JPH074542A - ライン逆止弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 可動シール体をダイヤフラムに支持する形式
のライン逆止弁に於いて、シール性の向上を図ると共
に、閉止圧の上昇等を起こさないようにする。 【構成】 流入通路８、上流側壁面Ｗ１、静止シール部
９及び連絡通路１４を備えた上流側本体１と；下流側壁
面Ｗ２及び流出通路２０を備え、上流側本体１との間に
弁室１９を形成する下流側本体２と；両壁面Ｗ１，Ｗ２
の外周縁部に挾持されて弁室１９内に位置する可動シー
ル体４を備えたダイヤフラム３と；静止シール部９に設
けたシール部材５と；両本体１，２を締付け固定する締
付具６とを具備して居り、下流側壁面Ｗ２の外周縁部に
テーパ面２３及び切欠係止部２４を形成し、又、上流側
壁面Ｗ１の外周縁部に環状の押え突起体１７を形成し、
更にダイヤフラム３の外周縁部に下流側へ折り曲げられ
た係止片３ａを設け、当該係止片３ａを前記テーパ面２
３と押え突起体１７とで挾圧保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プラント等
の流体輸送ラインに介設されるライン逆止弁に係り、特
に可動シール体をダイヤフラムにより支持する形式のラ
イン逆止弁の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】本件出願人は、先に図６に示す如き可動
シール体をダイヤフラムにより支持する構造のライン逆
止弁を開発し、特開平４−２１０１７０号としてこれを
公開している。

【０００３】即ち、前記ライン逆止弁は、図６に示す如
く、流入通路３０を有する上流側本体３１と；下流側壁
面Ｗ２及び流出通路３２を有する下流側本体３３と；下
流側壁面Ｗ２に対向して下流側壁面Ｗ２との間に弁室３
４を形成する上流側壁面Ｗ１と、上流側壁面Ｗ１の中央
部に形成した静止シール部３５と、流入通路３０と流出
通路３２を連通状態にする連絡通路３６とを有し、外周
縁部がガスケット３７を介して上流側本体３１と下流側
本体３３に挾持されたカウンターディスク３８と；外周
縁部がカウンターディスク３８の外周縁部と下流側壁面
Ｗ２の外周縁部とで気密状に挾圧保持された環状のダイ
ヤフラム３９と；ダイヤフラム３９の内周縁部に固着さ
れ、静止シール部３５に対向する環状の可動シール体４
０と；静止シール部３５に設けられ、可動シール体４０
に当離座する環状のシール部材４１と；上流側本体３１
と下流側本体３３を締付け固定するナット４２とから構
成されている。尚、図６に於いて、４３は上流側壁面Ｗ
１の逆圧保持部、４４は下流側壁面Ｗ２の正圧保持部、
４５はシール部材４１が挿着される環状の溝である。

【０００４】而して、ダイヤフラム３９に支持された可
動シール体４０は、無圧時にはシール部材４１に極軽く
当接している。上流側から流体圧がかかると、ダイヤフ
ラム３９が差圧によって下流側方向へ押圧され、可動シ
ール体４０がシール部材４１から離れる。その結果、流
入通路３０と流出通路３２が連通状態になり、流体は矢
印（実線）方向へ流れる。又、差圧が大きくなると、ダ
イヤフラム３９が下流側壁面Ｗ２の正圧保持部４４へ当
接し、ダイヤフラム３９の無理な動きや変形が規制され
る。一方、下流側から流体圧がかかると、ダイヤフラム
３９が逆差圧によって上流側方向へ押圧され、可動シー
ル体４０がシール部材４１へ当接する。その結果、流入
通路３０と流出通路３２が遮断状態になり、流出通路３
２から流入通路３０への逆流が阻止される。又、差圧が
大きくなると、ダイヤフラム３９が上流側壁面Ｗ１の逆
圧保持部４３へ接当し、ダイヤフラム３９の無理な動き
や変形が規制される。

