JP2715932B2 - 管継手 - Google Patents
管継手Info
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- JP2715932B2 JP2715932B2 JP6236565A JP23656594A JP2715932B2 JP 2715932 B2 JP2715932 B2 JP 2715932B2 JP 6236565 A JP6236565 A JP 6236565A JP 23656594 A JP23656594 A JP 23656594A JP 2715932 B2 JP2715932 B2 JP 2715932B2
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- Japan
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- pipe
- female
- pipes
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- Gasket Seals (AREA)
- Joints With Pressure Members (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は管継手に関し、特に半導
体製造分野の設備に使用される高清浄度を要求される配
管における管継手に関する。
体製造分野の設備に使用される高清浄度を要求される配
管における管継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造設備あるいは工場内の
諸設備における配管は有害なガスや清純度の高いガスな
どを漏れなく圧送する必要があった。このため、これら
の配管や配管継手などは錆や汚染の少ないステンレス鋼
の配管や継手などが用いられてきた。また、半導体製造
設備における配管は単純な直配管だけで済むものではな
く外側に迂回したり内部に折れ曲げて配管したり配管系
統が複雑である。このため、この複雑な配管経路を作る
配管には、配管を曲げるだけではなく必要な個所は管継
手を用いて対応していた。
諸設備における配管は有害なガスや清純度の高いガスな
どを漏れなく圧送する必要があった。このため、これら
の配管や配管継手などは錆や汚染の少ないステンレス鋼
の配管や継手などが用いられてきた。また、半導体製造
設備における配管は単純な直配管だけで済むものではな
く外側に迂回したり内部に折れ曲げて配管したり配管系
統が複雑である。このため、この複雑な配管経路を作る
配管には、配管を曲げるだけではなく必要な個所は管継
手を用いて対応していた。
【０００３】しかしながら、上述したように半導体製造
設備での配管のリークは極めて厳密に要求され管自体に
漏れがなくとも管継手に漏れが生じ、しばしば不測な事
故を招くことになった。また、半導体製造設備のように
個々の設備によっても配管系統が異なりしかも複雑な配
管を工事するには、予じめ配管の長さを設計し工場で作
るのではなく、多くは現場で個々の設備に合せて配管の
長さを決め曲げたり継手で接続したりする所謂現物合せ
工事で行なっている。このため漏れなく配管するには高
度の熟練が要求された。このような現状から、最近、リ
ークを完全におさえ接続できる種々の管継手が提案され
た。
設備での配管のリークは極めて厳密に要求され管自体に
漏れがなくとも管継手に漏れが生じ、しばしば不測な事
故を招くことになった。また、半導体製造設備のように
個々の設備によっても配管系統が異なりしかも複雑な配
管を工事するには、予じめ配管の長さを設計し工場で作
るのではなく、多くは現場で個々の設備に合せて配管の
長さを決め曲げたり継手で接続したりする所謂現物合せ
工事で行なっている。このため漏れなく配管するには高
度の熟練が要求された。このような現状から、最近、リ
ークを完全におさえ接続できる種々の管継手が提案され
た。
【０００４】図３は従来の一例を示す管継手の断面図で
ある。腐食に対して強くより確実に漏れなく配管を接続
する管継手の例として図３に示す管継手がある。この管
継手は、同図に示すように、メタルガスケット１１を端
面の凸部で挾持するスリーブ１２と１３を接続すべきそ
れぞれの配管８の端部と溶接し、予じめいずれかの配管
８に通しておいた袋ナット１４に他方の配管８のスリー
ブ１３の雄ねじを押し込みメタルガスケット１１への緊
締力を与え気密に接続する構造である。
ある。腐食に対して強くより確実に漏れなく配管を接続
する管継手の例として図３に示す管継手がある。この管
継手は、同図に示すように、メタルガスケット１１を端
面の凸部で挾持するスリーブ１２と１３を接続すべきそ
れぞれの配管８の端部と溶接し、予じめいずれかの配管
