JPH07111230B2 - 流体配管用継手 - Google Patents
流体配管用継手Info
- Publication number
- JPH07111230B2 JPH07111230B2 JP5053120A JP5312093A JPH07111230B2 JP H07111230 B2 JPH07111230 B2 JP H07111230B2 JP 5053120 A JP5053120 A JP 5053120A JP 5312093 A JP5312093 A JP 5312093A JP H07111230 B2 JPH07111230 B2 JP H07111230B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- flanges
- flange
- ring
- joined
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Joints With Pressure Members (AREA)
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や真空
装置や医薬品製造機や食品機械等の、流体配管経路に高
いシール性を必要とされる分野での使用を目的とした流
体配管用継手に関する。
装置や医薬品製造機や食品機械等の、流体配管経路に高
いシール性を必要とされる分野での使用を目的とした流
体配管用継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野で使用される流体
配管用継手としては、接続しようとする管体のフランジ
間にガスケットを介在させ、両方のフランジを外側から
緊締部材で緊締して接合するものが一般的である。図
４、図５、図６にそれぞれ従来例を示す。
配管用継手としては、接続しようとする管体のフランジ
間にガスケットを介在させ、両方のフランジを外側から
緊締部材で緊締して接合するものが一般的である。図
４、図５、図６にそれぞれ従来例を示す。
【０００３】図４の従来例は、接続する両管体１のフラ
ンジ２の対向面に設けられたリング状凸部３の間に円板
状金属ガスケット４を介在させ、また両方のフランジ２
の外側に雌雄のネジ部材５・６を配置し、これらネジ部
材５・６を螺合して互いに接近させることにより両方の
リング状凸部３で金属ガスケット４を挟持する。
ンジ２の対向面に設けられたリング状凸部３の間に円板
状金属ガスケット４を介在させ、また両方のフランジ２
の外側に雌雄のネジ部材５・６を配置し、これらネジ部
材５・６を螺合して互いに接近させることにより両方の
リング状凸部３で金属ガスケット４を挟持する。
【０００４】図５の従来例は、一方の管体１のフランジ
２に設けられたリング溝７内に、ガスケットとしてゴム
製のＯリング８を配置し、両方のフランジ２の外側の雌
雄のネジ部材５・６を螺合して互いに接近させることに
より、Ｏリング８を他方の管体１のフランジ２の対向面
に圧接させる。
２に設けられたリング溝７内に、ガスケットとしてゴム
製のＯリング８を配置し、両方のフランジ２の外側の雌
雄のネジ部材５・６を螺合して互いに接近させることに
より、Ｏリング８を他方の管体１のフランジ２の対向面
に圧接させる。
【０００５】図６の従来例は、両管体１のフランジ２の
対向面に設けれられたリング溝９に、ゴム製ガスケット
１０の両側の凸部１０a を嵌合させ，両方のフランジ２
を外側からクランプバンド１１で挟持する。
対向面に設けれられたリング溝９に、ゴム製ガスケット
１０の両側の凸部１０a を嵌合させ，両方のフランジ２
を外側からクランプバンド１１で挟持する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらいずれ
の従来例も、ガスケットをフランジの対向面に圧接させ
るに当たり、フランジに軸方向の加圧力を与える雌雄の
ネジ部材及びクランプバンドは、ガスケットの圧接後は
その動きを単に拘束する制止作用しか行わず、ガスケッ
ト自体の弾性のみがシール力となっているに過ぎない。
の従来例も、ガスケットをフランジの対向面に圧接させ
るに当たり、フランジに軸方向の加圧力を与える雌雄の
ネジ部材及びクランプバンドは、ガスケットの圧接後は
その動きを単に拘束する制止作用しか行わず、ガスケッ
ト自体の弾性のみがシール力となっているに過ぎない。
【０００７】このため、ガスケットが高温や薬液等の影
響で永久変形したり収縮してしまうと、シール力が損な