【０００５】前記ライン逆止弁は、精度や応答性、組立
性、取扱性等に優れているだけでなく、摩耗粉が発生し
たり、弁内部に流体が滞留しない為、高クリーン度が要
求される半導体等の製造装置に於ける流体輸送ライン等
にも好適に使用できる等、優れた利点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、当該ライン
逆止弁にも、解決すべき問題点が残されている。先ず、
第１の問題は、ガスケット３７部分及びダイヤフラム３
９の外周縁部分からの漏洩の問題である。即ち、前記ラ
イン逆止弁は、カウンターディスク３８を使用している
為、流体の漏洩を防止するシール面がガスケット３７の
両面及びダイヤフラム３９の外周縁部両面の計４個所に
なり、シール個所が多い。又、ガスケット３７とダイヤ
フラム３９の材質が異なるうえ、各部材を同一のナット
４２で締付けている為、ガスケット３７の変形とダイヤ
フラム３９の変形が相互に干渉し合い、ガスケット３７
の両面に生じる面圧とダイヤフラム３９の外周縁部両面
に生じる面圧とが異なることになる。更に、ダイヤフラ
ム３９の外周縁部が上流側壁面Ｗ１と下流側壁面Ｗ２と
の間で平面的に挾圧保持されている為、堅固な挾持を行
えない。従って、前記ライン逆止弁は、取り扱う流体が
高圧の場合にはガスケット３７部分やダイヤフラム３９
の外周縁部分から流体が漏洩し易く、高圧の流体に対し
てシール性が極めて悪いと云う問題があった。特に、半
導体製造プラント等に於いて使用される高純度ガスの使
用圧力は、１００ｋｇ／ｃｍ² 以上の高圧もあり、前記
ライン逆止弁を使用するには問題があった。

【０００７】第２の問題は、シール部材４１の剥離や裏
漏れの問題である。シール部材４１は、通常静止シール
部３５に形成した環状の溝４５内へ合成ゴムを鋳込むこ
とにより成形・固着されているが、溝４５の内壁面に対
するゴムの固着力が比較的弱く、時間の経過と共にシー
ル部材４１の剥離や裏漏れを生ずることになる。

【０００８】本発明は、従前のライン逆止弁に於ける上
述の如き問題、即ち、ガスケット部分やダイヤフラム
の外周縁部分からの流体の漏れ、シール部材の剥離や
裏漏れの発生等の問題を解決せんとするするものであ
り、シール性に極めて優れ、然も閉止圧の上昇等を防止
できるようにしたライン逆止弁を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明のライン逆止弁は、流入通路と、流入通路に
直交する断面形状が略凹状若しくは凸状の上流側壁面
と、上流側壁面の中央部に形成した静止シール部と、流
入通路と上流側壁面に於ける静止シール部の外側領域と
を連通する連絡通路とを備えた上流側本体と；上流側壁
面に対向して上流側壁面との間に弁室を形成する断面形
状が略凹状の下流側壁面と、下流側壁面の中央部に開口
した流出通路とを備えた下流側本体と；弁室内に配置さ
れ、外周縁部が上流側壁面の外周縁部と下流側壁面の外
周縁部とで気密状に挾圧保持された環状のダイヤフラム
と；ダイヤフラムの内周縁部に固着され、静止シール部
に対向すると共に、中心部に流体通路を形成した可動シ
ール体と；静止シール部に取り付けられ、可動シール体
の流体通路の開口周縁部に当離座する環状のシール部材
と；上流側本体と下流側本体とを締付け固定する締付具
とを具備して成り、前記下流側本体の下流側壁面の外周
縁部にテーパ面及び切欠係止部を形成し、又、上流側本
体の上流側壁面の外周縁部にテーパ面に対向する環状の
押え突起体を形成し、更にダイヤフラムの外周縁部に下
流側へ折り曲げられた係止片を設け、当該係止片を前記
テーパ面と押え突起体とで挾圧保持する構成としたもの
である。又、前記静止シール部にシール部材が挿着され
る環状の溝を形成すると共に、その近傍にカシメ体を突
設形成し、溝内へ挿着したシール部材を金属製の押えリ
ングを介して折り曲げしたカシメ体により押圧固定する
ことが好ましい。

【００１０】

【作用】流入通路に流体が流入すると、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが下流側方向へ変形し、可
動シール体がシール部材から離れる。その結果、流入通
路と流出通路が連通され、流体は流入通路から連絡通
路、弁室及び流体通路を経て流出通路へと流動する。
又、流出通路に逆流が生じた場合には、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが上記とは逆方向へ変形
し、可動シール体がシール部材へ当接する。その結果、
流入通路と流出通路は可動シール体とシール部材との接
触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆流が阻
止される。