８に通しておいた袋ナット１４に他方の配管８のスリー
ブ１３の雄ねじを押し込みメタルガスケット１１への緊
締力を与え気密に接続する構造である。
【０００５】この管継手のメタルガスケット１１は硬度
の低くく錆難いステンレス鋼を用い、比較的に硬度の高
いステンレス鋼のスリーブ１２，１３の突起をメタルガ
スケット１１の面に喰い込ませて気密を保つことを特徴
としていた。
の低くく錆難いステンレス鋼を用い、比較的に硬度の高
いステンレス鋼のスリーブ１２，１３の突起をメタルガ
スケット１１の面に喰い込ませて気密を保つことを特徴
としていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の管継手
は、気密に配管を接続できるものの配管とスリーブとを
溶接しなければならかった。しかしながら、溶接を行な
う溶接機を火気厳禁でかつ狭いスペースである半導体工
場内に持込むことは困難である。また、別工場で溶接を
行なうにしても、溶接後にリーク検査したりあるいは現
地に運搬したりする溶接以外の工数を必要としコスト高
となるばかりか工期を短縮できないという欠点がある。
さらに、配管内部の溶接肉盛り部に流すガスが吸着し、
他の材料のガスを流し込むときに付着したガスが遊離し
他の材料のガスの純度を下げるという問題がある。
は、気密に配管を接続できるものの配管とスリーブとを
溶接しなければならかった。しかしながら、溶接を行な
う溶接機を火気厳禁でかつ狭いスペースである半導体工
場内に持込むことは困難である。また、別工場で溶接を
行なうにしても、溶接後にリーク検査したりあるいは現
地に運搬したりする溶接以外の工数を必要としコスト高
となるばかりか工期を短縮できないという欠点がある。
さらに、配管内部の溶接肉盛り部に流すガスが吸着し、
他の材料のガスを流し込むときに付着したガスが遊離し
他の材料のガスの純度を下げるという問題がある。
【０００７】従って、本発明の目的は、溶接工事を必要
とすることなく汎用工具でより簡単に配管どうしを気密
に接続できる管継手を提供することである。
とすることなく汎用工具でより簡単に配管どうしを気密
に接続できる管継手を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、外周囲
にフランジなどの段差部が無い配管どうしをリング状の
金属ガスケットを介して気密に接続する管継手におい
て、前記配管のそれぞれの一端面で挟み込まれる前記金
属ガスケットから離間しそれぞれの前記配管の前記一端
面から挿入され任意の位置に停留するとともに外周囲か
ら中心方向に向って傾斜するように形成される第１の雌
テーパ部を他端部にもつ一対のリテーナスリーブと、そ
れぞれの前記配管を通しかつ前記リテーナスリーブの第
１の雌テーパ部に当接し傾きが同じ第１の雄テーパ部を
一端部に有するとともに前記第１の雌テーパ部と同じ傾
斜面が形成される第２の雌テーパ部を他端部にもつ一対
のフロントフェルールと、それぞれの前記配管を通しか
つ前記フロントフェルールの第２の雌テーパ部より急峻
な傾斜面を有し該第２の雌テーパ部と当接する第２の雄
テーパ部を一端部にもつとともに他端部に平坦な面を有
する一対のバックフェルールと、それぞれの前記配管を
通しかつ前記バックフェルールの前記平坦な面と当接す
る平坦面をもつリング状の一対のワッシャと、それぞれ
の前記配管を通しかつ前記金属ガスケットの両側に数珠
状に並ぶ一対の前記リテーナスリーブと一対の前記フロ
ントフェルールと一対の前記バックフェルールと一対の
前記ワッシャとを包みこむとともに前記金属ガスケット
を締付ける緊締力を前記配管に与える一対の雌雄ナット
を備える管継手である。
にフランジなどの段差部が無い配管どうしをリング状の
金属ガスケットを介して気密に接続する管継手におい
て、前記配管のそれぞれの一端面で挟み込まれる前記金
属ガスケットから離間しそれぞれの前記配管の前記一端
面から挿入され任意の位置に停留するとともに外周囲か
ら中心方向に向って傾斜するように形成される第１の雌
テーパ部を他端部にもつ一対のリテーナスリーブと、そ
れぞれの前記配管を通しかつ前記リテーナスリーブの第
１の雌テーパ部に当接し傾きが同じ第１の雄テーパ部を
一端部に有するとともに前記第１の雌テーパ部と同じ傾
斜面が形成される第２の雌テーパ部を他端部にもつ一対
のフロントフェルールと、それぞれの前記配管を通しか
つ前記フロントフェルールの第２の雌テーパ部より急峻
な傾斜面を有し該第２の雌テーパ部と当接する第２の雄
テーパ部を一端部にもつとともに他端部に平坦な面を有
する一対のバックフェルールと、それぞれの前記配管を
通しかつ前記バックフェルールの前記平坦な面と当接す
る平坦面をもつリング状の一対のワッシャと、それぞれ
の前記配管を通しかつ前記金属ガスケットの両側に数珠
状に並ぶ一対の前記リテーナスリーブと一対の前記フロ
