JPH074542A - ライン逆止弁 - Google Patents

ライン逆止弁

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JPH074542A
JPH074542A JP14713893A JP14713893A JPH074542A JP H074542 A JPH074542 A JP H074542A JP 14713893 A JP14713893 A JP 14713893A JP 14713893 A JP14713893 A JP 14713893A JP H074542 A JPH074542 A JP H074542A
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正彦 中沢
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久佳 松本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 可動シール体をダイヤフラムに支持する形式
のライン逆止弁に於いて、シール性の向上を図ると共
に、閉止圧の上昇等を起こさないようにする。 【構成】 流入通路8、上流側壁面W1、静止シール部
9及び連絡通路14を備えた上流側本体1と;下流側壁
面W2及び流出通路20を備え、上流側本体1との間に
弁室19を形成する下流側本体2と;両壁面W1,W2
の外周縁部に挾持されて弁室19内に位置する可動シー
ル体4を備えたダイヤフラム3と;静止シール部9に設
けたシール部材5と;両本体1,2を締付け固定する締
付具6とを具備して居り、下流側壁面W2の外周縁部に
テーパ面23及び切欠係止部24を形成し、又、上流側
壁面W1の外周縁部に環状の押え突起体17を形成し、
更にダイヤフラム3の外周縁部に下流側へ折り曲げられ
た係止片3aを設け、当該係止片3aを前記テーパ面2
3と押え突起体17とで挾圧保持する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プラント等
の流体輸送ラインに介設されるライン逆止弁に係り、特
に可動シール体をダイヤフラムにより支持する形式のラ
イン逆止弁の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】本件出願人は、先に図6に示す如き可動
シール体をダイヤフラムにより支持する構造のライン逆
止弁を開発し、特開平4−210170号としてこれを
公開している。
【0003】即ち、前記ライン逆止弁は、図6に示す如
く、流入通路30を有する上流側本体31と;下流側壁
面W2及び流出通路32を有する下流側本体33と;下
流側壁面W2に対向して下流側壁面W2との間に弁室3
4を形成する上流側壁面W1と、上流側壁面W1の中央
部に形成した静止シール部35と、流入通路30と流出
通路32を連通状態にする連絡通路36とを有し、外周
縁部がガスケット37を介して上流側本体31と下流側
本体33に挾持されたカウンターディスク38と;外周
縁部がカウンターディスク38の外周縁部と下流側壁面
W2の外周縁部とで気密状に挾圧保持された環状のダイ
ヤフラム39と;ダイヤフラム39の内周縁部に固着さ
れ、静止シール部35に対向する環状の可動シール体4
0と;静止シール部35に設けられ、可動シール体40
に当離座する環状のシール部材41と;上流側本体31
と下流側本体33を締付け固定するナット42とから構
成されている。尚、図6に於いて、43は上流側壁面W
1の逆圧保持部、44は下流側壁面W2の正圧保持部、
45はシール部材41が挿着される環状の溝である。
【0004】而して、ダイヤフラム39に支持された可
動シール体40は、無圧時にはシール部材41に極軽く
当接している。上流側から流体圧がかかると、ダイヤフ
ラム39が差圧によって下流側方向へ押圧され、可動シ
ール体40がシール部材41から離れる。その結果、流
入通路30と流出通路32が連通状態になり、流体は矢
印(実線)方向へ流れる。又、差圧が大きくなると、ダ
イヤフラム39が下流側壁面W2の正圧保持部44へ当
接し、ダイヤフラム39の無理な動きや変形が規制され
る。一方、下流側から流体圧がかかると、ダイヤフラム