われて流体の漏洩をきたす。例えば、図４の金属ガスケ
ット４の場合、ネジ緊締の引張応力がシール力として働
くものの、ガスケット自体が永久変形してしまうと、ネ
ジ部のストッパ位置がずれ、結果的にネジ緊締による引
張応力が失われ、漏れが生ずる。しかも、一度変形して
しまった金属ガスケットは再使用が困難である。また、
金属ガスケットの場合、ネジ部の締め付けトルクの度合
いにより漏れが生ずることもある。
響で永久変形したり収縮してしまうと、シール力が損な
われて流体の漏洩をきたす。例えば、図４の金属ガスケ
ット４の場合、ネジ緊締の引張応力がシール力として働
くものの、ガスケット自体が永久変形してしまうと、ネ
ジ部のストッパ位置がずれ、結果的にネジ緊締による引
張応力が失われ、漏れが生ずる。しかも、一度変形して
しまった金属ガスケットは再使用が困難である。また、
金属ガスケットの場合、ネジ部の締め付けトルクの度合
いにより漏れが生ずることもある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、このような問題
点に鑑み、ガスケットが多少変形又は収縮しても、所定
のシール力を維持でき、しかもそれを簡単な構造を付加
するだけで達成できるようにすることにある。
点に鑑み、ガスケットが多少変形又は収縮しても、所定
のシール力を維持でき、しかもそれを簡単な構造を付加
するだけで達成できるようにすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による流体配管用
継手では、接続しようとする両管体のフランジと緊締部
材との間にバネを介在させ、該バネを介してフランジを
軸方向に緊締させる。その一つの形態としては、図１に
示すように、両方のフランジ２１に、ガスケット２２の
側面に接合する座部２４及びガスケット２２の外周面に
接合する凸部２５をそれぞれ設け、両座部２４がガスケ
ット２２を挟持し、両凸部２５が互いに離れた状態でガ
スケット２２の半径方向の動きを拘束するようにする。
また、両方のフランジ２１の外側で両管体２０の外周に
それぞれリング状の板バネ２８を傾斜させて配置し、更
にその外側に、該板バネ２８を覆う両方のバネ加圧部材
２６を配置する。そして、両方のバネ加圧部材２６をク
ランプ部材２９で挟持することにより両フランジ２１を
板バネ２８を介して軸方向に緊締する。また、別の形態
としては、図２又は図３に示すように、両方のフランジ
２１に、ガスケット２２の側面に接合する座部２４及び
ガスケット２２の外周面に接合する凸部２５をそれぞれ
設け、両座部２４がガスケット２２を挟持し、両凸部２
５が互いに離れた状態でガスケット２２の半径方向の動
きを拘束するようにする。また、フランジ２１の外側で
管体２０の外周にリング状の板バネ２８を傾斜させて配
置するとともに、両方のフランジ２１の外側に板バネ２
８を覆う雌雄のネジ部材３１・３２を配置する。そし
て、これらネジ部材３１・３２を螺合して互いに接近さ
せることにより板バネ２８をフランジ２１に押し付けて
緊締する。各フランジ２１にリング状凹溝２３を設けれ
ば、この凹溝２３の内周に残った部分を座部２４、外周
に残った部分を凸部２５とすることができる。
継手では、接続しようとする両管体のフランジと緊締部
材との間にバネを介在させ、該バネを介してフランジを
軸方向に緊締させる。その一つの形態としては、図１に
示すように、両方のフランジ２１に、ガスケット２２の
側面に接合する座部２４及びガスケット２２の外周面に
接合する凸部２５をそれぞれ設け、両座部２４がガスケ
ット２２を挟持し、両凸部２５が互いに離れた状態でガ
スケット２２の半径方向の動きを拘束するようにする。
また、両方のフランジ２１の外側で両管体２０の外周に
それぞれリング状の板バネ２８を傾斜させて配置し、更
にその外側に、該板バネ２８を覆う両方のバネ加圧部材
２６を配置する。そして、両方のバネ加圧部材２６をク
ランプ部材２９で挟持することにより両フランジ２１を
板バネ２８を介して軸方向に緊締する。また、別の形態
としては、図２又は図３に示すように、両方のフランジ
２１に、ガスケット２２の側面に接合する座部２４及び
ガスケット２２の外周面に接合する凸部２５をそれぞれ
設け、両座部２４がガスケット２２を挟持し、両凸部２
５が互いに離れた状態でガスケット２２の半径方向の動
きを拘束するようにする。また、フランジ２１の外側で
管体２０の外周にリング状の板バネ２８を傾斜させて配
置するとともに、両方のフランジ２１の外側に板バネ２
８を覆う雌雄のネジ部材３１・３２を配置する。そし