【００１１】本発明のライン逆止弁は、ダイヤフラムの
外周縁部のみを上流側本体と下流側本体とで挾持してい
る為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤフラムの
外周縁部両面の２個所だけになり、シール個所が少な
い。又、ダイヤフラムのみを挾持するようにしている
為、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十
分な面圧が得られる。然も、ダイヤフラムの外周縁部を
テーパ面と押え突起体とで挾着している為、より高度な
気密性の確保が可能となる。その結果、取り扱い流体が
高圧であっても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて
優れている。又、シール部材が、押えリングを介してカ
シメ体により堅固に溝内へ押圧固定されている為、所謂
裏漏れやシール部材の脱落が防止される。更に、ダイヤ
フラムの外周縁部に下流側へ折り曲げられた係止片を形
成し、当該係止片を、下流側壁面の外周縁部に形成した
テーパ面と上流側壁面の外周縁部に形成した環状の押え
突起体とで挾圧保持するようにしている為、ダイヤフラ
ムは挾持されたときに中央部分が極僅かだけ上流側へ膨
出することになる。その結果、可動シール体は無圧時で
もシール部材に確実に当接することになり、閉止圧の上
昇を防止できると共に、より低い閉止圧でもって流体通
路が確実に閉止されることになる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係るライン逆
止弁の拡大縦断面図であって、当該ライン逆止弁は、上
流側本体１、下流側本体２、ダイヤフラム３、可動シー
ル体４、シール部材５、締付具６及び静止シール体７か
ら構成されている。

【００１３】前記上流側本体１は、ステンレス鋼等の金
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、中心軸線上には
流入通路８が、又、下流側には流入通路８に直交する断
面形状が略凹状の上流側壁面Ｗ１が夫々形成されてい
る。前記上流側壁面Ｗ１の中央部には、静止シール部９
が形成されて居り、本実施例では、静止シール部９は、
上流側壁面Ｗ１の中央部に形成した窪み部１０に静止シ
ール部９を有する静止シール体７を収納固定することに
よって、形成されている。当該静止シール体７は、ステ
ンレス鋼等の金属材により下流側が閉塞された略筒状に
形成されて居り、上流側に形成した挿入筒部７ａを流入
通路８の下流側に挿入してカシメ固定することによっ
て、窪み部１０に収納固定されている。又、静止シール
体７の下流側面は、後述する可動シール体４に対向し且
つ中心軸線に対して垂直方向の平面から成る静止シール
部９を形成して居り、当該静止シール部９には、図２に
示す如く、後述するシール部材５を挿着する為の環状の
溝１１と、シール部材５の金属製押えリング１２を固定
する為のカシメ体１３とが夫々形成されている。更に、
静止シール体７の周壁部には、流入通路８と静止シール
部９の外側領域（静止シール体７の周面部）とを連通す
る複数の連絡通路１４が等角度毎に穿設されている。一
方、上流側壁面Ｗ１の外周部分は、断面視に於いて、内
方側が上流側へ僅かに傾斜する傾斜面から成る環状の逆
圧保持部１５を形成して居り、当該逆圧保持部１５は、
後述するダイヤフラム３の上流側面に対向し、ダイヤフ
ラム３の軸線方向の移動を面的に受け止める為のもので
ある。又、上流側壁面Ｗ１の外周縁部には、下流側本体
２の上流側外周面に嵌合される筒部１６が形成されて居
り、当該筒部１６の内方に下流側本体２の上流側端部や
ダイヤフラム３が夫々挿着される。更に、上流側壁面Ｗ
１の外周縁部には、ダイヤフラム３の外周縁部を気密状
に押圧保持する環状の押え突起体１７が形成されてい
る。尚、図１に於いて、１８は上流側本体１の下流側外
周面に形成した雄ねじ部である。