39が逆差圧によって上流側方向へ押圧され、可動シー
ル体40がシール部材41へ当接する。その結果、流入
通路30と流出通路32が遮断状態になり、流出通路3
2から流入通路30への逆流が阻止される。又、差圧が
大きくなると、ダイヤフラム39が上流側壁面W1の逆
圧保持部43へ接当し、ダイヤフラム39の無理な動き
や変形が規制される。
【0005】前記ライン逆止弁は、精度や応答性、組立
性、取扱性等に優れているだけでなく、摩耗粉が発生し
たり、弁内部に流体が滞留しない為、高クリーン度が要
求される半導体等の製造装置に於ける流体輸送ライン等
にも好適に使用できる等、優れた利点がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、当該ライン
逆止弁にも、解決すべき問題点が残されている。先ず、
第1の問題は、ガスケット37部分及びダイヤフラム3
9の外周縁部分からの漏洩の問題である。即ち、前記ラ
イン逆止弁は、カウンターディスク38を使用している
為、流体の漏洩を防止するシール面がガスケット37の
両面及びダイヤフラム39の外周縁部両面の計4個所に
なり、シール個所が多い。又、ガスケット37とダイヤ
フラム39の材質が異なるうえ、各部材を同一のナット
42で締付けている為、ガスケット37の変形とダイヤ
フラム39の変形が相互に干渉し合い、ガスケット37
の両面に生じる面圧とダイヤフラム39の外周縁部両面
に生じる面圧とが異なることになる。更に、ダイヤフラ
ム39の外周縁部が上流側壁面W1と下流側壁面W2と
の間で平面的に挾圧保持されている為、堅固な挾持を行
えない。従って、前記ライン逆止弁は、取り扱う流体が
高圧の場合にはガスケット37部分やダイヤフラム39
の外周縁部分から流体が漏洩し易く、高圧の流体に対し
てシール性が極めて悪いと云う問題があった。特に、半
導体製造プラント等に於いて使用される高純度ガスの使
用圧力は、100kg/cm2 以上の高圧もあり、前記
ライン逆止弁を使用するには問題があった。
【0007】第2の問題は、シール部材41の剥離や裏
漏れの問題である。シール部材41は、通常静止シール
部35に形成した環状の溝45内へ合成ゴムを鋳込むこ
とにより成形・固着されているが、溝45の内壁面に対
するゴムの固着力が比較的弱く、時間の経過と共にシー
ル部材41の剥離や裏漏れを生ずることになる。
【0008】本発明は、従前のライン逆止弁に於ける上
述の如き問題、即ち、ガスケット部分やダイヤフラム
の外周縁部分からの流体の漏れ、シール部材の剥離や
裏漏れの発生等の問題を解決せんとするするものであ
り、シール性に極めて優れ、然も閉止圧の上昇等を防止
できるようにしたライン逆止弁を提供するにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明のライン逆止弁は、流入通路と、流入通路に
直交する断面形状が略凹状若しくは凸状の上流側壁面
と、上流側壁面の中央部に形成した静止シール部と、流
入通路と上流側壁面に於ける静止シール部の外側領域と
を連通する連絡通路とを備えた上流側本体と;上流側壁
面に対向して上流側壁面との間に弁室を形成する断面形
状が略凹状の下流側壁面と、下流側壁面の中央部に開口
した流出通路とを備えた下流側本体と;弁室内に配置さ
れ、外周縁部が上流側壁面の外周縁部と下流側壁面の外
周縁部とで気密状に挾圧保持された環状のダイヤフラム
と;ダイヤフラムの内周縁部に固着され、静止シール部
に対向すると共に、中心部に流体通路を形成した可動シ
ール体と;静止シール部に取り付けられ、可動シール体
の流体通路の開口周縁部に当離座する環状のシール部材
と;上流側本体と下流側本体とを締付け固定する締付具
とを具備して成り、前記下流側本体の下流側壁面の外周
縁部にテーパ面及び切欠係止部を形成し、又、上流側本
体の上流側壁面の外周縁部にテーパ面に対向する環状の
押え突起体を形成し、更にダイヤフラムの外周縁部に下
流側へ折り曲げられた係止片を設け、当該係止片を前記
テーパ面と押え突起体とで挾圧保持する構成としたもの
である。又、前記静止シール部にシール部材が挿着され
る環状の溝を形成すると共に、その近傍にカシメ体を突
設形成し、溝内へ挿着したシール部材を金属製の押えリ
ングを介して折り曲げしたカシメ体により押圧固定する
ことが好ましい。
【0010】
