TW494185B - Fluid connector - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 494185 Α7 Β7 五、發明說明（） 【發明之背景】 本發明像關於流體連接器，尤其有關流體通路為對於 直交於對接端面之方向成傾斜之流體連接器。 其具備有： 在對接端面具有密合墊Η扣壓用環狀突起之第1及第 2連接器構件，與位於兩連接器構件間之圓環狀墊片之 流體連接器為以往就為人所知嘵，但是於習知之流體連 接器，一般為各連接器構件之流體通路為直交於對接端 面〇 本發明人等，僳如第7圖所示，提案了 （參照日本特 願平9-278473)將使用於半導體製造裝置等之流體控制 裝置（4)由質量流動控制器（3)及設於這些左方及右方 之遮斷開啓器（1 ) ( 2 )所構成，並且，各遮斷開啓器（1 ) (2)係由入口及出口為設在下面之複數閥（6)(7)(8)(9) (10),與從各閥（6)(7)(8)(9)(10)為從上方裝卸自如地 排成在一個方向中安裝之闊安裝基部（28) ( 29)所構成， 閥安裝基部（28)(29)為由具有連通於配置於一端側之閥 (6 ) ( 8 )通路之流入路形成構件（3 0 ) ( 3 4 ),與具有連通相 鄰之閥（6)(7)(8)(9)(10)之入口與出口之通路之1或複 數連通路形成構件（31)(36)(38),與具有連通於配置於 他端側之闊（7 )( 1 〇 )出口之通路之流出路形成構件（3 3 ) (3 9 )所形成者。 於該圖，（5 ) ( 1 1 )偽由；設於連接器部（4 0 ) ( 4 1 ) ( 6 0 ) (6 1 )之左側閥本體（2 2 ) ( 2 5 )，中央閥本體（2 3 ) ( 2 6 )及右 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I----------I I · I----— 丨訂-丨丨 I —----- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁} 494185 A7 B7 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 側闊本體（2 4 ) ( 2 7 )所搆成之止回閥，（3 2 ) ( 3 5 ) ( 3 7 )偽由 連接器固持構件（47)(51)(53)及連接器部（48)(52)(54) 所構成之副通路形成構件，（49)(50)為設於質量流動控 制器（3)下端部且具有向下開口之通路之直方體狀隆起 部。又，各闊（6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 )傺由安裝於閥本體（1 2 ) (14)(16)(18)(20)及對此從上方安裝用來適當遮斷開啓 閥本體（12)(14)(16)(18)(20)内流路之致動器（13)(15) (17) (19)(21)所構成，而由設於閥本體（12)(14)(16)) (18) (20)下端部從上方所視方形之凸緣部（12a)(14a) (16a)(18a)(20a)為從上方旋入之螺栓（省略圔示）結 合於閥安裝基部（2 8 ) ( 2 9 )。 於上述之各遮斷開啓器（1)(2)，流路形成構件（30) (38)也可藉複數構件（42)(43)(44)(45)(46)(55)(56) (57)(58)(59)之組合構成為具有U字狀通路，又，流路 形成構件（31)(33)(34)(36)(39)也可由只具有V字狀通 路（31a)(33a)(34a)(39a)之塊狀連接器構件所構成。在 此，塊狀連接器構件（3 1 ) ( 3 3 ) ( 3 4 ) ( 3 6 ) ( 3 9 )偽具有減少 零件件數與由加熱器之容易度之益處。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 然而，這種流體控制裝置，係使用於低差壓条統或大 流量条統之情形居多，期盼能達成減少壓力損失提高流 量。 然而，如使用具有V字狀通路（31a)(33a)(34a)(39a) 之塊狀連接器構件（31)(33)(34)(36)(39)時，若與具有 U字狀通路之流路形成構件比較時，即使其開口部直徑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 494185 A7 B7_ 五、發明說明（3 ) 相同由於流路直徑會變小，從提高流量來説為不利。 【發明概要】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之目的，僳提供一種可邊確保使用具有V字通 路之塊狀連接器構件之益處，可去除其缺點之流量減低 要因之流體連接器。 