JP3264692B2 - 逆止弁 - Google Patents
逆止弁Info
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- JP3264692B2 JP3264692B2 JP14084492A JP14084492A JP3264692B2 JP 3264692 B2 JP3264692 B2 JP 3264692B2 JP 14084492 A JP14084492 A JP 14084492A JP 14084492 A JP14084492 A JP 14084492A JP 3264692 B2 JP3264692 B2 JP 3264692B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プラント等
の流体輸送ラインに介設される逆止弁に関するものであ
る。
の流体輸送ラインに介設される逆止弁に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種逆止弁としては、図示して
いないが、弁本体内に流入通路及び流出通路が開口する
弁室を設け、該弁室内に、流入通路の開口部に形成せる
弁座に当離座すべく摺動する弁体を設け、該弁体をコイ
ルスプリングにより弁座に押圧附勢させたものがよく知
られている。
いないが、弁本体内に流入通路及び流出通路が開口する
弁室を設け、該弁室内に、流入通路の開口部に形成せる
弁座に当離座すべく摺動する弁体を設け、該弁体をコイ
ルスプリングにより弁座に押圧附勢させたものがよく知
られている。
【０００３】しかし、前記逆止弁では、弁体に於けるク
ラッキング圧の受圧面積が小さいことから、流入通路へ
の流入量ないし流入圧が小さいときには、弁体が動作し
ない虞れがあり、応答性や信頼性が低いと云う問題があ
る。然も、スプリングの調整を必要とし、その調整も極
めて困難であり、組立性や取扱性に劣ると云う問題があ
る。更に、弁体が摺動する為、コイルスプリングを使用
していることと相俟って、摩耗粉が発生し易く、又、弁
作用空間に配設される部品点数が多いことから、内部構
造が複雑化して、ガス溜り等の流体滞留部が発生し易く
なっている。その結果、高クリーン度が要求される半導
体、医薬品等の製造装置に於ける流体輸送ラインや真空
機器に於ける真空ラインには適さないと云う問題があっ
た。
ラッキング圧の受圧面積が小さいことから、流入通路へ
の流入量ないし流入圧が小さいときには、弁体が動作し
ない虞れがあり、応答性や信頼性が低いと云う問題があ
る。然も、スプリングの調整を必要とし、その調整も極
めて困難であり、組立性や取扱性に劣ると云う問題があ
る。更に、弁体が摺動する為、コイルスプリングを使用
していることと相俟って、摩耗粉が発生し易く、又、弁
作用空間に配設される部品点数が多いことから、内部構
造が複雑化して、ガス溜り等の流体滞留部が発生し易く
なっている。その結果、高クリーン度が要求される半導
体、医薬品等の製造装置に於ける流体輸送ラインや真空
機器に於ける真空ラインには適さないと云う問題があっ
た。
【０００４】そこで、本件出願人は、これらの問題を解
決する逆止弁を開発し、利用に供している。即ち、前記
逆止弁は、図３に示す如く、流入通路１９を有する上流
側本体２０と；下流側壁面２１及び流出通路２２を有す
る下流側本体２３と；流入通路１９と流出通路２２を連
通する連絡通路２４と、下流側壁面２１に対向して下流
側壁面２１との間に弁室２５を形成する上流側壁面２６
と、上流側壁面２６の中央部に形成した静止シール部２
６ａとを有し、外周縁部がガスケット２７を介して上流
側本体２０と下流側本体２３に挾持されたカウンターデ
ィスク２８と；外周縁部がカウンターディスク２８と下
流側壁面２１の周縁部で気密状に挾圧保持された環状の
ダイヤフラム２９と；ダイヤフラム２９の中心部に静止
シール部２６ａに対向すべく固着された環状の可動シー
ル体３０と；静止シール部２６ａに固定され、可動シー
ル体３０に当離座する環状のシール部材３１と；上流側
本体２０と下流側本体２３を締付け固定するナット３２
とから構成されている。
決する逆止弁を開発し、利用に供している。即ち、前記
逆止弁は、図３に示す如く、流入通路１９を有する上流
側本体２０と；下流側壁面２１及び流出通路２２を有す
る下流側本体２３と；流入通路１９と流出通路２２を連
通する連絡通路２４と、下流側壁面２１に対向して下流
側壁面２１との間に弁室２５を形成する上流側壁面２６
と、上流側壁面２６の中央部に形成した静止シール部２
６ａとを有し、外周縁部がガスケット２７を介して上流
側本体２０と下流側本体２３に挾持されたカウンターデ
ィスク２８と；外周縁部がカウンターディスク２８と下
流側壁面２１の周縁部で気密状に挾圧保持された環状の
ダイヤフラム２９と；ダイヤフラム２９の中心部に静止
シール部２６ａに対向すべく固着された環状の可動シー
ル体３０と；静止シール部２６ａに固定され、可動シー
ル体３０に当離座する環状のシール部材３１と；上流側
本体２０と下流側本体２３を締付け固定するナット３２
とから構成されている。
【０００５】而して、流入通路１９に流体が流入する
と、ダイヤフラム２９両側の差圧によりダイヤフラム２
９が下流側方向へ変形して、可動シール体３０が静止シ
ール部２６ａから離間せしめられる。その結果、流入通
路１９と流出通路２２は連通されて、流体は流入通路１
９から流出通路２２へと流動する。又、流出通路２２に