て、これらネジ部材３１・３２を螺合して互いに接近さ
せることにより板バネ２８をフランジ２１に押し付けて
緊締する。各フランジ２１にリング状凹溝２３を設けれ
ば、この凹溝２３の内周に残った部分を座部２４、外周
に残った部分を凸部２５とすることができる。
【００１０】
【作用】本発明の場合、両フランジ２１の凸部２５が互
いに離れた状態でガスケット２２の半径方向の動きを拘
束しており、バネ加圧部材２６又はネジ部材３１．３２
による緊締力が、傾斜した板バネ２８を介して両方のフ
ランジ２１に加わり、これらフランジ２１の座部２４に
よりガスケット２２が板バネ２８の弾性を受けながら挟
持されるため、ガスケット２２が永久変形又は収縮して
もバネ荷重によりシール力が維持される。ガスケット２
２に対して両方のフランジ２１は、その凸部２５がガス
ケット２２の半径方向の動きを拘束しつつ、座部２４が
ガスケット２２を適当な面積をもって加圧して適度のシ
ール性を維持する。
いに離れた状態でガスケット２２の半径方向の動きを拘
束しており、バネ加圧部材２６又はネジ部材３１．３２
による緊締力が、傾斜した板バネ２８を介して両方のフ
ランジ２１に加わり、これらフランジ２１の座部２４に
よりガスケット２２が板バネ２８の弾性を受けながら挟
持されるため、ガスケット２２が永久変形又は収縮して
もバネ荷重によりシール力が維持される。ガスケット２
２に対して両方のフランジ２１は、その凸部２５がガス
ケット２２の半径方向の動きを拘束しつつ、座部２４が
ガスケット２２を適当な面積をもって加圧して適度のシ
ール性を維持する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳述す
る。図１は本発明の第１実施例を示す。２本の管体２０
の接続端にはそれぞれフランジ２１が一体に設けられ、
これらは対称に対向する。これらフランジ２１の対向面
には、その間でリング状のガスケット２２を確実に保持
するため断面Ｖ字形のリング状凹溝２３が設けられ、ガ
スケット２２は、該凹溝２３の内周に残った両方のフラ
ンジ２１のリング状の座部２４により挟持されるととも
に、凹溝２３の外周に残った凸部２５により半径方向の
動きを拘束される。
る。図１は本発明の第１実施例を示す。２本の管体２０
の接続端にはそれぞれフランジ２１が一体に設けられ、
これらは対称に対向する。これらフランジ２１の対向面
には、その間でリング状のガスケット２２を確実に保持
するため断面Ｖ字形のリング状凹溝２３が設けられ、ガ
スケット２２は、該凹溝２３の内周に残った両方のフラ
ンジ２１のリング状の座部２４により挟持されるととも
に、凹溝２３の外周に残った凸部２５により半径方向の
動きを拘束される。
【００１２】両フランジ２１のそれぞれの外側には、そ
れを覆うキャップ状のバネ加圧部材２６が、そのフェル
ール２７を対称に向き合わせて配置され、またそれぞれ
のフランジ２１とバネ加圧部材２６との間に、リング状
の板バネ２８が２枚ずつ重ねて斜めに配置され、各組の
板バネ２８は、フランジ２１と共にそれぞれのバネ加圧
部材２６で覆われている。
れを覆うキャップ状のバネ加圧部材２６が、そのフェル
ール２７を対称に向き合わせて配置され、またそれぞれ
のフランジ２１とバネ加圧部材２６との間に、リング状
の板バネ２８が２枚ずつ重ねて斜めに配置され、各組の
板バネ２８は、フランジ２１と共にそれぞれのバネ加圧
部材２６で覆われている。
【００１３】両バネ加圧部材２６のフェルール２７の外
側には、円周方向に例えば二つ割りしたクランプバンド
（クランプ部材）２９が嵌合されている。そして、該ク
ランプバンド２９を図示しないネジ機構で緊締して両フ
ェルール２７を互いに接近させることにより、両バネ加
圧部材２６が２組の板バネ２８を両フランジ２１に向か
って同時に加圧する。このことにより、ガスケット２２
は両側から２組の板バネ２８を介して加圧される。この
場合、板バネ２８は、バネ加圧部材２６とフランジ２１
との間で圧縮され、フェルール２７同士が当たったとこ
ろで締め付けは不可能となり、ガスケット２２に規定の
バネ荷重を付与することになる。両凸部２５は、互いに
離れた状態でガスケット２２の半径方向の動きを拘束す
る。
側には、円周方向に例えば二つ割りしたクランプバンド
（クランプ部材）２９が嵌合されている。そして、該ク
ランプバンド２９を図示しないネジ機構で緊締して両フ
ェルール２７を互いに接近させることにより、両バネ加
圧部材２６が２組の板バネ２８を両フランジ２１に向か
って同時に加圧する。このことにより、ガスケット２２