ントフェルールと一対の前記バックフェルールと一対の
前記ワッシャとを包みこむとともに前記金属ガスケット
を締付ける緊締力を前記配管に与える一対の雌雄ナット
を備える管継手である。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
例を説明するための管継手の断面図および部分拡大して
示す模式断面図である。この管継手は、図１（ａ）に示
すように、接続すべきそれぞれの配管８の端面で挾持さ
れるリング状のメタルガスケット１と、メタルガスケッ
ト１から離間して一端部を位置させ配管８を通し保持す
るとともに外周囲から中心に入り込むように形成される
雌テーパ部９ａを他端部にもつ一対のリテーナスリーブ
２と、それぞれの配管８を通しかつリテーナスリーブ２
の雌テーパ部９ａに当接し傾きが同じ雄テーパ部９ｂを
一端部に有するとともに外周囲から中心に入り込むよう
に形成される雌テーパ部１０ａを他端部にもつ一対のフ
ロントフェルール３と、それぞれの配管８を通しかつフ
ロントフェルール３の雌テーパ部１０ａより急峻な傾斜
面を有し雌テーパ部１０ａと当接する雄テーパ部１０ｂ
を一端部にもつとともに後端部に平坦な面を有する一対
のバックフェルール５と、それぞれの配管８を通しかつ
バックフェルール５の平坦な面と当接する平坦面をもつ
リング状の一対のワッシャ４と、それぞれの配管８を通
しかつ金属製ガスケット１を挟んでリテーナスリーブ２
とフロントフェルール３とバックフェルール５とワッシ
ャ４との順に相対して数珠状に並べたものを包みこむと
ともに金属ガスケット１を締付ける緊締力を配管８に与
える一対の雌雄ナット６および７とを備えている。
例を説明するための管継手の断面図および部分拡大して
示す模式断面図である。この管継手は、図１（ａ）に示
すように、接続すべきそれぞれの配管８の端面で挾持さ
れるリング状のメタルガスケット１と、メタルガスケッ
ト１から離間して一端部を位置させ配管８を通し保持す
るとともに外周囲から中心に入り込むように形成される
雌テーパ部９ａを他端部にもつ一対のリテーナスリーブ
２と、それぞれの配管８を通しかつリテーナスリーブ２
の雌テーパ部９ａに当接し傾きが同じ雄テーパ部９ｂを
一端部に有するとともに外周囲から中心に入り込むよう
に形成される雌テーパ部１０ａを他端部にもつ一対のフ
ロントフェルール３と、それぞれの配管８を通しかつフ
ロントフェルール３の雌テーパ部１０ａより急峻な傾斜
面を有し雌テーパ部１０ａと当接する雄テーパ部１０ｂ
を一端部にもつとともに後端部に平坦な面を有する一対
のバックフェルール５と、それぞれの配管８を通しかつ
バックフェルール５の平坦な面と当接する平坦面をもつ
リング状の一対のワッシャ４と、それぞれの配管８を通
しかつ金属製ガスケット１を挟んでリテーナスリーブ２
とフロントフェルール３とバックフェルール５とワッシ
ャ４との順に相対して数珠状に並べたものを包みこむと
ともに金属ガスケット１を締付ける緊締力を配管８に与
える一対の雌雄ナット６および７とを備えている。
【００１１】ここで、フェルールを二つに分割したこと
とワッシャ４を設けたことは雄ナット７を雌ナット６に
捩込む際に生ずる回転力をリテーナスリーブ２に全く伝
わらないようにしている。また、バックフェルール５
は、図１（ｂ）に示すように、締付け力Ｐに対し分力Ｆ
をフロントフェルール３を介してリテーナスリーブ２に
与えるようにバックフェルール５の雄テーパ部１０ｂの
傾斜面がフロントフェルール３の雌テーパ部１０ａの傾
斜面より急峻になっている。この分力Ｆがリテーナスリ
ーブ２に作用し配管８へのリテーナスリーブ２の保持力
となる。従って、雄ナット７を雌ナット６に捩込むこと
によってリテーナスリーブ２は分力Ｆにより配管８にか
しまり固定されると同時に緊締力Ｐでメタルガスケット
１は配管８に挟み込まれる。
とワッシャ４を設けたことは雄ナット７を雌ナット６に
捩込む際に生ずる回転力をリテーナスリーブ２に全く伝
わらないようにしている。また、バックフェルール５
は、図１（ｂ）に示すように、締付け力Ｐに対し分力Ｆ
をフロントフェルール３を介してリテーナスリーブ２に
与えるようにバックフェルール５の雄テーパ部１０ｂの
傾斜面がフロントフェルール３の雌テーパ部１０ａの傾
斜面より急峻になっている。この分力Ｆがリテーナスリ
ーブ２に作用し配管８へのリテーナスリーブ２の保持力
となる。従って、雄ナット７を雌ナット６に捩込むこと
によってリテーナスリーブ２は分力Ｆにより配管８にか
しまり固定されると同時に緊締力Ｐでメタルガスケット
１は配管８に挟み込まれる。
【００１２】雄ナット７、雌ナット６、ワッシャ４、フ
ロントフェルール３、リテーナスリーブ２およびバック
フェルール５は全て錆難いステンレス鋼で製作し、特に
バックフェルール５はばね性をもたせる意味ではマルテ