逆流が生じた場合には、ダイヤフラム２９両側の差圧に
よりダイヤフラム２９が上記とは逆の状態に変形して、
可動シール体３０がシール部材３１を介して静止シール
部２６ａに押圧接触せしめられる。その結果、流入通路
１９と流出通路２２は可動シール体３０とシール部材３
１との接触部分で遮断され、流出通路２２から流入通路
１９への逆流が阻止される。
と、ダイヤフラム２９両側の差圧によりダイヤフラム２
９が下流側方向へ変形して、可動シール体３０が静止シ
ール部２６ａから離間せしめられる。その結果、流入通
路１９と流出通路２２は連通されて、流体は流入通路１
９から流出通路２２へと流動する。又、流出通路２２に
逆流が生じた場合には、ダイヤフラム２９両側の差圧に
よりダイヤフラム２９が上記とは逆の状態に変形して、
可動シール体３０がシール部材３１を介して静止シール
部２６ａに押圧接触せしめられる。その結果、流入通路
１９と流出通路２２は可動シール体３０とシール部材３
１との接触部分で遮断され、流出通路２２から流入通路
１９への逆流が阻止される。
【０００６】この逆止弁は、ダイヤフラム２９を用いて
可動シール体３０を作動させるための流体圧の受圧面積
を大きくしている為、スプリングを使用しないことと相
俟って、精度や応答性に極めて優れている。又、摩耗粉
が発生せず、且つガス溜り等の流体滞留部が殆ど生じな
いから、高クリーン度が要求される半導体等の製造装置
に於ける流体輸送ラインや真空機器に於ける真空ライン
にも好適に使用できる等、優れた利点がある。
可動シール体３０を作動させるための流体圧の受圧面積
を大きくしている為、スプリングを使用しないことと相
俟って、精度や応答性に極めて優れている。又、摩耗粉
が発生せず、且つガス溜り等の流体滞留部が殆ど生じな
いから、高クリーン度が要求される半導体等の製造装置
に於ける流体輸送ラインや真空機器に於ける真空ライン
にも好適に使用できる等、優れた利点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、上述の逆止
弁にあっても、未だ解決すべき問題点が残されている。
即ち、前記逆止弁は、カウンターディスク２８を使用し
ている為、流体の漏洩を防止するシール面がガスケット
２７の両面及びダイヤフラム２９の外周縁部両面の計４
個所になり、シール個所が多くなる。又、ガスケット２
７とダイヤフラム２９の材質が異なるうえ、各部材を同
一のナット３２で締付けている為、ガスケット２７の変
形とダイヤフラム２９の変形が相互に干渉し合い、ガス
ケット２７の両面に生じる面圧とダイヤフラム２９の外
周縁部両面に生じる面圧とが異なることになる。その結
果、この逆止弁は、取り扱う流体が高圧の場合にはガス
ケット２７部分やダイヤフラム２９の外周縁部分から流
体が漏洩し易く、高圧の流体に対してシール性が極めて
悪いと云う問題があった。例えば前記逆止弁は、流体の
圧力が約１０ｋｇ／ｃｍ2 以下の場合にはシール性も安
定しているが、流体の圧力がそれ以上になると、どうし
ても前記個所から流体が漏洩してしまうと云う問題があ
った。特に、半導体製造プラント等に於いて使用される
高純度ガスの使用圧力は、１００ｋｇ／ｃｍ2 以上の高
圧もあり、前記逆止弁を使用するには問題があった。
弁にあっても、未だ解決すべき問題点が残されている。
即ち、前記逆止弁は、カウンターディスク２８を使用し
ている為、流体の漏洩を防止するシール面がガスケット
２７の両面及びダイヤフラム２９の外周縁部両面の計４
個所になり、シール個所が多くなる。又、ガスケット２
７とダイヤフラム２９の材質が異なるうえ、各部材を同
一のナット３２で締付けている為、ガスケット２７の変
形とダイヤフラム２９の変形が相互に干渉し合い、ガス
ケット２７の両面に生じる面圧とダイヤフラム２９の外
周縁部両面に生じる面圧とが異なることになる。その結
果、この逆止弁は、取り扱う流体が高圧の場合にはガス
ケット２７部分やダイヤフラム２９の外周縁部分から流
体が漏洩し易く、高圧の流体に対してシール性が極めて
悪いと云う問題があった。例えば前記逆止弁は、流体の
圧力が約１０ｋｇ／ｃｍ2 以下の場合にはシール性も安
定しているが、流体の圧力がそれ以上になると、どうし
ても前記個所から流体が漏洩してしまうと云う問題があ
った。特に、半導体製造プラント等に於いて使用される
高純度ガスの使用圧力は、１００ｋｇ／ｃｍ2 以上の高
圧もあり、前記逆止弁を使用するには問題があった。
【０００８】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的は取り扱う流体が高圧で
あっても、シール性に優れた逆止弁を提供するにある。
案されたものであり、その目的は取り扱う流体が高圧で
あっても、シール性に優れた逆止弁を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明の逆止弁は、流入通路と、流入通路に直交する断面形
状略凸状の上流側壁面と、上流側壁面の中央部に形成し
た静止シール部と、流入通路と上流側壁面に於ける静止
シール部の外側領域とを連通する連絡通路とを備えた上
流側本体と；上流側壁面に対向して上流側壁面との間に
弁室を形成する断面形状略凹状の下流側壁面と、下流側
壁面に開口された流出通路とを備えた下流側本体と；弁
室内に配置され、外周縁部が上流側壁面の周縁部と下流
側壁面の周縁部で気密状に挾圧保持された環状のダイヤ
フラムと；ダイヤフラムの中心部に静止シール部に対向
すべく固着され、中心部に流体通路を形成した有底筒状