【作用】流入通路に流体が流入すると、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが下流側方向へ変形し、可
動シール体がシール部材から離れる。その結果、流入通
路と流出通路が連通され、流体は流入通路から連絡通
路、弁室及び流体通路を経て流出通路へと流動する。
又、流出通路に逆流が生じた場合には、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが上記とは逆方向へ変形
し、可動シール体がシール部材へ当接する。その結果、
流入通路と流出通路は可動シール体とシール部材との接
触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆流が阻
止される。
【0011】本発明のライン逆止弁は、ダイヤフラムの
外周縁部のみを上流側本体と下流側本体とで挾持してい
る為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤフラムの
外周縁部両面の2個所だけになり、シール個所が少な
い。又、ダイヤフラムのみを挾持するようにしている
為、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十
分な面圧が得られる。然も、ダイヤフラムの外周縁部を
テーパ面と押え突起体とで挾着している為、より高度な
気密性の確保が可能となる。その結果、取り扱い流体が
高圧であっても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて
優れている。又、シール部材が、押えリングを介してカ
シメ体により堅固に溝内へ押圧固定されている為、所謂
裏漏れやシール部材の脱落が防止される。更に、ダイヤ
フラムの外周縁部に下流側へ折り曲げられた係止片を形
成し、当該係止片を、下流側壁面の外周縁部に形成した
テーパ面と上流側壁面の外周縁部に形成した環状の押え
突起体とで挾圧保持するようにしている為、ダイヤフラ
ムは挾持されたときに中央部分が極僅かだけ上流側へ膨
出することになる。その結果、可動シール体は無圧時で
もシール部材に確実に当接することになり、閉止圧の上
昇を防止できると共に、より低い閉止圧でもって流体通
路が確実に閉止されることになる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1は本発明の第1実施例に係るライン逆
止弁の拡大縦断面図であって、当該ライン逆止弁は、上
流側本体1、下流側本体2、ダイヤフラム3、可動シー
ル体4、シール部材5、締付具6及び静止シール体7か
ら構成されている。
【0013】前記上流側本体1は、ステンレス鋼等の金
属材により略T字型に形成されて居り、中心軸線上には
流入通路8が、又、下流側には流入通路8に直交する断
面形状が略凹状の上流側壁面W1が夫々形成されてい
る。前記上流側壁面W1の中央部には、静止シール部9
が形成されて居り、本実施例では、静止シール部9は、
上流側壁面W1の中央部に形成した窪み部10に静止シ
ール部9を有する静止シール体7を収納固定することに
よって、形成されている。当該静止シール体7は、ステ
ンレス鋼等の金属材により下流側が閉塞された略筒状に
形成されて居り、上流側に形成した挿入筒部7aを流入
通路8の下流側に挿入してカシメ固定することによっ
て、窪み部10に収納固定されている。又、静止シール
体7の下流側面は、後述する可動シール体4に対向し且
つ中心軸線に対して垂直方向の平面から成る静止シール
部9を形成して居り、当該静止シール部9には、図2に
示す如く、後述するシール部材5を挿着する為の環状の
溝11と、シール部材5の金属製押えリング12を固定
する為のカシメ体13とが夫々形成されている。更に、
静止シール体7の周壁部には、流入通路8と静止シール
部9の外側領域(静止シール体7の周面部)とを連通す
る複数の連絡通路14が等角度毎に穿設されている。一
方、上流側壁面W1の外周部分は、断面視に於いて、内
方側が上流側へ僅かに傾斜する傾斜面から成る環状の逆
圧保持部15を形成して居り、当該逆圧保持部15は、
後述するダイヤフラム3の上流側面に対向し、ダイヤフ
ラム3の軸線方向の移動を面的に受け止める為のもので