本發明之流體連接器，其傺備有在對接端面具有密合 墊片扣壓用環狀突起之第1及第2連接器構件，與位於 兩連接器構件間之圓璟狀墊片，其特徵為；至少一方之 連接器構件之流體通路為具有，直交於對接端面之開口 部通路，與對此成傾斜狀連接之正通路，開口部通路之 直徑為與墊片扣壓用環狀突起之内徑相等，墊片内徑為 較開口部通路之直徑為小。 於上述，第1及第2連接器構件都具有傾斜狀正通路 ，這些為也可約略直線狀地排列，第1及第2連接器構 件之一方具有直交於對接端面之正通路，也可以他方為 具有傾斜狀正通路。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若依據本發明之流體連接器，為就對於流體通路為直 交於對接端面之方向成傾斜之流體連接器，不至於發生 墊片之皺紋等缺點因可提高流量，所以，可邊確保使用 具有V字狀通路之塊狀連接器構件之益處，而可去除其 缺點之流量減低要因。 【較佳具體例之詳細説明】 玆參照圖面將本發明之實施形態說明如下。 第1圖（a)(b)傺表示本發明之流體連接器，（a)僳第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^4185 A7 ——___si--- 五、發明說明（4) 7圖所示第1開閉閥之闊本體（1 2 )，第2開閉閥之閥本 騁U4)及連通路形成構件（31)之對接部之放大剖面圖， (b)僳將第1開閉閥之閥本體（12)及連通路形成構件 (3 1 )之對接部更放大之剖面圖。 在第1開閉閥之閥本體（12)及連通路形成構件（31)之 對接端面，分別設有剖面圓形之凹處（69)(70),在各凹 處（69)(70)底面設有先端具有墊片扣壓用，環狀突起 (71a)(72a)之圓筒狀突出部（71)(72)。在兩構件（12) (13)間，位有由扣件（74)(retainer)所固持之圓筒狀墊 片（73)。扣件（74)係安裝於連通路形成構件（31)之圓筒 狀突出部（72)外周部。第2開閉閥之閥本體（14)及連通 路形成構件（31)之對接部也構成為完全相同。連通路形 成構件（31)之V字狀通路（31a)僳從兩開口部開有斜向 之孔，在通路（3 1 a )下端藉對接這些孔所形成。 玆就第1開閉閥之閥本體（稱為第1連接器構件） U2)及連通路形成構件（稱為第2連接器構件）（31)之 對接部之構成説明如下。 第1及第2連接器構件（12)(13)之流體通路（75)(76) 偽由圓筒狀突出部（71)(72)内周面所形成，由直交於對 接端面之短開口部通路（7 5 a )( 7 6 a ),與和此成傾斜狀連 接之正通路（75b)(76b)所構成。 各開口部通路（75a)(76a)之直徑，係與各墊片扣壓用 璟狀突起（71a)(72a)内徑相等，墊片（73)之内徑，為較 開口部通路（75a)(76a)之直徑為小。正通路（75a)(76a) -6 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q X 297公f )"" " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂-----'---線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 494185 A7 B7_ 五、發明說明（5 ) ，傺鑽孔成對應於開口部通路（75a)(76a)直徑之最大直 徑。 第2圖（a)(b)傺為了比較，表示有，第1及第2連接 器構件（1 2 ) ( 3 1 )之流體通路（8 5 ) ( 8 6 )之開口部通路（8 5 a ) (86b)直徑與墊片（83)之内徑為相等，正通路（85a) (86b) 為成傾斜狀連接於開口部通路（8 5 a ) ( 8 6 b )，墊片扣壓用 環狀突起（81a)(82a)之内徑為較墊片（83)為大之流體連 接器。 又，於第3圖，為了比較，表示有；將開口部通路 (95a)(96)之直徑使其與本發明之流體連接器之開口部 通路（75a)(76a)之直徑相等，墊片（93)之内徑及墊Η扣 壓用環狀突起（91a)(92a)之内徑為使其與開口部通路 (95a)(96)之直徑相等之流體連接器。 玆將第1圖所示本發明之流體連接器與第2圖及第3 圖所示之比較例1及比較例2之比較表示於表1 。 --------------------^丨訂--------r (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^185 ^185 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -^^一 __ 五、發明說明（6) 【表1】 發明閥 比較品1 比較品2 流路直徑 3.30 1 Λ Φ 3 · 3於 流量（Cv值） 增加 基準 增加 栓緊後狀態 良好 良好 墊Η發生雛紋 取代性 良好 良好 良好 如該表所示，若依據本發明之流體連接器,比較例1 之正通路（85b)(86b)之直徑為2.5mm,與此相較，正通 路（85b)(86b)之直徑為擴大到3·3ηιιπ。