の可動シール体と；静止シール部又は可動シール体に固
着され、可動シール体の流体通路の開口周縁部若しくは
静止シール部に当離座する環状のシール部材と；ダイヤ
フラムの外周縁部を挾圧保持すべく上流側本体と下流側
本体を締付け固定する締付具とを具備するものである。
明の逆止弁は、流入通路と、流入通路に直交する断面形
状略凸状の上流側壁面と、上流側壁面の中央部に形成し
た静止シール部と、流入通路と上流側壁面に於ける静止
シール部の外側領域とを連通する連絡通路とを備えた上
流側本体と；上流側壁面に対向して上流側壁面との間に
弁室を形成する断面形状略凹状の下流側壁面と、下流側
壁面に開口された流出通路とを備えた下流側本体と；弁
室内に配置され、外周縁部が上流側壁面の周縁部と下流
側壁面の周縁部で気密状に挾圧保持された環状のダイヤ
フラムと；ダイヤフラムの中心部に静止シール部に対向
すべく固着され、中心部に流体通路を形成した有底筒状
の可動シール体と；静止シール部又は可動シール体に固
着され、可動シール体の流体通路の開口周縁部若しくは
静止シール部に当離座する環状のシール部材と；ダイヤ
フラムの外周縁部を挾圧保持すべく上流側本体と下流側
本体を締付け固定する締付具とを具備するものである。
【００１０】
【作用】流入通路に流体が流入すると、ダイヤフラム両
側の差圧によりダイヤフラムが下流側方向へ変形して、
可動シール体が静止シール部側から離間せしめられる。
その結果、流入通路と流出通路が連通されて、流体は流
入通路から連絡通路、弁室及び流体通路を順次経て流出
通路へと流動する。又、流出通路に逆流が生じた場合に
は、ダイヤフラム両側の差圧によりダイヤフラムが上記
とは逆の状態に変形して、可動シール体がシール部材を
介して静止シール部側へ押圧接触せしめられる。その結
果、流入通路と流出通路は可動シール体とシール部材と
の接触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆流
が阻止される。
側の差圧によりダイヤフラムが下流側方向へ変形して、
可動シール体が静止シール部側から離間せしめられる。
その結果、流入通路と流出通路が連通されて、流体は流
入通路から連絡通路、弁室及び流体通路を順次経て流出
通路へと流動する。又、流出通路に逆流が生じた場合に
は、ダイヤフラム両側の差圧によりダイヤフラムが上記
とは逆の状態に変形して、可動シール体がシール部材を
介して静止シール部側へ押圧接触せしめられる。その結
果、流入通路と流出通路は可動シール体とシール部材と
の接触部分で遮断され、流出通路から流入通路への逆流
が阻止される。
【００１１】この逆止弁は、ダイヤフラムの外周縁部の
みを上流側本体と下流側本体とで挾持している為、流体
の漏洩を防止するシール面がダイヤフラムの外周縁部両
面の２個所だけになり、シール個所が少なくなる。又、
シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な
面圧が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧であっ
ても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れてい
る。更に、カウンターディスクを省略している為、部品
点数が少なくて済むうえ、上流側本体と下流側本体のダ
イヤフラムを挾持する部分の肉厚も厚くすることがで
き、よりシール性に優れたものとなる。
みを上流側本体と下流側本体とで挾持している為、流体
の漏洩を防止するシール面がダイヤフラムの外周縁部両
面の２個所だけになり、シール個所が少なくなる。又、
シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な
面圧が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧であっ
ても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れてい
る。更に、カウンターディスクを省略している為、部品
点数が少なくて済むうえ、上流側本体と下流側本体のダ
イヤフラムを挾持する部分の肉厚も厚くすることがで
き、よりシール性に優れたものとなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１及び図２は本発明の実施例に係る逆止
弁の拡大縦断面図であって、当該逆止弁は、上流側本体
１、下流側本体２、ダイヤフラム３、可動シール体４、
シール部材５及び締付具６から構成されている。
に説明する。図１及び図２は本発明の実施例に係る逆止
弁の拡大縦断面図であって、当該逆止弁は、上流側本体
１、下流側本体２、ダイヤフラム３、可動シール体４、
シール部材５及び締付具６から構成されている。
【００１３】前記上流側本体１は、ステンレス鋼等の金
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、中心線上には流
入通路７が形成されていると共に、流入通路７に直交す
る面には断面形状略凸状の上流側壁面８が形成されてい
る。又、上流側壁面８の中央部（突状部分の頂部）には
平滑面となった円形の静止シール部８ａが、その周囲に
はダイヤフラム３の軸線方向の移動を面的に受け止める
為の環状の逆圧保持部８ｂが夫々形成されて居り、逆圧
保持部８ｂは、中心部側が上流側へ傾斜する円錐面とな
っている。更に、流入通路７と上流側壁面８に於ける静
止シール部８ａの外側領域（静止シール部８ａと逆圧保
持部８ｂとの間）とは連絡通路９を介して連通されてい
る。尚、逆圧保持部８ｂに隣接する上流側本体１の外周
面には、ダイヤフラム３の外周縁部が折り曲げられた状
態で係止される環状の切欠係止部１０が形成されてい
る。
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、中心線上には流
入通路７が形成されていると共に、流入通路７に直交す
る面には断面形状略凸状の上流側壁面８が形成されてい
る。又、上流側壁面８の中央部（突状部分の頂部）には
平滑面となった円形の静止シール部８ａが、その周囲に
はダイヤフラム３の軸線方向の移動を面的に受け止める
為の環状の逆圧保持部８ｂが夫々形成されて居り、逆圧
保持部８ｂは、中心部側が上流側へ傾斜する円錐面とな
っている。更に、流入通路７と上流側壁面８に於ける静
止シール部８ａの外側領域（静止シール部８ａと逆圧保
持部８ｂとの間）とは連絡通路９を介して連通されてい
る。尚、逆圧保持部８ｂに隣接する上流側本体１の外周
面には、ダイヤフラム３の外周縁部が折り曲げられた状
態で係止される環状の切欠係止部１０が形成されてい
る。
【００１４】前記下流側本体２は、ステンレス鋼等の金
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、上流側本体１の
上流側壁面８に対向する面には上流側壁面８との間に弁
室１１を形成する為の断面形状略凹状の下流側壁面１２
が形成されていると共に、中心線上には流入通路７と同
一直線上に位置して下流側壁面１２の中央部に開口する
流出通路１３が形成されている。又、下流側壁面１２の
中央部分（窪み部分の底部）には静止シール部８ａに対
向する平滑面となった環状の第１正圧保持部１２ａが、
その周囲には逆圧保持部８ｂに対向してダイヤフラム３
の軸線方向の移動を面的に受け止める為の環状の第２正
圧保持部１２ｂが夫々形成されて居り、第２正圧保持部
１２ｂは、中心部側が下流側へ傾斜する円錐面となって
いる。更に、第２正圧保持部１２ｂの周囲には上流側本
体１の外周面に嵌合される筒部１４が形成されていると
共に、該筒部１４の外周面には雄ねじ部１５が形成され
ている。
属材により略Ｔ字型に形成されて居り、上流側本体１の
上流側壁面８に対向する面には上流側壁面８との間に弁
室１１を形成する為の断面形状略凹状の下流側壁面１２
が形成されていると共に、中心線上には流入通路７と同
一直線上に位置して下流側壁面１２の中央部に開口する
流出通路１３が形成されている。又、下流側壁面１２の
中央部分（窪み部分の底部）には静止シール部８ａに対
向する平滑面となった環状の第１正圧保持部１２ａが、
その周囲には逆圧保持部８ｂに対向してダイヤフラム３
の軸線方向の移動を面的に受け止める為の環状の第２正
圧保持部１２ｂが夫々形成されて居り、第２正圧保持部
１２ｂは、中心部側が下流側へ傾斜する円錐面となって
いる。更に、第２正圧保持部１２ｂの周囲には上流側本
体１の外周面に嵌合される筒部１４が形成されていると
共に、該筒部１４の外周面には雄ねじ部１５が形成され
ている。
【００１５】前記ダイヤフラム３は、ステンレス鋼やイ
ンコネル（商標名）等の金属製薄板により環状に形成さ
れて居り、弁室１１内に外周縁部を固定された状態で配
置されている。即ち、ダイヤフラム３は、その外周縁部
を上流側壁面８の周縁部と下流側壁面１２の周縁部で気
密状に挾圧保持することによって軸線方向へ変形し得る
ように為されて居り、その両面は逆圧保持部８ｂ及び第
２正圧保持部１２ｂに夫々対向している。ダイヤフラム
３の変形はその両面に作用する差圧によって生ずるが、
差圧が作用しない状態（以下「無負荷状態」という）で
は、ダイヤフラム３は平板形態に保持され、逆圧保持部
８ｂ及び第２正圧保持部１２ｂとの間に若干の間隙を形
成している。尚、ダイヤフラム３の外周縁部の一部は、
軸線方向へ折り曲げられて切欠係止部１０に係止されて
いる。これによって、ダイヤフラム３の外周縁部は、上
流側本体１と下流側本体２とで確実且つ良好に挾持され
ることになり、両本体１，２間から抜けるのが防止され
る。
ンコネル（商標名）等の金属製薄板により環状に形成さ
れて居り、弁室１１内に外周縁部を固定された状態で配
置されている。即ち、ダイヤフラム３は、その外周縁部
を上流側壁面８の周縁部と下流側壁面１２の周縁部で気
密状に挾圧保持することによって軸線方向へ変形し得る
ように為されて居り、その両面は逆圧保持部８ｂ及び第
２正圧保持部１２ｂに夫々対向している。ダイヤフラム
３の変形はその両面に作用する差圧によって生ずるが、
差圧が作用しない状態（以下「無負荷状態」という）で
は、ダイヤフラム３は平板形態に保持され、逆圧保持部
８ｂ及び第２正圧保持部１２ｂとの間に若干の間隙を形
成している。尚、ダイヤフラム３の外周縁部の一部は、
軸線方向へ折り曲げられて切欠係止部１０に係止されて
いる。これによって、ダイヤフラム３の外周縁部は、上
流側本体１と下流側本体２とで確実且つ良好に挾持され
ることになり、両本体１，２間から抜けるのが防止され
る。
【００１６】前記可動シール体４は、金属材により有底
筒状に形成されて居り、底壁部４ａの内面側が静止シー
ル部８ａに、又、底壁部４ａの外面側が第１正圧保持部
１２ａに夫々対向すべくダイヤフラム３の中心部に溶着
されている。更に、可動シール体４の中心部（底壁部４
ａの中心）には流体通路１６が形成されている。尚、ダ
イヤフラム３が平板形態に保持される無負荷状態に於い
ては、可動シール体４は上流側壁面８及び下流側壁面１
２に近接してこれらと非接触状態になっている。
筒状に形成されて居り、底壁部４ａの内面側が静止シー
ル部８ａに、又、底壁部４ａの外面側が第１正圧保持部
１２ａに夫々対向すべくダイヤフラム３の中心部に溶着
されている。更に、可動シール体４の中心部（底壁部４
ａの中心）には流体通路１６が形成されている。尚、ダ
イヤフラム３が平板形態に保持される無負荷状態に於い
ては、可動シール体４は上流側壁面８及び下流側壁面１
２に近接してこれらと非接触状態になっている。
【００１７】前記シール部材５は、或る程度以上の弾性
を有するゴムやプラスチック等により環状に形成されて
居り、静止シール部８ａに形成した環状溝１７に圧入保
持されていて、ダイヤフラム３の変形時に可動シール体
４の流体通路１６の開口周縁部に当離座するように為さ
れている。ところで、ダイヤフラム３が平板形態に保持
される無負荷状態に於いては、シール部材５は可動シー
ル体４に近接して可動シール体４と非接触状態になって
いる。従って、シール部材５は逆流発生時にのみ可動シ
ール体４に密着されるにすぎないから、シール部材５を
ゴム等で構成した場合にも、シール部材５が可動シール
体４に貼り付くような虞れがない。
を有するゴムやプラスチック等により環状に形成されて
居り、静止シール部８ａに形成した環状溝１７に圧入保
持されていて、ダイヤフラム３の変形時に可動シール体
４の流体通路１６の開口周縁部に当離座するように為さ
れている。ところで、ダイヤフラム３が平板形態に保持
される無負荷状態に於いては、シール部材５は可動シー
ル体４に近接して可動シール体４と非接触状態になって
いる。従って、シール部材５は逆流発生時にのみ可動シ
ール体４に密着されるにすぎないから、シール部材５を
ゴム等で構成した場合にも、シール部材５が可動シール
体４に貼り付くような虞れがない。
【００１８】前記締付具６は、ダイヤフラム３の外周縁
部を上流側本体１と下流側本体２とで挾圧保持すべく両
本体１，２を締付け固定するものであり、本実施例に於
いては、締付具６にはナットが使用されて居り、下流側
本体２の雄ねじ部１５に螺合するようになっている。
部を上流側本体１と下流側本体２とで挾圧保持すべく両
本体１，２を締付け固定するものであり、本実施例に於
いては、締付具６にはナットが使用されて居り、下流側
本体２の雄ねじ部１５に螺合するようになっている。
【００１９】而して、前記逆止弁は、上流側本体１の上
流側壁面８と下流側本体２の下流側壁面１２との間に可
動シール体４を溶着したダイヤフラム３を配置すると共
に、下流側本体２の筒部１４を上流側本体１に嵌合して
上流側壁面８と下流側壁面１２の周縁部でダイヤフラム
３の外周縁部を挾持し、下流側本体２の雄ねじ部１５へ
ナットを螺合して上流側本体１と下流側本体２とを締付
け固定することによって、組立てられる。
流側壁面８と下流側本体２の下流側壁面１２との間に可
動シール体４を溶着したダイヤフラム３を配置すると共
に、下流側本体２の筒部１４を上流側本体１に嵌合して
上流側壁面８と下流側壁面１２の周縁部でダイヤフラム
３の外周縁部を挾持し、下流側本体２の雄ねじ部１５へ
ナットを螺合して上流側本体１と下流側本体２とを締付
け固定することによって、組立てられる。
【００２０】以上のように構成された逆止弁にあって
は、流入通路７に流体が流入すると、ダイヤフラム３が
ダイヤフラム３両面に作用する圧力差によって第２正圧
保持部１２ｂ方向に変形せしめられて、可動シール体４
がシール部材５から離間する方向へ変位する。その結
果、流入通路７と流出通路１３との間が連通されて、流
体は流入通路７から連絡通路９、弁室１１及び流体通路
１６を順次経て流出通路１３へと流動せしめられる（図
１参照）。尚、可動シール体４のシール部材５からの離
間量は、流量に応じたものとなる。
は、流入通路７に流体が流入すると、ダイヤフラム３が
ダイヤフラム３両面に作用する圧力差によって第２正圧
保持部１２ｂ方向に変形せしめられて、可動シール体４
がシール部材５から離間する方向へ変位する。その結
果、流入通路７と流出通路１３との間が連通されて、流
体は流入通路７から連絡通路９、弁室１１及び流体通路
１６を順次経て流出通路１３へと流動せしめられる（図
１参照）。尚、可動シール体４のシール部材５からの離
間量は、流量に応じたものとなる。
【００２１】このとき、流入通路７への流入量ないし流
入圧が小さく、ダイヤフラム３両面に作用する圧力差が
僅かであっても、それが大面積であるダイヤフラム３の
略全面（固定されている外周縁部を除く全面）に作用す
ること及び可動シール体４はスプリング力を有しないダ
イヤフラム３によって保持されていることから、可動シ
ール体４のシール部材５からの離間動作が良好に行われ
る。一方、大流量である場合や衝撃圧が発生した場合に
は、可動シール体４及びダイヤフラム３が第１及び第２
正圧保持部１２ｂに係止されて、それ以上の変形が阻止
されることから、ダイヤフラム３に過大な負荷が作用す
ることがない。即ち、ダイヤフラム３は、流量ないし流
体圧が一定範囲内にある場合にはシール部材５と可動シ
ール体４との間に流量に応じた間隙を形成すべく変形す
るが、流量ないし流体圧が上記範囲を超えた場合には、
必要以上に変形されないようになっているのである。
入圧が小さく、ダイヤフラム３両面に作用する圧力差が
僅かであっても、それが大面積であるダイヤフラム３の
略全面（固定されている外周縁部を除く全面）に作用す