ンサイト系のステンレス鋼で製作することが望ましい。
また、メタルガスケット１は硬度の低い純ニッケル材で
製作することが望ましいが耐腐食性を重視する場合はス
テンレス鋼を使用しても良い。
ロントフェルール３、リテーナスリーブ２およびバック
フェルール５は全て錆難いステンレス鋼で製作し、特に
バックフェルール５はばね性をもたせる意味ではマルテ
ンサイト系のステンレス鋼で製作することが望ましい。
また、メタルガスケット１は硬度の低い純ニッケル材で
製作することが望ましいが耐腐食性を重視する場合はス
テンレス鋼を使用しても良い。
【００１３】図２（ａ）〜（ｃ）は図１の管継手の施工
手順を説明するための組立順に示す断面図である。ま
ず、接続すべき配管８の端面から所定の距離にリテーナ
スリーブ２が固定させる。これには、図２（ａ）に示す
ように、雄ナット７あるいは雌ナット６、ワッシャ４、
バックフェルール５、フロントフェルール３およびリテ
ーナスリーブ２の順にそれぞれの配管８に挿入する。次
に、配管８の端部で治具１５を挟む。そして、雄ナット
７と雌ナット６とを噛み合せて治具１５に緊締力を与え
ると同時にリテーナスリーブ２の位置を固定する。
手順を説明するための組立順に示す断面図である。ま
ず、接続すべき配管８の端面から所定の距離にリテーナ
スリーブ２が固定させる。これには、図２（ａ）に示す
ように、雄ナット７あるいは雌ナット６、ワッシャ４、
バックフェルール５、フロントフェルール３およびリテ
ーナスリーブ２の順にそれぞれの配管８に挿入する。次
に、配管８の端部で治具１５を挟む。そして、雄ナット
７と雌ナット６とを噛み合せて治具１５に緊締力を与え
ると同時にリテーナスリーブ２の位置を固定する。
【００１４】次に、図２（ｂ）に示すように、雄ナット
７と雌ナット６を緩め解離し、治具を取出す。このとき
リテーナスリーブ２はバックフェルール５のフロントフ
ェルール３を介しての押圧力による梃作用力で配管８に
固定される。そして、あたかもリテーナスリーブ２、フ
ロントフェルール３およびバックフェルール５が一体化
されたように配管８に固定されている。
７と雌ナット６を緩め解離し、治具を取出す。このとき
リテーナスリーブ２はバックフェルール５のフロントフ
ェルール３を介しての押圧力による梃作用力で配管８に
固定される。そして、あたかもリテーナスリーブ２、フ
ロントフェルール３およびバックフェルール５が一体化
されたように配管８に固定されている。
【００１５】次に、図２（ｃ）に示すように、配管８の
端部でメタルガスケット１を挟み保持し、雄ナット７お
よび雌ナット６を噛み合せ捩込むことでメタルガスケッ
ト１の両面を配管８の端部で締付ける。このことにより
配管８は気密に接続される。なお、口径の大きい配管に
対しては、必要に応じて端部をやすりなどでシャープエ
ッジすることである。ちなみに、１／２インチの配管の
接続を試みたところ、所要時間が１分以内という極めて
短時間で施工できた。また、この作業では、汎用工具で
あるレンチ一つで済むという利点がある。
端部でメタルガスケット１を挟み保持し、雄ナット７お
よび雌ナット６を噛み合せ捩込むことでメタルガスケッ
ト１の両面を配管８の端部で締付ける。このことにより
配管８は気密に接続される。なお、口径の大きい配管に
対しては、必要に応じて端部をやすりなどでシャープエ
ッジすることである。ちなみに、１／２インチの配管の
接続を試みたところ、所要時間が１分以内という極めて
短時間で施工できた。また、この作業では、汎用工具で
あるレンチ一つで済むという利点がある。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、配管の端
部によって挟み込まれる金属製ガスケットと、捩込み押
圧力によって配管に緊締固定される部材と、この部材を
介して金属製ガスケットを挟み締付ける力を配管に与え
る雌雄ナットを設けることによって、溶接施工すること
なく汎用工具を用いより簡単に配管を気密に接続するこ
とができるという効果がある。
部によって挟み込まれる金属製ガスケットと、捩込み押
圧力によって配管に緊締固定される部材と、この部材を
介して金属製ガスケットを挟み締付ける力を配管に与え
る雌雄ナットを設けることによって、溶接施工すること
なく汎用工具を用いより簡単に配管を気密に接続するこ
とができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を説明するための管継手の断
面図および部分拡大して示す模式断面図である。
面図および部分拡大して示す模式断面図である。
【図２】図１の管継手の施工手順を説明するための組立
順に示す断面図である。
順に示す断面図である。
【図３】従来の一例を示す管継手の断面図である。
１，１１ メタルガスケット ２ リテーナスリーブ ３ フロントフェルール ４ ワッシャ ５ バックフェルール ６ 雌ナット ７ 雄ナット ８ 配管 １２，１３ スリーブ １４ 袋ナット １５ 治具