【００１４】前記下流側本体２は、ステンレス鋼等の金
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、上流側本体１の
上流側壁面Ｗ１に対向する面には上流側壁面Ｗ１との間
に弁室１９を形成する為の断面形状略凹状の下流側壁面
Ｗ２が、又、中心軸線上には流入通路８と同一直線上に
位置して下流側壁面Ｗ２の中央部に開口する流出通路２
０が夫々形成されている。前記下流側壁面Ｗ２の中央部
分（窪み部分の底部）は、中心軸線に対して垂直方向の
平面から成る環状の第１正圧保持部２１を形成して居
り、当該第１正圧保持部２１は、可動シール体４に対向
している。又、下流側壁面Ｗ２の外周部分は、断面視に
於いて、内方側が下流側へ僅かに傾斜する傾斜面から成
る環状の第２正圧保持部２２を形成して居り、当該第２
正圧保持部２２は、ダイヤフラム３の下流側面に対向
し、ダイヤフラム３の軸線方向の移動を面的に受け止め
る為のものである。更に、第２正圧保持部２２の外周縁
部には、図３に示す如く、上流側本体１の押え突起体１
７に対向するテーパ面２３と切欠係止部２４とが夫々形
成されて居り、これによってダイヤフラム３の係止と気
密挾持が行われる。

【００１５】前記ダイヤフラム３は、ステンレス鋼やイ
ンコネル（商標名）等の金属製薄板により環状に形成さ
れて居り、その外周縁部には、下流側へ向けて二段に折
り曲げられた係止片３ａが形成されている。この係止片
３ａは、図３に示すように下流側本体２のテーパ面２３
と切欠係止部２４へ係合され、テーパ面２３と下流側本
体２の押え突起体１７との間で気密状に挾圧保持され
る。即ち、ダイヤフラム３は、その係止片３ａがテーパ
面２３と押え突起体１７との間で気密状に挾圧保持され
ることによって、軸線方向へ変形可能になって居り、そ
の両面は逆圧保持部１５及び第２正圧保持部２２に夫々
対向している。又、ダイヤフラム３の変形はその両面に
作用する差圧によって生ずるが、差圧が作用しない状態
（以下「無負荷状態」という）では、ダイヤフラム３は
平板形態に保持され、逆圧保持部１５及び第２正圧保持
部２２との間に若干の間隙を形成している。

【００１６】前記可動シール体４は、ステンレス鋼等の
金属材により略筒状に形成されて居り、上流側の端面が
静止シール部９に、又、下流側の端面が第１正圧保持部
２１に夫々対向するようにして、ダイヤフラム３の内周
縁部に溶着されている。更に、可動シール体４の中心部
は、流体通路２５となっている。尚、ダイヤフラム３が
平板形態に保持される無負荷状態に於いては、可動シー
ル体４は後述するシール部材５へ極軽く当接した状態と
なっている。

【００１７】前記シール部材５は、或る程度以上の弾性
を有するゴムやプラスチック等により環状に形成されて
居り、その内周縁側にはステンレス鋼製の押えリング１
２が装着されている。この押えリング１２はシール部材
５と一体化されて居り、シール部材５の加硫時に一体化
されている。そして、前記シール部材５は、静止シール
部９に形成した環状の溝１１に圧入保持されている。即
ち、シール部材５は、図２に示す如く、溝１１内へシー
ル部材５を挿入した後、カシメ体１３を折り曲げてシー
ル部材５と一体化した押えリング１２を押圧することに
よって、溝１１内に圧入固定されている。尚、ダイヤフ
ラム３が平板形態に保持される無負荷状態に於いては、
シール部材５は可動シール体４の上流側端面に極く軽く
接当する状態にある為、シール部材５をゴム等で構成し
た場合にも、シール部材５が可動シール体４４に貼り付
くような虞れはない。

【００１８】前記締付具６は、ダイヤフラム３の外周縁
部が上流側本体１と下流側本体２とで挾圧保持されるよ
うに、両本体１，２を締付け固定するものである。本実
施例に於いては、締付具６にはナットが使用されて居
り、上流側本体１の雄ねじ部１８に螺合するようになっ
ている。

【００１９】而して、前記ライン逆止弁は、上流側本体
１の上流側壁面Ｗ１と下流側本体２の下流側壁面Ｗ２と
の間に可動シール体４を溶着したダイヤフラム３を配置
すると共に、上流側本体１の筒部１６を下流側本体２に
嵌合し、上流側本体１の雄ねじ部１８へ締付具６を螺合
して上流側本体１と下流側本体２とを締付け固定するこ
とによって、組み立てられる。

【００２０】以上のように構成されたライン逆止弁にあ
っては、流入通路８に流体が流入すると、ダイヤフラム
３がその両面に作用する圧力差によって第２正圧保持部
２２方向に押圧されて変形し、可動シール体４がシール
部材５から離れる。その結果、流入通路８と流出通路２
０との間が連通され、流体は流入通路８から連絡通路１
４、弁室１９及び流体通路２５を経て流出通路２０へと
流れる。尚、過大な流体圧がかかった場合でも、可動シ
ール体４及びダイヤフラム３は第１及び第２正圧保持部
２１，２２に支持される為、過大に変形することはな
い。

【００２１】又、流体が逆流したときには、ダイヤフラ
ム３がその両面に作用する圧力差によって逆圧保持部１
５方向に押圧され、可動シール体４がシール部材５に強
く当接する。その結果、流入通路８と流出通路２０との
間の連通が遮断され、流出通路２０から流入通路８７へ
の逆流が阻止される。尚、ダイヤフラム３に作用する逆
圧が過大である場合でも、ダイヤフラム３が逆圧保持部
１５に支持され、それ以上の変形が阻止されることか
ら、ダイヤフラム３は過大に変形することがない。

【００２２】本願発明のライン逆止弁は、ダイヤフラム
３の外周縁部のみを上流側本体１と下流側本体２とで挾
持している為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤ
フラム３の外周縁部両面の２個所だけになり、シール個
所が少ない。又、締付具６で両本体１，２を締付けて
も、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十
分な面圧が得られる。然も、ダイヤフラム３の外周縁部
をテーパ面２３と押え突起体１７との間で挾着している
為、より高度な気密性の確保が可能となる。その結果、
取り扱い流体が高圧であっても、流体が漏洩し難く、シ
ール性に極めて優れている。更に、本願発明のライン逆
止弁に於いては、ダイヤフラム３の外周縁部を下流側へ
折り曲げて係止片３ａを形成し、当該係止片３ａを下流
側壁面Ｗ２の外周縁部に形成したテーパ面２３と上流側
壁面Ｗ１の外周縁部に形成した環状の押え突起体１７と
で挾圧保持するようにしている為、ダイヤフラム３は上
流側本体１と下流側本体２とで挾持されたときに中央部
分が極僅かだけ上流側へ膨出することになる。その結
果、可動シール体４は無圧時でもシール部材５に確実に
当接することになり、より低い閉止圧でもって流体通路
２５が確実に閉止されると共に、閉止作用も安定するこ
とになる。尚、ダイヤフラム３の係止片３ａを上流側へ
折り曲げ、当該係止片３ａを上流側壁面Ｗ１の外周縁部
に形成したテーパ面２３と下流側壁面Ｗ２の外周縁部に
形成した環状の押え突起体１７とで挾圧保持した場合に
は、ダイヤフラム３は反対に下流側に膨出するとにな
る。その結果、無圧時でも、シール部材５へ極軽く接触
していなければならない可動シール体４が、シール部材
５から離間した状態となり、閉止圧が上昇するだけでな
く、閉止作用そのものが不安定となる。特に、ダイヤフ
ラム３外周縁部からの漏洩を防止する為に締付具６によ
る締付けトルクを上げて行くと、ダイヤフラム３の変形
が更に大きくなって閉止圧はより高くなり、極めて問題
である。本願発明のライン逆止弁は、無圧時でもダイヤ
フラム３が下流側へ膨出変形すると云うことがなく、上
述の問題を解決することができる。

【００２３】図４は本発明の第２実施例に係るライン逆
止弁の拡大縦断面図であって、当該ライン逆止弁は、静
止シール体７を省略し、静止シール部９を上流側壁面Ｗ
１の中央部に一体的に形成したものである。即ち、上流
側本体１の下流側に流入通路８と直交する断面形状が略
凸状の上流側壁面Ｗ１を形成し、当該上流側壁面Ｗ１の
中央部（突状部分の頂部）に、可動シール体４に対向し
且つ中心軸線に対して垂直方向の平面から成る静止シー
ル部９を形成している。又、流入通路８と上流側壁面Ｗ
１に於ける静止シール部９の外側領域（静止シール部９
と逆圧保持部１５との間）とは連絡通路１４を介して連
通されている。更に、可動シール体４は、有底筒状を呈
し、底壁部の内面側が静止シール部９に、又、底壁部の
外面側が第１正圧保持部２１に夫々対向して居り、中心
部（底壁部の中心）には、流体通路２５が形成されてい
る。尚、その他の構成は、上記第１実施例のライン逆止
弁と同一構造に構成されている。このライン逆止弁も、
上記第１実施例ものと同様の作用効果を奏することがで
きる。

【００２４】図５はシール部材５と押えリング１２の変
形例を示す拡大部分縦断面図であり、押えリング１２に
大径の鍔部１２ａを形成し、当該鍔部１２ａをシール部
材５に埋設したものである。この場合、シール部材５と
押えリング１２とは一体化していることは勿論である。
この様にすると、大径の鍔部１２ａによってシール部材
５が溝１１内へ確実且つ強固に押圧され、高圧の流体が
図５の矢印方向へ流れても、シール部材５が溝１１から
浮き上がると云うことがなく、シール部材５の浮き上が
りを確実に防止することができる。

【００２５】上記第１実施例に於いては、静止シール体
７は、上流側に形成した挿入筒部７ａを流入通路８の下
流側に挿入してカシメ固定することによって、窪み部１
０に収納固定するようにしたが、他の実施例に於いて
は、静止シール体７の挿入筒部７ａを流入通路８に挿入
し、挿入筒部７ａと流入通路８の内周面とを溶接により
固着するようにしても良い。

【００２６】上記各実施例に於いては、シール部材５と
押えリング１２とを、静止シール部９に形成した溝１１
内に挿入し、同じく静止シール部９に形成したカシメ体
１３を折り曲げることによって、シール部材５及び押え
リング１２を溝１１内へ圧入固定するようにしたが、他
の実施例に於いては、シール部材５と押えリング１２と
を溝１１内に挿入し、押えリング１２を静止シール部９
へ溶接によって固着するようにしても良い。

【００２７】上記各実施例に於いては、シール部材５と
押えリング１２とを一体化したが、他の実施例に於いて
は、シール部材５と押えリング１２とを別体にし、これ
らを溝１１内へ順次挿入してカシメ体１３により押圧固
定するようにしても良い。

【００２８】上記各実施例に於いては、下流側壁面Ｗ２
の第２正圧保持部２２の全体が、断面視に於いて、中心
軸線に対して傾斜状になっているが、他の実施例に於い
ては、図示していないが、当該第２正圧保持部２２を、
断面視に於いて、下流側本体２の中心軸線に対して垂直
方向で且つ外側に位置する垂直面部と、中心軸線に対し
て下流側へ僅かに傾斜し且つ内側に位置する傾斜面部と
から形成し、垂直面部の半径方向寸法を大きく設定して
も良い。この場合、過大な流体圧がかかっても、ダイヤ
フラム３の移動量は垂直面部によって規制され、所謂ダ
イヤフラム３の浮き上がり変形が防止される。その結
果、無圧時のダイヤフラム３及び可動シール体４の保持
位置が、使用時間の経過と共に変わるようなことが皆無
となり、閉止作用が安定化する。

【００２９】上記各実施例に於いては、上流側本体１と
下流側本体２とをナット構造の締付具６で締付け固定す
るようにしたが、他の実施例に於いては、上流側本体１
と下流側本体２とをボルト・ナットで締付け固定するよ
うにしても良い。

【００３０】

【発明の効果】上述の通り、本願発明の請求項１のライ
ン逆止弁に於いては、ダイヤフラムの外周縁部を上流側
本体と下流側本体とで挾持している為、流体の漏洩を防
止するシール面がダイヤフラム両面の２個所だけにな
り、シール個所が少ない。又、ダイヤフラムのみを挾持
するようにしている為、締付具で両本体を締付けても、
シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な
面圧が得られる。更に、ダイヤフラムの外周縁部に形成
した係止片を、上流側本体の押え突起体と下流側本体の
テーパ面とで挾着している為、より高度な気密性の確保
が可能となる。然も、カウンターディスクを省略してい
る為、上流側本体と下流側本体のダイヤフラムを挾持す
る部分の肉厚を厚くすることができる。その結果、取り
扱い流体が高圧であっても、流体が漏洩し難く、シール
性に極めて優れたものになる。又、本願発明のライン逆
止弁は、ダイヤフラムの外周縁部を下流側へ折り曲げて
係止片を形成し、当該係止片を下流側壁面の外周縁部に
形成したテーパ面と上流側壁面の外周縁部に形成した環
状の押え突起体とで挾圧保持するようにしている為、ダ
イヤフラムは上流側本体と下流側本体とで挾持されたと
きに中央部分が極僅かだけ上流側へ膨出することにな
る。その結果、可動シール体は無圧時でもシール部材に
確実に当接することになり、閉止圧の上昇が皆無となる
と共に、より低い閉止圧でもって流体通路が確実に閉止
されることになる。