ること及び可動シール体４はスプリング力を有しないダ
イヤフラム３によって保持されていることから、可動シ
ール体４のシール部材５からの離間動作が良好に行われ
る。一方、大流量である場合や衝撃圧が発生した場合に
は、可動シール体４及びダイヤフラム３が第１及び第２
正圧保持部１２ｂに係止されて、それ以上の変形が阻止
されることから、ダイヤフラム３に過大な負荷が作用す
ることがない。即ち、ダイヤフラム３は、流量ないし流
体圧が一定範囲内にある場合にはシール部材５と可動シ
ール体４との間に流量に応じた間隙を形成すべく変形す
るが、流量ないし流体圧が上記範囲を超えた場合には、
必要以上に変形されないようになっているのである。
【００２２】又、流体が逆流したときには、ダイヤフラ
ム３がダイヤフラム３両面に作用する圧力差によって逆
圧保持部８ｂ方向に変形せしめられて、可動シール体４
がシール部材５に押圧接触する。その結果、可動シール
体４と静止シール部８ａとの間がシール部材５により遮
蔽されて、流入通路７と流出通路１３との間の連通が遮
断され、流出通路１３から流入通路７への逆流が阻止さ
れる（図２参照）。
ム３がダイヤフラム３両面に作用する圧力差によって逆
圧保持部８ｂ方向に変形せしめられて、可動シール体４
がシール部材５に押圧接触する。その結果、可動シール
体４と静止シール部８ａとの間がシール部材５により遮
蔽されて、流入通路７と流出通路１３との間の連通が遮
断され、流出通路１３から流入通路７への逆流が阻止さ
れる（図２参照）。
【００２３】このとき、ダイヤフラム３両面に作用する
圧力差が僅かであっても、その受圧面積が大きいことか
ら、可動シール体４によるシール力が充分に確保され、
良好なシール機能が発揮される。一方、ダイヤフラム３
に作用する逆圧が過大であったり衝撃圧である場合に
は、ダイヤフラム３が逆圧保持部８ｂに衝合係止され
て、それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤフラ
ム３に過大な負荷が作用することがない。従って、耐圧
性能が頗る向上する。
圧力差が僅かであっても、その受圧面積が大きいことか
ら、可動シール体４によるシール力が充分に確保され、
良好なシール機能が発揮される。一方、ダイヤフラム３
に作用する逆圧が過大であったり衝撃圧である場合に
は、ダイヤフラム３が逆圧保持部８ｂに衝合係止され
て、それ以上の変形が阻止されることから、ダイヤフラ
ム３に過大な負荷が作用することがない。従って、耐圧
性能が頗る向上する。
【００２４】ところで、前記逆止弁は、ダイヤフラム３
の外周縁部のみを上流側本体１と下流側本体２とで挾持
している為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤフ
ラム３の外周縁部両面の２個所だけになり、シール個所
が少なくなる。然も、締付具６で両本体１，２を締付け
ても、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、
十分な面圧が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧
であっても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れ
ている。
の外周縁部のみを上流側本体１と下流側本体２とで挾持
している為、流体の漏洩を防止するシール面がダイヤフ
ラム３の外周縁部両面の２個所だけになり、シール個所
が少なくなる。然も、締付具６で両本体１，２を締付け
ても、シール面の面圧にバラツキを生じることもなく、
十分な面圧が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧
であっても、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れ
ている。
【００２５】又、流入通路７と流出通路１３とを連通す
る弁室１１はダイヤフラム３の変形を許容するに必要な
極く僅かな空間で足りること及び弁室１１には可動シー
ル体４及びダイヤフラム３が配設されているにすぎない
ことから、弁室１１にガス溜り等の流体滞留部が殆ど生
じない。然も、摺動部分がない為に摩耗分も発生しな
い。
る弁室１１はダイヤフラム３の変形を許容するに必要な
極く僅かな空間で足りること及び弁室１１には可動シー
ル体４及びダイヤフラム３が配設されているにすぎない
ことから、弁室１１にガス溜り等の流体滞留部が殆ど生
じない。然も、摺動部分がない為に摩耗分も発生しな
い。
【００２６】尚、上記実施例に於いては、下流側本体２
に筒部１４を形成し、該筒部１４を上流側本体１に嵌合
するようにしたが、他の実施例に於いては、上流側本体
１に筒部１４を形成し、該筒部１４を下流側本体２に嵌
合するようにしても良い。この場合、上流側本体１に雄
ねじ部１５を形成することは勿論である。
に筒部１４を形成し、該筒部１４を上流側本体１に嵌合
するようにしたが、他の実施例に於いては、上流側本体
１に筒部１４を形成し、該筒部１４を下流側本体２に嵌
合するようにしても良い。この場合、上流側本体１に雄
ねじ部１５を形成することは勿論である。
【００２７】上記実施例に於いては、シール部材５を環
状溝１７に圧入保持させるようにしたが、他の実施例に
於いては、シール部材５を静止シール部８ａの環状溝１
７に接着剤により固着するようにしても良い。又、シー
ル部材５の内方にステンレス鋼等のリングを埋設するよ