Claims (1)
- 【請求項１】 外周囲にフランジなどの段差部が無い配
管どうしをリング状の金属ガスケットを介して気密に接
続する管継手において、前記配管のそれぞれの一端面で
挟み込まれる前記金属ガスケットから離間しそれぞれの
前記配管の前記一端面から挿入され任意の位置に停留す
るとともに外周囲から中心方向に向って傾斜するように
形成される第１の雌テーパ部を他端部にもつ一対のリテ
ーナスリーブと、それぞれの前記配管を通しかつ前記リ
テーナスリーブの第１の雌テーパ部に当接し傾きが同じ
第１の雄テーパ部を一端部に有するとともに前記第１の
雌テーパ部と同じ傾斜面が形成される第２の雌テーパ部
を他端部にもつ一対のフロントフェルールと、それぞれ
の前記配管を通しかつ前記フロントフェルールの第２の
雌テーパ部より急峻な傾斜面を有し該第２の雌テーパ部
と当接する第２の雄テーパ部を一端部にもつとともに他
端部に平坦な面を有する一対のバックフェルールと、そ
れぞれの前記配管を通しかつ前記バックフェルールの前
記平坦な面と当接する平坦面をもつリング状の一対のワ
ッシャと、それぞれの前記配管を通しかつ前記金属ガス
ケットの両側に数珠状に並ぶ一対の前記リテーナスリー
ブと一対の前記フロントフェルールと一対の前記バック
フェルールと一対の前記ワッシャとを包みこむとともに
前記金属ガスケットを締付ける緊締力を前記配管に与え
る一対の雌雄ナットを備えることを特徴とする管継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6236565A JP2715932B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 管継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6236565A JP2715932B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 管継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08100875A JPH08100875A (ja) | 1996-04-16 |
| JP2715932B2 true JP2715932B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=17002524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6236565A Expired - Fee Related JP2715932B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 管継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2715932B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3538737B2 (ja) * | 2002-03-20 | 2004-06-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 管継手 |
| WO2016186514A1 (en) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Hellenes Subsea As | Seal and pipe carrier unit for a subsea pipe connection |
| CN107269953A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-10-20 | 珠海格力电器股份有限公司 | 管道连接结构及连接方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07111230B2 (ja) * | 1993-02-19 | 1995-11-29 | ティーエイチアイシステム株式会社 | 流体配管用継手 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP6236565A patent/JP2715932B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08100875A (ja) | 1996-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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