
れている。
a)(36a)(39a) を有するブロック状継手部材(31)(33)(3
4)(36)(39)を用いた場合、U字状通路を有する流路形成
部材と比較すると、その開口部の径が同じでも流路径が
小さくなるため、流量アップという点からは不利になっ
ている。
ロック状継手部材を用いる利点を確保しつつ、その欠点
である流量低下要因を除去することができる流体継手を
提供することにある。
は、突き合わせ端面にガスケット押さえ用環状突起を有
する第1および第2の継手部材と、両継手部材間に介在
させられる円環状ガスケットとを備えている流体継手に
おいて、少なくとも一方の継手部材の流体通路が、突き
合わせ端面に直交する開口部通路と、これに傾斜状に連
なる本通路とを有し、開口部通路の径がガスケット押さ
え用環状突起の内径と等しくされ、ガスケットの内径が
開口部通路の径より小さくなされていることを特徴とす
るものである。
がともに傾斜状本通路を有しており、これらがほぼ直線
状に並んでいてもよく、第1および第2の継手部材の一
方が突き合わせ端面に直交する本通路を有し、同他方が
傾斜状本通路を有していてもよい。
面を参照して説明する。
を示すもので、(a)は、図7に示した第1開閉弁の弁
本体(12)、第2開閉弁の弁本体(14)および連通路形成部
材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、(b)は、
第1開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部材(31)の突
き合わせ部をさらに拡大した断面図である。
部材(31)の突き合わせ端面には、それぞれ断面円形の凹
所(69)(70)が設けられており、各凹所(69)(70)の底面に
は、ガスケット押さえ用環状突起(71a)(72a)を先端に有
する円筒状突出部(71)(72)が設けられている。両部材(1
2)(31)間には、リテーナ(74)に保持された円環状ガスケ
ット(73)が介在させられている。リテーナ(74)は、連通
路形成部材(31)の円筒状突出部(72)の外周部に取り付け
られている。第2開閉弁の弁本体(14)および連通路形成
部材(31)の突き合わせ部も全く同様に構成されている。
連通路形成部材(31)のV字状通路(31a) は、両開口部か
ら斜め方向の孔を開けていき、通路(31a) の下端でこれ
らの孔を突き合わせることにより形成されている。
部材という。)(12)および連通路形成部材(第2継手部
材という。)(31)の突き合わせ部の構成について説明す
る。
路(75)(76)は、円筒状突出部(71)(72)の内周面により形
成され突き合わせ端面に直交している短い開口部通路(7
5a)(76a)と、これに傾斜状に連なる本通路(75b)(76b)と
よりなる。
ット押さえ用環状突起(71a)(72a)の内径と等しく、ガス
ケット(73)の内径は、開口部通路(75a)(76a)の径より小
さくなされている。本通路(75b)(76b)は、開口部通路(7
5a)(76a)の径に対応する最大径に穿孔されている。
および第2継手部材(12)(31)の流体通路(85)(86)の開口
部通路(85a)(86b)の径とガスケット(83)の内径とが一致
させられ、本通路(85b)(86b)が開口部通路(85a)(86b)に
傾斜状に連なり、ガスケット押さえ用環状突起(81a)(82
a)の内径がガスケット(83)の内径より大きくされている
流体継手を示している。
(95a)(96) の径をこの発明の流体継手の開口部通路(75
a)(76a)の径と等しくされ、ガスケット(93)の内径およ
びガスケット押さえ用環状突起(91a)(92a)の内径が開口
部通路(95a)(96) の径と等しくされている流体継手を示
している。
よび図3に示した比較例1および2との比較を表1に示
す。
例1の本通路(85b)(86b)の径が2.5mmに対して、本
通路(75b)(76b)の径が3.3mmと拡大されている。す
なわち、流路断面積が1.74倍にまで増加し、流量ア
ップが図られたものとなっている。一方、比較例2の流
体継手によると、流量アップは、この発明のものと同じ
であるが、締付後にガスケット(93)の内周部にしわが生
じるという問題を有している。すなわち、この流体継手
を締め付けていくと、ガスケット(93)の両端面の内縁部
が各ガスケット押さえ用環状突起(91a)(92a)による応力
集中を受け、この結果、適正な締付けとされる範囲であ
っても、しわが生じるというものである。しわが生じる
と、これにごみが溜まることになり、極めて高い清浄度
が必要とされる半導体製造装置等での使用に支障を来す
ことになる。発明品では、ガスケット押さえ用環状突起
(71a)(72a)がガスケット(73)の径方向中央部に接してい
るので、ガスケット(73)内縁部への応力集中がなく、し
たがって、しわの発生がない。
路(75b)(76b)の径が拡大されていることにより、そのガ
ス置換性も向上しており、プロセスガスを一旦流してお
いてから、これがパージガスに置換されるまでの時間を
測定することにより検査したが、極めて良好であった。
これらのことより、この発明の流体継手によると、ガス
ケット(73)のしわの発生などのデメリットを生じること
なく流量アップが図られることがわかる。
好ましい実施形態を示している。
本体(12)の下端部に設けられた上から見て方形のフラン
ジ部(12a) の四隅部に上方からねじ(100) がねじ込まれ
ることにより弁取付基部(28)に結合されている。第2開
閉弁(7) は、弁本体(14)の下端部に設けられた上から見
て方形のフランジ部(14a) の四隅部および左右縁部の中
央部に上方からねじ(100) がねじ込まれることにより弁
取付基部(28)に結合されている。そして、第2開閉弁
(7) の円柱状弁本体(14)の外周壁には、図4および図6
に示すように、フランジ部(14a) の左右縁部の中央部に
ねじ込まれるねじ(100) のための垂直状のざぐり(101)
が設けられている。
ことにより、弁本体(14)の流路径を大きくしても、弁本
体(14)を大きくせずに済み、流体制御装置を大きくする
ことなく流量アップが可能となり、また、既設の流体制
御装置の一部分だけを上記の流量アップの構成に変更す
ることも可能となる。
が突き合わせ端面に直交する方向に対して傾斜している
流体継手について、ガスケットのしわの発生などのデメ
リットを生じることなく流量アップができるので、V字
状通路を有するブロック状継手部材を用いる利点を確保
しつつ、その欠点である流量低下要因を除去することが
できる。
る。
る。
の一部を示す平面図である。
装置を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 突き合わせ端面にガスケット押さえ用環
状突起(71a)(72a)を有する第1および第2の継手部材(1
2)(31)と、両継手部材(12)(31)間に介在させられる円環
状ガスケット(73)とを備えている流体継手において、少
なくとも一方の継手部材(12)(31)の流体通路(75)(76)
が、突き合わせ端面に直交する開口部通路(75a)(76a)
と、これに傾斜状に連なる本通路(75b)(76b)とを有し、
開口部通路(75a)(76a)の径がガスケット押さえ用環状突
起(71a)(72a)の内径と等しくされ、ガスケット(73)の内
径が開口部通路(75a)(76a)の径より小さくなされている
ことを特徴とする流体継手。
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