うにしても良い。この場合には、シール部材５の抜け止
めを行うことができる。
状溝１７に圧入保持させるようにしたが、他の実施例に
於いては、シール部材５を静止シール部８ａの環状溝１
７に接着剤により固着するようにしても良い。又、シー
ル部材５の内方にステンレス鋼等のリングを埋設するよ
うにしても良い。この場合には、シール部材５の抜け止
めを行うことができる。
【００２８】上記実施例に於いては、シール部材５を静
止シール部８ａに設けたが、他の実施例に於いては、シ
ール部材５を可動シール体４の底壁部４ａに設けて静止
シール部８ａに当離座させるようにしても良い。
止シール部８ａに設けたが、他の実施例に於いては、シ
ール部材５を可動シール体４の底壁部４ａに設けて静止
シール部８ａに当離座させるようにしても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の逆止弁は、ダイヤフラムの外周縁部を上流側本体と下
流側本体とで挾持し、流体の漏洩を防止するシール面を
ダイヤフラム両面の２個所だけにし、シール個所を少な
くしている。然も、ダイヤフラムのみを挾持するように
している為、締付具で両本体１，２を締付けても、シー
ル面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な面圧
が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧であって
も、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れたものに
なる。
の逆止弁は、ダイヤフラムの外周縁部を上流側本体と下
流側本体とで挾持し、流体の漏洩を防止するシール面を
ダイヤフラム両面の２個所だけにし、シール個所を少な
くしている。然も、ダイヤフラムのみを挾持するように
している為、締付具で両本体１，２を締付けても、シー
ル面の面圧にバラツキを生じることもなく、十分な面圧
が得られる。その結果、取り扱い流体が高圧であって
も、流体が漏洩し難く、シール性に極めて優れたものに
なる。
【００３０】又、カウンターディスクを省略している
為、部品点数が少なくて済むうえ、上流側本体と下流側
本体のダイヤフラムを挾持する部分の肉厚も厚くするこ
とができ、よりシール性に優れたものとなる。
為、部品点数が少なくて済むうえ、上流側本体と下流側
本体のダイヤフラムを挾持する部分の肉厚も厚くするこ
とができ、よりシール性に優れたものとなる。
【００３１】更に、可動シール体を作動させるための流
体圧の受圧面積を大きくしている為、スプリングを使用
しないことと相俟って、精度や応答性に極めて優れ、常
に良好な逆止弁機能を発揮し得るものである。
体圧の受圧面積を大きくしている為、スプリングを使用
しないことと相俟って、精度や応答性に極めて優れ、常
に良好な逆止弁機能を発揮し得るものである。
【００３２】然も、摩耗粉が発生せず、且つガス溜り等
の流体滞留部が殆ど生じないから、高クリーン度が要求
される半導体等の製造装置における流体輸送ラインや真
空機器における真空ラインにも好適に使用できるもので
ある。
の流体滞留部が殆ど生じないから、高クリーン度が要求
される半導体等の製造装置における流体輸送ラインや真
空機器における真空ラインにも好適に使用できるもので
ある。
【００３３】加えて、スプリング力の調整等を一切必要
とせず、内部構造もシンプルであるから、組立性や取扱
性に極めて優れるものであり、構造上、取付方向により
性能が変化するようなこともない。
とせず、内部構造もシンプルであるから、組立性や取扱
性に極めて優れるものであり、構造上、取付方向により
性能が変化するようなこともない。
【図１】本発明の実施例に係る逆止弁を示し、流入通路
から流出通路への流動許容状態を示す拡大縦断面図であ
る。
から流出通路への流動許容状態を示す拡大縦断面図であ
る。
【図２】同逆止弁における流出通路から流入通路への逆
流阻止状態を示す拡大縦断面図である。
流阻止状態を示す拡大縦断面図である。
【図３】従来の逆止弁の拡大縦断面図である。
１は上流側本体、２は下流側本体、３はダイヤフラム、
４は可動シール体、５はシール部材、６は締付具、７は
流入通路、８は上流側壁面、８ａは静止シール部、９は
連絡通路、１１は弁室、１２は下流側壁面、１３は流出
通路、１６は流体通路。
４は可動シール体、５はシール部材、６は締付具、７は
流入通路、８は上流側壁面、８ａは静止シール部、９は
連絡通路、１１は弁室、１２は下流側壁面、１３は流出
通路、１６は流体通路。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−69872（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−19479（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−168069（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−24367（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−33975（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−47637（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−172869（ＪＰ，Ｕ) 米国特許1670318（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 15/00 - 15/20 F16K 7/12 - 7/20