は両側から２組の板バネ２８を介して加圧される。この
場合、板バネ２８は、バネ加圧部材２６とフランジ２１
との間で圧縮され、フェルール２７同士が当たったとこ
ろで締め付けは不可能となり、ガスケット２２に規定の
バネ荷重を付与することになる。両凸部２５は、互いに
離れた状態でガスケット２２の半径方向の動きを拘束す
る。
【００１４】従って、ガスケット２２は、フランジ２１
を介して規定のバネ荷重を受けて両方の座部２４の間を
シールするので、該ガスケット２２が熱や薬液等で永久
変形又は収縮しても、バネ荷重が多少減少するだけで漏
れには至らない。
を介して規定のバネ荷重を受けて両方の座部２４の間を
シールするので、該ガスケット２２が熱や薬液等で永久
変形又は収縮しても、バネ荷重が多少減少するだけで漏
れには至らない。
【００１５】図１の構造の場合、ガスケット２２の材質
はステンレス鋼等の金属、ポリテトラフルオルエチレン
等の樹脂、更にはゴムでも良く、板バネ２８はいわゆる
バネ鋼、その他の部品はステンレス鋼が良い。なお、図
１において符号３０は、バネ加圧部材２６同士の分離を
防止するため管体２０の外周に固定した止め輪で、これ
は省略しても構わない。
はステンレス鋼等の金属、ポリテトラフルオルエチレン
等の樹脂、更にはゴムでも良く、板バネ２８はいわゆる
バネ鋼、その他の部品はステンレス鋼が良い。なお、図
１において符号３０は、バネ加圧部材２６同士の分離を
防止するため管体２０の外周に固定した止め輪で、これ
は省略しても構わない。
【００１６】次に、図２は雌雄のネジ部材３１・３２を
使用して締結する例を示す。この場合、雌雄のネジ部材
３１・３２は図１の例におけるバネ加圧部材を兼ねるた
めキャップ状に成形され、また板バネ２８は１組だけ雌
ネジ部材３１と片側のフランジ２１との間に配置されて
いる。そして、雌雄のネジ部材３１・３２を螺合させて
互いに接近させると、片側のフランジ２１は板バネ２８
を介して雌ネジ部材３１により加圧されるのに対し、反
対側のフランジ２１は雄ネジ部材３２によって直接加圧
される。板バネ２８は、雄ネジ部材３２と雌ネジ部材３
１との螺合部分によって二重に覆われる。
使用して締結する例を示す。この場合、雌雄のネジ部材
３１・３２は図１の例におけるバネ加圧部材を兼ねるた
めキャップ状に成形され、また板バネ２８は１組だけ雌
ネジ部材３１と片側のフランジ２１との間に配置されて
いる。そして、雌雄のネジ部材３１・３２を螺合させて
互いに接近させると、片側のフランジ２１は板バネ２８
を介して雌ネジ部材３１により加圧されるのに対し、反
対側のフランジ２１は雄ネジ部材３２によって直接加圧
される。板バネ２８は、雄ネジ部材３２と雌ネジ部材３
１との螺合部分によって二重に覆われる。
【００１７】図３も雌雄のネジ部材３１・３２を使用し
て締結する例であるが、図２とは若干異なる。すなわ
ち、図２の例では、雄ネジ部材３２と雌ネジ部材３１と
の螺合部分で板バネ２８を二重に覆ったが、図３の例は
雌ネジ部材３１のみで覆う構造としたものである。
て締結する例であるが、図２とは若干異なる。すなわ
ち、図２の例では、雄ネジ部材３２と雌ネジ部材３１と
の螺合部分で板バネ２８を二重に覆ったが、図３の例は
雌ネジ部材３１のみで覆う構造としたものである。
【００１８】なお、図１、図２、図３のいずれの実施例
も、フランジ２１にリング状凹溝２３を設けたが、これ
はガスケット２２とのシールを行う座部２４を確保する
ための便宜上のものであり、省略しても良い。また、ガ
スケット２２を拘束する凸部２５についても同様であ
る。
も、フランジ２１にリング状凹溝２３を設けたが、これ
はガスケット２２とのシールを行う座部２４を確保する
ための便宜上のものであり、省略しても良い。また、ガ
スケット２２を拘束する凸部２５についても同様であ
る。
【００１９】本発明による効果を確認するため、図１の
構造の試作品を作り実験した。この場合、管体２０の口
径は１／２インチ、ガスケット２２の材質はステンレス
鋼、バネ荷重は緊締時約５００Ｋｇｆとし、１０℃の水
と１５０℃の水蒸気をそれぞれ１０回交互に導入してヘ
リウムリークディテクタで漏れ量を測定したが、その最
小感度以下であった。また、同じガスケットについて１
０回脱着を行い、その度に同様に漏れ量を測定したが、
全て最小感度以下であった。
構造の試作品を作り実験した。この場合、管体２０の口
径は１／２インチ、ガスケット２２の材質はステンレス
鋼、バネ荷重は緊締時約５００Ｋｇｆとし、１０℃の水
と１５０℃の水蒸気をそれぞれ１０回交互に導入してヘ
リウムリークディテクタで漏れ量を測定したが、その最