ある。又、上流側壁面W1の外周縁部には、下流側本体
2の上流側外周面に嵌合される筒部16が形成されて居
り、当該筒部16の内方に下流側本体2の上流側端部や
ダイヤフラム3が夫々挿着される。更に、上流側壁面W
1の外周縁部には、ダイヤフラム3の外周縁部を気密状
に押圧保持する環状の押え突起体17が形成されてい
る。尚、図1に於いて、18は上流側本体1の下流側外
周面に形成した雄ねじ部である。
【0014】前記下流側本体2は、ステンレス鋼等の金
属材により略T字型に形成されて居り、上流側本体1の
上流側壁面W1に対向する面には上流側壁面W1との間
に弁室19を形成する為の断面形状略凹状の下流側壁面
W2が、又、中心軸線上には流入通路8と同一直線上に
位置して下流側壁面W2の中央部に開口する流出通路2
0が夫々形成されている。前記下流側壁面W2の中央部
分(窪み部分の底部)は、中心軸線に対して垂直方向の
平面から成る環状の第1正圧保持部21を形成して居
り、当該第1正圧保持部21は、可動シール体4に対向
している。又、下流側壁面W2の外周部分は、断面視に
於いて、内方側が下流側へ僅かに傾斜する傾斜面から成
る環状の第2正圧保持部22を形成して居り、当該第2
正圧保持部22は、ダイヤフラム3の下流側面に対向
し、ダイヤフラム3の軸線方向の移動を面的に受け止め
る為のものである。更に、第2正圧保持部22の外周縁
部には、図3に示す如く、上流側本体1の押え突起体1
7に対向するテーパ面23と切欠係止部24とが夫々形
成されて居り、これによってダイヤフラム3の係止と気
密挾持が行われる。
【0015】前記ダイヤフラム3は、ステンレス鋼やイ
ンコネル(商標名)等の金属製薄板により環状に形成さ
れて居り、その外周縁部には、下流側へ向けて二段に折
り曲げられた係止片3aが形成されている。この係止片
3aは、図3に示すように下流側本体2のテーパ面23
と切欠係止部24へ係合され、テーパ面23と下流側本
体2の押え突起体17との間で気密状に挾圧保持され
る。即ち、ダイヤフラム3は、その係止片3aがテーパ
面23と押え突起体17との間で気密状に挾圧保持され
ることによって、軸線方向へ変形可能になって居り、そ
の両面は逆圧保持部15及び第2正圧保持部22に夫々
対向している。又、ダイヤフラム3の変形はその両面に
作用する差圧によって生ずるが、差圧が作用しない状態
(以下「無負荷状態」という)では、ダイヤフラム3は
平板形態に保持され、逆圧保持部15及び第2正圧保持
部22との間に若干の間隙を形成している。
【0016】前記可動シール体4は、ステンレス鋼等の
金属材により略筒状に形成されて居り、上流側の端面が
静止シール部9に、又、下流側の端面が第1正圧保持部
21に夫々対向するようにして、ダイヤフラム3の内周
縁部に溶着されている。更に、可動シール体4の中心部
は、流体通路25となっている。尚、ダイヤフラム3が
平板形態に保持される無負荷状態に於いては、可動シー
ル体4は後述するシール部材5へ極軽く当接した状態と
なっている。
【0017】前記シール部材5は、或る程度以上の弾性
を有するゴムやプラスチック等により環状に形成されて
居り、その内周縁側にはステンレス鋼製の押えリング1
2が装着されている。この押えリング12はシール部材
5と一体化されて居り、シール部材5の加硫時に一体化
されている。そして、前記シール部材5は、静止シール
部9に形成した環状の溝11に圧入保持されている。即
ち、シール部材5は、図2に示す如く、溝11内へシー
ル部材5を挿入した後、カシメ体13を折り曲げてシー
ル部材5と一体化した押えリング12を押圧することに
よって、溝11内に圧入固定されている。尚、ダイヤフ
ラム3が平板形態に保持される無負荷状態に於いては、
シール部材5は可動シール体4の上流側端面に極く軽く
接当する状態にある為、シール部材5をゴム等で構成し
た場合にも、シール部材5が可動シール体44に貼り付
くような虞れはない。
【0018】前記締付具6は、ダイヤフラム3の外周縁
部が上流側本体1と下流側本体2とで挾圧保持されるよ
うに、両本体1,2を締付け固定するものである。本実
施例に於いては、締付具6にはナットが使用されて居
り、上流側本体1の雄ねじ部18に螺合するようになっ
ている。
【0019】而して、前記ライン逆止弁は、上流側本体
1の上流側壁面W1と下流側本体2の下流側壁面W2と