【００３１】本願発明の請求項２のライン逆止弁に於い
ては、上記効果に加えて、更に次のような効果を奏し得
る。即ち、請求項２のライン逆止弁に於いては、静止シ
ール部に形成した環状の溝の近傍にカシメ体を設け、溝
内へ挿着したシール部材を押えリングを介して前記カシ
メ体により溝内へ押圧固着する構成としている。その結
果、シール部材が経年変化によって脱落したり、或いは
溝とシール部材間に間隙が生じて所謂裏漏れを生ずるよ
うなことが皆無となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るライン逆止弁の拡大
縦断面図である。

【図２】図１のＡ部の拡大図である。

【図３】図１のＢ部の拡大図である。

【図４】本発明の第２実施例に係るライン逆止弁の拡大
縦断面図である。

【図５】シール部材と押えリングの変形例を示す拡大部
分縦断面図である。

【図６】従来のライン逆止弁の拡大縦断面図である。

【符号の説明】

１は上流側本体、２は下流側本体、３はダイヤフラム、
３ａは係止片、４は可動シール体、５はシール部材、６
は締付具、８は流入通路、９は静止シール部、１１は
溝、１２は押えリング、１３はカシメ体、１４は連絡通
路、１７は押え突起体、１９は弁室、２０は流出通路、
２３はテーパ面、２４は切欠係止部、２５は流体通路、
Ｗ１は上流側壁面、Ｗ２は下流側壁面。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流入通路（８）と、流入通路（８）に直
   交する断面形状が略凹状若しくは凸状の上流側壁面（Ｗ
   １）と、上流側壁面（Ｗ１）の中央部に形成した静止シ
   ール部（９）と、流入通路（８）と上流側壁面（Ｗ１）
   に於ける静止シール部（９）の外側領域とを連通する連
   絡通路（１４）とを備えた上流側本体（１）と；上流側
   壁面（Ｗ１）に対向して上流側壁面（Ｗ１）との間に弁
   室（１９）を形成する断面形状が略凹状の下流側壁面
   （Ｗ２）と、下流側壁面（Ｗ２）の中央部に開口した流
   出通路（２０）とを備えた下流側本体（２）と；弁室
   （１９）内に配置され、外周縁部が上流側壁面（Ｗ１）
   の外周縁部と下流側壁面（Ｗ２）の外周縁部とで気密状
   に挾圧保持された環状のダイヤフラム（３）と；ダイヤ
   フラム（３）の内周縁部に固着され、静止シール部
   （９）に対向すると共に、中心部に流体通路（２５）を
   形成した可動シール体（４）と；静止シール部（９）に
   取り付けられ、可動シール体（４）の流体通路（２５）
   の開口周縁部に当離座する環状のシール部材（５）と；
   上流側本体（１）と下流側本体（２）とを締付け固定す
   る締付具（６）とを具備して成り、前記下流側本体
   （２）の下流側壁面（Ｗ２）の外周縁部にテーパ面（２
   ３）及び切欠係止部（２４）を形成し、又、上流側本体
   （１）の上流側壁面（Ｗ１）の外周縁部にテーパ面（２
   ３）に対向する環状の押え突起体（１７）を形成し、更
   にダイヤフラム（３）の外周縁部に下流側へ折り曲げら
   れた係止片（３ａ）を設け、当該係止片（３ａ）を前記
   テーパ面（２３）と押え突起体（１７）とで挾圧保持す
   る構成としたことを特徴とするライン逆止弁。
2. 【請求項２】 前記静止シール部（９）にシール部材
   （５）が挿着される環状の溝（１１）を形成すると共
   に、その近傍にカシメ体（１３）を突設形成し、前記溝
   （１１）内へ挿着したシール部材（５）を金属製の押え
   リング（１２）を介して折り曲げしたカシメ体（１３）
   により押圧固定するようにした請求項１に記載のライン
   逆止弁。