Claims (1)
- 【請求項１】 流入通路と、流入通路に直交する断面形
状略凸状の上流側壁面と、上流側壁面の中央部に形成し
た静止シール部と、流入通路と上流側壁面に於ける静止
シール部の外側領域とを連通する連絡通路とを備えた上
流側本体と；上流側壁面に対向して上流側壁面との間に
弁室を形成する断面形状略凹状の下流側壁面と、下流側
壁面に開口された流出通路とを備えた下流側本体と；弁
室内に配置され、外周縁部が上流側壁面の周縁部と下流
側壁面の周縁部で気密状に挾圧保持された環状のダイヤ
フラムと；ダイヤフラムの中心部に静止シール部に対向
すべく固着され、中心部に流体通路を形成した有底筒状
の可動シール体と；静止シール部又は可動シール体に固
着され、可動シール体の流体通路の開口周縁部若しくは
静止シール部に当離座する環状のシール部材と；ダイヤ
フラムの外周縁部を挾圧保持すべく上流側本体と下流側
本体を締付け固定する締付具とから構成し、上流側壁面
の中央部には静止シール部が、その周囲にはダイヤフラ
ムの軸線方向の移動を面的に受け止める為の逆圧保持部
が夫々形成されていると共に、下流側壁面の中央部分に
は静止シール部に対向する第１正圧保持部が、その周囲
には逆圧保持部に対向してダイヤフラムの軸線方向の移
動を面的に受け止める為の第２正圧保持部が夫々形成さ
れて居り、無負荷状態では、ダイヤフラムは平板形態に
保持され、逆圧保持部及び第２正圧保持部との間に若干
の間隙を形成していると共に、可動シール体は上流側壁
面及び下流側壁面と非接触状態になっており、流入通路
への流入量が大流量である場合や衝撃圧が発生した場合
には、可動シール体及びダイヤフラムが第１及び第２正
圧保持部に係止されてそれ以上の変形が阻止されると共
に、ダイヤフラムに作用する逆圧が過大であったり衝撃
圧である場合には、ダイヤフラムが逆圧保持部に係止さ
れてそれ以上の変形が阻止されることを特徴とする逆止
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14084492A JP3264692B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 逆止弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14084492A JP3264692B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 逆止弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332463A JPH05332463A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3264692B2 true JP3264692B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=15278037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14084492A Expired - Fee Related JP3264692B2 (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | 逆止弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3264692B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6586119B1 (en) | 1997-05-19 | 2003-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Luminescent device |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5221993B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-06-26 | 公立大学法人首都大学東京 | マイクロバルブ及びマイクロポンプ |
| KR102308783B1 (ko) * | 2021-08-11 | 2021-10-05 | 주식회사 무성 | 콘 시트 체크 밸브 |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP14084492A patent/JP3264692B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6586119B1 (en) | 1997-05-19 | 2003-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Luminescent device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332463A (ja) | 1993-12-14 |
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