の間に可動シール体4を溶着したダイヤフラム3を配置
すると共に、上流側本体1の筒部16を下流側本体2に
嵌合し、上流側本体1の雄ねじ部18へ締付具6を螺合
して上流側本体1と下流側本体2とを締付け固定するこ
とによって、組み立てられる。
【0020】以上のように構成されたライン逆止弁にあ
っては、流入通路8に流体が流入すると、ダイヤフラム
3がその両面に作用する圧力差によって第2正圧保持部
22方向に押圧されて変形し、可動シール体4がシール
部材5から離れる。その結果、流入通路8と流出通路2
0との間が連通され、流体は流入通路8から連絡通路1
4、弁室19及び流体通路25を経て流出通路20へと
流れる。尚、過大な流体圧がかかった場合でも、可動シ
ール体4及びダイヤフラム3は第1及び第2正圧保持部
21,22に支持される為、過大に変形することはな
い。
【0021】又、流体が逆流したときには、ダイヤフラ
ム3がその両面に作用する圧力差によって逆圧保持部1
5方向に押圧され、可動シール体4がシール部材5に強
く当接する。その結果、流入通路8と流出通路20との
間の連通が遮断され、流出通路20から流入通路87へ
の逆流が阻止される。尚、ダイヤフラム3に作用する逆
圧が過大である場合でも、ダイヤフラム3が逆圧保持部
15に支持され、それ以上の変形が阻止されることか
ら、ダイヤフラム3は過大に変形することがない。
【0022】本願発明のライン逆止弁は、ダイヤフラム
3の外周縁部のみを上流側本体1と下流側本体2とで挾
持している為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤ
フラム3の外周縁部両面の2個所だけになり、シール個
所が少ない。又、締付具6で両本体1,2を締付けて
も、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十
分な面圧が得られる。然も、ダイヤフラム3の外周縁部
をテーパ面23と押え突起体17との間で挾着している
為、より高度な気密性の確保が可能となる。その結果、
取り扱い流体が高圧であっても、流体が漏洩し難く、シ
ール性に極めて優れている。更に、本願発明のライン逆
止弁に於いては、ダイヤフラム3の外周縁部を下流側へ
折り曲げて係止片3aを形成し、当該係止片3aを下流
側壁面W2の外周縁部に形成したテーパ面23と上流側
壁面W1の外周縁部に形成した環状の押え突起体17と
で挾圧保持するようにしている為、ダイヤフラム3は上
流側本体1と下流側本体2とで挾持されたときに中央部
分が極僅かだけ上流側へ膨出することになる。その結
果、可動シール体4は無圧時でもシール部材5に確実に
当接することになり、より低い閉止圧でもって流体通路
25が確実に閉止されると共に、閉止作用も安定するこ
とになる。尚、ダイヤフラム3の係止片3aを上流側へ
折り曲げ、当該係止片3aを上流側壁面W1の外周縁部
に形成したテーパ面23と下流側壁面W2の外周縁部に
形成した環状の押え突起体17とで挾圧保持した場合に
は、ダイヤフラム3は反対に下流側に膨出するとにな
る。その結果、無圧時でも、シール部材5へ極軽く接触
していなければならない可動シール体4が、シール部材
5から離間した状態となり、閉止圧が上昇するだけでな
く、閉止作用そのものが不安定となる。特に、ダイヤフ
ラム3外周縁部からの漏洩を防止する為に締付具6によ
る締付けトルクを上げて行くと、ダイヤフラム3の変形
が更に大きくなって閉止圧はより高くなり、極めて問題
である。本願発明のライン逆止弁は、無圧時でもダイヤ
フラム3が下流側へ膨出変形すると云うことがなく、上
述の問題を解決することができる。
【0023】図4は本発明の第2実施例に係るライン逆
止弁の拡大縦断面図であって、当該ライン逆止弁は、静
止シール体7を省略し、静止シール部9を上流側壁面W
1の中央部に一体的に形成したものである。即ち、上流
側本体1の下流側に流入通路8と直交する断面形状が略
凸状の上流側壁面W1を形成し、当該上流側壁面W1の
中央部(突状部分の頂部)に、可動シール体4に対向し
且つ中心軸線に対して垂直方向の平面から成る静止シー
ル部9を形成している。又、流入通路8と上流側壁面W
1に於ける静止シール部9の外側領域(静止シール部9
と逆圧保持部15との間)とは連絡通路14を介して連