小感度以下であった。また、同じガスケットについて１
０回脱着を行い、その度に同様に漏れ量を測定したが、
全て最小感度以下であった。
【００２０】同様の実験を図４の従来構造について行っ
たところ、水と水蒸気との熱サイクルによる漏れは検出
されなかったものの、ガスケットの脱着試験においては
５回目で明らかな漏れが検出され、また２回目以降にお
いては、１回目の緊締トルク以上のトルクを加えないと
ガスケットによるシールが得られなかった。
たところ、水と水蒸気との熱サイクルによる漏れは検出
されなかったものの、ガスケットの脱着試験においては
５回目で明らかな漏れが検出され、また２回目以降にお
いては、１回目の緊締トルク以上のトルクを加えないと
ガスケットによるシールが得られなかった。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、バネ加圧
部材又はネジ部材による緊締力を、傾斜させた板バネを
介して両方のフランジに加え、ガスケットにバネの弾性
を与えながら両フランジで挟持するため、ガスケットが
永久変形又は収縮してもバネ荷重によりシール力を維持
して漏れの発生を防止でき、しかもそれを簡単な構造で
実現できる。ガスケットに対して両方のフランジは、そ
の凸部がガスケットの半径方向の動きを拘束しつつ、座
部がガスケットを適当な面積をもって加圧して適度のシ
ール性を維持するので、ガスケットが硬質であっても所
定のシール性を精度良く確保できる。従って、本発明
は、ガスケットが金属又は硬質樹脂の場合に特に効果が
大きい。請求項３のように、各フランジにリング状凹溝
を設け、この凹溝の内周に残った部分を座部、外周に残
った部分を凸部とすれば、特にガスケットが硬質である
場合に、シール性を確保する上で重要な部分である座部
の製作精度を向上させることができる。
部材又はネジ部材による緊締力を、傾斜させた板バネを
介して両方のフランジに加え、ガスケットにバネの弾性
を与えながら両フランジで挟持するため、ガスケットが
永久変形又は収縮してもバネ荷重によりシール力を維持
して漏れの発生を防止でき、しかもそれを簡単な構造で
実現できる。ガスケットに対して両方のフランジは、そ
の凸部がガスケットの半径方向の動きを拘束しつつ、座
部がガスケットを適当な面積をもって加圧して適度のシ
ール性を維持するので、ガスケットが硬質であっても所
定のシール性を精度良く確保できる。従って、本発明
は、ガスケットが金属又は硬質樹脂の場合に特に効果が
大きい。請求項３のように、各フランジにリング状凹溝
を設け、この凹溝の内周に残った部分を座部、外周に残
った部分を凸部とすれば、特にガスケットが硬質である
場合に、シール性を確保する上で重要な部分である座部
の製作精度を向上させることができる。
【図１】本発明の第１実施例の断面図である。
【図２】第２実施例の断面図である。
【図３】第３実施例の断面図である。
【図４】金属ガスケットを使用した従来例の断面図であ
る。
る。
【図５】Ｏリングを使用した従来例の断面図である。
【図６】凸部を有するガスケットを使用した従来例の断
面図である。
面図である。
２０ 管体 ２１ フランジ ２２ ガスケット ２６ バネ加圧部材 ２８ 板バネ ２９ クランプバンド ３１ 雌ネジ部材 ３２ 雄ネジ部材
Claims (3)
- 【請求項１】接続しようとする両管体２０のフランジ２
１間にリング状ガスケット２２を介在させ、両方のフラ
ンジ２１を外側から緊締して接合する流体配管用継手に
おいて、前記両方のフランジ２１に、前記ガスケット２
２の側面に接合する座部２４及びガスケット２２の外周
面に接合する凸部２５をそれぞれ設け、両座部２４がガ
スケット２２を挟持し、両凸部２５が互いに離れた状態
でガスケット２２の半径方向の動きを拘束するようにし
たこと、前記両方のフランジ２１の外側で前記両管体２
０の外周にそれぞれリング状の板バネ２８を傾斜させて
配置したこと、更にその外側に、該板バネ２８を覆う両
方のバネ加圧部材２６を配置したこと、両方のバネ加圧
部材２６をクランプ部材２９で挟持することにより両フ
ランジ２１を板バネ２８を介して軸方向に緊締したこと
を特徴とする流体配管用継手。 - 【請求項２】接続しようとする両管体２０のフランジ２
１間にリング状ガスケット２２を介在させ、両方のフラ
ンジ２１を外側から緊締して接合する流体配管用継手に
おいて、前記両方のフランジ２１に、前記ガスケット２
２の側面に接合する座部２４及びガスケット２２の外周
面に接合する凸部２５をそれぞれ設け、両座部２４がガ