亦即，流路剖面 積增加到1 · 7 4倍，提高了流量。另一方面，若依據比較 例2之流體連接器，所提高之流量，雖然與本發明者相 同，但是具有栓緊後在墊Η (93)内周部會發生皴紋之問 題。亦即，若栓緊此流體連接器時，墊片（93)兩端面之 内緣部受到各墊片扣壓用環狀突起（9 1 a )( 9 2 a )之應力集 中，其結果，即使位於適當之栓緊範圍，也會發生皴紋 。右發生雛紋時，在此晋存留垃圾，對於需要極高清淨 度之半導體製造裝置等之使用有所妨礙。發明品因墊H 扣壓用璟狀突起（71a)(72a)為接觸於墊片（73)之徑向中 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -I I I I---------------丨—訂·11111 — —.1 ▲ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 494185 A7 B7 i、發明說明（） 央部，所以，沒有對於墊片（7 3 )内緣部之應力集中，所 以，不會發生皺紋。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 按，若依據本發明之流體連接器，由於擴大正通路 (75b)(76b)之直徑，所以其氣體之取代性也提高，一旦 流動製程氣體之後，藉測定這由清除氣體（Purge gas) 所取代為止之時間加以撿査，但是發現極為良好。由這 些事情，若依據本發明之流體連接器，不至於發生墊片 (7 3 )之皺紋等之缺點曉得可提高流量。 從第4圖到第6圖，表示有第2開閉閥（7 )之較佳實 施形態。 如第5圖所示，第1開閉閥（6 )偽設於閥本體（1 2 )下 端部從上方所視對於方形之凸緣部（12a)之四角隅從上 方藉旋入螺絲（1 〇 〇 )結合於閥安裝基部（2 8 )。第2開閉 閥（7)偽設於闊本體（14)下端部從上方所視對於方形之 凸緣部（14a)之四角隅及左右緣部之中央部從上方藉旋 入螺絲（100)結合於閥安裝基部（28)。並且，在第2開 閉閥（7)之圓柱狀閥本體（14)之外周壁，如第4圖及第 6圖，在凸緣部（14a)之左右緣部之中央部為了旋入螺 絲（100)所需設有垂直狀之魚眼切法（spot facing)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉使用這種構成之第2開閉閥（7),即使增大閥本體 (14)之流路直徑，不必增大閥本體（14)就可以，不至於 增大流量控制裝置就可提高流量，又，也可只將現有之 流體控制裝置之一部分變更為上述之提高流量構成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 494185 A7 B7 五、發明說明（ 。面 制 裝 圖剖 控 制 面之 C 體 控 。剖器 圖流 體 圖之接 視之 C 流 面器連 斜成 圖之 剖接體 之構 面器 之連流 態所 剖接 器體他 形閥 之連 接流其 施閉 線體 連之之 實開IV流 體用用 佳之 I 之 流所所 較圖IV明 之較較 之 4 之發 明比比 閥第 圖本 發了了 閉用 C5 用 本為為 開使圖第使 明示示示 示示面著示 說表表表 表表平沿表 單偽僳偽 傺傺分傺傺 簡圖圖圖 圖圖部圔圖 之 1CVJ3 45^67 式第第第。第 圖 圖 明 說 〇之 圖號 第置第第之符 裝 置 t 件件 構構 器器 接接 .1 ,11 遵 遵 1—I 2 ， 第第起 ί ί 突 體件狀 C 本構環， ，路 閥成用片 ，路通 閉形壓墊路通正 開路扣狀通部狀 1 通片環體口斜 第連墊圓流開傾 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 494185 ABCD 六、申請專利範圍 1. 一種流體連接器，其僳備有在對接端面具有墊片扣壓 用環狀突起（71 a ) ( 7 2 a )之第1及第2連接器構件（1 2 ) (3 1 ),與位於兩連接器構件（1 2 )( 3 1 )間之圓環狀墊片 (7 3 )者，其待徽為； 至少一方之連接器構件（12)(31)之流體通路（75)(76) ，為具有直交於對接端面之開口部通路（75a)(75b), 與和此連接成傾斜狀之正通路（7 5 b )( 7 6 b ),使開口部 通路（75a)( 7 6 a)之直徑與墊片扣壓用環狀突起（71a) (72a)之内徑相等，使墊Η (73)之内徑為較開口部通 路（7 5 a )( 7 6 a )之直徑為小。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）