通されている。更に、可動シール体4は、有底筒状を呈
し、底壁部の内面側が静止シール部9に、又、底壁部の
外面側が第1正圧保持部21に夫々対向して居り、中心
部(底壁部の中心)には、流体通路25が形成されてい
る。尚、その他の構成は、上記第1実施例のライン逆止
弁と同一構造に構成されている。このライン逆止弁も、
上記第1実施例ものと同様の作用効果を奏することがで
きる。
【0024】図5はシール部材5と押えリング12の変
形例を示す拡大部分縦断面図であり、押えリング12に
大径の鍔部12aを形成し、当該鍔部12aをシール部
材5に埋設したものである。この場合、シール部材5と
押えリング12とは一体化していることは勿論である。
この様にすると、大径の鍔部12aによってシール部材
5が溝11内へ確実且つ強固に押圧され、高圧の流体が
図5の矢印方向へ流れても、シール部材5が溝11から
浮き上がると云うことがなく、シール部材5の浮き上が
りを確実に防止することができる。
【0025】上記第1実施例に於いては、静止シール体
7は、上流側に形成した挿入筒部7aを流入通路8の下
流側に挿入してカシメ固定することによって、窪み部1
0に収納固定するようにしたが、他の実施例に於いて
は、静止シール体7の挿入筒部7aを流入通路8に挿入
し、挿入筒部7aと流入通路8の内周面とを溶接により
固着するようにしても良い。
【0026】上記各実施例に於いては、シール部材5と
押えリング12とを、静止シール部9に形成した溝11
内に挿入し、同じく静止シール部9に形成したカシメ体
13を折り曲げることによって、シール部材5及び押え
リング12を溝11内へ圧入固定するようにしたが、他
の実施例に於いては、シール部材5と押えリング12と
を溝11内に挿入し、押えリング12を静止シール部9
へ溶接によって固着するようにしても良い。
【0027】上記各実施例に於いては、シール部材5と
押えリング12とを一体化したが、他の実施例に於いて
は、シール部材5と押えリング12とを別体にし、これ
らを溝11内へ順次挿入してカシメ体13により押圧固
定するようにしても良い。
【0028】上記各実施例に於いては、下流側壁面W2
の第2正圧保持部22の全体が、断面視に於いて、中心
軸線に対して傾斜状になっているが、他の実施例に於い
ては、図示していないが、当該第2正圧保持部22を、
断面視に於いて、下流側本体2の中心軸線に対して垂直
方向で且つ外側に位置する垂直面部と、中心軸線に対し
て下流側へ僅かに傾斜し且つ内側に位置する傾斜面部と
から形成し、垂直面部の半径方向寸法を大きく設定して
も良い。この場合、過大な流体圧がかかっても、ダイヤ
フラム3の移動量は垂直面部によって規制され、所謂ダ
イヤフラム3の浮き上がり変形が防止される。その結
果、無圧時のダイヤフラム3及び可動シール体4の保持
位置が、使用時間の経過と共に変わるようなことが皆無
となり、閉止作用が安定化する。
【0029】上記各実施例に於いては、上流側本体1と
下流側本体2とをナット構造の締付具6で締付け固定す
るようにしたが、他の実施例に於いては、上流側本体1
と下流側本体2とをボルト・ナットで締付け固定するよ
うにしても良い。
【0030】
【発明の効果】上述の通り、本願発明の請求項1のライ
ン逆止弁に於いては、ダイヤフラムの外周縁部を上流側
本体と下流側本体とで挾持している為、流体の漏洩を防
止するシール面がダイヤフラム両面の2個所だけにな
り、シール個所が少ない。又、ダイヤフラムのみを挾持
するようにしている為、締付具で両本体を締付けても、
シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な
面圧が得られる。更に、ダイヤフラムの外周縁部に形成
した係止片を、上流側本体の押え突起体と下流側本体の
テーパ面とで挾着している為、より高度な気密性の確保
が可能となる。然も、カウンターディスクを省略してい
る為、上流側本体と下流側本体のダイヤフラムを挾持す
る部分の肉厚を厚くすることができる。その結果、取り
扱い流体が高圧であっても、流体が漏洩し難く、シール
性に極めて優れたものになる。又、本願発明のライン逆
止弁は、ダイヤフラムの外周縁部を下流側へ折り曲げて
係止片を形成し、当該係止片を下流側壁面の外周縁部に
形成したテーパ面と上流側壁面の外周縁部に形成した環
状の押え突起体とで挾圧保持するようにしている為、ダ
イヤフラムは上流側本体と下流側本体とで挾持されたと
きに中央部分が極僅かだけ上流側へ膨出することにな
る。その結果、可動シール体は無圧時でもシール部材に
確実に当接することになり、閉止圧の上昇が皆無となる
と共に、より低い閉止圧でもって流体通路が確実に閉止
されることになる。
【0031】本願発明の請求項2のライン逆止弁に於い
ては、上記効果に加えて、更に次のような効果を奏し得
る。即ち、請求項2のライン逆止弁に於いては、静止シ
ール部に形成した環状の溝の近傍にカシメ体を設け、溝
内へ挿着したシール部材を押えリングを介して前記カシ
メ体により溝内へ押圧固着する構成としている。その結
果、シール部材が経年変化によって脱落したり、或いは
溝とシール部材間に間隙が生じて所謂裏漏れを生ずるよ
うなことが皆無となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るライン逆止弁の拡大
縦断面図である。
【図2】図1のA部の拡大図である。
【図3】図1のB部の拡大図である。
【図4】本発明の第2実施例に係るライン逆止弁の拡大
縦断面図である。
【図5】シール部材と押えリングの変形例を示す拡大部
分縦断面図である。
【図6】従来のライン逆止弁の拡大縦断面図である。
【符号の説明】
1は上流側本体、2は下流側本体、3はダイヤフラム、
3aは係止片、4は可動シール体、5はシール部材、6
は締付具、8は流入通路、9は静止シール部、11は
溝、12は押えリング、13はカシメ体、14は連絡通
路、17は押え突起体、19は弁室、20は流出通路、
23はテーパ面、24は切欠係止部、25は流体通路、
W1は上流側壁面、W2は下流側壁面。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流入通路(8)と、流入通路(8)に直
    交する断面形状が略凹状若しくは凸状の上流側壁面(W
    1)と、上流側壁面(W1)の中央部に形成した静止シ
    ール部(9)と、流入通路(8)と上流側壁面(W1)
    に於ける静止シール部(9)の外側領域とを連通する連
    絡通路(14)とを備えた上流側本体(1)と;上流側
    壁面(W1)に対向して上流側壁面(W1)との間に弁
    室(19)を形成する断面形状が略凹状の下流側壁面
    (W2)と、下流側壁面(W2)の中央部に開口した流
    出通路(20)とを備えた下流側本体(2)と;弁室
    (19)内に配置され、外周縁部が上流側壁面(W1)
    の外周縁部と下流側壁面(W2)の外周縁部とで気密状
    に挾圧保持された環状のダイヤフラム(3)と;ダイヤ
    フラム(3)の内周縁部に固着され、静止シール部
    (9)に対向すると共に、中心部に流体通路(25)を
    形成した可動シール体(4)と;静止シール部(9)に
    取り付けられ、可動シール体(4)の流体通路(25)
    の開口周縁部に当離座する環状のシール部材(5)と;
    上流側本体(1)と下流側本体(2)とを締付け固定す
    る締付具(6)とを具備して成り、前記下流側本体
    (2)の下流側壁面(W2)の外周縁部にテーパ面(2
    3)及び切欠係止部(24)を形成し、又、上流側本体
    (1)の上流側壁面(W1)の外周縁部にテーパ面(2
    3)に対向する環状の押え突起体(17)を形成し、更
    にダイヤフラム(3)の外周縁部に下流側へ折り曲げら
    れた係止片(3a)を設け、当該係止片(3a)を前記
    テーパ面(23)と押え突起体(17)とで挾圧保持す
    る構成としたことを特徴とするライン逆止弁。
  2. 【請求項2】 前記静止シール部(9)にシール部材
    (5)が挿着される環状の溝(11)を形成すると共
    に、その近傍にカシメ体(13)を突設形成し、前記溝
    (11)内へ挿着したシール部材(5)を金属製の押え
    リング(12)を介して折り曲げしたカシメ体(13)
    により押圧固定するようにした請求項1に記載のライン
    逆止弁。
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