スケット２２を挟持し、両凸部２５が互いに離れた状態
でガスケット２２の半径方向の動きを拘束するようにし
たこと、前記フランジ２１の外側で前記管体２０の外周
にリング状の板バネ２８を傾斜させて配置したこと、両
方のフランジ２１の外側に板バネ２８を覆う雌雄のネジ
部材３１・３２を配置し、これらネジ部材３１・３２を
螺合して互いに接近させることにより前記板バネ２８を
前記フランジ２１に押し付けて緊締したことを特徴とす
る流体配管用継手。 - 【請求項３】各フランジ２１にリング状凹溝２３を設
け、該凹溝２３の内周に残った部分を座部２４、外周に
残った部分を凸部２５としたことを特徴とする請求項１
又は２に記載の流体配管用継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5053120A JPH07111230B2 (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | 流体配管用継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5053120A JPH07111230B2 (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | 流体配管用継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241362A JPH06241362A (ja) | 1994-08-30 |
| JPH07111230B2 true JPH07111230B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=12933948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5053120A Expired - Fee Related JPH07111230B2 (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | 流体配管用継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111230B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241779A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Nuflare Technology Inc | 真空接続装置、荷電粒子ビーム描画装置および排気装置の荷電粒子ビーム描画装置への取付方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2715932B2 (ja) * | 1994-09-30 | 1998-02-18 | 日本電気株式会社 | 管継手 |
| JP3538737B2 (ja) * | 2002-03-20 | 2004-06-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 管継手 |
| JP5035584B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2012-09-26 | 横河電機株式会社 | 配管の接続構造 |
| US9605782B2 (en) | 2009-04-02 | 2017-03-28 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Sanitary retainer |
| US10132432B2 (en) | 2013-01-11 | 2018-11-20 | Asahi Kasei Medical Co., Ltd. | Ferrule coupling and sealing mechanism for liquid passage nozzle of membrane module |
| CN107269953A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-10-20 | 珠海格力电器股份有限公司 | 管道连接结构及连接方法 |
| JP6879858B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2021-06-02 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
| JP2019178689A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社フジキン | 管継手 |
| JP2021015067A (ja) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | 株式会社堀場エステック | ガスクロマトグラフ用の中間処理装置、及び、ガスクロマトグラフ |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54117930A (en) * | 1978-03-03 | 1979-09-13 | Kouenerugii Butsurigaku Kenkiy | Structure of flange joint in aluminium |
| JPS5680581A (en) * | 1979-12-03 | 1981-07-01 | Varian Associates | Sealed flange joint with easy removing metal gasket |
| JPS5725813U (ja) * | 1980-07-15 | 1982-02-10 | ||
| JPH0629549B2 (ja) * | 1985-07-23 | 1994-04-20 | ヤマハ発動機株式会社 | エンジンの排気管連結装置 |
-
1993
- 1993-02-19 JP JP5053120A patent/JPH07111230B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241779A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Nuflare Technology Inc | 真空接続装置、荷電粒子ビーム描画装置および排気装置の荷電粒子ビーム描画装置への取付方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06241362A (ja) | 1994-08-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20110163540A1 (en) | O-ringless seal couplings | |
| JPH0465267B2 (ja) | ||
| JPH07111230B2 (ja) | 流体配管用継手 | |
| JPH0730845B2 (ja) | プラスチツクライニングした回転自在な弁 | |
| US3409268A (en) | Ball valve | |
| US3357723A (en) | Ball-and-socket pipe joints, and applications thereof | |
| JP5461885B2 (ja) | メタルタッチ式クランプ管継手 | |
| US3446508A (en) | Deformable sealing ring having integral spacer flange | |
| US3419290A (en) | Pipe coupling | |
| US3239250A (en) | Coupling for hollow structures | |
| JPH10176823A (ja) | 高温配管フランジ用シール部材 | |
| JP3264692B2 (ja) | 逆止弁 | |
| JP2009115160A (ja) | ガスケット、および、これを用いた管継手 | |
| JPH0139983Y2 (ja) | ||
| JP2019178689A (ja) | 管継手 | |
| JPH074542A (ja) | ライン逆止弁 | |
| JPS63266275A (ja) | ボ−ルバルブ | |
| JPH0262498A (ja) | 管継手 | |
| JPH0247353Y2 (ja) | ||
| KR102190003B1 (ko) | 배관 연결용 조인트 | |
| JPH0336799Y2 (ja) | ||
| JP2984803B2 (ja) | 管継手 | |
| JPH07174232A (ja) | 金属製シール材のシール方法 | |
| JP3729777B2 (ja) | 管継手 | |
| JPH0237016Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |